JPH10193596A - インクジェット記録ヘッド - Google Patents
インクジェット記録ヘッドInfo
- Publication number
- JPH10193596A JPH10193596A JP9002037A JP203797A JPH10193596A JP H10193596 A JPH10193596 A JP H10193596A JP 9002037 A JP9002037 A JP 9002037A JP 203797 A JP203797 A JP 203797A JP H10193596 A JPH10193596 A JP H10193596A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- channel
- channel group
- recording head
- channels
- group
- Prior art date
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- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 せん断モード変形を利用したインクジェット
記録ヘッドに関するもので、特にノズルの狭ピッチ化に
適した構成を提供する。 【解決手段】 圧電セラミックスプレート表面に、互い
に並行する複数のチャンネルよりなる第１のチャンネル
群と、互いに並行する複数のチャンネルよりなる第２の
チャンネル群とを、前記第１のチャンネル群を構成する
各チャンネル９の先端と第２のチャンネル群を構成する
各チャンネル９の先端とが所定幅の間隔部を有して、千
鳥状に位置するように形成し、前記第１のチャンネル群
および第２のチャンネル群を構成する各チャンネル９に
それぞれ対応して配置された複数のノズル５を有するカ
バー部材１２で、前記各チャンネル９を覆ったことを特
徴とする。
記録ヘッドに関するもので、特にノズルの狭ピッチ化に
適した構成を提供する。 【解決手段】 圧電セラミックスプレート表面に、互い
に並行する複数のチャンネルよりなる第１のチャンネル
群と、互いに並行する複数のチャンネルよりなる第２の
チャンネル群とを、前記第１のチャンネル群を構成する
各チャンネル９の先端と第２のチャンネル群を構成する
各チャンネル９の先端とが所定幅の間隔部を有して、千
鳥状に位置するように形成し、前記第１のチャンネル群
および第２のチャンネル群を構成する各チャンネル９に
それぞれ対応して配置された複数のノズル５を有するカ
バー部材１２で、前記各チャンネル９を覆ったことを特
徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電セラミックス
の隔壁により隔てられた互いに並行する複数のチャンネ
ルを有し、前記チャンネルの隔壁に形成された信号電極
への駆動電圧に応じて、前記隔壁を変形せしめ、その変
形にともなって前記チャンネル内に充填されているイン
クをそのチャンネルに連通したノズルより選択的に突出
せしめるインクジェット記録ヘッドに関するものであ
る。
の隔壁により隔てられた互いに並行する複数のチャンネ
ルを有し、前記チャンネルの隔壁に形成された信号電極
への駆動電圧に応じて、前記隔壁を変形せしめ、その変
形にともなって前記チャンネル内に充填されているイン
クをそのチャンネルに連通したノズルより選択的に突出
せしめるインクジェット記録ヘッドに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より、例えば特開昭６３−２５２７
５０号公報に開示のようにインク吐出原理として圧電素
子のせん断モード変形を利用したインクジェット記録装
置が考えられている。この構成は図４に示すように、大
きく圧電セラミックスのアクチュエータ部材１とカバー
プレート３とノズルプレート２とプリント配線板６とか
ら構成されている。そのアクチュエータ部材１には、ダ
イヤモンドプレード等により切削加工された互いに並行
する複数のチャンネル９が形成されている。また、その
チャンネル９間の隔壁は溝深さ方向に分極処理を施され
ている。
５０号公報に開示のようにインク吐出原理として圧電素
子のせん断モード変形を利用したインクジェット記録装
置が考えられている。この構成は図４に示すように、大
きく圧電セラミックスのアクチュエータ部材１とカバー
プレート３とノズルプレート２とプリント配線板６とか
ら構成されている。そのアクチュエータ部材１には、ダ
イヤモンドプレード等により切削加工された互いに並行
する複数のチャンネル９が形成されている。また、その
チャンネル９間の隔壁は溝深さ方向に分極処理を施され
ている。
【０００３】それらのチャンネル９は同じ深さであり、
かつ並行で、チャンネル９の深さは、図５に示すように
アクチュエータ部材１の後端面に近づくに従い次第に浅
くなっており、後端面付近にはチャンネル浅溝１０が形
成されている。そして、各チャンネル９の両側面の上側
半分には信号電極４がスパッタリングや蒸着等によって
形成されている。また、チャンネル浅溝１０においても
同様に側面及び底面に信号電極４がスパッタリングや蒸
着等によって形成されている。これによりチャンネル９
の両側面に形成された信号電極４はチャンネル浅溝１０
の底面に形成された信号電極４によって電気的に接続さ
れている。
かつ並行で、チャンネル９の深さは、図５に示すように
アクチュエータ部材１の後端面に近づくに従い次第に浅
くなっており、後端面付近にはチャンネル浅溝１０が形
成されている。そして、各チャンネル９の両側面の上側
半分には信号電極４がスパッタリングや蒸着等によって
形成されている。また、チャンネル浅溝１０においても
同様に側面及び底面に信号電極４がスパッタリングや蒸
着等によって形成されている。これによりチャンネル９
の両側面に形成された信号電極４はチャンネル浅溝１０
の底面に形成された信号電極４によって電気的に接続さ
れている。
【０００４】次に、カバープレート３は、セラミックス
材料または樹脂材料等から形成されている。また、カバ
ープレート３には、研削または切削加工等によって、イ
ンク供給口７が形成されている。そして、アクチュエー
タ部材１のチャンネル９の加工側の面とカバープレート
３をエポキシ系接着剤によって接着する。このようにし
て、インクジェット記録ヘッドにはチャンネル９の上面
が覆われて横方向に同じ間隔を有する複数のインク流路
としてのチャンネル９が構成される。そのチャンネル９
は長方形断面の細長い形状であり、全てのチャンネル内
には、インク供給口７からインクが充填される。
材料または樹脂材料等から形成されている。また、カバ
ープレート３には、研削または切削加工等によって、イ
ンク供給口７が形成されている。そして、アクチュエー
タ部材１のチャンネル９の加工側の面とカバープレート
３をエポキシ系接着剤によって接着する。このようにし
て、インクジェット記録ヘッドにはチャンネル９の上面
が覆われて横方向に同じ間隔を有する複数のインク流路
としてのチャンネル９が構成される。そのチャンネル９
は長方形断面の細長い形状であり、全てのチャンネル内
には、インク供給口７からインクが充填される。
【０００５】アクチュエータ部材１及びカバープレート
３の端面に、各チャンネル９の位置に対応した位置にノ
ズル５が位置するようにノズルプレート２が接着されて
いる。このノズルプレート２はポリイミド、ポリエーテ
ルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルスルホ
ン、ポリカーボネイト等のプラスチックによって形成さ
れている。
３の端面に、各チャンネル９の位置に対応した位置にノ
ズル５が位置するようにノズルプレート２が接着されて
いる。このノズルプレート２はポリイミド、ポリエーテ
ルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルスルホ
ン、ポリカーボネイト等のプラスチックによって形成さ
れている。
【０００６】そして、アクチュエータ部材１のチャンネ
ル９と反対側の面には、プリント配線板６がエポキシ系
接着剤等によって接着されている。そのプリント配線板
６には各チャンネルの位置に対応した位置に導電性パタ
ーン８が形成されている。その導電性パターン８とチャ
ンネル浅溝１０の底面の信号電極４はボンディングワイ
ヤー１１で接続されている。
ル９と反対側の面には、プリント配線板６がエポキシ系
接着剤等によって接着されている。そのプリント配線板
６には各チャンネルの位置に対応した位置に導電性パタ
ーン８が形成されている。その導電性パターン８とチャ
ンネル浅溝１０の底面の信号電極４はボンディングワイ
ヤー１１で接続されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】以上のような従来の構
成では、ノズルを形成するためにダイサーによる溝と隔
壁の幅が必要であり、ノズルピッチを短くするために
は、ダイサーの刃幅を狭くする等の切削手段の問題があ
るため、狭ピッチ化を実現することができず、高解像度
のせん断モード型インクジェットヘッドを作ることが困
難であった。
成では、ノズルを形成するためにダイサーによる溝と隔
壁の幅が必要であり、ノズルピッチを短くするために
は、ダイサーの刃幅を狭くする等の切削手段の問題があ
るため、狭ピッチ化を実現することができず、高解像度
のせん断モード型インクジェットヘッドを作ることが困
難であった。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
記録ヘッドは、圧電セラミックスプレート表面に、互い
に並行する複数のチャンネルよりなる第１のチャンネル
群と、互いに並行する複数のチャンネルよりなる第２の
チャンネル群とを、前記第１のチャンネル群を構成する
各チャンネルの先端と第２のチャンネル群を構成する各
チャンネルの先端とが所定幅の間隔部を有して、千鳥状
に位置するように形成し、前記第１のチャンネル群およ
び第２のチャンネル群を構成する各チャンネルにそれぞ
れ対応して配置された複数のノズルを有するノズルプレ
ートで、前記各チャンネルを覆ったことを特徴とするも
のであり、従来全て並列して配置されていたチャンネル
群を、第１のチャンネル群と第２のチャンネル群に分離
し、その第１のチャンネル群と第２のチャンネル群の各
チャンネルが、交互に千鳥状に圧電セラミックスプレー
ト表面に形成することにより、容易にチャンネルピッチ
を狭くすることができる。
記録ヘッドは、圧電セラミックスプレート表面に、互い
に並行する複数のチャンネルよりなる第１のチャンネル
群と、互いに並行する複数のチャンネルよりなる第２の
チャンネル群とを、前記第１のチャンネル群を構成する
各チャンネルの先端と第２のチャンネル群を構成する各
チャンネルの先端とが所定幅の間隔部を有して、千鳥状
に位置するように形成し、前記第１のチャンネル群およ
び第２のチャンネル群を構成する各チャンネルにそれぞ
れ対応して配置された複数のノズルを有するノズルプレ
ートで、前記各チャンネルを覆ったことを特徴とするも
のであり、従来全て並列して配置されていたチャンネル
群を、第１のチャンネル群と第２のチャンネル群に分離
し、その第１のチャンネル群と第２のチャンネル群の各
チャンネルが、交互に千鳥状に圧電セラミックスプレー
ト表面に形成することにより、容易にチャンネルピッチ
を狭くすることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下図１ないし図３を参照して本
発明の実施の形態を説明する。なお、図４、図５で示し
た従来例と実質的に同一な構成部品には同一符号を付し
ている。
発明の実施の形態を説明する。なお、図４、図５で示し
た従来例と実質的に同一な構成部品には同一符号を付し
ている。
【００１０】本発明の実施の形態の特徴とするところ
は、図１あるいは図３に示すように、従来の圧電セラミ
ックスプレートからなるアクチュエータ部材１にチャン
ネル溝を構成していく上で、従来全て並列して配置され
ていたチャンネル群を、第１のチャンネル群と第２のチ
ャンネル群に分離し、その第１のチャンネル群と第２の
チャンネル群の各チャンネルが、交互に千鳥状に圧電セ
ラミックスプレート表面に形成することにより、容易に
チャンネルピッチを狭くするものである。
は、図１あるいは図３に示すように、従来の圧電セラミ
ックスプレートからなるアクチュエータ部材１にチャン
ネル溝を構成していく上で、従来全て並列して配置され
ていたチャンネル群を、第１のチャンネル群と第２のチ
ャンネル群に分離し、その第１のチャンネル群と第２の
チャンネル群の各チャンネルが、交互に千鳥状に圧電セ
ラミックスプレート表面に形成することにより、容易に
チャンネルピッチを狭くするものである。
【００１１】まず、アクチュエータ部材１の表面上に、
第１のチャンネル群として、溝幅約７５μｍ、深さ約３
００μｍのチャンネル９を約７０μｍのピッチで形成
し、そのチャンネル９はアクチュエータ部材１の端面近
傍領域では、図２に示すようにワイヤーボンディングの
ために約３０μｍの深さのチャンネル浅溝１０を形成す
る。次に、前記第１のチャンネル群を構成する各チャン
ネルの先端と第２のチャンネル群を構成する各チャンネ
ルの先端とが所定幅の間隔部を有して、千鳥状に位置す
るように第２のチャンネル群を同様に形成する。
第１のチャンネル群として、溝幅約７５μｍ、深さ約３
００μｍのチャンネル９を約７０μｍのピッチで形成
し、そのチャンネル９はアクチュエータ部材１の端面近
傍領域では、図２に示すようにワイヤーボンディングの
ために約３０μｍの深さのチャンネル浅溝１０を形成す
る。次に、前記第１のチャンネル群を構成する各チャン
ネルの先端と第２のチャンネル群を構成する各チャンネ
ルの先端とが所定幅の間隔部を有して、千鳥状に位置す
るように第２のチャンネル群を同様に形成する。
【００１２】１２は感光ガラスなどからなるカバー部材
であり、前記第１のチャンネル群と第２のチャンネル群
の各チャンネルに対応したノズル５が直線状に形成され
ており、その裏面には、エッチングにより、それぞれの
ノズル５と前記チャンネルの１つをつなぐ凹溝５ａが形
成されている。このカバー部材１２を、図２に示すよう
に、前記の直線状のノズル５の列が、前記第１のチャン
ネル群と第２のチャンネル群との間の前記間隔部に、位
置するように接着材により、前記各チャンネルを覆うよ
うにアクチュエータ部材１の表面上に固定する。図３
は、このノズル５が前記凹溝５ａを通じてチャンネル９
の１つと連通している状態を示す要部平面図および断面
図である。
であり、前記第１のチャンネル群と第２のチャンネル群
の各チャンネルに対応したノズル５が直線状に形成され
ており、その裏面には、エッチングにより、それぞれの
ノズル５と前記チャンネルの１つをつなぐ凹溝５ａが形
成されている。このカバー部材１２を、図２に示すよう
に、前記の直線状のノズル５の列が、前記第１のチャン
ネル群と第２のチャンネル群との間の前記間隔部に、位
置するように接着材により、前記各チャンネルを覆うよ
うにアクチュエータ部材１の表面上に固定する。図３
は、このノズル５が前記凹溝５ａを通じてチャンネル９
の１つと連通している状態を示す要部平面図および断面
図である。
【００１３】また、各チャンネル９へのインク供給路は
アクチュエータ部材１とカバー部材１２を貼付した後、
アクチュエータ部材１のチャンネル９の形成面と反対面
に、第１のチャンネル群と第２のチャンネル群の各チャ
ンネル９を横断するように、チャンネル９の底からチャ
ンネル９の深さの約１／３のところまでダイサーなどの
切削手段でインク供給口となる一対のインク供給スリッ
ト１３を形成し、さらにプリント配線板６にもインク供
給口となる一対のインク供給スリット１５を形成する。
アクチュエータ部材１とカバー部材１２を貼付した後、
アクチュエータ部材１のチャンネル９の形成面と反対面
に、第１のチャンネル群と第２のチャンネル群の各チャ
ンネル９を横断するように、チャンネル９の底からチャ
ンネル９の深さの約１／３のところまでダイサーなどの
切削手段でインク供給口となる一対のインク供給スリッ
ト１３を形成し、さらにプリント配線板６にもインク供
給口となる一対のインク供給スリット１５を形成する。
【００１４】そして、一端がインクタンク（図示せず）
に接続され、他端部に前記インク供給スリット１５に接
続されるインク経路１６を有するインク供給ホルダー１
４を、図２に示すように、前記アクチュエータ部材１に
形成されたインク供給スリット１３と、プリント配線板
６に形成されたインク供給スリット１５と、前記インク
供給ホルダー１４のインク径路１６とが一致するよう
に、プリント配線板６を介してアクチュエータ部材１に
接合し、インク供給ホルダー１４を介して、各チャンネ
ル９へインクを供給する。
に接続され、他端部に前記インク供給スリット１５に接
続されるインク経路１６を有するインク供給ホルダー１
４を、図２に示すように、前記アクチュエータ部材１に
形成されたインク供給スリット１３と、プリント配線板
６に形成されたインク供給スリット１５と、前記インク
供給ホルダー１４のインク径路１６とが一致するよう
に、プリント配線板６を介してアクチュエータ部材１に
接合し、インク供給ホルダー１４を介して、各チャンネ
ル９へインクを供給する。
【００１５】信号電極４への電気的接続は、従来と同様
にアクチュエータ部材１の裏面に接合された前記プリン
ト配線板６上の導電性パターン８と信号電極４とをボン
ディングワイヤー１１で接続することにより達成でき
る。このようにして従来のようにダイサーなどの切削手
段により制限を受けていたチャンネルのピッチを従来の
１／２にすることができ、より高解像度のせん断モード
型インクジェットヘッドを作ることができる。
にアクチュエータ部材１の裏面に接合された前記プリン
ト配線板６上の導電性パターン８と信号電極４とをボン
ディングワイヤー１１で接続することにより達成でき
る。このようにして従来のようにダイサーなどの切削手
段により制限を受けていたチャンネルのピッチを従来の
１／２にすることができ、より高解像度のせん断モード
型インクジェットヘッドを作ることができる。
【００１６】
【発明の効果】本発明のインクジェット記録ヘッドによ
れば、従来使用していた切削手段をそのまま用いること
ができ、狭ピッチによる多ノズル化ができ、さらに従来
のノズル板とカバー部材とを一体とすることによって、
コストの安いインクジェット記録ヘッドが得られる。
れば、従来使用していた切削手段をそのまま用いること
ができ、狭ピッチによる多ノズル化ができ、さらに従来
のノズル板とカバー部材とを一体とすることによって、
コストの安いインクジェット記録ヘッドが得られる。
【図１】本発明の一実施の形態によるインクジェット記
録ヘッドの分解斜視図
録ヘッドの分解斜視図
【図２】同実施の形態によるインクジェット記録ヘッド
の断面図
の断面図
【図３】同実施の形態によるインクジェット記録ヘッド
の要部の平面図および断面図
の要部の平面図および断面図
【図４】従来のせん断モード変形を利用したインクジェ
ット記録ヘッドの分解斜視図
ット記録ヘッドの分解斜視図
【図５】同従来のせん断モード変形を利用したインクジ
ェット記録ヘッドの要部断面図
ェット記録ヘッドの要部断面図
１ アクチュエータ部材 ５ ノズル ６ プリント配線板 ８ 導電性パターン ９ チャンネル １１ ボンディングワイヤー １２ カバー部材 １３ インク供給スリット １４ インク供給ホルダー １５ インク供給スリット １６ インク経路
Claims (3)
- 【請求項１】圧電セラミックスの隔壁により隔てられた
互いに並行する複数のチャンネルを有し、前記チャンネ
ル内に形成された信号電極への駆動電圧に応じて前記隔
壁を変形せしめ、その変形にともなって前記チャンネル
内に充填されているインクをそのチャンネルに連通した
ノズルより選択的に突出せしめるインクジェット記録ヘ
ッドであって、圧電セラミックスプレート表面に、互い
に並行する複数のチャンネルよりなる第１のチャンネル
群と、互いに並行する複数のチャンネルよりなる第２の
チャンネル群とを、前記第１のチャンネル群を構成する
各チャンネルの先端と第２のチャンネル群を構成する各
チャンネルの先端とが所定幅の間隔部を有して、千鳥状
に位置するように形成し、前記第１のチャンネル群およ
び第２のチャンネル群を構成する各チャンネルにそれぞ
れ対応して配置された複数のノズルを有するノズルプレ
ートで、前記各チャンネルを覆ったことを特徴とするイ
ンクジェット記録ヘッド。 - 【請求項２】前記複数ノズルは、前記第１のチャンネル
群と第２のチャンネル群との間の前記間隔部に、対向す
るノズルプレートの位置に直線上に配置されていること
を特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッ
ド。 - 【請求項３】前記圧電セラミックスプレートの裏面に、
前記第１のチャンネル群と第２のチャンネル群をそれぞ
れ横断的に連通するスリットを設け、そのスリットを通
じて第１のチャンネル群と第２のチャンネル群の各チャ
ンネルにインクを供給することを特徴とする請求項１記
載のインクジェット記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9002037A JPH10193596A (ja) | 1997-01-09 | 1997-01-09 | インクジェット記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9002037A JPH10193596A (ja) | 1997-01-09 | 1997-01-09 | インクジェット記録ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10193596A true JPH10193596A (ja) | 1998-07-28 |
Family
ID=11518137
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9002037A Pending JPH10193596A (ja) | 1997-01-09 | 1997-01-09 | インクジェット記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10193596A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000058205A1 (en) * | 1999-03-31 | 2000-10-05 | Seiko Epson Corporation | Narrow-pitch connector, electrostatic actuator, piezoelectric actuator, ink-jet head, ink-jet printer, micromachine, liquid crystal panel, and electronic apparatus |
| WO2000058204A1 (en) * | 1999-03-31 | 2000-10-05 | Seiko Epson Corporation | Narrow-pitch connector, pitch converter, micromachine, piezoelectric actuator, electrostatic actuator, ink-jet head, ink-jet printer, liquid crystal device, and electronic apparatus |
| WO2001049493A3 (en) * | 2000-01-07 | 2002-01-03 | Xaar Technology Ltd | Droplet deposition apparatus |
| US7237877B2 (en) | 2003-11-12 | 2007-07-03 | Seiko Epson Corporation | Droplet discharging device |
| CN100365808C (zh) * | 1999-03-31 | 2008-01-30 | 精工爱普生株式会社 | 窄间距用连接器、静电传动器、压电传动器和喷墨头 |
-
1997
- 1997-01-09 JP JP9002037A patent/JPH10193596A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000058205A1 (en) * | 1999-03-31 | 2000-10-05 | Seiko Epson Corporation | Narrow-pitch connector, electrostatic actuator, piezoelectric actuator, ink-jet head, ink-jet printer, micromachine, liquid crystal panel, and electronic apparatus |
| WO2000058204A1 (en) * | 1999-03-31 | 2000-10-05 | Seiko Epson Corporation | Narrow-pitch connector, pitch converter, micromachine, piezoelectric actuator, electrostatic actuator, ink-jet head, ink-jet printer, liquid crystal device, and electronic apparatus |
| US6577370B1 (en) | 1999-03-31 | 2003-06-10 | Seiko Epson Corporation | Narrow-pitch connector, pitch converter, micromachine, piezoelectric actuator, electrostatic actuator, ink-jet head, ink-jet printer, liquid crystal device, and electronic apparatus |
| US6601947B1 (en) | 1999-03-31 | 2003-08-05 | Seiko Epson Corporation | Narrow-pitch connector, electrostatic actuator, piezoelectric actuator, ink-jet head, ink-jet printer, micromachine, liquid crystal panel, and electronic apparatus |
| CN1298612C (zh) * | 1999-03-31 | 2007-02-07 | 精工爱普生株式会社 | 狭窄间距用连接器、静电传动机构、压电传动机构、喷墨头、喷墨打印机、微型机、液晶盘、电子机器 |
| CN100365808C (zh) * | 1999-03-31 | 2008-01-30 | 精工爱普生株式会社 | 窄间距用连接器、静电传动器、压电传动器和喷墨头 |
| WO2001049493A3 (en) * | 2000-01-07 | 2002-01-03 | Xaar Technology Ltd | Droplet deposition apparatus |
| US7651037B2 (en) | 2000-01-07 | 2010-01-26 | Xaar Technology Limited | Droplet deposition apparatus |
| US8783583B2 (en) | 2000-01-07 | 2014-07-22 | Xaar Technology Limited | Droplet deposition apparatus |
| US9415582B2 (en) | 2000-01-07 | 2016-08-16 | Xaar Technology Limited | Droplet deposition apparatus |
| US7237877B2 (en) | 2003-11-12 | 2007-07-03 | Seiko Epson Corporation | Droplet discharging device |
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