JPH10160906A - 反射防止膜付きレンズ及び反射防止膜の形成方法 - Google Patents
反射防止膜付きレンズ及び反射防止膜の形成方法Info
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- JPH10160906A JPH10160906A JP8320458A JP32045896A JPH10160906A JP H10160906 A JPH10160906 A JP H10160906A JP 8320458 A JP8320458 A JP 8320458A JP 32045896 A JP32045896 A JP 32045896A JP H10160906 A JPH10160906 A JP H10160906A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 レンズの中心部と周縁部とにおける表面部に
対する光束入射角の違いによって反射防止膜の効果が低
下することを防止し、レンズ全体の透過率を向上させ
る。 【解決手段】 レンズの中心部領域Ａ１，Ａ２における
反射防止膜の膜厚と周縁部領域Ｂ１，Ｂ２、Ｃ１，Ｃ２
における反射防止膜の膜厚とが、レンズ表面部に対する
光束の入射角θに応じて異なっている。
対する光束入射角の違いによって反射防止膜の効果が低
下することを防止し、レンズ全体の透過率を向上させ
る。 【解決手段】 レンズの中心部領域Ａ１，Ａ２における
反射防止膜の膜厚と周縁部領域Ｂ１，Ｂ２、Ｃ１，Ｃ２
における反射防止膜の膜厚とが、レンズ表面部に対する
光束の入射角θに応じて異なっている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば光学ピック
アップ装置の対物レンズとして使用される反射防止膜付
きレンズ及び反射防止膜の形成方法に関する技術分野に
属する。
アップ装置の対物レンズとして使用される反射防止膜付
きレンズ及び反射防止膜の形成方法に関する技術分野に
属する。
【０００２】
【従来の技術】従来、いわゆる光ディスクの如き光学記
録媒体及びこの光学記録媒体より情報信号の読み出しを
行う光学ピックアップ装置が提案されている。このよう
な光学ピックアップ装置は、上記光学記録媒体の信号記
録面上に光束を集光させるための対物レンズを有して構
成されている。
録媒体及びこの光学記録媒体より情報信号の読み出しを
行う光学ピックアップ装置が提案されている。このよう
な光学ピックアップ装置は、上記光学記録媒体の信号記
録面上に光束を集光させるための対物レンズを有して構
成されている。
【０００３】この対物レンズの如きレンズは、表面部に
おける光束の反射を抑制して光束の透過率を向上させる
ために、該表面部上に反射防止膜が形成され、反射防止
膜付きレンズとして構成されている。光学ピックアップ
装置の対物レンズの如く単色光束を扱うレンズにおいて
は、透過される光束の波長に適合された反射防止膜が形
成されている。
おける光束の反射を抑制して光束の透過率を向上させる
ために、該表面部上に反射防止膜が形成され、反射防止
膜付きレンズとして構成されている。光学ピックアップ
装置の対物レンズの如く単色光束を扱うレンズにおいて
は、透過される光束の波長に適合された反射防止膜が形
成されている。
【０００４】この反射防止膜は、レンズを構成する硝材
や合成樹脂材料とは異なる屈折率を有する物質（例えば
フッ化マグネシウム（ＭｇＦ2）等）を、蒸着やスパッ
タリングの如き薄膜形成技術を用いて、該レンズの表面
上に被着させることにより形成される。このとき、この
反射防止膜の厚さは、透過させる光束の波長に応じて決
定される。すなわち、この反射防止膜においては、この
反射防止膜の表面で反射される光束と、この反射防止膜
とレンズ表面との界面で反射される光束とが、互いに干
渉して打ち消し合う（位相差が１８０°である）ことに
より反射率が抑制され、その結果、レンズ表面に対する
透過率が向上する。反射防止膜の材料の屈折率をｎ、膜
厚をｄとし、透過させる光束の波長をλとすると、 ２ｎｄ＝｛ｍ−（１／２）｝λ （ただし、ｍは、自然
数） が成り立つとき、反射防止膜として使用できる膜となっ
ている。
や合成樹脂材料とは異なる屈折率を有する物質（例えば
フッ化マグネシウム（ＭｇＦ2）等）を、蒸着やスパッ
タリングの如き薄膜形成技術を用いて、該レンズの表面
上に被着させることにより形成される。このとき、この
反射防止膜の厚さは、透過させる光束の波長に応じて決
定される。すなわち、この反射防止膜においては、この
反射防止膜の表面で反射される光束と、この反射防止膜
とレンズ表面との界面で反射される光束とが、互いに干
渉して打ち消し合う（位相差が１８０°である）ことに
より反射率が抑制され、その結果、レンズ表面に対する
透過率が向上する。反射防止膜の材料の屈折率をｎ、膜
厚をｄとし、透過させる光束の波長をλとすると、 ２ｎｄ＝｛ｍ−（１／２）｝λ （ただし、ｍは、自然
数） が成り立つとき、反射防止膜として使用できる膜となっ
ている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
な反射防止膜付きレンズにおいては、反射防止膜の厚さ
は、レンズ表面に対する光束の入射角（光束の進行方向
とレンズ表面の法線とのなす角度）が０°である条件で
設定され、レンズ表面の全域において一様の厚さとなさ
れている。すなわち、この反射防止膜の形成において
は、レンズ表面の全域について、一様の条件で、蒸着や
スパッタリングによる成膜が行われ、膜厚が管理され
る。
な反射防止膜付きレンズにおいては、反射防止膜の厚さ
は、レンズ表面に対する光束の入射角（光束の進行方向
とレンズ表面の法線とのなす角度）が０°である条件で
設定され、レンズ表面の全域において一様の厚さとなさ
れている。すなわち、この反射防止膜の形成において
は、レンズ表面の全域について、一様の条件で、蒸着や
スパッタリングによる成膜が行われ、膜厚が管理され
る。
【０００６】したがって、レンズ表面が凹面や凸面であ
る場合において、特に、これら凹や凸の曲率が大きい
（曲率半径が小さい）場合においては、レンズの周辺側
においては入射角が０°より外れてしまい、反射防止の
ための条件が満たされなくなる。そのため、このような
反射防止膜付きレンズにおいては、レンズの周辺側にお
いては、反射防止膜の効果が充分に得られず、透過率が
低下してしまう。
る場合において、特に、これら凹や凸の曲率が大きい
（曲率半径が小さい）場合においては、レンズの周辺側
においては入射角が０°より外れてしまい、反射防止の
ための条件が満たされなくなる。そのため、このような
反射防止膜付きレンズにおいては、レンズの周辺側にお
いては、反射防止膜の効果が充分に得られず、透過率が
低下してしまう。
【０００７】そこで、本発明は、上述の実情に鑑みて提
案されるものであって、開口数を大きくする等のために
表面の曲率が大きくなされたレンズにおいても、レンズ
表面の全域において反射防止膜の効果が充分に得られ、
透過率の向上が図られた反射防止膜付きレンズ及びこの
ような反射防止膜付きレンズを作製するための反射防止
膜の形成方法の提供という課題を解決しようとするもの
である。
案されるものであって、開口数を大きくする等のために
表面の曲率が大きくなされたレンズにおいても、レンズ
表面の全域において反射防止膜の効果が充分に得られ、
透過率の向上が図られた反射防止膜付きレンズ及びこの
ような反射防止膜付きレンズを作製するための反射防止
膜の形成方法の提供という課題を解決しようとするもの
である。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め、本発明に係る反射防止膜付きレンズは、凸面または
凹面の表面部と、この表面部上に形成された反射防止膜
とを有し、この反射防止膜は、該表面部の中心部におけ
る膜厚と周縁部における膜厚とが該表面部に対する光束
の入射角に応じて異なっていることとしたものである。
め、本発明に係る反射防止膜付きレンズは、凸面または
凹面の表面部と、この表面部上に形成された反射防止膜
とを有し、この反射防止膜は、該表面部の中心部におけ
る膜厚と周縁部における膜厚とが該表面部に対する光束
の入射角に応じて異なっていることとしたものである。
【０００９】そして、本発明に係る反射防止膜の形成方
法は、凸面または凹面であるレンズ表面部上に反射防止
膜を形成する方法であって、このレンズ表面部の中心部
と周縁部とで該表面部に対する光束の入射角に応じて膜
厚を変えて形成することとしたものである。
法は、凸面または凹面であるレンズ表面部上に反射防止
膜を形成する方法であって、このレンズ表面部の中心部
と周縁部とで該表面部に対する光束の入射角に応じて膜
厚を変えて形成することとしたものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら説明する。
を参照しながら説明する。
【００１１】本発明に係る反射防止膜付きレンズは、図
１に示すように、硝材（ガラス）や透明合成樹脂材料か
らなるレンズ１の表面部（１面）１ａ上及び裏面部（２
面）１ｂ上に、反射防止膜を形成して構成されたもので
ある。これら表面部１ａ及び裏面部１ｂは、球面または
非球面の凸面（または、凹面）として形成されている。
このレンズ１は、物点Ｘよりの光束が入射され、この光
束を像点Ｙ上に集光させる。
１に示すように、硝材（ガラス）や透明合成樹脂材料か
らなるレンズ１の表面部（１面）１ａ上及び裏面部（２
面）１ｂ上に、反射防止膜を形成して構成されたもので
ある。これら表面部１ａ及び裏面部１ｂは、球面または
非球面の凸面（または、凹面）として形成されている。
このレンズ１は、物点Ｘよりの光束が入射され、この光
束を像点Ｙ上に集光させる。
【００１２】上記反射防止膜は、レンズ１を構成する材
料とは異なる屈折率を有する物質（例えばフッ化マグネ
シウム（ＭｇＦ2）等）を、蒸着やスパッタリングの如
き薄膜形成技術を用いて、該レンズの表面上に被着させ
ることにより形成する。この反射防止膜の厚さは、透過
させる光束の波長に応じて決定される。すなわち、この
反射防止膜においては、この反射防止膜の表面で反射さ
れる光束と、この反射防止膜とレンズ表面との界面で反
射される光束とが、互いに干渉して打ち消し合う（位相
差が１８０°である）ことにより反射率が抑制され、そ
の結果、レンズ表面に対する透過率が向上する。反射防
止膜の材料の屈折率をｎ、膜厚をｄとし、透過させる光
束の波長をλとすると、 ２ｎｄ＝｛ｍ−（１／２）｝λ （ただし、ｍは、自然
数） が成り立つ。
料とは異なる屈折率を有する物質（例えばフッ化マグネ
シウム（ＭｇＦ2）等）を、蒸着やスパッタリングの如
き薄膜形成技術を用いて、該レンズの表面上に被着させ
ることにより形成する。この反射防止膜の厚さは、透過
させる光束の波長に応じて決定される。すなわち、この
反射防止膜においては、この反射防止膜の表面で反射さ
れる光束と、この反射防止膜とレンズ表面との界面で反
射される光束とが、互いに干渉して打ち消し合う（位相
差が１８０°である）ことにより反射率が抑制され、そ
の結果、レンズ表面に対する透過率が向上する。反射防
止膜の材料の屈折率をｎ、膜厚をｄとし、透過させる光
束の波長をλとすると、 ２ｎｄ＝｛ｍ−（１／２）｝λ （ただし、ｍは、自然
数） が成り立つ。
【００１３】そして、この反射防止膜付きレンズにおい
ては、図２に示すように、表面部１ａの中心部の領域で
ある入射面第１領域Ａ１に形成された反射防止膜と、こ
の入射面第１領域Ａ１の周囲部の円環状領域である入射
面第２領域Ｂ１に形成された反射防止膜と、この入射面
第２領域Ｂ１の外縁よりレンズ表面の周縁部に亘る円環
状領域である入射面第３領域Ｃ１に形成された反射防止
膜とで、互いに膜厚が異なっている。
ては、図２に示すように、表面部１ａの中心部の領域で
ある入射面第１領域Ａ１に形成された反射防止膜と、こ
の入射面第１領域Ａ１の周囲部の円環状領域である入射
面第２領域Ｂ１に形成された反射防止膜と、この入射面
第２領域Ｂ１の外縁よりレンズ表面の周縁部に亘る円環
状領域である入射面第３領域Ｃ１に形成された反射防止
膜とで、互いに膜厚が異なっている。
【００１４】また、裏面部１ｂについても、図３に示す
ように、この裏面部１ｂの中心部の領域である出射面第
１領域Ａ２に形成された反射防止膜と、この出射面第１
領域Ａ２の周囲部の円環状領域である出射面第２領域Ｂ
２に形成された反射防止膜と、この出射面第２領域Ｂ２
の外縁よりレンズ表面の周縁部に亘る円環状領域である
出射面第３領域Ｃ２に形成された反射防止膜とで、互い
に膜厚が異なっている。
ように、この裏面部１ｂの中心部の領域である出射面第
１領域Ａ２に形成された反射防止膜と、この出射面第１
領域Ａ２の周囲部の円環状領域である出射面第２領域Ｂ
２に形成された反射防止膜と、この出射面第２領域Ｂ２
の外縁よりレンズ表面の周縁部に亘る円環状領域である
出射面第３領域Ｃ２に形成された反射防止膜とで、互い
に膜厚が異なっている。
【００１５】これら反射防止膜の領域毎の膜厚の差異
は、その領域におけるレンズ表面に対する光束の図１中
θで示す入射角（出射角）に応じて決定されている。入
射角は、光束の進行方向とレンズ表面の法線とのなす角
度（光束の進行方向の法線とレンズ表面の接面とのなす
角度）であり、光軸上（レンズ中心部）においては０°
で、光軸から離れるほど大きな角度となる。
は、その領域におけるレンズ表面に対する光束の図１中
θで示す入射角（出射角）に応じて決定されている。入
射角は、光束の進行方向とレンズ表面の法線とのなす角
度（光束の進行方向の法線とレンズ表面の接面とのなす
角度）であり、光軸上（レンズ中心部）においては０°
で、光軸から離れるほど大きな角度となる。
【００１６】例えば、以下の〔表１〕及び〔表２〕に示
すように、入射面第１領域Ａ１での入射角は０°近傍で
あり、入射面第２領域Ｂ１での入射角は２０°近傍であ
り、入射面第３領域Ｃ１での入射角は３５°近傍であ
り、出射面第１領域Ａ２での出射角（すなわち、反射防
止膜に対する入射角）は０°近傍であり、出射面第２領
域Ｂ２での出射角は５°近傍であり、出射面第３領域Ｃ
２での出射角は１０°近傍である。
すように、入射面第１領域Ａ１での入射角は０°近傍で
あり、入射面第２領域Ｂ１での入射角は２０°近傍であ
り、入射面第３領域Ｃ１での入射角は３５°近傍であ
り、出射面第１領域Ａ２での出射角（すなわち、反射防
止膜に対する入射角）は０°近傍であり、出射面第２領
域Ｂ２での出射角は５°近傍であり、出射面第３領域Ｃ
２での出射角は１０°近傍である。
【００１７】そして、上記各領域における反射防止膜の
膜厚は、以下の〔表１〕及び〔表２〕に示すように、入
射角の大きい領域ほど、厚くなさている。
膜厚は、以下の〔表１〕及び〔表２〕に示すように、入
射角の大きい領域ほど、厚くなさている。
【００１８】
【表１】
【００１９】
【表２】
【００２０】なお、これら〔表１〕及び〔表２〕に示し
た入射角及び膜厚は、レンズの硝材が「ＢａＣＤ５」、
反射防止膜材料がフッ化マグネシウム（ＭｇＦ2）で、
レンズ１の開口数（ＮＡ）が０．６である場合の条件で
ある。このレンズ１は、いわゆる「デジタル・ビデオ・
ディスク（“ＤＶＤ”）」用の光学ピックアップ装置の
対物レンズとして使用すべく設計されたレンズである。
た入射角及び膜厚は、レンズの硝材が「ＢａＣＤ５」、
反射防止膜材料がフッ化マグネシウム（ＭｇＦ2）で、
レンズ１の開口数（ＮＡ）が０．６である場合の条件で
ある。このレンズ１は、いわゆる「デジタル・ビデオ・
ディスク（“ＤＶＤ”）」用の光学ピックアップ装置の
対物レンズとして使用すべく設計されたレンズである。
【００２１】この反射防止膜付きレンズの透過率につい
て、通常の反射防止膜付きレンズの透過率と比較する
と、以下の〔表３〕に示すように、９６％から９９％へ
の向上が見られる。
て、通常の反射防止膜付きレンズの透過率と比較する
と、以下の〔表３〕に示すように、９６％から９９％へ
の向上が見られる。
【００２２】
【表３】
【００２３】ここで、通常の反射防止膜とは、表面部
（１面）１ａの全面に、上記入射面第１領域Ａ１と同様
の成膜を施し、裏面部（２面）１ｂの全面に、上記出射
面第１領域Ａ２と同様の成膜を施したものである。
（１面）１ａの全面に、上記入射面第１領域Ａ１と同様
の成膜を施し、裏面部（２面）１ｂの全面に、上記出射
面第１領域Ａ２と同様の成膜を施したものである。
【００２４】そして、本発明に係る反射防止膜の形成方
法は、上述のような本発明に係る反射防止膜付きレンズ
の反射防止膜を形成するものである。すなわち、この反
射防止膜の形成方法は、凸面または凹面であるレンズ１
の表面部１ａまたは裏面部１ｂ上に反射防止膜を形成す
る方法であって、これらレンズ表面部の中心部と周縁部
とで、該表面部に対する光束の入射角に応じて膜厚を変
えて形成するものである。このように、レンズ表面部上
の領域によって反射防止膜の大きさを変えるには、ま
ず、膜厚の薄い領域についてマスキングを施して膜厚の
厚い領域のみについて成膜し、次いで、マスキングを除
去して膜厚の薄い領域及び膜厚の厚い領域の両方につい
てさらに成膜するようにする。
法は、上述のような本発明に係る反射防止膜付きレンズ
の反射防止膜を形成するものである。すなわち、この反
射防止膜の形成方法は、凸面または凹面であるレンズ１
の表面部１ａまたは裏面部１ｂ上に反射防止膜を形成す
る方法であって、これらレンズ表面部の中心部と周縁部
とで、該表面部に対する光束の入射角に応じて膜厚を変
えて形成するものである。このように、レンズ表面部上
の領域によって反射防止膜の大きさを変えるには、ま
ず、膜厚の薄い領域についてマスキングを施して膜厚の
厚い領域のみについて成膜し、次いで、マスキングを除
去して膜厚の薄い領域及び膜厚の厚い領域の両方につい
てさらに成膜するようにする。
【００２５】例えば、表面部１ａについては、入射面第
１領域Ａ１及び入射面第２領域Ｂ１にマスキングをして
入射面第３領域Ｃ１のみについて第１の成膜を行い、次
に、入射面第２領域Ｂ１のマスキングを除去してこの入
射面第２領域Ｂ１及び入射面第３領域Ｃ１について第２
の成膜を行い、そして、入射面第１領域Ａ１のマスキン
グを除去してレンズ表面全域について第３の成膜を行う
ことにより、３段階の膜厚を有する反射防止膜が形成さ
れる。
１領域Ａ１及び入射面第２領域Ｂ１にマスキングをして
入射面第３領域Ｃ１のみについて第１の成膜を行い、次
に、入射面第２領域Ｂ１のマスキングを除去してこの入
射面第２領域Ｂ１及び入射面第３領域Ｃ１について第２
の成膜を行い、そして、入射面第１領域Ａ１のマスキン
グを除去してレンズ表面全域について第３の成膜を行う
ことにより、３段階の膜厚を有する反射防止膜が形成さ
れる。
【００２６】また、裏面部１ｂについては、出射面第１
領域Ａ２及び出射面第２領域Ｂ２にマスキングをして出
射面第３領域Ｃ２のみについて第１の成膜を行い、次
に、出射面第２領域Ｂ２のマスキングを除去してこの出
射面第２領域Ｂ２及び出射面第３領域Ｃ２について第２
の成膜を行い、そして、出射面第１領域Ａ２のマスキン
グを除去してレンズ表面全域について第３の成膜を行う
ことにより、３段階の膜厚を有する反射防止膜が形成さ
れる。
領域Ａ２及び出射面第２領域Ｂ２にマスキングをして出
射面第３領域Ｃ２のみについて第１の成膜を行い、次
に、出射面第２領域Ｂ２のマスキングを除去してこの出
射面第２領域Ｂ２及び出射面第３領域Ｃ２について第２
の成膜を行い、そして、出射面第１領域Ａ２のマスキン
グを除去してレンズ表面全域について第３の成膜を行う
ことにより、３段階の膜厚を有する反射防止膜が形成さ
れる。
【００２７】また、本発明に係る反射防止膜付きレンズ
は、図５に示すように、反射防止膜９の膜厚が、光束の
入射角に応じて、すなわち、レンズの中心よりの距離に
応じて、無段階的に変化されて形成されたものとしても
よい。このように、レンズの中心よりの距離に応じて膜
厚が無段階的に変化している反射防止膜は、例えば、図
４に示すように、真空蒸着炉３中において、蒸着物質８
に対してレンズ１の光軸を傾斜させて該レンズ１を支持
し、かつ、このレンズ１を光軸回りに回転させつつ、蒸
着による成膜を行うことにより、形成することができ
る。
は、図５に示すように、反射防止膜９の膜厚が、光束の
入射角に応じて、すなわち、レンズの中心よりの距離に
応じて、無段階的に変化されて形成されたものとしても
よい。このように、レンズの中心よりの距離に応じて膜
厚が無段階的に変化している反射防止膜は、例えば、図
４に示すように、真空蒸着炉３中において、蒸着物質８
に対してレンズ１の光軸を傾斜させて該レンズ１を支持
し、かつ、このレンズ１を光軸回りに回転させつつ、蒸
着による成膜を行うことにより、形成することができ
る。
【００２８】上記真空蒸着炉３においては、基台２上に
抵抗加熱用ボート７が設けられており、この抵抗加熱用
ボート７上に蒸着物質（フッ化マグネシウム）８が載置
されている。基台２上には、支持棒４を介して、回転操
作装置５が配設されている。この回転操作装置５は、レ
ンズ１を保持する保持枠６を蒸着物質８上において支持
するとともに、図４中矢印Ａで示すように、この保持枠
６をレンズ１とともに回転操作する。このとき、レンズ
１の回転中心となるこのレンズ１の光軸は、このレンズ
１と蒸着物質８とを結ぶ線に対して傾斜されている。そ
のため、このレンズ１の表面部においては、中心部より
周縁部に亘って、無段階的に厚みの異なる反射防止膜が
形成される。ここで、回転軸の傾斜角度や回転速度は、
成膜したい反射防止膜の形状（膜厚の変化のしかた）及
びレンズ表面の曲率に応じて定める。
抵抗加熱用ボート７が設けられており、この抵抗加熱用
ボート７上に蒸着物質（フッ化マグネシウム）８が載置
されている。基台２上には、支持棒４を介して、回転操
作装置５が配設されている。この回転操作装置５は、レ
ンズ１を保持する保持枠６を蒸着物質８上において支持
するとともに、図４中矢印Ａで示すように、この保持枠
６をレンズ１とともに回転操作する。このとき、レンズ
１の回転中心となるこのレンズ１の光軸は、このレンズ
１と蒸着物質８とを結ぶ線に対して傾斜されている。そ
のため、このレンズ１の表面部においては、中心部より
周縁部に亘って、無段階的に厚みの異なる反射防止膜が
形成される。ここで、回転軸の傾斜角度や回転速度は、
成膜したい反射防止膜の形状（膜厚の変化のしかた）及
びレンズ表面の曲率に応じて定める。
【００２９】
【発明の効果】上述のように、本発明に係る反射防止膜
付きレンズは、凸面または凹面の表面部と、この表面部
上に形成された反射防止膜とを有し、この反射防止膜
は、該表面部の中心部における膜厚と周縁部における膜
厚とが該表面部に対する光束の入射角に応じて異なって
いる。したがって、この反射防止膜は、レンズ表面部に
対する光束の入射角に対応して、反射防止の効果を最も
良く発揮する状態に形成されている。
付きレンズは、凸面または凹面の表面部と、この表面部
上に形成された反射防止膜とを有し、この反射防止膜
は、該表面部の中心部における膜厚と周縁部における膜
厚とが該表面部に対する光束の入射角に応じて異なって
いる。したがって、この反射防止膜は、レンズ表面部に
対する光束の入射角に対応して、反射防止の効果を最も
良く発揮する状態に形成されている。
【００３０】そして、本発明に係る反射防止膜の形成方
法は、凸面または凹面であるレンズ表面部上に反射防止
膜を形成する方法であって、このレンズ表面部の中心部
と周縁部とで該表面部に対する光束の入射角に応じて膜
厚を変えて形成する。したがって、この反射防止膜の形
成方法においては、レンズ表面部に対する光束の入射角
に対応して反射防止の効果を最も良く発揮する反射防止
膜を形成することができる。
法は、凸面または凹面であるレンズ表面部上に反射防止
膜を形成する方法であって、このレンズ表面部の中心部
と周縁部とで該表面部に対する光束の入射角に応じて膜
厚を変えて形成する。したがって、この反射防止膜の形
成方法においては、レンズ表面部に対する光束の入射角
に対応して反射防止の効果を最も良く発揮する反射防止
膜を形成することができる。
【００３１】すなわち、本発明は、開口数を大きくする
等のために表面の曲率が大きくなされたレンズにおいて
も、レンズ表面の全域において反射防止膜の効果が充分
に得られ、透過率の向上が図られた反射防止膜付きレン
ズ及びこのような反射防止膜付きレンズを作製するため
の反射防止膜の形成方法を提供することができるもので
ある。
等のために表面の曲率が大きくなされたレンズにおいて
も、レンズ表面の全域において反射防止膜の効果が充分
に得られ、透過率の向上が図られた反射防止膜付きレン
ズ及びこのような反射防止膜付きレンズを作製するため
の反射防止膜の形成方法を提供することができるもので
ある。
【図１】本発明に係る反射防止膜付きレンズの形状を示
す縦断面図である。
す縦断面図である。
【図２】上記反射防止膜付きレンズの入射面（１面）の
構成を示す正面図である。
構成を示す正面図である。
【図３】上記反射防止膜付きレンズの出射面（２面）の
構成を示す背面図である。
構成を示す背面図である。
【図４】本発明に係る反射防止膜の形成方法を実施する
ための蒸着装置の構成を示す側面図である。
ための蒸着装置の構成を示す側面図である。
【図５】本発明に係る反射防止膜の形成方法により形成
された反射防止膜の構成の他の例を示す要部拡大縦断面
図である。
された反射防止膜の構成の他の例を示す要部拡大縦断面
図である。
１ レンズ、１ａ 入射面（１面）、１ｂ 出射面（２
面）、Ａ１ 入射面第１領域、Ｂ１ 入射面第２領域、
Ｃ１ 入射面第３領域、Ａ２ 出射面第１領域、Ｂ２
出射面第２領域、Ｃ２ 出射面第３領域
面）、Ａ１ 入射面第１領域、Ｂ１ 入射面第２領域、
Ｃ１ 入射面第３領域、Ａ２ 出射面第１領域、Ｂ２
出射面第２領域、Ｃ２ 出射面第３領域
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上田 博之 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 凸面または凹面の表面部と、 上記表面部上に形成された反射防止膜とを有し、 上記反射防止膜は、上記表面部の中心部における膜厚と
周縁部における膜厚とが、該表面部に対する光束の入射
角に応じて異なっている反射防止膜付きレンズ。 - 【請求項２】 凸面または凹面であるレンズ表面部上に
反射防止膜を形成する方法であって、このレンズ表面部
の中心部と周縁部とで、該表面部に対する光束の入射角
に応じて膜厚を変えて形成することとした反射防止膜の
形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8320458A JPH10160906A (ja) | 1996-11-29 | 1996-11-29 | 反射防止膜付きレンズ及び反射防止膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8320458A JPH10160906A (ja) | 1996-11-29 | 1996-11-29 | 反射防止膜付きレンズ及び反射防止膜の形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10160906A true JPH10160906A (ja) | 1998-06-19 |
Family
ID=18121682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8320458A Withdrawn JPH10160906A (ja) | 1996-11-29 | 1996-11-29 | 反射防止膜付きレンズ及び反射防止膜の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10160906A (ja) |
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