JPH10185260A - 吹出し用空気分配器 - Google Patents
吹出し用空気分配器Info
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- JPH10185260A JPH10185260A JP34945196A JP34945196A JPH10185260A JP H10185260 A JPH10185260 A JP H10185260A JP 34945196 A JP34945196 A JP 34945196A JP 34945196 A JP34945196 A JP 34945196A JP H10185260 A JPH10185260 A JP H10185260A
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- JP
- Japan
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- air
- air distributor
- inlet
- outlet
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Abstract
(57)【要約】
【課題】全面垂直層流式クリーンルームにおいて、生産
装置が配置されたエリアのみを簡単に高風速の高清浄度
域とする。 【解決手段】天井側に配された高性能フィルター１、１
…から一定の垂直気流速度で一様に清浄空気を吹き出す
ようにした全面垂直層流式クリーンルームを対象とし
て、前記高性能フィルター１、１…の直下位置に配設さ
れ、その下側領域に高風速領域を形成するための空気分
配器１１であって、この空気分配器１１は、清浄空気の
流入口１１ａおよび流出口１１ｂを有し、かつ流入口１
１ａから流出口１１ｂに至る流路の周囲が側壁によって
囲まれた通風ガイド体あって、前記流出口１１ｂ部の流
路断面積を前記流入口１１ａ部の流路断面積より小さく
形成してある。
装置が配置されたエリアのみを簡単に高風速の高清浄度
域とする。 【解決手段】天井側に配された高性能フィルター１、１
…から一定の垂直気流速度で一様に清浄空気を吹き出す
ようにした全面垂直層流式クリーンルームを対象とし
て、前記高性能フィルター１、１…の直下位置に配設さ
れ、その下側領域に高風速領域を形成するための空気分
配器１１であって、この空気分配器１１は、清浄空気の
流入口１１ａおよび流出口１１ｂを有し、かつ流入口１
１ａから流出口１１ｂに至る流路の周囲が側壁によって
囲まれた通風ガイド体あって、前記流出口１１ｂ部の流
路断面積を前記流入口１１ａ部の流路断面積より小さく
形成してある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一定の垂直気流速
度でクリーンルームに一様に清浄空気を吹き出すように
した全面垂直層流式クリーンルームにおいて、局所的に
高風速領域を形成するための吹出し用空気分配器に関す
る。
度でクリーンルームに一様に清浄空気を吹き出すように
した全面垂直層流式クリーンルームにおいて、局所的に
高風速領域を形成するための吹出し用空気分配器に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体やフィルムなどの製造工場や精密
機械工場などでは、わずかでも浮遊微粒子が存在する
と、製造中の製品に付着して製品不良を起こすため、工
場全体または作業室を必要に応じて清浄な状態に維持
し、製品の品質と信頼性に務め、歩留りを向上させてい
る。このような目的で清浄化した部屋をクリーンルーム
といい、非常に高い清浄環境が確保されている。
機械工場などでは、わずかでも浮遊微粒子が存在する
と、製造中の製品に付着して製品不良を起こすため、工
場全体または作業室を必要に応じて清浄な状態に維持
し、製品の品質と信頼性に務め、歩留りを向上させてい
る。このような目的で清浄化した部屋をクリーンルーム
といい、非常に高い清浄環境が確保されている。
【０００３】前記クリーンルームにおいては、空気を清
浄な状態に保つために、たとえば天井または壁部分に高
性能エアフィルターを配設するとともに、床または壁部
分に多数の空気排出孔を形成し、循環路の途中に循環用
ファンを配設し、前記高性能エアフィルターを巡るよう
に空気を循環させている。
浄な状態に保つために、たとえば天井または壁部分に高
性能エアフィルターを配設するとともに、床または壁部
分に多数の空気排出孔を形成し、循環路の途中に循環用
ファンを配設し、前記高性能エアフィルターを巡るよう
に空気を循環させている。
【０００４】従来より、クリーンルームにおける空気浄
化方式には、ダウンフロー方式、トンネルクリーン方式
など種々の形式がある。前記ダウンフロー形は、全面垂
直層流方式ともいい、図８に示されるように、天井のほ
ぼ一面に高性能フィルター２０、２０…を配設する一
方、床２１をグレーチングなどとして吸込口を形成し、
天井裏から送給される空気を前記高性能フィルター２
０、２０…を通過させて一定の気流速度で室内に送った
後、前記吸込口より一定の吸込速度で吸入して循環させ
る方式をいう。この場合の垂直気流速度は概ね０．２５
〜０．５m/sec 程度に設定され、仮に天井面での吹出し
速度を０．５m/sec とすると、換気回数は４００〜６０
０回／ｈ以上となる。この方式は、微粒子を除去するに
は非常に有効な手段で清浄度クラス１００〜１を維持で
きる反面、膨大な量の空気を循環させなければならず、
当然に空調設備の容量が大きくならざるを得ずイニシャ
ルコスト、ランニングコストが嵩むなどの問題がある。
化方式には、ダウンフロー方式、トンネルクリーン方式
など種々の形式がある。前記ダウンフロー形は、全面垂
直層流方式ともいい、図８に示されるように、天井のほ
ぼ一面に高性能フィルター２０、２０…を配設する一
方、床２１をグレーチングなどとして吸込口を形成し、
天井裏から送給される空気を前記高性能フィルター２
０、２０…を通過させて一定の気流速度で室内に送った
後、前記吸込口より一定の吸込速度で吸入して循環させ
る方式をいう。この場合の垂直気流速度は概ね０．２５
〜０．５m/sec 程度に設定され、仮に天井面での吹出し
速度を０．５m/sec とすると、換気回数は４００〜６０
０回／ｈ以上となる。この方式は、微粒子を除去するに
は非常に有効な手段で清浄度クラス１００〜１を維持で
きる反面、膨大な量の空気を循環させなければならず、
当然に空調設備の容量が大きくならざるを得ずイニシャ
ルコスト、ランニングコストが嵩むなどの問題がある。
【０００５】これに対して前記トンネルクリーン方式
は、図９に示されるように、クリーンルームＣＲを厳し
い清浄度クラス（例えばクラス１００）を必要とする生
産ライン上部またはその周辺（Ａ領域）と、緩和された
清浄度クラス（例えばクラス１０００または１０００
０）でよいとされる作業通路部（Ｂ領域）とに分けて空
調設備を計画したもので、具体的にはファン２２と高性
能フィルター２３とが一体となったファンフィルターユ
ニット２４を天井側に配置して吹出し速度を任意に調整
できるようにしておき、Ａ領域では例えばクラス１００
とするために垂直気流速度を０．１５〜０．５m/sec 程
度とし、一方Ｂ領域では例えばクラス１０００でよいた
め垂直気流速度を０．１〜０．２m/sec 程度に設定し、
生産ライン周辺のＡ領域を高清浄度クラスのトンネル状
空間とし、作業通路Ｂ領域の給気をＡ領域より減じて清
浄度クラスを緩和するというものである。この方式に関
連した先行技術としては、特開昭５６−１６２３３５
号、特開昭５９−１８５９２３号、特願平１−２４５０
７４号などを挙げることができる。
は、図９に示されるように、クリーンルームＣＲを厳し
い清浄度クラス（例えばクラス１００）を必要とする生
産ライン上部またはその周辺（Ａ領域）と、緩和された
清浄度クラス（例えばクラス１０００または１０００
０）でよいとされる作業通路部（Ｂ領域）とに分けて空
調設備を計画したもので、具体的にはファン２２と高性
能フィルター２３とが一体となったファンフィルターユ
ニット２４を天井側に配置して吹出し速度を任意に調整
できるようにしておき、Ａ領域では例えばクラス１００
とするために垂直気流速度を０．１５〜０．５m/sec 程
度とし、一方Ｂ領域では例えばクラス１０００でよいた
め垂直気流速度を０．１〜０．２m/sec 程度に設定し、
生産ライン周辺のＡ領域を高清浄度クラスのトンネル状
空間とし、作業通路Ｂ領域の給気をＡ領域より減じて清
浄度クラスを緩和するというものである。この方式に関
連した先行技術としては、特開昭５６−１６２３３５
号、特開昭５９−１８５９２３号、特願平１−２４５０
７４号などを挙げることができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前記トンネルクリーン
方式は、前記全面垂直層流方式よりもランニングコスト
が安くなる利点があるものの、イニシャルコストが高
く、また現在の全面垂直層流方式からの変更に当たって
はシステムの大掛かりな変更を要するなどの問題があ
る。また、生産装置の配置替えや機種更新に対するフレ
キシビリティに欠けるなどの問題もある。
方式は、前記全面垂直層流方式よりもランニングコスト
が安くなる利点があるものの、イニシャルコストが高
く、また現在の全面垂直層流方式からの変更に当たって
はシステムの大掛かりな変更を要するなどの問題があ
る。また、生産装置の配置替えや機種更新に対するフレ
キシビリティに欠けるなどの問題もある。
【０００７】そこで本発明の課題は、一定の垂直気流速
度でクリーンルームに一様に清浄空気を吹き出すように
した全面垂直層流式クリーンルームにおいて、生産装置
が配置されたエリアのみを簡単に高風速の高清浄度域と
することのできる吹出し用空気分配器を提供することに
ある。
度でクリーンルームに一様に清浄空気を吹き出すように
した全面垂直層流式クリーンルームにおいて、生産装置
が配置されたエリアのみを簡単に高風速の高清浄度域と
することのできる吹出し用空気分配器を提供することに
ある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明は、天井側に配されたエアフィルターから一定
の垂直気流速度で一様に清浄空気を吹き出すようにした
全面垂直層流式クリーンルームを対象として、前記エア
フィルターの直下位置に配設され、その下側領域に高風
速領域を形成するための空気分配器であって、前記空気
分配器は、清浄空気の流入口および流出口を有し、かつ
流入口から流出口に至る流路の周囲が側壁によって囲ま
れた通風ガイド体であって、前記流出口部の流路断面積
を前記流入口部の流路断面積より小さくして形成してあ
ることを特徴とするものである。
に本発明は、天井側に配されたエアフィルターから一定
の垂直気流速度で一様に清浄空気を吹き出すようにした
全面垂直層流式クリーンルームを対象として、前記エア
フィルターの直下位置に配設され、その下側領域に高風
速領域を形成するための空気分配器であって、前記空気
分配器は、清浄空気の流入口および流出口を有し、かつ
流入口から流出口に至る流路の周囲が側壁によって囲ま
れた通風ガイド体であって、前記流出口部の流路断面積
を前記流入口部の流路断面積より小さくして形成してあ
ることを特徴とするものである。
【０００９】本発明においては、たとえ現状の空気浄化
方式が全面垂直層流式クリーンルームであっても、前記
形状の分配器を取付けることにより簡単にクリーンルー
ム内の一部に高風速の高清浄度領域を作ることができる
ようになる。
方式が全面垂直層流式クリーンルームであっても、前記
形状の分配器を取付けることにより簡単にクリーンルー
ム内の一部に高風速の高清浄度領域を作ることができる
ようになる。
【００１０】流管の２断面ａ，ｂを単位時間に通過する
流体の質量ＱM は、速度をＶａ、Ｖｂ、流路断面積をＡ
ａ、Ａｂ、密度をρａ、ρｂとすると、質量保存の法則
により、 ＱM ＝ρａ・Ｖａ・Ａａ＝ρｂ・Ｖｂ・Ａｂ……（１） ρａ＝ρｂとすると、各断面を通過する単位時間当りの
流体の体積、すなわち流量Ｑは、 Ｑ＝Ｖａ・Ａａ＝Ｖｂ・Ａｂ……（２） 上記方程式は連続方程式と呼ばれる式であるが、この式
から判るように、流路面積が減じられれば、それに反比
例して流速が増大する。
流体の質量ＱM は、速度をＶａ、Ｖｂ、流路断面積をＡ
ａ、Ａｂ、密度をρａ、ρｂとすると、質量保存の法則
により、 ＱM ＝ρａ・Ｖａ・Ａａ＝ρｂ・Ｖｂ・Ａｂ……（１） ρａ＝ρｂとすると、各断面を通過する単位時間当りの
流体の体積、すなわち流量Ｑは、 Ｑ＝Ｖａ・Ａａ＝Ｖｂ・Ａｂ……（２） 上記方程式は連続方程式と呼ばれる式であるが、この式
から判るように、流路面積が減じられれば、それに反比
例して流速が増大する。
【００１１】したがって、前述のように、前記流出口部
の流路断面積を前記流入口部の流路断面積より小さくし
た通風ガイド体たる空気分配器によれば、流入口から入
った清浄空気は、流出口から吹き出される時には流入時
の流速よりも増大されて吹き出されることになり、その
直下位置に高風速の高清浄度領域を作ることができる。
この場合、前記側壁の形状は、気流の乱れを起こさない
ように連続した整流流れとすることが肝要であるため、
前記流入口から流出口に至る流路の一部または全部の区
間長において連続的に流路断面積を狭めた形状とするの
が望ましい。
の流路断面積を前記流入口部の流路断面積より小さくし
た通風ガイド体たる空気分配器によれば、流入口から入
った清浄空気は、流出口から吹き出される時には流入時
の流速よりも増大されて吹き出されることになり、その
直下位置に高風速の高清浄度領域を作ることができる。
この場合、前記側壁の形状は、気流の乱れを起こさない
ように連続した整流流れとすることが肝要であるため、
前記流入口から流出口に至る流路の一部または全部の区
間長において連続的に流路断面積を狭めた形状とするの
が望ましい。
【００１２】また、前記空気分配器を着脱自在とするこ
とにより、生産装置の配置替えや機種更新に対して容易
に対応することができるようになる。さらに、前記空気
分配器の取付けは、外部の空気流れを乱さないように、
前記空気分配器の流入口を前記高性能エアフィルター面
に対して直接または間接的に連続させ、前記流入口部を
外部に対して気密として取付けるのが望ましい。
とにより、生産装置の配置替えや機種更新に対して容易
に対応することができるようになる。さらに、前記空気
分配器の取付けは、外部の空気流れを乱さないように、
前記空気分配器の流入口を前記高性能エアフィルター面
に対して直接または間接的に連続させ、前記流入口部を
外部に対して気密として取付けるのが望ましい。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面に基づいて詳述する。図１は、本発明に係る吹出
し用空気分配器１１を全面垂直層流方式のクリーンルー
ムに適用した場合の全体概略図である。クリーンルーム
ＣＲは、室内上方位置に、格子状に組まれた天井フレー
ム８、８…が設けられ、この天井フレーム８、８…の各
枠部に対してＨＥＰＡフィルター、ＶＥＰＡフィルタ
ー、ＵＬＰＡフィルター等の高性能フィルターまたは超
高性能フィルター１、１…（以下、高性能フィルターと
いう。）が取付けられている。なお、前記天井フレーム
８と接触する前記高性能フィルター１の周囲は、シール
等により完全な気密性が確保されている。
て図面に基づいて詳述する。図１は、本発明に係る吹出
し用空気分配器１１を全面垂直層流方式のクリーンルー
ムに適用した場合の全体概略図である。クリーンルーム
ＣＲは、室内上方位置に、格子状に組まれた天井フレー
ム８、８…が設けられ、この天井フレーム８、８…の各
枠部に対してＨＥＰＡフィルター、ＶＥＰＡフィルタ
ー、ＵＬＰＡフィルター等の高性能フィルターまたは超
高性能フィルター１、１…（以下、高性能フィルターと
いう。）が取付けられている。なお、前記天井フレーム
８と接触する前記高性能フィルター１の周囲は、シール
等により完全な気密性が確保されている。
【００１４】一方、クリーンルームＣＲの床は、グレー
チングフロア２となっており、前記高性能フィルター１
を通り抜けてクリーンルームＣＲに流入した清浄空気
は、このグレーチングフロア２を通過して床下のリタン
プレナムエリア９に流入し、排気ダクト３から排気さ
れ、空調機４を通り給気ダクト５を介して天井裏チャン
バ１０に給気され、再び前記高性能フィルター１、１…
を通過してクリーンルームＣＲ内に供給される。なお、
６は給気ダクトの中間に設けた中間フィルタである。前
記クリーンルームＣＲ内において、実質的に天井一面に
配列された高性能フィルター１、１…を通り抜けて室内
を流れる空気は、方向および速度が一定であり層流状態
で流れる。
チングフロア２となっており、前記高性能フィルター１
を通り抜けてクリーンルームＣＲに流入した清浄空気
は、このグレーチングフロア２を通過して床下のリタン
プレナムエリア９に流入し、排気ダクト３から排気さ
れ、空調機４を通り給気ダクト５を介して天井裏チャン
バ１０に給気され、再び前記高性能フィルター１、１…
を通過してクリーンルームＣＲ内に供給される。なお、
６は給気ダクトの中間に設けた中間フィルタである。前
記クリーンルームＣＲ内において、実質的に天井一面に
配列された高性能フィルター１、１…を通り抜けて室内
を流れる空気は、方向および速度が一定であり層流状態
で流れる。
【００１５】いま、製造装置７が壁隅部分に配置されて
いるとして、この製造装置７の近傍エリア（生産ゾーン
Ａという。）を高風速として周囲よりも高清浄度領域と
するために、この生産ゾーンＡの上方位置に本発明に係
る吹出し用空気分配器１１（以下、単に空気分配器とい
う。）を設置する。
いるとして、この製造装置７の近傍エリア（生産ゾーン
Ａという。）を高風速として周囲よりも高清浄度領域と
するために、この生産ゾーンＡの上方位置に本発明に係
る吹出し用空気分配器１１（以下、単に空気分配器とい
う。）を設置する。
【００１６】前記空気分配器１１は、詳細には図３に示
されるように、上端に清浄空気の流入口１１ａを有する
とともに、下端に清浄空気の流出口１１ｂを有し、前記
流入口１１ａから流出口１１ｂに至る流路の周囲が側壁
によって囲まれた所定長さＬの通風ガイド体であり、特
に前記流出口１１ｂの流路断面積Ａb を前記流入口１１
ａの流路断面積Ａa よりも小さく形成してある。したが
って、図４に示されるように、高性能フィルター１から
流速ＶB で空気分配器１１内に流入した清浄空気は、流
路断面積が減じられるに従って次第に流速を増し、流出
口１１ｂから吹き出される際には流速ＶA （＞ＶB ）と
なって流出する。流出後は流路が開放されることにより
流速が徐々に低下することにはなるが、前記空気分配器
１１の直下位置は、少なくとも周囲よりも高風速の状態
で清浄空気が流れるとともに、流出後は流路が開放され
ることにより気流が拡がるため、舞い上がった塵埃など
も製造装置７から遠ざかる方向に拡散するため、生産ゾ
ーンＡが高清浄度に保たれるようになる。
されるように、上端に清浄空気の流入口１１ａを有する
とともに、下端に清浄空気の流出口１１ｂを有し、前記
流入口１１ａから流出口１１ｂに至る流路の周囲が側壁
によって囲まれた所定長さＬの通風ガイド体であり、特
に前記流出口１１ｂの流路断面積Ａb を前記流入口１１
ａの流路断面積Ａa よりも小さく形成してある。したが
って、図４に示されるように、高性能フィルター１から
流速ＶB で空気分配器１１内に流入した清浄空気は、流
路断面積が減じられるに従って次第に流速を増し、流出
口１１ｂから吹き出される際には流速ＶA （＞ＶB ）と
なって流出する。流出後は流路が開放されることにより
流速が徐々に低下することにはなるが、前記空気分配器
１１の直下位置は、少なくとも周囲よりも高風速の状態
で清浄空気が流れるとともに、流出後は流路が開放され
ることにより気流が拡がるため、舞い上がった塵埃など
も製造装置７から遠ざかる方向に拡散するため、生産ゾ
ーンＡが高清浄度に保たれるようになる。
【００１７】上記例は、製造装置７をクリーンルームＣ
Ｒの壁隅に配置した関係で、一方の側壁１１ｃを鉛直壁
としてあるが、製造装置７がクリーンルームＣＲの略中
央に配置されるような場合には、図５に示されるよう
に、対面する両側壁１１ｃ、１１ｄを曲線状に絞り込ん
だ形状の空気分配器１１Ａが用いられる。
Ｒの壁隅に配置した関係で、一方の側壁１１ｃを鉛直壁
としてあるが、製造装置７がクリーンルームＣＲの略中
央に配置されるような場合には、図５に示されるよう
に、対面する両側壁１１ｃ、１１ｄを曲線状に絞り込ん
だ形状の空気分配器１１Ａが用いられる。
【００１８】前記空気分配器１１、１１Ａは、外側の気
流に影響を与えないようにするため、天井の高性能フィ
ルター１、１…面に対して流入口１１ａを直に連続さ
せ、好ましくは間にパッキンなどを介して間接的に連続
させて、前記流出口１１ａを外部に対して気密となるよ
うに設置するのが望ましい。
流に影響を与えないようにするため、天井の高性能フィ
ルター１、１…面に対して流入口１１ａを直に連続さ
せ、好ましくは間にパッキンなどを介して間接的に連続
させて、前記流出口１１ａを外部に対して気密となるよ
うに設置するのが望ましい。
【００１９】また、前記空気分配器の側壁形状として
は、図６に示されるように、流入口１１ａから流出口１
１ｂにかけて対面する側壁１１ｃ、１１ｄを直線状テー
パとすることによって漸次流路断面積を小さくした空気
分配器１１Ｂや、図７に示されるように、流入口近傍お
よび流出口近傍の側壁を鉛直面としながら、側壁の中間
部分を直線状テーパとすることによって漸次流路断面積
を小さくした空気分配器１１Ｂなども本発明空気分配器
として使用することができるが、分配器１１内を流れる
空気が乱れないように、側壁を曲線状として流路断面積
が漸次小さくなるようにし、かつ流出口１１ｂから吹き
出される清浄空気が真下方向に吹き出されるように、流
出口１１ｂ近傍においては、側壁１１ｃ、１１ｄを鉛直
面として形成した、図１または図５に示される空気分配
器１１、１１Ａの方が望ましい。
は、図６に示されるように、流入口１１ａから流出口１
１ｂにかけて対面する側壁１１ｃ、１１ｄを直線状テー
パとすることによって漸次流路断面積を小さくした空気
分配器１１Ｂや、図７に示されるように、流入口近傍お
よび流出口近傍の側壁を鉛直面としながら、側壁の中間
部分を直線状テーパとすることによって漸次流路断面積
を小さくした空気分配器１１Ｂなども本発明空気分配器
として使用することができるが、分配器１１内を流れる
空気が乱れないように、側壁を曲線状として流路断面積
が漸次小さくなるようにし、かつ流出口１１ｂから吹き
出される清浄空気が真下方向に吹き出されるように、流
出口１１ｂ近傍においては、側壁１１ｃ、１１ｄを鉛直
面として形成した、図１または図５に示される空気分配
器１１、１１Ａの方が望ましい。
【００２０】また、前記空気分配器１１は、装置の配置
替えや機種更新に対して柔軟に対応できるように、着脱
自在とするのが望ましい。
替えや機種更新に対して柔軟に対応できるように、着脱
自在とするのが望ましい。
【００２１】
【発明の効果】以上詳説のとおり、本発明によれば、一
定の垂直気流速度でクリーンルームに一様に清浄空気を
吹き出すようにした全面垂直層流式クリーンルームにお
いて、生産装置が配置されたエリアのみを簡単に高風速
の高清浄域とすることができるようになる。
定の垂直気流速度でクリーンルームに一様に清浄空気を
吹き出すようにした全面垂直層流式クリーンルームにお
いて、生産装置が配置されたエリアのみを簡単に高風速
の高清浄域とすることができるようになる。
【図１】本発明に係る空気分配器１１のクリーンルーム
への適用状態図である。
への適用状態図である。
【図２】図１の要部拡大図である。
【図３】空気分配器１１の斜視図である。
【図４】空気分配器１１内の空気流れ状態図である。
【図５】空気分配器の他例を示す図である。
【図６】空気分配器の他例を示す図である。
【図７】空気分配器の他例を示す図である。
【図８】全面垂直層流方式のクリーンルーム概略図であ
る。
る。
【図９】トンネル方式のクリーンルーム概略図である。
１…高性能フィルター、２…グレーチングフロア、３…
排気ダクト、４…空調機、５…給気ダクト、６…中間フ
ィルタ、７…製造装置、８…天井フレーム、９…リタン
プレナムエリア、１１・１１Ａ〜１１Ｃ…空気分配器
排気ダクト、４…空調機、５…給気ダクト、６…中間フ
ィルタ、７…製造装置、８…天井フレーム、９…リタン
プレナムエリア、１１・１１Ａ〜１１Ｃ…空気分配器
Claims (4)
- 【請求項１】天井側に配されたエアフィルターから一定
の垂直気流速度で一様に清浄空気を吹き出すようにした
全面垂直層流式クリーンルームを対象として、前記エア
フィルターの直下位置に配設され、その下側領域に高風
速領域を形成するための空気分配器であって、 前記空気分配器は、清浄空気の流入口および流出口を有
し、かつ流入口から流出口に至る流路の周囲が側壁によ
って囲まれた通風ガイド体であって、前記流出口部の流
路断面積を前記流入口部の流路断面積より小さくして形
成してあることを特徴とする吹出し用空気分配器。 - 【請求項２】前記流入口から流出口に至る流路の一部ま
たは全部の区間長において連続的に流路断面積を狭めて
ある請求項１記載の吹出し用空気分配器。 - 【請求項３】前記空気分配器は着脱自在である請求項
１、２記載の吹出し用空気分配器。 - 【請求項４】前記空気分配器の流入口を前記高性能エア
フィルター面に対して直接または間接的に連続させ、前
記流入口部を外部に対して気密としてある請求項１〜３
記載の吹出し用空気分配器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34945196A JPH10185260A (ja) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | 吹出し用空気分配器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34945196A JPH10185260A (ja) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | 吹出し用空気分配器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10185260A true JPH10185260A (ja) | 1998-07-14 |
Family
ID=18403847
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34945196A Pending JPH10185260A (ja) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | 吹出し用空気分配器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10185260A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021167723A (ja) * | 2021-07-15 | 2021-10-21 | 株式会社西部技研 | クリーンブース |
| CN114211009A (zh) * | 2021-09-24 | 2022-03-22 | 深圳市华阳新材料科技有限公司 | 一种3d打印的层流和均匀吹风结构 |
-
1996
- 1996-12-27 JP JP34945196A patent/JPH10185260A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021167723A (ja) * | 2021-07-15 | 2021-10-21 | 株式会社西部技研 | クリーンブース |
| CN114211009A (zh) * | 2021-09-24 | 2022-03-22 | 深圳市华阳新材料科技有限公司 | 一种3d打印的层流和均匀吹风结构 |
| CN114211009B (zh) * | 2021-09-24 | 2024-06-14 | 深圳市华阳新材料科技有限公司 | 一种3d打印的层流和均匀吹风结构 |
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