JPH10170443A - 吸着種判定装置 - Google Patents
吸着種判定装置Info
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- JPH10170443A JPH10170443A JP27306997A JP27306997A JPH10170443A JP H10170443 A JPH10170443 A JP H10170443A JP 27306997 A JP27306997 A JP 27306997A JP 27306997 A JP27306997 A JP 27306997A JP H10170443 A JPH10170443 A JP H10170443A
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- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 25
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Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By The Use Of Chemical Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 吸着種の判定を正確に効率よく行えるように
した吸着種判定装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 赤外分光計１０が、評価用加熱ガスを受
けた触媒からの光を分光しその波数に応じた強度のスペ
クトルデータをコンピュータ２０に出力すると、このコ
ンピュータ２０が、スペクトルデータ及びこのスペクト
ルデータに類似した基準データの正規化後の各強度の積
を波数に応じ演算する。すると、上記正規化後の各強度
の積が一次微分され、この一次微分に基づきスペクトル
データ及び基準データに共通するピークが検索されてこ
のピークに対応する波数が決定され、この決定結果に基
づきスペクトルデータのピークにおける媒体の吸着種が
判定される。
した吸着種判定装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 赤外分光計１０が、評価用加熱ガスを受
けた触媒からの光を分光しその波数に応じた強度のスペ
クトルデータをコンピュータ２０に出力すると、このコ
ンピュータ２０が、スペクトルデータ及びこのスペクト
ルデータに類似した基準データの正規化後の各強度の積
を波数に応じ演算する。すると、上記正規化後の各強度
の積が一次微分され、この一次微分に基づきスペクトル
データ及び基準データに共通するピークが検索されてこ
のピークに対応する波数が決定され、この決定結果に基
づきスペクトルデータのピークにおける媒体の吸着種が
判定される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、赤外線や紫外線等
の光をその波数や波長に応じて分光した分光データに基
づき吸着種を判定する吸着種判定装置に関する。
の光をその波数や波長に応じて分光した分光データに基
づき吸着種を判定する吸着種判定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば、吸着種の判定を、フーリ
エ変換型赤外分光計により測定したスペクトルデータの
ピークの判定により、次のようにして行っている。第１
の方法では、判定すべき吸着種と類似の材料の反応デー
タを文献から収集し、この収集データを利用して上記ス
ペクトルデータを解析する。
エ変換型赤外分光計により測定したスペクトルデータの
ピークの判定により、次のようにして行っている。第１
の方法では、判定すべき吸着種と類似の材料の反応デー
タを文献から収集し、この収集データを利用して上記ス
ペクトルデータを解析する。
【０００３】また、第２の方法では、予想される吸着種
毎に確認実験を行ってスペクトルデータを測定し、これ
らスペクトルデータをもとに解析する。
毎に確認実験を行ってスペクトルデータを測定し、これ
らスペクトルデータをもとに解析する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記第１及び
第２の方法では、解析に多大の時間を必要とするという
不具合がある。また、第１の方法では、実験者が欲する
スペクトルデータを文献から探さなければならず、時間
がかかるという不具合がある。
第２の方法では、解析に多大の時間を必要とするという
不具合がある。また、第１の方法では、実験者が欲する
スペクトルデータを文献から探さなければならず、時間
がかかるという不具合がある。
【０００５】また、第２の方法では、多種の触媒を解析
する場合に、触媒数の数倍の実験をこなす必要があり、
現実的でない。さらに、触媒については、単一ガス成分
を流通しても、表面で反応して複数の吸着種を生じた
り、また、反応観察のために混合ガスを流通することも
あるため、市販の単一成分のデータベースを用いても吸
着種を正確に解析することは困難である。
する場合に、触媒数の数倍の実験をこなす必要があり、
現実的でない。さらに、触媒については、単一ガス成分
を流通しても、表面で反応して複数の吸着種を生じた
り、また、反応観察のために混合ガスを流通することも
あるため、市販の単一成分のデータベースを用いても吸
着種を正確に解析することは困難である。
【０００６】そこで、本発明は、以上のようなことに対
処するため、吸着種の判定を正確に効率よく行えるよう
にした吸着種判定装置を提供することを目的とする。
処するため、吸着種の判定を正確に効率よく行えるよう
にした吸着種判定装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明によれば、分光計が、評価用
加熱ガスを受けた固体物からの光を分光しその波数及び
波長の一方に応じた強度のスペクトルデータを出力する
と、演算手段が、スペクトルデータ及び記憶手段の基準
データの正規化後の各強度の積を波数及び波長の一方に
応じ演算する。
め、請求項１に記載の発明によれば、分光計が、評価用
加熱ガスを受けた固体物からの光を分光しその波数及び
波長の一方に応じた強度のスペクトルデータを出力する
と、演算手段が、スペクトルデータ及び記憶手段の基準
データの正規化後の各強度の積を波数及び波長の一方に
応じ演算する。
【０００８】すると、微分手段が、上記正規化後の各強
度の積を一次微分し、判定手段が、上記一次微分に基づ
きスペクトルデータ及び基準データに共通するピークを
検索してこのピークに対応する波数及び波長の一方を決
定し、この決定結果に基づきスペクトルデータのピーク
における固体物の吸着種を判定する。これにより、基準
データに係る固体物の吸着種判定結果を利用してスペク
トルデータに係る固体物の吸着種を判定することとな
り、その結果、固体物の吸着種の判定を効率よく正確に
行える。
度の積を一次微分し、判定手段が、上記一次微分に基づ
きスペクトルデータ及び基準データに共通するピークを
検索してこのピークに対応する波数及び波長の一方を決
定し、この決定結果に基づきスペクトルデータのピーク
における固体物の吸着種を判定する。これにより、基準
データに係る固体物の吸着種判定結果を利用してスペク
トルデータに係る固体物の吸着種を判定することとな
り、その結果、固体物の吸着種の判定を効率よく正確に
行える。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図１
乃至図３に基づいて説明する。図１は、本発明が適用さ
れた吸着種判定システムの要部を示している。この吸着
種判定システムは、赤外分光計１０を備えており、この
赤外分光計１０は、吸着種の付着した触媒から輻射され
る赤外光を分光し、この分光結果をスペクトルデータと
してコンピュータ２０に出力する。
乃至図３に基づいて説明する。図１は、本発明が適用さ
れた吸着種判定システムの要部を示している。この吸着
種判定システムは、赤外分光計１０を備えており、この
赤外分光計１０は、吸着種の付着した触媒から輻射され
る赤外光を分光し、この分光結果をスペクトルデータと
してコンピュータ２０に出力する。
【００１０】なお、吸着種判定システムにおいては、加
熱された評価用ガスが上記触媒を通り流動したときこの
触媒に吸着種が付着する。このように吸着種が付着した
触媒の輻射赤外光が、上述のごとく、赤外分光計１０に
より分光される。また、上記触媒としては、ＰｔＣａ／
Ａｌ2 Ｏ3 が採用されている。上記評価用ガスとして
は、ＮＯ＋Ｃ3 Ｈ6 ＋ＣＯ＋Ｏ2 の混合ガスが採用され
ている。また、上記評価用ガスの加熱温度は、２００℃
である。
熱された評価用ガスが上記触媒を通り流動したときこの
触媒に吸着種が付着する。このように吸着種が付着した
触媒の輻射赤外光が、上述のごとく、赤外分光計１０に
より分光される。また、上記触媒としては、ＰｔＣａ／
Ａｌ2 Ｏ3 が採用されている。上記評価用ガスとして
は、ＮＯ＋Ｃ3 Ｈ6 ＋ＣＯ＋Ｏ2 の混合ガスが採用され
ている。また、上記評価用ガスの加熱温度は、２００℃
である。
【００１１】コンピュータ２０は、キーボード２１の操
作のもと、図２にて示すフローチャートに従いコンピュ
ータプログラムを実行し、種々の演算処理を行う。な
お、上記コンピュータプログラムは、コンピュータ２０
のメモリに予め記憶されている。記録装置３０は、コン
ピュータ２０の出力データを印刷して記録する。
作のもと、図２にて示すフローチャートに従いコンピュ
ータプログラムを実行し、種々の演算処理を行う。な
お、上記コンピュータプログラムは、コンピュータ２０
のメモリに予め記憶されている。記録装置３０は、コン
ピュータ２０の出力データを印刷して記録する。
【００１２】このように構成した本実施形態において、
コンピュータ２０が、キーボード２１の操作に応じ、上
記コンピュータプログラムの実行を図２のフローチャー
トに従い開始する。また、赤外分光計１０が、吸着種が
付着した上記触媒（ＰｔＣａ／Ａｌ2 Ｏ3）の輻射赤外
光を分光し、スペクトルデータＳとしてコンピュータ２
０に出力する。このスペクトルデータＳは、図３（ａ）
にて示すごとく、強度Ｓ（Ｘ）と波数Ｘとの関係を表す
データとして特定される。
コンピュータ２０が、キーボード２１の操作に応じ、上
記コンピュータプログラムの実行を図２のフローチャー
トに従い開始する。また、赤外分光計１０が、吸着種が
付着した上記触媒（ＰｔＣａ／Ａｌ2 Ｏ3）の輻射赤外
光を分光し、スペクトルデータＳとしてコンピュータ２
０に出力する。このスペクトルデータＳは、図３（ａ）
にて示すごとく、強度Ｓ（Ｘ）と波数Ｘとの関係を表す
データとして特定される。
【００１３】コンピュータプログラムがステップ４０に
進むと、上記スペクトルデータＳがコンピュータ２０に
読み込まれる。ついで、ステップ５０において、スペク
トルデータＳの波形処理がなされる。この波形処理で
は、スペクトルデータＳ中の外乱が除去される。然る
後、ステップ６０にて、キーボード２１の操作により検
索条件が入力される。すると、この検索条件に合致した
基準データが、ステップ７０にて検索され、コンピュー
タ２０のメモリから読み出される。
進むと、上記スペクトルデータＳがコンピュータ２０に
読み込まれる。ついで、ステップ５０において、スペク
トルデータＳの波形処理がなされる。この波形処理で
は、スペクトルデータＳ中の外乱が除去される。然る
後、ステップ６０にて、キーボード２１の操作により検
索条件が入力される。すると、この検索条件に合致した
基準データが、ステップ７０にて検索され、コンピュー
タ２０のメモリから読み出される。
【００１４】なお、このメモリには、複数の基準データ
が予め記憶されており、これら基準データは、例えば、
市販のデータベースから容易に入手できる。また、当該
基準データは、コンピュータ２０のメモリに限ることな
く、外付けメモリに記憶しておいてもよい。現段階で
は、上記検索条件が、上記触媒（ＰｔＣａ／Ａｌ
2 Ｏ3 ）を考慮し、この触媒と類似した触媒データを特
定するように入力されている。このため、上記基準デー
タとしては、触媒Ｐｔ／Ａｌ2 Ｏ3 のスペクトルデータ
Ａ（図３（ｂ）参照）が読み出される。
が予め記憶されており、これら基準データは、例えば、
市販のデータベースから容易に入手できる。また、当該
基準データは、コンピュータ２０のメモリに限ることな
く、外付けメモリに記憶しておいてもよい。現段階で
は、上記検索条件が、上記触媒（ＰｔＣａ／Ａｌ
2 Ｏ3 ）を考慮し、この触媒と類似した触媒データを特
定するように入力されている。このため、上記基準デー
タとしては、触媒Ｐｔ／Ａｌ2 Ｏ3 のスペクトルデータ
Ａ（図３（ｂ）参照）が読み出される。
【００１５】このスペクトルデータＡは、強度Ａ（Ｘ）
と波数Ｘとの関係を表すデータとして特定されている。
なお、触媒Ｐｔ／Ａｌ2 Ｏ3 に対する評価用ガスは、触
媒（ＰｔＣａ／Ａｌ2 Ｏ3 ）に対する評価用ガスと同一
組成又はこの同一組成を含むガスであって、触媒（Ｐｔ
Ｃａ／Ａｌ2 Ｏ3 ）に対する評価用ガスと同一の温度に
て流れるようにしてある。
と波数Ｘとの関係を表すデータとして特定されている。
なお、触媒Ｐｔ／Ａｌ2 Ｏ3 に対する評価用ガスは、触
媒（ＰｔＣａ／Ａｌ2 Ｏ3 ）に対する評価用ガスと同一
組成又はこの同一組成を含むガスであって、触媒（Ｐｔ
Ｃａ／Ａｌ2 Ｏ3 ）に対する評価用ガスと同一の温度に
て流れるようにしてある。
【００１６】この検索後、ステップ８０において、スペ
クトルデータＳに基づき強度Ｓ（Ｘ）の最大値Ｓｍａｘ
及び最小値Ｓｍｉｎが波数Ｘに応じて検索される。つい
で、次のステップ９０において、｛（最大値Ｓｍａｘ−
強度Ｓ（Ｘ））／（最大値Ｓｍａｘ−最小値Ｓｍｉ
ｎ）｝が波数Ｘに応じて計算され、この計算値が正規化
強度Ｓｔ（Ｘ）とされる。これにより、スペクトルデー
タＳが正規化される（図３（ｃ）参照）。
クトルデータＳに基づき強度Ｓ（Ｘ）の最大値Ｓｍａｘ
及び最小値Ｓｍｉｎが波数Ｘに応じて検索される。つい
で、次のステップ９０において、｛（最大値Ｓｍａｘ−
強度Ｓ（Ｘ））／（最大値Ｓｍａｘ−最小値Ｓｍｉ
ｎ）｝が波数Ｘに応じて計算され、この計算値が正規化
強度Ｓｔ（Ｘ）とされる。これにより、スペクトルデー
タＳが正規化される（図３（ｃ）参照）。
【００１７】次に、ステップ１００において、スペクト
ルデータＡに基づき強度Ａ（Ｘ）の最大値Ａｍａｘ及び
最小値Ａｍｉｎが波数Ｘに応じて検索され、次のステッ
プ１１０において、｛（最大値Ａｍａｘ−強度Ａ
（Ｘ））／（最大値Ａｍａｘ−最小値Ａｍｉｎ）｝が波
数Ｘに応じて計算され、この計算値が正規化強度Ａｔ
（Ｘ）とされる。これにより、スペクトルデータＡが正
規化される（図３（ｃ）参照）。
ルデータＡに基づき強度Ａ（Ｘ）の最大値Ａｍａｘ及び
最小値Ａｍｉｎが波数Ｘに応じて検索され、次のステッ
プ１１０において、｛（最大値Ａｍａｘ−強度Ａ
（Ｘ））／（最大値Ａｍａｘ−最小値Ａｍｉｎ）｝が波
数Ｘに応じて計算され、この計算値が正規化強度Ａｔ
（Ｘ）とされる。これにより、スペクトルデータＡが正
規化される（図３（ｃ）参照）。
【００１８】このようにして両スペクトルデータＳ、Ａ
が正規化されると、ステップ１２０において、両正規化
強度Ｓｔ（Ｘ）、Ａｔ（Ｘ）の積がＦ（Ｘ）＝Ｓｔ
（Ｘ）・Ａｔ（Ｘ）として波数Ｘに応じて計算される。
ついで、ステップ１３０において、Ｆ（Ｘ）が波数Ｘに
ついて一次微分され、ステップ１４０にて、このＦ
（Ｘ）の一次微分Ｆ’（Ｘ）＝０となる波数Ｘ、即ちＦ
（Ｘ）が極大値をとる波数Ｘが検索され、ステップ１５
０にて、この検索波数Ｘが記録装置３０に出力される。
が正規化されると、ステップ１２０において、両正規化
強度Ｓｔ（Ｘ）、Ａｔ（Ｘ）の積がＦ（Ｘ）＝Ｓｔ
（Ｘ）・Ａｔ（Ｘ）として波数Ｘに応じて計算される。
ついで、ステップ１３０において、Ｆ（Ｘ）が波数Ｘに
ついて一次微分され、ステップ１４０にて、このＦ
（Ｘ）の一次微分Ｆ’（Ｘ）＝０となる波数Ｘ、即ちＦ
（Ｘ）が極大値をとる波数Ｘが検索され、ステップ１５
０にて、この検索波数Ｘが記録装置３０に出力される。
【００１９】この場合、上記出力検索波数Ｘに対応する
両正規化強度Ｓｔ（Ｘ）、Ａｔ（Ｘ）が、強度Ａ（Ｘ）
のピークに一致する強度Ｓ（Ｘ）のピークを特定する。
このことは、両データＳ、Ａに共通するピークを特定す
ることを意味する。これを図３（ｄ）を参照して例示す
ると、Ｆ（Ｘ）の一次微分の極大値が存在する波数Ｘ
は、１１９０（１／ｃｍ）、１２５０（１／ｃｍ）及び
１２９０（１／ｃｍ）である。従って、これら波数Ｘに
対応する両正規化強度Ｓｔ（Ｘ）、Ａｔ（Ｘ）が、強度
Ａ（Ｘ）のピークに一致する強度Ｓ（Ｘ）のピークをそ
れぞれ特定する。この特定により、スペクトルデータＳ
のピークの決定が可能となる。
両正規化強度Ｓｔ（Ｘ）、Ａｔ（Ｘ）が、強度Ａ（Ｘ）
のピークに一致する強度Ｓ（Ｘ）のピークを特定する。
このことは、両データＳ、Ａに共通するピークを特定す
ることを意味する。これを図３（ｄ）を参照して例示す
ると、Ｆ（Ｘ）の一次微分の極大値が存在する波数Ｘ
は、１１９０（１／ｃｍ）、１２５０（１／ｃｍ）及び
１２９０（１／ｃｍ）である。従って、これら波数Ｘに
対応する両正規化強度Ｓｔ（Ｘ）、Ａｔ（Ｘ）が、強度
Ａ（Ｘ）のピークに一致する強度Ｓ（Ｘ）のピークをそ
れぞれ特定する。この特定により、スペクトルデータＳ
のピークの決定が可能となる。
【００２０】ここで、このようにしてスペクトルデータ
Ｓのピークを決定することとした根拠について説明す
る。スペクトルデータＡの強度Ａ（Ｘ）が、各波数１１
９０（１／ｃｍ）、１２５０（１／ｃｍ）及び１２９０
（１／ｃｍ）においてそれぞれピークを有し各吸着種Ｎ
Ｏ、ＮＯ3 及びＮＯ2 を特定することは予め分かってい
る。しかも、両スペクトルデータＡ、Ｓを特定する各触
媒は、上述したごとく、類似した成分を有する。このこ
とは、両スペクトルデータＡ、Ｓは相互に類似してお
り、同一の波数にてピークを有すると予測されることを
意味する。
Ｓのピークを決定することとした根拠について説明す
る。スペクトルデータＡの強度Ａ（Ｘ）が、各波数１１
９０（１／ｃｍ）、１２５０（１／ｃｍ）及び１２９０
（１／ｃｍ）においてそれぞれピークを有し各吸着種Ｎ
Ｏ、ＮＯ3 及びＮＯ2 を特定することは予め分かってい
る。しかも、両スペクトルデータＡ、Ｓを特定する各触
媒は、上述したごとく、類似した成分を有する。このこ
とは、両スペクトルデータＡ、Ｓは相互に類似してお
り、同一の波数にてピークを有すると予測されることを
意味する。
【００２１】従って、上述のごとく、強度Ａ（Ｘ）のピ
ークに一致する強度Ｓ（Ｘ）のピークを特定すれば、ス
ペクトルデータＳのピークの決定及び吸着種の判定が可
能となる。つまり、上記触媒（ＰｔＣａ／Ａｌ2 Ｏ3 ）
の各吸着種は、スペクトルデータＡの各波数１１９０
（１／ｃｍ）、１２５０（１／ｃｍ）及び１２９０（１
／ｃｍ）における各ピークに基づき、ＮＯ、ＮＯ3 及び
ＮＯ2 と判定できる。
ークに一致する強度Ｓ（Ｘ）のピークを特定すれば、ス
ペクトルデータＳのピークの決定及び吸着種の判定が可
能となる。つまり、上記触媒（ＰｔＣａ／Ａｌ2 Ｏ3 ）
の各吸着種は、スペクトルデータＡの各波数１１９０
（１／ｃｍ）、１２５０（１／ｃｍ）及び１２９０（１
／ｃｍ）における各ピークに基づき、ＮＯ、ＮＯ3 及び
ＮＯ2 と判定できる。
【００２２】これにより、スペクトルデータＡに係る触
媒に対する吸着種判定結果を利用してスペクトルデータ
Ｓに係る触媒対する吸着種の判定を行うこととなるの
で、触媒の吸着種の判定を効率よく簡単にしかも正確に
行える。なお、本発明の実施にあたっては、基準データ
を提供する触媒として、Ｐｔ／Ａｌ2 Ｏ3 を用いた例に
ついて説明したが、これに限らず、例えば、ＰｔＢａ／
Ａｌ2 Ｏ3 、ＰｔＮａ／Ａｌ2 Ｏ3 、ＰｔＫ／Ａｌ2 Ｏ
3 等を基準データを提供する触媒として採用して実施し
てもよい。
媒に対する吸着種判定結果を利用してスペクトルデータ
Ｓに係る触媒対する吸着種の判定を行うこととなるの
で、触媒の吸着種の判定を効率よく簡単にしかも正確に
行える。なお、本発明の実施にあたっては、基準データ
を提供する触媒として、Ｐｔ／Ａｌ2 Ｏ3 を用いた例に
ついて説明したが、これに限らず、例えば、ＰｔＢａ／
Ａｌ2 Ｏ3 、ＰｔＮａ／Ａｌ2 Ｏ3 、ＰｔＫ／Ａｌ2 Ｏ
3 等を基準データを提供する触媒として採用して実施し
てもよい。
【００２３】また、本発明の実施にあたり、スペクトル
データや基準データは、波数Ｘに代えて、赤外光の波長
に応じて強度を特定するようにしてもよい。また、本発
明の実施にあたり、赤外分光計を有する吸着種判定シス
テムに限ることなく、紫外可視光分光計を有する吸着種
判定システムに本発明を適用して実施してもよい。
データや基準データは、波数Ｘに代えて、赤外光の波長
に応じて強度を特定するようにしてもよい。また、本発
明の実施にあたり、赤外分光計を有する吸着種判定シス
テムに限ることなく、紫外可視光分光計を有する吸着種
判定システムに本発明を適用して実施してもよい。
【図１】本発明の一実施形態を示す概略構成図である。
【図２】図１のコンピュータの作用を示すフローチャー
トである。
トである。
【図３】（ａ）乃至（ｄ）は、それぞれ、コンピュータ
の主要な処理内容を示すスペクトルデータのグラフであ
る。
の主要な処理内容を示すスペクトルデータのグラフであ
る。
１０…赤外分光計、２０…コンピュータ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 右近 寿一郎 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内 (72)発明者 佐竹 司 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内
Claims (1)
- 【請求項１】 評価用加熱ガスを受けた固体物からの光
を分光しその波数及び波長の一方に応じた強度のスペク
トルデータを出力する分光計（１０）と、 前記スペクトルデータと類似した基準データを記憶する
記憶手段（２０）と、 前記スペクトルデータ及び基準データの正規化後の各強
度の積を前記波数及び波長の一方に応じ演算する演算手
段（８０乃至１２０）と、 前記正規化後の各強度の積を一次微分する微分手段（１
３０）と、 前記一次微分に基づき前記スペクトルデータ及び基準デ
ータに共通するピークを検索してこのピークに対応する
波数及び波長の一方を決定し、この決定結果に基づき前
記スペクトルデータのピークにおける前記固体物の吸着
種を判定する判定手段（１４０、１５０）とを備える吸
着種判定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27306997A JPH10170443A (ja) | 1996-10-07 | 1997-10-06 | 吸着種判定装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26637396 | 1996-10-07 | ||
| JP8-266373 | 1996-10-07 | ||
| JP27306997A JPH10170443A (ja) | 1996-10-07 | 1997-10-06 | 吸着種判定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10170443A true JPH10170443A (ja) | 1998-06-26 |
Family
ID=26547413
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27306997A Withdrawn JPH10170443A (ja) | 1996-10-07 | 1997-10-06 | 吸着種判定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10170443A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007178265A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Yamatake Corp | 温度計測方法および温度計測装置 |
| JP2010216839A (ja) * | 2009-03-13 | 2010-09-30 | Toyota Central R&D Labs Inc | 固体表面反応に由来する化学発光の有無の検出方法、固体表面反応に由来する化学物質種の同定方法及びそれらの方法に用いる固体表面反応に由来する化学発光の検出装置 |
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1997
- 1997-10-06 JP JP27306997A patent/JPH10170443A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007178265A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Yamatake Corp | 温度計測方法および温度計測装置 |
| JP2010216839A (ja) * | 2009-03-13 | 2010-09-30 | Toyota Central R&D Labs Inc | 固体表面反応に由来する化学発光の有無の検出方法、固体表面反応に由来する化学物質種の同定方法及びそれらの方法に用いる固体表面反応に由来する化学発光の検出装置 |
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