JPH10160631A - LCD panel alignment device - Google Patents

LCD panel alignment device

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JPH10160631A
JPH10160631A JP33307496A JP33307496A JPH10160631A JP H10160631 A JPH10160631 A JP H10160631A JP 33307496 A JP33307496 A JP 33307496A JP 33307496 A JP33307496 A JP 33307496A JP H10160631 A JPH10160631 A JP H10160631A
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liquid crystal
crystal panel
tray
alignment
inspection
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Tsukasa Kudo
司 工藤
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勝美 塩野
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Micronics Japan Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送用アームを変更することなく、異なる大
きさの液晶パネルのアライメントに適用させることにあ
る。 【解決手段】 アライメント装置は、アライメントをす
べき矩形の液晶パネルと平行な面内で交差する方向へ移
動可能の少なくとも2組の当接部材と、該当接部材を相
寄り相離れる方向へ移動させる移動させる手段とを含
む。当接部材は、相寄る方向へ移動されると、液晶パネ
ルの外周縁部に当接し、液晶パネルをその配置空間の中
央に向けて押す。このとき、搬送用アームに対する液晶
パネルの姿勢および位置が不正確であると、その液晶パ
ネルは、当接部材の共同作用によりアームに対して変位
されて、アームに対する姿勢および位置を修正される。
(57) [Problem] To apply the method to alignment of liquid crystal panels of different sizes without changing a transfer arm. SOLUTION: An alignment apparatus moves at least two sets of contact members movable in directions intersecting in a plane parallel to a rectangular liquid crystal panel to be aligned, and moves the contact members in directions away from each other. Means for moving. When the contact members are moved toward each other, they come into contact with the outer peripheral edge of the liquid crystal panel and push the liquid crystal panel toward the center of the arrangement space. At this time, if the posture and position of the liquid crystal panel with respect to the transport arm are incorrect, the liquid crystal panel is displaced with respect to the arm by the cooperative action of the contact member, and the posture and position with respect to the arm are corrected.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、搬送用アームに対
する矩形の液晶パネルのアライメントをする装置に関す
る。
The present invention relates to an apparatus for aligning a rectangular liquid crystal panel with respect to a transfer arm.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示パネルすなわち液晶パネルの点
灯試験すなわち検査をする装置の1つとして、矩形の液
晶パネルを搬送用アームに対して受け渡す受渡しステー
ションと、液晶パネルの点灯試験をする検査ステーショ
ンとを筐体内に設け、液晶表示パネルを搬送用アームに
より受渡しステーションと検査ステーションとに搬送
し、アーム(ひいては、検査装置)に対する液晶パネル
の粗アライメントを受渡しステーションにおいて行い、
検査用プローブユニット(ひいては、検査装置)に対す
る液晶パネルの精密アライメントを受渡しステーション
において行う検査装置がある(特開平5−134227
号公報)。粗アライメントは、作業者が液晶パネルの隣
り合う縁部をアームに固定された2つのストッパに手作
業により当接させることにより、行われる。
2. Description of the Related Art As one of devices for performing a lighting test or inspection of a liquid crystal display panel, that is, a liquid crystal panel, a delivery station for transferring a rectangular liquid crystal panel to a transfer arm and an inspection station for performing a lighting test of the liquid crystal panel. Is provided in the housing, the liquid crystal display panel is transferred to the delivery station and the inspection station by the transfer arm, and rough alignment of the liquid crystal panel with respect to the arm (hence, the inspection device) is performed at the transfer station.
There is an inspection device that performs precise alignment of a liquid crystal panel with respect to an inspection probe unit (and, consequently, an inspection device) at a delivery station (Japanese Patent Laid-Open No. 5-134227).
No.). The rough alignment is performed by an operator manually bringing adjacent edges of the liquid crystal panel into contact with two stoppers fixed to the arm.

【0003】しかし、この従来の検査装置では、アーム
に固定された2つのストッパを利用して粗アライメント
をするから、粗アライメントの精度が低い。また、検査
すべき液晶パネルの種類、特に大きさに応じたアームを
必要とし、しかも検査すべき液晶パネルの種類を変更す
るたびに搬送用アームを交換しなければならない。
However, in this conventional inspection apparatus, the coarse alignment is performed using two stoppers fixed to the arm, so that the accuracy of the coarse alignment is low. Further, an arm corresponding to the type of the liquid crystal panel to be inspected, particularly, the size is required, and the transport arm must be replaced every time the type of the liquid crystal panel to be inspected is changed.

【0004】[0004]

【解決しようとする課題】本発明の目的は、搬送用アー
ムを変更することなく、異なる大きさの液晶パネルのア
ライメントに適用させることにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to apply the present invention to alignment of liquid crystal panels of different sizes without changing a transfer arm.

【0005】[0005]

【解決手段、作用、効果】本発明のアライメント装置
は、アライメントをすべき矩形の液晶パネルと平行な面
内で交差する方向へ移動可能の少なくとも2組の当接部
材と、該当接部材の組に対応されて対応する組の当接部
材を相寄り相離れる方向へ移動させる少なくとも2組の
移動手段とを含む。
An alignment apparatus according to the present invention comprises at least two sets of contact members movable in a direction intersecting in a plane parallel to a rectangular liquid crystal panel to be aligned, and a set of corresponding contact members. And at least two sets of moving means for moving a corresponding set of contact members in a direction toward and away from each other.

【0006】各組の当接部材は、アライメントをすると
き相寄る方向へ移動され、アライメントを終了した後相
離れる方向へ移動される。搬送用アームに載置された液
晶パネルが当接部材の移動範囲内に搬送された状態で、
当接部材が相寄る方向へ移動されると、各当接部材は、
液晶パネルの外周縁部に当接し、液晶パネルをその配置
空間の中央に向けて押す。このとき、搬送用アームに対
する液晶パネルの姿勢および位置が不正確であると、そ
の液晶パネルは、当接部材の共同作用によりアームに対
して変位されて、アームに対する姿勢および位置を調整
される。
[0006] The contact members of each set are moved toward each other when performing alignment, and are moved away from each other after completing the alignment. In a state where the liquid crystal panel placed on the transport arm is transported within the moving range of the contact member,
When the abutment members are moved in the direction of each other, each abutment member
The liquid crystal panel comes into contact with the outer peripheral edge of the liquid crystal panel and is pushed toward the center of the arrangement space. At this time, if the posture and position of the liquid crystal panel with respect to the transfer arm are incorrect, the liquid crystal panel is displaced with respect to the arm by the cooperative action of the contact member, and the posture and position with respect to the arm are adjusted.

【0007】本発明によれば、液晶パネルと平行な面内
で交差する方向へ移動可能の少なくとも2組の当接部材
を相寄り相離れる方向へ移動させてアライメントをする
ようにしたから、当接部材の最大移動範囲より小さい液
晶パネルのアライメントをすることができ、搬送用アー
ムを変更することなく、各種大きさの液晶パネルのアラ
イメントに適用することができる。
According to the present invention, at least two sets of abutting members movable in a direction intersecting in a plane parallel to the liquid crystal panel are moved in directions away from each other to perform alignment. The alignment of the liquid crystal panel smaller than the maximum movement range of the contact member can be performed, and the present invention can be applied to the alignment of liquid crystal panels of various sizes without changing the transfer arm.

【0008】各当接部材を、四角形の辺に対応する液晶
パネルの縁部に接触すべく前記支持手段に上下方向へ伸
びる軸線の周りに回転可能に支持されたローラとし、ま
た相寄る方向へ移動されることにより四角形の辺に対応
する液晶パネルの縁部に当接させることができる。この
ようにすれば、相寄る方向へのローラの移動により、液
晶パネルがローラに対して容易に変位するから、搬送用
アームに対する液晶パネルの姿勢および位置がより正確
に修正される。
[0008] Each contact member is a roller rotatably supported around an axis extending vertically in the supporting means so as to contact an edge of the liquid crystal panel corresponding to a side of the square, and in a direction opposite to each other. By being moved, it can be brought into contact with the edge of the liquid crystal panel corresponding to the side of the square. With this configuration, the movement of the rollers in the direction toward each other causes the liquid crystal panel to be easily displaced with respect to the rollers, so that the posture and the position of the liquid crystal panel with respect to the transport arm are more accurately corrected.

【0009】さらに、当接部材の組に対応されて対応す
る組の当接部材を支持する2組の支持手段であって前記
移動手段により相寄り相離れる方向へ移動される2組の
支持手段を含むことができる。この場合、当接部材は、
相寄り相離れる方向へ支持手段とともに移動される。
Further, two sets of support means corresponding to the set of contact members and supporting the corresponding set of contact members, wherein the two sets of support means are moved by the moving means in directions approaching and separating from each other. Can be included. In this case, the contact member is
It is moved together with the support means in a direction away from and near each other.

【0010】各支持手段は、四角形の対向する辺に沿っ
て相寄り相離れる方向へ移動可能のスライダを備え、各
移動手段は、各スライダに対応されて対応するスライダ
に連結されたラックであって前記スライダの移動方向へ
伸びるラックと、該ラックと噛合するピニオン歯車と、
前記両スライダが相寄り相離れる方向へ前記スライダ、
前記ラックおよび前記ピニオン歯車から選択される部材
を駆動させる駆動機構とを備え、前記ピニオン歯車を対
応する移動手段の両ラックに噛合させることができる。
Each support means includes a slider which is movable in directions away from each other along opposing sides of the rectangle, and each movement means is a rack corresponding to each slider and connected to the corresponding slider. A rack extending in the moving direction of the slider, a pinion gear meshing with the rack,
The slider in a direction in which the two sliders move toward and away from each other,
A drive mechanism for driving a member selected from the rack and the pinion gear; and the pinion gear can be meshed with both racks of the corresponding moving means.

【0011】さらに、前記支持手段および前記移動手段
が配置されたアライメントベースを含み、一方の支持手
段のスライダと一方の移動手段とを前記アライメントベ
ースの一方の側に配置し、他方の支持手段のスライダと
他方の支持手段とを前記アライメントベースの他方の側
に配置することができる。好ましい実施例においては、
アライメントベースは、矩形の開口を有する水平の板状
の枠部材を備え、またアライメントすべき液晶パネルと
平行である。
In addition, the apparatus includes an alignment base on which the supporting means and the moving means are arranged, and a slider of one supporting means and one moving means are arranged on one side of the alignment base, and an alignment base of the other supporting means is provided. The slider and the other supporting means can be arranged on the other side of the alignment base. In a preferred embodiment,
The alignment base includes a horizontal plate-shaped frame member having a rectangular opening, and is parallel to the liquid crystal panel to be aligned.

【0012】さらに、前記当接部材の組に対応されて対
応する組の当接部材が所定の位置まで接近したことを感
知する感知手段を含むことができる。このようにすれ
ば、感知手段の感知出力を用いて当接部材の移動を停止
させ、液晶パネルの損傷を防止することができる。
[0012] Further, a sensing means corresponding to the set of the contact members and detecting that the contact members of the corresponding set have approached a predetermined position may be included. With this configuration, the movement of the contact member can be stopped using the sensing output of the sensing means, and damage to the liquid crystal panel can be prevented.

【0013】前記各感知手段は、前記アライメントベー
スに配置されて前記支持手段の移動方向へ伸びる取付レ
ールと、該取付レールにこれの長手方向における位置を
変更可能に前記取付レールに組み付けられたセンサと、
一方の支持手段に連結されかつ該支持手段とともに移動
されて前記センサに感知されるレバーとを備えることが
できる。このようにすれば、取付レールへのセンサの取
付位置を液晶パネルの大きさに応じて変更することがで
きる。
Each of the sensing means is disposed on the alignment base and extends in the direction of movement of the support means, and a sensor is attached to the mounting rail so as to change its position in the longitudinal direction. When,
A lever coupled to one of the support means and moved with the support means and sensed by the sensor. With this configuration, the mounting position of the sensor on the mounting rail can be changed according to the size of the liquid crystal panel.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】図1〜図5を参照するに、本発明
のアライメント装置を備える検査装置10は、矩形の平
面形状を有するトレー12に収容された矩形の液晶表示
パネルすなわち液晶パネル14の点灯試験をしてその良
否を検査する装置として用いられる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Referring to FIGS. 1 to 5, an inspection apparatus 10 having an alignment apparatus according to the present invention includes a rectangular liquid crystal display panel or liquid crystal panel 14 housed in a tray 12 having a rectangular planar shape. Is used as a device for performing a lighting test and inspecting its quality.

【0015】トレー12は、図6〜図8に示すように、
浅い凹所を形成する箱状の主体部12aと、該主体部の
周りのフランジ部12bとにより浅い皿の形をしてい
る。主体部12aは凹所側に突出する複数の突出部16
を底面に有しており、液晶パネル14はこれらの突出部
16に当接することにより凹所内で移動することを防止
される。トレー12は、また、貫通穴18を矩形の各隅
角部に対応する箇所に有する。液晶パネル14は、位置
合せ用マークを間隔をおいた隣り合う2つの隅角部に有
するとともに、液晶パネル毎に付けられた識別コードを
他の隅角部に有する。
The tray 12, as shown in FIGS.
A box-shaped main portion 12a forming a shallow recess and a flange portion 12b around the main portion form a shallow dish. The main body 12a has a plurality of protrusions 16 protruding toward the recess.
Is provided on the bottom surface, and the liquid crystal panel 14 is prevented from moving in the recess by coming into contact with these projections 16. The tray 12 also has through holes 18 at locations corresponding to each corner of the rectangle. The liquid crystal panel 14 has alignment marks at two adjacent corners spaced apart from each other, and has an identification code assigned to each liquid crystal panel at another corner.

【0016】検査装置10は、複数のトレー貯留装置2
0と、液晶パネル14をトレー12から分離しかつトレ
ー内に収納する分離収納器22と、トレーをトレー貯留
装置20から分離収納器22におよびその逆に移すトレ
ー搬送機構24と、液晶パネルを受ける一対の検査ステ
ージ26と、液晶パネルを分離収納器22から検査ステ
ージ26におよびその逆に移すパネル搬送機構28と、
液晶パネルの検査に用いるプローブユニット30と、パ
ネル搬送機構28と各検査ステージ26との間のパネル
受渡し位置に配置されたアライメント装置32と、検査
位置に搬送された液晶パネルを撮像する撮像ユニット3
4と、液晶パネルの位置合せ用マークをパネル受渡し位
置において撮像する第1のカメラ36と、液晶パネルの
識別コードを各パネル受渡し位置において撮像する第2
のカメラ38と、液晶パネルの位置合せ用マークを検査
位置において撮像する2つの第3のカメラ40と、プロ
ーブユニット30を支持するユニット支持機構42とを
含む。これらは、検査装置10の筐体すなわち本体フレ
ーム44に配置されている。
The inspection device 10 includes a plurality of tray storage devices 2.
0, a separation container 22 for separating the liquid crystal panel 14 from the tray 12 and storing it in the tray, a tray transport mechanism 24 for transferring the tray from the tray storage device 20 to the separation storage device 22 and vice versa, A pair of receiving inspection stages 26, a panel transport mechanism 28 for transferring the liquid crystal panel from the separation container 22 to the inspection stage 26, and vice versa;
A probe unit 30 used for inspection of the liquid crystal panel, an alignment device 32 arranged at a panel transfer position between the panel transport mechanism 28 and each inspection stage 26, and an imaging unit 3 for imaging the liquid crystal panel transported to the inspection position
4, a first camera 36 for imaging the alignment mark of the liquid crystal panel at the panel transfer position, and a second camera 36 for imaging the identification code of the liquid crystal panel at each panel transfer position.
Camera 38, two third cameras 40 that image the alignment marks on the liquid crystal panel at the inspection position, and a unit support mechanism 42 that supports the probe unit 30. These are arranged on the housing of the inspection apparatus 10, that is, the main body frame 44.

【0017】図9〜図12に示すように、各トレー貯留
装置20は、複数のトレー12を重ねた状態で貯留する
トレーポートである。各トレー貯留装置20は、平板状
のベース部材50を水平に配置し、支柱52と複数のシ
ャフト54とをベース部材50に互いに水平方向へ間隔
をおいて上方へ平行に伸びる状態に取り付け、板状のト
ップ部材56を支柱52およびシャフト54の上端に水
平に取り付け、中間ベースすなわち板状部材58をベー
ス部材50とトップ部材56との間にあって本体フレー
ム44に水平に支持させている。
As shown in FIGS. 9 to 12, each tray storage device 20 is a tray port for storing a plurality of trays 12 in a stacked state. In each tray storage device 20, a flat base member 50 is horizontally arranged, and a support post 52 and a plurality of shafts 54 are attached to the base member 50 at intervals in the horizontal direction so as to extend upward and parallel to each other. A top member 56 is horizontally attached to the upper end of the support 52 and the shaft 54, and an intermediate base, that is, a plate member 58 is horizontally supported by the main body frame 44 between the base member 50 and the top member 56.

【0018】支柱52およびシャフト54は、板状部材
58を貫通して伸びる。トップ部材56は、トレー12
の貯留空間を回避するようにトレー12の貯留空間の前
方と側方とにL字状に伸びる。支柱52およびシャフト
54は、それぞれ、トレー12の貯留空間の側方および
前方に配置されている。板状部材58は、図示の例で
は、本体フレーム44と異なる部材であるが、本体フレ
ーム44の水平部分であってもよい。
The column 52 and the shaft 54 extend through the plate member 58. The top member 56 is connected to the tray 12.
The storage space of the tray 12 extends in an L-shape so as to avoid the storage space. The strut 52 and the shaft 54 are arranged on the side and the front of the storage space of the tray 12, respectively. The plate member 58 is a member different from the main body frame 44 in the illustrated example, but may be a horizontal portion of the main body frame 44.

【0019】シャフト54は板状部材58に昇降可能に
受られたリニアシャフトであり、また板状部材58はボ
ールブッシュ60によりシャフト54を受けている。こ
のため、板状部材58の昇降が円滑になりかつ安定す
る。
The shaft 54 is a linear shaft received and raised by a plate member 58, and the plate member 58 receives the shaft 54 by a ball bush 60. Therefore, the lifting and lowering of the plate-shaped member 58 becomes smooth and stable.

【0020】トレー受け62は、板状部材58の上に配
置された複数のボール座64により水平面内で二次元的
に移動可能に配置されており、また複数のトレーを重ね
た状態に受ける。このため、トレー受け62は、フロー
ティングテーブルとして作用する。図示の例では、トレ
ー12は、トレー受け62に直接載置される。しかし、
トレー12をフォークリフトのようなトレー用運搬機械
のアーム部(すなわち、フォーク部)に用いるパレット
を介してトレー受け62に載置してもよいし、トレー受
け自体をパレットとしてもよい。
The tray receiver 62 is arranged so as to be two-dimensionally movable in a horizontal plane by a plurality of ball seats 64 arranged on the plate-shaped member 58, and receives a plurality of trays in an overlapping state. Therefore, the tray receiver 62 functions as a floating table. In the illustrated example, the tray 12 is placed directly on the tray receiver 62. But,
The tray 12 may be placed on the tray receiver 62 via a pallet used for an arm portion (ie, a fork portion) of a tray transport machine such as a forklift, or the tray receiver itself may be a pallet.

【0021】板状部材58は、運搬機械のアーム部がト
レー12の受渡しのために通過することを許す切欠部6
6を有する。保護カバー68は、板状部材58より下側
の部材と運搬機械のアーム部とが衝突することを防止す
るように、板状部材58の下側に設けられている。トレ
ー受け62は、切欠部66に対応するコ字状の形状を呈
しており、また後側に開口するように設置されている。
The plate-shaped member 58 has a notch 6 that allows the arm of the transporting machine to pass through for the delivery of the tray 12.
6. The protective cover 68 is provided below the plate-shaped member 58 so as to prevent a member below the plate-shaped member 58 from colliding with an arm of the transporting machine. The tray receiver 62 has a U-shape corresponding to the notch 66, and is installed so as to open to the rear.

【0022】板状部材58、トレー受け62およびボー
ル座64は、複数のトレー12を積み重ねた状態に受け
る受け手段として作用する。この受け手段に受けられた
複数のトレー12は、板状部材58に形成された貫通穴
58aを水平面内で二次元的に移動可能に貫通して上下
方向へ伸びる長尺の一対のトレー押え70により、対向
する隅角部を外側から解除可能に把持される。
The plate member 58, the tray receiver 62 and the ball seat 64 function as receiving means for receiving a plurality of trays 12 in a stacked state. The plurality of trays 12 received by the receiving means are provided with a pair of elongated tray holders 70 extending vertically through two-dimensionally movable through a through hole 58a formed in the plate member 58 in a horizontal plane. Thereby, the opposing corners are releasably gripped from the outside.

【0023】トレー押え70は、トレーの隅角部の平面
形状に対応したL字形の断面形状の凹溝を有するL型の
部材であり、またベース部材50上に相寄り相離れる方
向へ移動可能に配置された一対のスライドステージ72
に取り付けられている。
The tray retainer 70 is an L-shaped member having a concave groove having an L-shaped cross-section corresponding to the planar shape of the corner of the tray, and is movable on the base member 50 in a direction away from each other. A pair of slide stages 72 arranged in
Attached to.

【0024】スライドステージ72は、スライドステー
ジ72に枢軸運動可能に連結された一対の連結リンク7
4と、両リンク74に枢軸運動可能に連結された中央リ
ンク76と、リンク74および76を屈伸させる駆動機
構78により、相寄り相離れる方向へ移動される。中央
リンク76は、ベース部材50に枢軸運動可能に取り付
けられている。
The slide stage 72 has a pair of connecting links 7 connected to the slide stage 72 so as to be pivotable.
4, a central link 76 pivotally connected to the two links 74, and a drive mechanism 78 for bending and extending the links 74 and 76, are moved in a direction away from each other. The center link 76 is pivotally attached to the base member 50.

【0025】トレー押え70は、トレーを運搬機械から
トレー受け62に受けた後に、互いに接近する方向へ移
動される。これにより、トレー押え70は、トレー受け
62に転載されたトレー12の対向する隅角部の外側縁
部に当接し、トレー12を把持する。また、トレー押え
70は、トレーを運搬機械によりトレー受け62に受け
るときと、貯留しているトレーを運搬機械によりトレー
受け62から取り去るときとに、大きく離されて、トレ
ー12を解放する。
After receiving the tray from the transporting machine into the tray receiver 62, the tray retainers 70 are moved in directions approaching each other. As a result, the tray retainer 70 comes into contact with the outer edge of the opposite corner of the tray 12 transferred to the tray receiver 62, and grips the tray 12. In addition, the tray holder 70 is largely separated when the tray is received by the tray receiver 62 by the transporting machine and when the stored tray is removed from the tray receiver 62 by the transporting machine, and the tray 12 is released.

【0026】トレー押え70は、相寄る方向へ移動され
るとき、トレー12をその貯留空間の中央側へ押し、ト
レー12を変位させる。このため、トレー受け62に転
載されたトレー12の姿勢および位置が不正確であって
も、トレー12をトレー押え70により把持するだけ
で、トレーは正しい姿勢および位置に自動的に整列さ
れ、その状態に貯留される。これにより、運搬機械によ
るトレー12の転載が容易になる。
When the tray retainer 70 is moved in the opposite direction, it pushes the tray 12 toward the center of the storage space to displace the tray 12. For this reason, even if the posture and position of the tray 12 transferred to the tray receiver 62 are incorrect, the tray is automatically aligned to the correct posture and position only by grasping the tray 12 with the tray retainer 70, and the Stored in state. This facilitates the transfer of the tray 12 by the transport machine.

【0027】複数のトレー12を重ねた状態にトレー受
け62に転載したときのトレー12の姿勢および位置
は、トレー受け62がトレーの貯留空間内で変位するこ
とにより調整される。このとき、トレー受け62がボー
ル座64に受けられているから、トレー受け62の変位
が円滑になりかつ安定する。
The posture and position of the tray 12 when the plurality of trays 12 are transferred to the tray receiver 62 in a stacked state are adjusted by displacing the tray receiver 62 in the storage space of the tray. At this time, since the tray receiver 62 is received by the ball seat 64, the displacement of the tray receiver 62 becomes smooth and stable.

【0028】トレー受け62上のトレー12の高さ位置
は、トレー受け62の上に重ねられたトレー12の数に
より異なる。このため、トレー押え70の高さ位置は、
少なくとも最上部のトレーの一部がトップ部材56より
上方となるように、昇降機構すなわち高さ調整機構によ
り調整される。
The height position of the tray 12 on the tray receiver 62 depends on the number of trays 12 stacked on the tray receiver 62. Therefore, the height position of the tray holder 70 is
An elevating mechanism, that is, a height adjusting mechanism adjusts at least a part of the uppermost tray to be above the top member 56.

【0029】高さ調整機構は、既に述べた一対のシャフ
ト54のほかに、上端部および下端部をそれぞれトップ
部材56およびベース部材50に結合されて上下方向へ
伸びるラック80と、該ラックと噛合するピニオン歯車
82と、該ピニオン歯車を回転させる歯車駆動機構84
とを備える。ピニオン歯車82は歯車駆動機構84の出
力軸に取り付けられており、歯車駆動機構84は板状部
材58に回転可能に支持されている。
The height adjusting mechanism includes, in addition to the pair of shafts 54 described above, a rack 80 having an upper end and a lower end connected to the top member 56 and the base member 50 and extending in the vertical direction, respectively, and meshes with the rack. Gear 82 and a gear drive mechanism 84 for rotating the pinion gear
And The pinion gear 82 is attached to an output shaft of a gear drive mechanism 84, and the gear drive mechanism 84 is rotatably supported by the plate member 58.

【0030】ピニオン歯車82がラック80と噛合した
状態で歯車駆動機構84により回転されると、ベース部
材50、支柱52、シャフト54、トップ部材56、ス
ライドステージ72、リンク74,76,駆動機構78
およびラック80が一体的に上昇または下降し、トレー
押え70が上昇または下降される。このときのこれらの
部材の上下移動および高さ調整機構の動作は、支柱52
およびシャフト54がベース部材50とトップ部材56
と連結されて堅固に構成されているから、円滑かつ安定
である。
When the pinion gear 82 is rotated by the gear drive mechanism 84 while meshing with the rack 80, the base member 50, the support 52, the shaft 54, the top member 56, the slide stage 72, the links 74, 76, and the drive mechanism 78.
And the rack 80 are integrally raised or lowered, and the tray holder 70 is raised or lowered. The vertical movement of these members and the operation of the height adjustment mechanism at this time are determined by the support 52
And the shaft 54 includes the base member 50 and the top member 56.
Since it is connected to and firmly configured, it is smooth and stable.

【0031】各トレー貯留装置20は、切欠部66の開
口の側が後側となるように、本体フレーム44に配置さ
れる。このため、運搬機械によるトレー貯留装置20へ
のトレー12の受渡しは、検査措置10の後側において
行われる。
Each tray storage device 20 is disposed on the main body frame 44 such that the opening of the cutout 66 is on the rear side. For this reason, the delivery of the tray 12 to the tray storage device 20 by the transport machine is performed on the rear side of the inspection measure 10.

【0032】未検査の液晶パネルを収納しているトレー
12は、最上部のトレーからトレー搬送機構24に把持
されて、分離収納器22による分離収納位置へ搬送され
る。また、検査済の液晶パネルを収納したトレーは、最
上部のトレーの上側に重ねられる。少なくとも最上部の
トレーの高さ位置がトップ部材56より上方となるよう
に、トレー押え70の高さ位置がトレー搬送機構24に
よるトレーの受渡しのたびに調整される。これにより、
トレー貯留装置20に対するトレー搬送機構24による
トレーの受渡しが容易になる。
The tray 12 containing the untested liquid crystal panel is gripped by the tray transport mechanism 24 from the uppermost tray, and transported to the separating and storing position by the separating and storing device 22. Further, the tray containing the inspected liquid crystal panels is stacked on the uppermost tray. The height position of the tray retainer 70 is adjusted each time the tray is transferred by the tray transport mechanism 24 such that the height position of the uppermost tray is at least above the top member 56. This allows
Delivery of the tray to the tray storage device 20 by the tray transport mechanism 24 is facilitated.

【0033】トレー貯留装置20によれば、転載された
トレー12の対向する隅角部をその隅角部の平面形状に
対応する断面形状の凹溝を有する一対のトレー押え70
により把持するから、少ないトレー押え70で複数のト
レー12を正しい位置に正しい姿勢で確実に貯留するこ
とができる。しかし、二対のトレー押えを設けてもよい
し、他の断面形状を有する複数のトレー押えまたは凹溝
を有さない複数のトレー押えを用いてもよい。
According to the tray storage device 20, the opposing corners of the transferred tray 12 are provided with a pair of tray holders 70 each having a concave groove having a sectional shape corresponding to the planar shape of the corner.
Therefore, the plurality of trays 12 can be reliably stored in a correct position and in a correct posture with a small number of tray pressers 70. However, two pairs of tray holders may be provided, or a plurality of tray holders having other cross-sectional shapes or a plurality of tray holders having no groove may be used.

【0034】図示の例では、トレー押え70を板状部材
58およびトレー12に対して昇降させているが、板状
部材58およびトレー12をトレー押え70に対して昇
降させてもよいし、それらを上下方向へ相対的に変位さ
せてもよい。また、一対のトレー押えを用いる代わり
に、二対のトレー押えを用いてトレーの4つの辺部分を
中央側へ押すようにしてもよい。
In the illustrated example, the tray holder 70 is moved up and down with respect to the plate member 58 and the tray 12, but the plate member 58 and the tray 12 may be moved up and down with respect to the tray holder 70. May be relatively displaced vertically. Instead of using a pair of tray holders, two pairs of tray holders may be used to push the four sides of the tray toward the center.

【0035】図示の例では、図3および図5に示すよう
に、4つのトレー貯留装置20が検査装置10の後部に
左右方向に間隔をおいておよび分離収納器22に関して
左右の側に2つずつの群に分けて配置されている。2つ
1組のトレー貯留装置のうち、一方のトレー貯留装置
は、未検査の液晶パネルを収納したトレーのために用い
られ、他方のトレー貯留装置は検査済の液晶パネルを収
納したトレーのために用いられる。しかし、少なくとも
1つのトレー貯留装置を不良の液晶パネルを収納したト
レーのために用いてもよいし、そのようなトレーのため
のトレー貯留装置をさらに設けてもよい。
In the illustrated example, as shown in FIGS. 3 and 5, four tray storage devices 20 are provided at the rear of the inspection device 10 at left and right intervals and two at the left and right sides with respect to the separation container 22. Are arranged in groups. Of the pair of tray storage devices, one tray storage device is used for a tray containing an untested liquid crystal panel, and the other tray storage device is used for a tray containing a tested liquid crystal panel. Used for However, at least one tray storage device may be used for a tray containing a defective liquid crystal panel, or a tray storage device for such a tray may be further provided.

【0036】図3、図5〜図8に示すように、分離収納
器22は、互いに間隔をおいて平行に上下方向へ伸びる
複数の支柱86を含む。支柱86は、トレー12に挿通
される小径の上部86aと、大径の下部86bと、トレ
ー12の下面を受ける受け部86cとを有する。受け部
86cは、上部86aと下部86bとにより形成される
段部であるが、フランジ、凸部等、他の部位であっても
よい。
As shown in FIGS. 3 and 5 to 8, the separation container 22 includes a plurality of columns 86 extending vertically in parallel with each other at intervals. The support column 86 has a small-diameter upper portion 86a inserted into the tray 12, a large-diameter lower portion 86b, and a receiving portion 86c that receives the lower surface of the tray 12. The receiving portion 86c is a step formed by the upper portion 86a and the lower portion 86b, but may be another portion such as a flange or a convex portion.

【0037】支柱86は、それらの上端が液晶パネル1
4より小さい四角形の隅角部に位置するように、本体フ
レーム44に配置されている。トレー12の貫通穴18
は、各支柱86の上部86aは受け入れるが、下部86
bは受け入れない。
The upper ends of the columns 86 have the liquid crystal panel 1.
It is arranged on the main body frame 44 so as to be located at a corner of a quadrangle smaller than four. Through hole 18 in tray 12
Receives the upper part 86a of each support 86, but the lower part 86a
b is not accepted.

【0038】液晶パネル12を収納しているトレー12
は、先ず図7に示すように各支柱86の上部86aを貫
通穴18に受け入れるようにトレー搬送機構24により
分離収納位置に搬送され、次いで図8に示すように主体
部12aが各支柱の受け部86cに当接するまで下げら
れる。これにより、液晶パネル14が支柱86の上端に
載置された状態で、トレー12が下げられるから、液晶
パネル14はトレー12から分離され、パネル搬送機構
28により検査ステージ26へのパネル受渡し位置へ搬
送される。
Tray 12 containing liquid crystal panel 12
First, as shown in FIG. 7, the tray 86 is transported to the separated storage position by the tray transport mechanism 24 so that the upper portion 86a of each column 86 is received in the through hole 18. Then, as shown in FIG. It is lowered until it contacts the part 86c. As a result, the tray 12 is lowered while the liquid crystal panel 14 is placed on the upper end of the column 86, so that the liquid crystal panel 14 is separated from the tray 12 and moved to the panel transfer position to the inspection stage 26 by the panel transport mechanism 28. Conveyed.

【0039】これに対し、液晶パネル14が支柱86の
上部86aに載置された状態で、トレー12が図8に示
す位置からトレー搬送機構24により持ち上げられる
と、トレー12が液晶パネル14に対し上昇されるか
ら、支柱86の上部86aに載置されている液晶パネル
14は図7に示すようにトレー12内に収納される。こ
れにより、検査済の液晶パネル14を収納したトレー1
2は、トレー搬送機構24により所定のトレー貯留装置
20に戻される。
On the other hand, when the tray 12 is lifted from the position shown in FIG. 8 by the tray transport mechanism 24 while the liquid crystal panel 14 is placed on the upper portion 86a of the column 86, the tray 12 Since the liquid crystal panel 14 is raised, the liquid crystal panel 14 placed on the upper portion 86a of the support column 86 is stored in the tray 12 as shown in FIG. As a result, the tray 1 containing the inspected liquid crystal panel 14
2 is returned to a predetermined tray storage device 20 by the tray transport mechanism 24.

【0040】分離収納器22によれば、小径の上部86
aと、大径の下部86b、トレー12の下面を受ける受
け部86cとを有する複数の支柱86により形成される
から、構造が簡単であるにもかかわらず、トレーの上げ
下げをするだけで、液晶パネルの分離および収納をする
ことができる。
According to the separation container 22, the small-diameter upper portion 86
a and a plurality of columns 86 having a large-diameter lower portion 86b and a receiving portion 86c for receiving the lower surface of the tray 12, the liquid crystal is formed by simply raising and lowering the tray despite its simple structure. Panels can be separated and stored.

【0041】図4、図5および図7に示すように、トレ
ー搬送機構24は、トレー12の対応する縁部を解除可
能に把持する一対のトレーキャッチャ90と、トレーキ
ャッチャ90を相寄り相離れる方向へ移動させてトレー
12の把持および解除をさせる第1の移動機構92と、
トレーキャッチャ90を昇降させてトレー貯留装置20
に対するトレー12の受渡しをする第2の移動機構94
と、トレーキャッチャ90をトレー貯留装置20による
貯留位置と分離収納器22による分離収納位置とに移動
させてトレー12をトレー貯留装置20から分離収納器
22にまたはその逆に移す第3の移動機構96とを含
む。
As shown in FIGS. 4, 5 and 7, the tray transport mechanism 24 includes a pair of tray catchers 90 for releasably holding the corresponding edges of the tray 12, and separates the tray catchers 90 from each other. A first moving mechanism 92 for moving the tray 12 in the direction to grip and release the tray 12,
The tray catcher 90 is moved up and down to move the tray storage device 20.
Moving mechanism 94 for transferring the tray 12 to the
And a third moving mechanism for moving the tray catcher 90 to the storage position by the tray storage device 20 and the separation and storage position by the separation storage device 22 to transfer the tray 12 from the tray storage device 20 to the separation storage device 22 or vice versa. 96.

【0042】第1の移動機構92は、トレーキャッチャ
90を左右方向(X方向)へ移動可能に支持する支持部
92aと、トレーキャッチャ90を左右方向へ移動させ
る駆動機構92bとを備える。第2の移動機構94は、
第1の移動機構92を支持する支持部94aと、支持部
94aを昇降させる駆動機構94bとを備える。第3の
移動機構96は、第2の移動機構94を支持する支持部
96aと、支持部96aを左右方向へ移動させる駆動機
構96bとを備える。
The first moving mechanism 92 includes a supporting portion 92a for supporting the tray catcher 90 movably in the left-right direction (X direction) and a driving mechanism 92b for moving the tray catcher 90 in the left-right direction. The second moving mechanism 94
A support unit 94a that supports the first moving mechanism 92 and a drive mechanism 94b that moves the support unit 94a up and down are provided. The third moving mechanism 96 includes a supporting portion 96a that supports the second moving mechanism 94, and a driving mechanism 96b that moves the supporting portion 96a in the left-right direction.

【0043】駆動機構92bとしては、エアーシリンダ
のような往復移動機構を用いることができる。駆動機構
94bとしては、モータにより回転されるリードスクリ
ューやタイミングベルトを利用した往復移動機構を用い
ることができる。駆動機構96bとしては、本体フレー
ム44に左右方向へ伸びる状態に取り付けられたガイド
レール、このガイドレールに左右方向へ移動可能にキャ
リア等を備える往復移動機構を用いることができる。し
かし、いずれの駆動機構も、他の往復移動機構であって
もよい。
As the drive mechanism 92b, a reciprocating mechanism such as an air cylinder can be used. As the driving mechanism 94b, a reciprocating mechanism using a lead screw or a timing belt rotated by a motor can be used. As the drive mechanism 96b, a guide rail attached to the main body frame 44 so as to extend in the left-right direction, and a reciprocating mechanism including a carrier or the like movably on the guide rail in the left-right direction can be used. However, any drive mechanism may be another reciprocating mechanism.

【0044】トレー貯留装置20上のトレー12を把持
するとき、トレー搬送機構24は、トレーキャッチャ9
0を上げた状態で所定のトレー貯留装置20または分離
収納器22の上方へ移動させ、トレーキャッチャ90を
大きく離した状態で所定の高さ位置まで下げ、その状態
でトレーキャッチャ90を相寄る方向へ移動させる。こ
れにより、所定のトレー貯留装置20の最上部のトレー
12がトレーキャッチャ90に把持される。
When the tray 12 on the tray storage device 20 is gripped, the tray transport mechanism 24 moves the tray catcher 9
When the tray catcher 90 is moved far above the predetermined tray position with the tray catcher 90 largely separated, the tray catcher 90 is moved toward the predetermined height. Move to As a result, the uppermost tray 12 of the predetermined tray storage device 20 is gripped by the tray catcher 90.

【0045】これに対し、トレーキャッチャ90に把持
しているトレーを解放するとき、トレー搬送機構24
は、トレーキャッチャ90を上げた状態で所定のトレー
貯留装置20または分離収納器22の上方へ移動させ、
トレーキャッチャ90を所定の高さ位置まで下げ、その
状態でトレーキャッチャ90を大きく離す方向へ移動さ
せる。これにより、把持しているトレーを所定のトレー
貯留装置20または分離収納器22に移すことができ
る。
On the other hand, when releasing the tray gripped by the tray catcher 90, the tray transport mechanism 24
Is moved above a predetermined tray storage device 20 or separation container 22 with the tray catcher 90 raised,
The tray catcher 90 is lowered to a predetermined height position, and in this state, the tray catcher 90 is moved in a direction far away. As a result, the grasped tray can be transferred to a predetermined tray storage device 20 or separation storage device 22.

【0046】図2〜図4に示すように、検査ステージ2
6は、プローブユニット30を用いて検査をする共通の
検査位置と、検査ステージ26毎に設けられたパネル受
渡し位置とに移動可能である。パネル受渡し位置は、検
査ステージ26とパネル搬送機構28との間で液晶パネ
ル14の受渡しをする位置であり、また検査位置に対し
て左右の側に形成されている。各検査ステージ26は、
検査位置と、対応する受渡し位置とに移動可能である。
As shown in FIGS. 2 to 4, the inspection stage 2
Reference numeral 6 is movable to a common inspection position where inspection is performed using the probe unit 30 and a panel delivery position provided for each inspection stage 26. The panel transfer position is a position at which the liquid crystal panel 14 is transferred between the inspection stage 26 and the panel transport mechanism 28, and is formed on the left and right sides with respect to the inspection position. Each inspection stage 26
It is movable to an inspection position and a corresponding delivery position.

【0047】各検査ステージ26は、液晶パネルを把持
するワークテーブル100と、ワークテーブル100を
上下方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させる第1
のθステージ102と、ワークテーブル100を上下方
向へ伸びる軸線の周りにほぼ180度回転させる第2の
θステージ104と、ワークテーブル100を昇降させ
るZステージ106と、ワークテーブル100を前後方
向(Y方向)へ移動させるYステージ108と、ワーク
テーブル100を左右方向(X方向)へ移動させるXス
テージ110とを備える。
Each inspection stage 26 includes a work table 100 for holding a liquid crystal panel, and a first table for rotating the work table 100 angularly around an axis extending in the vertical direction.
Stage 102, a second θ stage 104 that rotates the work table 100 approximately 180 degrees around an axis extending in the vertical direction, a Z stage 106 that moves the work table 100 up and down, and a work table 100 in the front-rear direction (Y (Y direction), and an X stage 110 for moving the worktable 100 in the left-right direction (X direction).

【0048】ワークテーブル100、θステージ102
および104、Zステージ106ならびにYステージ1
08は、それぞれ、θステージ102および104、Z
ステージ106、Yステージ108ならびにXステージ
110に支持されている。図示の実施例では、各検査ス
テージ26は、Xステージ110により検査位置とパネ
ル受渡し位置とに移動される。しかし、検査ステージ2
6を他の機構により検査位置とパネル受渡し位置とに移
動させてもよい。
Work table 100, θ stage 102
And 104, Z stage 106 and Y stage 1
08 is the θ stages 102 and 104, and Z
The stage is supported by a stage, a Y stage, and an X stage 110. In the illustrated embodiment, each inspection stage 26 is moved by the X stage 110 to an inspection position and a panel delivery position. However, inspection stage 2
6 may be moved to the inspection position and the panel delivery position by another mechanism.

【0049】θステージ104は、検査ステージ26に
受けた液晶パネルの向きが逆の場合に、ワークテーブル
100を180度回転させて液晶パネルを正しい向きに
変更する。液晶パネルの向きが正しいか否かは、カメラ
36の出力信号を基に検査用回路において液晶パネルの
位置合せ用マークをカメラ36により撮像することがで
きたか否かを判定することにより確認することができ
る。
When the orientation of the liquid crystal panel received by the inspection stage 26 is reversed, the θ stage 104 rotates the work table 100 by 180 degrees to change the liquid crystal panel to the correct orientation. Whether or not the orientation of the liquid crystal panel is correct should be confirmed by determining whether or not the alignment mark of the liquid crystal panel has been imaged by the camera 36 in the inspection circuit based on the output signal of the camera 36. Can be.

【0050】ワークテーブル100は、上方に開口する
箱の形を有しており、また液晶パネル14を解除可能に
吸着するチャック機能を備えており、さらに液晶パネル
14の背面から照明するバックライトユニット(図示せ
ず)を内部に収納している。ステージ102,104,
106,108および110は、ワークテーブル100
を変位させる駆動機構を備える。
The work table 100 has the shape of a box that opens upward, has a chuck function for releasably adsorbing the liquid crystal panel 14, and further has a backlight unit that illuminates the liquid crystal panel 14 from behind. (Not shown) is housed inside. Stages 102, 104,
106, 108 and 110 are work tables 100
And a drive mechanism for displacing.

【0051】図1〜図4に示すように、パネル搬送機構
28は、パネル搬送ロボット112と、液晶パネル14
の受渡しをすべくロボット112に支持された一対の搬
送用アーム114と、搬送ロボット112を左右方向
(X方向)へ移動させるXステージ116とを含む。搬
送ロボット112は、トレー貯留装置20および分離収
納位置と、パネル受渡し位置および検査位置との間を検
査装置10の左右方向のほぼ全長さ範囲にわたって移動
可能である。
As shown in FIGS. 1 to 4, the panel transport mechanism 28 includes a panel transport robot 112 and a liquid crystal panel 14.
And a pair of transfer arms 114 supported by the robot 112 to transfer the transfer robot, and an X stage 116 for moving the transfer robot 112 in the left-right direction (X direction). The transfer robot 112 can move between the tray storage device 20 and the separation and storage position, the panel delivery position, and the inspection position over the substantially entire length range of the inspection device 10 in the left-right direction.

【0052】ロボット112は、両アーム114を上下
方向へ伸びる軸線の周りに同時にまたはアーム毎に角度
的に回転させる回転機構と、両アーム114を同時にま
たはアーム毎に昇降させる昇降機構と、両アーム114
をアーム114毎に前後方向(Y方向)へ移動させるY
ステージとを備える。以下の説明では、回転機構および
昇降機構は、それぞれ、両アーム114を同時に回転お
よび昇降させるものとする。
The robot 112 includes a rotating mechanism for simultaneously rotating the two arms 114 about an axis extending in the vertical direction or angularly for each arm, a raising and lowering mechanism for simultaneously raising and lowering the two arms 114 or for each arm, 114
Is moved in the front-rear direction (Y direction) for each arm 114.
And a stage. In the following description, it is assumed that the rotation mechanism and the elevating mechanism respectively rotate and elevate both arms 114 at the same time.

【0053】アーム114は、二股状の板部材により形
成されており、またロボット112の回転機構に上下方
向に間隔をおいて水平に支持されている。各アーム11
4は、真空吸着用の溝を有しており、したがって液晶パ
ネル14を解除可能に吸着する。
The arm 114 is formed of a bifurcated plate member, and is horizontally supported by the rotating mechanism of the robot 112 at intervals in the vertical direction. Each arm 11
Numeral 4 has a groove for vacuum suction, and thus releasably sucks the liquid crystal panel 14.

【0054】Xステージ116は、ロボット112を左
右方向へ移動させる移動機構を備えており、また本体フ
レーム44に配置されている。ロボット112は、検査
済または未検査の液晶パネルをいずれか一方のアーム1
14に水平に載置し、他方のアーム114を空にした状
態で、Xステージ116により、トレー貯留装置20お
よび分離収納位置と、両パネル受渡し位置および検査位
置との間を左右方向へ移動される。
The X stage 116 has a moving mechanism for moving the robot 112 in the left-right direction, and is arranged on the main body frame 44. The robot 112 moves the inspected or untested liquid crystal panel to one of the arms 1
14, with the other arm 114 being empty, the X-stage 116 moves the tray storage device 20 and the separation and storage position, and both the panel transfer position and the inspection position in the left-right direction. You.

【0055】分離収納器22に対する液晶パネル14の
受渡しをするとき、ロボット112は、分離収納器22
からの未検査の液晶パネルの受け取りと、分離収納器2
2への検査済の液晶パネルの転載とを、その順でまたは
その逆の順で行う。
When transferring the liquid crystal panel 14 to the separation container 22, the robot 112
Of uninspected liquid crystal panel from the company and separation container 2
The transfer of the inspected liquid crystal panel to No. 2 is performed in that order or vice versa.

【0056】未検査の液晶パネルを分離収納器22から
受け取るとき、ロボット112は、先ずXステージ11
6により分離収納器22の手前に移動され、次いで両ア
ームを分離収納器22の側へ変位させ、次いで空のアー
ムを分離収納器22の側へ前進させて図8に示すように
空のアームを分離収納器22に載置されたトレー12と
液晶パネル14との間へ移動させ、次いで図8に示すよ
うに空のアームを上昇させる。
When an untested liquid crystal panel is received from the separation container 22, the robot 112 first moves the X stage 11
6, the arm is displaced to the side of the separation container 22, then both arms are displaced to the side of the separation container 22, and then the empty arm is advanced to the side of the separation container 22 to move the empty arm as shown in FIG. Is moved between the liquid crystal panel 14 and the tray 12 placed on the separation container 22, and then the empty arm is raised as shown in FIG.

【0057】これにより、支柱86に載置されていた未
検査の液晶パネルは分離収納器22側からアームに渡さ
れ、そのアームは受けた液晶パネルを吸着した状態で後
退される。分離収納位置における未検査の液晶パネルの
受渡しの間、検査済の液晶パネルを載置しているアーム
は、分離収納器22から後退されている。両アーム11
4がアーム毎に回転されるときは、検査済の液晶パネル
を載置しているアームを分離収納器22の側と反対の側
へ変位させておいてもよい。
As a result, the untested liquid crystal panel placed on the support 86 is transferred to the arm from the side of the separation container 22, and the arm is retracted with the received liquid crystal panel being sucked. During the delivery of the untested liquid crystal panel at the separated storage position, the arm on which the tested liquid crystal panel is placed is retracted from the separation storage device 22. Both arms 11
When the arm 4 is rotated for each arm, the arm on which the inspected liquid crystal panel is placed may be displaced to the side opposite to the side of the separation container 22.

【0058】検査済の液晶パネルを分離収納器22に転
載するとき、ロボット112は、先ず検査済の液晶パネ
ルを載置しているアームを分離収納器22の上方へ移動
させ、次いでそのアームを支柱86の上端よりやや下側
に下降させて検査済の液晶パネルを支柱86に載置し、
次いでそのアームを分離収納器22から後退させる。こ
の間、他のアームは分離収納器22から後退されてい
る。両アーム114がアーム毎に回転されるときは、他
のアームを分離収納器22の側と反対の側へ変位させて
おいてもよい。
When transferring the inspected liquid crystal panel to the separation container 22, the robot 112 first moves the arm on which the inspected liquid crystal panel is mounted above the separation container 22, and then moves the arm. The tested liquid crystal panel is placed on the support 86 by lowering it slightly below the upper end of the support 86,
Next, the arm is retracted from the separation container 22. During this time, the other arm is retracted from the separation container 22. When both arms 114 are rotated for each arm, the other arm may be displaced to the side opposite to the side of the separation container 22.

【0059】パネル搬送機構28は、検査ステージに対
する液晶パネル14の受渡しをするときも、分離収納器
22に対して液晶パネルの受渡しをするときと同様に動
作する。しかし、液晶パネル14を検査ステージ26に
渡すときにアライメント装置32によりアーム114に
対する液晶パネルの粗アライメントをされ、液晶パネル
の受渡し位置に移動している検査ステージ26に液晶パ
ネルを受け渡す。
The panel transport mechanism 28 operates when the liquid crystal panel 14 is delivered to the inspection stage in the same manner as when the liquid crystal panel is delivered to the separation and storage unit 22. However, when the liquid crystal panel 14 is transferred to the inspection stage 26, the alignment device 32 performs rough alignment of the liquid crystal panel with respect to the arm 114, and transfers the liquid crystal panel to the inspection stage 26 that is moving to the liquid crystal panel transfer position.

【0060】パネル搬送機構28は、分離収納器22に
対する液晶パネルの受渡しを終了すると、検査済の液晶
パネルを載置している検査ステージ26に対するパネル
受渡し位置へ移動し、検査ステージ26に対する液晶パ
ネルの受渡しを終了すると、未検査の液晶パネルを載置
している分離収納器22の設置位置へ移動する。この
間、他の検査ステージ26に載置された液晶パネルの検
査が実行される。
When the transfer of the liquid crystal panel to the separation container 22 is completed, the panel transport mechanism 28 moves to the panel transfer position with respect to the inspection stage 26 on which the inspected liquid crystal panel is mounted, and the liquid crystal panel with respect to the inspection stage 26 is moved. Is completed, the apparatus moves to the installation position of the separation container 22 on which the untested liquid crystal panel is placed. During this time, the inspection of the liquid crystal panel mounted on another inspection stage 26 is performed.

【0061】図13および図14に示すように、アライ
メント装置32は、矩形のアライメントベース120
と、液晶パネル14の位置を調整すべく相寄り相離れる
方向へ移動される少なくとも2組の当接部材122と、
当接部材122の組毎に設けられた少なくとも2組の支
持機構124と、支持機構124の組毎に設けられた少
なくとも2組の移動機構126と、当接部材122の組
毎に設けられた感知手段128とを含む。
As shown in FIGS. 13 and 14, the alignment device 32 has a rectangular alignment base 120.
And at least two sets of abutting members 122 that are moved in directions that are close to and away from each other to adjust the position of the liquid crystal panel 14;
At least two sets of support mechanisms 124 provided for each set of contact members 122, at least two sets of moving mechanisms 126 provided for each set of support mechanisms 124, and provided for each set of contact members 122 And sensing means 128.

【0062】アライメントベース120は、液晶パネル
14より大きい矩形の開口を有する板状部材から形成さ
れており、またパネル受渡し位置へ搬送された液晶パネ
ル14と平行に本体フレームに取り付けられており、さ
らに四角形の辺に相当する4つの辺部分を有する。
The alignment base 120 is formed of a plate-like member having a rectangular opening larger than the liquid crystal panel 14, and is attached to the main body frame in parallel with the liquid crystal panel 14 transported to the panel delivery position. It has four side portions corresponding to the sides of the rectangle.

【0063】当接部材122は、図示の例では、ローラ
であるが、他の部材であってもよい。各支持機構124
は、当接部材122を液晶パネル14と交差する軸線の
周りに回転可能に支持する。各移動機構126は、支持
機構124を相寄り相離れる方向へ変位させて、当接部
材122を同方向へ変位させる。各感知手段128は、
当接部材122が所定の位置まで接近したことを感知す
る。
The contact member 122 is a roller in the illustrated example, but may be another member. Each support mechanism 124
Supports the contact member 122 so as to be rotatable around an axis intersecting with the liquid crystal panel 14. Each moving mechanism 126 displaces the support mechanism 124 in a direction in which the support mechanism 124 is shifted toward and away from each other, and displaces the contact member 122 in the same direction. Each sensing means 128
It senses that the contact member 122 has approached a predetermined position.

【0064】各支持機構124は、長尺の一対のスライ
ダ130をアライメントベース120の対向する辺部分
に相寄り相離れる方向へ移動可能に配置し、L字状に曲
げられたブラケット132を各スライダ130の長手方
向中央部に取り付けている。各スライダ130の両端部
は、アライメントベース120の辺部分にスライダ13
0の移動方向へ伸びる状態にねじ止めされたガイド13
4に受けられている。各ブラケット132は、スライダ
130から下方へ伸び、次いで内側に向けて水平に伸び
る状態に、スライダ130にねじ止めされている。
Each support mechanism 124 arranges a pair of long sliders 130 so as to be movable toward and away from each other on opposing sides of the alignment base 120, and attaches an L-shaped bracket 132 to each of the sliders. 130 is attached to the center in the longitudinal direction. Both ends of each of the sliders 130 are attached to the sides of the alignment base 120 by the sliders 13.
Guide 13 screwed so as to extend in the direction of movement 0
4 received. Each bracket 132 is screwed to the slider 130 so as to extend downward from the slider 130 and then extend horizontally inward.

【0065】1つのブラケット132は、図14に示す
ように、水平に伸びる部分の先端からそのブラケットの
移動方向と直交する方向へ伸びる2つの延長部136を
有しており、また各延長部136の先端に当接部材12
2を上下方向へ伸びる軸線の周りに回転可能に支持して
いる。他のブラケット132は、当接部材122を水平
に伸びる部分に上下方向へ伸びる軸線の周りに回転可能
に支持している。
As shown in FIG. 14, one bracket 132 has two extending portions 136 extending from the end of the horizontally extending portion in a direction perpendicular to the moving direction of the bracket. Contact member 12 at the tip of
2 is rotatably supported around an axis extending in the vertical direction. The other bracket 132 supports the contact member 122 at a portion extending horizontally so as to be rotatable around an axis extending vertically.

【0066】当接部材122は、液晶パネル14の縁部
に当接する。図示の例では、一方の組の当接部材122
の移動方向と他方の組のローラ当接部材の移動方向とが
アーム114上の液晶パネル14と平行な面内で直交す
るが、それらの移動方向は90度以外の角度で交差して
もよい。
The contact member 122 contacts the edge of the liquid crystal panel 14. In the illustrated example, one set of the contact members 122
Is perpendicular to the direction of movement of the other set of roller contact members in a plane parallel to the liquid crystal panel 14 on the arm 114, but the directions of movement may intersect at an angle other than 90 degrees. .

【0067】各移動機構126は、スライダ130に対
応されかつスライダ130に連結されたラック138を
ピニオン歯車140に噛合させ、一方のスライダ130
をエアーシリンダのような往復移動機構142により往
復移動させることにより、両ラック138を移動させ
て、他方のスライダ130を移動させる。
Each moving mechanism 126 has a rack 138 corresponding to and connected to the slider 130 meshed with a pinion gear 140, and one of the sliders 130
Is reciprocated by a reciprocating mechanism 142 such as an air cylinder, thereby moving both racks 138 and moving the other slider 130.

【0068】ピニオン歯車140は、アライメントベー
ス120に取り付けられた連結部材143に水平方向へ
伸びる軸線の周りに回転可能に支持されている。両ラッ
ク138は、ピニオン歯車140の反対の側に噛合する
ように、一端部においてスライダ130の端部に連結さ
れており、また中央に向けて伸びる。このため、両ラッ
ク138は、互いに反対の方向へ同期して移動され、そ
れにより両スライダ130は相寄り相離れる方向へ移動
される。
The pinion gear 140 is supported by a connecting member 143 attached to the alignment base 120 so as to be rotatable around an axis extending in the horizontal direction. Both racks 138 are connected at one end to the end of the slider 130 so as to mesh with the opposite side of the pinion gear 140, and extend toward the center. Therefore, both racks 138 are synchronously moved in directions opposite to each other, whereby both sliders 130 are moved in directions that are close to and away from each other.

【0069】一方の支持機構124のスライダ130
と、一方の移動機構126とは、アライメントベース1
20の上側に配置されている。これに対し、他方の支持
機構124のスライダ130と、他方の移動機構126
とは、アライメントベース120の下側に配置されてい
る。一方のスライダ130を往復移動機構142により
移動させる代わりに、一方のラック138を往復移動機
構142により移動させてもよいし、ピニオン歯車14
0を回転機構により回転させてもよい。
The slider 130 of the one support mechanism 124
And one moving mechanism 126 are the alignment base 1
20. On the other hand, the slider 130 of the other support mechanism 124 and the other moving mechanism 126
Is disposed below the alignment base 120. Instead of moving one slider 130 by the reciprocating mechanism 142, one rack 138 may be moved by the reciprocating mechanism 142 or the pinion gear 14.
0 may be rotated by a rotation mechanism.

【0070】各感知手段128は、一方の支持機構12
4の移動方向へ伸びる取付レール144をアライメント
ベース120に配置し、センサ146を取付レール14
4にこれの長手方向における位置を変更可能に組み付
け、シャッタ148をこれが一方の支持機構124とと
もに移動されてセンサ146に感知されるように一方の
支持機構124に連結している。
Each sensing means 128 is connected to one of the support mechanisms 12.
The mounting rail 144 extending in the moving direction of the mounting rail 144 is disposed on the alignment base 120, and the sensor 146 is mounted on the mounting rail 140.
The shutter 148 is connected to one of the support mechanisms 124 such that the shutter 148 is moved together with the one of the support mechanisms 124 and detected by the sensor 146.

【0071】センサ146として、発光素子と受光素子
とを備えた光学的センサ、リードスイッチのような近接
センサ等、適宜なセンサを用いることができる。センサ
146は、当接部材122がアーム114上の液晶パネ
ル14の縁部に当接したとき、シャッタ148を感知す
るように、ねじ部材150により取付レール144に組
み付けられている。
As the sensor 146, an appropriate sensor such as an optical sensor having a light emitting element and a light receiving element and a proximity sensor such as a reed switch can be used. The sensor 146 is attached to the mounting rail 144 by the screw member 150 so as to detect the shutter 148 when the contact member 122 contacts the edge of the liquid crystal panel 14 on the arm 114.

【0072】アライメントをするとき、液晶パネルがア
ーム114から解放された状態で、両往復移動機構12
6が同時に動作する。これにより、先ず各支持機構12
4のスライダ130が、相寄る方向へ移動され、次いで
相離れる方向へ移動されるから、当接部材122および
シャッタ148が往復移動される。
When performing alignment, with the liquid crystal panel released from the arm 114, the two reciprocating mechanisms 12
6 operate simultaneously. As a result, first, each support mechanism 12
Since the fourth slider 130 is moved in the direction toward each other and then in the direction away from each other, the contact member 122 and the shutter 148 are reciprocated.

【0073】当接部材122は、中央側へ移動されるこ
とにより、液晶パネル14の外側縁部に当接する。アー
ム114に対する液晶パネル14の姿勢および位置がず
れていると、いずれかの当接部材122が他の当接部材
より先に液晶パネル14の縁部に当接するから、液晶パ
ネル14がアーム114に対して変位され、全ての当接
部材122が液晶パネル14の縁部に当接することによ
り、アーム114に対する液晶パネル14の姿勢および
位置が修正される。
The contact member 122 contacts the outer edge of the liquid crystal panel 14 by being moved toward the center. If the posture and position of the liquid crystal panel 14 with respect to the arm 114 are shifted, any one of the contact members 122 contacts the edge of the liquid crystal panel 14 before the other contact members. The position and the position of the liquid crystal panel 14 with respect to the arm 114 are corrected by being displaced and all the contact members 122 abutting against the edge of the liquid crystal panel 14.

【0074】シャッタ148は、対応する組の全ての当
接部材122が液晶パネル14の縁部に当接したとき、
センサ146に感知され、それにより対応する往復移動
機構126が停止される。これにより、過剰の押圧力が
液晶パネルに作用するおそれが泣く、液晶パネルの損傷
を防止することができる。
When all the contact members 122 of the corresponding set come into contact with the edge of the liquid crystal panel 14, the shutter 148
It is sensed by the sensor 146, thereby stopping the corresponding reciprocating mechanism 126. Thereby, the possibility that the excessive pressing force acts on the liquid crystal panel is reduced, and the liquid crystal panel can be prevented from being damaged.

【0075】両センサ146がともにシャッタ148を
感知すると、液晶パネルは、受渡し位置の検査ステージ
に移された状態において位置合せ用マークがカメラ36
の視野に入るように、姿勢および位置を調整され、その
結果粗アライメントが終了する。その後、往復移動機構
126は逆に動作し、ローラ122およびスライダ13
0を後退させる。
When both the sensors 146 sense the shutter 148, the liquid crystal panel moves the alignment mark to the camera 36 when the liquid crystal panel is moved to the inspection stage at the delivery position.
The posture and the position are adjusted so as to enter the field of view, and as a result, the rough alignment ends. Thereafter, the reciprocating mechanism 126 operates in reverse, and the roller 122 and the slider 13
Move back 0.

【0076】アライメント装置32は、当接部材122
の最大移動範囲より小さい各種の大きさの液晶パネルの
アライメントに適用することができる。また、液晶パネ
ルの種類(大きさ)を変更したときは、センサ146を
取付レール144へのセンサ146の取付位置を変更す
ることにより、粗アライメントに起因する液晶パネルの
損傷を確実に防止することができる。さらに、当接部材
122がローラであると、ローラと液晶パネルとの相対
的移動により生じる両者間の摩擦抵抗が非常に小さいか
ら、アーム114に対する液晶パネルの変位が円滑にな
る。
The alignment device 32 includes a contact member 122
The present invention can be applied to alignment of liquid crystal panels of various sizes smaller than the maximum movement range. In addition, when the type (size) of the liquid crystal panel is changed, the position of the sensor 146 on the mounting rail 144 is changed so that the damage of the liquid crystal panel due to the rough alignment is reliably prevented. Can be. Further, when the contact member 122 is a roller, the frictional resistance between the roller and the liquid crystal panel caused by the relative movement between the roller and the liquid crystal panel is very small, so that the displacement of the liquid crystal panel with respect to the arm 114 is smooth.

【0077】図示の実施例では、両感知手段の取付レー
ル144およびセンサ146をアライメントベース12
0の上側に配置し、アライメントベース120の下側に
配置されたスライダ130に連結されたシャッタ148
を、アライメントベース120に形成された穴に通し
て、アライメントベース120の上側に配置されたセン
サ146に感知させるようにしたから、取付レール14
4へのセンサ146の取付位置の変更作業が容易にな
る。
In the embodiment shown, the mounting rail 144 and the sensor 146 of both sensing means are connected to the alignment base 12.
0, and is connected to a slider 130 disposed below the alignment base 120.
Is passed through a hole formed in the alignment base 120 to be detected by a sensor 146 disposed above the alignment base 120.
The work of changing the mounting position of the sensor 146 to the sensor 4 becomes easy.

【0078】図1〜図3、図15および図16に示すよ
うに、プローブユニット30は、長方形をした板状のプ
ローブベース160と、プローブベース160に1以上
のねじ部材により組み付けられたL字状の複数のプロー
ブブロック162とを備える。プローブベース160
は、液晶パネル14と相似の長方形の開口164を中央
に有する。各プローブブロック162は、開口164を
介して下側に達するように他端部においてプローブベー
ス160の上面に取り付けられている。各プローブブロ
ック162は、図示しない複数のプローブを一端部に有
する。各プローブは、図示しないケーブルにより検査用
電気回路に接続されている。
As shown in FIGS. 1 to 3, 15 and 16, the probe unit 30 has a rectangular plate-like probe base 160, and an L-shape attached to the probe base 160 by one or more screw members. And a plurality of probe blocks 162 in the shape of a circle. Probe base 160
Has a rectangular opening 164 similar to the liquid crystal panel 14 at the center. Each probe block 162 is attached to the upper surface of the probe base 160 at the other end so as to reach the lower side via the opening 164. Each probe block 162 has a plurality of probes (not shown) at one end. Each probe is connected to a test electric circuit by a cable (not shown).

【0079】図2および図4に示すように、撮像ユニッ
ト34は、検査位置に移動された液晶パネル14を上方
から撮像するテレビカメラ170と、カメラ170を上
下方向へ移動させる第1のカメラ移動機構172と、液
晶パネルとプローブとの接触部を撮像するテレビカメラ
174と、カメラ174を前後および左右方向へ移動さ
せる第2のカメラ移動機構176とを備える。カメラ移
動機構172および176は、本体フレーム44に取り
付けられており、またそれぞれカメラ170および17
4を下向きに支持している。
As shown in FIGS. 2 and 4, the imaging unit 34 includes a television camera 170 for imaging the liquid crystal panel 14 moved to the inspection position from above, and a first camera movement for moving the camera 170 in the vertical direction. The camera includes a mechanism 172, a television camera 174 that captures an image of a contact portion between the liquid crystal panel and the probe, and a second camera moving mechanism 176 that moves the camera 174 in the front-back and left-right directions. The camera moving mechanisms 172 and 176 are attached to the body frame 44, and the cameras 170 and 17 respectively.
4 is supported downward.

【0080】カメラ170の出力信号は、液晶表示パネ
ルの良否の検査のために、図示しない検査用電気回路に
供給される。カメラ170の高さ位置は、作業者がカメ
ラ移動機構172を予め制御することにより、検査すべ
き液晶パネルの種類に応じて調整される。カメラ174
による撮影画像は、液晶パネルとプローブとの接触状態
の確認のために、検査用電気回路によりモニタに表示さ
れる。左右方向におけるカメラ174の位置は、液晶パ
ネルとプローブとの接触状態を確認すべく第2のカメラ
移動機構176により調整される。
The output signal of the camera 170 is supplied to an electric circuit for inspection (not shown) for inspecting the quality of the liquid crystal display panel. The height position of the camera 170 is adjusted according to the type of the liquid crystal panel to be inspected by the operator controlling the camera moving mechanism 172 in advance. Camera 174
Is displayed on a monitor by an electric circuit for inspection in order to confirm the contact state between the liquid crystal panel and the probe. The position of the camera 174 in the left-right direction is adjusted by the second camera moving mechanism 176 to check the contact state between the liquid crystal panel and the probe.

【0081】第1および第2のカメラ36,38は、本
体フレーム44に取り付けられたブラケット180に支
持されており、第3のカメラ40はユニット支持機構4
2に支持されている。第1および第3のカメラ36,4
0の出力信号は、プローブユニット30に対する液晶パ
ネル14の姿勢および位置を調整するために、検査用電
気回路に供給される。液晶パネル14の姿勢および位置
の調整は、検査ステージ26を検査用電気回路により動
作させて、ワークテーブル100を変位させることによ
り、行われる。第2のカメラ38の出力信号は、検査す
る液晶パネルの識別番号を解読し、その識別番号に対応
する液晶パネルの検査結果をメモリに記憶させておくた
めに、検査用電気回路に供給される。
The first and second cameras 36 and 38 are supported by a bracket 180 attached to the main body frame 44, and the third camera 40 is connected to the unit support mechanism 4
2 supported. First and third cameras 36, 4
The output signal of “0” is supplied to the inspection electric circuit in order to adjust the attitude and the position of the liquid crystal panel 14 with respect to the probe unit 30. The adjustment of the posture and the position of the liquid crystal panel 14 is performed by operating the inspection stage 26 by the inspection electric circuit and displacing the work table 100. The output signal of the second camera 38 is supplied to an electric circuit for inspection in order to decode the identification number of the liquid crystal panel to be inspected and store the inspection result of the liquid crystal panel corresponding to the identification number in the memory. .

【0082】図15および図16に示すように、ユニッ
ト支持機構42は、本体フレーム44の検査位置に取り
付けられたベースプレート192と、該ベースプレート
に前後方向へ移動可能に水平に組み付けられた板状のス
ライドベース194とを備える。プローブユニット30
は複数のねじ部材196によりスライドベース194の
上に取り外し可能に水平に組み付けられており、アライ
メント用カメラ40はベースプレート192の上に取り
付けられている。
As shown in FIGS. 15 and 16, the unit support mechanism 42 has a base plate 192 attached to the inspection position of the main body frame 44, and a plate-like member horizontally mounted on the base plate movably in the front-rear direction. And a slide base 194. Probe unit 30
Is mounted horizontally on a slide base 194 so as to be detachable by a plurality of screw members 196, and the alignment camera 40 is mounted on a base plate 192.

【0083】ベースプレート192は、スライドベース
194を前後方向へ移動可能に受ける一対のレール19
8を有する。スライドベース194は、これがベースプ
レート192に対して移動されたとき、図示しないロッ
ク手段により、プローブユニット30が検査位置となる
第1の位置と本体フレーム44の外となる第2の位置と
にスライドベース194を解除可能に維持される。しか
し、スライドベース194を、第1の位置に解除可能に
維持し、第2の位置には解除可能に維持しなくてもよ
い。
The base plate 192 has a pair of rails 19 that receive the slide base 194 movably in the front-rear direction.
8 When the slide base 194 is moved with respect to the base plate 192, the slide base is moved by a locking means (not shown) between a first position where the probe unit 30 is at the inspection position and a second position where the probe unit 30 is outside the main body frame 44. 194 is kept releasable. However, the slide base 194 does not have to be releasably maintained at the first position and not at the second position.

【0084】ベースプレート192およびスライドベー
ス194は、それぞれ、スライドベース194が第1の
位置に移動されているとき、カメラ40,170,17
4による液晶パネルの撮像を妨げない開口200および
202を有する。
The base plate 192 and the slide base 194 respectively move the cameras 40, 170, and 17 when the slide base 194 is moved to the first position.
4 has openings 200 and 202 which do not prevent the imaging of the liquid crystal panel.

【0085】スライドベース194は、検査の間第1の
位置に維持される。これに対し、スライドベース194
は、プローブユニット30を交換するときおよびプロー
ブユニット30の修理または調整をするときに第2の位
置に引き出され、交換後もしくは修理または調整後第1
の位置に押し込まれる。このため、プローブユニット3
0の交換、修理および調整が容易になる。
[0085] The slide base 194 is maintained in the first position during the inspection. On the other hand, the slide base 194
Is pulled out to the second position when the probe unit 30 is replaced and when the probe unit 30 is repaired or adjusted.
Is pushed into the position of. Therefore, the probe unit 3
Replacement, repair, and adjustment of 0 are facilitated.

【0086】検査時、トレー12は、トレー搬送機構2
4によりトレー貯留装置20から分離収納位置へ搬送さ
れ、分離収納器22に移され、所定の高さ位置に下げら
れる。これにより、トレー12に収納されている未検査
の液晶パネル14は、図6に示すように、トレー12か
ら分離される。
At the time of inspection, the tray 12 is
By 4, it is conveyed from the tray storage device 20 to the separation and storage position, moved to the separation and storage device 22, and lowered to a predetermined height position. As a result, the untested liquid crystal panel 14 stored in the tray 12 is separated from the tray 12 as shown in FIG.

【0087】分離された液晶パネル14は、パネル搬送
機構28の一方のアーム114に受けられる。この時点
において、検査済の液晶パネルが他方のアームに載置さ
れていると、その検査済の液晶パネルは、パネル搬送機
構28から分離収納器22に移され、分離収納器22に
残存する空のトレーに収納された後、そのトレーととも
にトレー搬送機構24により所定のトレー貯留装置20
に移される。
The separated liquid crystal panel 14 is received by one arm 114 of the panel transport mechanism 28. At this point, if the inspected liquid crystal panel is placed on the other arm, the inspected liquid crystal panel is transferred from the panel transport mechanism 28 to the separation and storage device 22, and the empty liquid remaining in the separation and storage device 22 is removed. After being stored in a tray, a predetermined tray storage device 20 is moved by the tray transport mechanism 24 together with the tray.
Moved to

【0088】パネル搬送機構28に移された未検査の液
晶パネルは、パネル搬送機構28により分離収納位置か
らパネル受渡し位置へ搬送され、パネル受渡し位置にお
いてアーム114に対する粗アライメントをされる。こ
の時点において、検査済の液晶パネルがパネル受渡し位
置に移動されている検査ステージ26に載置されている
と、パネル搬送機構28は、検査済の液晶パネルを検査
ステージ26から他方のアーム114に受け取った後、
未検査の液晶パネルを空になった検査ステージ26に移
す。
The uninspected liquid crystal panel transferred to the panel transport mechanism 28 is transported from the separated storage position to the panel delivery position by the panel transport mechanism 28, and is roughly aligned with the arm 114 at the panel delivery position. At this point, if the inspected liquid crystal panel is placed on the inspection stage 26 that has been moved to the panel delivery position, the panel transport mechanism 28 transfers the inspected liquid crystal panel from the inspection stage 26 to the other arm 114. After receiving,
The untested liquid crystal panel is moved to an empty inspection stage 26.

【0089】粗アライメントは、液晶パネルがアーム1
14から解放された状態で、アライメント機構32によ
り行われる。粗アライメントは、検査済の液晶パネルの
受渡しの後に行ってもよい。未検査の液晶パネルおよび
検査済の液晶パネルの受渡しが終了すると、パネル搬送
機構28は次の液晶パネルの搬送および受渡しのため
に、分離収納位置へ移動される。
In the rough alignment, the liquid crystal panel is the arm 1
The alignment is performed by the alignment mechanism 32 in a state of being released from. The rough alignment may be performed after the delivery of the inspected liquid crystal panel. When the delivery of the uninspected liquid crystal panel and the inspected liquid crystal panel is completed, the panel transport mechanism 28 is moved to the separated storage position for transporting and delivering the next liquid crystal panel.

【0090】検査ステージ26に移された未検査の液晶
パネルは、それに形成された位置合せ用マークおよび識
別コードをそれぞれカメラ36および38により撮像さ
れ、カメラ36の出力信号を用いて精密アライメントを
される。精密アライメントは、検査ステージ26のワー
クテーブル100を適宜なステージによって移動させる
ことにより、行われる。このとき、液晶パネルの向きが
逆であると、検査ステージ26は、そのワークテーブル
100を180度回転させて、液晶パネルを正しい向き
に修正する。
The uninspected liquid crystal panel transferred to the inspection stage 26 is imaged by the cameras 36 and 38 with the alignment mark and the identification code formed thereon, and is precisely aligned using the output signal of the camera 36. You. The precise alignment is performed by moving the work table 100 of the inspection stage 26 by an appropriate stage. At this time, if the orientation of the liquid crystal panel is reversed, the inspection stage 26 rotates the work table 100 by 180 degrees to correct the liquid crystal panel to the correct orientation.

【0091】他方の検査ステージ26に載置されている
液晶パネルの点灯検査は、上記の間に行われる。他方の
検査ステージは、他方のパネル受渡し位置に移動されて
待機する。このため、未検査の液晶パネルを載置してい
る検査ステージ26は、精密アライメントが終了した
後、検査位置に移動される。
The lighting inspection of the liquid crystal panel mounted on the other inspection stage 26 is performed during the above. The other inspection stage is moved to the other panel delivery position and waits. Therefore, the inspection stage 26 on which the untested liquid crystal panel is placed is moved to the inspection position after the completion of the precision alignment.

【0092】未検査の液晶パネルは、検査位置におい
て、位置合せ用マークをカメラ40により撮像され、カ
メラ40の出力信号を用いて精密アライメントをされ、
検査ステージ26により上昇されてプローブユニット3
0に押圧される。プローブユニット30と液晶パネル1
4との接触状態は、カメラ174により撮像され、その
出力信号を基に検査用電気回路において接触の良否を判
定される。
At the inspection position, the liquid crystal panel which has not been inspected is imaged at the inspection position by the camera 40, and is precisely aligned using the output signal of the camera 40.
Probe unit 3 raised by inspection stage 26
Pressed to zero. Probe unit 30 and liquid crystal panel 1
The state of contact with 4 is imaged by the camera 174, and the quality of the contact is determined in the inspection electric circuit based on the output signal.

【0093】接触状態が正しくないと、再アライメント
が行われる。アライメントのやり直しは、ワークテーブ
ル100を下げた後、カメラ40の出力信号を基に検査
ステージ26の適宜なステージによりワークテーブル1
00を変位させることにより行われる。変位量またはワ
ークテーブルの座標値は、その後の液晶パネルの姿勢お
よび位置の調整のために検査用電気回路のメモリに記憶
される。
If the contact state is not correct, realignment is performed. The alignment is performed again by lowering the work table 100 and then using the appropriate stage of the inspection stage 26 based on the output signal of the camera 40.
00 is displaced. The displacement amount or the coordinate value of the work table is stored in the memory of the inspection electric circuit for the subsequent adjustment of the posture and position of the liquid crystal panel.

【0094】カメラ174の出力信号を用いた前記の判
定、ワークテーブル100の調整は、最初の液晶パネル
の検査時のみ行われる。このため、検査時間が短縮す
る。しかし、それらを1以上の液晶パネル毎に行っても
よい。
The above determination using the output signal of the camera 174 and the adjustment of the work table 100 are performed only at the first inspection of the liquid crystal panel. Therefore, the inspection time is reduced. However, they may be performed for one or more liquid crystal panels.

【0095】接触状態が正しいと、点灯検査は、液晶パ
ネルを所定のパターンに点灯させ、その状態をカメラ1
70で撮像し、カメラ170の出力信号を検査用電気回
路において処理することにより、行われる。検査結果
は、その液晶パネルの識別コードとともに、検査用電気
回路のメモリに記憶される。
If the contact state is correct, the lighting inspection turns on the liquid crystal panel in a predetermined pattern and checks the state by the camera 1.
This is performed by taking an image at 70 and processing the output signal of the camera 170 in an electric circuit for inspection. The inspection result is stored in the memory of the inspection electric circuit together with the identification code of the liquid crystal panel.

【0096】検査が終了すると、検査ステージ26は、
基のパネル受渡し位置へ戻される。未検査の液晶パネル
の検査の間、次の液晶パネルが他方の検査ステージ26
に準備される。検査用電気回路は、たとえば、コンピュ
ータのような信号処理装置と通電装置で構成することが
できる。
When the inspection is completed, the inspection stage 26
It is returned to the original panel delivery position. During the inspection of the untested liquid crystal panel, the next liquid crystal panel is connected to the other inspection stage 26.
Be prepared for. The inspection electric circuit can be composed of, for example, a signal processing device such as a computer and an energizing device.

【0097】上記のように、トレーに対する液晶パネル
の分離および収納、ならびに、検査ステージに対する液
晶パネルの受渡しが自動的に行われ、トレーに収納され
た液晶パネルの検査が効率よく行われる。
As described above, the separation and storage of the liquid crystal panel with respect to the tray and the transfer of the liquid crystal panel to the inspection stage are automatically performed, and the inspection of the liquid crystal panel stored in the tray is performed efficiently.

【0098】本発明は、上記実施例に限定されることな
く、種々改良することができる。たとえば、全ての移動
機構をアライメントベースの同じ側に配置してもよい。
また、アライメントベースを本体フレームの一部分とし
てもよい。
The present invention can be variously improved without being limited to the above embodiment. For example, all the moving mechanisms may be arranged on the same side of the alignment base.
Further, the alignment base may be a part of the main body frame.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のアライメント装置を備えた検査装置の
一実施例を示す平面図であって本体フレームの上部カバ
ーを取り外した平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of an inspection device provided with an alignment device of the present invention, and is a plan view in which an upper cover of a main body frame is removed.

【図2】図1の検査装置の正面図である。FIG. 2 is a front view of the inspection device of FIG.

【図3】図2の2−線に沿って得た断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line 2- of FIG. 2;

【図4】図2の検査装置の左側面図である。FIG. 4 is a left side view of the inspection device of FIG. 2;

【図5】図2の検査装置の背面図である。FIG. 5 is a rear view of the inspection device of FIG. 2;

【図6】トレーと分離収納器の一実施例を示す斜視図で
ある。
FIG. 6 is a perspective view showing an embodiment of a tray and a separation container.

【図7】図6の分離収納器によるトレーに対する液晶パ
ネルの分離・収納状態を説明するための図である。
FIG. 7 is a view for explaining a state in which a liquid crystal panel is separated and stored in a tray by the separation and storage device of FIG. 6;

【図8】分離収納器とパネル搬送機構との間における液
晶パネルの受渡を説明するための図である。
FIG. 8 is a view for explaining delivery of the liquid crystal panel between the separation container and the panel transport mechanism.

【図9】トレー貯留装置の一実施例を示す平面図であ
る。
FIG. 9 is a plan view showing an embodiment of the tray storage device.

【図10】図9のトレー貯留装置の正面図である。FIG. 10 is a front view of the tray storage device of FIG. 9;

【図11】図9のトレー貯留装置の左側面図である。FIG. 11 is a left side view of the tray storage device of FIG. 9;

【図12】図9のトレー貯留装置の底面図である。FIG. 12 is a bottom view of the tray storage device of FIG. 9;

【図13】本発明のアライメント装置の一実施例を示す
斜視図である。
FIG. 13 is a perspective view showing an embodiment of the alignment apparatus of the present invention.

【図14】図13のアライメント装置の底面図である。FIG. 14 is a bottom view of the alignment apparatus of FIG.

【図15】ユニット支持機構の一実施例を示す平面図で
ある。
FIG. 15 is a plan view showing one embodiment of a unit support mechanism.

【図16】図15における16−16線に沿って得た断
面図である。
16 is a cross-sectional view taken along line 16-16 in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 検査装置 12 トレー 14 液晶パネル 20 トレー貯留装置(トレーポート) 22 分離収納器 24 トレー搬送機構 26 検査ステージ 28 パネル搬送機構 30 プローブユニット 32 アライメント装置 120 アライメントベース 122 当接部材(ローラ) 124 支持機構 126 移動機構 128 感知手段 130 スライダ 138 ラック 140 ピニオン歯車 142 往復移動機構 144 取付レール 146 センサ 148 レバー 150 ねじ部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Inspection apparatus 12 Tray 14 Liquid crystal panel 20 Tray storage device (tray port) 22 Separation container 24 Tray transport mechanism 26 Inspection stage 28 Panel transport mechanism 30 Probe unit 32 Alignment apparatus 120 Alignment base 122 Contact member (roller) 124 Support mechanism 126 moving mechanism 128 sensing means 130 slider 138 rack 140 pinion gear 142 reciprocating moving mechanism 144 mounting rail 146 sensor 148 lever 150 screw member

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 アライメントをすべき矩形の液晶パネル
と平行な面内で交差する方向へ移動可能の少なくとも2
組の当接部材と、該当接部材の組に対応されて対応する
組の当接部材を相寄り相離れる方向へ移動させる少なく
とも2組の移動手段とを含む、液晶パネルのアライメン
ト装置。
1. At least two movable parts in a direction intersecting in a plane parallel to a rectangular liquid crystal panel to be aligned.
An alignment device for a liquid crystal panel, comprising: a set of abutting members; and at least two sets of moving means corresponding to the set of the abutting members and configured to move the corresponding set of abutting members toward and away from each other.
【請求項2】 各当接部材は、四角形の辺に対応する液
晶パネルの縁部に接触すべく前記支持手段に上下方向へ
伸びる軸線の周りに回転可能に支持されたローラであ
り、また相寄る方向へ移動されることにより四角形の辺
に対応する液晶パネルの縁部に当接する、請求項1に記
載のアライメント装置。
2. Each of the abutting members is a roller rotatably supported by an axis extending vertically in the supporting means so as to contact an edge of the liquid crystal panel corresponding to a side of the square. The alignment device according to claim 1, wherein the alignment device contacts the edge of the liquid crystal panel corresponding to the side of the quadrangle by being moved in a direction toward the position.
【請求項3】 さらに、当接部材の組に対応されて対応
する組の当接部材を支持する2組の支持手段であって前
記移動手段により相寄り相離れる方向へ移動される2組
の支持手段を含む、請求項1または2に記載のアライメ
ント装置。
3. Two sets of support means corresponding to the set of contact members and supporting the corresponding set of contact members, wherein the two sets of support means are moved in directions away from each other by the moving means. 3. The alignment device according to claim 1, further comprising a support unit.
【請求項4】 各支持手段は、四角形の対向する辺に沿
って相寄り相離れる方向へ移動可能のスライダを備え、
各移動手段は、各スライダに対応されて対応するスライ
ダに連結されたラックであって前記スライダの移動方向
へ伸びるラックと、該ラックと噛合するピニオン歯車
と、前記両スライダが相寄り相離れる方向へ前記スライ
ダ、前記ラックおよび前記ピニオン歯車から選択される
部材を駆動させる駆動機構とを備え、前記ピニオン歯車
は、対応する移動手段の両ラックと噛合している、請求
項3に記載のアライメント装置。
4. Each of the support means includes a slider which is movable in directions that are close to and away from each other along opposing sides of the quadrangle.
Each moving means is a rack corresponding to each slider and connected to the corresponding slider, the rack extending in the moving direction of the slider, a pinion gear meshing with the rack, and a direction in which the two sliders are separated from each other. 4. The alignment device according to claim 3, further comprising: a driving mechanism that drives a member selected from the slider, the rack, and the pinion gear, wherein the pinion gear meshes with both racks of the corresponding moving unit. 5. .
【請求項5】 さらに、前記支持手段および前記移動手
段が配置されたアライメントベースを含み、一方の支持
手段のスライダと一方の移動手段とは前記アライメント
ベースの一方の側に配置され、他方の支持手段のスライ
ダと他方の支持手段とは前記アライメントベースの他方
の側に配置されている、請求項4に記載のアライメント
装置。
5. An alignment base on which the supporting means and the moving means are arranged, wherein a slider of one supporting means and one moving means are arranged on one side of the alignment base and the other supporting means is provided. The alignment apparatus according to claim 4, wherein the slider of the means and the other support means are arranged on the other side of the alignment base.
【請求項6】 さらに、前記当接部材の組に対応されて
対応する組の当接部材が所定の位置まで接近したことを
感知する感知手段を含む、請求項1〜5のいずれか1項
に記載のアライメント装置。
6. The apparatus according to claim 1, further comprising sensing means corresponding to said set of contact members, for sensing that a corresponding set of contact members has approached a predetermined position. An alignment apparatus according to item 1.
【請求項7】 前記各感知手段は、前記アライメントベ
ースに配置されて前記支持手段の移動方向へ伸びる取付
レールと、該取付レールにこれの長手方向における位置
を変更可能に前記取付レールに組み付けられたセンサ
と、一方の支持手段に連結されかつ該支持手段とともに
移動されて前記センサに感知されるレバーとを備える、
請求項6に記載のアライメント装置。
7. Each of the sensing means is disposed on the alignment base and extends in the direction of movement of the support means, and is attached to the mounting rail so as to change its position in the longitudinal direction. And a lever connected to one of the support means and moved together with the support means and sensed by the sensor,
The alignment device according to claim 6.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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