JPH10185828A - 透明平面体表面の欠陥検査方法及びその装置 - Google Patents
透明平面体表面の欠陥検査方法及びその装置Info
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- JPH10185828A JPH10185828A JP8340842A JP34084296A JPH10185828A JP H10185828 A JPH10185828 A JP H10185828A JP 8340842 A JP8340842 A JP 8340842A JP 34084296 A JP34084296 A JP 34084296A JP H10185828 A JPH10185828 A JP H10185828A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガラス板等の透明平面体表面の凹凸欠陥を正
確に検出することができる欠陥検査装置の提供。 【解決手段】 投光部２からライン状の照明光ａを透明
平面体５の表面に照射すると、照明光ａは透明平面体５
を屈折透過して受光部３で検出される。表面に凹凸欠陥
があると照明光ａは反射したり透過方向が変わるので、
透過光ｃを受光部３で検出できない。従って、受光部３
による透過光ｃの検出の有無により表面欠陥を検出する
ことができる。透明平面体５は搬送部４により照明光ａ
のライン状光と交差する方向に搬送されるので、投光部
２と受光部３との間を通過する間に欠陥の有無が検査さ
れる。
確に検出することができる欠陥検査装置の提供。 【解決手段】 投光部２からライン状の照明光ａを透明
平面体５の表面に照射すると、照明光ａは透明平面体５
を屈折透過して受光部３で検出される。表面に凹凸欠陥
があると照明光ａは反射したり透過方向が変わるので、
透過光ｃを受光部３で検出できない。従って、受光部３
による透過光ｃの検出の有無により表面欠陥を検出する
ことができる。透明平面体５は搬送部４により照明光ａ
のライン状光と交差する方向に搬送されるので、投光部
２と受光部３との間を通過する間に欠陥の有無が検査さ
れる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス板等の透明
平面体の表面に生じた傷や打痕等の欠陥を検出する透明
平面体表面の欠陥検査方法及びその装置に関するもので
ある。
平面体の表面に生じた傷や打痕等の欠陥を検出する透明
平面体表面の欠陥検査方法及びその装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】ガラス板や樹脂板等の透明平面体の表面
に生じた傷等の欠陥検査を行うための欠陥検査方法とし
て、図４に示すような平滑表面に生じた凹凸欠陥による
光の乱反射をカメラで撮像する方法が知られている。
に生じた傷等の欠陥検査を行うための欠陥検査方法とし
て、図４に示すような平滑表面に生じた凹凸欠陥による
光の乱反射をカメラで撮像する方法が知られている。
【０００３】図４に示すように、ガラス板等の透明平面
体２１の表面の法線方向にカメラ２２を配設すると共
に、表面を浅い角度で照明する光源２３を配設して検査
装置を構成する。透明平面体２１の表面に傷等の欠陥が
ないときは、光源２３からの照明光は入射角と反射角と
が等しい関係で反射してカメラ２２に入射しないため、
カメラ２２が撮像した画像は全面暗部となる。透明平面
体２１の表面に凹凸欠陥が存在すると、照明光は乱反射
するのでカメラ２２方向にも乱反射光の一部が入射し、
カメラ２２の画像に明部が撮像され、欠陥が検出でき
る。
体２１の表面の法線方向にカメラ２２を配設すると共
に、表面を浅い角度で照明する光源２３を配設して検査
装置を構成する。透明平面体２１の表面に傷等の欠陥が
ないときは、光源２３からの照明光は入射角と反射角と
が等しい関係で反射してカメラ２２に入射しないため、
カメラ２２が撮像した画像は全面暗部となる。透明平面
体２１の表面に凹凸欠陥が存在すると、照明光は乱反射
するのでカメラ２２方向にも乱反射光の一部が入射し、
カメラ２２の画像に明部が撮像され、欠陥が検出でき
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来構成になる欠陥検査装置では、欠陥が形成する角度に
より、乱反射光がカメラ方向に向かわない場合があり、
確実に欠陥を検出できない問題点があった。
来構成になる欠陥検査装置では、欠陥が形成する角度に
より、乱反射光がカメラ方向に向かわない場合があり、
確実に欠陥を検出できない問題点があった。
【０００５】本発明は、従来技術に係る問題点を解決す
べく創案されたもので、透明平面体の表面に生じた凹凸
欠陥が形成する角度にかかわらず表面欠陥が検出できる
透明平面体表面の欠陥検出方法及びその装置に関するも
のである。
べく創案されたもので、透明平面体の表面に生じた凹凸
欠陥が形成する角度にかかわらず表面欠陥が検出できる
透明平面体表面の欠陥検出方法及びその装置に関するも
のである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本願の第１発明に係る透
明平面体表面の欠陥検査方法は、透明平面体の表面に対
して照明光を所定角度で入射させ、前記透明体を透過し
た前記照明光が表面欠陥部分により光路変化する状態を
検出することにより、前記透明体表面の凹凸欠陥の有無
を検査することを特徴とする。
明平面体表面の欠陥検査方法は、透明平面体の表面に対
して照明光を所定角度で入射させ、前記透明体を透過し
た前記照明光が表面欠陥部分により光路変化する状態を
検出することにより、前記透明体表面の凹凸欠陥の有無
を検査することを特徴とする。
【０００７】上記欠陥検査方法によれば、検査対象とな
る透明平面体の表面に照明光を照射すると、透明平面体
の表面に傷等の欠陥がない場合には照明光は透明平面体
を所定の屈折率で屈折透過して所定位置で検出できる
が、欠陥があると、その部分で照明光の入射角度が変化
するため、照明光は反射したり透過した光路が変化す
る。従って、この透明平面体を透過した照明光の所定光
路からの変化を検出することにより、表面の凹凸欠陥の
有無を検査することができる。
る透明平面体の表面に照明光を照射すると、透明平面体
の表面に傷等の欠陥がない場合には照明光は透明平面体
を所定の屈折率で屈折透過して所定位置で検出できる
が、欠陥があると、その部分で照明光の入射角度が変化
するため、照明光は反射したり透過した光路が変化す
る。従って、この透明平面体を透過した照明光の所定光
路からの変化を検出することにより、表面の凹凸欠陥の
有無を検査することができる。
【０００８】本願の第２発明に係る透明平面体表面の欠
陥検査装置は、透明平面体の表面に対して所定角度で照
明光を入射させる照明光照射手段と、前記照明光を透明
平面体の屈折率により屈折透過した所定位置で検出する
透過光検出手段と、前記照明光照射手段及び透過光検出
手段と前記透明平面体との間の相対位置を変化させて透
明平面体への照明光照射位置を移動させる照射位置移動
手段とを具備してなることを特徴とする。
陥検査装置は、透明平面体の表面に対して所定角度で照
明光を入射させる照明光照射手段と、前記照明光を透明
平面体の屈折率により屈折透過した所定位置で検出する
透過光検出手段と、前記照明光照射手段及び透過光検出
手段と前記透明平面体との間の相対位置を変化させて透
明平面体への照明光照射位置を移動させる照射位置移動
手段とを具備してなることを特徴とする。
【０００９】上記構成によれば、照明光照射手段から透
明平面体表面に照明光を入射させると、透明平面体表面
に凹凸欠陥がないときには照明光は透明平面体の屈折率
で屈折透過して所定の光路を進行するので、この透過光
を透過光検出手段により検出する。透明平面体の表面に
欠陥があると、欠陥部分で照明光は反射したり透明平面
体中を透過する角度が変化するため、透過光検出手段に
検出されない。従って、透過光検出手段による透過光検
出の有無によって欠陥の有無が検査でき、照射位置移動
手段により透明平面体表面への照明光の照射位置を移動
させれば、透明平面体の表面全面について欠陥検査を行
うことができる。
明平面体表面に照明光を入射させると、透明平面体表面
に凹凸欠陥がないときには照明光は透明平面体の屈折率
で屈折透過して所定の光路を進行するので、この透過光
を透過光検出手段により検出する。透明平面体の表面に
欠陥があると、欠陥部分で照明光は反射したり透明平面
体中を透過する角度が変化するため、透過光検出手段に
検出されない。従って、透過光検出手段による透過光検
出の有無によって欠陥の有無が検査でき、照射位置移動
手段により透明平面体表面への照明光の照射位置を移動
させれば、透明平面体の表面全面について欠陥検査を行
うことができる。
【００１０】また、上記構成は、照明光照射手段が透明
平面体表面に対してライン状光を照射し、照射位置移動
手段が前記ライン状光に交差する方向に透明平面体を移
動させることを特徴として構成すれば、透明平面体表面
の全面に対して容易に欠陥検査を実施することができ
る。
平面体表面に対してライン状光を照射し、照射位置移動
手段が前記ライン状光に交差する方向に透明平面体を移
動させることを特徴として構成すれば、透明平面体表面
の全面に対して容易に欠陥検査を実施することができ
る。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の一実施形態について説明し、本発明の理解に供する。
尚、以下に示す実施形態は本発明を具体化した一例であ
って、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
の一実施形態について説明し、本発明の理解に供する。
尚、以下に示す実施形態は本発明を具体化した一例であ
って、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【００１２】ここに、図１は本発明の一実施形態に係る
透明平面体表面の欠陥検査装置の構成を示す模式図、図
２は図１に示す構成を立体的に示した斜視図、図３は欠
陥検出の原理を説明する説明図である。
透明平面体表面の欠陥検査装置の構成を示す模式図、図
２は図１に示す構成を立体的に示した斜視図、図３は欠
陥検出の原理を説明する説明図である。
【００１３】図１、図２において、欠陥検査装置１は、
投光部（照明光照射手段）２と、受光部（透過光検出手
段）３と、前記投光部２と受光部３との間を一定方向に
検査対象物となる透明平面体５を搬送する搬送部（照明
位置移動手段）４とを備えて構成されている。尚、前記
搬送部４の具体的な構造は示していないが、透明平面体
５を両端で保持して検査位置を図示矢印方向に通過させ
るように構成されている。
投光部（照明光照射手段）２と、受光部（透過光検出手
段）３と、前記投光部２と受光部３との間を一定方向に
検査対象物となる透明平面体５を搬送する搬送部（照明
位置移動手段）４とを備えて構成されている。尚、前記
搬送部４の具体的な構造は示していないが、透明平面体
５を両端で保持して検査位置を図示矢印方向に通過させ
るように構成されている。
【００１４】前記投光部２は、光源６からの光をレンズ
７、８で集光して、透明平面体５の表面に対して透明平
面体５を透過する入射角度でライン状の照明光ａを透明
平面体５の表面に投光する。前記ライン状の照明光ａ
は、例えば、アパーチャ型蛍光灯のように所定方向に集
中する光を照射する光源６からの光をレンズ７、８とし
てシリンドリカルレンズを用いて集光すると共に、遮光
板９のスリットにより所要幅に絞ることによって実現で
きる。
７、８で集光して、透明平面体５の表面に対して透明平
面体５を透過する入射角度でライン状の照明光ａを透明
平面体５の表面に投光する。前記ライン状の照明光ａ
は、例えば、アパーチャ型蛍光灯のように所定方向に集
中する光を照射する光源６からの光をレンズ７、８とし
てシリンドリカルレンズを用いて集光すると共に、遮光
板９のスリットにより所要幅に絞ることによって実現で
きる。
【００１５】また、前記受光部３は、前記ライン状の照
明光ａに対応させるために、シリンドリカルレンズから
なる集光レンズ１０と、ラインセンサにより形成された
光センサ１１とにスリット１２から透過光ｃが入射する
ように構成されており、前記照明光ａの照射ラインと同
一方向に前記スリット１２、集光レンズ１０及び光セン
サ１１が配設されている。この受光部３は、前記投光部
２からの照明光ａの透明平面体５への入射角度と、検査
対象とする透明平面体５の屈折率により決定される透過
光ｃの透過方向に配設される。
明光ａに対応させるために、シリンドリカルレンズから
なる集光レンズ１０と、ラインセンサにより形成された
光センサ１１とにスリット１２から透過光ｃが入射する
ように構成されており、前記照明光ａの照射ラインと同
一方向に前記スリット１２、集光レンズ１０及び光セン
サ１１が配設されている。この受光部３は、前記投光部
２からの照明光ａの透明平面体５への入射角度と、検査
対象とする透明平面体５の屈折率により決定される透過
光ｃの透過方向に配設される。
【００１６】上記構成において、透明平面体５の表面に
投光部２から照明光ａを投光すると、図３（ａ）に示す
ように、透明平面体５の表面に欠陥がないときは、照明
光ａは透明平面体５内に入射し、屈折して反対面に透過
して受光部３で検出される。
投光部２から照明光ａを投光すると、図３（ａ）に示す
ように、透明平面体５の表面に欠陥がないときは、照明
光ａは透明平面体５内に入射し、屈折して反対面に透過
して受光部３で検出される。
【００１７】しかし、透明平面体５の表面に傷等の凹凸
欠陥があると、図３（ｂ）に示すように、欠陥部分によ
り照明光ａは反射したり、透過方向が変化する散乱光ｂ
となり、受光部３に入射されなくなる。従って、受光部
３により透過光ｃの有無を検出すると、透明平面体５表
面の欠陥検査を行うことができる。
欠陥があると、図３（ｂ）に示すように、欠陥部分によ
り照明光ａは反射したり、透過方向が変化する散乱光ｂ
となり、受光部３に入射されなくなる。従って、受光部
３により透過光ｃの有無を検出すると、透明平面体５表
面の欠陥検査を行うことができる。
【００１８】透明平面体５は搬送部４により図１及び図
２に示す図示矢印方向に搬送されて投光部２と受光部３
との間を通過するので、ライン状に照射する照明光ａ
は、透明平面体５の表面全体を照射し、表面に欠陥がな
いときは受光部３で透過光ｃが検出され、欠陥があると
透過光ｃが検出されないので、透明平面体５の表面全体
の欠陥検査を行うことができる。
２に示す図示矢印方向に搬送されて投光部２と受光部３
との間を通過するので、ライン状に照射する照明光ａ
は、透明平面体５の表面全体を照射し、表面に欠陥がな
いときは受光部３で透過光ｃが検出され、欠陥があると
透過光ｃが検出されないので、透明平面体５の表面全体
の欠陥検査を行うことができる。
【００１９】尚、本実施形態においては、透明平面体５
を搬送部４によって移動させるように構成しているが、
透明平面体５を位置固定して、投光部２及び受光部３を
移動させるように構成することもできる。
を搬送部４によって移動させるように構成しているが、
透明平面体５を位置固定して、投光部２及び受光部３を
移動させるように構成することもできる。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明の通り本願の第１発明によれ
ば、検査対象となる透明平面体の表面に照明光を照射す
ると、透明平面体の表面に傷等の欠陥がない場合には照
明光は透明平面体を所定の屈折率で屈折透過して所定位
置で検出できるが、欠陥があると、その部分で照明光の
入射角度が変化するため、照明光は反射したり透過した
光路が変化する。従って、この透明平面体を透過した照
明光の所定光路からの変化を検出することにより、表面
の凹凸欠陥の有無を検査することができる。
ば、検査対象となる透明平面体の表面に照明光を照射す
ると、透明平面体の表面に傷等の欠陥がない場合には照
明光は透明平面体を所定の屈折率で屈折透過して所定位
置で検出できるが、欠陥があると、その部分で照明光の
入射角度が変化するため、照明光は反射したり透過した
光路が変化する。従って、この透明平面体を透過した照
明光の所定光路からの変化を検出することにより、表面
の凹凸欠陥の有無を検査することができる。
【００２１】また、本願の第２発明によれば、照明光照
射手段から透明平面体表面に照明光を入射させると、透
明平面体表面に凹凸欠陥がないときには照明光は透明平
面体の屈折率で屈折透過して所定の光路を進行するの
で、この透過光を透過光検出手段により検出する。透明
平面体の表面に欠陥があると、その部分で照明光は反射
したり透明平面体中を透過する角度が変化するため、透
過光検出手段に検出されない。従って、照射位置移動手
段により透明平面体表面への照明光の照射位置を移動さ
せれば、透明平面体の表面全面について欠陥検査を行う
ことができる。
射手段から透明平面体表面に照明光を入射させると、透
明平面体表面に凹凸欠陥がないときには照明光は透明平
面体の屈折率で屈折透過して所定の光路を進行するの
で、この透過光を透過光検出手段により検出する。透明
平面体の表面に欠陥があると、その部分で照明光は反射
したり透明平面体中を透過する角度が変化するため、透
過光検出手段に検出されない。従って、照射位置移動手
段により透明平面体表面への照明光の照射位置を移動さ
せれば、透明平面体の表面全面について欠陥検査を行う
ことができる。
【００２２】上記構成は、照明光照射手段が透明平面体
表面に対してライン状光を照射し、照射位置移動手段が
前記ライン状光に交差する方向に透明平面体を移動させ
ることを特徴として構成すれば、透明平面体表面の全面
に対して容易に欠陥検査を実施することができる。
表面に対してライン状光を照射し、照射位置移動手段が
前記ライン状光に交差する方向に透明平面体を移動させ
ることを特徴として構成すれば、透明平面体表面の全面
に対して容易に欠陥検査を実施することができる。
【図１】本発明の一実施形態に係る透明平面体表面の欠
陥検査装置の構成を示す模式図である。
陥検査装置の構成を示す模式図である。
【図２】図１に示す構成を立体的に表示した斜視図であ
る。
る。
【図３】欠陥による照明光の方向の変化を説明する説明
図で、欠陥のない状態（ａ）と欠陥がある状態（ｂ）で
ある。
図で、欠陥のない状態（ａ）と欠陥がある状態（ｂ）で
ある。
【図４】従来技術に係る欠陥検査装置の概略構成を示す
模式図である。
模式図である。
１ 欠陥検査装置 ２ 投光部（照明光照射手段） ３ 受光部（透過光検出手段） ４ 搬送部（照射位置移動手段） ５ 透明平面体
Claims (3)
- 【請求項１】 透明平面体の表面に対して照明光を所定
角度で入射させ、前記透明体を透過した前記照明光が表
面欠陥部分により光路変化する状態を検出することによ
り、前記透明体表面の凹凸欠陥の有無を検査することを
特徴とする透明体表面の欠陥検査方法。 - 【請求項２】 透明平面体の表面に対して照明光を所定
角度で入射させる照明光照射手段と、前記照明光を透明
平面体の屈折率により屈折透過した所定位置で検出する
透過光検出手段と、前記照明光照射手段及び透過光検出
手段と前記透明平面体との間の相対位置を変化させて透
明平面体への照明光照射位置を移動させる照射位置移動
手段とを具備してなることを特徴とする透明体表面の欠
陥検査装置。 - 【請求項３】 照明光照射手段が透明平面体表面に対し
てライン状光を照射し、照射位置移動手段が前記ライン
状光に交差する方向に透明平面体を移動させることを特
徴とする請求項２記載の透明体表面の欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8340842A JPH10185828A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 透明平面体表面の欠陥検査方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8340842A JPH10185828A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 透明平面体表面の欠陥検査方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10185828A true JPH10185828A (ja) | 1998-07-14 |
Family
ID=18340814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8340842A Pending JPH10185828A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 透明平面体表面の欠陥検査方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10185828A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006098122A (ja) * | 2004-09-28 | 2006-04-13 | Dainippon Printing Co Ltd | 光透過性単層体又は積層体に存在する欠陥を測定する装置 |
| WO2008072693A1 (ja) * | 2006-12-14 | 2008-06-19 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | 板ガラス欠陥検出装置、板ガラスの製造方法、板ガラス物品、板ガラスの良否判定装置及び板ガラスの検査方法 |
| CN110524123A (zh) * | 2019-08-06 | 2019-12-03 | 苏州卡利肯新光讯科技有限公司 | 一种激光切割系统及其切割方法 |
| CN110779934A (zh) * | 2019-08-28 | 2020-02-11 | 深圳市灿锐科技有限公司 | 检测平面透明工件上灰尘和划痕的光学模块 |
| JP2021148557A (ja) * | 2020-03-18 | 2021-09-27 | 株式会社メック | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
-
1996
- 1996-12-20 JP JP8340842A patent/JPH10185828A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006098122A (ja) * | 2004-09-28 | 2006-04-13 | Dainippon Printing Co Ltd | 光透過性単層体又は積層体に存在する欠陥を測定する装置 |
| WO2008072693A1 (ja) * | 2006-12-14 | 2008-06-19 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | 板ガラス欠陥検出装置、板ガラスの製造方法、板ガラス物品、板ガラスの良否判定装置及び板ガラスの検査方法 |
| CN110524123A (zh) * | 2019-08-06 | 2019-12-03 | 苏州卡利肯新光讯科技有限公司 | 一种激光切割系统及其切割方法 |
| CN110779934A (zh) * | 2019-08-28 | 2020-02-11 | 深圳市灿锐科技有限公司 | 检测平面透明工件上灰尘和划痕的光学模块 |
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