JPH10178329A - 圧電共振子 - Google Patents
圧電共振子Info
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- JPH10178329A JPH10178329A JP33967996A JP33967996A JPH10178329A JP H10178329 A JPH10178329 A JP H10178329A JP 33967996 A JP33967996 A JP 33967996A JP 33967996 A JP33967996 A JP 33967996A JP H10178329 A JPH10178329 A JP H10178329A
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- vibration
- vibrating electrode
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Abstract
(57)【要約】
【課題】フィルターや発振子等に使用される厚み縦３倍
波エネルギー閉じ込め型共振子を用いた圧電共振子にお
いて、厚み縦基本波発振を防止できる圧電共振子を提供
する。 【解決手段】圧電基板１の両面に対向して振動電極２を
形成するとともに、圧電基板１の両端に端子電極４を形
成し、さらに振動電極２と端子電極４とを引出電極３に
より接続してなる圧電共振子において、振動電極２が楕
円形状をなし、該振動電極２の長径をＬ1 、短径Ｌ2 と
した時、アクセプト比（Ｌ1 ／Ｌ2 ）が１．１０〜１．
７５を満足するとともに、振動電極２の短径側に引出電
極３を接続し、かつ引出電極３の幅を振動電極２の長径
Ｌ1 の０．９〜１．１倍とした。
波エネルギー閉じ込め型共振子を用いた圧電共振子にお
いて、厚み縦基本波発振を防止できる圧電共振子を提供
する。 【解決手段】圧電基板１の両面に対向して振動電極２を
形成するとともに、圧電基板１の両端に端子電極４を形
成し、さらに振動電極２と端子電極４とを引出電極３に
より接続してなる圧電共振子において、振動電極２が楕
円形状をなし、該振動電極２の長径をＬ1 、短径Ｌ2 と
した時、アクセプト比（Ｌ1 ／Ｌ2 ）が１．１０〜１．
７５を満足するとともに、振動電極２の短径側に引出電
極３を接続し、かつ引出電極３の幅を振動電極２の長径
Ｌ1 の０．９〜１．１倍とした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電基板の両面の
略中央部に一対の電極を形成してなり、一対の電極によ
り挟持された振動部に振動エネルギーを閉じ込めて利用
されるエネルギー閉じ込め型圧電発振子に関するもので
あり、例えば、レゾネータやフイルターなどに適用され
るエネルギー閉じ込め型の圧電共振子に関するものであ
る。
略中央部に一対の電極を形成してなり、一対の電極によ
り挟持された振動部に振動エネルギーを閉じ込めて利用
されるエネルギー閉じ込め型圧電発振子に関するもので
あり、例えば、レゾネータやフイルターなどに適用され
るエネルギー閉じ込め型の圧電共振子に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の厚み縦高調波エネルギー閉じ込め
形共振子は、図８に示すように、圧電基板１の主平面中
央部に表裏一対で対向して形成された円形の振動電極２
と、これらの振動電極２から導き出した引出電極３と、
これらの引出電極３の一端がそれぞれ接続されるととも
に圧電基板１の端部に設けられた端子電極４とから構成
されている。
形共振子は、図８に示すように、圧電基板１の主平面中
央部に表裏一対で対向して形成された円形の振動電極２
と、これらの振動電極２から導き出した引出電極３と、
これらの引出電極３の一端がそれぞれ接続されるととも
に圧電基板１の端部に設けられた端子電極４とから構成
されている。
【０００３】このような圧電共振子は、図９に示すよう
に、外装樹脂５で表面部全体をモールドするとともに、
振動電極２上およびその近傍に自由振動空間６を形成し
て構成されていた（例えば、特開平４−２１６２０８号
公報等参照）。
に、外装樹脂５で表面部全体をモールドするとともに、
振動電極２上およびその近傍に自由振動空間６を形成し
て構成されていた（例えば、特開平４−２１６２０８号
公報等参照）。
【０００４】以上のように構成された圧電共振子では、
前記振動電極２上およびその近傍に形成された自由振動
空間６により、振動電極２の振動を阻害せずに発振性能
は効率よく行なわれる。
前記振動電極２上およびその近傍に形成された自由振動
空間６により、振動電極２の振動を阻害せずに発振性能
は効率よく行なわれる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図８の
圧電共振子は、厚み縦振動の基本波のＰＶ値が大きく、
厚み縦振動の基本波により発振してしまうという問題が
あった。この結果、このような共振子を組み込んだ発振
子やフィルターが誤作動する虞があった。
圧電共振子は、厚み縦振動の基本波のＰＶ値が大きく、
厚み縦振動の基本波により発振してしまうという問題が
あった。この結果、このような共振子を組み込んだ発振
子やフィルターが誤作動する虞があった。
【０００６】本発明は、厚み縦振動の基本波による発振
を防止することができる圧電共振子を提供することを目
的とする。
を防止することができる圧電共振子を提供することを目
的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の圧電共振子は、
圧電基板の両面の略中央部に対向して振動電極を形成す
るとともに、前記圧電基板の両端に端子電極を形成し、
さらに前記振動電極と前記端子電極とをそれぞれ引出電
極により接続してなる圧電共振子において、前記振動電
極が楕円形状をなし、該振動電極の長径をＬ1 、短径Ｌ
2 とした時、アクセプト比（Ｌ1 ／Ｌ2 ）が１．１０〜
１．７５を満足するとともに、前記振動電極の長径側に
前記引出電極を接続し、かつ、該引出電極の幅を前記振
動電極の短径Ｌ2 の０．９〜１．１倍としたものであ
る。
圧電基板の両面の略中央部に対向して振動電極を形成す
るとともに、前記圧電基板の両端に端子電極を形成し、
さらに前記振動電極と前記端子電極とをそれぞれ引出電
極により接続してなる圧電共振子において、前記振動電
極が楕円形状をなし、該振動電極の長径をＬ1 、短径Ｌ
2 とした時、アクセプト比（Ｌ1 ／Ｌ2 ）が１．１０〜
１．７５を満足するとともに、前記振動電極の長径側に
前記引出電極を接続し、かつ、該引出電極の幅を前記振
動電極の短径Ｌ2 の０．９〜１．１倍としたものであ
る。
【０００８】
【作用】本発明の圧電共振子では、振動電極を楕円形状
とし、振動電極の長径をＬ1 、短径をＬ2 とした時、ア
クセプト比（Ｌ1 ／Ｌ2 ）を１．１０〜１．７５の範囲
とすることにより、厚み縦振動の基本波の周波数帯に、
振動電極で起こる拡がり振動モードの高調波が重なり合
い、厚み縦振動の基本波振動を効果的に抑制し、この結
果、厚み縦振動の３倍波を用いた共振子では基本波振動
を抑制することができ、厚み縦振動の３倍波における発
振性能を向上することが可能となる。さらに、引出電極
の幅を振動電極の長径Ｌ1 の０．９〜１．１倍とするこ
とにより、拡がり振動モードだけでなく厚みすべり振動
モードの共振も起こるため、厚み縦振動の基本波の周波
数帯に隣接しておこる不要振動が増え、基本波振動の抑
制効果が大きくなる。
とし、振動電極の長径をＬ1 、短径をＬ2 とした時、ア
クセプト比（Ｌ1 ／Ｌ2 ）を１．１０〜１．７５の範囲
とすることにより、厚み縦振動の基本波の周波数帯に、
振動電極で起こる拡がり振動モードの高調波が重なり合
い、厚み縦振動の基本波振動を効果的に抑制し、この結
果、厚み縦振動の３倍波を用いた共振子では基本波振動
を抑制することができ、厚み縦振動の３倍波における発
振性能を向上することが可能となる。さらに、引出電極
の幅を振動電極の長径Ｌ1 の０．９〜１．１倍とするこ
とにより、拡がり振動モードだけでなく厚みすべり振動
モードの共振も起こるため、厚み縦振動の基本波の周波
数帯に隣接しておこる不要振動が増え、基本波振動の抑
制効果が大きくなる。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の圧電共振子は、図１、図
２に示すように、圧電基板１の表裏両面の略中央部に対
向して振動電極２を形成するとともに、圧電基板１の両
端に端子電極４を形成し、さらに振動電極２と端子電極
４とを引出電極３によりそれぞれ接続してなるものであ
る。
２に示すように、圧電基板１の表裏両面の略中央部に対
向して振動電極２を形成するとともに、圧電基板１の両
端に端子電極４を形成し、さらに振動電極２と端子電極
４とを引出電極３によりそれぞれ接続してなるものであ
る。
【００１０】圧電基板１は、厚み方向に分極されたＰｂ
ＴｉＯ3 系の圧電磁器からなるもので、例えば、ＰｂＴ
ｉＯ3 −Ｐｂ（Ｎｂ2/3 Ｆｅ1/3 ）Ｏ3 の組成のものが
ある。このようなＰｂＴｉＯ3 系の圧電磁器ではポアソ
ン比が０．２４〜０．２６である。
ＴｉＯ3 系の圧電磁器からなるもので、例えば、ＰｂＴ
ｉＯ3 −Ｐｂ（Ｎｂ2/3 Ｆｅ1/3 ）Ｏ3 の組成のものが
ある。このようなＰｂＴｉＯ3 系の圧電磁器ではポアソ
ン比が０．２４〜０．２６である。
【００１１】また、圧電基板１の両面の中央部には、Ａ
ｕ、ＡｇまたはＣｕからなる振動電極２が蒸着、スパッ
タ、フォトレジスト等により形成されている。また、引
出電極３および端子電極４も同様に蒸着、スパッタ、フ
ォトレジ等により形成されている。電極２、３、４は蒸
着等により同時に作製される。一対の引出電極３同士及
び一対の端子電極４同士は表裏重ならないように配置さ
れている。
ｕ、ＡｇまたはＣｕからなる振動電極２が蒸着、スパッ
タ、フォトレジスト等により形成されている。また、引
出電極３および端子電極４も同様に蒸着、スパッタ、フ
ォトレジ等により形成されている。電極２、３、４は蒸
着等により同時に作製される。一対の引出電極３同士及
び一対の端子電極４同士は表裏重ならないように配置さ
れている。
【００１２】そして、本発明の振動電極２は楕円形状に
形成されており、その短径部分が引出電極３の一端に接
続されている。また、図２に示したように、振動電極２
の長径をＬ1 、短径をＬ2 とした時、アクセプト比（Ｌ
1 ／Ｌ2 ）が１．１０〜１．７５を満足する形状とされ
ている。
形成されており、その短径部分が引出電極３の一端に接
続されている。また、図２に示したように、振動電極２
の長径をＬ1 、短径をＬ2 とした時、アクセプト比（Ｌ
1 ／Ｌ2 ）が１．１０〜１．７５を満足する形状とされ
ている。
【００１３】このように、アクセプト比（Ｌ1 ／Ｌ2 ）
を１．１０〜１．７５としたのは、この範囲内ならば、
厚み縦振動の基本波振動を効果的に抑制することができ
るからである。一方、アクセプト比（Ｌ1 ／Ｌ2 ）が
１．１０よりも小さい場合には、厚み縦振動の基本波振
動の抑制効果が小さく、また、厚み縦振動の３倍波のＰ
Ｖ値が小さくなるからであり、１．７５よりも大きい場
合には厚み縦振動の基本波振動が大きくなるからであ
る。アクセプト比（Ｌ1 ／Ｌ2 ）は、３倍波のＰＶ値を
大きくし、基本波のＰＶ値を小さくするという観点か
ら、１．２〜１．５であることが望ましい。
を１．１０〜１．７５としたのは、この範囲内ならば、
厚み縦振動の基本波振動を効果的に抑制することができ
るからである。一方、アクセプト比（Ｌ1 ／Ｌ2 ）が
１．１０よりも小さい場合には、厚み縦振動の基本波振
動の抑制効果が小さく、また、厚み縦振動の３倍波のＰ
Ｖ値が小さくなるからであり、１．７５よりも大きい場
合には厚み縦振動の基本波振動が大きくなるからであ
る。アクセプト比（Ｌ1 ／Ｌ2 ）は、３倍波のＰＶ値を
大きくし、基本波のＰＶ値を小さくするという観点か
ら、１．２〜１．５であることが望ましい。
【００１４】また、振動電極２の長径Ｌ1 は厚み縦振動
の３倍波のＰＶ値を大きくするという観点から、圧電基
板１の寸法が、縦１．０〜１．２ｍｍ、横４．０〜５．
０ｍ、厚み０．２２〜０．２４ｍｍである場合には、
０．６〜０．７ｍｍが望ましく、短径Ｌ2 も同様の理由
から０．４〜０．６ｍｍが望ましい。
の３倍波のＰＶ値を大きくするという観点から、圧電基
板１の寸法が、縦１．０〜１．２ｍｍ、横４．０〜５．
０ｍ、厚み０．２２〜０．２４ｍｍである場合には、
０．６〜０．７ｍｍが望ましく、短径Ｌ2 も同様の理由
から０．４〜０．６ｍｍが望ましい。
【００１５】また、本発明の引出電極３の幅Ｂは振動電
極２の長径Ｌ1 の０．９〜１．１倍とされている。これ
は、この範囲内ならば、アクセプト比（Ｌ1 ／Ｌ2 ）限
定による効果と相まって、３倍波のＰＶ値を大きくし、
基本波のＰＶ値を小さくすることができるからである。
一方、引出電極３の幅Ｂが振動電極２の長径Ｌ1 の０．
９倍よりも小さい場合には３倍波のＰＶ値が小さくな
り、１．１場合よりも大きい場合には基本波のＰＶ値が
大きくなるからである。引出電極３の幅Ｂは振動電極２
の長径Ｌ1 と同じであることが最も望ましい。
極２の長径Ｌ1 の０．９〜１．１倍とされている。これ
は、この範囲内ならば、アクセプト比（Ｌ1 ／Ｌ2 ）限
定による効果と相まって、３倍波のＰＶ値を大きくし、
基本波のＰＶ値を小さくすることができるからである。
一方、引出電極３の幅Ｂが振動電極２の長径Ｌ1 の０．
９倍よりも小さい場合には３倍波のＰＶ値が小さくな
り、１．１場合よりも大きい場合には基本波のＰＶ値が
大きくなるからである。引出電極３の幅Ｂは振動電極２
の長径Ｌ1 と同じであることが最も望ましい。
【００１６】以上のように構成された圧電共振子では、
楕円形の長径Ｌ1 および短径Ｌ2 に対応した拡がり振動
の高調波が厚み縦振動の基本波の周波数帯に隣接し、基
本波のＰＶ値を小さくでき、厚み縦振動の基本波による
発振をなくすことができる。
楕円形の長径Ｌ1 および短径Ｌ2 に対応した拡がり振動
の高調波が厚み縦振動の基本波の周波数帯に隣接し、基
本波のＰＶ値を小さくでき、厚み縦振動の基本波による
発振をなくすことができる。
【００１７】また、引出電極３の幅Ｂを長径Ｌ1 の０．
９〜１．１倍とすることで拡がり振動モードだけでなく
厚みすべり振動モードの共振も起こるため、厚み縦振動
の基本波の周波数帯に隣接しておこる不要振動が増え、
基本波のＰＶ値を小さくでき、基本波による発振を防止
することができ、厚み縦振動の３倍波における発振性能
を向上することができる。
９〜１．１倍とすることで拡がり振動モードだけでなく
厚みすべり振動モードの共振も起こるため、厚み縦振動
の基本波の周波数帯に隣接しておこる不要振動が増え、
基本波のＰＶ値を小さくでき、基本波による発振を防止
することができ、厚み縦振動の３倍波における発振性能
を向上することができる。
【００１８】本発明の圧電共振子は、例えば、図３に示
すように、誘電体基板７上に接着剤にて固定して用いる
ことができる。振動電極２上およびその近傍に自由振動
空間６を形成するケース８が配置されている。
すように、誘電体基板７上に接着剤にて固定して用いる
ことができる。振動電極２上およびその近傍に自由振動
空間６を形成するケース８が配置されている。
【００１９】このような圧電共振子とすることにより、
従来の樹脂モールドタイプに比較して耐熱性を向上する
ことができるとともに、小型化を促進できる。特に、誘
電体基板７上に圧電共振子を配置するタイプの場合に
は、樹脂モールドタイプと比較して、厚み縦振動の基本
波のエネルギー閉じ込めモードの樹脂による吸収が無い
ため、厚み縦振動の高調波のエネルギー閉じ込めモード
のみを利用した圧電共振子を発振素子として用いた場
合、厚み縦振動の基本波で発振してしまい易いが、本発
明の構成することにより、基本波での発振を有効に防止
することができる。
従来の樹脂モールドタイプに比較して耐熱性を向上する
ことができるとともに、小型化を促進できる。特に、誘
電体基板７上に圧電共振子を配置するタイプの場合に
は、樹脂モールドタイプと比較して、厚み縦振動の基本
波のエネルギー閉じ込めモードの樹脂による吸収が無い
ため、厚み縦振動の高調波のエネルギー閉じ込めモード
のみを利用した圧電共振子を発振素子として用いた場
合、厚み縦振動の基本波で発振してしまい易いが、本発
明の構成することにより、基本波での発振を有効に防止
することができる。
【００２０】尚、図９に示すように樹脂モールドして、
振動電極２上およびその近傍に自由振動空間６を形成し
ても良い。
振動電極２上およびその近傍に自由振動空間６を形成し
ても良い。
【００２１】
【実施例】組成がＰｂ0.80Ｌａ0.08Ｓｒ0.05（Ｎｂ2/3
Ｆｅ1/3 ）0.02Ｍｎ0.02Ｔｉ0.96Ｏ3 で表され、厚み方
向に分極された、縦１．１ｍｍ、横４．５ｍｍ、厚み
０．２２ｍｍのＰｂＴｉＯ3 系の圧電基板を準備した。
圧電磁器のポアソン比は０．２５であった。
Ｆｅ1/3 ）0.02Ｍｎ0.02Ｔｉ0.96Ｏ3 で表され、厚み方
向に分極された、縦１．１ｍｍ、横４．５ｍｍ、厚み
０．２２ｍｍのＰｂＴｉＯ3 系の圧電基板を準備した。
圧電磁器のポアソン比は０．２５であった。
【００２２】この圧電基板の両面の略中央部に、図２に
示すように、楕円形状の振動電極、圧電基板の両端に端
子電極、振動電極と端子電極とを接続する引出電極を、
Ｃｕを蒸着することにより、表１に示す寸法で形成し
た。電極の厚みは、０．６μｍとした。尚、端子電極の
幅Ｂを０．５ｍｍとし、また引出電極の長さＬを１．４
ｍｍとした。
示すように、楕円形状の振動電極、圧電基板の両端に端
子電極、振動電極と端子電極とを接続する引出電極を、
Ｃｕを蒸着することにより、表１に示す寸法で形成し
た。電極の厚みは、０．６μｍとした。尚、端子電極の
幅Ｂを０．５ｍｍとし、また引出電極の長さＬを１．４
ｍｍとした。
【００２３】このようなエネルギー閉じ込め型の圧電共
振子のインピーダンスの周波数依存性について、インピ
ーダンスアナライザー（ＹＨＰ４１９４Ａ）を用いて測
定周波数１〜４０ＭＨｚの範囲で求め、インピーダンス
の最大値Ｚｍａｘと最小値Ｚｍｉｎのｌｏｇ比をＰＶ値
とした。ＰＶ値は、ＰＶ＝２０×ｌｏｇ（Ｚｍａｘ／Ｚ
ｍｉｎ）（単位ｄＢ）で求めた。基本波のＰＶ値は測定
周波数１０〜１５ＭＨｚの範囲におけるインピーダンス
の最大値Ｚｍａｘと最小値Ｚｍｉｎを用いて求め、３倍
波のＰＶ値は測定周波数３３〜３６ＭＨｚの範囲におけ
るインピーダンスの最大値Ｚｍａｘと最小値Ｚｍｉｎを
用いて求めた。これらの結果を表１に記載する。
振子のインピーダンスの周波数依存性について、インピ
ーダンスアナライザー（ＹＨＰ４１９４Ａ）を用いて測
定周波数１〜４０ＭＨｚの範囲で求め、インピーダンス
の最大値Ｚｍａｘと最小値Ｚｍｉｎのｌｏｇ比をＰＶ値
とした。ＰＶ値は、ＰＶ＝２０×ｌｏｇ（Ｚｍａｘ／Ｚ
ｍｉｎ）（単位ｄＢ）で求めた。基本波のＰＶ値は測定
周波数１０〜１５ＭＨｚの範囲におけるインピーダンス
の最大値Ｚｍａｘと最小値Ｚｍｉｎを用いて求め、３倍
波のＰＶ値は測定周波数３３〜３６ＭＨｚの範囲におけ
るインピーダンスの最大値Ｚｍａｘと最小値Ｚｍｉｎを
用いて求めた。これらの結果を表１に記載する。
【００２４】
【表１】
【００２５】この表１から、従来品の場合（アクセプト
比が１の場合、試料Ｎo.１、８）、厚み縦振動の基本波
振動でのＰＶ値は３５ｄＢ以上と大きく、厚み縦振動の
３倍波振動でのＰＶ値は５８．３ｄＢ以下と小さかっ
た。また試料Ｎo.１１では、基本波振動でのＰＶ値は２
７．５ｄＢであるものの、３倍波振動でのＰＶ値は５
８．４ｄＢと小さかった。一方、アクセプト比が２の場
合（試料Ｎo.７）では、基本波振動でのＰＶ値は３８ｄ
Ｂと大きかった。
比が１の場合、試料Ｎo.１、８）、厚み縦振動の基本波
振動でのＰＶ値は３５ｄＢ以上と大きく、厚み縦振動の
３倍波振動でのＰＶ値は５８．３ｄＢ以下と小さかっ
た。また試料Ｎo.１１では、基本波振動でのＰＶ値は２
７．５ｄＢであるものの、３倍波振動でのＰＶ値は５
８．４ｄＢと小さかった。一方、アクセプト比が２の場
合（試料Ｎo.７）では、基本波振動でのＰＶ値は３８ｄ
Ｂと大きかった。
【００２６】また、引出電極の幅Ｂが振動電極の長径Ｌ
1 の０．８倍の場合（試料Ｎo.１２）では、３倍波のＰ
Ｖ値が５８．９ｄＢと小さくなり、１．２倍の場合（試
料Ｎo.１５）では基本波のＰＶ値が３３ｄＢと大きくな
ることが判る。
1 の０．８倍の場合（試料Ｎo.１２）では、３倍波のＰ
Ｖ値が５８．９ｄＢと小さくなり、１．２倍の場合（試
料Ｎo.１５）では基本波のＰＶ値が３３ｄＢと大きくな
ることが判る。
【００２７】これに対して、本発明の試料Ｎo.２〜６、
９、１０、１３、１４では、厚み縦振動の３倍波振動で
はＰＶ値が６３ｄＢ以上であり、基本波振動では２９ｄ
Ｂ以下であった。
９、１０、１３、１４では、厚み縦振動の３倍波振動で
はＰＶ値が６３ｄＢ以上であり、基本波振動では２９ｄ
Ｂ以下であった。
【００２８】尚、図４は本発明の試料Ｎo.５の１ＭＨｚ
〜４０ＭＨｚにおける厚み縦振動モードの共振インピー
ダンスの周波数特性を示し、図５に１０〜１５ＭＨｚに
おける厚み縦振動モードの基本波振動の周波数近傍の周
波数特性を示す。
〜４０ＭＨｚにおける厚み縦振動モードの共振インピー
ダンスの周波数特性を示し、図５に１０〜１５ＭＨｚに
おける厚み縦振動モードの基本波振動の周波数近傍の周
波数特性を示す。
【００２９】また、図６に、比較例の試料Ｎo.８の１Ｍ
Ｈｚ〜４０ＭＨｚにおける厚み縦振動モードの共振イン
ピーダンスの周波数特性を示し、図７はＮo.８の９．５
〜１４．５ＭＨｚにおける厚み縦振動モードの基本波振
動の周波数近傍の周波数特性を示す。
Ｈｚ〜４０ＭＨｚにおける厚み縦振動モードの共振イン
ピーダンスの周波数特性を示し、図７はＮo.８の９．５
〜１４．５ＭＨｚにおける厚み縦振動モードの基本波振
動の周波数近傍の周波数特性を示す。
【００３０】
【発明の効果】以上のように、本発明の圧電共振子で
は、振動電極を楕円形状とし、振動電極の長径をＬ1 、
短径Ｌ2 とした時、アクセプト比（Ｌ1 ／Ｌ2 ）が１．
１０〜１．７５を満足し、引出電極の幅を振動電極の長
径Ｌ1 の０．９〜１．１倍とすることにより、厚み縦基
本波振動の周波数帯近傍に、他の振動モードの高調波が
重なるとともに、厚みすべり振動の共振をも発生するた
め、基本波振動を抑制し、厚み縦基本波での発振を効果
的に防止できる。
は、振動電極を楕円形状とし、振動電極の長径をＬ1 、
短径Ｌ2 とした時、アクセプト比（Ｌ1 ／Ｌ2 ）が１．
１０〜１．７５を満足し、引出電極の幅を振動電極の長
径Ｌ1 の０．９〜１．１倍とすることにより、厚み縦基
本波振動の周波数帯近傍に、他の振動モードの高調波が
重なるとともに、厚みすべり振動の共振をも発生するた
め、基本波振動を抑制し、厚み縦基本波での発振を効果
的に防止できる。
【図１】本発明の圧電共振子を示す斜視図である。
【図２】図１の振動電極およびその近傍を示す平面図で
ある。
ある。
【図３】図１の圧電共振子を誘電体基板に搭載し、ケー
スを被せた例を示す斜視図である。
スを被せた例を示す斜視図である。
【図４】本発明の試料Ｎo.５の１ＭＨｚ〜４０ＭＨｚに
おける厚み縦振動モードの共振インピーダンスの周波数
特性を示す。
おける厚み縦振動モードの共振インピーダンスの周波数
特性を示す。
【図５】本発明の試料Ｎo.５の１０〜１５ＭＨｚにおけ
る厚み縦振動モードの基本波振動の周波数近傍の周波数
特性を示す。
る厚み縦振動モードの基本波振動の周波数近傍の周波数
特性を示す。
【図６】比較例の試料Ｎo.８の１ＭＨｚ〜４０ＭＨｚに
おける厚み縦振動モードの共振インピーダンスの周波数
特性を示す。
おける厚み縦振動モードの共振インピーダンスの周波数
特性を示す。
【図７】比較例の試料Ｎo.８の９．５〜１４．５ＭＨｚ
における厚み縦振動モードの基本波振動の周波数近傍の
周波数特性を示す。
における厚み縦振動モードの基本波振動の周波数近傍の
周波数特性を示す。
【図８】従来の圧電共振子を示す平面図である。
【図９】従来の圧電共振子を樹脂によりモールドした例
を示す断面図である。
を示す断面図である。
１・・・圧電基板 ２・・・振動電極 ３・・・引出電極 ４・・・端子電極
Claims (1)
- 【請求項１】圧電基板の両面の略中央部に対向して振動
電極を形成するとともに、前記圧電基板の両端に端子電
極を形成し、さらに前記振動電極と前記端子電極とをそ
れぞれ引出電極により接続してなる圧電共振子におい
て、前記振動電極が楕円形状をなし、該振動電極の長径
をＬ1 、短径Ｌ2 とした時、アクセプト比（Ｌ1 ／
Ｌ2 ）が１．１０〜１．７５を満足するとともに、前記
振動電極の短径側に前記引出電極を接続し、かつ、該引
出電極の幅が前記振動電極の長径Ｌ1 の０．９〜１．１
倍であることを特徴とする圧電共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33967996A JPH10178329A (ja) | 1996-12-19 | 1996-12-19 | 圧電共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33967996A JPH10178329A (ja) | 1996-12-19 | 1996-12-19 | 圧電共振子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10178329A true JPH10178329A (ja) | 1998-06-30 |
Family
ID=18329778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33967996A Pending JPH10178329A (ja) | 1996-12-19 | 1996-12-19 | 圧電共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10178329A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6987346B2 (en) | 2003-06-03 | 2006-01-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Energy trap type piezoelectric resonator component |
-
1996
- 1996-12-19 JP JP33967996A patent/JPH10178329A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6987346B2 (en) | 2003-06-03 | 2006-01-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Energy trap type piezoelectric resonator component |
| DE102004022335B4 (de) * | 2003-06-03 | 2015-05-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Energieeinfangendes piezoelektrisches Resonatorbauteil |
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