JPH10188793A - ガス放電型表示パネル、ガス放電型表示パネルの製造方法およびガス放電型表示パネルを用いた表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明の目的は、製造コストと製造タクトの大
幅な低減を図る全く新規な隔壁リブの製造方法を提供す
ることにある。 【解決手段】上記目的を達成するために、ガス放電型表
示パネル用隔壁形成工程において、円筒面に所望の隔壁
リブとは逆の凹凸を形成した溝ロールを、基板表面に塗
布されたガラスペーストに押しつけ、回転させながら基
板に沿って移動させることで、ペースト表面に直接リブ
を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はガス放電型表示パネ
ル、ガス放電型表示装置およびガス放電型表示パネルの
製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のガス放電型表示装置における隔壁
の製造方法を図１４〜１６に示す。

【０００３】図１４は印刷積み上げ方式による隔壁の製
造方法である。これは同図（ａ）に示すガラス基板１上
に形成された複数本のストライプ状電極２で挟まれる領
域に、ストライプ状の開口を有するマスクスクリーンを
用いた印刷を複数回繰り返すことで、同図（ｂ）（ｃ）
に示すようにガラスペースト３を必要な高さにまで積み
上げ、それを焼結することにより（ｄ）に示すような隔
壁リブ５を形成するものである。

【０００４】図１５は彫り込み方式による隔壁リブの製
造方法である。これは（ａ）電極２を形成したガラス基
板１の表面全体わたって（ｂ）スクリーン印刷法などに
よりガラスペースト３を必要膜厚さだけ積み上げて乾燥
させた後、（ｃ）表面に感光性のドライフィルムレジス
ト４０を貼付け、フォトリソグラフィ法によりパターニ
ングした後、それをマスクとして（ｄ）サンドブラスト
法により乾燥ペーストを彫り込むことにより隔壁リブ５
を形成するものである。

【０００５】これらの技術に関しては、特開平２−３０
１９３４号公報、特開平６−２３１６９４号公報及び特
開平４−２８２５３１号公報などにおいて開示されてい
る。

【０００６】また、図１６は平面型をガラスペーストに
押しつけることで隔壁リブを形成する技術であり、同じ
く特開平８−２７３５３８号公報において開示されてい
る。これは、可撓性のあるフィルム基材４１の表面に隔
壁リブと逆凹凸形状を持つ型４２をプラスティック材料
で形成し、それをガラスペースト３に押しあてることで
型の形状を転写した後、型を剥離する方法である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記し
た印刷積み上げ方式では一回の印刷で積み上げることの
できる膜厚に限りがあるため、必要膜厚を得るためには
印刷後一度乾燥を行い、再びその上に印刷するという工
程を複数回繰り返す必要があり、プロセス時間が非常に
長くなる。さらに狭い幅のパターンの印刷を複数回繰り
返すためマスクの位置合わせが難しく、また隔壁欠陥も
発生し易くなる。ガス放電型表示装置の表示パネルは年
々大画面化する傾向にあるが、大画面パネルに対して前
述の印刷積み上げ方式を適用するためには巨大なマスク
スクリーンを用いる必要がある。印刷積み上げ方式にお
いて高精度で隔壁リブを形成するためには、このマスク
スクリーンを高精度で作ることに加えて、マスクスクリ
ーンに常に均一な強い張力をかけた状態で使用する必要
がある。これに加えて、マスクが大形化するほど印刷圧
力や印刷ペーストの重量等の影響を受けやくなるためマ
スクスクリーンの寿命も短く、コスト高になる。さら
に、マスクに加わる実際の力は使用状況に応じて異なる
ので、大画面化したパネルに位置精度良く隔壁を形成す
ること自体が極めて難しい技術である。つまり実際の大
量生産を考えると、印刷積み上げ方式では製品歩留ま
り、製造タクト並びにコストの面で課題がある。

【０００８】次に、彫り込み方式では、必要な隔壁リブ
高さと同等の膜厚を形成しなければならないのは印刷積
み上げ方式と同じであるため、プロセス時間はやはり長
くなる。また、サンドブラスト加工のマスクとして用い
るドライフィルムレジストは加工後にすべて除去する必
要があり全くの消耗品である。一方、サンドブラスト加
工用の研磨材そのものも加工により破砕され性能が劣化
するため常に新しいものを供給しながら加工する必要が
あることから、消耗品としてのコストが余分にかかるこ
とになる。さらに、サンドブラスト加工中に研磨材粒子
による電極損傷を防止するため電極を覆うように保護膜
を別に形成する必要があり、プロセスも複雑となる。ま
た、例え保護膜を形成しても、その開口欠陥などを通し
て研磨材粒子が電極まで到達すれば電極損傷が生じ、製
品歩留まりが悪くなる。

【０００９】つまり、彫り込み方式でも、印刷・乾燥の
繰り返しによるプロセス時間の伸長、消耗品費及び保護
膜を設けることによるプロセスの複雑化とブラスト粒子
の制御などの問題があり、製造タクト短縮及び低コスト
化の面で課題がある。

【００１０】ところで、ガス放電型表示パネルでは製造
プロセス上隔壁リブ用ガラスペーストを低融点にする必
要があることから、一般に鉛含有ガラスが用いられる。
しかるに、彫り込み方式では、積み上げたガラスペース
トのうち隔壁リブとして残る部分以外、すなわち全体の
約８０〜９０％の部分がサンドブラスト加工により除去
されることになり、材料歩留まりが悪いという問題に加
えて、研磨材も含めたその廃材の処理が環境上重要な課
題である。このため、環境対策費用まで含めると製造コ
ストはさらに上昇することになる。

【００１１】次に、従来の平面型を用いる方式（平面型
転写方式）では、剛体である基板からの剥離を容易にす
るため平面型そのものに可撓性を持たせ、基板と平面型
とを線で剥離している。これは、平面型を剛体で成形す
ると、平面型（剛体）と基板（剛体）とを面で剥離しな
ければならず、非常に大きなストレスが発生するからで
ある。

【００１２】したがって、従来の平面型は、可撓性を持
たせるために、例えば高分子材料のフィルム材の上にや
はり高分子材料を用いて所望の凹凸を形成している。一
般的に高分子材料は熱や加圧による伸縮が大きい。この
ため平面型を高分子材料で形成した従来技術では、基板
に塗布した材料へ平面型を押圧・挿入したり、成型時の
熱により型自体が変形してしまうので、隔壁の成形精度
は期待できない。当然、平面型自体の型精度も良くな
い。また、このように平面型が、熱や加圧により変形す
るので有れば、所望の型形状を維持することが難しく、
その平面型により製造できるパネルの数は極めて少な
い。このように平面型の寿命が短ければ、その分コスト
高となってしまう。

【００１３】つまり、平面型転写方式では、平面型を高
分子材料で形成しなければならないため、隔壁の成形精
度、平面型の寿命等の問題や、大量生産に不向きな製造
プロセスであると言った問題があり、製造コストや製造
タクトの面で課題がある。

【００１４】なお、従来の平面型転写方式では、セル状
の隔壁を形成するため、成形した隔壁と平面型の凸部が
ぶつからないように、隔壁面に所定の抜きテーパが必要
となる。この抜きテーパは、隔壁を狭ピッチ化すること
の障害となる。

【００１５】以上のように、いずれの従来技術も製造タ
クトや製造コストの面で課題があった。

【００１６】本発明は、このような従来技術の課題に鑑
み、製造タクトと製造コストを低減した全く新規な製造
プロセスによるガス放電型表示パネルおよびガス放電型
表示装置を提供することを目的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、所定の部材をロールにより圧延して隔壁
リブを成形するものである。ここで、所定の部材とは、
例えば、ガラスペーストや、ガラスグリーンシートなど
である。

【００１８】これにより、従来のサンドブラスト法や積
み重ね法のように所望の隔壁の高さになるまで、印刷、
乾燥を繰り返す必要が無くなり、プロセス時間の短縮化
が図れる。

【００１９】また、本発明ではロールの凸部で排除され
た材料を、その後のロールの凸部に充填するので、サン
ドブラスト法のようにリブ部以外の大半の材料を除去破
棄するようなことはなく製造コストを低減できる。ま
た、ロールの溝を縦方向に形成するので、前述の不要な
材料は比較的容易に後方へ移動する。そればかりか、成
形した隔壁とロール溝とが離型時にぶつかることがない
ので、隔壁の抜きテーパを不要とすることもでき、隔壁
間を狭ピッチに形成することもできる。

【００２０】また、本発明は、従来の平面型転写方式と
は異なり、ロールを剛体で形成しても線での離型が可能
となり、離型時の基板やロールのストレス（特に基板）
を抑制することができる。従って、ガス放電型表示パネ
ルの大量生産を高歩留まりで実現することができる。ま
た、ロールにより、隔壁材料の塗布された基板等を圧延
するように成形するので、その原理からして製造タクト
は極めて短い。加えて、この隔壁形成工程を極めて容易
に自動化することもできる。

【００２１】ところで、ロールの溝を横方向に形成する
場合、ロール円周を等分して溝を形成しなければなら
ず、ロールの加工精度が、形成する隔壁のピッチ誤差に
影響を与えやすい。これに対して、前述の縦方向の溝形
状は、ロール円周を等分して形成した溝ほど加工精度に
よる影響は小さく、形成する隔壁のピッチ誤差を抑制で
きると言った効果もある。

【００２２】このようことから、本発明は、従来の方法
に比べ、製造タクトの短縮と製造コスト（材料・製品歩
留まりを含む）の大幅な低減を図ることができる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施例を
図面を用いて詳述する。

【００２４】《実施例１》図１は、本発明の第一の実施
例を示すもので、ロール成形によるガス放電型表示パネ
ル用の背面基板の製造工程を示したものである。図にお
いて１は基板、２は電極、３はガラスペースト厚膜、４
は溝付きロール、４ａはロール４と基板１間のギャッ
プ、５は隔壁リブ、６は表示セル、７は蛍光体、そして
８は完成した背面基板を示す。また、図示していない
が、溝付きロール４には、加熱機構が備えられている。

【００２５】まず、基板１上に真空蒸着あるいはスパッ
タ蒸着とフォトリソグラフィ法、もしくは印刷法などに
より電極２を形成する。

【００２６】次に印刷法あるいはロールコート法など既
存の方法で厚さにガラスペースト厚膜層３を形成する。
この際、ペーストは最終的な隔壁リブと同じか、僅かに
多い体積のものを塗布面積で除した値に相当する膜厚で
塗布すれば良い。ここで、ペースト中の有機溶剤は願わ
くば１５０℃程度以下のなるべく低い温度で蒸発消失す
るものを、また有機結合材は少なくとも５００℃、願わ
くば４５０℃位までの温度で完全に分解焼失するものが
望ましい。ここで、ガラスペースト中の有機溶剤になる
べく低い温度で蒸発消失する材料を選定した理由は、ロ
ールの加熱温度以下で有機溶剤を蒸発消失させるためで
ある。すなわち、有機溶剤を蒸発消失させることでガラ
スペーストを硬化させ、離型を容易にするためである。
また、有機結合材にガラスペーストの焼結温度以下の材
料を選定した理由は、一般的に利用される基板の耐熱温
度が５７０〜６５０℃であり、それに塗布するガラスペ
ーストの焼結温度を５００〜５５０℃に設定しなければ
ならないからである。すなわち、ガラスペーストに含ま
れる有機結合材をその焼結温度以下で完全に分解消失さ
せることで、クラック等の発生を抑制させるためであ
る。

【００２７】次に、隔壁リブ形状とは逆の凹凸を有する
溝形状を円筒部表面の円周方向にリング状に複数本形成
し、かつ２００〜３００℃程度に加熱したロール４をガ
ラスペースト厚膜３上に押し付けた状態で回転させなが
ら、このロールの周速と同じ速度で基板１の表面に沿っ
て移動させる。するとロール４表面の凸部で押されたペ
ーストによりロール移動方向前面部にペーストのたまり
３ａが形成され、これにより実質膜厚が厚くなりロール
の溝部が充填される。この工程がロール移動方向にわた
って起こるため、基板前面にわたって初期のペースト膜
厚より高い隔壁リブが形成される。このロールによる成
形では大半の材料はロール移動方向に流動し幅方向には
ほとんどはみだすことはない。

【００２８】また、溝付ロール４は２００〜３００℃に
加熱されているので、ガラスペースト中の有機溶剤は蒸
発消失し、ガラスペーストは離型できる程度に硬化した
状態となっている。この硬化する時間が隔壁リブ形成工
程の製造タクトとなる。

【００２９】なお、この例ではロールが回転しながら移
動する場合について説明したが、ロール４を回転運動の
みにしておき基板１をロールを移動させる場合とは逆方
向に移動させても同じである。また、隔壁リブ間で挟ま
れる部分すなわち表示セル領域のペースト残り厚さは、
ギャップ４ａを変化させることで任意に変化させること
ができる。このギャップ４ａにより、基板に生ずる反
り、歪みに対応することができる。また、これはアドレ
ス電極上に塗布される隔壁リブ材の厚さになるので、ア
ドレス電極と表示電極との間の放電特性を決定する一つ
のパラメータにもなる。理想的にはアドレス電極上に隔
壁リブ材が存在しないように、できる限りギャップ４ａ
を小さく設定することが好ましい。

【００３０】ところで、溝付きロール４の回転速度は、
ガラスペースト表面の有機溶剤がロールの熱によって蒸
発し、少なくともその表面が乾燥してからロールがペー
ストから離脱するような速度で回転させることが必要で
ある。そこで、ロール径はできるだけ大きくし、ペース
トとの接触弧の長さを増大させることで効率の良い乾燥
ができ、能率を上げることが可能となる。さらに、この
ロールの大径化により板型による成形に近くなるためロ
ールの溝部で排除されたペーストを前方だけでなく、高
さ方向にも流動させることができ、ロール溝へのペース
ト充填がさらに容易になる。

【００３１】なお、ロール溝の形状寸法はガス放電型表
示パネルの仕様に応じて変化させるものであるが、一般
的に溝底が入口より狭い台形溝が好ましい。また、ガラ
スペースト中には大量の硬質粒子が含まれていることか
ら、ロールの摩耗や成形に伴う変形、さらには加熱に耐
えるためロール材質としてはできるだけ硬質材料を用い
ることが望ましい。例えば、焼き入れ鋼、あるいは高強
度金属表面に硬質クロムメッキなどの表面処理を施した
もの、または超硬合金などが好ましい。さらに、成形し
た隔壁リブの側壁の傾斜を任意に変化させるという目的
からは、本実施例のようにロール移動方向と平行な溝、
つまり円筒部表面円周方向に形成した溝を有するロー
ル、すなわち縦溝ロールを用いることが好ましい。

【００３２】次に、以上述べた方法で形成した仮乾燥状
態の隔壁リブ５を高温で焼結することで最終的な隔壁リ
ブが得られる。

【００３３】さらに、各隔壁リブで囲まれる溝の内表面
すなわち表示セル６及び隔壁リブ側壁面に蛍光体７を塗
布し、焼成することで背面基板８が得られる。

【００３４】以上述べたように、本方法によれば、溝付
きロール４をガラスペーストに押し付けた際に、ロール
の凸部で押しのけられたペーストがロール移動方向前方
に押し出されて高くなったところにロールの溝部が来る
ため、最初のガラスペースト膜厚３がロールに形成され
た溝深さよりも小さくてもロールの溝はきちんとペース
トで埋まることになる。すなわち、最終的な隔壁全体の
体積とほぼ同じか、若干多い体積となるような膜厚でガ
ラスペースト厚膜を形成しておけば良いことから、消耗
の隔壁リブと同じ厚さでペーストを塗布し、さらに隔壁
リブ部分以外の材料を除去する従来のサンドブラスト法
に比べると材料歩留まりが極めて高い。また、ロールの
溝を縦方向に形成するので、前述の不要な材料は比較的
容易に後方へ移動する。そればかりか、成形した隔壁と
ロール溝とが離型時にぶつかることがないので、隔壁の
抜きテーパを不要とすることもでき、隔壁間を狭ピッチ
に形成することもできる。

【００３５】また、本発明は、ロールを剛体で形成して
も線での離型が可能となり、離型時の基板やロールのス
トレス（特に基板）を抑制することができる。また、ロ
ールにより、隔壁材料の塗布された基板等を圧延するよ
うに成形するので、その原理からして製造タクトは極め
て短い。加えて、この隔壁形成工程を極めて容易に自動
化することもできる。

【００３６】《実施例２》次に、図２は本発明の第二の
実施例を示す図である。図において９は紫外線硬化型の
有機結合材を含有するガラスペースト、１０は紫外光で
ある。

【００３７】まず、波長３００〜４５０ｎｍの領域の紫
外線をある程度透過する基板１の表面に電極２を形成す
る。

【００３８】次いでその表面に実施例１と同様にガラス
ペースト厚膜層９を形成する。

【００３９】次にガラスペースト厚膜９上に、隔壁リブ
とは逆の凹凸の溝を表面に形成したロール４を押し付け
て回転させながら表面に沿って移動させる。あるいはロ
ールは回転運動のみにしておき基板１をロールを移動さ
せる場合とは逆の方向に移動させても良い。この際、ロ
ールの凸部で排除されたガラスペーストがロール移動方
向前方に押し出されることで、ペースト厚膜９の厚さが
ロールの溝深さより薄くてもロール溝がきちんと充填さ
れるのは実施例１と同じである。

【００４０】そしてこのロールが移動している間に、ロ
ール溝にガラスペーストが接触している部位において基
板１の裏面あるいはロール進行方向に対して背後からメ
タルハライドランプあるいは高圧水銀ランプなどからの
紫外光１０を照射することでガラスペースト中の有機結
合材を例えば７割方硬化させる。これによりロール溝で
転写された形を保った状態でガラスペーストをロールか
ら離脱させることができる。いいかえれば、ロール４は
ガラスペースト９の表面層がある程度乾燥してロールが
きちんと離脱するような速度で回転させることが重要で
ある。そしてこの操作を能率良く行うためには、ロール
径を大きくすることでロールとガラスペーストの接触弧
の長さを長くし、紫外光を照射できる面積を大きくれば
良い。

【００４１】このようにして、ガラスペースト厚膜９の
全面をロール４を通過させることで仮硬化状態の隔壁リ
ブ５を形成し、それにさらに紫外線を照射して完全硬化
させ、その後高温に加熱して有機結合材の分解除去とガ
ラス成分を焼結することで最終的な隔壁リブ５が得られ
る。

【００４２】さらに、各隔壁リブ側壁部及び表示セル６
に蛍光体７を塗布し、焼成することで背面基板８が得ら
れる。

【００４３】なお、この場合にもガラスペースト中の紫
外線硬化型有機結合材は少なくとも５００℃、願わくば
４５０℃程度以下で分解し焼失するものを用いることが
望ましい。これは前述の実施例１と同様に理由による。

【００４４】本方法の特徴として材料歩留まり及びスル
ープットが高いことは実施例１と同じであるが、それ以
外に室温で隔壁リブの成形ができるため成形精度管理が
容易であるという特徴がある。

【００４５】以上述べた二つの例を実施するための装置
の概略構成を図３、４に示す。

【００４６】図３は実施例１に対応する装置の概略を示
したものである。図において１１はガラスペースト厚膜
３を作製するための工程、２０はバックアップロール、
２１は加熱ロールからの熱の輻射あるいは伝導の状態を
表す。

【００４７】本例ではガラスペースト厚膜３の形成手段
として既存技術であるロールコート方式について記載し
たが、広幅ノズルからペーストを吐出しながら基板表面
に塗布していく通称カーテンコート方式など、途中でペ
ーストを乾燥させることなく一回である程度厚く塗布で
きる手法であればどのような方法でも良い。

【００４８】このようにして形成したペースト厚膜３に
加熱機構（図示せず）を有する溝ロール４を押しつけ、
矢印方向に回転させながら基板１をロール４の周速とほ
ぼ同じ速度で矢印方向に移動させる。この際、ペースト
の成形圧力の反作用によるロール４の撓みを防止するた
めに、ロール４を平ロール２０でバックアップしておく
ことが精度確保上好ましい。以上により、ロール４との
接触部でガラスペーストに溝が転写されると同時に、熱
でペースト中の有機溶剤が蒸発することでペーストが乾
燥し、転写された隔壁リブの形状を維持した状態でロー
ルがペーストから離脱する。このようにして、ペースト
厚膜形成から隔壁リブ成形までを一貫して高スループッ
トで行うことが可能になる。

【００４９】次に、図４は実施例２に対応する装置の概
略を示したものである。この場合も基本的には図３の例
と同じであるが、基板１に透光性のあるガラス板などを
用いることで、ロール４との接触部でガラスペーストに
溝を転写すると同時に、紫外線１０でペースト中の有機
結合材を重合させることでペーストを硬化させ、転写さ
れた隔壁リブの形状を維持した状態でロール４がペース
トから離脱できるようにする。

【００５０】《実施例３》図５は本発明の第三の実施例
を示すもので、ガラス粉末のグリーンシートを用いた例
である。図において１４は熱可塑性有機結合材を含有す
るグリーンシート、１５はグリーンシートに付加する前
方張力、１６は接着剤をそれぞれ表す。

【００５１】基板１の表面に電極２を形成し、その上に
所要の隔壁リブ高さとほぼ同等の厚さを有し、かつ熱可
塑性有機結合材を含むグリーンシート１４を可塑化温度
以上に加熱した状態で搭載する。この際、基板１及びロ
ール４も加熱しておけばグリーンシートの延性が損なわ
れず扱いやすい。

【００５２】次に隔壁リブと逆の凹凸を持つ溝を表面に
形成したロール４を、加熱したグリーンシート１４に押
しつけながら回転させ、基板１に沿って移動すること
で、グリーンシート１４の表面をロール面とは逆の凹凸
形状に成形すると同時に、基板１とグリーンシート１４
の界面に接着剤あるいは溶剤などを塗布しながら加圧力
を利用して基板１の表面に端から順次貼り付けて行く。
また、接着剤を用いる代わりに自己粘着性のあるグリー
ンシートを用いても良い。この際、ロールの山部でグリ
ーンシートが圧縮されることでロール進行方向に伸びを
生じることから、グリーンシートの未変形部分において
１５の方向に適度の前方張力を付加することによりこの
伸びによるたるみが除去でき、精度の良い成形が可能と
なる。

【００５３】このようにして隔壁リブ５を成形し、かつ
基板１に貼り付けしたグリーンシートを基板と共に焼結
することで最終的な隔壁リブが得られる。さらに、隔壁
リブの側壁部及び表示セル６に蛍光体７を塗布し、焼成
することで背面基板８が得られる。

【００５４】なお、グリーンシートを用いる場合におい
ても有機結合材は少なくとも５００℃程度、願わくば４
５０℃程度以下で分解焼失するものが望ましい。これも
実施例１と同様の理由による。

【００５５】次にグリーンシートによる隔壁リブ形成の
装置の概略について説明する。

【００５６】図６は装置構成の一例を示したものであ
る。図において１７はキャリアフィルム、１８、１９は
巻き取りリール、２０、２１はロール、２２、２３は加
熱装置、２４は平ロールをそれぞれ表している。

【００５７】キャリアフィルム１７と共にリール１８に
巻き付けられたグリーンシート１４をロール２０、加熱
装置２２を経由して溝付きロール４に導く。この際、キ
ャリアフィルム１７はロール２１においてグリーンシー
トから剥離し、リール１９で巻き取っておく。

【００５８】そして、予め加熱装置２３で加熱した基板
１と加熱装置２２で加熱されたグリーンシート１４を重
ね、さらにロール４の手前で接着剤あるいはグリーンシ
ート中の有機結合材を溶解させる溶剤１６を吹き付けな
がら、溝付きロール４と平ロール２４によって加圧し、
片面にロール４の溝を転写しながら基板１の表面に貼り
付けていく。そして、所要の長さになると切断装置（図
示せず）により切断することで隔壁リブが形成される。
ここで、ロール４で隔壁リブを成形した際のシートの伸
びは、リール１８に僅かにブレーキをかけ、ロール４と
の間に周速差を設けることでグリーンシート１４に前方
張力１５を発生させることによって吸収できる。なお、
隔壁リブ成形中にグリーンシート４の温度が下がらない
ようにロール４も予め加熱しておくとさらに成形性が良
くなる。

【００５９】次に、図７は自己粘着性のあるグリーンシ
ートを用いる場合の装置構成の一例を示したものであ
る。図において２５はリール、２６、２７は保護フィル
ム、２８〜３２はロール、３３は粘着防止剤槽をそれぞ
れ表している。

【００６０】保護フィルム２６、２７と共にリール１８
に巻き付けられたグリーンシート１４の保護フィルム２
６をロール２８で剥離し、リール２５で巻き取る。次い
で、片面のみに保護フィルム２７のついたグリーンシー
ト１４をロール２９、３０、３１、３２及び加熱装置２
２を経由して溝付きロール４に導く。この際、保護フィ
ルム２７はロール３２においてグリーンシートから剥離
し、リール１９で巻き取っておく。一方、自己粘着性の
あるグリーンシート１４がロール４に粘着しないよう
に、ロール２９の部分で粘着防止剤槽３３を通過させる
ことにより、ロール４と接触する側に粘着防止剤を塗布
しておく。

【００６１】そして、予め加熱装置２３で加熱した基板
１と加熱装置２２で加熱されたグリーンシート１４を重
ね、溝付きロール４と平ロール２４によって加圧し、片
面にロール４の溝を転写しながら基板１の表面に貼り付
けていく。そして、所要の長さになると切断装置（図示
せず）により切断することで隔壁リブが形成される。こ
こで、ロール４で溝を成形した際のシートの伸びは、リ
ール１８あるいはロール２７、３０、３１のどこかで僅
かにブレーキをかけることでグリーンシート１４に前方
張力１５を発生させることによって吸収できる。

【００６２】《実施例４》次に、本発明第四の実施例に
ついて説明する。

【００６３】図８は本実施例の第四の実施例を示す図で
ある。本実施例は圧延加工により予め片面に隔壁リブを
形成したグリーンシートを基板上に貼り付ける方法であ
る。

【００６４】図において３４及び３５はそれぞれ後方及
び前方張力を示す。

【００６５】所要の隔壁リブ高さより若干厚い粉末ガラ
スグリーンシート１４を作製し、同図（ｂ）に示すよう
に溝付きロール４と平ロール２４を用いた圧延加工によ
り片面に隔壁リブを形成する。この際、溝付きロール４
及びグリーンシート１４は予めグリーンシート中の有機
結合材の熱可塑温度以上に加熱しておく。またグリーン
シート１４には前方張力３４及び後方張力３５を付加す
る。

【００６６】圧延加工においては溝付きロール４の凸部
と平ロール２４で圧縮された材料の大半は圧延方向の伸
びとして現れ、板厚方向にはほとんど流動しないことか
ら、初期のグリーンシート厚さは所望の隔壁リブの高さ
より若干厚くしておくことが必要である。しかしなが
ら、隔壁リブ間の溝に相当する部分の材料は長手方向に
伸びて行くため材料は無駄にならない。

【００６７】このようにしてリブ５を成形したグリーン
シート１４を必要な長さに切断し、有機結合材を溶解す
るような有機溶剤あるいは接着剤を平坦面側に塗布した
状態で電極２を形成した基板１上に位置決め接着するこ
とでグリーンシート１４を基板に固定する。この状態で
グリーンシートを焼結し、さらに隔壁リブ側壁部及び表
示部６に蛍光体７を塗布し、焼成することで背面基板８
が得られる。

【００６８】《実施例５》次に図９は本発明の別の実施
例を示す説明図であり、図８の変形例を示す実施例であ
る。図において３６は成形後のグリーンシートの表示セ
ル部に設けられた開口部である。

【００６９】本実施例は基本的には図８の実施例と同じ
であるが、前記図８の方法で隔壁リブを成形する場合、
隔壁リブ間の溝部すなわち表示セル相当部にも必ずグリ
ーンシートの残りがある。そこで、この残り部分を無く
して、電極２を放電空間に露出させることを目的に図８
（ｃ）の工程の後でこの表示セルの底の部分に図９
（ｃ）のように開口を設けたものである。この開口を形
成する方法としては、例えば、ガルバノミラーなどを用
いてビームを偏向位置決め走査する方式の炭酸ガスレー
ザにより直接穴あけする方法や、成形後のグリーンシー
トの平坦面側にエッチングなどで所望の開口を形成した
メタルマスクを載置し、それを介して長尺のライン状に
ビーム成形したエキシマレーザを照射する方法などがあ
る。また、グリーンシート１４の段階で圧延加工後の伸
びを考慮して予めプレス打ち抜き法などにより穴を加工
しておく方法でも良い。

【００７０】以上述べた実施例においては図１０に示す
ようなロール円周方向にリング状に複数の溝を形成し
た、いわゆる縦溝ロール４を用いた場合について説明し
た。このロールの利点はロール溝の側壁の傾斜角を変化
させることで隔壁リブの側壁にも任意の傾斜を形成する
ことができる点である。さらに、各ロール溝ピッチがロ
ール径には無関係であることから溝ピッチ精度を確保し
易いという利点もある。しかしながら、ロール形状は図
１０の縦溝型のものに限るものではなく、変形例として
図１１〜１３のようなロールを用いることもできる。

【００７１】図１１に示すロール３７はロール軸と平行
の溝を外周円筒面に等間隔で複数本形成したものであ
る。この場合は、図１０のロール４を用いる場合と直交
する方向から成形することによりロール４を用いた場合
と同じ結果が得られる。ただし、このロールでは溝ピッ
チに合わせてロール径を決めなければ円周を等分割する
ように溝を形成できないという問題がある。この問題を
避けるにはそロール径を大きくし、ロール１回転以内で
基板全面にわたる成形が終了するような工夫を要する。
また、ロールの凸部がペーストから離脱する際に、ロー
ルの凸部と成形された隔壁リブが干渉しないように、ロ
ール溝の側面に傾斜を設ける必要がある。

【００７２】次に、図１２、１３は表示セルを隔壁リブ
５で囲む場合のロール形状である。

【００７３】図１２に示すロール３８は各表示セルに対
して［］状となるように隔壁リブ５を形成するためのセ
ル付きロールである。

【００７４】図１３に示すロール３９は各表示セルを完
全に囲むように隔壁リブ５を形成するためのセル付きロ
ールである。

【００７５】これらの例のように表示セルを隔壁リブで
囲むことにより隣接する表示セル間での誤放電やクロス
トークが防止でき、コントラストが高くなるという優れ
た特徴が発揮される。

【００７６】以上述べた溝付きロールにより隔壁リブを
転写加工する方法は前述のように隔壁リブ形成スループ
ットと材料歩留まりが高いという優れた特徴があるが、
本発明の別の利点として隔壁リブ側壁部の傾斜角度を任
意に制御できるということが挙げられる。特に縦溝ロー
ルにおいてその特徴が顕著に発揮される。つまり、ロー
ル溝を加工する時点で側壁部に相当する部分に傾斜を持
たせておけば、成形された隔壁リブの側壁に傾斜をある
程度自由に持たせることが可能である。すなわち、隔壁
リブの形状を制御することが可能であり、これは印刷法
やサンドブラスト法には無い大きな利点である。

【００７７】そして、この傾斜は焼結後も維持されるこ
とから、次工程で蛍光体７を塗布した際に隔壁リブの側
壁部にも十分蛍光体が保持され、表示セルに加えて隔壁
リブ側壁部も発光に寄与することになるため実質的な発
光面積が大きくなり、発光効率が高くなる。

【００７８】これまでは、背面基板側へ隔壁を形成する
例について説明してきたが、本発明を前面基板側の隔壁
形成に適用しても同様の効果が得られることは言うまで
もない。

【００７９】《実施例６》最後に、これまで説明してき
たガス放電型表示パネルの全体構造と、それを用いた表
示装置について説明する。

【００８０】図１７は、ガス放電型表示パネルの全体構
造の一例である。（ａ）はアドレス電極１０００に平行
な断面を、（ｂ）はアドレス電極１０００に垂直な
（ａ）に示した図のＡ−Ｂ断面を、（ｃ）はアドレス電
極１０００に垂直な（ａ）に示した図のＣ−Ｄ断面を示
している。

【００８１】図において、１００は前面基板、２００は
背面基板、３００、１３００は放電空間、４００は前面
ガラス基板、５００は背面ガラス基板、６００は前面ガ
ラス基板上に形成された表示電極、７００は表示電極上
に形成されたバス電極、８００は誘電体層、９００はMg
O等の保護膜、１０００はアドレス電極、１１００は隔
壁リブ、１２００は蛍光体層を示す。

【００８２】このガス放電型表示パネルでは、前面基板
４００に設けた１対の表示電極６００の間に交流電圧を
印加し、背面基板５００に設けたアドレス電極１０００
と表示電極６００の間に電圧を印加することによってア
ドレス放電を発生させ、所定の放電セルに主放電を発生
させる。この主放電で発生する紫外線により各々の放電
セルに塗り分けられた赤、緑及び青の蛍光体１２００を
発光させ、表示を行っている。

【００８３】図から分かるように、本発明の隔壁リブ１
１００はアドレス電極１０００と背面ガラス基板５００
を覆うように形成されている。図１８は、図１７に示す
ようなガス放電型表示パネルを用いた表示装置の一例で
ある。

【００８４】図において、２０００は図１７に示すよう
な本発明の隔壁リブ構造を有するガス放電型表示パネ
ル、２１００はアドレスドライバ、２２００はスキャン
ドライバ、２３００はパルスジェネレータ、２４００は
レベルシフタ、２５００はコントロール回路、２６００
はオートパワーコントロール回路、２７００はDC/DCコ
ンバータを示す。この構成において、アドレスドライバ
２１００とスキャンドライバ２２００によって表示セル
の選択を行い、パルスジェネレータ２３００で発生した
電圧によって表示のための主放電を発生させる。これら
の制御は、コントロール回路２５００によって行われ
る。コントロール回路２５００からスキャンドライバ２
２００への制御信号の転送は、レベルシフタ２４００を
介して行われる。オートパワーコントロール回路２６０
０は高圧電源電流を検出して規定値を超えた場合に維持
放電パルスの数を減少させる信号をコントロール回路２
５００に送出するものであり、DC/DCコンバータ２７０
０は外部回路から供給される電圧から駆動回路用の内部
電圧を発生させるものである。

【００８５】このような駆動系回路を用いればガス放電
型表示パネルの有する所望の表示セルを発光させること
ができる。

【００８６】最後に図１９は、本発明と従来のブラスト
法、印刷法との相違をまとめたものである。これは隔壁
リブ材を形成して焼成するまでの相対比で表現してい
る。

【００８７】図から分かるように、本発明は工程数、製
造タクト、隔壁材料消費量のいずれにおいても優れてい
る。また、他の従来技術のように隔壁リブを形成するた
めの補材も不要となり、製造コストを低減できることも
分かる。

【００８８】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、大量生
産されるガス放電型表示パネルにおける製造プロセスコ
ストの大幅低減とスループットの大幅向上が図ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１の製造方法を示す説明図であ
る。

【図２】本発明の実施例２の製造方法を示す説明図であ
る。

【図３】本発明の実施例１の製造装置構成を示す説明図
である。

【図４】本発明の実施例２の製造装置構成を示す説明図
である。

【図５】本発明の実施例３の製造方法を示す説明図であ
る。

【図６】本発明の実施例３に用いる製造装置構成を示す
説明図である。

【図７】本発明の実施例３の変形例に用いる製造装置構
成を示す説明図である。

【図８】本発明の実施例４の製造方法を示す説明図であ
る。

【図９】本発明の実施例５の製造方法を示す説明図であ
る。

【図１０】本発明の隔壁製造工程に用いる成形ロールの
一実施例を示す説明図である。

【図１１】本発明の隔壁製造工程に用いる成形ロールの
一実施例を示す説明図である。

【図１２】本発明の隔壁製造工程に用いる成形ロールの
一実施例を示す説明図である。

【図１３】本発明の隔壁製造工程に用いる成形ロールの
一実施例を示す説明図である。

【図１４】従来技術による背面基板の製造工程を示す説
明図である。

【図１５】従来技術による背面基板の別の製造工程を示
す説明図である。

【図１６】従来技術による背面基板の別の製造工程を示
す説明図である。

【図１７】本発明の隔壁リブ構造を備えたガス放電型表
示パネルを示す図である。

【図１８】本発明の隔壁リブ構造を備えた表示装置を示
す図である。

【図１９】本発明の効果を示す図である。

【符号の説明】

１…背面基板、２…電極、３…ガラスペースト、４…溝
付きロール、４ａ…ロールと電極のギャップ、５…隔壁
リブ、６…表示セル、７…蛍光体、８…背面基板、９…
紫外線硬化型有機結合材を含有するガラスペースト、１
０…紫外光、１１…ガラスペスト厚膜形成装置、１２…
バックアップロール、１３…伝導あるいは輻射熱、１４
…グリーンシート、１５…前方張力、１６…接着剤、１
７…キャリアフィルム、１８、１９…リール、２０、２
１…ロール、２２、２３…加熱装置、２４…平ロール、
２５…リール、２６、２７…保護フィルム、２８、２
９、３０、３１、３２…ロール、３３…粘着防止剤槽、
３４…後方張力、３５…前方張力、３６…開口部、３７
…横溝ロール、３８…セル付きロール、３９…セル付き
ロール、４０…ドライフィルムレジスト、４１…フィル
ム基材、４２…溝型

フロントページの続き (72)発明者 伊集院 正仁 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式 会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 槌田 誠一 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式 会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 兼頭 修身 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式 会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 村瀬 友彦 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式 会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 鈴木 重明 東京都千代田区神田駿河台四丁目６番地株 式会社日立製作所家電・情報メディア事業 本部内 (72)発明者 佐藤 了平 東京都千代田区神田駿河台四丁目６番地株 式会社日立製作所家電・情報メディア事業 本部内 (72)発明者 内藤 豊 東京都千代田区神田駿河台四丁目６番地株 式会社日立製作所家電・情報メディア事業 本部内 (72)発明者 加藤 義弘 東京都千代田区神田駿河台四丁目６番地株 式会社日立製作所家電・情報メディア事業 本部内 (72)発明者 安元 精一 東京都千代田区神田駿河台四丁目６番地株 式会社日立製作所家電・情報メディア事業 本部内

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電極を形成した基板にガラスペーストを塗
   布する工程と、 隔壁リブとなる溝形状を形成したロールを回転させ、該
   基板に塗布したガラスペーストを隔壁リブに成形する工
   程と、 該成形した隔壁リブを焼結する焼結工程とを有すること
   を特徴とするガス放電型表示パネルの製造方法。
2. 【請求項２】前記ガラスペーストは、有機溶剤を成分と
   して含み、 前記ロールを加熱することで有機溶剤を気化させ、前記
   隔壁リブを成形することを特徴とする請求項１記載のガ
   ス放電型表示パネルの製造方法。
3. 【請求項３】前記ガラスペーストは、紫外線硬化型の有
   機結合材を成分として含み、 紫外線を照射することで前記ガラスペーストを硬化さ
   せ、前記隔壁リブを成形することを特徴とする請求項１
   記載のガス放電型表示パネルの製造方法。
4. 【請求項４】前記紫外線の照射は、前記ロールとガラス
   ペーストが接触する領域で行うことを特徴とする請求項
   ３記載のガス放電型表示パネルの製造方法。
5. 【請求項５】隔壁リブとなる溝形状を形成したロールを
   回転させ、グリーンシートを隔壁リブに成形する工程
   と、 電極を形成した基板に該隔壁リブを成形したグリーンシ
   ートを載置する工程と、 該基板に載置したグリーンシートを焼結する工程とを有
   することを特徴とするガス放電型表示パネルの製造方
   法。
6. 【請求項６】表面に電極を形成した基板にグリーンシー
   トを載置する工程と、 隔壁リブとなる溝形状を形成したロールを回転させ、該
   グリーンシートを隔壁リブに成形する工程と、 該基板に載置したグリーンシートを焼結する工程とを有
   することを特徴とするガス放電型表示パネルの製造方
   法。
7. 【請求項７】前記グリーンシートは、熱可塑性有機結合
   材を成分として含み、 加熱することで前記グリーンシートを軟化させ、前記隔
   壁リブを成形することを特徴とする請求項５又は６記載
   のガス放電型表示パネルの製造方法。
8. 【請求項８】前記ロールは、円筒部表面の円周方向にリ
   ング状に形成された溝を有することを特徴とする請求項
   １から７のいずれかに記載のガス放電型表示パネルの製
   造方法。
9. 【請求項９】前記ロールは、円筒部表面にセル状の凸部
   を有することを特徴とする請求項１から７のいずれかに
   記載のガス放電型表示パネルの製造方法。
10. 【請求項１０】複数の表示電極を有する前面基板と、 複数のアドレス電極と、隔壁リブとを有する背面基板と
    からなり、 該隔壁リブは、該隔壁リブとなる部材をロールにより圧
    延して形成されたことを特徴とするガス放電型表示パネ
    ル。
11. 【請求項１１】複数の表示電極を有する前面基板と、 複数のアドレス電極を有する背面基板と、 該前面基板と該背面基板との間に配置され、かつ所定の
    部材をロールにより圧延して形成された隔壁リブとから
    なることを特徴とするガス放電型表示パネル。
12. 【請求項１２】前記隔壁リブは前記アドレス電極上に複
    数の開口部を有することを特徴とする請求項１０又は１
    １記載のガス放電型表示パネル。
13. 【請求項１３】複数の表示電極を有する前面基板と、複
    数のアドレス電極と、隔壁リブとを有する背面基板とか
    らなり、該隔壁リブを該隔壁リブとなる部材をロールに
    より圧延して形成したガス放電型表示パネルと、 該表示電極もしくは/および該アドレス電極に対して所
    定の駆動電圧波形を供給する駆動回路とを備えたことを
    特徴とする表示装置。
14. 【請求項１４】複数の表示電極を有する前面基板と、複
    数のアドレス電極を有する背面基板と、該前面基板と該
    背面基板との間に配置され、かつ所定の部材をロールに
    より圧延して形成された隔壁リブとからなるガス放電型
    表示パネルと、 該表示電極もしくは/および該アドレス電極に対して所
    定の駆動電圧波形を供給する駆動回路とを備えたことを
    特徴とする表示装置。
15. 【請求項１５】前記隔壁リブは前記アドレス電極上に複
    数の開口部を有することを特徴とする請求項１３又は１
    ４記載の表示装置。