JPH10189242A - 波長変換型発光装置 - Google Patents
波長変換型発光装置Info
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- JPH10189242A JPH10189242A JP8340979A JP34097996A JPH10189242A JP H10189242 A JPH10189242 A JP H10189242A JP 8340979 A JP8340979 A JP 8340979A JP 34097996 A JP34097996 A JP 34097996A JP H10189242 A JPH10189242 A JP H10189242A
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Abstract
が得られようにすると共に、微細な部分においても様々
な色彩の光が得られ、繊細なカラー表示が行なえるよう
にする。 【構成】 波長変換型発光装置において、光照射体2の
出射面側に光透過性基材1を設けると共に、この光透過
性基材に上記の光照射体から出射された光の波長を変換
する波長変換材料で構成された波長変換部3R,3G,
3Bを設け、この波長変換部の断面形状が中央部より周
辺部に向かって厚みが薄くなるように形成した。
Description
置に係り、様々な光照射体から出射された光の波長を変
換させて、様々な色彩の光が得られるようにする波長変
換型発光装置に関するものである。
の目的で、様々な色彩の光を得る方法が種々検討されて
おり、一般には、白色光をカラーフィルターに通して
赤、緑、青の光を得ることが行なわれていた。
ターに通して赤、緑、青の光を得るようにした場合、カ
ラーフィルターにおける光の吸収により得られる光の輝
度が低下するという問題があった。
ド素子や、有機及び無機エレクトロルミネッセンス素子
等の自己発光素子を用い、これらの自己発光素子から様
々な色彩の光が得られるようにすることについて検討が
行なわれるようになった。
て、様々な色彩について高輝度の発光を得ることは困難
であり、例えば、発光ダイオード素子の場合には、青色
や緑色等の高輝度な発光が得られなかったり、また有機
エレクトロルミネッセンス素子の場合には、赤色の高輝
度な発光が得られない等の問題があった。
の場合、微細化が困難であるために、発光部分の寸法が
大きくなり、繊細なカラー表示が行なえない等の問題も
あった。
ーの表示を行なう等の目的で、様々な色彩の光を得る場
合における上記のような問題を解決することを課題とす
るものであり、様々な色彩について高輝度の光を得られ
るようにすると共に、微細な部分においても様々な色彩
の光が得られ、繊細なカラー表示が行なえるようにする
ことを課題とするものである。
記のような課題を解決するため、光照射体の出射面側に
光透過性基材が設けられると共に、この光透過性基材に
上記の光照射体から出射された光の波長を変換する波長
変換材料で構成された波長変換部が設けられ、この波長
変換部の断面形状が中央部より周辺部に向かって厚みが
薄くなるように形成された波長変換型発光装置を開発し
たのである。
装置においては、上記の光照射体から出射された光が光
透過性基材に設けられた波長変換部に導かれ、この波長
変換部を構成する波長変換材料によって光照射体から出
射された光の波長が変換されて、この波長変換部から特
定の色彩の光が得られるようになる。
波長を波長変換部を構成する波長変換材料により変換さ
せて異なった色彩の光を得るようにすると、白色光をカ
ラーフィルターに通して特定の色彩の光を得る場合に比
べて、得られる光の輝度が低下するということが少な
く、特定の色彩の高輝度な光が得られるようになる。
置においては、波長変換部を構成する波長変換材料を適
当に選択することにより、前記の自己発光素子において
は得られなかった様々な色彩についても高輝度の光が得
られるようになり、また波長変換材料を用いて波長変換
部を形成する場合に、波長変換部を微細なパターンに加
工することができ、自己発光素子を用いた場合に比べて
繊細なカラー表示が行なえるようになる。
装置においては、上記の波長変換部の断面形状が中央部
より周辺部に向かって厚みが薄くなるように形成してい
るため、光照射体から出射された光がこの波長変換部に
閉じ込められ、この波長変換部を構成する波長変換材料
に上記の光が十分に吸収されて波長の変換が効率良く行
なわれ、この波長変換部から特定の色彩になった高輝度
な光が得られるようになる。
換部を設けるにあたって、光照射体から出射された光を
それぞれ異なった波長の光に変換する複数の波長変換部
を設け、例えば、赤色の光に変換する波長変換部と、緑
色の光に変換する波長変換部と、青色の光に変換する波
長変換部とを設けると、高輝度で繊細なフルカラーの表
示が行えるようになる。
らの光を導光板を用いて導くようにしたものを用いるこ
ともできるが、上記の波長変換部において光の波長の変
換が効率良く行なえるようにすると共に、その駆動の制
御も容易に行なえるようにするため、一定範囲の波長の
光を出射する発光ダイオード素子や有機及び無機エレク
トロルミネッセンス素子等の自己発光素子を用いること
が好ましく、特に、1種類の自己発光素子から発光され
た光を、上記の波長変換部において高輝度な様々な色彩
の光に変換させるにあたっては、波長が400nm以下
の紫外線を照射する発光ダイオードを用いることが好ま
しい。
子を複数設けるようにすると、各自己発光素子の駆動を
適切に走査させて、適当な位置における波長変換部を発
光させることができ、これによって右目用と左目用の映
像を表示させることができるようになり、カラー液晶パ
ネル等と組み合わせることにより、フルカラーの立体映
像システムの表示装置としても利用できるようになる。
射された光の波長を変換させる波長変換材料としては、
光照射体から出射された光を吸収して励起され、蛍光や
遅延蛍光や燐光や高調波光等の光を発する材料を用いる
ようにし、光照射体から出射された光の波長や、波長変
換部において波長変換させて出射する色彩の波長等に応
じて適当な材料を選択して用いるようにする。
材料に、光照射体から出射された光を吸収して遅延蛍光
や燐光を発する材料を使用した場合、一般的特性とし
て、蛍光に比べて発光寿命が長くなり、光照射体から出
射された光が短時間のパルス光の場合においても、この
波長変換部からはパルス幅の長い光が得られるようにな
る。
光装置を添付図面に基づいて具体的に説明する。なお、
この発明における波長変換型発光装置は、特に下記の実
施例に示したものに限定されるものではなく、その要旨
を変更しない範囲において適宜変更して実施できるもの
である。
型発光装置においては、図1に示すように、サファイア
即ちα−アルミナ結晶で構成され一辺が16mmの正方
形状になった光透過性基材1の片面に、光照射体2とし
て370nm付近に発光ピーク波長を有する紫外線を照
射する発光ダイオード素子2を設けている。
には、図1及び図2に示すように、上記の発光ダイオー
ド素子2から出射された光の波長を変換させて、赤色の
光を発するライン状の波長変換部3Rと、緑色の光を発
するライン状の波長変換部3Gと、青色の光を発するラ
イン状の波長変換部3Bとを順々に設けている。
Bはそれぞれ幅が0.8mm、長さが12mmの長方形
状になっており、また各波長変換部3R,3G,3Bの
断面形状はそれぞれ中央部より周辺部に向かって厚みが
薄くなったドーム状になっている。
面に設けられる発光ダイオード素子2は、上記の光透過
性基材1の片面に層厚が約110ÅのAlx Ga1-x N
(x=0.5)からなるバッファ層21と、層厚が約
0.2μmのn型GaNからなる下地層22と、層厚が
約1.4μmでSiがドープされたn型GaNからなる
発光層23と、層厚が約0.15μmでMgがドープさ
れたp型Alz Ga1-zN(z=0.2)からなるクラ
ッド層24と、層厚が約0.3μmでMgがドープされ
たp型GaNからなるコンタクト層25とが積層される
と共に、上記のn型GaNからなる発光層23にAlか
らなるn側電極26が設けられる一方、上記のp型Ga
Nからなるコンタクト層25にAuからなるp側電極2
7と、このp側電極27を保護するAl膜28とが積層
された構造になっている。
造するにあたっては、有機金属化学気相成長法(MOC
VD法)によって上記の光透過性基材1の片面に上記の
各層を形成することができる。
性基材1を設置し、この光透過性基材1を、非単結晶成
長温度、例えば600℃の成長温度に保持した状態で、
キャリアガスに水素を、原料ガスにアンモニアとトリメ
チルガリウム(TMG)とトリメチルアルミニウム(T
MA)を用いて、光透過性基材1上に非単結晶のAlG
aNからなるバッファ層21を成長させる。
成長温度、好ましくは1100〜1200℃の範囲、例
えば1150℃の成長温度に保持した状態で、キャリア
ガスに水素を、原料ガスにアンモニアとトリメチルガリ
ウム(TMG)を用いて、単結晶のn型GaNからなる
下地層22を成長させる。
温度、好ましくは1000〜1200℃の範囲、例えば
1150℃の成長温度に保持した状態で、キャリアガス
に水素を、原料ガスにアンモニアとトリメチルガリウム
(TMG)を、ドーパントガスにSiH4 を用いて、単
結晶でSiがドープされたn型GaNからなる発光層2
3を成長させる。
温度、好ましくは1000〜1200℃の範囲、例えば
1150℃の成長温度に保持した状態で、キャリアガス
に水素を、原料ガスにアンモニアとトリメチルガリウム
(TMG)とトリメチルアルミニウム(TMA)を、ド
ーパントガスにCp2 Mg(シクロペンタジエニルマグ
ネシウム)を用いて、単結晶でMgがドープされたp型
AlGaNからなるクラッド層24を成長させる。
結晶成長温度、好ましくは1000〜1200℃の範
囲、例えば1150℃の成長温度に保持した状態で、キ
ャリアガスに水素を、原料ガスにアンモニアとトリメチ
ルガリウム(TMG)を、ドーパントガスにCp2 Mg
(シクロペンタジエニルマグネシウム)を用いて、Mg
がドープされたp型GaNからなるコンタクト層25を
成長させる。
各層を成長させた後、この光透過性基材1を上記の化学
気相成長装置から取り出し、反応性イオンビームエッチ
ング法(RIE法)によるエッチングによって上記のn
型の発光層23の一部を露出させる。
蒸着法等によりAuからなるp側電極27とこのp側電
極27を保護するAl膜28とを設ける一方、上記のよ
うに露出されたn型の発光層23の部分に蒸着法等によ
りAlからなるn側電極26を設けて発光ダイオード2
を形成する。
られた面と反対側における光透過性基材1の面に、上記
の各波長変換部3R,3G,3Bを設けるにあたって
は、図3及び図4に示すように、真空チャンバー31内
の上部に、上記の赤色の光を発する波長変換部3Rを構
成する波長変換材料を格納したクヌーセンセル型蒸着源
32Rと、緑色の光を発する波長変換部3Gを構成する
波長変換材料を格納したクヌーセンセル型蒸着源32G
と、青色の光を発する波長変換部3Bを構成する波長変
換材料を格納したクヌーセンセル型蒸着源32Bを設
け、上記の光透過性基材1をこの真空チャンバー31内
にセットすると共に、この光透過性基材1と0.7mm
の間隔を介してその上方に厚さ約0.8mmのステンレ
ス鋼板で構成されて、幅0.65mm、長さ12mmの
長方形のスリット33aが中心の間隔3.3mm毎に複
数設けられたメタルマスク33を配し、この真空チャン
バー31内の圧力を10-6Torr以下にする。
32R,32G,32Bから各波長変換材料を、順々に
上記のメタルマスク32のスリット32aを通して上記
の光透過性基材1上に蒸着させて、光透過性基材1上に
ライン状になった各波長変換部3R,3G,3Bを設け
るようにする。なお、このようにしてライン状になった
各波長変換部3R,3G,3Bを設けると、その断面形
状がそれぞれ中央部より周辺部に向かって厚みが薄くな
ったドーム状になる。
3G,3Bを設けるにあたっては、その中央部の厚みが
50nm以上で200μm以下にすることが好ましく、
特に1μmないし10μmにすることが好ましい。
を構成する波長変換材料としては、下記の化1に示す亜
鉛ポリフィリンZnPrや、下記の化2に示す亜鉛錯体
ZnAc2 を用いることができる。なお、亜鉛ポリフィ
リンZnPrから生じる蛍光のピーク波長は640nm
付近にあり、また亜鉛錯体ZnAc2 から生じる蛍光の
ピーク波長は660nm付近にある。
構成する波長変換材料としては、下記の化3に示すベリ
リウム錯体BeBq2 や、下記の化4に示すアルミニウ
ム錯体Alq3 を用いることができる。なお、ベリリウ
ム錯体BeBq2 から生じる蛍光のピーク波長は515
nm付近にあり、またアルミニウム錯体Alq3 から生
じる蛍光のピーク波長は525nm付近にある。
構成する波長変換材料としては、下記の化5に示すオキ
サジアゾール誘導体OXDや、下記の化6に示す亜鉛ア
ゾメチン錯体AZMや、下記の化7に示すピラゾリン誘
導体PYR−D1や、下記の化8に示すピラゾリン誘導
体PYR−D3を用いることができる。なお、オキサジ
アゾール誘導体OXDから生じる蛍光のピーク波長は4
82nm付近にあり、また亜鉛アゾメチン錯体から生じ
る蛍光のピーク波長は450nm付近にあり、またピラ
ゾリン誘導体PYR−D1から生じる蛍光スペクトルは
図5に示す通りで蛍光のピーク波長は490nm付近に
あり、またピラゾリン誘導体PYR−D3から生じる蛍
光スペクトルは図6に示す通りで蛍光のピーク波長は4
60nm付近にある。
光装置において、上記の発光ダイオード2に設けたn側
電極26とp側電極27との間に約3.5V以上の直流
電圧を印加すると、上記の発光層23から370nm付
近の波長においてピークを有する紫外線が出射され、こ
のように出射された紫外線が光透過性基材1を通して上
記の各波長変換部3R,3G,3Bに導かれ、この紫外
線が各波長変換部3R,3G,3Bにおける各波長変換
材料に吸収されて各波長変換材料が励起され、波長変換
部3Rからは赤色の蛍光Rが、波長変換部3Gからは緑
色の蛍光Gが、波長変換部3Bからは青色の蛍光Bが出
射されるようになる。
上記のように断面形状がそれぞれ中央部より周辺部に向
かって厚みが薄くなったドーム状になっているため、各
波長変換部3R,3G,3Bに導かれた上記の紫外線が
各波長変換部3R,3G,3Bの内部に閉じ込められ、
各波長変換部3R,3G,3Bにおける各波長変換材料
に紫外線が効率よく吸収されて変換され、各波長変換部
3R,3G,3Bからそれぞれ高輝度な蛍光R,G,B
が得られる。
央部の厚みは、発光ダイオード素子2の発光ピーク波長
である370nm付近での光透過率が40%以下になる
ように形成することが望ましい。さらに望ましくは、蛍
光R,G,Bの発光ピーク波長における光透過率が50
%以上になるように、各波長変換部3R,3G,3Bに
おける光吸収スペクトルの形状を考慮して形成すること
が好ましい。
型発光装置においては、図7に示すように、サファイア
で構成された光透過性基材1の片面に、光照射体2とし
て、370nm付近に発光ピーク波長を有する紫外線を
照射する発光ダイオード素子2のチップを複数設けてい
る。
ダイオード素子2のチップは、図8に示すように、サフ
ァイアで構成された基板20の上に、上記の実施例1の
場合と同様にして、層厚が約110ÅのAlx Ga1-x
N(x=0.5)からなるバッファ層21と、層厚が約
0.2μmのn型GaNからなる下地層22と、層厚が
約1.4μmでSiがドープされたn型GaNからなる
発光層23と、層厚が約0.15μmでMgがドープさ
れたp型Alz Ga1-z N(z=0.2)からなるクラ
ッド層24と、層厚が約0.3μmでMgがドープされ
たp型GaNからなるコンタクト層25が積層され、上
記のn型GaNからなる発光層23に、Alからなるn
側電極26が設けられる一方、上記のp型GaNからな
るコンタクト層25に、Auからなるp側電極27が設
けられた構造になっている。
なるチップを、図9に示すように、所定パターンの電極
41,42が設けられた基板40上に順々に配列させ、
各発光ダイオード素子2におけるn側電極26を電極4
1に、p側電極27を電極42に接続させると共に、各
発光ダイオード素子2の周囲に、それぞれの発光ダイオ
ード素子2から出射された紫外線を反射させる反射体4
3を設けている。
過性基材1の片面には、図7に示すように、上記の実施
例1の場合と同様にして、発光ダイオード素子2から出
射された光の波長を変換させて、赤色の光を発するライ
ン状の波長変換部3Rと、緑色の光を発するライン状の
波長変換部3Gと、青色の光を発するライン状の波長変
換部3Bとを順々に設け、各波長変換部3R,3G,3
Bの断面形状が、それぞれ中央部より周辺部に向かって
厚みが薄くなったドーム状になるように形成している。
長変換部3R,3G,3Bが設けられた光透過性基材1
を、図7に示すように、上記の発光ダイオード素子2の
チップが配列された基板40上にスペーサー44を介し
て設け、光透過性基材1に設けられた各波長変換部3
R,3G,3Bが上記の発光ダイオード素子2と反対側
に位置するようにしている。
光装置において、上記の電極41,42を介して発光ダ
イオード2に設けたn側電極26とp側電極27との間
に約3.5V以上の直流電圧を印加すると、上記の実施
例1の場合と同様に、電圧が印加された発光ダイオード
2における発光層23から370nm付近の波長におい
てピークを有する紫外線が出射され、このように出射さ
れた紫外線が光透過性基材1を通して上記の波長変換部
3R,3G,3Bに導かれ、この紫外線が波長変換部3
R,3G,3Bの波長変換材料に吸収されて波長変換材
料が励起され、波長変換部3Rからは赤色の蛍光Rが、
波長変換部3Gからは緑色の蛍光Gが、波長変換部3B
からは青色の蛍光Bが出射されるようになる。
装置においては、上記の各発光ダイオード2の駆動を適
切に走査し、適当な位置における波長変換部3R,3
G,3Bを発光させて右目用と左目用の映像を表示さ
せ、これをカラー液晶パネル等を通して右目と左目とに
それぞれの映像を与えることができ、立体映像の表示装
置として利用できるようになる。
型発光装置においては、図10に示すように、ガラスで
構成された光透過性基材1の片面に、光照射体2として
有機エレクトロルミネッセンス素子2を設ける一方、こ
の光透過性基材1の反対側の面に、上記の有機エレクト
ロルミネッセンス素子2から出射された光の波長を変換
させて、赤色の光を発するライン状の波長変換部3Rを
複数列設け、各波長変換部3Rの断面形状がそれぞれ中
央部より周辺部に向かって厚みが薄くなったドーム状に
なるようにしている。なお、赤色の光を発する波長変換
部3Rを構成する波長変換材料には前記の化1に示した
亜鉛ポリフィリンZnPrや、化2に示した亜鉛錯体Z
nAc2 を用いるようにする。
面に設ける上記の有機エレクトロルミネッセンス素子2
は、図9に示すように、ガラスで構成された上記の光透
過性基材1に、インジウム・錫酸化物で構成された透明
なホール注入電極201と、下記の化9に示すトリフェ
ニルアミン誘導体MTDATAで構成されたホール輸送
層202と、下記の化10に示すN,N’−ジフェニル
−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’−
ビフェニル−4,4’−ジアミンTPDからなるホスト
材料に下記の化11に示すルブレンが5重量%ドープさ
れて構成された発光層203と、前記の化3に示したB
eBq2 で構成された電子輸送層204と、マグネシウ
ム・インジウム合金で構成された電子注入電極205が
積層された構造になっている。
光装置において、上記のホール注入電極201と、電子
注入電極205との間に電圧を印加すると、上記の発光
層203におけるルブレンが発光し、上記の有機エレク
トロルミネッセンス素子2から図11に示すような発光
スペクトルを有し、562nm付近の波長にピークを有
する黄色の光が出射され、この黄色の光が光透過性基材
1を通して上記の各波長変換部3Rに導かれ、各波長変
換部3Rにおける波長変換材料に吸収されてこの波長変
換材料が励起され、各波長変換部3Rから高輝度な赤色
の蛍光Rが出射されるようになる。
波長変換型発光装置においては、光照射体から出射され
た光を光透過性基材に設けられた波長変換部に導き、こ
の波長変換部を構成する波長変換材料により光照射体か
ら出射された光の波長を変換させて、特定の色彩の光を
得るようにしたため、白色光をカラーフィルターに通し
て特定の色彩の光を得る場合に比べて、得られる光の輝
度が低下するという問題がなく、特定の色彩の高輝度な
光が得られるようになった。
置においては、上記の波長変換部の断面形状が中央部よ
り周辺部に向かって厚みが薄くなるように形成したた
め、光照射体から出射された光がこの波長変換部に閉じ
込められて、この波長変換部を構成する波長変換材料に
上記の光が十分に吸収されて波長の変換が効率良く行な
われ、この波長変換部から特定の色彩になった高輝度な
光が得られるようになった。
置において、波長変換部を構成する波長変換材料を適当
に選択すると、従来の自己発光素子においては得られな
かった様々な色彩についても高輝度の光が得られるよう
になり、また波長変換材料を用いて波長変換部を形成す
る場合に、波長変換部を微細なパターンに加工すること
ができ、自己発光素子を用いた場合に比べて繊細なカラ
ー表示が行なえるようになった。
置において、光透過性基材に波長変換部を設けるにあた
り、光照射体から出射された光をそれぞれ異なった波長
の光に変換する複数の波長変換部を設け、例えば、赤色
の光に変換する波長変換部と、緑色の光に変換する波長
変換部と、青色の光に変換する波長変換部とを設ける
と、高輝度で繊細なフルカラーの表示が行えるようにな
った。
置において、上記の光照射体に、発光ダイオード素子や
有機及び無機エレクトロルミネッセンス素子等の自己発
光素子を用いると、上記の波長変換部において光の波長
の変換が効率良く行なえるようになると共に、その駆動
の制御も容易に行なえるようになり、特に、波長が40
0nm以下の紫外光線を照射する発光ダイオードを用い
た場合には、この紫外光線の波長を上記の波長変換部に
おいて変換させて、高輝度な様々な色彩の光が得られる
ようになった。
装置において、光照射体として、複数の自己発光素子を
用いると、各自己発光素子の駆動を適切に走査させて、
適当な位置における波長変換部を発光させることによ
り、右目用と左目用の映像を表示させることができるよ
うになり、カラー液晶パネル等と組み合わせて使用する
ことにより、フルカラーの立体映像システムの表示装置
として利用できるようになった。
置の概略側面図である。
概略平面図である。
おいて、発光ダイオード素子が設けられた面と反対側の
光透過性基材の面に、各波長変換部を設ける状態を示し
た拡大説明図である。
おいて、発光ダイオード素子が設けられた光透過性基材
を真空チャンバー内にセットして各波長変換部を設ける
状態を示した概略説明図である。
おいて、青色の光を発する波長変換部に用いるピラゾリ
ン誘導体PYR−D1の蛍光スペクトルを示した図であ
る。
おいて、青色の光を発する波長変換部に用いるピラゾリ
ン誘導体PYR−D3の蛍光スペクトルを示した図であ
る。
置の概略側面図である。
おいて、光照射体として使用する発光ダイオード素子の
チップの構成を示した概略説明図である。
おいて、発光ダイオード素子のチップを所定パターンの
電極が設けられた基板上に取り付ける状態を示した部分
説明図である。
装置の概略側面図である。
において、発光層に用いたルブレンからの発光スペクト
ルを示した図である。
ミネッセンス素子 3R,3G,3B 波長変換部
Claims (6)
- 【請求項1】 光照射体の出射面側に光透過性基材が設
けられると共に、この光透過性基材に上記の光照射体か
ら出射された光の波長を変換する波長変換材料で構成さ
れた波長変換部が設けられ、この波長変換部の断面形状
が中央部より周辺部に向かって厚みが薄くなるように形
成されたことを特徴とする波長変換型発光装置。 - 【請求項2】 請求項1に記載した波長変換型発光装置
において、上記の光照射体が自己発光素子で構成されて
いることを特徴とする波長変換型発光装置。 - 【請求項3】 請求項2に記載した波長変換型発光装置
において、上記の光照射体を構成する自己発光素子が複
数に分割されて構成されていることを特徴とする波長変
換型発光装置。 - 【請求項4】 請求項1〜3の何れか1項に記載した波
長変換型発光装置において、上記の光照射体が紫外線を
照射する発光ダイオードで構成されていることを特徴と
する波長変換型発光装置。 - 【請求項5】 請求項1〜4の何れか1項に記載した波
長変換型発光装置において、前記の光透過性基材に、光
照射体から出射された光をそれぞれ異なった波長の光に
変換する複数の波長変換部が設けられていることを特徴
とする波長変換型発光装置。 - 【請求項6】 紫外線を照射する発光ダイオードで構成
された光照射体の出射面側に、この光照射体から出射さ
れた光の波長を変換する波長変換材料で構成された波長
変換部が設けられてなることを特徴とする波長変換型発
光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8340979A JPH10189242A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 波長変換型発光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8340979A JPH10189242A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 波長変換型発光装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004146962A Division JP2004297078A (ja) | 2004-05-17 | 2004-05-17 | 波長変換型発光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10189242A true JPH10189242A (ja) | 1998-07-21 |
Family
ID=18342086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8340979A Pending JPH10189242A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 波長変換型発光装置 |
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|---|---|
| JP (1) | JPH10189242A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1996
- 1996-12-20 JP JP8340979A patent/JPH10189242A/ja active Pending
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| US9268242B2 (en) | 2004-08-13 | 2016-02-23 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method involving a heater and a temperature sensor |
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| JP5015238B2 (ja) * | 2007-03-29 | 2012-08-29 | 新日鐵化学株式会社 | カラーフィルター用組成物及びカラーフィルター |
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