JPH10162763A - 試料ホルダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課 題】 試料を加熱可能且つ試料に直接流れる通電
電流を供給可能な構成が簡素で故障しに難い試料ホルダ
を提供すること。 【解決手段】 ホルダ本体１３の内端部に設けられた上
下に貫通する試料収容孔２１、前記試料収容孔２１の外
端側において前記ホルダ本体１３に支持された外端側断
熱部材２６、前記試料収容孔２１の内端側において前記
ホルダ本体１３に支持された内端側断熱部材２８、前記
外端側断熱部材２６および前記内端側断熱部材２８によ
り固定支持され且つビーム通過孔３２bを横切る位置に
試料Ｓを固定する試料固定部３２を有する炉体３１、前
記炉体３１に支持され且つ炉体３１を加熱するヒータ３
８，３９、前記外端側断熱部材２６に支持されたヒータ
用中継端子４１、および前記ヒータ３８，３９およびヒ
ータ用中継端子４１間を接続するヒータ用接続線６１を
備えた試料ホルダ、

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、試料に対する顕微
分析作業を行う荷電粒子線装置（電子顕微鏡装置、電
子、イオン等を用いた分析装置、等）において、電子ビ
ームまたはイオンビーム等の照射ビーム源から照射され
る試料を支持する試料ホルダに関し、特に、試料を加熱
し且つ試料に通電可能な試料ホルダに関する。本発明
は、電子ビームまたはイオンビーム等の照射ビームを、
加熱状態且つ通電状態の試料に照射して試料の分析を行
う装置で使用される。

【０００２】

【従来の技術】前記試料に対する顕微分析作業を行う荷
電粒子線装置では、電子ビームまたはイオンビーム等の
照射ビーム源から出射する照射ビームが試料を照射す
る。前記荷電粒子線装置は、内部を真空に保持する壁部
材（電子顕微鏡筒等）、およびこの壁部材に支持された
ゴニオステージを有している。ゴニオステージは円筒状
のホルダ支持孔を有し、この円筒状のホルダ支持孔は、
試料ホルダを、その軸（以下、「ホルダ軸」という。）
方向にスライド可能（すなわちホルダ支持孔の内方およ
び外方にスライド可能）、且つ前記ホルダ軸回りに回動
可能に支持する部材である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】前記荷電粒子線装置に
より顕微分析作業を行う際に、ＩＣチップのような電気
回路が印刷された試料に電圧を印加しながら、または加
熱しながら、試料の分析、観察を行うと、従来の普通の
顕微分析では得られなかったデータが得られる。この場
合、試料ホルダの内端部に試料を加熱可能且つ給電可能
に支持する必要がある。前述のように試料ホルダ内端に
支持されている試料に、試料中を直接流れる電流（試料
通電電流）を供給したり、または試料に隣接して試料ホ
ルダ内端部に設けた加熱用のヒータに流れる電流（ヒー
タ加熱電流）を供給したりする場合、外部から給電用ケ
ーブルを試料ホルダ内端まで引き回す必要がある。

【０００４】本発明は、前述の事情に鑑み、下記の記載
内容を課題とする。（Ｏ01）試料を加熱可能且つ試料に
直接流れる通電電流を供給可能な構成が簡素で故障しに
難い試料ホルダを提供すること。

【０００５】

【課題を解決するための手段】次に、前記課題を解決す
るために案出した本発明を説明するが、本発明の要素に
は、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実
施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。ま
た、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する
理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明
の範囲を実施例に限定するためではない。

【０００６】（本発明）前記課題を解決するために、本
発明の試料ホルダは、下記の要件を備えたことを特徴と
する。 （Ａ01）ホルダ軸に沿ってスライド可能なホルダ本体支
持部材（１１）の筒状内端部に筒状外端部が連結された
ホルダ本体（１３）、 （Ａ02）ホルダ本体（１３）の内端部に設けられた上下
に貫通する試料収容孔（２１）、 （Ａ03）前記試料収容孔（２１）の外端側において前記
ホルダ本体（１３）に支持された外端側断熱部材（２
６）、 （Ａ04）前記試料収容孔（２１）の内端側において前記
ホルダ本体（１３）に支持された内端側断熱部材（２
８）、 （Ａ05）前記外端側断熱部材（２６）および前記内端側
断熱部材（２８）により固定支持される炉体（３１）、 （Ａ06）ビーム通過孔（３２b）および前記ビーム通過
孔（３２b）を横切る位置に試料（Ｓ）を固定する試料
固定部（３２）を有する前記炉体（３１）、 （Ａ07）前記炉体（３１）に支持され且つ炉体（３１）
を加熱するヒータ（３８，３９）、 （Ａ08）前記外端側断熱部材（２６）に支持されたヒー
タ用中継端子（４１，４１，４３，４３）、 （Ａ09）前記ヒータ（３８，３９）およびヒータ用中継
端子（４１，４１，４３，４３）間を接続するヒータ用
接続線（６１，６１，６２，６２）、 （Ａ010）前記外端側断熱部材（２６）に支持された試
料通電用中継端子（４２，４２）、 （Ａ011）前記試料固定部（３２）に支持された試料
（Ｓ）および試料通電用中継端子（４２，４２）間を接
続する試料通電用接続線（６３，６３）、 （Ａ012）前記ホルダ本体支持部材（１１）の筒状内端
部を通って前記ホルダ本体（１３）の筒状外端部の内側
に導入され、内端部が前記試料通電用中継端子（４２，
４２）に接続された試料通電電流供給用リード線（Ｌ
7，Ｌ8）、 （Ａ013）前記ホルダ本体支持部材（１１）の筒状内端
部を通って前記ホルダ本体（１３）の筒状外端部の内側
に導入され、内端部が前記ヒータ用中継端子（４１，４
１，４３，４３）に接続されたヒータ電流供給用リード
線（Ｌ1〜Ｌ4）。

【０００７】（本発明の作用）前述の構成を備えた本発
明の試料ホルダでは、ホルダ本体支持部材（１１）の筒
状内端部に筒状外端部が連結されたホルダ本体（１３）
は、ホルダ軸に沿ってスライド可能である。したがっ
て、ホルダ内端部に支持した試料（Ｓ）のホルダ軸方向
の位置を調節できる。前記ホルダ本体（１３）は、ホル
ダ本体（１３）の内端部に設けられた上下に貫通する試
料収容孔（２１）の外端側において外端側断熱部材（２
６）を支持し、内端側において内端側断熱部材（２８）
を支持する。前記外端側断熱部材（２６）および前記内
端側断熱部材（２８）により炉体（３１）が支持され
る。ビーム通過孔（３２b）を有する前記炉体（３１）
の試料固定部（３２）は、前記ビーム通過孔（３２b）
を横切る位置に試料（Ｓ）を固定する。

【０００８】前記外端側断熱部材（２６）はヒータ用中
継端子（４１，４１，４３，４３）および試料通電用中
継端子（４２，４２）を支持する。前記ホルダ本体支持
部材（１１）の筒状内端部を通って前記ホルダ本体（１
３）の筒状外端部の内側に導入されるヒータ電流供給用
リード線（Ｌ1〜Ｌ4）は、その内端部が前記ヒータ用中
継端子（４１，４１，４３，４３）に接続される。ま
た、前記ホルダ本体支持部材（１１）の筒状内端部を通
って前記ホルダ本体（１３）の筒状外端部の内側に導入
される試料通電電流供給用リード線（Ｌ7，Ｌ8）は、そ
の内端部が前記試料通電用中継端子（４２，４２）に接
続される。ヒータ用接続線（６１，６１，６２，６２）
は、前記ヒータ（３８，３９）およびヒータ用中継端子
（４１，４１，４３，４３）間を接続する。また、試料
通電用接続線（６３，６３）は前記試料固定部（３２）
に支持された試料（Ｓ）および試料通電用中継端子（４
２，４２）間を接続する。したがって、試料通電電流供
給用リード線（Ｌ7，Ｌ8）により供給された電流は、ヒ
ータ用中継端子（４１，４１，４３，４３）およびヒー
タ用接続線（６１，６１，６２，６２）を介して前記炉
体（３１）に支持されたヒータ（３８，３９）を流れ
る。このときヒータ（３８，３９）は発熱して前記炉体
（３１）を加熱するので、炉体（３１）の試料固定部
（３２）に支持された試料（Ｓ）も加熱される。前述の
ように、ヒータ用接続線（６１，６１，６２，６２）は
外端側断熱部材（２６）に固定されたヒータ用中継端子
（４１，４１，４３，４３）と、前記外端側断熱部材
（２６）に固定支持された炉体（３１）により支持され
たヒータ（３８，３９）との間を接続する。前記ヒータ
用中継端子（４１，４１，４３，４３）および前記ヒー
タ（３８，３９）の位置関係は変化しないので、前記ヒ
ータ用接続線（６１，６１，６２，６２）が引っ張られ
て断線するようなことは生じない。

【０００９】

【発明の実施の形態】

（本発明の実施の形態１）本発明の実施の形態１の試料
ホルダは、前記本発明において下記の要件を備えたこと
を特徴とする、 （Ａ014）外側面にホルダ軸に沿ったリード線収容溝
（４６〜４９）が形成された前記ホルダ本体（１３）、 （Ａ015）前記ホルダ本体（１３）の筒状外端部の内側
から前記リード線収容溝（４６〜４９）を通って、内端
部が前記ヒータ用中継端子（４１，４１，４３，４３）
に接続された前記ヒータ電流供給用リード線（Ｌ1〜Ｌ
4）。

【００１０】（本発明の実施の形態１の作用）本発明の
実施の形態１の試料ホルダでは、前記ホルダ本体（１
３）の外側面にはホルダ軸に沿ったリード線収容溝（４
６〜４９）が形成される。前記ヒータ電流供給用リード
線（Ｌ1〜Ｌ4）は、前記ホルダ本体（１３）の筒状外端
部の内側から前記リード線収容溝（４６〜４９）を通っ
て、内端部が前記ヒータ用中継端子（４１，４１，４
３，４３）に接続される。このように、ヒータ電流供給
用リード線（Ｌ1〜Ｌ4）は、ホルダ本体（１３）の外側
面を通ってホルダ本体（１３）内側のヒータ用中継端子
（４１，４１，４３，４３）に接続されるので、ホルダ
本体（１３）の内側にヒータ電流供給用リード線（Ｌ1
〜Ｌ4）を通すスペースを確保する必要がなくなる。こ
のため、ホルダ本体（１３）を小型に構成することが可
能となったり、または、ホルダ本体（１３）の内部を他
のリード線、例えば、試料通電電流供給用リード線（Ｌ
7，Ｌ8）、熱電対用リード線等の収容スペースとして使
用することが可能となる。

【００１１】

【実施例】次に図面を参照しながら、本発明の試料ホル
ダの実施の形態の具体例（実施例）を説明するが、本発
明は以下の実施例に限定されるものではない。なお、以
後の説明の理解を容易にするために、図面において互い
に直交する座標軸Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を定義し、矢印Ｘ方
向を前方、矢印Ｙ方向を左方、 矢印Ｚ方向を上方とす
る。この場合、Ｘ方向と逆向き（−Ｘ方向）は後方、Ｙ
方向と逆向き（−Ｙ方向）は右方、Ｚ方向と逆向き（−
Ｚ方向）は下方となる。また、Ｘ方向及び−Ｘ方向を含
めて前後方向又はＸ軸方向といい、Ｙ方向及び−Ｙ方向
を含めて左右方向又はＹ軸方向といい、Ｚ方向及び−Ｚ
方向を含めて上下方向又はＺ軸方向ということにする。
さらに図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙
面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に
「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印
を意味するものとする。

【００１２】（実施例）図１は本発明の試料ホルダの実
施例が電子顕微鏡（荷電粒子線装置）に装着された状態
を示す図である。図２は前記図１の矢印IIで示す部分の
拡大図である。図３は前記図１に示す試料ホルダおよび
ホルダ本体支持部材の全体説明図で、正面断面図であ
る。図４は前記図３の矢印IＶで示す部分の拡大図であ
る。図５は前記図３の矢印Ｖ−Ｖ線断面図である。図６
は前記図３に実施例１の示す試料ホルダの説明図で、図
６Ａは一部断面平面図、図６Ｂは側面図で前記図６Ａの
矢印ＶIＢから見た図、図６Ｃは縦断面図で前記図６Ａ
のＶIＣ−ＶIＣ線断面図である。図７は前記図６に示す
実施例１の試料ホルダの要部説明図で、図７Ａは一部断
面平面図、図７Ｂは要部側面図で前記図７Ａの矢印ＶII
Ｂから見た図、図７Ｃは要部縦断面図で前記図７ＡのＶ
IIＣ−ＶIIＣ線断面図である。図８は試料ホルダの横断
面図で、図８Ａは前記図７ＡのＶIIIＡ−ＶIIIＡ線断面
図、図８Ｂは前記図７ＡのＶIIIＢ−ＶIIIＢ線断面図で
ある。図９は前記実施例１の試料ホルダを構成する試料
固定部を有する炉体の斜視図である。図１０は同実施例
の電流供給回路の説明図である。

【００１３】図１、図２において、荷電粒子線装置とし
ての電子顕微鏡１は、内部を真空に保持されたケース２
を有し、ケース２上端に電子銃３が設けられている。ケ
ース２下端部には観察用の蛍光板４、および観察窓６が
設けられている。前記電子銃３の下方には加速用電子レ
ンズ７が配置され、前記蛍光板４の上方には拡大用電子
レンズ８が配置されている。そして、前記加速用電子レ
ンズ７および拡大用電子レンズ８の間には試料装着部と
してのゴニオステージＧＳが設けられている。ゴニオス
テージＧＳは、ホルダ装着孔９aを有する円筒状のホル
ダ装着部材９を有している。前記円筒状のホルダ装着部
材９は、ゴニオステージＧＳの球面軸受けにより軸の向
きが調節可能に支持されている。なお図１、図２におい
て、１０は試料位置決め用部材である。

【００１４】図３、図４において、前記ホルダ装着部材
９によって支持される試料ホルダＨは、前記ホルダ装着
孔９aを貫通する円筒状のホルダ本体支持部材１１（図
３参照）を有している。ホルダ本体支持部材１１の内端
部（前記ケース２の内部に配置される部分の端部、すな
わち、図３の左端部）外周部には図４に示すＯリング１
２を収容するリング状のＯリング収容溝が形成されてい
る。前記Ｏリング１２は、前記ホルダ装着孔９a（図１
参照）の内側面に圧接して、Ｏリング１２の左方を右方
の大気に対して気密に遮断するため部材である。図４に
おいて、前記ホルダ本体支持部材１１の内端部の内周面
には大径部１１aが形成されており、大径部１１aの右側
部分（−Ｙ側部分）は小径部１１bが形成され、前記大
径部１１aおよび小径部１１bの接続部には段部１１cが
形成されている。

【００１５】ホルダ本体支持部材１１の内側の内端部
（図３で左端部）には金属製（ステンレス製またはチタ
ン製）のホルダ本体１３の外端部（右端部）が挿入され
ている。ホルダ本体１３の外端部（右端部）は円筒形を
しており、その外周部にはリング状大径部１３aが形成
されている。前記リング状大径部１３aは前記段部１１c
に当接する位置まで挿入されている。前記ホルダ本体１
３の前記リング状大径部１３aよりも外端側部分（−Ｙ
側部分）は前記ホルダ本体支持部材１１の小径部１１b
と嵌合しており、ホルダ本体１３の前記嵌合部の外周面
にはＯリング１４を収容するリング状のＯリング溝が形
成されている。前記Ｏリング１４は、前記ホルダ本体支
持部材１１の内側面に圧接して、Ｏリング１４の左方を
右方の大気に対して気密に遮断するため部材である。前
記ホルダ本体１３のリング状大径部１３aは、ネジ１６
により前記ホルダ本体支持部材１１に固定されている。

【００１６】前記ホルダ本体支持部材１１の内端部の大
径部１１aと、この大径部に挿入されている前記ホルダ
本体１３のリング状大径部１３aの左側の小径部分との
間には円筒状スペーサ部材１７が挿入されている。前記
円筒状スペーサ部材１７はネジ１８により前記ホルダ本
体１３に固定されている。前記ホルダ本体１３は、前記
円筒状スペーサ部材１７（図４参照）の左端よりも左方
の部分は、その上面および下面が平坦に切除されてお
り、その前側面（Ｘ側の面）および後側面（−Ｘ側の
面）のみが円筒面（図８参照）に形成されている。

【００１７】図６、図７において、前記ホルダ本体１３
の内端（左端）には、被位置決め用球１９が接着されて
いる。この被位置決め用球１９は、ホルダ本体１３の左
右方向の位置決めを行うための部材であり、図１におい
て、ホルダ本体１３が前記ゴニオステージＧＳの右側か
ら左方に挿入された際に試料位置決め部材１０の位置決
め部材Ｓaに当接する部材である。図６、図７におい
て、ホルダ本体１３の内端部には、ホルダ本体１３を上
下に貫通する試料収容孔２１およびその外端側に配置さ
れた配線作業孔２２が形成されている。図８において前
記試料収容孔２１は、上部の幅（前後方向の間隔）が下
部よりも広く形成されており、前記上部および下部の境
界に接続線支持面２１aが形成されている。図６、図７
において、前記試料収容孔２１および配線作業孔２２の
間の部分（すなわち、試料収容孔２１の外端側部分）は
下半分が切除された外端側断熱部材取付部２３として形
成されている。また、前記試料収容孔２１の内端（左
端）側部分も下半分が切除されて内端側断熱部材取付部
２４として形成されている。前記外端側断熱部材取付部
２３には直方体状の絶縁性（アルミナ製）の外端側断熱
部材２６がボルト２７，２７により固定されており、外
端側断熱部材２６の内端側部分は前記試料収容孔２１内
に延びている。また、内端側断熱部材取付部２４には直
方体状の絶縁性（アルミナ製）の内端側断熱部材２８が
ボルト２９，２９により固定されており、内端側断熱部
材２８の外端側部分は前記試料収容孔２１内に延びてい
る。

【００１８】前記試料収容孔２１内に支持されて試料Ｓ
を支持する炉体３１は、図９に示すように、中央部に上
半分が切除された半円柱状の試料固定部３２および前記
試料固定部３２の外端および内端に一体的に形成された
外端側突出部３３および内端側突出部３４を有してい
る。前記外端側突出部３３および内端側突出部材３４
は、前記試料固定部３２と隣接する円柱状のヒータ装着
部３３aおよび３４aと、試料固定部３２から離れた下面
が削除された半円柱状の連結部３３bおよび３４bを有し
ている。連結部３３bおよび３４bにはボルト貫通溝３３
c、３４cが形成されている。前記炉体３１は、前記半円
柱状の連結部３３bおよび３４bがそれぞれ前記外端側断
熱部材２６および内端側断熱部材２８の上面にボルト３
５，３６が前記ボルト貫通溝３３cおよび３４cに貫通し
て固定支持されている。前記試料固定部３２には試料Ｓ
が載置される上側の平坦な試料載置面３２aから下側の
円筒面に達するビーム通過孔３２bが形成されている。
また試料載置面３２aには試料Ｓを固定するための試料
固定用ネジ孔３２c，３２cが形成されており、前記試料
Ｓは前記試料固定用ネジ孔３２c，３２cに螺合する試料
固定ネジ３７，３７により固定されるようになってい
る。

【００１９】前記炉体３１のヒータ装着部３３aおよび
３４aにはそれぞれ外端側ヒータ３８および内端側ヒー
タ３９が装着されている。前記外端側断熱部材２６には
一対のヒータ用中継端子４１，４１、試料通電用中継端
子４２，４２が取り付けられている。なお、前記断熱材
２６および２８に前記炉体３１を固定する前記ボルト３
５，３６は熱電対用中継端子として使用されている。前
記内端側断熱部材２８には一対のヒータ用中継端子４
３，４３が取り付けられている。なお、前記熱電対用中
継端子として使用されるボルト３６はアース線４４によ
り前記ボルト２９を介してホルダ本体１３にアースされ
ている。

【００２０】図７、図８において、前記ホルダ本体１３
の前側面（外側面）には上下に離れたリード線収容溝４
６、４７が形成され、後側面（外側面）には前側面とほ
ぼ同様のリード線収容溝（図８参照）４８，４９が形成
されている。上側のリード線収容溝４６，４８は前記ヒ
ータ用中継端子４１，４１に接続されるリード線を収容
する溝であり、下側のリード線収容溝４７，４９は前記
ヒータ用中継端子４３，４３に接続されるリード線を収
容する溝である。前記各リード線収容溝４６〜４９の外
端および内端（すなわち、Ｙ軸方向の両端）には試料ホ
ルダ１３の内部と接続する外端側リード線挿通孔４６a
〜４９aおよび内端側リード線挿通孔４６b〜４９bが形
成されている。

【００２１】前記リード線収容溝４６〜４９にはアルミ
ナ製（絶縁材製）のリード線挿通管が収容されている。
前記ホルダ本体支持部材１１の筒状内端部を通って前記
ホルダ本体１３の筒状外端部の内側に導入されたヒータ
電流供給用リード線Ｌ1〜Ｌ4は、前記外端側リード線挿
通孔４６a〜４９aを通って前記リード線収容溝４６〜４
９内のリード線挿通管内に導かれる。前記リード線収容
溝４６〜４９内のリード線挿通管内に導かれたヒータ電
流供給用リード線Ｌ1〜Ｌ4は前記内端側リード線挿通孔
４６b〜４９bを通ってホルダ本体１３内部に配置された
前記各ヒータ中継端子４１，４１，４３，４３に接続さ
れている。また、熱電対用リード線Ｌ5，Ｌ6は、図８
Ａ、図８Ｂに示すように、ホルダ本体１３内部を通っ
て、前記熱電対固定部材として使用される前記ボルト３
５（図７Ａ参照）により固定されている。そして、前記
熱電対用リード線Ｌ5およびＬ6間の図示しない熱電対は
炉体３１上に固定されている。また、前記ヒータ電流供
給用リード線Ｌ1〜Ｌ4と同様にしてホルダ本体１３内に
導入された試料通電用リード線Ｌ7，Ｌ8は、図８Ａ、図
８Ｂに示すように、ホルダ本体１３内部を通って前記試
料通電用中継端子４２，４２に接続されている。前記符
号１１〜４９で示された要素から試料ホルダＨ（図３参
照）が構成されている。

【００２２】図４において、前記各リード線Ｌ1〜Ｌ8
は、ホルダ本体１３の円筒状の外端部を内端側（左端
側）から外端側（右端側）に貫通している。ホルダ本体
１３の外端には前記各リード線Ｌ1〜Ｌ8と接続される６
本の接続導線Ｄ1，Ｄ3，Ｄ5〜Ｄ8を有するハーメチック
シール部材５１が固着されている。図１０に示すよう
に、リード線Ｌ1，Ｌ2は接続導線Ｄ1に接続され、リー
ド線Ｌ3，Ｌ4は接続導線Ｄ3に接続されている。そし
て、リード線Ｌ5〜Ｌ8は接続導線Ｄ5〜Ｄ8に接続されて
いる。ハーメチックシール部材５１は、ハーメチックシ
ール部材５１の左側のホルダ本体１３の内側と、右側の
ホルダ本体支持部材１１の内側とを気密に遮断するとと
もに、ホルダ本体１３の内側とホルダ本体支持部材１１
の内側との間の電気的接続を可能にする機能を有する部
品である。図４において、前記ハーメチックシール部材
５１の右側の前記ホルダ本体支持部材１１内側には、前
記接続導線Ｄ1，Ｄ3，Ｄ5〜Ｄ8に接続された信号伝送線
Ｔ1，Ｔ3，Ｔ5〜Ｔ8が収容されている。

【００２３】図３〜図５において、前記ホルダ本体支持
部材１１の外端には円形プレート５３が連結されてい
る。円形プレート５３の右側面には、前記信号伝送線Ｔ
1，Ｔ3，Ｔ5〜Ｔ8の外端部を固定支持するためのケーブ
ル固定部材５４および端子部材５６が固定されている。
前記信号伝送線Ｔ1，Ｔ3，Ｔ5〜Ｔ8は、その外端部が前
記ケーブル固定部材５４を用いて固定され、かつその外
端は前記端子部材５６の端子Ｃ1，Ｃ3，Ｃ5〜Ｃ8（図
３、図５参照）に接続されている。また前記円形プレー
ト５１には、前記ケーブル固定部材５４および信号伝送
線Ｔ1〜Ｔ8の外端部等を被覆する円筒ケース５７が固定
されている。前記端子Ｃ1，Ｃ3，Ｃ5，Ｃ6はヒータ用外
部ケーブルＥ1により加熱電源回路５８（図１０参照）
に接続され、前記端子Ｃ7，Ｃ8は通信ケーブルＥ2によ
り電流検出装置５９（図１０参照）に接続されている。

【００２４】図１０において、試料Ｓを支持する炉体３
１は炉体に支持された外側ヒータ３８、内側ヒータ３９
によって加熱される。外側ヒータ３８とヒータ用中継端
子４１，４１とはヒータ用接続線６１，６１により接続
され、内側ヒータ３９とヒータ用中継端子４３，４３と
はヒータ用接続線６２，６２により接続されている。ま
た、試料Ｓと試料通電用中継端子４２，４２とは試料通
電用接続線６３，６３により接続されている。

【００２５】（実施例の作用）前述の構成を備えた実施
例の試料ホルダＨのホルダ本体支持部材１１は、顕微鏡
筒等の真空室形成用の外壁に設けたゴニオステージＧＳ
の円筒状のホルダ装着部材９のホルダ装着孔９aに装着
されて使用される。その場合、前記ゴニオステージＧＳ
のホルダ装着孔９aにより支持された試料ホルダＨは、
ホルダ本体支持部材１１の軸（ホルダ軸）に沿ってスラ
イドさせることにより軸方向の位置を調節することがで
きる。また、前記試料ホルダＨを支持する円筒状のホル
ダ装着部材９をゴニオステージＧＳの球面軸受けにより
回動させることにより、試料ホルダＨのホルダ軸の向き
およびホルダ軸周りの回転位置を調節することができ
る。

【００２６】ホルダ本体支持部材１１の筒状内端部に筒
状外端部が連結されたホルダ本体１３は、ホルダ軸に沿
ってスライド移動することにより、試料ホルダＨ内端部
に支持した試料Ｓのホルダ軸方向の位置を調節できる。
前記ホルダ本体１３は、ホルダ本体１３の内端部に設け
られた上下に貫通する試料収容孔２１の外端側において
外端側断熱部材２６を支持し、内端側において内端側断
熱部材２８を支持する。前記外端側断熱部材２６および
前記内端側断熱部材２８は、炉体３１を固定支持する。
ビーム通過孔３２bを有する前記炉体３１の試料固定部
３２は、前記ビーム通過孔３２bを横切る位置に試料Ｓ
を固定する。したがって、試料Ｓを照射して透過したビ
ームは前記ビーム通過孔３２bを通過する。

【００２７】前記外端側断熱部材２６はヒータ用中継端
子４１，４１、熱電対固定部材として使用される前記ボ
ルト３５、および試料通電用中継端子４２，４２を支持
する。また、前記内端側断熱部材２８はヒータ用中継端
子４３，４３を支持する。前記ホルダ本体支持部材１１
の筒状内端部を通って前記ホルダ本体１３の筒状外端部
の内側に導入されるヒータ電流供給用リード線Ｌ1〜Ｌ4
は、その内端部が前記ヒータ用中継端子４１，４１，４
３，４３に接続される。また、熱電対用リード線Ｌ5，
Ｌ6は、図８Ａ、図８Ｂに示すように、ホルダ本体１３
内部を通って、前記熱電対固定部材として使用される前
記ボルト３５により固定されている。また、前記ホルダ
本体支持部材１１の筒状内端部を通って前記ホルダ本体
１３の筒状外端部の内側に導入される試料通電電流供給
用リード線Ｌ7，Ｌ8は、その内端部が前記試料通電用中
継端子４２，４２に接続される。

【００２８】ヒータ用接続線６１，６１，６２，６２
（図１０参照）は、前記炉体３１に支持された外側ヒー
タ３８または内側ヒータ３９と、前記炉体３１を固定支
持する外端側および内端側断熱部材２６，２８に支持さ
れたヒータ用中継端子４１，４１，４３，４３間を接続
する。また、試料通電用接続線６３，６３（図１０参
照）は前記炉体３１の試料固定部３２に支持された試料
Ｓおよび試料通電用中継端子４２，４２間を接続する。
したがって、試料通電電流供給用リード線Ｌ7，Ｌ8によ
り供給された電流は、ヒータ用中継端子４１，４１，４
３，４３およびヒータ用接続線６１，６１，６２，６２
を介して前記炉体３１に支持された外側ヒータ３８およ
び内側ヒータ３９を流れる。このときヒータ３８，３９
は発熱して前記炉体３１を加熱するので、炉体３１の試
料固定部３２に支持された試料Ｓも加熱される。前述の
ように、ヒータ用接続線６１，６１は外側断熱部材２６
に固定されたヒータ用中継端子４１，４１と、前記外側
断熱部材２６に固定支持された炉体３１により支持され
た外側ヒータ３８との間を接続する。前記ヒータ用中継
端子４１，４１および前記外側ヒータ３８の位置関係は
変化しないので、前記ヒータ用接続線６１，６１が引っ
張られて断線するようなことは生じない。同様に、前記
内側断熱部材２８に支持されたヒータ用中継端子４３，
４３および前記内側ヒータ３９の位置関係は変化しない
ので、前記ヒータ用接続線６２，６２が引っ張られて断
線するようなことは生じない。

【００２９】また、前記試料ホルダＨは、前記ホルダ本
体１３の外側面にはホルダ軸に沿ったリード線収容溝４
６〜４９が形成される。前記ヒータ電流供給用リード線
Ｌ1〜Ｌ4は、前記ホルダ本体１３の筒状外端部の内側か
ら前記リード線収容溝４６〜４９を通って、内端部が前
記ヒータ用中継端子４１，４１，４３，４３に接続され
る。このように、ヒータ電流供給用リード線Ｌ1〜Ｌ4
は、ホルダ本体１３の外側面を通ってホルダ本体１３内
側のヒータ用中継端子４１，４１，４３，４３に接続さ
れるので、ホルダ本体１３の内側にヒータ電流供給用リ
ード線Ｌ1〜Ｌ4を通すスペースを確保する必要がなくな
る。このため、ホルダ本体１３を小型に構成することが
可能となったり、または、ホルダ本体１３の内部を他の
リード線、例えば、熱電対用リード線Ｌ5，Ｌ6、試料通
電電流供給用リード線Ｌ7，Ｌ8等の収容スペースとして
使用することが可能となる。

【００３０】（変更例）以上、本発明の実施例を詳述し
たが、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内
で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更
実施例を下記に例示する。

【００３１】（Ｈ01）前記ヒータ電流供給用リード線Ｌ
1〜Ｌ4は前記ホルダ本体１３の外側を通す代わりに、ホ
ルダ本体の内側を通すことが可能である。また、前記内
側ヒータ３９に電流を供給するヒータ電流供給用リード
線Ｌ2，Ｌ4のみがホルダ本体１３外側のリード線収容溝
４７，４９を通るように構成することも可能である。

【００３２】

【発明の効果】前述の本発明の試料ホルダは、下記の効
果を奏することができる。 （Ｏ01）試料を加熱可能且つ試料に直接流れる通電電流
を供給可能な、構成が簡素で故障しに難い試料ホルダを
提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は本発明の試料ホルダの実施例が電子顕
微鏡（荷電粒子線装置）に装着された状態を示す図であ
る。

【図２】 図２は前記図１の矢印IIで示す部分の拡大図
である。

【図３】 図３は前記図１に示す試料ホルダおよびホル
ダ本体支持部材の全体説明図で、正面断面図である。

【図４】 図４は前記図３の矢印IＶで示す部分の拡大
図である。

【図５】 図５は前記図３の矢印Ｖ−Ｖ線断面図であ
る。

【図６】 図６は前記図３に実施例１の示す試料ホルダ
の説明図で、図６Ａは一部断面平面図、図６Ｂは側面図
で前記図６Ａの矢印ＶIＢから見た図、図６Ｃは縦断面
図で前記図６ＡのＶIＣ−ＶIＣ線断面図である。

【図７】 図７は前記図６に示す実施例１の試料ホルダ
の要部説明図で、図７Ａは一部断面平面図、図７Ｂは要
部側面図で前記図７Ａの矢印ＶIIＢから見た図、図７Ｃ
は要部縦断面図で前記図７ＡのＶIIＣ−ＶIIＣ線断面図
である。

【図８】 図８は試料ホルダの横断面図で、図８Ａは前
記図７ＡのＶIIIＡ−ＶIIIＡ線断面図、図８Ｂは前記図
７ＡのＶIIIＢ−ＶIIIＢ線断面図である。

【図９】 図９は前記実施例１の試料ホルダを構成する
試料固定部を有する炉体の斜視図である。

【図１０】 図１０は同実施例の電流供給回路の説明図
である。

【符号の説明】

Ｌ1〜Ｌ4…ヒータ電流供給用リード線、Ｌ7，Ｌ8…試料
通電電流供給用リード線、Ｓ…試料 １１…ホルダ本体支持部材、１３…ホルダ本体、２１…
試料収容孔、２６…外端側断熱部材、２８…内端側断熱
部材、３１…炉体、３２…試料固定部、３２b…ビーム
通過孔、３８，３９…ヒータ、４１，４３…ヒータ用中
継端子、４２…試料通電用中継端子、４６〜４９…リー
ド線収容溝、６１，６２…ヒータ用接続線、６３…試料
通電用接続線

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 下記の要件を備えた試料ホルダ、 （Ａ01）ホルダ軸に沿ってスライド可能なホルダ本体支
   持部材の筒状内端部に筒状外端部が連結されたホルダ本
   体、 （Ａ02）ホルダ本体の内端部に設けられた上下に貫通す
   る試料収容孔、 （Ａ03）前記試料収容孔の外端側において前記ホルダ本
   体に支持された外端側断熱部材、 （Ａ04）前記試料収容孔の内端側において前記ホルダ本
   体に支持された内端側断熱部材、 （Ａ05）前記外端側断熱部材および前記内端側断熱部材
   により固定支持される炉体、 （Ａ06）ビーム通過孔および前記ビーム通過孔を横切る
   位置に試料を固定する試料固定部を有する前記炉体、 （Ａ07）前記炉体に支持され且つ炉体を加熱するヒー
   タ、 （Ａ08）前記外端側断熱部材に支持されたヒータ用中継
   端子、 （Ａ09）前記ヒータおよびヒータ用中継端子間を接続す
   るヒータ用接続線、 （Ａ010）前記外端側断熱部材に支持された試料通電用
   中継端子、 （Ａ011）前記試料固定部に支持された試料および試料
   通電用中継端子間を接続する試料通電用接続線、 （Ａ012）前記ホルダ本体支持部材の筒状内端部を通っ
   て前記ホルダ本体の筒状外端部の内側に導入され、内端
   部が前記試料通電用中継端子に接続された試料通電電流
   供給用リード線、 （Ａ013）前記ホルダ本体支持部材の筒状内端部を通っ
   て前記ホルダ本体の筒状外端部の内側に導入され、内端
   部が前記ヒータ用中継端子に接続されたヒータ電流供給
   用リード線。
2. 【請求項２】 下記の要件を備えた請求項１記載の試料
   ホルダ、 （Ａ014）外側面にホルダ軸に沿ったリード線収容溝が
   形成された前記ホルダ本体、 （Ａ015）前記ホルダ本体の筒状外端部の内側から前記
   リード線収容溝を通って、内端部が前記ヒータ用中継端
   子に接続された前記ヒータ電流供給用リード線。