JPH10172143A - 薄膜媒体の製造方法およびその製造装置 - Google Patents
薄膜媒体の製造方法およびその製造装置Info
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- JPH10172143A JPH10172143A JP8328337A JP32833796A JPH10172143A JP H10172143 A JPH10172143 A JP H10172143A JP 8328337 A JP8328337 A JP 8328337A JP 32833796 A JP32833796 A JP 32833796A JP H10172143 A JPH10172143 A JP H10172143A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 熱じわの発生を防止した薄膜媒体の製造方法
およびその製造装置を得る。 【解決手段】 基板上に薄膜を設けてなる薄膜媒体２の
製造方法およびその製造装置であって、減圧真空槽９
と、この減圧真空槽９内に配設された連続する複数個の
加熱ロール５，６，７と、これら複数個の加熱ロール
５，６，７に表面および裏面を交互に添接させて薄膜媒
体２を走行させる走行手段とを備えたことを特徴とする
ものである。
およびその製造装置を得る。 【解決手段】 基板上に薄膜を設けてなる薄膜媒体２の
製造方法およびその製造装置であって、減圧真空槽９
と、この減圧真空槽９内に配設された連続する複数個の
加熱ロール５，６，７と、これら複数個の加熱ロール
５，６，７に表面および裏面を交互に添接させて薄膜媒
体２を走行させる走行手段とを備えたことを特徴とする
ものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、金属薄膜型の磁
気記録テープ等の薄膜媒体の製造方法およびその製造装
置に関するものである。
気記録テープ等の薄膜媒体の製造方法およびその製造装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】高密度記録に適した金属薄膜型の磁気記
録テープは、通常、カールしていることが多い。そし
て、このカールは、磁気ヘッドとの当たりを悪くするこ
とから、除去することが要望されている。したがって、
このカールを除去するために、例えば、加熱ロールによ
ってカールを除去することが試みられている。
録テープは、通常、カールしていることが多い。そし
て、このカールは、磁気ヘッドとの当たりを悪くするこ
とから、除去することが要望されている。したがって、
このカールを除去するために、例えば、加熱ロールによ
ってカールを除去することが試みられている。
【０００３】しかしながら、このような加熱手段では、
従来より熱じわの発生が多くみられ、薄膜媒体の品質を
低下させる原因となっていた。
従来より熱じわの発生が多くみられ、薄膜媒体の品質を
低下させる原因となっていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この熱じわの原因に
は、例えば、加熱ロールと薄膜媒体との間の空気の咬み
込みによる加熱むらや、加熱ロール出側で薄膜媒体が急
激に冷却されることによる薄膜媒体の急激な収縮が考え
られ、完全な加熱手段は実用化されていなかった。この
発明は、上記従来の問題点を解決するものであり、熱じ
わの発生を防止した薄膜媒体の製造方法およびその製造
装置を提供することを目的とする。
は、例えば、加熱ロールと薄膜媒体との間の空気の咬み
込みによる加熱むらや、加熱ロール出側で薄膜媒体が急
激に冷却されることによる薄膜媒体の急激な収縮が考え
られ、完全な加熱手段は実用化されていなかった。この
発明は、上記従来の問題点を解決するものであり、熱じ
わの発生を防止した薄膜媒体の製造方法およびその製造
装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１は、基板上に薄
膜を設けてなる薄膜媒体の製造方法であって、減圧真空
中で、連続する複数個の加熱ロールに、薄膜媒体の表面
および裏面を交互に添接させて薄膜媒体を走行させる加
熱工程を含むことを特徴とするものである。請求項１記
載の薄膜媒体の製造方法によると、減圧真空中で薄膜媒
体の表裏面を加熱ロールに交互に添接させて走行するの
で、薄膜媒体と加熱ロールとの間における空気の咬み込
みを防ぎ、薄膜媒体が加熱ロールに密着し、薄膜媒体へ
の熱の移動が速やかかつ均一に行われる。また、減圧真
空下では、加熱ロールから送出された薄膜媒体からの空
気による熱の逃げがなく、薄膜媒体の急激な冷却による
急激な収縮を防止できる。
膜を設けてなる薄膜媒体の製造方法であって、減圧真空
中で、連続する複数個の加熱ロールに、薄膜媒体の表面
および裏面を交互に添接させて薄膜媒体を走行させる加
熱工程を含むことを特徴とするものである。請求項１記
載の薄膜媒体の製造方法によると、減圧真空中で薄膜媒
体の表裏面を加熱ロールに交互に添接させて走行するの
で、薄膜媒体と加熱ロールとの間における空気の咬み込
みを防ぎ、薄膜媒体が加熱ロールに密着し、薄膜媒体へ
の熱の移動が速やかかつ均一に行われる。また、減圧真
空下では、加熱ロールから送出された薄膜媒体からの空
気による熱の逃げがなく、薄膜媒体の急激な冷却による
急激な収縮を防止できる。
【０００６】請求項２は、基板上に薄膜を設けてなる薄
膜媒体の製造装置であって、減圧真空槽と、この減圧真
空槽内に配設された連続する複数個の加熱ロールと、こ
れら複数個の加熱ロールに表面および裏面を交互に添接
させて薄膜媒体を走行させる走行手段とを備えたことを
特徴とするものである。請求項２記載の薄膜媒体の製造
装置によると、減圧真空中で薄膜媒体の表裏面を加熱ロ
ールに交互に添接させて走行するので、薄膜媒体と加熱
ロールとの間における空気の咬み込みを防ぎ、薄膜媒体
が加熱ロールに密着し、薄膜媒体への熱の移動が速やか
かつ均一に行われる。また、減圧真空下では、加熱ロー
ルから送出された薄膜媒体からの空気による熱の逃げが
なく、薄膜媒体の急激な冷却による急激な収縮を防止で
きる。
膜媒体の製造装置であって、減圧真空槽と、この減圧真
空槽内に配設された連続する複数個の加熱ロールと、こ
れら複数個の加熱ロールに表面および裏面を交互に添接
させて薄膜媒体を走行させる走行手段とを備えたことを
特徴とするものである。請求項２記載の薄膜媒体の製造
装置によると、減圧真空中で薄膜媒体の表裏面を加熱ロ
ールに交互に添接させて走行するので、薄膜媒体と加熱
ロールとの間における空気の咬み込みを防ぎ、薄膜媒体
が加熱ロールに密着し、薄膜媒体への熱の移動が速やか
かつ均一に行われる。また、減圧真空下では、加熱ロー
ルから送出された薄膜媒体からの空気による熱の逃げが
なく、薄膜媒体の急激な冷却による急激な収縮を防止で
きる。
【０００７】請求項３は、基板上に薄膜を設けてなる薄
膜媒体の製造装置であって、真空中で基板上に薄膜を設
けて薄膜媒体とする成膜手段と、減圧真空槽と、この減
圧真空槽内に配設された連続する複数個の加熱ロール
と、これら複数個の加熱ロールに表面および裏面を交互
に添接させて薄膜媒体を走行させる走行手段とを備えた
ことを特徴とするものである。
膜媒体の製造装置であって、真空中で基板上に薄膜を設
けて薄膜媒体とする成膜手段と、減圧真空槽と、この減
圧真空槽内に配設された連続する複数個の加熱ロール
と、これら複数個の加熱ロールに表面および裏面を交互
に添接させて薄膜媒体を走行させる走行手段とを備えた
ことを特徴とするものである。
【０００８】請求項３記載の薄膜媒体の製造装置による
と、減圧真空中で薄膜媒体の表裏面を加熱ロールに交互
に添接させて走行するので、薄膜媒体と加熱ロールとの
間における空気の咬み込みを防ぎ、薄膜媒体が加熱ロー
ルに密着し、薄膜媒体への熱の移動が速やかかつ均一に
行われる。また、減圧真空下では、加熱ロールから送出
された薄膜媒体からの空気による熱の逃げがなく、薄膜
媒体の急激な冷却による急激な収縮を防止できる。
と、減圧真空中で薄膜媒体の表裏面を加熱ロールに交互
に添接させて走行するので、薄膜媒体と加熱ロールとの
間における空気の咬み込みを防ぎ、薄膜媒体が加熱ロー
ルに密着し、薄膜媒体への熱の移動が速やかかつ均一に
行われる。また、減圧真空下では、加熱ロールから送出
された薄膜媒体からの空気による熱の逃げがなく、薄膜
媒体の急激な冷却による急激な収縮を防止できる。
【０００９】
第１の実施の形態 この発明の第１の実施の形態における薄膜媒体の製造方
法およびその製造装置について、図１を用いて説明す
る。図１において、１は加熱装置、２は薄膜媒体、３は
供給側ロール、４はニップロール、５は第１加熱ロー
ル、６は第２加熱ロール、７は第３加熱ロール、８は巻
取側ロール、９は減圧真空槽である。なお、供給側ロー
ル３，ニップロール４，巻取側ロール８にて走行手段を
構成している。
法およびその製造装置について、図１を用いて説明す
る。図１において、１は加熱装置、２は薄膜媒体、３は
供給側ロール、４はニップロール、５は第１加熱ロー
ル、６は第２加熱ロール、７は第３加熱ロール、８は巻
取側ロール、９は減圧真空槽である。なお、供給側ロー
ル３，ニップロール４，巻取側ロール８にて走行手段を
構成している。
【００１０】薄膜媒体２は、例えば、基板上に金属薄膜
を設けてなる磁気記録テープである。加熱装置１の減圧
真空槽９内を１０-2〜１０-4Ｔｏｒｒ程度の真空度のも
のに排気した後、供給側ロール３より送出される薄膜媒
体２を第１加熱ロール５に添接させる。このとき、薄膜
媒体２を第１加熱ロール５とニップロール４とで挟むよ
うに、ばね，油圧シリンダ，エアシリンダ等の付勢部材
４ａにより付勢する。そして、第１加熱ロール５より送
出された薄膜媒体２を第２加熱ロール６に添接させる。
このとき、第１加熱ロール５に添接する薄膜媒体２の一
方の面とは逆の他方の面が第２加熱ロール６に添接す
る。さらに、第２加熱ロール６より送出された薄膜媒体
２を第３加熱ロール７に添接させる。このとき、第２加
熱ロール６に添接する薄膜媒体２の一方の面とは逆の他
方の面が第３加熱ロール７に添接する。つぎに、第３加
熱ロール７より送出された薄膜媒体２を巻取側ロール８
に巻取っていく。
を設けてなる磁気記録テープである。加熱装置１の減圧
真空槽９内を１０-2〜１０-4Ｔｏｒｒ程度の真空度のも
のに排気した後、供給側ロール３より送出される薄膜媒
体２を第１加熱ロール５に添接させる。このとき、薄膜
媒体２を第１加熱ロール５とニップロール４とで挟むよ
うに、ばね，油圧シリンダ，エアシリンダ等の付勢部材
４ａにより付勢する。そして、第１加熱ロール５より送
出された薄膜媒体２を第２加熱ロール６に添接させる。
このとき、第１加熱ロール５に添接する薄膜媒体２の一
方の面とは逆の他方の面が第２加熱ロール６に添接す
る。さらに、第２加熱ロール６より送出された薄膜媒体
２を第３加熱ロール７に添接させる。このとき、第２加
熱ロール６に添接する薄膜媒体２の一方の面とは逆の他
方の面が第３加熱ロール７に添接する。つぎに、第３加
熱ロール７より送出された薄膜媒体２を巻取側ロール８
に巻取っていく。
【００１１】以上説明した構成の薄膜媒体の製造装置に
おける薄膜媒体の製造方法について説明する。加熱工程
において、供給側ロール３および巻取側ロール８には巻
取力を与え、薄膜媒体２にテンションが掛かった状態、
すなわち第１加熱ロール５，第２加熱ロール６および第
３加熱ロール７に薄膜媒体２が圧着された状態で薄膜媒
体２を走行させる。
おける薄膜媒体の製造方法について説明する。加熱工程
において、供給側ロール３および巻取側ロール８には巻
取力を与え、薄膜媒体２にテンションが掛かった状態、
すなわち第１加熱ロール５，第２加熱ロール６および第
３加熱ロール７に薄膜媒体２が圧着された状態で薄膜媒
体２を走行させる。
【００１２】このとき、減圧真空槽９内は１０-2〜１０
-4Ｔｏｒｒ程度の真空下にあり、薄膜媒体２にはテンシ
ョンが掛かり各加熱ロール５，６，７に薄膜媒体２が圧
着しており、さらに薄膜媒体２はニップロール４により
第１加熱ロール５に圧着しているので、薄膜媒体２と第
１加熱ロール５との間、薄膜媒体２と第２加熱ロール６
との間および薄膜媒体２と第３加熱ロール７との間の密
着は極めて良く、熱の移動は速やかに均一に行われる。
-4Ｔｏｒｒ程度の真空下にあり、薄膜媒体２にはテンシ
ョンが掛かり各加熱ロール５，６，７に薄膜媒体２が圧
着しており、さらに薄膜媒体２はニップロール４により
第１加熱ロール５に圧着しているので、薄膜媒体２と第
１加熱ロール５との間、薄膜媒体２と第２加熱ロール６
との間および薄膜媒体２と第３加熱ロール７との間の密
着は極めて良く、熱の移動は速やかに均一に行われる。
【００１３】ここで、第１加熱ロール５，第２加熱ロー
ル６および第３加熱ロール７の温度を薄膜媒体２の基板
の材質（ＰＥＴ，ＰＥＮ，アラミド等）に適した温度に
設定し、薄膜媒体２に急激な温度変化が加わらないよう
にする。このように構成された薄膜媒体の製造方法およ
びその製造装置によると、減圧真空中で薄膜媒体２の表
裏面を加熱ロール５，６，７に交互に添接させて走行す
るので、薄膜媒体２と加熱ロール５，６，７との間にお
ける空気の咬み込みを防ぎ、薄膜媒体２が加熱ロール
５，６，７に密着し、薄膜媒体２への熱の移動が速やか
かつ均一に行われる。
ル６および第３加熱ロール７の温度を薄膜媒体２の基板
の材質（ＰＥＴ，ＰＥＮ，アラミド等）に適した温度に
設定し、薄膜媒体２に急激な温度変化が加わらないよう
にする。このように構成された薄膜媒体の製造方法およ
びその製造装置によると、減圧真空中で薄膜媒体２の表
裏面を加熱ロール５，６，７に交互に添接させて走行す
るので、薄膜媒体２と加熱ロール５，６，７との間にお
ける空気の咬み込みを防ぎ、薄膜媒体２が加熱ロール
５，６，７に密着し、薄膜媒体２への熱の移動が速やか
かつ均一に行われる。
【００１４】さらに、減圧真空槽９内は１０-2〜１０-4
Ｔｏｒｒ程度の真空下にあるので、各加熱ロールよ５，
６，７り送出された薄膜媒体２からの空気による熱の逃
げがなく、これに起因して薄膜媒体２が急激に冷却され
ることによる温度低下がなく、薄膜媒体２の急激な収縮
を防止できる。よって、加熱むらや熱収縮による熱じわ
が発生せず、薄膜媒体２のカール除去が効率よく行え
る。
Ｔｏｒｒ程度の真空下にあるので、各加熱ロールよ５，
６，７り送出された薄膜媒体２からの空気による熱の逃
げがなく、これに起因して薄膜媒体２が急激に冷却され
ることによる温度低下がなく、薄膜媒体２の急激な収縮
を防止できる。よって、加熱むらや熱収縮による熱じわ
が発生せず、薄膜媒体２のカール除去が効率よく行え
る。
【００１５】なお、減圧真空槽９内の真空度が上がって
いれば、薄膜媒体２への影響が考えられるニップロール
４は使用する必要がない。また、加熱ロール５，６，７
は、この例では３個であるが、基板の材質にもよるが、
２個以上であれば良い。第２の実施の形態この発明の第
２の実施の形態における薄膜媒体の製造方法およびその
製造装置について、図２を用いて説明する。
いれば、薄膜媒体２への影響が考えられるニップロール
４は使用する必要がない。また、加熱ロール５，６，７
は、この例では３個であるが、基板の材質にもよるが、
２個以上であれば良い。第２の実施の形態この発明の第
２の実施の形態における薄膜媒体の製造方法およびその
製造装置について、図２を用いて説明する。
【００１６】図２において、１は加熱装置、２は薄膜媒
体、３は供給側ロール、４はニップロール、５は第１加
熱ロール、６は第２加熱ロール、７は第３加熱ロール、
８は巻取側ロール、９は減圧真空槽であり、１１は蒸着
装置、１２は基板、１３は冷却キャンロール、１４は遮
蔽板、１５は酸素ガス供給ノズル、１６はルツボ、１７
はルツボ１６内に供給された磁性金属材料、１８は電子
銃、１９は真空槽である。なお、蒸着装置１１にて成膜
手段を構成している。
体、３は供給側ロール、４はニップロール、５は第１加
熱ロール、６は第２加熱ロール、７は第３加熱ロール、
８は巻取側ロール、９は減圧真空槽であり、１１は蒸着
装置、１２は基板、１３は冷却キャンロール、１４は遮
蔽板、１５は酸素ガス供給ノズル、１６はルツボ、１７
はルツボ１６内に供給された磁性金属材料、１８は電子
銃、１９は真空槽である。なお、蒸着装置１１にて成膜
手段を構成している。
【００１７】このように構成された薄膜媒体の製造装置
において、蒸着装置１１の真空槽１９内を１０-4〜１０
-6Ｔｏｒｒ程度の真空度のものに排気した後、電子銃１
８からのビーム加熱によりルツボ１６内の磁性金属材料
１７を溶融して蒸発させる。ここで、供給側ロール３よ
り送出される基板１２を冷却キャンロール１３に添接さ
せて走行させ、この添接する基板１２に対して０．０５
〜１μｍ厚の磁性金属材料１７を蒸着させ、薄膜媒体２
を成膜する。このとき、供給側ロール３には巻取力を与
え、基板１２にテンションが掛かった状態で薄膜媒体２
を成膜する。この薄膜媒体２の形成に際して、蒸着部分
に酸素ガス供給ノズル１５から酸素を供給し、強制酸化
させることによって薄膜媒体２の表層部分を酸化させ、
酸化膜による保護膜を形成する。
において、蒸着装置１１の真空槽１９内を１０-4〜１０
-6Ｔｏｒｒ程度の真空度のものに排気した後、電子銃１
８からのビーム加熱によりルツボ１６内の磁性金属材料
１７を溶融して蒸発させる。ここで、供給側ロール３よ
り送出される基板１２を冷却キャンロール１３に添接さ
せて走行させ、この添接する基板１２に対して０．０５
〜１μｍ厚の磁性金属材料１７を蒸着させ、薄膜媒体２
を成膜する。このとき、供給側ロール３には巻取力を与
え、基板１２にテンションが掛かった状態で薄膜媒体２
を成膜する。この薄膜媒体２の形成に際して、蒸着部分
に酸素ガス供給ノズル１５から酸素を供給し、強制酸化
させることによって薄膜媒体２の表層部分を酸化させ、
酸化膜による保護膜を形成する。
【００１８】また、加熱装置１の減圧真空槽９内は１０
-2〜１０-4Ｔｏｒｒ程度の真空度のものに排気してい
る。以下の構成については、前記第１の実施の形態と同
様である。第１の実施の形態では供給ロール３より送出
される薄膜媒体２を第１加熱ロール５に添接させるのに
対し、本実施の形態では蒸着装置１１より供給される薄
膜媒体２を第１加熱ロール５に添接させる点が異なるに
過ぎず、その他の基本的な技術は同じなので、詳細な説
明は省略する。
-2〜１０-4Ｔｏｒｒ程度の真空度のものに排気してい
る。以下の構成については、前記第１の実施の形態と同
様である。第１の実施の形態では供給ロール３より送出
される薄膜媒体２を第１加熱ロール５に添接させるのに
対し、本実施の形態では蒸着装置１１より供給される薄
膜媒体２を第１加熱ロール５に添接させる点が異なるに
過ぎず、その他の基本的な技術は同じなので、詳細な説
明は省略する。
【００１９】以上説明した構成の薄膜媒体の製造装置に
おける薄膜媒体の製造方法について説明する。上記蒸着
工程において、磁性金属材料１７を蒸着させ、薄膜媒体
２を成膜するに際して、蒸着部分に過大な熱が加わって
いる。しかし、薄膜媒体２は冷却キャンロール１３に添
接されて走行しているので、蒸着による熱は冷却キャン
ロール１３や走行系の金属ロール等により奪われるが、
薄膜媒体２が急速に常温程度まで冷却されると、薄膜媒
体２が熱収縮し熱じわが発生する。そこで、急激な冷却
が起きないように、続く加熱工程において、徐々に冷却
するようにする。
おける薄膜媒体の製造方法について説明する。上記蒸着
工程において、磁性金属材料１７を蒸着させ、薄膜媒体
２を成膜するに際して、蒸着部分に過大な熱が加わって
いる。しかし、薄膜媒体２は冷却キャンロール１３に添
接されて走行しているので、蒸着による熱は冷却キャン
ロール１３や走行系の金属ロール等により奪われるが、
薄膜媒体２が急速に常温程度まで冷却されると、薄膜媒
体２が熱収縮し熱じわが発生する。そこで、急激な冷却
が起きないように、続く加熱工程において、徐々に冷却
するようにする。
【００２０】まず、巻取側ロール８に巻取力を与え、薄
膜媒体２にテンションが掛かった状態、すなわち第１加
熱ロール５，第２加熱ロール６および第３加熱ロール７
に薄膜媒体２が圧着された状態で薄膜媒体２を走行させ
る。このとき、減圧真空槽９内は１０-2〜１０-4Ｔｏｒ
ｒ程度の真空下にあり、薄膜媒体２にはテンションが掛
かり各加熱ロール５，６，７に薄膜媒体２が圧着してお
り、さらに薄膜媒体２はニップロール４により第１加熱
ロール５に圧着しているので、薄膜媒体２と第１加熱ロ
ール５との間、薄膜媒体２と第２加熱ロール６との間お
よび薄膜媒体２と第３加熱ロール７との間の密着は極め
て良く、熱の移動は速やかに均一に行われる。
膜媒体２にテンションが掛かった状態、すなわち第１加
熱ロール５，第２加熱ロール６および第３加熱ロール７
に薄膜媒体２が圧着された状態で薄膜媒体２を走行させ
る。このとき、減圧真空槽９内は１０-2〜１０-4Ｔｏｒ
ｒ程度の真空下にあり、薄膜媒体２にはテンションが掛
かり各加熱ロール５，６，７に薄膜媒体２が圧着してお
り、さらに薄膜媒体２はニップロール４により第１加熱
ロール５に圧着しているので、薄膜媒体２と第１加熱ロ
ール５との間、薄膜媒体２と第２加熱ロール６との間お
よび薄膜媒体２と第３加熱ロール７との間の密着は極め
て良く、熱の移動は速やかに均一に行われる。
【００２１】ここで、第１加熱ロール５，第２加熱ロー
ル６および第３加熱ロール７の温度を適切な温度に設定
し、薄膜媒体２に急激な温度変化が加わらないようにす
る。このように構成された薄膜媒体の製造方法およびそ
の製造装置によると、減圧真空中で薄膜媒体２の表裏面
を加熱ロール５，６，７に交互に添接させて走行するの
で、薄膜媒体２と加熱ロール５，６，７との間における
空気の咬み込みを防ぎ、薄膜媒体２が加熱ロール５，
６，７に密着し、薄膜媒体２への熱の移動が速やかかつ
均一に行われる。
ル６および第３加熱ロール７の温度を適切な温度に設定
し、薄膜媒体２に急激な温度変化が加わらないようにす
る。このように構成された薄膜媒体の製造方法およびそ
の製造装置によると、減圧真空中で薄膜媒体２の表裏面
を加熱ロール５，６，７に交互に添接させて走行するの
で、薄膜媒体２と加熱ロール５，６，７との間における
空気の咬み込みを防ぎ、薄膜媒体２が加熱ロール５，
６，７に密着し、薄膜媒体２への熱の移動が速やかかつ
均一に行われる。
【００２２】さらに、減圧真空槽９内は１０-2〜１０-4
Ｔｏｒｒ程度の真空下にあるので、各加熱ロールよ５，
６，７り送出された薄膜媒体２からの空気による熱の逃
げがなく、これに起因して薄膜媒体２が急激に冷却され
ることによる温度低下がなく、薄膜媒体２の急激な収縮
を防止できる。よって、蒸着工程において、加熱むらや
熱収縮による熱じわが発生せず、薄膜媒体２のカール除
去が効率よく行える。
Ｔｏｒｒ程度の真空下にあるので、各加熱ロールよ５，
６，７り送出された薄膜媒体２からの空気による熱の逃
げがなく、これに起因して薄膜媒体２が急激に冷却され
ることによる温度低下がなく、薄膜媒体２の急激な収縮
を防止できる。よって、蒸着工程において、加熱むらや
熱収縮による熱じわが発生せず、薄膜媒体２のカール除
去が効率よく行える。
【００２３】
【発明の効果】請求項１記載の薄膜媒体の製造方法によ
ると、減圧真空中で薄膜媒体の表裏面を加熱ロールに交
互に添接させて走行するので、薄膜媒体と加熱ロールと
の間における空気の咬み込みを防ぎ、薄膜媒体が加熱ロ
ールに密着し、薄膜媒体への熱の移動が速やかかつ均一
に行われる。また、減圧真空下では、加熱ロールから送
出された薄膜媒体からの空気による熱の逃げがなく、薄
膜媒体の急激な冷却による急激な収縮を防止できる。よ
って、加熱むらや熱収縮による熱じわが発生せず、薄膜
媒体のカール除去が効率よく行え、熱じわのない品質の
良い薄膜媒体が得られる。
ると、減圧真空中で薄膜媒体の表裏面を加熱ロールに交
互に添接させて走行するので、薄膜媒体と加熱ロールと
の間における空気の咬み込みを防ぎ、薄膜媒体が加熱ロ
ールに密着し、薄膜媒体への熱の移動が速やかかつ均一
に行われる。また、減圧真空下では、加熱ロールから送
出された薄膜媒体からの空気による熱の逃げがなく、薄
膜媒体の急激な冷却による急激な収縮を防止できる。よ
って、加熱むらや熱収縮による熱じわが発生せず、薄膜
媒体のカール除去が効率よく行え、熱じわのない品質の
良い薄膜媒体が得られる。
【００２４】請求項２記載の薄膜媒体の製造装置による
と、減圧真空中で薄膜媒体の表裏面を加熱ロールに交互
に添接させて走行するので、薄膜媒体と加熱ロールとの
間における空気の咬み込みを防ぎ、薄膜媒体が加熱ロー
ルに密着し、薄膜媒体への熱の移動が速やかかつ均一に
行われる。また、減圧真空下では、加熱ロールから送出
された薄膜媒体からの空気による熱の逃げがなく、薄膜
媒体の急激な冷却による急激な収縮を防止できる。よっ
て、加熱むらや熱収縮による熱じわが発生せず、薄膜媒
体のカール除去が効率よく行え、熱じわのない品質の良
い薄膜媒体が得られる。
と、減圧真空中で薄膜媒体の表裏面を加熱ロールに交互
に添接させて走行するので、薄膜媒体と加熱ロールとの
間における空気の咬み込みを防ぎ、薄膜媒体が加熱ロー
ルに密着し、薄膜媒体への熱の移動が速やかかつ均一に
行われる。また、減圧真空下では、加熱ロールから送出
された薄膜媒体からの空気による熱の逃げがなく、薄膜
媒体の急激な冷却による急激な収縮を防止できる。よっ
て、加熱むらや熱収縮による熱じわが発生せず、薄膜媒
体のカール除去が効率よく行え、熱じわのない品質の良
い薄膜媒体が得られる。
【００２５】請求項３記載の薄膜媒体の製造装置による
と、減圧真空中で薄膜媒体の表裏面を加熱ロールに交互
に添接させて走行するので、薄膜媒体と加熱ロールとの
間における空気の咬み込みを防ぎ、薄膜媒体が加熱ロー
ルに密着し、薄膜媒体への熱の移動が速やかかつ均一に
行われる。また、減圧真空下では、加熱ロールから送出
された薄膜媒体からの空気による熱の逃げがなく、薄膜
媒体の急激な冷却による急激な収縮を防止できる。よっ
て、蒸着工程において、加熱むらや熱収縮による熱じわ
が発生せず、薄膜媒体のカール除去が効率よく行え、熱
じわのない品質の良い薄膜媒体が得られる。
と、減圧真空中で薄膜媒体の表裏面を加熱ロールに交互
に添接させて走行するので、薄膜媒体と加熱ロールとの
間における空気の咬み込みを防ぎ、薄膜媒体が加熱ロー
ルに密着し、薄膜媒体への熱の移動が速やかかつ均一に
行われる。また、減圧真空下では、加熱ロールから送出
された薄膜媒体からの空気による熱の逃げがなく、薄膜
媒体の急激な冷却による急激な収縮を防止できる。よっ
て、蒸着工程において、加熱むらや熱収縮による熱じわ
が発生せず、薄膜媒体のカール除去が効率よく行え、熱
じわのない品質の良い薄膜媒体が得られる。
【図１】この発明の第１の実施の形態における薄膜媒体
の製造装置の概略図である。
の製造装置の概略図である。
【図２】この発明の第２の実施の形態における薄膜媒体
の製造装置の概略図である。
の製造装置の概略図である。
１ 加熱装置 ２ 薄膜媒体 ３ 供給側ロール ５ 第１加熱ロール ６ 第２加熱ロール ７ 第３加熱ロール ８ 巻取側ロール ９ 減圧真空槽 １１ 蒸着装置 １２ 基板 １３ 冷却キャンロール １６ ルツボ １７ 磁性金属材料 １９ 真空槽
Claims (3)
- 【請求項１】 基板上に薄膜を設けてなる薄膜媒体の製
造方法であって、 減圧真空中で、連続する複数個の加熱ロールに、薄膜媒
体の表面および裏面を交互に添接させて前記薄膜媒体を
走行させる加熱工程を含むことを特徴とする薄膜媒体の
製造方法。 - 【請求項２】 基板上に薄膜を設けてなる薄膜媒体の製
造装置であって、 減圧真空槽と、この減圧真空槽内に配設された連続する
複数個の加熱ロールと、これら複数個の加熱ロールに表
面および裏面を交互に添接させて薄膜媒体を走行させる
走行手段とを備えたことを特徴とする薄膜媒体の製造装
置。 - 【請求項３】 基板上に薄膜を設けてなる薄膜媒体の製
造装置であって、 真空中で基板上に薄膜を設けて薄膜媒体とする成膜手段
と、減圧真空槽と、この減圧真空槽内に配設された連続
する複数個の加熱ロールと、これら複数個の加熱ロール
に表面および裏面を交互に添接させて前記薄膜媒体を走
行させる走行手段とを備えたことを特徴とする薄膜媒体
の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8328337A JPH10172143A (ja) | 1996-12-09 | 1996-12-09 | 薄膜媒体の製造方法およびその製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8328337A JPH10172143A (ja) | 1996-12-09 | 1996-12-09 | 薄膜媒体の製造方法およびその製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10172143A true JPH10172143A (ja) | 1998-06-26 |
Family
ID=18209116
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8328337A Pending JPH10172143A (ja) | 1996-12-09 | 1996-12-09 | 薄膜媒体の製造方法およびその製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10172143A (ja) |
-
1996
- 1996-12-09 JP JP8328337A patent/JPH10172143A/ja active Pending
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