JPH10185688A - 空間内で変化する分散光源のスペクトルサインを検出するファブリ−ペロ分光計 - Google Patents

空間内で変化する分散光源のスペクトルサインを検出するファブリ−ペロ分光計

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JPH10185688A
JPH10185688A JP9294796A JP29479697A JPH10185688A JP H10185688 A JPH10185688 A JP H10185688A JP 9294796 A JP9294796 A JP 9294796A JP 29479697 A JP29479697 A JP 29479697A JP H10185688 A JPH10185688 A JP H10185688A
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cylindrical
etalon
spectrometer
light
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JP9294796A
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Ivanov Sarugoichef Sutoyan
イワノフ サルゴイチェフ ストヤン
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Inst For Space & Tilestrial Sci
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    • G—PHYSICS
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 分散光源の空間的に異なるスペクトル特性を
検出するためのファブリーペロ分光計を提供する。 【解決手段】 ファブリーペロ分光計１０は、ファブリ
ーペロエタロン１５と、頂部が互いに平行に配置され各
頂部に対し垂直方向に光源からの光を拡散させる一対の
円柱レンズ１１，１４と、集束レンズ組立体１６と、集
束レンズ組立体の焦点面に配置された検出器１７から成
る。検出レンズ組立体は、２つの円柱レンズから成り、
一方の円柱レンズの頂部は光を拡散させる円柱レンズの
頂部に対し平行に、他方の円柱レンズの頂部は光を拡散
させる円柱レンズの頂部に対し垂直に設けられ、スペク
トルの偽信号を防いでいる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、空間的に分解さ
れたスペクトルを得るためのファブリーペロ分光計に関
する。
【０００２】
【従来技術及びその課題】分光計は、宇宙空間、大気中
あるいは地表の発光体のスペクトル特性（およびその組
成）を調べるのに用いられる。大気および地表の発光体
は、多くの場合、一点からの光源ではなく分散光源であ
る。分散光源の場合は、光源の異なる地点からのスペク
トル特性を別々に調べるのが望ましい。
【０００３】干渉計は、分光計として所定のスペクトル
帯域のスペクトルを測定するのに用いることができる。
公知の干渉計の中には、空間的に分解されたスペクトル
の測定ができる二ビーム干渉計がある。しかしこのタイ
プの干渉計は、高いスペクトル分解度が必要とされる用
途、例えば大気中の微量ガスの調査などの用途に適した
ものではない。二ビーム干渉計の分解度を高めようとす
ると、装置の大型化、構造の複雑化を招く。そこでこの
ような場合は、スペクトル分解度の高い多ビーム干渉計
もよく用いられる。
【０００４】ファブリーペロ干渉計も多ビーム干渉計の
一種である。この干渉計の内、最も単純なものは、半透
明の反射性の高いコーティングが施された２つの平行で
光学的にフラットな作用面を有するエタロンと呼ばれる
部材と、集束レンズからなる。２つの作用面間の距離が
固定されているタイプのエタロンは、固定式ファブリー
ペロエタロンと呼ばれる。作用面間の空間は、空気や固
体（ガラス）で満たされているか、あるいは真空の場合
もある。エタロンの単色光に対する反応は、良く知られ
ている下記のエアリー関数で表される。 Ａ＝［１＋Ｆ（ｓｉｎ（２πｎｄ ｃｏｓθ／
λ））２］−１ 上記式において、θはエタロン内の入射光の軸線に対す
る角度、ｎはエタロンの２つの作用面間のギャップの屈
折率、ｄは２つの作用面間の距離、λは光の波長、Ｆは
フィネス係数である。フィネスはコーティングが形成さ
れた作用面の反射率の関数である。
【０００５】平行でない光（たとえば分散光源からの
光）が入射されると、エタロンは集束レンズの集点面に
縞模様を形成する。エアリー関数で与えられる縞模様
は、中央部に極大値（ゼロオーダー極大値）を有し、そ
の外側に別の極大値を有する。隣接する極大値間の距離
は中央の極大値から離れるに従って短くなっている。中
央極大値に隣接する極大値は、第１極大値、その外側の
極大値は第２極大値、さらにその外側に第３、第４・・
・と続く。
【０００６】入射光が多色光の場合は、それぞれの波長
の光によって別々にエアリー関数が作り出され、これら
のエアリー関数は出力部で重ね合わせられる。多色光の
場合、ファブリーペロ干渉計によって、次数の重なりな
く測定できる波長の範囲は、自由スペクトル領域と呼ば
れる。次数の重なりを避けるために、従来自由スペクト
ル領域より波長幅の狭い帯域通過フィルターが用いられ
ている。複数の異なる波長域の測定を行う場合は、複数
の帯域通過フィルターを直列にして使用する。
【０００７】単純な構造の画像式ファブリーペロ干渉計
は、集束レンズの上流側にファブリーペロエタロンを備
えている。この干渉計の集束レンズは、無限遠の光源の
像を集束面上に形成するものである。この画像は、干渉
計によって集束面上に形成された干渉パターンによって
変調される。すなわち、光源のある一点の画像が集束面
上に形成され、この画像が同じ点からの光の波長から導
かれるエアリー関数によって変調される。
【０００８】集束面上のある一点が暗い場合、光源の対
応する点も暗い（即ち光を発していない）か、光源の対
応する点は光を発してはいるが、集束面上の上記一点に
おいて干渉極大値となる波長の光は発していないかのど
ちらかである。しかしどちらなのかはわからない。また
集束面上の任意の点において得られる情報からは、光源
の対応する点が単一の波長の光しか発していないのかど
うかもわからない。
【０００９】従来上記問題点を解決するために、エアリ
ー関数に影響を与える干渉計のパラメーターを徐々に変
化させて、干渉パターンを縮小させるか拡張することが
行われている。たとえば、気体で満たされたエタロンを
用い、この気体の圧力を徐々に変化させることによっ
て、エタロンの屈折率ｎを変化させる方法が知られてい
る。また同じ目的で、２つの平行な作用面の距離ｄが可
変のファブリーペロ干渉計を用いることもある。エアリ
ー関数Ａはｎとｄのどちらの値が変わっても変化するの
で、上記どちらの方法でも干渉パターンを変化させるこ
とができる。上記いずれかの方法で、干渉パターンを縮
小させると、干渉極大値は中央極大値に近づく。このた
め中央極大以外の極大値の位置が変化する。このため光
源の画像のある一点が極小値によって「隠されて」いた
としても、干渉パターンの変化によって、極小値はいず
れ極大値に変わる。極大値に変わると、その極大値の波
長の光が上記一点から発せられていることがわかる。す
なわち上記一点からスペクトル情報が得られる。こうし
て全ての点におけるスペクトル情報が得られる。またこ
のように干渉パターンを変化させても暗いままである点
は、光を発していない（少なくとも測定対象のスペクト
ル領域内の波長の光は発していない）点であることがわ
かる。
【００１０】上記方法には、エアリー関数を変えるため
のパラメーター（ｎまたはｄ）を非常に正確に調整しな
ければならず、コスト増につながるという欠点がある。
また光源のスペクトルが時間と共に変化する場合には、
パラメーターを徐々に変える方法は使えない。
【００１１】そこで、時間とともに変化するスペクトル
を捕らえて、光源の複数の発光点のそれぞれのスペクト
ル情報を別々に表示することができる分解能が高く、低
コストの分光計が望まれている。
【００１２】
【発明の要約】本発明は、分散光源からの光の光路に沿
って配置された集束レンズと、前記集束レンズの焦点面
に配置された検出器と、２つの互いに平行な作用面を有
し、前記集束レンズと前記分散光源との間に前記光路に
沿って配置されたファブリーぺロエタロンと、前記分散
光源からの光を前記光路に沿って前記ファブリーペロエ
タロンに導くための少なくとも２つの円柱レンズとから
なり、前記少なくとも２つの円柱レンズはそれぞれの頂
部が垂直方向に延びるように配置され、この円柱レンズ
によってエタロンに向かう光を、垂直方向には拡散させ
ず、前記焦点面を横切って水平方向にのみ拡散させるよ
うになっており、前記焦点面を横切る水平方向のスペク
トル情報、および前記焦点面を横切る垂直方向の空間的
分解情報を含む画像を、前記焦点面上に形成するように
した、分散光源の空間的に異なるスペクトル特性を検出
するためのファブリーペロ分光計を提供するものであ
る。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１において、全体を符号１０で
示すファブリーペロ分光計は、上流側から順に、第１の
光学部品としての円柱レンズ１１、視野絞り１２、第２
の光学部品としての円柱レンズ１４、ファブリーペロエ
タロン１５、集束レンズ１６、検出器１７を備えてい
る。
【００１４】図１に符号２０で示すＸ−Ｙ−Ｚ空間にお
いて、円柱レンズ１１、１４は、頂部Ｖ，Ｖ’Ｖ’がＹ
軸方向に延びる平凸集束レンズである。したがってこれ
らのレンズは光を図のＸ軸方向に集束させるが、Ｙ軸方
向には集束しない。またレンズ１１、１４間の距離Ｄ
は、各レンズの焦点距離の和と等しくならないように設
定されている。すなわち距離Ｄは、レンズ１１、１４の
焦点距離の和より大きいか、さもなければ小さい。しか
し距離Ｄは両レンズの焦点距離になるべく近い値に設定
するのが望ましい。距離Ｄが上記焦点距離の和より小さ
い場合は、レンズ１４を通過した光は集束する。距離Ｄ
が上記焦点距離の和より大きい場合は、レンズ１４を通
過した光は発散する。円柱レンズ１１、１４は、分散光
源１９からの光が光路１８に沿って検出器１７に導かれ
る位置に設ける。
【００１５】集束レンズ１６は球面レンズである。検出
器１７は，ＣＣＤカメラ等の２方向集束面を有する装置
である。視野絞り１２は、幅の狭い長方形の部材で、レ
ンズ１１の焦点の近くに長辺がＹ軸方向に延びるように
設ける。したがって視野絞り１２は光源１９のＸ軸方向
両側の光をブロックする。検出器１７にはＹ軸方向の視
野絞りを設けてもよい。
【００１６】次にこの装置の作用を説明する。分散光源
１９からの光は、円柱レンズ１１によって、Ｘ軸方向の
みに集束するように（すなわちＹ軸方向には集束しない
ように）曲げられ、焦線上に集束する。上記距離Ｄがレ
ンズ１１の焦点距離より長い場合は、焦線上に集束した
光はレンズ１４に向かって発散する。レンズ１４を通過
した光は発散、あるいは集束する方向に曲げられた後、
エタロン１５に入射する。光は、当業者には周知のよう
に、エタロン内で複雑に反射されるため、エタロンを通
過した光には光路差が生じる。エタロンを通過した光は
球面集束レンズ１６によって、検出器１７上でＸ軸、Ｙ
軸の両方向に集束される。
【００１７】レンズ１４を通過した光は集束あるいは発
散する方向に曲げられているため、光源１９からの光は
Ｘ軸方向に拡散する。集束レンズ１６で集束されても、
この状態は維持される。すなわち検出器１７で検出され
た光もＸ軸方向に拡散した状態にある。この光の拡散に
より、光源１９からの光はＸ軸方向により均質になる。
光源のＸ軸方向の任意の「切片」上の各点がＸ軸方向に
拡散されるため、任意の点の干渉極大値の多く（あるい
は全て）が、出力面で拡散した点と重なり、画像として
現れる。すなわちこれらの点のスペクトルが出力面に干
渉極大値として現れる。言い換えると光源のそれぞれの
Ｘ軸方向切片のスペクトルの多くあるいはすべてが出力
面に表示される。このためいずれのＸ軸方向の切片につ
いてもスペクトル情報を出力平面から得ることができ
る。すなわち分光計１０によって、Ｙ軸方向の空間的な
分解、およびＸ軸方向のスペクトルの測定ができる。こ
の分光計では光源の個々の点のスペクトル情報は得られ
ないが、Ｙ軸方向の空間的な分解ができるので、大気中
の微量ガスの測定など、様々な用途に用いることができ
る。
【００１８】レンズ１１、１４によって光源のＸ軸方向
の切片が拡散されるので、切片に沿って光の分布が均質
になる。このためあるＸ軸方向の切片全体が暗い場合
は、出力平面２０の対応部分も暗くなる。これは切片が
光を全く発していないためである。したがってこのよう
な切片からはスペクトル情報は得られない。
【００１９】分光計１０に入り込む可能性のある光の
「ノイズ」源がない場合は、視野絞り１２は省略でき
る。光源１９からの光の周波数範囲が広い場合は、帯域
通過フィルターを使って光の波長範囲をエタロン１５の
自由スペクトル領域内に制限する必要がある。
【００２０】球面集束レンズ１６はＺ軸を中心とする円
形のレンズであるため、このレンズによって偽信号が発
生することがある。すなわち、このレンズによって、あ
るＸ軸方向の切片上の点から発せられるスペクトル縞の
最大値が、この切片に隣接する別のＸ軸方向の切片に集
束されてしまうことがある。このような偽信号は出力平
面の外縁の近くで発生する。どの程度外縁に近いかは様
々な要因によって変わる。したがって、レンズ１６によ
って分光計１０の用途が制限されてしまう可能性があ
る。また出力平面から、光源のＸ方向切片のスペクトル
情報ができるだけたくさん得られるようにすることが望
ましい。そこで分光計１０のレンズ１１、１４よりもも
っと均質にＸ軸方向に光を拡散でき、またＹ軸方向に偽
信号が発生するという問題のない装置が望まれる。
【００２１】レンズ１４として平凹レンズを用いてもよ
い。この場合、視野絞り１２はレンズ１１、１４間以外
の位置に移動させる。またこの場合も両レンズ間の距離
は、両レンズの焦点距離の和と等しくならないようにす
る。平凹レンズの焦点距離は負の値である。しかしこの
ような構造の装置を用いても上で述べた問題は解決でき
ない。
【００２２】図２の分光計１００は分光計１０の欠点を
なくしたものである。図２において、図１の分光計１０
と同一の部品は同一の符号で表している。この実施例の
ファブリーペロ分光計１００は、上流側から順に、第１
の円柱レンズ１１、視野絞り１２、円柱計の視野レンズ
ユニット１０３、第２の円柱レンズ１４、固定型のファ
ブリーペロエタロン１５、検出レンズユニット１１６、
検出器１７を備えている。図２Ａに示すように、視野レ
ンズユニット１０３は２つの負の焦点距離をもつ平凹円
柱レンズ１０３ａ、１０３ｂからなる（但しレンズの一
方または両方とも平凸レンズであっても構わない）。図
示の例では両レンズは背面で互いに接触しているが、離
して設けてもかまわない。図２の符号２０で示すＸ−Ｙ
−Ｚ空間において、円柱レンズ１１、１４、１０３ａ、
１０３ｂはいずれも頂部がＹ軸方向に延びるように配置
されている。したがってこれらのレンズによって光はＸ
軸方向に集束されるが、Ｙ軸方向には集束されない。
【００２３】集束レンズユニット１１６は、頂部がＸ軸
方向とＹ軸方向の一方に延びるように配置された、第１
の正の焦点距離をもつ円筒形集束レンズ１１６ａと、頂
部がＸ軸方向とＹ軸方向の他方に延びるように配置され
た、第２の正の焦点距離をもつ円筒形集束レンズ１１６
ｂとからなる。レンズ１１６ａの頂部は常に、レンズ１
１６ｂの頂部に対して垂直である。これらのレンズは、
それぞれ検出器１７上に焦点を有する平凸円柱レンズで
ある。このように集束レンズユニット１１６を二つの円
柱レンズで形成することによって、Ｘ軸方向およびＹ軸
方向のスペクトルの偽信号を防ぐことができる。すなわ
ち、検出器１７上では、Ｘ軸方向の光の切片のそれぞれ
は、（その幅には関係なく）隣接する切片から離れてい
るため、隣接する切片間でスペクトル情報が混ざり合う
心配がない。このため、検出器表示される一つの切片に
関するスペクトル極大値は、光源の対応する切片上の点
からのスペクトルのみを表している。したがって分光器
１００は、図１の分光器１０よりも光源の複数の切片の
スペクトルの空間的分解度が高いといえる。
【００２４】検出器１７の性能を無視するなら、分光器
１００の空間的分解度の高さは、レンズ１１６の変調伝
達機能（ＭＴＦ）に依存している。また検出器１７の性
能を無視するとして、分光器のスペクトル分解度の高さ
は、レンズ１１６ａのＭＴＦとエタロン１５のパラメー
ターに依存する。空間的およびスペクトル分解度を高め
るには、厚い複合レンズを用いるのが望ましい。しかし
検出レンズとしてｆナンバーが小さいものが必要な場合
は、大サイズのレンズには問題がある。そこでこのよう
な場合には、フレネル型円柱レンズを用いてもよい。こ
のレンズは一方向に延びる直線上の溝を有し、肉厚は比
較的薄い。また回折性光学部品を用いてもよい。
【００２５】上で説明したように、円柱レンズ１１、１
４は距離Ｄだけ互いに離れている。視野レンズユニット
１０３は、Ｘ軸方向の切片に沿った光の拡散の均質度を
高める。すなわちレンズユニット１０３によって、任意
の切片上の発光点は切片の幅方向にほぼ完全に拡散す
る。この実施例のエタロンの応答関数は、下記の式Ｂで
与えられる。
【００２６】
【００２７】この式において、θはＺＯＸ平面に対す
る、エタロンに入射する光の入射角、ΦはＹＯＺ平面に
対する、エタロンに入射する光の入射角である。角度Φ
は、空間的分解度の尺度である。
【００２８】図１の分光器１の場合と同様に、視野絞り
１２は用途によっては省略できる。また帯域通過フィル
ターが多くの場合必要である。
【００２９】スペクトルの分散度は、エタロンへの光の
入射角の関数である。エタロンがＺ軸に対して垂直に配
置されている場合は、スペクトルは対称である。すなわ
ち検出器の中央にゼロオーダー極大値が現れる。ゼロオ
ーダー極大値が検出器の中心に位置すると、検出面を効
率的に利用することができない。そこでエタロンを図２
Ｂに示すように、Ｙ軸に平行な軸Ａを中心に回転させ
て、Ｚ軸との角度３４が垂直にならないようにするとよ
い。これによって出力が非対称になるため、ゼロオーダ
ー極大値が検出器の縁の方に移動するか、検出器から完
全に外れる。
【００３０】分光器１００の検出器１７の出力の例を図
３に概略的に示す。図３において、水平なダッシュの各
々は光源における特定のＸ軸方向切片上の一つ以上の点
からの特定の波長の光の干渉極大値を示す。図３の出力
図は、中央部極大値が現れないように、エタロンを図２
Ｂに示すように傾けた場合のものである。二つの周縁部
の中央スペクトルポイント（すなわち所定の波長の隣接
する極大値の中央スペクトルポイント）を３８、３９で
示している。分光計１００の特徴は、Ｙ軸方向の混同が
生じない点にある。しかし図３からわかるように、出力
がＹ軸方向に離れているため、仰角（Ｙ軸方向の角度）
が異なるスペクトルはＸ座標が互いに少しずれている。
全ての仰角において、同じスペクトルの範囲をカバーで
きるように、全体のスペクトル領域を図示のように少し
広げている。このようなＸ座標のずれの程度は予測可能
なので、データ処理により簡単に補正できる。図３では
わかりやすくするために、隣接するＸ軸方向の切片間に
はスペースがあるが、実際の出力にはこのようなスペー
スはなく、隣接するＸ軸方向切片は連続している。また
図３の例では、検出面の底の近くのＸ軸方向切片には、
干渉極大値が欠けている部分がある。また中央付近のＸ
軸方向切片は、別の部分の干渉極大値が欠けている。こ
れは光源の対応する切片には欠けている極大値に対応す
る波長の光を出している点がないことを表している。こ
うしてこの出力図から、Ｙ軸方向に並ぶ異なるＸ軸方向
切片に関するスペクトル情報が得られる。
【００３１】図４は別の実施例の分光計２００の一部を
示す。この実施例では図２のエタロン１５の代わりにエ
タロン２１５を用いている。エタロン２１５はＭｇＦ２
等の一軸複屈折性材料でできている。当業者には周知の
通り、複屈折性材料は二つの屈折率、すなわち通常の屈
折率ともう一つ別の屈折率をもっている。エタロン２１
５の場合、複屈折光学軸Ｅ−Ｅはエタロンの作用面およ
びＹ軸と平行に延びている。この実施例においては、エ
タロンに対して所定の角度をなし、かつＸＯＺ平面に平
行な入射光の内、異常光線はエタロン２１５を通過でき
ない。またＹＯＺ平面に平行でエタロンに対して小さい
角度で入射する光の場合、エタロンを通過する異常光線
と通常光線は区別することができる。またＹＯＺ平面と
平行でエタロンに対して比較的大きい角度で入射する光
の内、エタロンを通過する異常光線は、エタロンの下流
に、Ｘ軸に平行な偏光軸Ｐ−Ｐを有する直線偏光器２５
０を設けて排除することができる（他の光線はＸＯＺ平
面に平行な成分と、ＹＯＺ平面に平行な成分に分解さ
れ、上で述べた要領で処理される。）。
【００３２】当業者には周知のように、複屈折性材料の
あるものは特定のスペクトル領域の透過率が非常に高い
という特性をもっている。そこでたとえばエタロンを一
軸複屈折性材料の一つであるＭＦ２で形成すれば、真空
紫外線の透過率を高めることができる。
【００３３】本発明の分光計を用いれば、一つの方向
（Ｘ軸方向）のスペクトル情報を得ると同時に、これと
直角の方向（Ｙ軸方向）に空間的に光を分解することが
できる。大気中の微量ガスを測定するような場合には、
空間的に光を分解するだけで十分である。また本発明に
よると、スペクトル情報と空間的情報が同時に得られる
ので、時間とともにスペクトルが変化する光源の測定も
可能である。
【００３４】本発明の分光計を地球大気の辺縁像として
用いる場合は、Ｘ軸が地平線の接線方向に一致するよう
に分光計を配置する。
【００３５】実施例のレンズ１１、１４、１０３ａ、１
０ｂは単純な平凹または平凸レンズであるが、これらの
レンズの代わりに複合レンズ、回折性レンズ、フレネル
型レンズ等を用いてもよい。
【００３６】実施例の分光計は、屈折型光学部品のみを
用いているが、屈折型と反射型の光学部品を組み合わせ
て用いてもよい。こうすれば広いスペクトル領域の測定
が可能になる。分光計の上流側に適当な倍率の望遠鏡を
設ければ、Ｙ軸方向の視野を広げることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の分光計の概略図
【図２】２は本発明の実施例の分光計の概略図、２Ａは
部分詳細斜視図、２Ｂは別の実施例の分光計の部分図
【図３】図２の分光計の出力平面の概略図
【図４】本発明の別の実施例の分光計の部分概略図
【符号の説明】
１０ ファブリーペロ分光計 １１ 第１の円柱レンズ １２ 視野絞り １４ 第２の円柱レンズ １５ ファブリーペロエタロン １６ 集束レンズ １７ 検出器 １９ 分散光源

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 −分散光源からの光の光路に沿って配置
    された集束レンズと、 −前記集束レンズの焦点面に配置された検出器と、 −２つの互いに平行な作用面を有し、前記集束レンズと
    前記分散光源との間に前記光路に沿って配置されたファ
    ブリーペロエタロンと、 −前記分散光源からの光を前記光路に沿って前記ファブ
    リーペロエタロンに導くための少なくとも２つの円柱レ
    ンズとからなり、前記少なくとも２つの円柱レンズはそ
    れぞれの頂部が垂直方向に延びるように配置され、この
    円柱レンズによってエタロンに向かう光を、垂直方向に
    は拡散させず、前記焦点面を横切って水平方向にのみ拡
    散させるようになっており、前記焦点面を横切る水平方
    向のスペクトル情報、および前記焦点面を横切る垂直方
    向の空間的分解情報を含む画像を、前記焦点面上に形成
    するようにした、分散光源の空間的に異なるスペクトル
    特性を検出するためのファブリーペロ分光計。
  2. 【請求項２】 前記少なくとも２つの円柱レンズが、第
    １の焦点距離を有する第１の円柱レンズと、第２の焦点
    距離をもつ第２の円柱レンズであり、前記第１、第２の
    円柱レンズ間の距離が、前記第１および第２の焦点距離
    の和に等しくない請求項１に記載の分光計。
  3. 【請求項３】 前記集束レンズが前記垂直方向にのびる
    頂部を有する第１の円柱形集束レンズであり、分光計は
    前記光路および前記垂直方向に直角な頂部を有する第２
    の円柱形集束レンズを備え、前記検出器は前記第２の円
    柱型集束レンズの焦点面上に設けられている請求項２に
    記載の分光計。
  4. 【請求項４】 前記光路を通過する光によって作りださ
    せるスペクトルの中心干渉縞が、前記検出器の中心から
    外れるような位置まで、前記エタロンを前記垂直方向に
    延びる軸を中心に回転させた請求項３に記載の分光計。
  5. 【請求項５】 前記少なくとも二つの円柱形光学部品
    が、前記第１および第２の円柱レンズの間に、負の焦点
    距離をもつ第１の円柱形視野レンズを備えている請求項
    ２に記載の分光計。
  6. 【請求項６】 前記少なくとも二つの円柱形光学部品
    が、前記第１および第２の円柱レンズの間に、負の焦点
    距離をもつ第２の円柱形視野レンズを備えている請求項
    ５に記載の分光計。
  7. 【請求項７】 前記第１の円柱視野レンズと第２の円柱
    視野レンズが、共に平凹レンズである請求項５に記載の
    分光計。
  8. 【請求項８】 前記第１の円筒レンズの頂部と平行に延
    びる細長い視野絞りを、前記第１の円筒レンズの焦点面
    の近くに設けた請求項７に記載の分光計。
  9. 【請求項９】 前記ファブリーペロエタロンが一軸複屈
    折性材料製の固定型のエタロンであり、前記複屈折材料
    の複屈折光軸が前記エタロンの前記２つの作動面と平行
    であり、前記エタロンは前記複屈折光軸が、前記垂直方
    向に延びるように配置されている請求項８に記載の分光
    計。
  10. 【請求項１０】 前記垂直方向に対して直角な偏光軸を
    有し、前記エタロンを通過する光を偏光するための直線
    偏光手段を備えた請求項９に記載の分光計。
  11. 【請求項１１】 前記複屈折材料がＭｇＦ２である請求
    項１０に記載の分光計。
  12. 【請求項１２】 前記第１の円柱レンズが平凸レンズで
    あり、前記第２の円柱レンズが平凹レンズである請求項
    ８に記載の分光計。
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