JPH10176995A - 透明体検査方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、透明体の欠点と透明体に付着した埃
とを弁別して自動検出できる透明体検査装置を得ること
にある。 【解決手段】移動される液晶ガラス１の一面側に対向配
置されて前記ガラス１をその移動方向と直角に交差する
方向に走査する検査カメラ18と、ガラス１の他面側に対
向配置されてカメラ18の視野を照明する照明装置19と、
カメラ18の撮像により得た検査信号から明情報と暗情報
とを弁別する信号処理部12と、を具備する。照明装置19
が、カメラ18の光軸 18c上に配置された遮光体19c と、
前記光軸 18c上上から外れて遮光体19c の側方に配置さ
れた光源19b とを有してなる。カメラ18は、照明装置19
から投光されてガラス１内を屈折して透過した屈折光を
受光することを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばバックライ
ト付きの液晶表示装置が備える透明ガラス基板、可撓性
を有する合成樹脂基板等の透明体の欠点の有無を検査す
る透明体検査方法およびその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】バックライト付きの液晶表示装置が備え
る透明ガラス基板（以下液晶ガラスと略称する。）に、
欠点、つまり、液晶ガラスの表面または裏面に生じた擦
り傷（以下傷と略称する。）や泡またはカレット（泡の
中での小さいもの）等があると、その欠点の部分でバッ
クライトの光が屈折するので、カラー表示の場合には色
むらとなってしまい、白黒表示の場合は黒っぽく見えて
しまう等、液晶画面の発色阻害因子となることは知られ
ている。

【０００３】こうした点を回避するために液晶ガラスの
欠点の有無を検査する必要がある。そのために、従来で
は一般的に、クリーンルーム内において人間が目視する
ことによって検査を行っており、その検査結果に基づい
て、液晶ガラスを再研磨したり、廃棄処分するようにし
ている。

【０００４】また、液晶ガラスではないが透明フィルム
の欠点の自動検査が次のように行われている。この自動
検査は、透明体の検査位置において、透明体の一面と対
向して検査カメラを設置するとともに、透明体の他面側
に前記カメラの視野を照明する照明装置を設けている。
照明装置の光源は前記カメラの光軸上に配置されてい
て、そこから発した光は透明体を屈折することなく透過
して前記カメラに入射され、検査カメラはそれが有した
一次元のＣＣＤイメージセンサで透明体の移動方向に直
角に交差する幅方向に沿って視野を走査して、検査情報
を得るようになっている。このような光学検査は直接透
過法と称されている。そして、この検査法を前記液晶ガ
ラスの検査に適用することが考えられる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記液晶ガラ
スの欠点は最小２０μｍ相当と微小であり、それを拡大
グラス等での視野拡大下において行うことを余儀なくさ
れる目視検査では、その検査効率が非常に悪い。

【０００６】また、前記直接透過法による自動検査を本
出願人は試みたが、次のような問題があることが分かっ
た。すなわち、液晶ガラスの製造はクリーンルームで行
われ、このクリーンルーム内で直接透過法により検査を
実施するといえどもそこに作業者が出入りすることが原
因となって、液晶ガラスの欠点サイズ程度の埃の侵入は
避けることができず、この埃は液晶ガラスに付着する。

【０００７】こうして埃が付着した状態で前記自動検査
がなされるから、検査カメラの走査においてガラス面に
付着した埃は照明装置から検査カメラに入射しようとす
る透過光を遮って、液晶ガラス面の欠点とともに撮像さ
れる。そのため、検査カメラから出力される検査信号
（検査情報）において前記欠点および埃についての信号
成分は、欠点および埃がない正常な箇所についての信号
成分のレベル（地合レベル）よりも電圧が低い、いわゆ
る暗情報となる。したがって、前記検査信号を電子回路
で信号処理して欠点検出を自動的にしようとする場合、
欠点と埃との弁別ができず、埃を欠点として誤って認識
してしまうから、こうした直接透過法による自動検査は
実用に適さないことが分かった。

【０００８】本発明が解決しようとする第１の課題は、
透明体の欠点と透明体に付着した埃とを弁別して自動検
出できる透明体検査方法および装置を得ることにある。
また、前記の直接透過法による自動検査では、欠点が液
晶ガラスの表面、または裏面、或いは内部にあっても、
すべて暗情報として検出されるので、その情報をもとに
欠点の厚み方向位置（液晶ガラスの表面、裏面、または
内部）を知ることはできない。そのため、例えば、液晶
ガラスを再研磨する場合に、どちらの面を再研磨してよ
いか分からないという問題がある。

【０００９】したがって、本発明が解決しようとする第
２の課題は、前記第１の課題を解決しつつ、欠点の厚み
方向位置も自動検出できる透明体検査装置を得ることに
ある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記第１の課題を解決す
るために、請求項１記載の発明に係る透明体検査方法
は、第１検査位置において、移動される透明体と対向し
て配置され前記透明体をその移動方向と直角に交差する
方向に走査する第１検査カメラで、前記透明体を間に置
いて前記第１検査カメラと反対側でかつ前記第１検査カ
メラの光軸上に配置された光源を有した第１照明装置か
ら投光されて前記透明体を屈折することなく厚み方向に
直角に透過する透過光を受光して第１検査信号を得ると
ともに、前記第１検査位置よりも下流側または上流側の
第２検査位置において、前記透明体と対向して配置され
前記透明体をその移動方向と直角に交差する方向に走査
する第２検査カメラで、前記透明体を間に置いて前記第
２検査カメラと反対側でかつ前記第２検査カメラの光軸
上に配置された遮光体およびこの側方に配置された光源
を有した第２照明装置から投光されて前記透明体内を屈
折して透過する屈折光を受光して第２検査信号を得て、
次いで、前記第１、第２の検査信号を比較することを特
徴としている。

【００１１】この請求項１記載の発明においては、第１
検査位置で直接透過法による検査情報を得る。つまり、
第１照明装置は第１検査カメラの視野を照明し、その光
を透明体に対して屈折することなく透明体の厚み方向に
直角に透過させ、また、第１検査カメラは透明体の視野
を前記のように透過した透過光を受光する。それによ
り、透明体の欠点および透明体に付着した埃についての
暗情報を含んだ第１検査信号を得る。

【００１２】また、第１検査位置より下流側または上流
側の第２検査位置で（言い換えれば、第１検査信号を得
る前または後に）間接透過法による検査情報を得る。つ
まり、第２照明装置は第２検査カメラの視野を照明する
が、第２検査カメラの光軸上には遮光体があるので、第
２照明装置から投射される光は前記視野に対し斜めに入
射し屈折光となって前記視野を照明し、また、第２検査
カメラは前記視野を前記のように屈折して透過した屈折
光を受光する。こうした間接透過法では第２検査カメラ
が光源を直視しないので、透明体に欠点があると、その
部分を回折する散乱光が第２検査カメラに入射する。そ
れにより、この欠点は光って見え、したがって、地合レ
ベルよりも電圧が高い明情報として検出できる。また、
透明体に付着した埃は直接透過法の場合と同様に遮光す
るから、これについては暗情報として検出できる。こう
して透明体の欠点についての明情報および透明体に付着
した埃についての暗情報を含んだ第２検査信号を得る。

【００１３】そして、こうして第１、第２の検査カメラ
で得た第１、第２の検査信号を、そのアドレスを合わせ
て比較する。それによって、あるアドレスについて、そ
の第１検査信号が暗情報であるとともに第２検査信号が
明情報である場合には欠点であるとし、同様にあるアド
レスについて、その第１、第２の検査信号がいずれも暗
情報である場合には埃であると判定する。

【００１４】したがって、請求項１記載の透明体検査方
法においては、以上のような直接透過法および間接透過
法の組み合わせにより得た検査信号を比較して、透明体
の欠点と埃とを弁別して自動検出できる。

【００１５】また、同様に前記第１の課題を解決するた
めに、請求項２記載の透明体検査装置は、移動される透
明体の一面側に対向配置されて前記透明体をその移動方
向と直角に交差する方向に走査する検査カメラと、前記
透明体の他面側に対向配置されて前記検査カメラの視野
を照明する照明装置と、前記検査カメラの撮像により得
た検査信号から明情報と暗情報とを弁別する信号処理部
と、を具備し、前記照明装置が、前記検査カメラの光軸
上に配置された遮光体と、前記光軸上から外れて前記遮
光体の側方に配置された光源とを有してなり、この照明
装置から投光されて前記透明体内を屈折して透過した屈
折光を前記検査カメラが受光することを特徴としてい
る。

【００１６】この請求項２記載の透明体検査装置におい
て、その検査カメラと照明装置とがなす光学検査部は、
請求項１記載の発明で既に説明した間接透過法による検
査を行う。

【００１７】すなわち、この検査では、照明装置により
照明された視野を走査する検査カメラの光軸上には、照
明装置の遮光体があるので、照明装置から投射される光
は前記視野に対し斜めに入射して屈折光となって前記視
野を照明し、また、検査カメラは前記視野を前記のよう
に屈折して透過した屈折光を受光する。こうした間接透
過法では検査カメラが光源を直視しないので、透明体に
欠点があると、その部分を回折する散乱光が検査カメラ
に入射する。それにより、欠点は光って見え、したがっ
て、欠点を地合レベルよりも電圧が高い明情報として検
出できる。また、透明体に付着した埃は、前記屈折光を
遮光するから、これについては暗情報として検出でき
る。

【００１８】そして、検査カメラの出力される検査信号
は、前記のように透明体の欠点について明情報および透
明体に付着した埃についての暗情報を含んでいるから、
この検査信号が供給される信号処理部は、前記明暗両情
報のレベル差を利用してそれらを弁別する。

【００１９】前記のように請求項２記載の透明体検査装
置においては、間接透過法による検査をする１系統の光
学検査部により欠点と埃について弁別可能な検査信号を
得、それを信号処理部での回路処理により弁別するか
ら、透明体の欠点と埃とを自動的に区別して検出でき
る。

【００２０】また、前記第２の課題を解決するために、
請求項３記載の透明体検査装置は、移動される透明体の
一面側に対向配置されて前記透明体をその移動方向と直
角に交差する方向に走査する検査カメラと、前記透明体
の他面側に対向配置されて前記検査カメラの視野を照明
する照明装置とからなる光学検査部を前記透明体の移動
方向に位置をずらして２系統設けるとともに、前記照明
装置は、前記検査カメラの光軸上に配置された遮光体
と、前記光軸上から外れて前記遮光体の側方に配置され
た光源とを有してなり、かつ、前記２系統の光学検査部
のうちの一方の光学検査部の照明装置の照明による前記
視野での屈折光の屈折角よりも、他方の光学検査部の照
明装置の照明による前記視野での屈折光の屈折角を小さ
くし、前記両検査部の検査カメラの撮像により得た検査
信号から明情報と暗情報とを弁別するとともに、その明
情報同志を比較する信号処理部を備えたことを特徴とし
ている。

【００２１】この請求項３記載の透明体検査装置におい
て、透明体の移動方向に位置をずらして２系統設けられ
た光学検査部は、既述の間接透過法による検査を夫々行
う。この場合、一方の光学検査部による視野での屈折光
の屈折角は、他方の光学検査部による視野での屈折光の
屈折角より小さい。それにより、屈折角が大きい方の屈
折光を受光した検査カメラの検査信号に含まれる欠点に
ついての明情報は、透明体表面（検査カメラ側）の欠点
については高い電圧レベルの明情報としてとらえられ、
かつ、透明体裏面（照明装置側）の欠点については低い
電圧レベルの明情報としてとらえられる。この逆に、屈
折角が小さい方の屈折光を受光した検査カメラでの欠点
についての明情報は、透明体表面（検査カメラ側）の欠
点については低い電圧レベルの明情報としてとらえら
れ、かつ、透明体裏面（照明装置側）の欠点については
高い電圧レベルの明情報としてとらえられる。

【００２２】そして、信号処理部は、両検査部の検査カ
メラから供給される検査信号を、そのアドレスを合わせ
て比較する。それによって、あるアドレスについて、両
光学検査部からの検査信号が共に明情報である場合には
欠点であると判定し、同様にあるアドレスについて、両
光学検査部からの検査信号が共に暗情報である場合には
埃であると判定する。

【００２３】しかも、信号処理部は、前記のように屈折
角によって透明体の表面と裏面とでは信号レベルが異な
る特徴的な明情報同志を比較する（言い換えれば、その
信号レベルの大きさを比較する）から、それによって、
欠点の透明体に対する厚み方向の位置を判別する。

【００２４】前記のように請求項３記載の透明体検査装
置においては、間接透過法による検査をする２系統の光
学検査部により欠点と埃について弁別可能な検査信号を
得、それを信号処理部での回路処理により弁別し、かつ
欠点についての明情報同志を比較するから、透明体の欠
点と埃とを区別して自動検出できるとともに、こうして
検出された欠点の透明体に対する厚み方向の位置も自動
検出できる。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、図１および図２を参照して
本発明の第１の実施の形態を説明する。図１は第１の実
施の形態に係る透明体検査装置の構成を示す図であっ
て、透明な検査ガラス例えば液晶ガラス１の欠点検査に
使用されるものである。液晶ガラス１の製造環境はクリ
ーンルーム内であり、そして、液晶ガラス１はクリーン
ルーム内での検査区域に図示しない搬送手段により水平
な姿勢を保っ移動されて、前記検査区域に設置された本
実施の形態に係る透明体検査装置で自動検査されるもの
である。なお、図４中矢印は液晶ガラス１の移動方向を
示している。

【００２６】なお、液晶ガラス１の欠点には、図１に誇
張して描いたように液晶ガラス１の表面（検査姿勢にお
いて上面）に付いた擦り傷等の表傷２と、液晶ガラス１
の裏面（検査姿勢において下面）に付いた擦り傷等の裏
傷３と、液晶ガラス１の内部の泡（泡の程度が小さいカ
レットも含む）４とがある。

【００２７】この検査装置は、第１〜第４の光学検査部
と、ゲイン補正回路１１と、検出手段としての信号処理
部１２とを備えている。第１検査位置に設けられる第１
光学検査部は、移動される液晶ガラス１の一面例えば表
面に対向して配置された第１検査カメラ１５と、液晶ガ
ラス１を間に置いて第１検査カメラ１５とは反対側に液
晶ガラス１の他面に対向して配置された第１照明装置１
６とを備えている。

【００２８】第１検査カメラ１５には、受光部１５ａに
光−電変換形の視角センサとして一次元ＣＣＤイメージ
センサ（ＣＣＤラインメージセンサとも、ＣＣＤリニア
アレーイメージセンサとも称される。）を有したＣＣＤ
カメラが採用されている。このカメラ１５は液晶ガラス
１をその移動方向と直交する幅方向に沿って走査する。

【００２９】第１照明装置１６は、反射鏡１６ａ内に一
つの光源１６ｂを収容してなる。光源１６ｂには直管形
の蛍光灯が使用され、この光源１６ｂは液晶ガラス１の
幅方向に延びて設けられる。この第１照明装置１６は、
その光源１６ｂを第１検査カメラ１５の光軸１５ｃ上に
配置して設けられており、したがって、この光源１６ｂ
から投射されて第１検査カメラ１５の視野を照明する光
は、検査ガラス１を屈折することなく厚み方向に直角に
透過して第１検査カメラ１５に受光されるようになって
いる。

【００３０】第１検査位置の例えば下流側の第２検査位
置に設けられる第２光学検査部は、前記液晶ガラス１の
一面例えば表面に対向して配置された第２検査カメラ１
８と、液晶ガラス１を間に置いて第２検査カメラ１８と
は反対側に液晶ガラス１の他面に対向して配置された第
２照明装置１９とを備えている。なお、この第２光学検
査部は第１検査位置の上流側に設けてもよい。

【００３１】第２検査カメラ１８には、受光部１８ａに
光−電変換形の視角センサとして一次元ＣＣＤイメージ
センサを有したＣＣＤカメラが採用されている。このカ
メラ１８は液晶ガラス１をその移動方向と直交する幅方
向に沿って走査する。

【００３２】第２照明装置１９は、反射鏡１９ａ内に遮
光体１９ｂと二つの光源１９ｃとを収容してなる。遮光
体１９ｂには、例えば黒色系の遮光板が採用されるが、
油汚れなどを欠点として検出する場合には白色系の遮光
板を用いてもよいとともに、板に限らない。この遮光体
１９ｂは第２検査カメラ１８の光軸上１８ｃに配置して
設けられている。二つの光源１９ｃには直管形の蛍光灯
が使用され、これら光源１９ｃは液晶ガラス１の幅方向
に延びて設けられる。これら一対の光源１９ｃは遮光体
１９ｂを間に置くようにしてその側方に夫々配置されて
いる。したがって、これらの光源１９ｃから投射されて
第２検査カメラ１８の視野を照明する光は、検査ガラス
１内を屈折して厚み方向に透過して第２検査カメラ１８
に受光されるようになっている。

【００３３】第２検査位置の例えば下流側の第３検査位
置に設けられる第３光学検査部は、第２光学検査部と同
様に前記液晶ガラス１の一面例えば表面に対向して配置
された第２検査カメラ２１と、液晶ガラス１を間に置い
て第２検査カメラ２１とは反対側に液晶ガラス１の他面
に対向して配置された第３照明装置２２とを備えてい
る。なお、この第３光学検査部は第１検査位置または第
２検査位置の上流側に設けてもよい。

【００３４】第３検査カメラ２１には、受光部２１ａに
光−電変換形の視角センサとして一次元ＣＣＤイメージ
センサを有したＣＣＤカメラが採用されている。このカ
メラ２１は液晶ガラス１をその移動方向と直交する幅方
向に沿って走査する。

【００３５】第３照明装置２２は、反射鏡２２ａ内に遮
光体２２ｂと二つの光源２２ｃとを収容してなる。遮光
体２２ｂには、例えば黒色系の遮光板が採用されるが、
油汚れなどを欠点として検出する場合には白色系の遮光
板を用いてもよいとともに、板に限らない。この遮光体
２２ｂは第３検査カメラ２１の光軸２１ｃ上に配置して
設けられている。また、二つの光源２２ｃには直管形の
蛍光灯が使用され、これら光源２２ｃは液晶ガラス１の
幅方向に延びて設けられる。これら一対の光源２２ｃは
遮光体２２ｂを間に置くようにしてその側方に夫々配置
されている。したがって、これらの光源２２ｃから投射
されて第３検査カメラ２１の視野を照明する光は、検査
ガラス１内を屈折して厚み方向に透過して第３検査カメ
ラ２１に受光されるようになっている。

【００３６】この第３光学検査部での２本の光源２２ｃ
間の間隔d2は、第２光学検査部での２本の光源１９ｃ間
の間隔d1より小さく、それにより、第２光学検査部での
液晶ガラス１内の屈折光の屈折角よりも第３光学検査部
での液晶ガラス１内の屈折光の屈折角が小さくなるよう
にしてある。

【００３７】前記第１〜第３の光学検査部よりも液晶ガ
ラス１の移動方向下流側の第４検査位置に配置された第
４光学検査部は、第１光学検査部と同じように、移動さ
れる液晶ガラス１の例えば表面に対向して配置された第
４検査カメラ２４と、液晶ガラス１の他面に対向して配
置された第４照明装置２５とを備えている。なお、本発
明において第４光学検査部は省略してもよい。

【００３８】第４検査カメラ２４には、受光部２４ａに
光−電変換形の視角センサとして一次元ＣＣＤイメージ
センサを有したＣＣＤカメラが採用されている。このカ
メラ２４は液晶ガラス１をその移動方向と直交する幅方
向に沿って走査する。第４照明装置２５は、第１照明装
置１６と同じ構成であって、反射鏡２５ａ内に一つの光
源２５ｂを収容してなる。

【００３９】光源２５ｂには直管形の蛍光灯が使用さ
れ、この光源２５ｂは液晶ガラス１の幅方向に延びて設
けられる。この第４照明装置２５は、その光源２５ｂを
第４検査カメラ２４の光軸２４ｃ上に配置して設けられ
ており、したがって、この光源２５ｂから投射されて第
４検査カメラ２４の視野を照明する光は、検査ガラス１
を屈折することなく厚み方向に直角に透過して第４検査
カメラ２４に受光されるようになっている。

【００４０】前記のように液晶ガラス１の移動方向に位
置をずらせて並設された第１〜第４の光学検査部におい
て、その各受光部１５ａ、１８ａ、２１ａ、２４ａに
は、一次元ＣＣＤイメージセンサに代えてエリア形の一
次元ＣＣＤイメージセンサを有したＣＣＤカメラを採用
することもできる。なお、第１〜第４の光学検査部の各
検査カメラ１５、１８、２１、２４は、夫々少なくとも
一台使用されて液晶ガラス１の全幅についての必要な解
像度を得るようになっている。また、図１に示されるよ
うに第１〜第４の光学検査部の各検査カメラ１５、１
８、２１、２４を液晶ガラス１の一面側にまとめて配置
することは、そのユニット化を図る上で有利であり、同
様に各照明装置１６、１９、２２、２５を液晶ガラス１
の他面側にまとめて配置することは、そのユニット化を
図る上で有利であるが、これらの配置は本発明において
制限されるものではない。

【００４１】なお、図１中２８、２９は本発明において
省略することもできるイオン式除塵器である。これらの
除塵器２８、２９は、第４光学検査部とその上流側の例
えば第３光学検査部との間に設けられ、一方の除塵器２
８は液晶ガラス１の表面に近接して配置されるととも
に、他方の除塵器２９は液晶ガラス１の裏面に近接して
配置されている。これらの除塵器２８、２９は、本発明
の検査装置に同期して使用されるものであって、液晶ガ
ラス１の表裏面に付着した埃を取り除くために用いられ
る。こうした除塵器２８、２９を用いることは、クリー
ンルーム内での空気の流動を抑制するので、空気で埃を
吹き飛ばす場合のように気流によってクリーンルーム内
に浮遊している埃を吸い寄せて液晶ガラス１に付着させ
る恐れがない点で優れている。

【００４２】前記各受光部１５ａ、１８ａ、２１ａ、２
４ａは例えばモノクロの検査信号（撮像信号）を出力す
る。この検査信号は、前記ゲイン補正回路１１を介して
信号処理部１２に供給され、この処理部１２が有する電
子回路で信号処理される。正規化手段としてのゲイン補
正回路１１は、撮像レベルの利得変動を相殺して検出信
号のレベルを適正化する処理を行う。

【００４３】図１に示されるように信号処理部１２は、
信号変換手段としての信号変換回路３１と、メモリ手段
としてのバッファメモリ３２と、タイミング補正手段と
してのタイミング補正回路３３と、比較・判定手段とし
てのマッチング判定回路３４とを具備している。

【００４４】信号変換回路３１は、ゲイン補正回路１１
を通って供給された検査信号を２値化する回路であり、
Ａ／Ｄ変換器、または微分回路が用いられる。この第１
の実施の形態においては、検査信号のうち欠点などの信
号成分（明情報および暗情報）について増幅機能を有
し、したがって、微小な欠点でも確実に２値化して、そ
の検出・判定の信頼性を高め得る微分回路を採用してい
る。

【００４５】この信号変換回路３３の出力端に接続され
たバッファメモリ３２は、２値化された欠点等のアドレ
スを知るために用いられている。このメモリ３２の出力
端に接続されたタイミング補正回路３３は、前記各光学
検査部が液晶ガラス１の移動方向にずれて（その位置ず
れ距離を図１にL1、L2、L3で示す。）設置してあること
に対応して、同じアドレスについて信号のマッチング判
定ができるようにするタイミングをとるために設けられ
ている。この補正回路３３には前記図示しない搬送手段
に設けられたロータリーエンコーダ等の距離センサから
の位置信号が供給されるようになっている。なお、液晶
ガラス１の幅方向のアドレスは、液晶ガラスの幅方向走
査にしたがって各検査信号において得ることができる。

【００４６】タイミング補正回路３３の出力端に接続さ
れたマッチング判定回路３４は、表１および表２のマッ
チング判定基準にしたがってタイミング補正された検査
信号についてのマッチング判定を行うようになってい
る。

【００４７】

【表１】

【００４８】

【表２】

【００４９】表１のマッチング判定基準は、第１光学検
査部と第２光学検査部の検査信号同志を比較し、または
第１光学検査部と第３光学検査部との検査信号同志をす
るものであって、それにより、欠点と埃とを弁別するよ
うになっている。また、表２のマッチング判定基準は、
第２、第３の光学検査部の検査信号同志を比較するとと
もに、その電圧レベル相互の関係を判定するものであっ
て、それにより、欠点と埃とを弁別するとともに、検出
された欠点の液晶ガラス１の厚み方向の位置を弁別する
ようになっている。

【００５０】さらに、マッチング判定回路３４は、前記
の基準によって検出された欠点情報について、その大き
さを評価する欠点認識回路部を有しており、所定以上の
大きさの欠点情報のみを欠点として判定して出力するよ
うになっている。

【００５１】また、マッチング判定回路３４は、第１、
第４の光学検査部の検査信号同志をも比較するものであ
って、それによって、液晶ガラス１の表裏面の除塵が適
正になされたかどうかを監視するようになっている。

【００５２】前記構成の透明体検査装置は液晶ガラスの
欠点を次のような手順したがって検査する。図示しない
搬送手段により移動される液晶ガラス１は、第１検査位
置において第１光学検査部で直接透過法により撮像され
る。つまり、第１光学検査部を通過する際に、その第１
照明装置１６から投射されて液晶ガラス１において屈折
することなく、このガラス１を厚み方向に真っ直ぐ上方
に透過した直接透過光が第１検査カメラ１５に入射する
ので、このカメラ１５が液晶ガラス１の幅方向に走査す
ることにより、第１照明装置１６で照明された視野にお
いて液晶ガラス１が撮像される。

【００５３】この第１光学検査部での撮像において、液
晶ガラス１の表傷２、裏傷３、泡４、および表裏面に付
着した埃はいずれも前記透過光を遮るため、第１検査カ
メラ１５から出力された第１検査信号は、図２（Ａ）に
示されるように前記各欠点２〜４および埃（図示しな
い）に夫々対応した暗情報２ａ（表傷２に対応）、暗情
報３ａ（裏傷３に対応）、暗情報４ａ（泡４に対応）、
暗情報５ａ（埃に対応）を含んでいる。

【００５４】次に、液晶ガラス１は第２検査位置におい
て第２光学検査部で間接透過法により撮像される。つま
り、第２光学検査部を通過する際に、その第２照明装置
１９から投射されて液晶ガラス１内において屈折して、
このガラス１を厚み方向に透過した屈折光が第２検査カ
メラ１８に入射するので、このカメラ１８が液晶ガラス
１の幅方向に走査することにより、第２照明装置１９で
照明された視野において液晶ガラス１が撮像される。

【００５５】この第２光学検査部での撮像において、第
２検査カメラ１８はその光軸１８ｃ上に傷が位置されな
い時には、遮光体１９ｂを撮像するので、地合の電圧レ
ベルが低くなった状態の第２検査信号を出力する。そし
て、光軸１８ｃ上に傷が位置された時には、その傷によ
って前記屈折光が散乱されるにともない第２検査カメラ
１８にとっては前記傷が光って見え、それを撮像するか
ら、液晶ガラス１の表傷２、裏傷３、泡４についての情
報は、いずれも図２に示されるように前記各地合レベル
よりも電圧レベルが高い明情報となって第２検査信号に
含まれる。図２中明情報２ｂは表傷２に対応し、明情報
３ｂは裏傷３に対応し、明情報４ｂは泡４に対応してい
る。また、液晶ガラス１の表裏面に付着した埃は前記屈
折光を遮るため、第２検査カメラ１８から出力された第
２検査信号は、図２に示されるように埃に対応した暗情
報５ｂを含んでいる。

【００５６】次に、液晶ガラス１は第３検査位置におい
て第３光学検査部で間接透過法により撮像される。つま
り、第３光学検査部を通過する際に、その第３照明装置
２２から投射されて液晶ガラス１内において屈折して、
このガラス１を厚み方向に透過した屈折光が第３検査カ
メラ２１に入射するので、このカメラ２１が液晶ガラス
１の幅方向に走査することにより、第３照明装置２１で
照明された視野において液晶ガラス１が撮像される。

【００５７】この第３光学検査部での撮像において、第
３検査カメラ２１はその光軸２１ｃ上に傷が位置されな
い時には、遮光体２１ｂを撮像するので、地合の電圧レ
ベルが低くなった状態の第３検査信号を出力する。そし
て、光軸２１ｃ上に傷が位置された時には、その傷によ
って前記屈折光が散乱されるにともない第３検査カメラ
２１にとっては前記傷が光って見え、それを撮像するか
ら、液晶ガラス１の表傷２、裏傷３、泡４についての情
報は、いずれも図２に示されるように前記各地合レベル
よりも電圧レベルが高い明情報となって第２検査信号に
含まれる。図２中明情報２ｃは表傷２に対応し、明情報
３ｃは裏傷３に対応し、明情報４ｃは泡４に対応してい
る。また、液晶ガラス１の表裏面に付着した埃は前記屈
折光を遮るため、第３検査カメラ２１から出力された第
３検査信号は、図２に示されるように埃に対応した暗情
報５ｃを含んでいる。

【００５８】ところで、こうした第２、第３の光学検査
部においては、その照明装置１９、２２により液晶ガラ
ス１内での屈折光の屈折角が第２光学検査部の方が大き
く、第３光学検査部の方が小さく設定してあるから、傷
に対する散乱の仕方が異なる。それによって、第２光学
検査部での表傷２についての明情報２ｂはその電圧レベ
ルが高く（例えば12Ｖ）、裏傷３についての明情報３ｂ
はその電圧レベルが低く（例えば 3.1Ｖ）検出されると
ともに、第３光学検査部での表傷２についての明情報２
ｃはその電圧レベルが低く（例えば 3.7Ｖ）、裏傷３に
ついての明情報３ｃはその電圧レベルが高く（例えば1
1.5Ｖ）検出される。また、泡４については、その位置
が液晶ガラス１の幅方向中央にあるので、図２に示され
るように第２、第３光学検査部での泡４について明情報
４ｂ、４ｃは、その電圧レベルに差がなく（例えば８
Ｖ）検出される。

【００５９】また、液晶ガラス１に付着した埃について
は、前記第１〜第３の各検査部での撮像にしたがって暗
情報（その電圧値は例えば 8.0Ｖ）として検出される。
なお、液晶ガラス１の表裏面の埃は、第３検査位置から
第４検査位置に至る間に除塵器２８、２９により除塵さ
れる。また、第４検査位置においては前記第１検査位置
での検査と同様に直接透過法による液晶ガラス１の検査
が行われる。それにより、図２に示されるように各欠点
２〜４の夫々に対応した暗情報２ｄ（表傷２に対応）、
暗情報３ｄ（裏傷３に対応）、暗情報４ｄ（泡４３に対
応）を得る。

【００６０】そして、以上のように各検査位置において
夫々得た第１〜第４の検査信号は夫々、ゲイン補正回路
１１を経て信号処理部１２に供給される。そのため、ま
ず、検査信号は、信号変換回路３１での微分処理により
２値化された後に、その明暗各情報についてバッファメ
モリ３２によりアドレスを付され、次にタイミング補正
回路３３によりマッチング判定回路３４でのマッチング
判定動作に適合するようにタイミングを補正されて、マ
ッチング判定回路３４に供給される。

【００６１】マッチング判定回路３４では、表１または
表２に示された基準にしたがって検査信号についてマッ
チング判定をする。この判定においては、第１、第２の
検査カメラ１５、１８で得た第１、第２の検査信号が、
そのアドレスを合わせて比較されるので、表１のよう
に、あるアドレスの検出情報について、その第１検査信
号が暗情報であるとともに第２検査信号が明情報である
場合に、前記検出情報が欠点であると判定できる。ま
た、同様にあるアドレスの検出情報について、その第
１、第２の検査信号がいずれも暗情報である場合に、前
記検出情報が埃であると判定できる。

【００６２】このように前記直接透過法および間接透過
法の組み合わせにより得た検査信号を比較するマッチン
グ判定回路３４での判定動作によって、液晶ガラス１の
欠点２〜４と埃５とを弁別して自動検出できる。

【００６３】また、第２、第３の検査カメラ１８、２１
から供給される検査信号を、そのアドレスを合わせて比
較するマッチング判定回路３４の判定においては、表２
のように、あるアドレスの検出情報について、両光学検
査部からの検査信号が共に明情報である場合に、前記検
出情報が欠点であると判定する。また、同様にあるアド
レスの検出情報について、両光学検査部からの検査信号
が共に暗情報である場合に、前記検出情報が埃であると
判定する。

【００６４】しかも、前記のように屈折角によって液晶
ガラス１の表面と裏面とでは信号レベルが異なる特徴的
な明情報同志を比較する（言い換えれば、その信号レベ
ルの大きさを比較する）から、マッチング判定回路３４
は、表２のように、欠点の液晶ガラス１に対する厚み方
向の位置を判別することができる。

【００６５】以上のように間接透過法による検査をする
２系統の光学検査部により欠点と埃について弁別可能な
検査信号を得、それを信号処理部１２のマッチング判定
回路３４で比較するから、液晶ガラス１の欠点２〜４と
埃５とを区別して自動検出できるとともに、こうして検
出された欠点２〜４の液晶ガラス１に対する厚み方向の
位置も自動検出できる。

【００６６】また、この第１の実施の形態においては、
第４光学検査部を備えているから、第４光学検査部の前
段に設けた除塵器２８、２９の動作後に、第１光学検査
部のによって得た検査信号と第１光学検査部によって得
た検査信号とを、信号処理部１２のマッチング判定回路
３４で比較することにより、欠点２〜４の位置や状態を
正しく認識させて、再研磨や廃棄処分等の必要な対策を
取らせる判断に供することができる。しかも、この比較
によって同じアドレスについての両検査信号が暗信号で
ある場合には、その暗信号が埃であったと判定できると
ともに、前記両検査信号の一方が暗信号で他方が明信号
である場合には、その暗情報が泡（カレット）であると
判定できる。

【００６７】なお、本発明は、前記第１の実施の形態に
は制約されない。光学検査部は、例えば、第１、第２の
光学検査部だけを備えてもよく、または第２、第３の光
学検査部のみを備えて実施してもよく、或いは第２、第
３の光学検査部のうちのいずれか一方のみを備えて実施
することもできる。

【００６８】

【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。請求項
１記載の透明体検査方法によれば、移動される透明体を
屈折することなく厚み方向に透過する光で照明された視
野を第１検査カメラで走査する直接透過法により得た検
査信号と、透明体内を屈折する光で照明される視野を第
２検査カメラで走査する間接透過法により得た検査信号
とを比較するから、透明体の欠点と埃とを弁別して自動
検出することができる。

【００６９】請求項２記載の透明体検査装置によれば、
間接透過法による検査をする１系統の光学検査部であり
ながら欠点と埃について弁別可能な検査信号を得、それ
を信号処理部での回路処理により弁別するから、透明体
の欠点と埃とを区別して自動検出することができる。

【００７０】請求項３記載の透明体検査装置によれば、
間接透過法による検査をする２系統の光学検査部により
欠点と埃について弁別可能な検査信号を得、それを信号
処理部での回路処理により弁別し比較するから、透明体
の欠点と埃とを区別して自動検出できるとともに、こう
して検出された欠点の透明体に対する厚み方向の位置も
自動検出できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る透明体検査装
置の構成を示す図。

【図２】第１の実施の形態に係る透明体検査装置の各光
学検査部で夫々得た検査信号の信号波形を示す図。

【符号の説明】

１…液晶ガラス（透明体）、 １２…信号処理部、 １５…第１検査カメラ（第１光学検査部）、 １６…第１照明装置（第１光学検査部）、 １６ｂ…第１照明装置の光源、 １８…第２検査カメラ（第２光学検査部）、 １９…第２照明装置（第２光学検査部）、 １９ｂ…第２照明装置の光源、 １９ｃ…第２照明装置の遮光体、 ２１…第３検査カメラ（第３光学検査部）、 ２２…第３照明装置（第３光学検査部）、 ２１ｂ…第３照明装置の光源、 ２１ｃ…第３照明装置の遮光体、 ３５…マッチング判定回路、 １５ｃ、１８ｃ、２１ｃ…光軸。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】第１検査位置において、移動される透明体
   と対向して配置され前記透明体をその移動方向と直角に
   交差する方向に走査する第１検査カメラで、前記透明体
   を間に置いて前記第１検査カメラと反対側でかつ前記第
   １検査カメラの光軸上に配置された光源を有した第１照
   明装置から投光されて前記透明体を屈折することなく厚
   み方向に直角に透過する透過光を受光して第１検査信号
   を得るとともに、 前記第１検査位置よりも下流側または上流側の第２検査
   位置において、前記透明体と対向して配置され前記透明
   体をその移動方向と直角に交差する方向に走査する第２
   検査カメラで、前記透明体を間に置いて前記第２検査カ
   メラと反対側でかつ前記第２検査カメラの光軸上に配置
   された遮光体およびこの側方に配置された光源を有した
   第２照明装置から投光されて前記透明体内を屈折して透
   過する屈折光を受光して第２検査信号を得て、 次いで、前記第１、第２の検査信号を比較する、ことを
   特徴とする透明体検査方法。
2. 【請求項２】移動される透明体の一面側に対向配置され
   て前記透明体をその移動方向と直角に交差する方向に走
   査する検査カメラと、 前記透明体の他面側に対向配置されて前記検査カメラの
   視野を照明する照明装置と、 前記検査カメラの撮像により得た検査信号から明情報と
   暗情報とを弁別する信号処理部と、 を具備し、 前記照明装置が、前記検査カメラの光軸上に配置された
   遮光体と、前記光軸上から外れて前記遮光体の側方に配
   置された光源とを有してなり、この照明装置から投光さ
   れて前記透明体内を屈折して透過した屈折光を前記検査
   カメラが受光することを特徴とする透明体検査装置。
3. 【請求項３】移動される透明体の一面側に対向配置され
   て前記透明体をその移動方向と直角に交差する方向に走
   査する検査カメラと、前記透明体の他面側に対向配置さ
   れて前記検査カメラの視野を照明する照明装置とからな
   る光学検査部を前記透明体の移動方向に位置をずらして
   ２系統設けるとともに、 前記照明装置は、前記検査カメラの光軸上に配置された
   遮光体と、前記光軸上から外れて前記遮光体の側方に配
   置された光源とを有してなり、 かつ、前記２系統の光学検査部のうちの一方の光学検査
   部の照明装置の照明による前記視野での屈折光の屈折角
   よりも、他方の光学検査部の照明装置の照明による前記
   視野での屈折光の屈折角を小さくし、 前記両検査部の検査カメラの撮像により得た検査信号か
   ら明情報と暗情報とを弁別するとともに、その明情報同
   志を比較する信号処理部を備えたことを特徴とする透明
   体検査装置。