JPH10166584A - インクジェットヘッドおよびその製造方法ならびにインクジェットカートリッジおよびインクジェット装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数の電気熱変換体を液路の長手方向に沿っ
て配列したインクジェットヘッドは、個々の電気熱変換
体を駆動した場合の液体の吐出特性が均一ではない。 【解決手段】 それぞれ液滴を吐出するための複数の吐
出エネルギー発生部が設けられた基板１３と、吐出エネ
ルギー発生部に対応する溝およびこれら溝の一端にそれ
ぞれ連通する吐出口２３が形成された溝付き部材１６と
を具え、基板１３と溝付き部材１６とを接合することに
よって吐出口２３にそれぞれ連通する液路１４を形成
し、この液路１４から吐出口２３を介して液滴を吐出す
るようにしたインクジェットヘッド１０であって、吐出
エネルギー発生部は、液体に膜沸騰を生じさせる熱エネ
ルギーをそれぞれ発生すると共にシート抵抗値が相互に
異なる複数の電気熱変換体１１ａ, １１ｂを個々に有す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液体に膜沸騰を生
じさせる複数の電気熱変換体をそれぞれ持った複数の吐
出エネルギー発生部を有するインクジェットヘッドおよ
びその製造方法ならびにインクジェットカートリッジお
よびインクジェット装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】米国特許第４７２３１２９号明細書や、
米国特許第４７４０７９６号明細書に記載されているイ
ンクジェットプリント方式は、高速かつ高密度で高精度
かつ高画質のプリントが可能であり、多色化およびコン
パクト化に適しており、近年、特に注目を集めている。
このインクジェットプリント方式を用いたインクジェッ
ト装置においては、インクやこのインクのプリント性を
調整する処理液などの液体を熱エネルギーを利用して吐
出させるため、液体に膜沸騰を生じさせる吐出エネルギ
ー発生部が設けられている。すなわち、液体が通過する
液路に対応して一対の配線電極と、これら配線電極に接
続して熱エネルギーを発生するための発熱抵抗層を持っ
た電気熱変換体とを設け、この電気熱変換体から発生し
た熱エネルギーを利用して液体を急激に加熱発泡させ、
この発泡時の膨張圧力によって液体を吐出口から吐出さ
せるようにしている。

【０００３】さらに、最近においては、高精度かつ高画
質を狙いとして電気熱変換体の配列間隔を狭める工夫が
なされている。例えば、吐出口を電気熱変換体と正対さ
せた、いわゆるサイドシュータタイプのインクジェット
ヘッドでは、電気熱変換体を半ピッチずつずらして千鳥
状に配列したり、あるいは吐出口を電気熱変換体の表面
に沿ってその側方に配置した、いわゆるエッジシュータ
タイプのインクジェットヘッドでは、液体が通過する液
路の長手方向に沿って電気熱変換体を一列に複数個配置
し、実質的に配列ピッチが狭まるようにしている。さら
に、プリント画像に階調性を持たせるため、複数の発熱
抵抗体の面積を変え、これら発熱抵抗体を個々に駆動し
て液体の発泡サイズを変化させ、吐出口から吐出される
液滴の吐出量に差を持たせるなどの提案がなされてい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】インクジェットヘッド
の吐出エネルギー発生部を複数の電気熱変換体で構成
し、これらを液路の長手方向に沿ってそれぞれ一列に配
置した場合、個々の吐出口から各電気熱変換体までの距
離がすべて相違することとなる。特に、吐出口から遠い
距離にある電気熱変換体を駆動した場合の液体の吐出特
性は、吐出口に近い距離にある電気熱変換体を駆動した
場合の液体の吐出特性よりも悪化する傾向を持つ。

【０００５】このようなことから、吐出口から遠い距離
にある電気熱変換体をできるだけ吐出口に近づけるた
め、吐出口に近い距離にある電気熱変換体を液路の長手
方向に沿って延びる矩形ではなく、正方形に近い形状に
することが考えられている。

【０００６】しかし、吐出口に近い距離にある電気熱変
換体の形状を正方形に近い形状にすると、その電気抵抗
値が変化してしまうため、液路の長手方向に沿って配列
する電気熱変換体の発熱量がそれぞれ相違してしまい、
特に、吐出口に近い距離にある電気熱変換体の発熱エネ
ルギーが不足傾向となり、今度は吐出口に近い距離にあ
る電気熱変換体を駆動した場合の液体の吐出特性が逆に
悪化してしまう傾向を持つ。

【０００７】

【発明の目的】本発明の目的は、複数の電気熱変換体が
各液路の長手方向に沿ってそれぞれ配列され、個々の電
気熱変換体を駆動した場合における液体の吐出特性が良
好なインクジェットヘッドおよびその製造方法を提供す
ることにある。

【０００８】本発明の他の目的は、かかるインクジェッ
トヘッドを組み込んだインクジェットカートリッジおよ
びインクジェット装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の形態は、
それぞれ液滴を吐出するための複数の吐出エネルギー発
生部が設けられた基板と、前記吐出エネルギー発生部に
対応する溝およびこれら溝の一端にそれぞれ連通する吐
出口が形成された溝付き部材とを具え、前記基板と前記
溝付き部材とを接合することによって前記吐出口にそれ
ぞれ連通する液路を形成し、この液路から前記吐出口を
介して液滴を吐出するようにしたインクジェットヘッド
であって、前記吐出エネルギー発生部は、液体に膜沸騰
を生じさせる熱エネルギーをそれぞれ発生する複数の電
気熱変換体を個々に有し、個々の前記吐出エネルギー発
生部をそれぞれ構成する複数の電気熱変換体は、これら
のシート抵抗値が相互に異なるものであることを特徴と
するインクジェットヘッドにある。

【００１０】本発明の第２の形態は、それぞれ液滴を吐
出するための複数の吐出エネルギー発生部が設けられた
基板と、前記吐出エネルギー発生部に対応する溝および
これら溝の一端にそれぞれ連通する吐出口が形成された
溝付き部材とを具え、前記複数の吐出エネルギー発生部
は、液体に膜沸騰を生じさせる熱エネルギーをそれぞれ
発生する複数の電気熱変換体を個々に有し、個々の前記
吐出エネルギー発生部をそれぞれ構成する複数の電気熱
変換体は、これらのシート抵抗値が相互に異なり、前記
基板と前記溝付き部材とを接合することによって前記吐
出口にそれぞれ連通する液路を形成し、この液路から前
記吐出口を介して液滴を吐出するようにしたインクジェ
ットヘッドの製造方法であって、個々の前記吐出エネル
ギー発生部をそれぞれ構成する複数の電気熱変換体に対
し、選択的に不純物をイオン注入することにより、これ
らのシート抵抗値を相互に異なるようにしたことを特徴
とするインクジェットヘッドの製造方法にある。

【００１１】本発明の第３の形態は、それぞれ液滴を吐
出するための複数の吐出エネルギー発生部が設けられた
基板と、前記吐出エネルギー発生部に対応する溝および
これら溝の一端にそれぞれ連通する吐出口が形成された
溝付き部材とを具え、前記複数の吐出エネルギー発生部
は、液体に膜沸騰を生じさせる熱エネルギーをそれぞれ
発生する複数の電気熱変換体を個々に有し、個々の前記
吐出エネルギー発生部をそれぞれ構成する複数の電気熱
変換体は、これらのシート抵抗値が相互に異なり、前記
基板と前記溝付き部材とを接合することによって前記吐
出口にそれぞれ連通する液路を形成し、この液路から前
記吐出口を介して液滴を吐出するようにしたインクジェ
ットヘッドの製造方法であって、個々の前記吐出エネル
ギー発生部をそれぞれ構成する複数の電気熱変換体に対
し、選択的に不純物を拡散することにより、これらのシ
ート抵抗値を相互に異なるようにしたことを特徴とする
インクジェットヘッドの製造方法にある。

【００１２】本発明の第４の形態は、それぞれ液滴を吐
出するための複数の吐出エネルギー発生部が設けられた
基板と、前記吐出エネルギー発生部に対応する溝および
これら溝の一端にそれぞれ連通する吐出口が形成された
溝付き部材とを具え、前記基板と前記溝付き部材とを接
合することによって前記吐出口にそれぞれ連通する液路
を形成し、この液路から前記吐出口を介して液滴を吐出
するようにしたインクジェットヘッドと、このインクジ
ェットヘッドに供給するための前記液体を蓄える液体タ
ンクとを具えたインクジェットカートリッジであって、
前記吐出エネルギー発生部は、液体に膜沸騰を生じさせ
る熱エネルギーをそれぞれ発生する複数の電気熱変換体
を個々に有し、個々の前記吐出エネルギー発生部をそれ
ぞれ構成する複数の電気熱変換体は、これらのシート抵
抗値が相互に異なるものであることを特徴とするインク
ジェットカートリッジにある。

【００１３】本発明の第５の形態は、それぞれ液滴を吐
出するための複数の吐出エネルギー発生部が設けられた
基板と、前記吐出エネルギー発生部に対応する溝および
これら溝の一端にそれぞれ連通する吐出口が形成された
溝付き部材とを具え、前記基板と前記溝付き部材とを接
合することによって前記吐出口にそれぞれ連通する液路
を形成し、この液路から前記吐出口を介して液滴を吐出
するようにしたインクジェットヘッドの取り付け部を具
えたインクジェット装置であって、前記吐出エネルギー
発生部は、液体に膜沸騰を生じさせる熱エネルギーをそ
れぞれ発生する複数の電気熱変換体を個々に有し、個々
の前記吐出エネルギー発生部をそれぞれ構成する複数の
電気熱変換体は、これらのシート抵抗値が相互に異なる
ものであることを特徴とするインクジェット装置にあ
る。

【００１４】本発明によると、個々の吐出エネルギー発
生部をそれぞれ構成する複数の電気熱変換体の形状の相
違による発泡電圧の相違が解消されるように、これら電
気熱変換体のシート抵抗値が別々に設定される。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明の第１の形態のインクジェ
ットヘッドにおいて、液路の長手方向に沿って複数の電
気熱変換体を配置し、吐出口に近い電気熱変換体ほどそ
のシート抵抗値を大きく設定することが好ましい。ま
た、個々の吐出エネルギー発生部をそれぞれ構成する複
数の電気熱変換体のシート抵抗値が相互に異なるよう
に、電気熱変換体を構成する電気抵抗材料をそれぞれ変
えたり、あるいは電気熱変換体を構成する電気抵抗材料
の積層数をそれぞれ変えることが有効である。

【００１６】本発明の第４の形態のインクジェットカー
トリッジにおいて、液体は、インクおよび／またはプリ
ント媒体に吐出されるこのインクのプリント性を調整す
る処理液であってもよい。

【００１７】本発明の第５の形態のインクジェット装置
において、インクジェットヘッドの取り付け部が、イン
クジェットヘッドから液滴が吐出されるプリント媒体の
搬送方向と交差する方向に走査移動可能であってもよ
く、インクジェットヘッドは、着脱手段を介してインク
ジェットヘッドの取り付け部に着脱自在に取り付けられ
るものであってもよい。

【００１８】

【実施例】本発明によるインクジェットヘッドの一実施
例について、図１〜図１１を参照しながら詳細に説明す
る。

【００１９】本実施例によるインクジェットヘッドの外
観を図１に示し、その断面構造を図２に示し、その III
−III 矢視断面構造を図３に示し、吐出エネルギー発生
部の平面形状を図４に示し、そのＶ−Ｖ矢視断面構造を
図５に示す。すなわち、インクジェットヘッド１０は、
エッチング法や、蒸着法や、あるいはスパッタリング法
などの半導体製造プロセスを経て、本発明の吐出エネル
ギー発生部としての電気熱変換体１１ａ, １１ｂや、こ
れら電気熱変換体１１ａ, １１ｂに対して選択的に電流
を供給するための電極配線１２などが成膜された基板１
３と、この基板１３との接合により形成される液路１４
を仕切るための溝壁１５が形成された溝付き板１６とで
主要部が構成されている。基板１３は、シリコン基板
や、電気熱変換体１１ａ, １１ｂを駆動するための集積
回路をＢｉＣＭＯＳ形態あるいはＣＭＯＳ形態であらか
じめ作り込んだ基板を用いることができる。

【００２０】基板１３の表面には、二酸化ケイ素などに
よって蓄熱層１７が形成されており、この蓄熱層１７の
上には、窒化タンタルなどによる電気熱変換体１１ａ,
１１ｂと、アルミニウムなどによる電極配線１２が配設
される。これら電気熱変換体１１ａ, １１ｂおよび電極
配線１２は、インクやプリント媒体に対するインクのプ
リント性を調整するための処理液などの液体との直接的
な接触による腐食を防止するため、二酸化ケイ素や窒化
ケイ素などで形成される絶縁性保護層１８で覆われる。
さらに、電気熱変換体１１ａ, １１ｂの上には、液体の
沸騰に伴うキャビテーションによる破壊を防止するた
め、タンタルなどで形成された耐キャビテーション部１
９が設けられる。

【００２１】前記溝付き板１６は、上述した溝壁１５の
他に、これら溝壁１５によって仕切られる各々の液路１
４に連通して共通液室２０となる液室枠２１と、液体を
蓄えた図示しない液体タンクから図示しない液体供給管
を介して共通液室２０に液体を導入するための液体供給
口２２と、この溝付き板１６に一体的に接合されて液路
１４に連通する吐出口２３をそれぞれ形成した吐出口板
２４とを有する。この溝付き板１６は、ポリサルフォン
を射出成形して得られるが、液晶ポリマーやポリエーテ
ルサルフォンなどの樹脂により形成することも可能であ
る。

【００２２】電気熱変換体１１ａ, １１ｂは、液路１４
の長手方向（図２中、左右方向）に沿って一直線状に配
列し、吐出口２３から遠い方に位置する電気熱変換体
（以下、これを上流側の電気熱変換体と記述する）１１
ａをできるだけ吐出口２３側に近づけるため、吐出口２
３に近い方の電気熱変換体（以下、これを下流側の電気
熱変換体と記述する）１１ｂを正方形状に形成してあ
る。また、本実施例では吐出口２３から遠い方に位置す
る電気熱変換体１１ａは、窒化タンタルを下層部１１_AL
と上層部１１_AUとの２層に積層した構造となっており、
そのシート抵抗値が吐出口２３に近い方の電気熱変換体
１１ｂのシート抵抗値よりも小さく、本実施例では２５
Ω／□に設定した。因みに、吐出口２３に近い方の電気
熱変換体１１ｂの本実施例におけるシート抵抗値は、５
０Ω／□に設定した。

【００２３】従って、液体は、図示しない液体タンクお
よび液体供給管を介して液体供給口２２から共通液室２
０内に供給され、毛細管現象により液路１４内に引き込
まれ、各液路１４の先端の吐出口２３にて表面張力によ
るメニスカスを形成し、各液路１４内にて安定に保持さ
れる。ここで、各液路１４内にそれぞれ臨む電気熱変換
体１１ａ, １１ｂに通電することにより、電気熱変換体
１１ａ, １１ｂの上に介在する液体が加熱され、瞬間的
に沸騰して吐出口２３から液滴が吐出される。この場
合、電気熱変換体１１ａ, １１ｂの形状の相違に基づく
電気抵抗値の相違を解消することができ、各電気熱変換
体１１ａ, １１ｂによる個々の液体の吐出特性をすべて
良好に維持することができる。

【００２４】上述した基板１３は、例えば、図６〜図１
１に示す如き手順によって製造される。すなわち、ま
ず、基板１３の表面を蓄熱層１７で被覆し（図６参
照）、次に、反応性スパッタリングにより上流側の電気
熱変換体１１ａの下層部１１_ALおよび下流側の電気熱変
換体１１ｂを構成するための下部発熱抵抗体層１１_L を
約５００Åの厚さに形成し、さらにこの上に電極配線層
１２′をスパッタリングによって６０００Åの厚さに形
成する（図７参照）。

【００２５】そして、フォトリソグラフィ技術を用いて
電極配線層１２′が図４に示す如きパターンを形成すべ
く、ウェットエッチング法によって電極配線層１２′の
一部を除去し、電極配線１２を形成する。さらに、フォ
トリソグラフィ技術を用いて電気熱変換体１１ａ, １１
ｂに対応したパターンを形成し、アクティブイオンエッ
チング法により発熱抵抗体層１１_L の一部をエッチング
することにより、上流側の電気熱変換体１１ａの下層部
１１_ALと下流側の電気熱変換体１１ｂとを形成する（図
８参照）。

【００２６】次に、フォトリソグラフィ技術によって上
流側の電気熱変換体１１ａの下層部１１_ALのみ露出する
ようにパターニングを行い（図９参照）、フォトリソグ
ラフィ技術によるレジスト層２５を残したまま、上流側
の電気熱変換体１１ａの上層部１１_AUを形成するための
上部発熱抵抗体層１１_U を約５００Åの厚さにスパッタ
リングにより形成する（図１０参照）。

【００２７】この後、レジスト層２５を剥離し、レジス
ト層２５上の上部発熱抵抗体層１１_U も同時に除去す
る。すなわち、リフトオフ法によって上流側の電気熱変
換体１１ａの下層部１１_ALにのみ、その上層部１１_AUが
残るようにする（図１１参照）。

【００２８】しかるのち、絶縁保護層１８をプラズマＣ
ＶＤ法によって約１μｍの厚さに形成し、さらに耐キャ
ビテーション部１９を形成するための耐キャビテーショ
ン形成層をスパッタリングによって約２５００Åの厚さ
に形成する。最後に、フォトリソグラフィ技術によって
耐キャビテーション形成層を所定のパターンにエッチン
グして電気熱変換体１１ａ, １１ｂの真上に耐キャビテ
ーション部１９を形成し、さらに絶縁保護層１８の一部
を窓あけして電極配線１２の図示しない接続パッドの部
分を露出させ、図４および図５に示す如き基板１３を作
成した。この基板１３は、溝付き板１６と位置決めされ
た状態で相互に重ね合わされ、一体的に接合されてイン
クジェットヘッド１０となる。

【００２９】なお、電極配線１２の端部は、本実施例の
如き基板１３の場合には、ワイヤーボンディング用のパ
ッドとなり、集積回路を作り込んだ基板の場合には、ス
ルーホールを介してその裏面側に形成した電極と接続さ
れる。また、電極配線１２を構成する材料としては、そ
の機能を達成できるような材料でありさえすればよく、
その本実施例で採用したアルミニウム以外に、他の金属
やアルミニウムに不純物をドープしたものなどを使用す
ることができる。電気熱変換体１１も同様に、窒化タン
タル以外のものを採用することが可能である。

【００３０】上述した実施例では、電極配線１２のパタ
ーン幅寸法（図４中、上下方向の長さ）よりも電気熱変
換体１１ａ, １１ｂを構成するための下層部１１_ALのパ
ターン幅寸法を大きめに設定したが、これらを同一パタ
ーン幅寸法に設定することも可能である。

【００３１】このような本発明によるインクジェットヘ
ッドの他の実施例における基板の吐出エネルギー発生部
の形状を図１２に示すが、先の実施例と同一機能の要素
には、これと同一符号を記すに止め、重複する説明は省
略するものとする。すなわち、下層部１１_ALの上には、
これとパターン幅が同一の電極配線１２が形成されてい
る。上流側の電気熱変換体１１ａは、下層部１１_ALと上
層部１１_AUとを積層して形成されているが、下流側の電
気熱変換体１１ｂは、下層部１１_ALのみで形成されてい
ることは、先の実施例と同じである。

【００３２】本実施例の構造を採用した場合、反応性ス
パッタリングによって下部発熱抵抗体層１１_L と、電極
配線層１２′とを形成した後、フォトリソグラフィ技術
を用いて図１２に示す如きパターンを形成し、リアクテ
ィブイオンエッチング法によって下部発熱抵抗体層１１
_L の一部と、電極配線層１２′の一部とを同時に除去す
る。次に、電気熱変換体１１ａ, １１ｂとなる部分をフ
ォトリソグラフィ技術を用いてパターン形成した後、ウ
ェットエッチングによって下層部_AL上の電極配線層１
２′の一部を除去し、上流側の電気熱変換体１１ａの下
層部１１_ALおよび下流側の電気熱変換体１１ｂと、電極
配線１２とを同時に形成する。その後の工程は、先の実
施例における図９以降に示した工程と同じである。

【００３３】先の２つの実施例では、１つの液路１４に
付き、吐出口２３の配列方向に沿って３本の電極配線１
２を並行に配列したが、これら電極配線１２を上下に積
層して配置することも可能である。

【００３４】このような本発明によるインクジェットヘ
ッドの別な実施例における吐出エネルギー発生部の形状
を図１３に示し、そのXIV−XIV矢視断面構造を図１４に
示すが、先の実施例と同一機能の要素には、これと同一
符号を記すに止め、重複する説明は省略するものとす
る。すなわち、本実施例では下流側の電気熱変換体１１
ｂに接続する一方の電極配線１２を下層部１１_ALの直下
に埋設した構造を採用しており、基板１３には下から順
に蓄熱層１７, アルミニウムなどで形成した下部電極配
線１２_L , 窒化タンタルやタンタルなどで形成したヒロ
ック防止部２６,二酸化ケイ素などで形成した絶縁層２
７, 電気熱変換体１１ａ, １１ｂを形成するための下層
部１１_AL, 上部電極配線１２_U , 上流側の電気熱変換体
１１ａを形成するための上層部１１_AU, 絶縁保護層１
８, 耐キャビテーション部１９が積層されている。

【００３５】下層部１１_ALの一部は、絶縁層２７に形成
したスルーホール２８を介してヒロック防止部２６に接
合され、この接合部分を介して下部電極配線１２_L と上
部電極配線１２_U とが電気的に接続した状態となってい
る。つまり、下流側の電気熱変換体１１ｂへの通電は、
下部電極配線１２_L と上部電極配線１２_U とを用いて行
われ、上流側の電気熱変換体１１ａへの通電は、上部電
極配線１２_U のみ用いて行われる。

【００３６】本実施例における基板１３は、例えば、図
１５〜図２０に示す如き手順によって製造される。すな
わち、図６に示した基板１３の蓄熱層１７の上に、スパ
ッタリング法によって６０００Åの厚さの下部電極配線
層を形成し、さらに窒化タンタルで５００Åの厚さのヒ
ロック防止層２６′を反応性スパッタリングによって形
成し（図１５参照）、これらを図１３に示す如き所定パ
ターンにエッチングして下部電極配線１２_L およびヒロ
ック防止部２６を形成する。

【００３７】次に、ＣＶＤ法によって約１μm の厚さの
絶縁層２７を形成し（図１６参照）、フォトリソグラフ
ィ技術によってスルーホール２８のためのパターニング
を行い、フッ酸を用いたウェットエッチによってスルー
ホール２８を形成する（図１７参照）。

【００３８】次に、反応性スパッタリングによって下部
発熱抵抗体層１１_L および上部電極配線層１２_U ′を形
成し、下部電極配線層１２_L ′と上部電極配線層１
２_U ′とをヒロック防止層２６および下部発熱抵抗体層
１１_L を介して電気的に導通させる（図１８参照）。

【００３９】そして、フォトリソグラフィ技術を用いて
上部電極配線層１２_U ′が図１３に示す如きパターンを
形成すべく、ウェットエッチング法によって上部電極配
線層１２_U ′の一部を除去し、上部電極配線１２_U を形
成する（図１９参照）。さらに、先の実施例の如く上流
側の電気熱変換体１１ａに対応する上層部１１_AUを形成
したのち（図２０参照）、先の実施例と同様にして絶縁
保護層１８および耐キャビテーション部１９を積層す
る。

【００４０】本実施例では、上部電極配線１２_U および
下部電極配線１２_L を上下に積層するようにしたので、
先の実施例よりも吐出口２３の高密度化を企図した場合
に有利である。

【００４１】上述した実施例では、電気熱変換体１１
ａ, １１ｂのシート抵抗値を変えるために、上流側の電
気熱変換体１１ａを２層構造にしたが、相互に異なる組
成のものを採用することによって、これらのシート抵抗
値を変えるようにしてもよい。

【００４２】このような本発明によるインクジェットヘ
ッドのさらに他の実施例における吐出エネルギー発生部
の形状を図２１に示し、そのXXII−XXII矢視断面構造を
図２２に示すが、先の実施例と同一機能の要素には、こ
れらと同一符号を記すに止め、重複する説明は省略する
ものとする。すなわち、上流側の電気熱変換体１１ａに
は、そのシート抵抗値を下げるためのアルミニウムなど
がドープされており、これによって上流側の電気熱変換
体１１ａおよび下流側の電気熱変換体１１ｂのシート抵
抗値が相互に変えられている。

【００４３】具体的には、イオン注入法を用いて上流側
の電気熱変換体１１ａにアルミニウムをドープする。そ
の製造手順を図２３および図２４に示すが、先の実施例
と同一機能の要素には、これらと同一符号を記すに止
め、重複する説明は省略するものとする。先の実施例の
図８に示した状態、つまり上流側の電気熱変換体１１ａ
の下層部１１_ALと下流側の電気熱変換体１１ｂとを形成
した状態から、フォトリソグラフィ技術によって上流側
の電気熱変換体１１ａの下層部１１_ALのみ露出するよう
にパターニングを行い、フォトリソグラフィ技術によっ
てレジスト層２５を形成する（図２３参照）。

【００４４】次に、露出した上流側の電気熱変換体１１
ａの下層部１１_ALにイオン注入法によってアルミニウム
をドープした（図２４参照）のち、レジスト層２５を除
去し、絶縁保護層１８および耐キャビテーション部１９
を積層すればよい。

【００４５】上述した実施例では、上流側の電気熱変換
体１１ａのシート抵抗値を下げるようにしたが、下流側
の電気熱変換体１１ｂのシート抵抗値を上げることによ
っても同様な効果を得ることができる。

【００４６】このような本発明によるインクジェットヘ
ッドのさらに別な実施例における製造手順を図２５およ
び図２６に示すが、先の実施例と同一機能の要素には、
これらと同一符号を記すに止め、重複する説明は省略す
るものとする。すなわち、先の実施例の図８に示した状
態、つまり上流側の電気熱変換体１１ａの下層部１１_AL
と下流側の電気熱変換体１１ｂとを形成した状態から、
フォトリソグラフィ技術によって下流側の電気熱変換体
１１ｂの下層部１１_ALのみ露出するようにパターニング
を行い、フォトリソグラフィ技術によってレジスト層２
５を形成する（図２５参照）。

【００４７】次に、露出した下流側の電気熱変換体１１
ｂの下層部１１_ALにイオン注入法によって窒化ケイ素な
どをドープした（図２６参照）のち、レジスト層２５を
除去し、絶縁保護層１８および耐キャビテーション部１
９を積層すればよい。

【００４８】このように電気熱変換体１１ａ, １１ｂの
シート抵抗値を変える方法として、上述した実施例で
は、同一材料を積層する方法やイオン注入法などを例示
したが、これ以外に、上流側の電気熱変換体１１ａと下
流側の電気熱変換体１１ｂとを電気抵抗率の異なる異な
る材料、例えば比較的電気抵抗率の高い窒化タンタル
と、ホウ素や燐をドープすることによって比較的電気抵
抗率の低いポリシリコンとで構成することによっても、
本発明の目的を達成することができる。この場合、ポリ
シリコンは、基板１３上に電極配線１２などを形成する
工程と並行して形成すればよい。

【００４９】上述したようなインクジェットヘッド１０
を用いた本発明によるインクジェットカートリッジの一
実施例の外観を図２７に示す。すなわち、本実施例にお
けるインクジェットカートリッジ３０は、シリアルタイ
プのものであり、インクジェットヘッド１０と、液体供
給管３１と、インクなどの液体を収容する液体タンク３
２と、この液体タンク３２内を密閉する蓋部材３３とで
主要部が構成されている。

【００５０】液体を吐出するための多数の吐出口２３が
形成されたインクジェットヘッド１０は、先の図１〜図
５に示した実施例に対応したものであり、液体は、液体
タンク３２から液体供給管３１を介して溝付き板１６と
基板１３とで形成される図示しない共通液室へと導かれ
るようになっている。

【００５１】本実施例におけるインクジェットカートリ
ッジ３０は、インクジェットヘッド１０と液体タンク３
２とを一体的に形成したものであるが、このインクジェ
ットヘッド１０に対し、液体タンク３２側を交換可能に
連結した構造を採用するようにしても良い。

【００５２】上述したインクジェットカートリッジ３０
が搭載される本発明によるインクジェット装置の一実施
例の外観を図２８に示す。すなわち、４１はキャリッジ
４２を図中、矢印ａ, ｂ方向に案内する案内軸、４３は
送りねじ軸４４に形成されている螺旋溝であり、キャリ
ッジ４２は送りねじ軸４４の正逆回転に従って案内軸４
１に沿い矢印ａ, ｂ方向に走査移動する。そして、移動
しながらキャリッジ４２に搭載されたインクジェットカ
ートリッジ３０のインクジェットヘッド１０により、プ
リント媒体としてのプリント用紙Ｐのプリント領域にプ
リントが行われる。

【００５３】４５はキャリッジ駆動モータ、４６, ４７
はキャリッジ駆動モータ４５の駆動力を送りねじ軸４４
に伝達するためのギヤ、４８はプリント用紙Ｐをプラテ
ン４９に向けて押付けているシート押え板である。ま
た、本実施例では開口部５０を有すると共にインクジェ
ットヘッド１０の吐出口板２４（図１参照）を覆蓋する
キャップ部材５１と、このキャップ部材５１に連結され
ると共に回復動作時にキャップ部材５１を介してインク
ジェットヘッド１０から液体を吸引する吸引手段５２
と、さらに回復動作の前後などに使用されるクリーニン
グブレード５３と、キャップ部材５１を支持する支持部
材５４とを具えており、クリーニングブレード５３はそ
の支持部材５５を介して矢印方向に移動させられ、イン
クジェットヘッド１０の吐出口板２４の表面を掃拭す
る。

【００５４】５６は、ギヤ５７およびカム５８を介して
吸引手段５２を駆動するためのレバーであり、これらレ
バー５６とギヤ５７とカム５８とで伝達手段を構成す
る。そして、吸引動作時にはキャリッジ駆動モータ４５
により図示しないクラッチ切換手段およびこの伝達手段
を介してその駆動力が伝達される。また、５９, ６０
は、キャリッジ４２のホームポジションを検知するため
のフォトカプラであり、キャリッジ４２に設けられた突
出レバー６１の光路遮断により、ホームポジションが検
知され、キャリッジ駆動モータ４５の正逆回転方向の切
り換えなどが行われる。

【００５５】なお、本実施例ではこれらのキャッピン
グ, クリーニング, 吸引回復は、キャリッジ４２がホー
ムポジション側の領域に来た時に送りねじ軸４４の作用
によって、それらの対応位置で所望の処理が行えるよう
に構成されているが、周知のタイミングで所望の作動を
行うように構成されるものであれば、どのような構成で
あってもよい。

【００５６】なお、本発明は、特にインクジェット方式
の中でも、液体の吐出を行わせるために利用されるエネ
ルギーとして熱エネルギーを発生する電気熱変換体など
を具え、熱エネルギーによって液体の状態変化を生起さ
せる方式のインクジェットヘッドや、インクジェットカ
ートリッジ、あるいはインクジェット装置において優れ
た効果をもたらすものである。かかる方式によれば、プ
リントの高密度化および高精細化が達成できるからであ
る。

【００５７】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書や、同第４７４
０７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用い
て行うものが好ましい。この方式は、いわゆるオンデマ
ンド型およびコンティニュアス型の何れにも適用可能で
あるが、特に、オンデマンド型の場合には、液体が保持
されているシートや流路に対応して配置される電気熱変
換体に、プリント情報に対応していて核沸騰を越える急
速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号を印加
することによって、電気熱変換体に熱エネルギーを発生
させ、インクジェットヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じ
させ、結果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体内
の気泡を形成できるので有効である。この気泡の成長お
よび収縮により、吐出口を介して液体を吐出させ、少な
くとも１つの液滴を形成する。この駆動信号をパルス形
状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行われるの
で、特に応答性に優れた液体の吐出が達成でき、より好
ましい。このパルス形状の駆動信号としては、米国特許
第４４６３３５９号明細書や、同第４３４５２６２号明
細書に記載されているようなものが適している。なお、
上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４
３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用する
と、さらに優れたプリントを行うことができる。

【００５８】また、インクジェットヘッドの構成として
は、上述の各明細書に開示されているような吐出口と流
路と電気熱変換体との組合せ構成（直線状液流路または
直角液流路）の他に、熱作用部が屈曲する領域に配置さ
れている構成を開示する米国特許第４５５８３３３号明
細書や、米国特許第４４５９６００号明細書を用いた構
成も本発明に含まれるものである。加えて、複数の電気
熱変換体に対し、共通するスリットを電気熱変換体の吐
出部とする構成を開示する特開昭５９−１２３６７０号
公報や、熱エネルギーの圧力波を吸収する開孔を吐出部
に対応させる構成を開示した特開昭５９−１３８４６１
号公報に基いた構成としても、本発明の効果は有効であ
る。すなわち、インクジェットヘッドの形態がどのよう
なものであっても、本発明によればプリントを確実に効
率良く行うことができるようになるからである。

【００５９】さらに、インクジェット装置がプリントで
きるプリント媒体の最大幅に対応した長さを有するフル
ラインタイプのインクジェットヘッドに対しても本発明
は有効に適用できる。そのようなインクジェットヘッド
としては、複数のインクジェットヘッドの組合せによっ
てその長さを満たす構成や、一体的に形成された１個の
インクジェットヘッドとしての構成の何れでもよい。

【００６０】加えて、上例のようなシリアルタイプのも
のでも、装置本体に固定されたインクジェットヘッド、
あるいは装置本体に装着されることで装置本体との電気
的な接続や装置本体からの液体の供給が可能になる交換
自在のチップタイプのインクジェットヘッド、あるいは
インクジェットヘッド自体に一体的に液体を貯えるタン
クが設けられたインクジェットカートリッジを用いた場
合にも、本発明は有効である。

【００６１】また、本発明のインクジェット装置の構成
として、インクジェットヘッドの吐出回復手段や、予備
的な補助手段などを付加することは本発明の効果を一層
安定できるので、好ましいものである。これらを具体的
に挙げれば、インクジェットヘッドに対してのキャッピ
ング手段や、クリーニング手段, 加圧あるいは吸引手
段, 電気熱変換体やこれとは別の加熱素子あるいはこれ
らの組み合わせを用いて加熱を行う予備加熱手段、プリ
ントとは別の吐出を行なう予備吐出手段を挙げることが
できる。

【００６２】また、搭載されるインクジェットヘッドの
種類や個数についても、例えば単色のインクに対応して
１個のみが設けられたものの他、プリント色や濃度を異
にする複数のインクに対応して複数個数設けられるもの
であってもよい。すなわち、例えばインクジェット装置
のプリントモードとしては黒色などの主流色のみのプリ
ントモードだけではなく、インクジェットヘッドを一体
的に構成するか、複数個の組み合わせによるか何れでも
よいが、異なる色の複色カラーまたは混色によるフルカ
ラーの各プリントモードの少なくとも一つを備えた装置
にも本発明は極めて有効である。この場合、プリント媒
体に応じてインクのプリント性を調整するための処理液
（プリント性向上液）をインクジェットヘッドからプリ
ント媒体に吐出することも有効である。

【００６３】さらに加えて、以上説明した本発明の実施
例においては、室温やそれ以下で固化し、室温で軟化も
しくは液化するものを用いても良く、あるいはインクジ
ェット方式では液体自体を３０℃以上７０℃以下の範囲
内で温度調整を行って液体の粘性を安定吐出範囲にある
ように温度制御するものが一般的であるから、使用プリ
ント信号付与時に液状をなすものを用いてもよい。加え
て、熱エネルギーによる昇温を、固形状態から液体状態
への状態変化のエネルギーとして使用させることで積極
的に防止するため、または液体の蒸発を防止するため、
放置状態で固化し加熱によって液化するものを用いても
よい。何れにしても熱エネルギーのプリント信号に応じ
た付与によって液化し、液体が吐出されるものや、プリ
ント媒体に到達する時点ではすでに固化し始めるものな
どのような、熱エネルギーの付与によって初めて液化す
る性質のものを使用する場合も本発明は適用可能であ
る。このような場合の液体は、特開昭５４−５６８４７
号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載さ
れるような、多孔質シート凹部または貫通孔に液状又は
固形物として保持された状態で、電気熱変換体に対して
対向するような形態としてもよい。本発明においては、
上述した各液体に対して最も有効なものは、上述した膜
沸騰方式を実行するものである。

【００６４】さらに加えて、本発明にかかるインクジェ
ット装置の形態としては、コンピュータなどの情報処理
機器の画像出力端末として用いられるものの他、リーダ
などと組合せた複写装置、さらには送受信機能を有する
ファクシミリ装置や、捺染装置の形態を採るものなどで
あってもよい。

【００６５】

【発明の効果】本発明によると、複数の電気熱変換体を
各液路の長手方向に沿ってそれぞれ配列したインクジェ
ットヘッドにおいて、個々の吐出エネルギー発生部をそ
れぞれ構成する複数の電気熱変換体のシート抵抗値を相
互に異なるようにしたので、これら電気熱変換体のシー
ト抵抗値を個別に設定することにより、これら電気熱変
換体の形状の相違に基づく電気抵抗値の相違を解消する
ことができ、各電気熱変換体による個々の液体の吐出特
性をすべて良好に設定することができる。

【００６６】これにより、複数の電気熱変換体が各液路
の長手方向に沿ってそれぞれ配列され、これら電気熱変
換体による個々の液体の吐出特性をすべて良好にするこ
とが可能なインクジェットヘッドはもちろん、このイン
クジェットヘッドを組み込んだインクジェットカートリ
ッジならびに当該インクジェットヘッドが取り付けられ
るインクジェット装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるインクジェットヘッドの外観を模
式的に表す斜視図である。

【図２】図１に示した実施例の内部構造を模式的に表す
断面図である。

【図３】図２中の III−III 矢視断面の拡大図である。

【図４】図１に示した実施例における１つの吐出エネル
ギー発生部を抽出拡大した平面図である。

【図５】図４中のＶ−Ｖ矢視断面図である。

【図６】図７〜図１１と共に図１に示した実施例におけ
る基板の部分の製造工程図である。

【図７】図６, 図８〜図１１と共に図１に示した実施例
における基板の部分の製造工程図である。

【図８】図６, 図７および図９〜図１１と共に図１に示
した実施例における基板の部分の製造工程図である。

【図９】図６〜図８および図１０, 図１１と共に図１に
示した実施例における基板の部分の製造工程図である。

【図１０】図６〜図９, 図１１と共に図１に示した実施
例における基板の部分の製造工程図である。

【図１１】図６〜図１０と共に図１に示した実施例にお
ける基板の部分の製造工程図である。

【図１２】本発明によるインクジェットヘッドの他の実
施例における１つの吐出エネルギー発生部を抽出拡大し
た平面図である。

【図１３】本発明によるインクジェットヘッドの別な実
施例における１つの吐出エネルギー発生部を抽出拡大し
た平面図である。

【図１４】図１３中の XIV−XIV 矢視断面図である。

【図１５】図１６〜図２０と共に図１３に示した実施例
における基板の部分の製造工程図である。

【図１６】図１５, 図１７〜図２０と共に図１３に示し
た実施例における基板の部分の製造工程図である。

【図１７】図１５, 図１６および図１８〜図２０と共に
図１３に示した実施例における基板の部分の製造工程図
である。

【図１８】図１５〜図１７および図１９, 図２０と共に
図１３に示した実施例における基板の部分の製造工程図
である。

【図１９】図１５〜図１８, 図２０と共に図１３に示し
た実施例における基板の部分の製造工程図である。

【図２０】図１５〜図１９と共に図１３に示した実施例
における基板の部分の製造工程図である。

【図２１】本発明によるインクジェットヘッドのさらに
他の実施例における１つの吐出エネルギー発生部を抽出
拡大した平面図である。

【図２２】図２１中のXXII−XXII矢視断面図である。

【図２３】図２４と共に図２１に示した実施例における
基板の部分の製造工程図である。

【図２４】図２３と共に図２１に示した実施例における
基板の部分の製造工程図である。

【図２５】図２６と共に本発明のさらに別な実施例にお
ける基板の部分の製造工程図である。

【図２６】図２５と共に本発明のさらに別な実施例にお
ける基板の部分の製造工程図である。

【図２７】本発明によるインクジェットカートリッジの
一実施例の概略構造を表す斜視図である。

【図２８】本発明によるインクジェット装置の一実施例
の概略構造を表す斜視図である。

【符号の説明】

１０ インクジェットヘッド １１ａ, １１ｂ 電気熱変換体 １１_AL 下層部 １１_AU 上層部 １１_L 下部発熱抵抗体層 １１_U 上部発熱抵抗体層 １２ 電極配線 １２′電極配線層 １２_L 下部電極配線 １２_U 上部電極配線 １２_L ′下部電極配線層 １２_U ′上部電極配線層 １３ 基板 １４ 液路 １５ 溝壁 １６ 溝付き板 １７ 蓄熱層 １８ 絶縁性保護層 １９ 耐キャビテーション部 ２０ 共通液室 ２１ 液室枠 ２２ 液体供給口 ２３ 吐出口 ２４ 吐出口板 ２５ レジスト層 ２６ ヒロック防止部 ２６′ ヒロック防止層 ２７ 絶縁層 ２８ スルーホール ３０ インクジェットカートリッジ ３１ 液体供給管 ３２ 液体タンク ３３ 蓋部材 ４１ 案内軸 ４２ キャリッジ ４３ 螺旋溝 ４４ 送りねじ軸 Ｐ プリント用紙 ４５ キャリッジ駆動モータ ４６, ４７ ギヤ ４８ シート押さえ板 ４９ プラテン ５０ 開口部 ５１ キャップ部材 ５２ 吸引手段 ５３ クリーニングブレード ５４, ５５ 支持部材 ５６ レバー ５７ ギヤ ５８ カム ５９, ６０ フォトカプラ ６１ 突出レバー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 殿垣 雅彦 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 それぞれ液滴を吐出するための複数の吐
   出エネルギー発生部が設けられた基板と、前記吐出エネ
   ルギー発生部に対応する溝およびこれら溝の一端にそれ
   ぞれ連通する吐出口が形成された溝付き部材とを具え、
   前記基板と前記溝付き部材とを接合することによって前
   記吐出口にそれぞれ連通する液路を形成し、この液路か
   ら前記吐出口を介して液滴を吐出するようにしたインク
   ジェットヘッドであって、 前記吐出エネルギー発生部は、液体に膜沸騰を生じさせ
   る熱エネルギーをそれぞれ発生する複数の電気熱変換体
   を個々に有し、個々の前記吐出エネルギー発生部をそれ
   ぞれ構成する複数の電気熱変換体は、これらのシート抵
   抗値が相互に異なるものであることを特徴とするインク
   ジェットヘッド。
2. 【請求項２】 前記液路の長手方向に沿って複数の前記
   電気熱変換体が配置され、前記吐出口に近い前記電気熱
   変換体ほどそのシート抵抗値が大きく設定されているこ
   とを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッ
   ド。
3. 【請求項３】 前記電気熱変換体を構成する電気抵抗材
   料をそれぞれ変えることにより、個々の前記吐出エネル
   ギー発生部をそれぞれ構成する複数の電気熱変換体のシ
   ート抵抗値が相互に異なるようにしたことを特徴とする
   請求項１または請求項２に記載のインクジェットヘッ
   ド。
4. 【請求項４】 前記電気熱変換体を構成する電気抵抗材
   料の積層数をそれぞれ変えることにより、個々の前記吐
   出エネルギー発生部をそれぞれ構成する複数の電気熱変
   換体のシート抵抗値が相互に異なるようにしたことを特
   徴とする請求項１または請求項２に記載のインクジェッ
   トヘッド。
5. 【請求項５】 それぞれ液滴を吐出するための複数の吐
   出エネルギー発生部が設けられた基板と、前記吐出エネ
   ルギー発生部に対応する溝およびこれら溝の一端にそれ
   ぞれ連通する吐出口が形成された溝付き部材とを具え、
   前記複数の吐出エネルギー発生部は、液体に膜沸騰を生
   じさせる熱エネルギーをそれぞれ発生する複数の電気熱
   変換体を個々に有し、個々の前記吐出エネルギー発生部
   をそれぞれ構成する複数の電気熱変換体は、これらのシ
   ート抵抗値が相互に異なり、前記基板と前記溝付き部材
   とを接合することによって前記吐出口にそれぞれ連通す
   る液路を形成し、この液路から前記吐出口を介して液滴
   を吐出するようにしたインクジェットヘッドの製造方法
   であって、 個々の前記吐出エネルギー発生部をそれぞれ構成する複
   数の電気熱変換体に対し、選択的に不純物をイオン注入
   することにより、これらのシート抵抗値を相互に異なる
   ようにしたことを特徴とするインクジェットヘッドの製
   造方法。
6. 【請求項６】 それぞれ液滴を吐出するための複数の吐
   出エネルギー発生部が設けられた基板と、前記吐出エネ
   ルギー発生部に対応する溝およびこれら溝の一端にそれ
   ぞれ連通する吐出口が形成された溝付き部材とを具え、
   前記複数の吐出エネルギー発生部は、液体に膜沸騰を生
   じさせる熱エネルギーをそれぞれ発生する複数の電気熱
   変換体を個々に有し、個々の前記吐出エネルギー発生部
   をそれぞれ構成する複数の電気熱変換体は、これらのシ
   ート抵抗値が相互に異なり、前記基板と前記溝付き部材
   とを接合することによって前記吐出口にそれぞれ連通す
   る液路を形成し、この液路から前記吐出口を介して液滴
   を吐出するようにしたインクジェットヘッドの製造方法
   であって、 個々の前記吐出エネルギー発生部をそれぞれ構成する複
   数の電気熱変換体に対し、選択的に不純物を拡散するこ
   とにより、これらのシート抵抗値を相互に異なるように
   したことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方
   法。
7. 【請求項７】 それぞれ液滴を吐出するための複数の吐
   出エネルギー発生部が設けられた基板と、前記吐出エネ
   ルギー発生部に対応する溝およびこれら溝の一端にそれ
   ぞれ連通する吐出口が形成された溝付き部材とを具え、
   前記基板と前記溝付き部材とを接合することによって前
   記吐出口にそれぞれ連通する液路を形成し、この液路か
   ら前記吐出口を介して液滴を吐出するようにしたインク
   ジェットヘッドと、このインクジェットヘッドに供給す
   るための前記液体を蓄える液体タンクとを具えたインク
   ジェットカートリッジであって、 前記吐出エネルギー発生部は、液体に膜沸騰を生じさせ
   る熱エネルギーをそれぞれ発生する複数の電気熱変換体
   を個々に有し、個々の前記吐出エネルギー発生部をそれ
   ぞれ構成する複数の電気熱変換体は、これらのシート抵
   抗値が相互に異なるものであることを特徴とするインク
   ジェットカートリッジ。
8. 【請求項８】 液体は、インクおよび／またはプリント
   媒体に吐出されるこのインクのプリント性を調整する処
   理液であることを特徴とする請求項７に記載のインクジ
   ェットカートリッジ。
9. 【請求項９】 それぞれ液滴を吐出するための複数の吐
   出エネルギー発生部が設けられた基板と、前記吐出エネ
   ルギー発生部に対応する溝およびこれら溝の一端にそれ
   ぞれ連通する吐出口が形成された溝付き部材とを具え、
   前記基板と前記溝付き部材とを接合することによって前
   記吐出口にそれぞれ連通する液路を形成し、この液路か
   ら前記吐出口を介して液滴を吐出するようにしたインク
   ジェットヘッドの取り付け部を具えたインクジェット装
   置であって、 前記吐出エネルギー発生部は、液体に膜沸騰を生じさせ
   る熱エネルギーをそれぞれ発生する複数の電気熱変換体
   を個々に有し、個々の前記吐出エネルギー発生部をそれ
   ぞれ構成する複数の電気熱変換体は、これらのシート抵
   抗値が相互に異なるものであることを特徴とするインク
   ジェット装置。
10. 【請求項１０】 前記インクジェットヘッドの取り付け
    部は、前記インクジェットヘッドから液滴が吐出される
    プリント媒体の搬送方向と交差する方向に走査移動可能
    であることを特徴とする請求項９に記載のインクジェッ
    ト装置。
11. 【請求項１１】 前記インクジェットヘッドは、着脱手
    段を介して前記インクジェットヘッドの取り付け部に着
    脱自在に取り付けられるものであることを特徴とする請
    求項９または請求項１０に記載のインクジェット装置。