JPH10163094A - 露光装置及び露光方法並びに搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 レチクルを露光装置のレチクルライブラリに
自動的に搬送する。 【解決手段】 クリーンルーム内を移動するレチクルケ
ース無人搬送ロボットによりレチクルストッカから露光
装置までレチクルケースを搬送する。露光装置は、チャ
ンバー３１内部にレチクルケース搬送装置４０，４１と
レチクルケース位置合わせ装置４２とを備え、レチクル
搬送装置はレチクルケース受け渡し位置でレチクルケー
ス無人搬送ロボットから受け取ったレチクルケースを一
旦レチクルケース位置合わせ装置に搬送して位置合わせ
を行い、位置合わせされたレチクルケースをレチクル保
管装置（レチクルライブラリ）に搬送することにより、
レチクルケースを所定の位置精度でレチクル保管装置に
挿入すること可能とし、前記目的を達成する。レチクル
保管装置に保管されたレチクルは、従来のレチクル搬送
装置によって露光系のレチクルステージに自動搬送され
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レチクルに形成さ
れたパターンを基板に転写する露光装置、及び露光装置
や洗浄装置あるいは検査装置などのレチクルを取り扱う
装置においてレチクルを搬送する搬送装置及び搬送方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子や液晶表示素子等をフォトリ
ソグラフィ工程で製造する際に、フォトマスクやレチク
ル（以下、レチクルという）に形成されたパターンの像
を投影光学系を介して感光剤が塗布された半導体ウエハ
やガラスプレート等の基板上に投影・転写する露光装置
が使用されている。例えば、半導体素子製造時には、ウ
エハ表面に多数の回路パターンを作り込むために、数枚
から十数枚あるいはそれ以上のレチクルを用いてパター
ンを重ね合わせ露光することが行われる。各レチクル
は、雰囲気中の塵の付着や人が直接触れることによる汚
染、あるいは周囲の部材との接触による損傷等を防ぐた
め、専用のレチクルケースに収納して取り扱われるのが
一般的である。露光装置が設置されているクリーンルー
ム内にはレチクル保管用のレチクルストッカが配置さ
れ、レチクルストッカ内には多数のレチクルが収納され
て保管されている。

【０００３】図１６は、クリーンルーム内に設置されて
いる従来の露光装置の外観を示す略図である。露光装置
の本体は空調装置付きのチャンバー６０内に収容され、
チャンバー６０の内部は温度や清浄度（クリーン度）等
の環境が一定になるように空調されている。チャンバー
６０の一方の側面には、レチクル挿脱扉６１及びウエハ
挿脱扉６２が設けられている。レチクル挿脱扉６１の内
側には、露光装置で使用するレチクルを保管するレチク
ルライブラリ６３が配置されている。露光装置のオペレ
ータは、クリーンルーム内のレチクルストッカから所望
のレチクルが納められたレチクルケースを取り出し、露
光装置のチャンバー６０のレチクル挿脱扉６１を開け
て、そのレチクルの入ったレチクルケースをレチクルラ
イブラリ６３の棚に収納する。また、レチクルライブラ
リ６３から不要となったレチクルをケースごと取り出し
てレチクルストッカに戻す。

【０００４】露光時、露光装置本体のレチクル自動搬送
装置（レチクルローダ）は、レチクルライブラリ６３に
装着されたレチクルケースから必要なレチクルを取り出
し、投影光学系の上方に位置づけられたレチクルステー
ジへ自動搬送する。同様に、フォトレジスト等の感光剤
が塗布されたウエハは、ウエハ挿脱扉６２から露光装置
のチャンバー６０内に挿入され、ウエハ自動搬送装置
（ウエハローダ）により投影光学系の下方に位置する基
板ステージに一枚ずつ搬送される。こうしてレチクルに
形成されたパターンの像が投影光学系を介してウエハに
転写される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】半導体素子等の製造で
は、パターンの微細化、高集積化に伴い塵などの異物の
影響が大きくなっている。レチクルに異物が付着する
と、本来のパターンと同様に異物によって光が透過しな
い部分が発生し、不必要な素子ができたり、パターン同
志がつながっているように転写されてしまう。レチクル
は全チップの原板であるため、レチクルに異物が付着す
ると全チップが同じように不良になってしまう。レチク
ルのパターン面に直接異物が付着しないようにレチクル
に防塵膜（ペリクル）を張設することも行われている
が、大きな異物が付着した場合にはたとえペリクルを張
設したとしてもパターンに欠陥が生じてしまう。

【０００６】従来は、レチクルを保管しているレチクル
ストッカから露光装置のレチクルライブラリへのレチク
ル（正確にはレチクルケース）の挿脱を人手によって行
っていたため、途中でレチクルに異物が付着する可能性
があり、細心の注意が必要であった。

【０００７】また、人手による作業であるためレチクル
交換ミスが発生する可能性もゼロとはいえず、作業効率
の改善の点でも限界があった。更に、人手による作業の
ため、労力と時間とがかかった。

【０００８】本発明は、このような従来技術の問題点に
鑑みてなされたものであり、レチクルをレチクルストッ
カから露光装置本体の所定の位置まで人手を介すことな
く自動的に搬送するための方法及び装置を提供すること
を目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明においては、クリ
ーンルーム内を移動するレチクルケース無人搬送ロボッ
トによりレチクルストッカから露光装置のレチクルケー
ス受け渡し位置までレチクルケースを搬送する。露光装
置は、チャンバー内部にレチクルケース搬送装置とレチ
クルケース位置合わせ装置とを備える。レチクルケース
搬送装置は、レチクルケース受け渡し位置でレチクルケ
ース無人搬送ロボットから受け取ったレチクルケースを
一旦レチクルケース位置合わせ装置に搬送して位置合わ
せを行い、位置合わせされたレチクルケースをレチクル
保管装置（レチクルライブラリ）の所定の箇所に搬入す
る手順を経ることにより、レチクルケースを所定の位置
精度でレチクル保管装置に自動的に挿入すること可能と
し、前記目的を達成する。レチクル保管装置に保管され
たレチクルは、従来のレチクル搬送装置（レチクルロー
ダ）によって露光系のレチクルステージに自動搬送され
る。

【００１０】すなわち、本発明は、レチクル（Ｒ）が収
納されたレチクルケース（ＲＣ）を保管するレチクル保
管装置（４３）と、レチクル（Ｒ）に形成されたパター
ンの像を基板（Ｗ）に露光する露光系（ＰＬ，ＲＳ，Ｓ
Ｔ）と、レチクル保管装置（４３）と露光系（ＰＬ，Ｒ
Ｓ，ＳＴ）との間でレチクル（Ｒ）を搬送する第１搬送
装置（４６，４７，４８，４９）とを備えた露光装置に
おいて、露光装置の外部から搬送されたレチクルケース
（ＲＣ）を受け取って露光装置の内部に搬送する第２搬
送装置（４０，４１）と、第２搬送装置（４０，４１）
で搬送されたレチクルケース（ＲＣ）の位置合わせを行
うレチクルケース位置合わせ装置（４２）と、レチクル
ケース位置合わせ装置（４２）で位置合わせの行われた
レチクルケース（ＲＣ）をレチクル保管装置（４３）に
搬送する第３搬送装置（４０，４１）とを備えたことを
特徴とするものである。

【００１１】第２搬送装置と第３搬送装置とは別個の搬
送装置としてもよいし、１つの搬送装置で第２搬送装置
と第３搬送装置とを兼用してもよい。第２搬送装置は通
常はクリーンルーム内を自動走行するレチクルケース自
動搬送ロボット（３０Ａ，３０Ｂ）からレチクルケース
（ＲＣ）を受け取る。しかし、レチクルケース自動搬送
ロボット（３０Ａ，３０Ｂ）が使用できないときは人手
によって第２搬送装置（４０）にレチクルケース（Ｒ
Ｃ）を受け渡してもよい。

【００１２】レチクルケース位置合わせ装置（４２）
は、レチクルケース載置面（４２Ａ）と、レチクルケー
ス載置面（４２Ａ）から突出する複数の可動ピン（５１
Ａ〜５１Ｇ）とを備え、可動ピン（５１Ａ〜５１Ｇ）を
レチクルケース載置面（４２Ａ）に載置されたレチクル
ケース（ＲＣ）の外周部に押しつけることによってレチ
クルケース（ＲＣ）の位置合わせを行うことができる。

【００１３】露光装置の外部から第２搬送装置（４０）
に受け渡されたレチクルケース（ＲＣ）、又はレチクル
保管装置（４３）から第３搬送装置（４０）によって取
り出されたレチクルケース（ＲＣ）を一時的に収納する
ことのできるレチクルケース収納棚（４４）を例えばレ
チクルケース位置合わせ装置（４２）の上方に備える
と、複数のレチクルケース（ＲＣ）の受け渡しを効率的
に行うことができる。

【００１４】露光装置は、露光装置を所定の環境に調節
するチャンバー（３１）を有することができ、その場合
チャンバー（３１）に開口部（３４）を形成し、第２搬
送装置（４０）によるレチクルケース（ＲＣ）の授受は
チャンバー（３１）の開口部（３４）を介して行うこと
ができる。チャンバー（３１）内の環境は空調装置によ
り所定の温度、所定の清浄度に維持される。

【００１５】クリーンルーム内を自動走行するレチクル
ケース自動搬送ロボット（３０Ａ，３０Ｂ）の露光装置
に対する位置決め精度を向上するために、チャンバー外
壁等に露光装置の外部から視認できる視認マーク（３
５）を設けるのが好ましい。レチクルケース自動搬送ロ
ボット（３０Ａ，３０Ｂ）は、付属のＣＣＤカメラ等の
撮像装置で視認マーク（３５）を撮像し、その視認マー
ク（３５）の位置を基準にしてレチクルケースの受け渡
し位置を決定することで、露光装置に備えられている第
２搬送装置（４０）との間でのレチクルケース（ＲＣ）
の受け渡しをスムーズに行うことができる。

【００１６】また、本発明は、レチクル（Ｒ）が収納さ
れたレチクルケース（ＲＣ）を保管するレチクル保管装
置（４３）と、レチクル保管装置（４３）とレチクル
（Ｒ）を用いる装置との間でレチクル（Ｒ）を搬送する
第１搬送装置（４６，４７，４８，４９）とを備えた搬
送装置において、外部から搬送されたレチクルケース
（ＲＣ）を受け取って搬送装置の内部に搬送する第２搬
送装置（４０，４１）と、第２搬送装置（４０，４１）
で搬送されたレチクルケース（ＲＣ）の位置合わせを行
うレチクルケース位置合わせ装置（４２）と、レチクル
ケース位置合わせ装置（４２）で位置合わせの行われた
レチクルケース（ＲＣ）をレチクル保管装置（４３）に
搬送する第３搬送装置（４０，４１）とを備えたことを
特徴とする。第２搬送装置と第３搬送装置とは別個の搬
送装置としてもよいし、１つの搬送装置で第２搬送装置
と第３搬送装置とを兼用してもよい。

【００１７】また、本発明は、外部から搬送されたレチ
クルケース（ＲＣ）を、該レチクルケース（ＲＣ）を保
管するレチクル保管装置（４３）に搬送する搬送方法に
おいて、外部から搬送されたレチクルケース（ＲＣ）を
受け取るステップと、受け取ったレチクルケース（Ｒ
Ｃ）の位置を調節するステップと、位置が調節されたレ
チクルケース（ＲＣ）をレチクル保管装置（４３）に搬
送するステップとを含んでいることを特徴とする。

【００１８】レチクルケース（ＲＣ）の位置調節は、前
述のようにレチクルケース（ＲＣ）の外周部に可動ピン
（５１Ａ〜５１Ｇ）を押しつけることによって行うこと
ができる。

【００１９】本発明によると、レチクルの入ったレチク
ルケースの搬送を人手を介すことなく全て無人搬送手段
によって自動的に行うことができるので、露光装置等に
おいて大きな問題となる発塵を十分に抑制することがで
きる。特に、人体から出る塵の影響は皆無となる。

【００２０】また、第２搬送装置、レチクルケース位置
決め装置、第３搬送装置、及びレチクル保管装置に内蔵
されたレチクルケース自動固定機構等の連係動作によ
り、短時間でレチクルケースの授受を行うことができ、
作業の効率化及び生産性の向上を図ることができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。最初に、図１〜図４により、レチ
クルを収納するレチクルケースの一例について説明す
る。図１はレチクルケースＲＣの一例を示し、レチクル
ケースの上蓋を開けた状態を示している。このレチクル
ケースＲＣは、金属製の底板１上にコの字型の側面部材
２を取り付け、側面部材２の背面部にヒンジ３を介して
開閉自在に上蓋４を軸支し、上蓋４の先端部にヒンジ５
を介して前蓋６を軸支している。底板１と側面部材２と
の固定は、導電性の接着剤、又はねじによって行われ
る。

【００２２】側面部材２は、背面部２ｃと、これを端部
で挟むように対向する一対のレチクル支持部２ａ及び２
ｂとを一体成形して形成し、図１に向かって左側のレチ
クル支持部２ａ上の内側には深い溝部２ｄが形成され、
溝部２ｄの中央に凸部２ｆが形成され、溝部２ｄを囲む
ように上蓋４が密着する浅い段差部２ｈが形成されてい
る。また、凸部２ｆの内側の溝部２ｄの上に、一対の長
いピン状のストッパ９Ａ及び１２Ａが一体的に植設さ
れ、それらストッパ９Ａ及び１２Ａの内側にレチクルを
支持するための一対の短いレチクル支持ピン１０Ａ及び
１１Ａが一体的に植設されている。

【００２３】右側のレチクル支持部２ｂにおいても、左
側のレチクル支持部２ａと対称に、深い溝部２ｅ、凸部
２ｇ、上蓋４が密着する浅い段差部２ｉが形成され、凸
部２ｇの内側の溝部２ｅの上に、ストッパ９Ｂ及び１２
Ｂと、レチクル支持ピン１０Ｂ及び１１Ｂとが一体的に
植設されている。但し、図１にはストッパ９Ｂのみが現
れている。

【００２４】また、レチクル支持部２ａ及び２ｂの外面
にそれぞれ一体的にガイド部７Ａ及び７Ｂが設けられ、
上蓋４を側面部材２の段差部２ｈ及び２ｉに密着させた
状態で、ガイド部７Ａ及び７Ｂに押さえばね８Ａ及び８
Ｂを差し込み、押さえばね８Ａ及び８Ｂで上蓋４を側面
部材２側に付勢して、上蓋４を側面部材２に固定する。
ガイド部７Ａ，７Ｂには、また、複数のレチクルをケー
スごと保管するレチクルライブラリにレチクルケースを
装填した状態でレチクルケースを固定するためのレチク
ルケース固定ピン（後述）が係合する凹部２４が設けら
れている。

【００２５】図２は、押さえばね８Ａ及び８Ｂで上蓋４
を側面部材２上に押しつけた状態の平面図であり、この
図２に示すように、押さえばね８Ａ及び８Ｂの円弧部で
上蓋４が押さえられている。逆に、上蓋４をヒンジ３を
軸として回転させて開く場合には、それら押さえばね８
Ａ及び８Ｂをガイド部７Ａ及び７Ｂから取り外すだけで
よい。ガイド部７Ａ及び７Ｂは、レチクルケースＲＣを
レチクル保管装置等に搬入する際、又は搬出する際にガ
イドとして使用されるものである。押さえばね８Ａ及び
８Ｂは、ピアノ線等の針金を屈曲させて形成される。

【００２６】図１に戻り、上蓋４の底面の向かって左側
の中央部には軸受け部１３Ａ及び１４Ａが一体的に植設
され、軸受け部１３Ａ及び１４Ａの間に回転自在にレチ
クル押さえ１５Ａが取り付けられている。レチクル押さ
え１５Ａは、長い押さえ部１５Ａａと小さいばね係合部
１５Ａｂとを９０゜ねじれるように一体的に形成したも
のであり、上蓋４の底面の奥側に植設されたばね掛け部
１７Ａとばね係合部１５Ａｂとを引っ張りコイルばね１
６Ａで連結し、前蓋６の内側に一体的に植設されたばね
掛け部１９Ａとばね係合部１５Ａｂとを引っ張りコイル
ばね１８Ａで連結する。

【００２７】上蓋４の底面の向かって右側でも、左側と
対称的に、軸受け部１３Ｂ及び１４Ｂが一体的に植設さ
れ、軸受け部１３Ａ及び１４Ａの間に回動自在にレチク
ル押さえ１５Ｂが取り付けられている。そして、上蓋４
の底面のばね掛け部１７Ｂとレチクル押さえ１５Ｂのば
ね係合部とを引っ張りコイルばね１６Ｂで連結し、前蓋
６の内側のばね掛け部１９Ｂとそのばね係合部とを引っ
張りコイルばね１８Ｂで連結する。この場合、前蓋６が
ヒンジ５を軸としてθ２方向に回転して開くと、引っ張
りコイルばね１６Ａ，１６Ｂ及び１８Ａ，１８Ｂの作用
でレチクル押さえ１５Ａ及び１５Ｂが回転して、押さえ
部１５Ａａ及び１５Ｂａが上蓋４にほぼ平行になる。一
方、前蓋４がヒンジ５を軸としてθ２方向に回転して閉
じると、レチクル押さえ１５Ａ，１５Ｂの押さえ部１５
Ａａ，１５Ｂａが上蓋４に垂直になる方向に回転する。
従って、これら押さえ部１５Ａａ，１５Ｂにより内部の
レチクルを固定することができる。

【００２８】次に、この例のレチクルケースＲＣにレチ
クルを収納する場合の動作の一例を説明する。レチクル
ケースＲＣの前面に図３に示すように、レチクル搬送用
のアーム２３に載置されたレチクルＲが搬送されてく
る。レチクルＲのガラス基板の上面には、直接塵等の異
物が付着するのを防止するためのきわめて薄い防塵膜
（ペリクル）２１が矩形の枠２０を介して張設されてい
る。レチクルＲのガラス基板の下面（パターン形成面）
にもペリクルが矩形の枠２２を介して張設されている。

【００２９】図４は、図２のＡＡ線に沿う断面図であ
る。まず、図４（ａ）に示すように、前蓋６を開いた状
態で、レチクルケースＲＣの前面からペリクル付きのレ
チクルＲを差し込む。この際に、前蓋６に連結された引
っ張りコイルばね１８Ａ、及び上蓋４に連結された引っ
張りコイルばね１６Ａによってレチクル押さえ１５Ａが
回転し、押さえ部１５Ａａが上蓋４にほぼ平行になって
おり、レチクルＲは、底板１、側面部材２及び上蓋４に
より囲まれた空間内に入ることができる。

【００３０】その後、図４（ｂ）に示すように、レチク
ルＲのガラス基板の下面を２個のレチクル支持ピン１０
Ａ及び１１Ａの上に載置する。図４（ｂ）の手前側の２
個のレチクル支持ピン１０Ｂ及び１１Ｂ（図１参照）の
上にもレチクルＲのガラス基板は載置されている。この
状態で前蓋６を閉じることにより、レチクル押さえ１５
Ａの押さえ部１５Ａａ及び手前側のレチクル押さえ１５
Ｂ（図１参照）の押さえ部１５ＢａがレチクルＲのガラ
ス基板の上面に付勢され、レチクルＲは側面部材２上に
安定に保持される。また、レチクル支持ピン１０Ａ，１
１Ａの両側にはストッパ９Ａ及び１１Ａが植設されてい
るとともに、図１に示すように、レチクル支持ピン１０
Ａ，１１Ａ等の外側には凸部２ｆ及び２ｇがあるため、
レチクルＲをレチクルケースに収納して搬送する途中
で、レチクルＲが大きく移動することがない。従って、
レチクルＲに張設されたペリクル及びこのペリクルを支
持するための矩形の枠等が損傷することもない。

【００３１】図５は、クリーンルーム内に配置されたレ
チクルストッカ、露光装置、及びレチクルケース無人搬
送ロボット（以下、ＡＧＶ＝Auto Guide Vehicleとい
う）を示す概略図である。レチクルストッカ２５は、空
調されたチャンバ内に数百個のレチクル保管棚を有し、
そこにレチクルがむき出しのまま保管されている。ま
た、レチクルストッカ２５に隣接して複数台の露光装置
２７Ａ〜２７Ｈが配置されている。各露光装置２７Ａ〜
２７Ｈは、各々空調装置によって内部が一定の環境に維
持されたチャンバーを備え、チャンバー内に露光装置本
体がレチクル搬送装置やウエハ搬送装置とともに収容さ
れている。レチクルストッカ２５と各露光装置２７Ａ，
２７Ｂ，…の間には１台または数台のＡＧＶ３０Ａ，３
０Ｂが行き来しており、各露光装置２７Ａ，２７Ｂ，…
で必要とされるレチクルはＡＧＶ３０Ａ，３０Ｂによっ
てレチクルストッカ２５から露光装置２７Ａ，２７Ｂ，
…に搬送され、また各露光装置２７Ａ，２７Ｂ，…で不
要になったレチクルはＡＧＶ３０Ａ，３０Ｂによってそ
の露光装置２７Ａ，２７Ｂ，…からレチクルストッカ２
５に戻される。

【００３２】ＡＧＶ３０Ａ，３０Ｂは多自由度の搬送ア
ームを備え、レチクルストッカ２５の内部に備えられた
レチクルケース搬送装置との間でレチクルストッカ２５
の開口部扉２６を介してレチクルケースの授受を行い、
また、露光装置２７Ａ，２７Ｂ，…の内部に備えられた
後述する搬送アーム４０との間でチャンバーの開口部扉
２８Ａ，２８Ｂ，…を介してレチクルケースの授受を行
う。なお、ＡＧＶ３０Ａ，３０Ｂは、レチクルケースを
搬送アーム４０に受け渡す程度の搬送精度は有している
ものの、露光装置２７Ａ〜２７Ｈがレチクルケースを露
光装置２７Ａ〜２７Ｈ内で搬送するような精度は有して
いない。すなわち、ＡＧＶ３０Ａ，３０Ｂは、レチクル
ケースを精密に位置決めして搬送することはできないも
のである。

【００３３】露光装置や洗浄装置あるいは検査装置等で
必要とされるレチクルを取り出すときには、レチクルケ
ース無人搬送装置３０Ａ，３０Ｂをレチクルストッカ２
５の所定の位置に停止させ、レチクルストッカ２５の前
面の開口部扉２６を開けて、レチクルストッカ２５の内
部に備えられているレチクル搬送装置の搬送アームをレ
チクルストッカ２５の外部に突出させる。レチクルケー
ス無人搬送装置３０Ａ，３０Ｂからは空のレチクルケー
スをレチクルストッカ２５の開口部扉２６から突出され
た搬送アームに受渡す。搬送アームに受渡されたレチク
ルケースはレチクル保管棚にセットされ、レチクル保管
棚の使用すべきレチクルの一枚がレチクルストッカ２５
内の自動搬送機構により取り出され、空のレチクルケー
ス内に自動収納され、再び搬送アームを介してレチクル
ケース無人搬送装置３０Ａ，３０Ｂへ戻される。

【００３４】レチクルストッカ２５及び各露光装置２７
Ａ，２７Ｂ，…は上位コンピュータに接続されており、
上位コンピュータからの指令に基づいてＡＧＶ３０Ａ，
３０Ｂとの間でレチクルケースの授受を行う。ＡＧＶ３
０Ａ，３０Ｂもまた、無線等の手段によって上位コンピ
ュータと交信しており、上位コンピュータからの指令に
基づいて指示された露光装置２７Ａ〜２７Ｈとレチクル
ストッカ２５との間を走行して、レチクルストッカ２５
あるいは露光装置２７Ａ〜２７Ｈとの間にレチクルケー
スの授受を行う。

【００３５】ＡＧＶ３０Ａ，３０Ｂは、レチクルストッ
カ２５を制御するコンピュータあるいは露光装置２７
Ａ，２７Ｂ，…を制御するコンピュータと無線あるいは
光通信により交信を行い、レチクルストッカ２５あるい
は露光装置２７Ａ，２７Ｂ，…の内部に備えられている
搬送装置との間で相互にタイミングをとってレチクルケ
ースの授受を行う。ＡＧＶ３０Ａ，３０Ｂは、またＣＣ
Ｄカメラ等の撮像装置を備え、上位コンピュータによっ
て指定された露光装置２７Ａ，２７Ｂ，…の位置に自動
走行して移動するとともに、指定された露光装置２７
Ａ，２７Ｂ，…の所定箇所に設けられている視認マーク
を撮像装置で撮像し、その視認マークの位置を基準にし
て露光装置２７Ａ，２７Ｂ，…とのレチクルケース受け
渡し位置を決定する。そして、そのレチクルケース受け
渡し位置に向けて搬送アームを駆動し、露光装置２７
Ａ，２７Ｂ，…の内部に備えられている搬送装置との間
でレチクルケースの授受を行う。

【００３６】図６は、本発明による露光装置の内部構成
の一例を示す概略説明図である。図６には、本発明の説
明のために不可欠なレチクル（レチクルケース）搬送系
と露光系のみを示し、ウエハ搬送系、チャンバー内を所
定の環境に維持するための空調系等は図示を省略してい
る。なお、図６において鉛直方向（露光系の投影光学系
の光軸方向）をＺ方向とし、Ｚ方向と直交する方向をＸ
方向及びＹ方向とする。

【００３７】露光装置のチャンバー３１の側面にはヒン
ジを介して開閉することのできる開閉扉３２，３３が設
けられている。一方の開閉扉３２には、横長の開口部扉
３４が設けられるとともに、図７に示すような視認マー
ク３５が設けられている。開閉扉３２の内側には、搬送
アーム４０を開口部扉３４から突出させることができる
ようにして搬送装置４１が設けられている。搬送アーム
４０は、全体として上下方向（Ｚ方向）に移動でき、Ｘ
Ｙ平面内で回転可能であるとともに回転軸に対して伸縮
可能である。搬送装置４１の横には、レチクルケースの
ＸＹθ方向を修正するレチクルケース位置合わせ装置４
２、及び複数のレチクルＲを各々レチクルケースＲＣに
収納したまま保管するレチクルライブラリ４３がベース
３６上に配置されている。

【００３８】また、チャンバー３１内には、露光系を構
成するレチクルステージＲＳ上に保持されたレチクルＲ
を露光光で照明する不図示の照明光学系、ウエハＷを載
置してＸＹ方向に移動可能な基板ステージＳＴ、レチク
ルステージＲＳ上に保持されたレチクルＲのパターン像
をウエハＷ上に投影する投影光学系ＰＬ等からなる露光
系が配置されている。そして、レチクルライブラリ４３
と露光系との間には、レチクルライブラリ４３に保管さ
れている複数のレチクルのうちの所望のものを露光系の
レチクルステージＲＳ上に搬送し、また、使用し終わっ
たレチクルをレチクルステージＲＳからレチクルライブ
ラリ４３に搬送して戻すためのレチクル搬送装置（レチ
クルローダ）が配置されている。

【００３９】レチクルローダは、特公平１−３６２５５
号公報又は特公平３−７８３号公報に記載されているよ
うな既知の構成のものとすることができ、ここでは簡単
に説明する。レチクルライブラリ４３に保管されている
レチクルケースＲＣ内のレチクルＲは、ＸＹ平面と平行
に収納されている。そして、所望のレチクルＲをレチク
ルライブラリ４３に保管されたレチクルケースＲＣから
取り出したり、レチクルケースＲＣへ戻すスライダ４６
がＹ方向とＺ方向に移動可能に設けられている。スライ
ダ４６は、レチクルライブラリ４３に装着されたレチク
ルケースＲＣ内に進入して、あらかじめ指定されたレチ
クルＲのみを−Ｙ方向に取り出し、そのままＺ方向の最
上位置まで移動し、キャリア４７への受渡し位置ＣＡ１
までレチクルＲを搬送する。

【００４０】スライダ４６には、真空吸着孔が設けられ
ており、不図示の真空ポンプのＯＮ，ＯＦＦによりレチ
クルＲの真空吸着保持及び保持解除を行う。キャリア４
７は、Ｘ方向とＺ方向に移動可能であり、その下部に真
空吸着孔を有してレチクルＲの真空吸着保持及び保持解
除を行い、レチクルＲを受渡し位置ＣＡ１から位置ＣＡ
２まで搬送する。また、キャリア４７には４辺を基準に
２方向から挟み込んでレチクルＲをプリアライメントす
る機構（不図示）が設けられている。ロードアーム４８
とアンロードアーム４９はＹ方向、Ｚ方向に移動可能で
ある。ロードアーム４８とアンロードアーム４９とは、
位置ＣＡ２とレチクルステージＲＳとの間をＹ方向に個
別に移動可能であり、Ｚ方向については一体に移動する
構成となっている。ロードアーム４８とアンロードアー
ム４９とには、スライダ４６と同様にレチクルＲを保持
するための真空吸着孔が設けられており、真空のＯＮ，
ＯＦＦによりレチクルＲの真空吸着保持、及び保持解除
が可能となっている。

【００４１】次に、上記のように構成された露光装置の
レチクル搬送装置の動作について詳細に説明する。図５
により説明したように、レチクルストッカ２５内のレチ
クルケース搬送装置から所望のレチクルの入ったレチク
ルケースＲＣを渡されたレチクルケース自動搬送ロボッ
ト３０Ａは、上位コンピュータからの指令に基づいてそ
のレチクルケースを受け渡すべき露光装置の前まで走行
して停止する。露光装置のチャンバー外壁には、例えば
図７に示すように、円マークや円環マーク等のマーク３
５Ａからなる視認マーク３５が設けられており、レチク
ルケース自動搬送ロボット３０Ａは撮像装置でこの視認
マーク３５を撮像し、視認マーク３５の位置を基準にし
て露光装置内に備えられている搬送装置との間でのレチ
クルケースの受け渡し位置を決定する。露光装置側で
は、上位コンピュータの指令に基づいて、露光装置全体
を制御するコンピュータの指令によりチャンバー３１の
開口部扉３４を開けて、露光装置内に設置された搬送装
置４１の搬送アーム４０をチャンバー外のレチクルケー
ス受け渡し位置まで突出させる。レチクルケース自動搬
送ロボット３０Ａは、露光装置の制御コンピュータと光
通信等によって交信して、相互にタイミングをとりなが
ら、レチクルストッカ２５から搬送してきたレチクルケ
ースを搬送装置４１の搬送アーム４０に受け渡す。

【００４２】図８は、露光装置内に設置された搬送装置
４０，４１によるレチクルケースＲＣの搬送シーケンス
を説明する平面図である。図８（ａ）は、レチクルケー
ス受け渡し位置で、ＡＧＶから搬送装置４１の搬送アー
ム４０にレチクルケースＲＣが受け渡された状態を示し
ている。ＡＧＶがレチクルケースＲＣを搬送装置４０の
搬送アーム４１の上に置くと同時に搬送アーム４０の真
空吸着がＯＮになり、レチクルケースＲＣを真空吸着保
持する。続いて、図８（ｂ）に示すように、搬送アーム
４０がレチクルケースをチャンバー３１内のホームポジ
ションに引き込み、図８（ｃ）に示すように、レチクル
ケースＲＣをレチクルケース位置合わせ装置４２の方向
に向けるため搬送アーム４０が９０゜回転する。

【００４３】図９は、レチクルケース位置合わせ装置の
外観を示す斜視図である。レチクルケース位置合わせ装
置４２は上面がレチクルケース載置面４２Ａとなってお
り、その上に搬送アーム４０から受け渡されたレチクル
ケースＲＣが載置される。レチクル載置面４２Ａには、
３本のレチクルケース受け渡しピン５０Ａ，５０Ｂ，５
０Ｃと、レチクルケースＲＣのＸＹθ方向の位置を修正
するためのアライメントピン５１Ａ〜５１Ｇが設けられ
ている。受け渡しピン５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃは同期し
て上下動するように構成されており、搬送アーム４０と
の間でレチクルケースＲＣの授受を行う。アライメント
ピン５１Ａ〜５１Ｇの上端には、Ｚ軸の回りに回転自在
な回転ローラが５２が設けられている。また、アライメ
ントピン５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃは、レチクルケース載
置面４２Ａに形成されたＹ方向に細長いスロット５３
Ａ，５３Ｂ，５３Ｃに沿ってＹ方向に移動可能であり、
アライメントピン５１Ｄ，５１Ｅ，５１Ｆ，５１Ｇは、
Ｘ方向に細長いスロット５３Ｄ，５３Ｅ，５３Ｆ，５３
Ｇに沿ってＸ方向に移動可能である。これらの受け渡し
ピン５０Ａ〜５０Ｃ及びアライメントピン５１Ａ〜５１
Ｇは、レチクルケース宇位置合わせ装置４２に内蔵され
たモータ、エアシリンダ等の駆動装置によって駆動され
る。

【００４４】レチクルケース位置合わせ装置４２へのレ
チクルケースＲＣの受け渡しにあたっては、図８（ｄ）
に示すように、搬送アーム４０がレチクルケース位置合
わせ装置４２の上方に進入する。その後、レチクルケー
ス受け渡しピン５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃが上昇し、レチ
クルケースＲＣの底面に接触した後、搬送アーム４０の
真空吸着をＯＦＦすることによってレチクルケースＲＣ
はレチクルケース受け渡しピン５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ
上に受け渡される。その後、搬送アーム４０はレチクル
ケースＲＣより下方へ逃げ、さらに−Ｘ方向に移動して
ホームポジションに戻る。続いてレチクルケース受け渡
しピン５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃが下降し、レチクルケー
スＲＣは、レチクルケース載置面４２Ａ上に載置され
る。

【００４５】図１０は、レチクルケース位置合わせ装置
４２のレチクルケース載置面４２Ａ上に載置されたレチ
クルケースを示す上面図である。ここで、図１０を用い
て露光装置のコンピュータによるレチクルケースの位置
合わせについて説明する。

【００４６】まず、露光装置のコンピュータは、レチク
ルケース位置合わせ装置４２内の駆動装置によりアライ
メントピン５１Ａ，５１ＢをＹ方向の所定位置まで駆動
し、同時にアライメントピン５１Ｃを−Ｙ方向の所定位
置まで駆動する。この動きにより、アライメントピン５
１Ａ，５１ＢはレチクルケースＲＣのガイド部７Ａに接
触して＋Ｙ方向に押圧しつつ位置規制し、反対側のアラ
イメントピン５１Ｃはガイド部７Ｂに接触して−Ｙ方向
に押圧しつつ位置規制する。その結果、レチクルケース
ＲＣのＹ方向位置及びθ方向の回転位置が所定の状態に
規制され、Ｙ方向及びθ方向の位置合わせが行われる。

【００４７】次に、露光装置のコンピュータは、アライ
メントピン５１Ｄを−Ｘ方向に所定位置まで駆動すると
ともにとアライメントピン５１Ｅを＋Ｘ方向に所定位置
まで駆動し、ガイド部７ＡのＸ方向位置を規定する。同
時に、アライメントピン５１Ｆを−Ｘ方向に所定位置ま
で駆動するとともにとアライメントピン５１Ｇを＋Ｘ方
向に所定位置まで駆動し、ガイド部７ＢのＸ方向位置を
規定する。このときレチクルケースＲＣはＹθ方向の位
置規制を行うアライメントピン５１Ａ〜５１Ｃによって
狭持された状態でＸ方向に移動することになるが、アラ
イメントピン５１Ａ〜５１Ｃは回転ローラ５２を介して
レチクルケースＲＣのガイド部７Ａ，７Ｂと接触してい
るため、ガイドピン５１Ａ〜５１Ｃによるガイド部７
Ａ，７Ｂの押圧によってレチクルケースＲＣのＸ方向の
位置合わせが妨げられることはない。こうして、レチク
ルケースＲＣの位置合わせが完了する。

【００４８】露光装置のコンピュータは、レチクルケー
ス位置合わせ装置４２によるレチクルケースＲＣの位置
合わせが完了すると、アライメントピン５１Ａ〜５１Ｇ
をレチクルケースＲＣの外周部から離れるように駆動す
る。次いで、レチクルケース受け渡しピン５０Ａ〜５０
Ｃが上昇して、レチクルケースＲＣを持ち上げる。次
に、搬送装置４１の搬送アーム４０がレチクルケースＲ
Ｃの下方に移動させ、アライメントケース受け渡しピン
５０Ａ〜５０Ｃ上に載置されているレチクルケースＲＣ
を受け取る。搬送アーム４０は、レチクルケースＲＣを
受け取ると真空吸着をＯＮしてレチクルケースＲＣを固
定する。レチクルケースＲＣを保持した搬送アーム４０
は、図８（ｅ）に示すように、再びホームポジションに
戻る。

【００４９】ホームポジションにおいて、搬送アーム４
０は、図８（ｆ）に示すように９０゜回転し、レチクル
ライブラリ４３の方向を向く。続いて、レチクルケース
ＲＣを保持した搬送アーム４０は、不図示の上下動軸
（Ｚ方向）により所定の高さに位置決めした後、図８
（ｇ）に示すように、レチクルライブラリ４３の所定の
場所に進入し、搬送アーム４０の真空吸着をＯＦＦす
る。搬送アーム４０が下方へ退避すると、後述するよう
に、レチクルケースＲＣはレチクルライブラリ４３内の
レチクルケース支持ベアリングに支持され、レチクルラ
イブラリ４３に内蔵されたレチクルケース自動固定機構
により自動的に固定される。

【００５０】空になった搬送アーム４０は、図８（ｈ）
に示すように再びホームポジションに戻り、搬送シーケ
ンスを終える。さらに搬送アーム４０が１８０゜回転す
れば図８（ｂ）の状態に戻る。レチクルライブラリ４３
から不要になったレチクルを取り出す場合には、上記の
手順を逆に行えばよい。

【００５１】次に、図１１〜図１５を用いて、レチクル
ライブラリのレチクルケース自動固定機構について説明
する。図１１はレチクルライブラリの概略斜視図、図１
２〜図１４はレチクルライブラリへレチクルケースを挿
入する手順を示す側面図、図１５はレチクルライブラリ
の棚に収納されて固定された状態のレチクルケースを示
す上面図である。

【００５２】図１１に示すように、レチクルライブラリ
４３は基台６０から直立する一対の支持カラム６１Ａ，
６１Ｂを備える。支持カラム６１Ａ，６１Ｂの対向する
面には、レチクルケースの収納位置に、水平方向に一列
に並んだ複数のベアリングからなるレチクルケース支持
部６２Ａ１，６２Ｂ１（図１１には支持カラム６１Ａに
取り付けられた部材に関しては一部の部材のみを図示、
以下同じ）；６２Ａ２，６２Ｂ２；‥‥、先端にベアリ
ングを有するガイド部位置規制ピン６３Ａ１，６３Ｂ
１；６３Ａ２，６３Ｂ２；‥‥、レチクルケース固定ピ
ン６５Ａ１，６５Ｂ１；６５Ａ２，６５Ｂ２；‥‥が左
右対をなして取り付けられている。レチクルケース固定
ピン６５Ａ１，６５Ｂ１；６５Ａ２，６５Ｂ２；‥‥
は、基台６０の内部に設けられたモータ、エアシリン
ダ、ばね等の駆動装置により、支持カラム６１Ａ，６１
Ｂに設けられた円弧状のスロット６４Ａ１，６４Ｂ１；
６４Ａ２，６４Ｂ２；‥‥に沿って上下に移動可能であ
る。

【００５３】次に、レチクルライブラリ４３へレチクル
ケースＲＣを挿入し、固定する方法について説明する。
図１２は、すでに収納されているレチクルケースＲＣ
１，ＲＣ２の間のレチクル収納位置に新たなレチクルケ
ースＲＣを収納するために、搬送アーム４０によってレ
チクルケースを搬送している途中の状態を示している。
図１２（ａ）は支持カラム６１Ｂを取り外した状態でＸ
方向から見たレチクルライブラリ４３の側面図であり、
図１２（ｂ）は搬送装置４１側（Ｙ方向）からみたレチ
クルライブラリ４３の正面図を示している。上下のレチ
クルケースＲＣ１，ＲＣ２は、ガイド部７Ａ，７Ｂの底
面を各々レチクルケース支持部６２Ａ１，６２Ｂ１及び
６２Ａ３，６２Ｂ３上に載せ、ガイド部７Ａ，７Ｂから
側方に突出した耳部の位置を支持カラム６１Ａ，６１Ｂ
の端面とガイド部位置規制ピン６３Ａ１，６３Ｂ１及び
６３Ａ３，６３Ｂ３によってＹ方向に位置規制されて保
持されている。このとき、レチクルケース固定ピン６５
Ａ１，６５Ｂ１；６５Ａ２，６５Ｂ２；‥‥は、上方位
置にあってレチクルケースの固定を解除している。

【００５４】レチクルケースＲＣを真空吸着してレチク
ルライブラリ４３の一対の支持カラム６１Ａ，６１Ｂの
間に進入した搬送アーム４０は図１２の位置から、図１
３に示すように、レチクルケースＲＣのガイド部７Ａ，
７Ｂから側方に突出した耳部が支持カラム６１Ａ，６１
Ｂの搬送装置４１に対向する端面とガイド部位置規制ピ
ン６３Ａ２，６３Ｂ２の間に位置するまで−Ｙ方向に進
入して停止する。停止した後、搬送アーム４０はレチク
ルケースＲＣの真空吸着をＯＦＦする。

【００５５】続いて搬送アーム４０は、図１４に示すよ
うに、レチクルケースＲＣのガイド部７Ａ，７Ｂの底面
がレチクルケース支持部６２Ａ２，６２Ｂ２に接触する
まで−Ｚ方向に降下する。次いで、基台６０内の駆動装
置を駆動して、レチクルケース固定ピン６５Ａ１，６５
Ｂ１；６５Ａ２，６５Ｂ２；‥‥を円弧状のスロット６
４Ａ１，６４Ｂ１；６４Ａ２，６４Ｂ２；‥‥に沿って
下方に駆動する。この操作により、図１５にも示すよう
に、レチクルケース固定ピン６５Ａ１，６５Ｂ１；６５
Ａ２，６５Ｂ２；‥‥は、各レチクルケースＲＣ，ＲＣ
１，ＲＣ２，‥‥のガイド部７Ａ，７Ｂに設けられた凹
部に係合し、各レチクルケースＲＣ，ＲＣ１，ＲＣ２，
‥‥を下方に押圧するとともに−Ｙ方向に押圧して支持
カラム６１Ａ，６１Ｂに対して固定する。

【００５６】この後、レチクルケースＲＣの装填を終え
た搬送アーム４０はＹ方向に後退し、搬送アーム４０の
ホームポジションに戻る。レチクルライブラリ４３から
レチクルケースＲＣを取り出す場合には、上記の操作と
逆の操作を行えばよいが、この際、まずレチクルケース
固定ピン６５Ａ１，６５Ｂ１；６５Ａ２，６５Ｂ２；‥
‥を上方位置に駆動してレチクルケースＲＣの固定を解
除する必要がある。なお、ここで説明した例では、全て
のレチクルケース固定ピン６５Ａ１，６５Ｂ１；６５Ａ
２，６５Ｂ２；‥‥を同期して同時に駆動するようにし
たが、個々のレチクルケース毎にレチクル固定ピンを独
立して駆動するようにしてもよい。

【００５７】以上では、クリーンルーム内でレチクルス
トッカと露光装置との間にレチクルが収納されたレチク
ルケースを搬送するレチクルケース無人搬送ロボット
（ＡＧＶ）が露光装置の正面からレチクルケースの受け
渡しを行うものとして説明してきた。しかし、ＡＧＶと
露光装置との間でのレチクルケースの授受は、露光装置
の正面で行うことは必ずしも必要ではなく、露光装置の
側面あるいは背面からレチクルケースの授受を行っても
よい。

【００５８】また、ここで説明した例のＡＧＶはクリー
ンルームの床面を走行するタイプのものであった。しか
し、本発明で使用できるＡＧＶは床面を走行するタイプ
のものに限られない。例えば、レチクルストッカ及び露
光装置の上方に軌道を敷設し、その軌道に沿ってモータ
によってあるいはリニアモータ方式によってレチクルケ
ース搬送用のキャリアを移送するタイプのものとするこ
ともできる。その場合、ＡＧＶとの間でレチクルケース
の授受を行うためにレチクルストッカあるいは露光装置
に設けられる開口部扉はレチクルストッカあるいは露光
装置の上面に設けてもよい。あるいは、レチクルストッ
カ及び露光装置を設置している床面下に軌道を敷設し、
その軌道に沿ってレチクルケース搬送用のキャリアを移
送するようにしてもよい。この場合には、レチクルケー
スの授受を行うための開口部扉をレチクルストッカ及び
露光装置の下面に設けることもできる。

【００５９】次に、再び図６を参照して、本発明の別の
実施の形態について説明する。ここでは、ＡＧＶとの間
で複数個のレチクルケースの受け渡しを行う場合につい
て考える。

【００６０】例えば、ＡＧＶによって搬送されてきた複
数個のレチクルケースを露光装置のレチクルライブラリ
４３に収納するとき、搬送アーム４０で受け取ったレチ
クルケースをレチクル位置合わせ装置４２に載置して位
置合わせし、位置合わせされたレチクルケースをレチク
ルライブラリ４３の所定の位置に収納する動作を繰り返
すものとすると、全てのレチクルケースをＡＧＶから露
光装置のレチクルライブラリ４３に移すのに長時間を要
する。その間、ＡＧＶはその露光装置のレチクルケース
受け渡し位置に停止し続けなければならない。逆に、１
つの露光装置のレチクルライブラリ４３から複数個のレ
チクルケースを取り出してＡＧＶに受け渡す場合にも、
レチクルライブラリ４３から取り出したレチクルケース
を１個ずつレチクルケース位置合わせ装置４２で位置合
わせしてからＡＧＶに受け渡す動作を反復するものとす
ると、全てのレチクルケースの受け渡しに長時間を要
し、その間ＡＧＶを拘束することになる。

【００６１】このような不都合を解消するため、ここで
はレチクルケース位置合わせ装置４２の近くに複数個の
レチクルケースを一時的に収納することのできるレチク
ルケース収納棚４４を設ける。レチクルケース収納棚４
４を設けたことにより、複数個のレチクルケースをＡＧ
Ｖから受け取ってレチクルライブラリ４３に収納する際
には、露光装置側の搬送アーム４０は、ＡＧＶから受け
渡されたレチクルケースを位置合わせを行うことなく順
次レチクルケース収納棚４４に収納する。全てのレチク
ルケースを渡し終わると、ＡＧＶは次の作業位置に移動
する。一方、露光装置の内部では、レチクルケース収納
棚４４に一時的に収納されたレチクルケースを順番に取
り出し、レチクルケース位置合わせ装置４２上に搬送し
て位置合わせした後、レチクルライブラリ４３の所定の
位置に収納する。

【００６２】逆に、露光装置のレチクルライブラリ４３
から複数個のレチクルケースをＡＧＶに受け渡す際に
は、搬送アーム４０は指定されたレチクルケースをレチ
クルライブラリ４３から取り出し、レチクルケース位置
合わせ装置４２上に載置して位置合わせを行った後、レ
チクルケース収納棚４４に収納する動作を全てのレチク
ルケースの取り出しが終了するまで反復する。こうして
予め位置合わせが完了したレチクルケースを、レチクル
ケース収納棚４４から順次ＡＧＶに受け渡すことによ
り、複数個のレチクルケースを短時間で露光装置からＡ
ＧＶに受け渡すことができる。このように、レチクルケ
ース位置合わせ装置４２の近くに複数個のレチクルケー
スを一時的に収納することのできるレチクルケース収納
棚４４を設けたことにより、ＡＧＶの拘束時間を短縮
し、効率的にＡＧＶを運転することが可能となる。

【００６３】このように、本発明によると、レチクルの
搬送及び装填を人手を介することなく全て自動的に行う
ことが可能となるため、レチクルの取り扱い効率が向上
して露光装置の生産性を上げることができる。また、塵
等の異物の発生を抑制することができ、高集積化する微
細パターンヘの対応および歩留りの向上を図ることがで
きる。

【００６４】また、露光装置内のレチクルケース位置合
わせ装置４２ではレチクルケースと搬送アーム４０との
相対的位置ずれを矯正するため、ＡＧＶから搬送アーム
４０へのレチクルケース授受の際の位置ずれの許容幅を
大きくすることができ、それだけＡＧＶと露光装置側の
搬送アーム４０との間でのレチクルケースの授受が容易
となり、レチクルライブラリ４３へのレチクルケースの
装填を正確に行うことができる。

【００６５】以上、上記実施の形態では露光装置につい
て述べたが、本発明は露光装置への適用に限られるもの
ではなく、レチクル洗浄装置やレチクル検査装置等に対
しても同様に適用できる。

【００６６】

【発明の効果】本発明によると、レチクルケース無人搬
送ロボットとの間でのレチクルの授受、露光装置内での
レチクルの搬送及びレチクルライブラリへの装填等、レ
チクルの取り扱い操作を全て自動的に行うことが可能と
なるため、レチクルの取り扱い効率が向上して露光装置
の生産性を上げることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】レチクルケース一例を示す図であり、レチクル
ケースの上蓋を開けた状態を示す斜視図。

【図２】図１のレチクルケースの上蓋を閉じた状態を示
す平面図。

【図３】レチクルケースに収納されるペリクル付きのレ
チクルを搬送する状態を示す一部を切り欠いた斜視図。

【図４】図２のＡＡ線に沿う断面図であり、（ａ）は前
蓋を開けた状態を示す断面図、（ｂ）は内部にレチクル
を収納して前蓋を閉じた状態を示す断面図。

【図５】クリーンルーム内に配置されたレチクルストッ
カ、露光装置、及びレチクルケース無人搬送ロボットを
示す概略図。

【図６】露光装置の内部構成を示す概略説明図。

【図７】視認マークの説明図。

【図８】露光装置内に設置された搬送装置によるレチク
ルケースの搬送シーケンスを説明する平面図。

【図９】レチクルケース位置合わせ装置の外観を示す斜
視図。

【図１０】レチクルケース位置合わせ装置のレチクルケ
ース載置面上に載置されたレチクルケースを示す上面
図。

【図１１】レチクルライブラリの概略斜視図。

【図１２】レチクルケース挿入の手順を示す図であり、
（ａ）は支持カラム６１Ｂを取り外した状態でＸ方向か
ら見たレチクルライブラリの側面図、（ｂ）は搬送装置
側（Ｙ方向）からみたレチクルライブラリの正面図であ
る。

【図１３】レチクルケース挿入の手順を示す側面図。

【図１４】レチクルケース挿入の手順を示す側面図。

【図１５】レチクルライブラリの棚に収納されて固定さ
れた状態のレチクルケースを示す上面図。

【図１６】クリーンルーム内に設置されている従来の露
光装置の外観を示す略図。

【符号の説明】

ＰＬ…投影光学系、Ｒ…レチクル、ＲＣ…レチクルケー
ス、ＲＳ…レチクルステージ、ＳＴ…基板ステージ、Ｗ
…ウエハ、２…側面部材、３…ヒンジ、４…上蓋、５…
ヒンジ、６…前蓋，７Ａ，７Ｂ…ガイド部、８Ａ，８Ｂ
…押さえばね、９Ａ，９Ｂ，１２Ａ，１２Ｂ…ストッ
パ、１０Ａ，１０Ｂ，１１Ａ，１１Ｂ…レチクル支持ピ
ン、１５Ａ，１５Ｂ…レチクル押さえ、１６Ａ，１６
Ｂ，１８Ａ，１８Ｂ…引っ張りコイルばね、２１…ペリ
クル、２５…レチクルストッカ、２６…開口部扉、２７
Ａ〜２７Ｈ…露光装置、２８Ａ，２８Ｂ…開口部扉、３
０Ａ，３０Ｂ…レチクルケース無人搬送ロボット（ＡＧ
Ｖ）、３１…チャンバー、３２，３３…開閉扉、３４…
開口部扉、３５…視認マーク、３６…ベース、４０…搬
送アーム、４１…搬送装置、４２…レチクルケース位置
合わせ装置、４２Ａ…レチクルケース載置面、４３…レ
チクルライブラリ、４４…レチクルケース収納棚、４６
…スライダ、４７…キャリア、４８，４９…ロードアー
ム、５０Ａ〜５０Ｃ…レチクルケース受け渡しピン、５
１Ａ〜５１Ｇ…アライメントピン、５３Ａ〜５３Ｇ…ス
ロット、６０…基台、６１Ａ，６１Ｂ…支持カラム、６
２Ａｎ，６２Ｂｎ…レチクルケース支持部、６３Ａｎ，
６３Ｂｎ…ガイド部位置規制ピン、６５Ａｎ，６５Ｂｎ
…レチクルケース固定ピン

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レチクルが収納されたレチクルケースを
   保管するレチクル保管装置と、前記レチクルに形成され
   たパターンの像を基板に露光する露光系と、前記レチク
   ル保管装置と前記露光系との間で前記レチクルを搬送す
   る第１搬送装置とを備えた露光装置において、 前記露光装置の外部から搬送されたレチクルケースを受
   け取って前記露光装置の内部に搬送する第２搬送装置
   と、前記第２搬送装置で搬送されたレチクルケースの位
   置合わせを行うレチクルケース位置合わせ装置と、前記
   レチクルケース位置合わせ装置で位置合わせの行われた
   レチクルケースを前記レチクル保管装置に搬送する第３
   搬送装置とを備えたことを特徴とする露光装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の露光装置において、前記
   レチクルケース位置合わせ装置は、レチクルケース載置
   面と、前記レチクルケース載置面から突出する複数の可
   動ピンとを備え、前記可動ピンを前記レチクルケース載
   置面に載置されたレチクルケースの外周部に押しつける
   ことによって前記レチクルケースの位置合わせを行うこ
   とを特徴とする露光装置。
3. 【請求項３】 請求項１記載の露光装置において、前記
   露光装置の外部から前記第２搬送装置に受け渡されたレ
   チクルケース、又は前記レチクル保管装置から前記第３
   搬送装置によって取り出されたレチクルケースを一時的
   に収納することのできるレチクルケース収納棚を備える
   ことを特徴とする露光装置。
4. 【請求項４】 請求項１記載の露光装置において、前記
   露光装置は、前記露光装置を所定の環境に調節するチャ
   ンバーを有しており、前記第２搬送装置は前記チャンバ
   ーに形成された開口部を介して前記レチクルケースを受
   け取ることを特徴とする露光装置。
5. 【請求項５】 請求項１記載の露光装置において、前記
   露光装置の外部から視認できる視認マークを設けたこと
   を特徴とする露光装置。
6. 【請求項６】 レチクルが収納されたレチクルケースを
   保管するレチクル保管装置と、前記レチクル保管装置と
   前記レチクルを用いる装置との間で前記レチクルを搬送
   する第１搬送装置とを備えた搬送装置において、 外部から搬送されたレチクルケースを受け取って前記搬
   送装置の内部に搬送する第２搬送装置と、前記第２搬送
   装置で搬送されたレチクルケースの位置合わせを行うレ
   チクルケース位置合わせ装置と、前記レチクルケース位
   置合わせ装置で位置合わせの行われたレチクルケースを
   前記レチクル保管装置に搬送する第３搬送装置とを備え
   たことを特徴とする搬送装置。
7. 【請求項７】 外部から搬送されたレチクルケースを、
   該レチクルケースを保管するレチクル保管装置に搬送す
   る搬送方法において、 前記外部から搬送されたレチクルケースを受け取るステ
   ップと、前記受け取ったレチクルケースの位置を調節す
   るステップと、前記位置が調節されたレチクルケースを
   前記レチクル保管装置に搬送するステップとを含んでい
   ることを特徴とする搬送方法。
8. 【請求項８】 請求項７記載の搬送方法において、前記
   レチクルケースの位置を調節するステップは、前記レチ
   クルケースの外周部に可動ピンを押しつけることによっ
   て行われることを特徴とする搬送方法。