JPH10195634A - 耐摩耗性皮膜の作製方法およびその皮膜を有する耐摩耗性すべり軸受 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 軸受面のすべり速度の上昇、面圧力の増大な
どの過酷な条件下で使用したときでも、優れた耐摩耗
性，耐焼付性，耐荷重性，耐食性を長期にわたって維持
することができる皮膜，およびその皮膜を最表面に有す
る軸受特性に優れたすべり軸受を提供する。 【解決手段】 反応性スパッタリングにより皮膜を作製
するに際し、スパッタリング雰囲気をＡｒ＋Ｎ_２ガスも
しくはＮ_２ガスとし、スパッタリング時にターゲットか
ら飛び出してくるＡｌ，Ｓｎ分子または原子をグロー放
電時にＮ_２ガスがイオン化した窒素イオンと反応させ
て、５〜５０重量％のＳｎを含むＡｌ−Ｓｎ窒化膜に形
成することによって、耐摩耗性に優れ、そしてまた、耐
焼付性，耐荷重性，耐食性等にも優れた皮膜を作製する
皮膜の作製方法、およびその皮膜を最表面に有する軸受
特性に優れたすべり軸受。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、耐摩耗性皮膜の作
製方法およびその皮膜を有する耐摩耗性すべり軸受に係
わり、さらに詳しくは、近年の内燃機関の出力向上によ
る軸受面のすべり速度の上昇、面圧力の増大などの過酷
な条件下で使用しても十分な軸受性能を発揮する反応性
スパッタリングによる乾式オーバレイ皮膜を有する耐摩
耗性すべり軸受に係るものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、自動車用エンジンは、軽量化、長
寿命化に向かって絶え間なく開発が進んでおり、エンジ
ンに使用されるすべり軸受においても耐荷重性、耐摩耗
性により一層優れるものであることが要求されている。
そして、特に、燃焼爆発力が直接かかるコンロッドベア
リングにおいては、これらの性能が厳しく要求される。

【０００３】従来、この種のコンロッドベアリングに
は、古くから３層軸受が多く使用されている。この３層
軸受は、下層にスチールを用い、中間軸受合金層にケル
メットと称されるＣｕ−１５〜３０重量％Ｐｂを用い、
表層にＰｂ−Ｓｎ−Ｃｕ系の合金で厚さが約２０μｍの
湿式メッキ層（オーバーレイ）を用いて構成された軸受
材料からなるものである。

【０００４】しかしながら、この軸受材料における表層
のオーバレイは、なじみ性，耐焼付性に優れてはいるも
のの、高荷重がかかるエンジンではオーバレイの疲労お
よび耐摩耗性に問題があった。

【０００５】また、Ｐｂベースのメッキであるため、エ
ンジンオイルの劣化により有機酸などがオイル中に生成
された場合に、これによるオーバレイの腐食も問題であ
った。

【０００６】このため、最近では、スパッタリングオー
バレイと称するＡｌ−２０重量％Ｓｎ組成の皮膜を乾式
メッキの１つであるスパッタリングにより作製した皮膜
が高性能エンジンでは一部使用されている（例えば、特
開昭５５−８１１４７号公報）。また、上記Ｐｂベース
のオーバレイメッキ中に硬質粒子を分散させて耐摩耗性
を向上させた皮膜も提案されている（例えば、特許第２
５３５１０５号）。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の改良された皮膜についても、本来的にオーバレイに必
要な特性である耐摩耗性，耐焼付性について未だ満足の
いくものではなかった。

【０００８】また、別の流れとして、従来よりのオーバ
レイは、なじみ性と異物埋収性をも合わせてもつことが
必要な特性であったが、最近のエンジン製造技術の進歩
により、すなわち、軸受形状および軸の仕上げ精度の向
上により、また、エンジン内の異物に対しては部品組立
前の洗浄能力の向上により、なじみ性と異物埋収性特性
への要求レベルは低下している。

【０００９】

【発明の目的】本発明は、このような従来の技術ならび
に近年の技術動向にかんがみてなされたものであり、具
体的には、エンジンの出力が大きくなったため、従来の
湿式メッキによるＰｂ−Ｓｎ−Ｃｕ系やＡｌ−Ｓｎ系ス
パッタリングオーバレイでは、高出力化されたエンジン
において、面圧および高温下での問題点から使用するの
は難しいこと、また、高出力化されたエンジンに使用す
る軸受に要求される表面性能を備えたオーバレイの研究
がなされていないことなどの問題を解決した耐摩耗性皮
膜の作製方法およびその皮膜を有する耐摩耗性すべり軸
受を提供することを目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明に係わる耐摩耗性
皮膜の作製方法において、その特徴とするところは、従
来技術の一つであるＡｌ−Ｓｎ系スパッタリング皮膜の
作製時において内部雰囲気に窒素を加え、または、窒素
のみの雰囲気として、ターゲットから飛び出してくるＡ
ｌ，Ｓｎ分子または原子をグロー放電時に窒素ガスがイ
オン化した窒素イオンと反応させ、アルミ−錫窒化層を
生成させた皮膜とすること、また、アルミ，錫の各々の
窒化物またはそれらの混合物を生成させ、Ａｌ−Ｓｎ皮
膜中に窒化アルミおよび／または窒化錫皮膜を分散させ
た皮膜とすることにある。

【００１１】本発明による皮膜の作製方法における生成
物は硬質物質であり、相手材（相手軸材等）との反応性
もなく、また、フリクションを低減することにより、耐
摩耗性，耐焼付性に優れた潤滑皮膜となる。

【００１２】また、従来より、反応スパッタリングによ
りアルミニウムの一部または全部を窒化することはすで
に公知のことであるが、アルミニウム中にＳｎを入れる
ことにより、潤滑皮膜において必要な特性である耐荷重
性，耐食性および耐焼付性に優れた皮膜となる。

【００１３】すなわち、本発明に係わる耐摩耗性皮膜の
作製方法は、請求項１に記載しているように、反応性ス
パッタリングにより皮膜を作製するに際し、スパッタリ
ング雰囲気をＡｒ＋Ｎ_２ガスもしくはＮ_２ガスとし、ス
パッタリング時にターゲットから飛び出してくるＡｌ，
Ｓｎ分子または原子をグロー放電時にＮ_２ガスがイオン
化した窒素イオンと反応させて、５〜５０重量％のＳｎ
を含むＡｌ−Ｓｎ窒化膜に形成するようにしたことを特
徴としている。

【００１４】そして、これにより作製された皮膜は、そ
の基材構成として、５〜５０重量％のＳｎを含むＡｌ−
Ｓｎ窒化膜により形成されたものであるが、さらに、潤
滑特性を上げるため、Ｐｂ，Ｉｎのうちの１種または２
種を０〜１０重量％含むものであるようにしたり、ま
た、アルミニウムの基材強度を上げるため、Ｓｉ，Ｃ
ｕ，Ｍｇ，Ｓｂ，Ｖ，Ｃｒ，Ｎｉ，Ｍｎのうちの１種ま
たは２種以上を０〜１０重量％含むものであるようにし
たりすることもでき、本発明の技術的範囲に含まれる。
この場合、Ｐｂ，Ｉｎの含有量が１０重量％超過のとき
には潤滑効果はそれに見合うほど向上せず、むしろ基材
強度が大幅に低下することとなり、また、Ｓｉ，Ｃｕ，
Ｍｇ，Ｓｂ，Ｖ，Ｃｒ，Ｎｉ，Ｍｎの含有量が１０重量
％超過であるときには脆くなって靭性が低下することと
なる。

【００１５】そして、本発明に係わる耐摩耗性皮膜の作
製方法の実施態様においては、請求項２に記載している
ように、Ａｌ−Ｓｎ窒化膜は、Ａｌ−Ｓｎ合金窒化膜を
有する皮膜であるものとしたり、請求項３に記載してい
るように、Ａｌ−Ｓｎ窒化膜は、Ａｌ−Ｓｎ膜中に窒化
Ａｌおよび／または窒化Ｓｎあるいはそれらの混合物が
分散した皮膜であるものとしたりすることができる。

【００１６】また、本発明に係わる耐摩耗性すべり軸受
は、請求項４に記載しているように、反応性スパッタリ
ングによる皮膜中に５〜５０重量％のＳｎを含むＡｌ−
Ｓｎ窒化膜を最表面に有するものとしたことを特徴とし
ている。

【００１７】そして、この場合にも、前述したように、
潤滑特性をあげるためにＰｂ，Ｉｎの１種または２種を
含有するものとしたり、また、アルミニウム基材の強度
をあげるためにＳｉ，Ｃｕ，Ｍｇ，Ｓｂ，Ｖ，Ｃｒ，Ｎ
ｉ，Ｍｎの１種または２種以上を含有するものとしたり
することができ、本発明の技術的範囲に含まれる。

【００１８】そしてまた、本発明に係わる耐摩耗性すべ
り軸受の実施態様においては、請求項５に記載している
ように、最表面に５〜３０μｍ厚さの請求項４に記載の
皮膜を有し、中間に１００〜５００μｍ厚さのＡｌ系合
金が裏金に積層された複層構造を有するものとしたり、
請求項６に記載しているように、最表面に５〜３０μｍ
厚さの請求項４に記載の皮膜を有し、中間に１００〜５
００μｍ厚さのＣｕ−Ｐｂ−Ｓｎ系合金，Ｃｕ−Ｐｂ系
合金，Ｃｕ−Ｓｎ系合金のうちから選ばれる銅系合金が
裏金に積層された複層構造を有するものとしたりするこ
とができる。

【００１９】

【発明の作用】本発明に係わる耐摩耗性皮膜の作製方法
およびその皮膜を有する耐摩耗性すべり軸受において、
その耐摩耗性皮膜の形成手段として、反応性スパッタリ
ングを用いることとしている。

【００２０】ところで、従来、物理的蒸着法（ＰＶＤ）
による乾式成膜法として、真空蒸着法、スパッタリング
法、イオンプレーティング法、イオン注入法などがある
が、皮膜の密着性、成膜速度の面から、スパッタリング
法、イオンプレーティング法が汎用的に使われている例
が多い。

【００２１】本発明では、低融点金属であるＳｎをアル
ミニウム合金に添加したターゲットや、Ａｌと低融点金
属であるＳｎとからなる個別のターゲットを用いるよう
にしているため、蒸発源から皮膜成分が供給されるイオ
ンプレーティングでは、皮膜生成中に皮膜表面にＳｎ汗
が出やすいことから、このイオンプレーティングは低融
点金属を含む皮膜の生成には不適である。

【００２２】従って、本発明ではスパッタリングを用い
ることとしている。このスパッタリングでは、スパッタ
ガスとして通常はＡｒのみを用いているが、本発明で
は、窒素ガスまたはアルゴンガスと窒素ガスを併用する
ことにより、窒化層を生成させ、スパッタ速度をコント
ロールすることとした。

【００２３】そして、スパッタリングに用いるターゲッ
トとしては、装置がターゲット１つしかセット出来ない
場合には、ほぼ皮膜成分と同じ組成のターゲットを用
い、多元系のスパッタリング装置である場合にはいくつ
かの純金属のターゲットを用いて各々のターゲットの電
力配分を調整することによりＳｎ％をコントロールする
ようにしている。

【００２４】そしてまた、本発明では、主に自動車用エ
ンジンにおいてとくに高出力化した軸受にも適用できる
ものとしているが、Ａｌ−Ｓｎ窒化膜中のＳｎ含有量に
ついては、５重量％未満では摩擦係数が大きくなり摩耗
量が増大して耐摩耗性が低下し、また、耐食性，耐焼付
性の向上が十分でなく、５０重量％超過では材料硬さが
低下し、耐摩耗性，耐荷重性，耐焼付性が急激に低下す
るので、５〜５０重量％の範囲としている。

【００２５】また、このＡｌ−Ｓｎ窒化膜の厚さにおい
て、５μｍ未満では耐摩耗性，耐焼付性，耐食性等の向
上が十分でない傾向となり、３０μｍ超過では耐摩耗性
が低下したり耐荷重性に劣ったものとなったりする傾向
となるので、５〜３０μｍの厚さとすることが望まし
い。

【００２６】さらにまた、中間層として、Ａｌ合金や、
Ｃｕ−Ｐｂ−Ｓｎ，Ｃｕ−Ｐｂ，Ｃｕ−Ｓｎ系合金のう
ちから選ばれる合金を用いることもできるが、この場合
の中間層の厚さ１００〜５００μｍの範囲内のものとす
ることがより望ましい。この中間層は、軸受表面に何ら
かの異常があったとき（例えば、異物による表面層の剥
離や油切れ時の異常摩耗などのとき）に、保険的意味合
いで設けられているものであって、その厚さが１００μ
ｍ未満では万一のとき合金層が摩耗して、裏金であるス
チールなどが露出して短時間で焼き付いてしまうおそれ
があり、また、その厚さが５００μｍ超過では耐荷重性
および耐摩耗性が低下するおそれがある。これは、中間
層の圧縮弾性率が裏金材質のスチールなどに比べて小さ
いためであり、したがって、中間層を設ける場合には１
００〜５００μｍの範囲内とすることがより望ましい。

【００２７】

【実施例】この実施例では、図１に示すＤＣスパッタリ
ング装置１を用いてＡｌ−Ｓｎ窒化膜の作製を行った。

【００２８】図１に示すＤＣスパッタリング装置１は、
真空容器２の内部に、ヒーター３、基板４、シャッター
５、ターゲット６、磁石７等をそなえ、ヒーター３には
サーモセンサー８が設けてあると共に温度調節回路９が
接続してあり、真空計１０および冷却水配管１１Ａ，１
１Ｂを設置し、スパッタ用ＤＣ電源１２およびバイアス
用ＡＣ電源１３が接続してある。

【００２９】このようなＤＣスパッタリング装置１で
は、ターゲット６にスパッタイオン１４が衝突し、ター
ゲット６からスパッタされた原子１５が飛び出してく
る。

【００３０】そして、基板４上には試料１６が設置され
るが、この実施例において、試料１６としては、裏金に
中間層として鋳造ケルメット（Ｃｕ−２３重量％Ｐｂ−
２重量％Ｓｎ）が０．３ｍｍの厚さで接着された板を用
意し、あらかじめ溶剤によって脱脂したのち真空容器２
内の基板４上に載置し、逆スパッタリングをアルゴンガ
スにて約３０分間行うことによって表面を清浄化したの
ちスパッタリングを行った。このときのスパッタリング
条件を表１に示す。

【００３１】

【表１】

【００３２】このような条件によるスパッタリングを行
うことによって、試料１６の表面にＡｌ−Ｓｎ窒化膜を
１０〜２０μｍ厚さで付着させた。そしてさらに、試料
１６との密着性を高めるために、ケルメット上に、Ｎ
ｉ，Ｃｕ，Ｃｒおよびその合金をスパッタリングにより
１〜３μｍの厚さで中間層として形成させることも実施
した。また、ターゲット６としては、狙いの皮膜組成と
なるようにあらかじめ用意した直径１００ｍｍのアルミ
ニウム−錫合金を用いた。

【００３３】さらにまた、スパッタリング雰囲気とし
て、Ａｒ：Ｎ_２の比は１：１〜１：１０までの範囲で皮
膜生成を行ったところ、成膜速度はＡｒの比率が高いほ
ど速くなったが、後述するオージェスペクトルでも種々
調査した結果、窒化物の生成量比にはほとんど影響しな
かった。

【００３４】さらにまた、基板４は水冷し、毎分１回転
の速度で回転させた。

【００３５】以上の条件でＡｌ成分に対するＳｎ成分を
変化させた試験片を作製した。この結果を表２に示す。

【００３６】

【表２】

【００３７】次いで、各Ｓｎ濃度の試験片で、スパッタ
雰囲気がＡｒのみのものと、Ａｒ：Ｎ_２の比が１：２の
ものを試作し、各々試料Ｎｏ．を１Ａ〜５Ａ、１Ｎ〜５
Ｎとした。

【００３８】この各試料について、表３に示す条件で摩
耗試験を行い、表４に示す条件で焼付試験を行い、表５
に示す条件で腐食試験を行った。さらに、軸受の疲労特
性をみるために、表６に示す条件でアンダーウッド試験
を行った。

【００３９】これらの試験結果を表７に示す。

【００４０】

【表３】

【００４１】

【表４】

【００４２】

【表５】

【００４３】

【表６】

【００４４】

【表７】

【００４５】さらに、評価試料Ｎｏ．３Ｎのオージェス
ペクトル分析結果を図２に示すが、図２より明らかであ
るように、生成したＡｌ−Ｓｎ膜中に窒素が存在してい
ることが確認できた。

【００４６】また、同じく評価試料Ｎｏ．３Ｎの表面お
よび断面観察のＳＥＭ像を図３に示す。なお、図３
（Ａ）は表面、図３（Ｂ）は断面のＳＥＭ像である。

【００４７】Ａｌ−Ｓｎ皮膜の従来のスパッタリング組
織では、なめらかな表面を持ち、断面でも均一で細かい
組織の中にＳｎ粒子が細かく分散しているのに対して、
本発明のＡｌ−Ｓｎ窒化皮膜は基板からほぼ垂直に明確
な柱状晶をなしており、スパッタ条件によって多少変化
するものの、表面観察から、数μｍの単位で凹凸がある
ことが認められた。これは、摺動面の油切れの時におい
ても耐焼付性に効果があり、実際に本発明品ではその効
果を十分に発揮している。

【００４８】表７より明らかなように、Ａｒのみの雰囲
気で作製したＮｏ．１Ａ〜５Ａと、Ａｒ＋２Ｎ_２の雰囲
気で作製したＮｏ．１Ｎ〜５Ｎとの比較は、いわばスパ
ッタ通常皮膜とスパッタ窒化皮膜との比較ということが
できるが、スパッタ窒化皮膜ではスパッタ通常皮膜に比
べて耐荷重性と耐焼付性が大幅に向上しているのがわか
る。そして、耐荷重性については、皮膜内の窒化物によ
る硬度、強度の向上によるものである。また、耐焼付性
の向上については、生成した窒化物（窒化アルミおよび
／または窒化錫）の融点が高く、相手材との反応が無い
ため向上したものである。

【００４９】さらにまた、Ｎｏ．１Ｎ〜Ｎｏ．５Ｎのう
ちでは、本発明の範囲であるＳｎ５〜５０重量％の範囲
内において、軸受材に必要な各特性が安定して良好な結
果となっている。特に、耐摩耗性では本発明品の範囲と
することが安定してよい結果となった。これは、Ｓｎの
量が少ないと摩擦係数が大きくなり、結果として摩耗量
が増大すると思われ、また、Ｓｎの量が少ないと耐食性
が悪くなる。

【００５０】一方、Ｓｎの量が多くなると、材料硬さが
低下して摩耗量が増大すると考えられる。

【００５１】このように、本発明品のすべり軸受では、
とくに、内燃機関用の軸受材として、従来品に比べ、５
〜５０重量％Ｓｎの範囲とすることで、必要な各特性が
いずれも良好な結果となった。

【００５２】

【発明の効果】本発明の耐摩耗性皮膜の作製方法によれ
ば、反応性スパッタリングにより皮膜を作製するに際
し、スパッタリング雰囲気をＡｒ＋Ｎ_２ガスもしくはＮ
_２ガスとし、スパッタリング時にターゲットから飛び出
してくるＡｌ，Ｓｎ分子または原子をグロー放電時にＮ
_２ガスがイオン化した窒素イオンと反応させて、５〜５
０重量％のＳｎを含むＡｌ−Ｓｎ窒化膜に形成するよう
にしたから、耐摩耗性に優れ、そしてまた耐焼付性，耐
荷重性，耐食性等にも優れた皮膜を作製することが可能
であるという顕著な効果がもたらされる。

【００５３】そして、請求項２に記載しているように、
Ａｌ−Ｓｎ窒化膜は、Ａｌ−Ｓｎ合金窒化膜を有する皮
膜であるものとすることによって、硬度および融点が高
く、耐摩耗性に優れ、そしてまた耐焼付性，耐荷重性，
耐食性等にも優れた皮膜を作製することが可能であると
いう顕著な効果がもたらされる。

【００５４】また、請求項３に記載しているように、Ａ
ｌ−Ｓｎ窒化膜は、Ａｌ−Ｓｎ膜中に窒化Ａｌおよび／
または窒化Ｓｎあるいはそれらの混合物が分散した皮膜
であるものとすることによって、融点が高く、相手材と
の反応性が無い窒化物（窒化Ａｌおよび／または窒化Ｓ
ｎあるいはそれらの混合物）が分散したものとなり、耐
摩耗性に優れ、そしてまた耐焼付性，耐荷重性，耐食性
等にも優れた皮膜を作製することが可能であるという顕
著な効果がもたらされる。

【００５５】本発明に係わる耐摩耗性すべり軸受は、請
求項４に記載しているように、反応性スパッタリングに
よる皮膜中に５〜５０重量％のＳｎを含むＡｌ−Ｓｎ窒
化膜を最表面に有するものとしたから、耐摩耗性に優
れ、そしてまた耐焼付性，耐荷重性，耐食性等にも優れ
たすべり軸受を提供することが可能であるという顕著な
効果がもたらされる。

【００５６】そして、請求項５に記載しているように、
最表面に５〜３０μｍ厚さの請求項４に記載の皮膜を有
し、中間に１００〜５００μｍ厚さのＡｌ系合金が裏金
に積層された複層構造を有するものとなすことによっ
て、Ａｌ−Ｓｎ窒化膜と裏金との間での密着性をより一
層向上させたものとすることが可能であって、良好なる
軸受特性を長期にわたって維持することができるすべり
軸受を提供しうるものになるという顕著な効果がもたら
される。

【００５７】同じく、請求項６に記載しているように、
最表面に５〜３０μｍ厚さの請求項４に記載の皮膜を有
し、中間に１００〜５００μｍ厚さのＣｕ−Ｐｂ−Ｓｎ
系合金，Ｃｕ−Ｐｂ系合金，Ｃｕ−Ｓｎ系合金のうちか
ら選ばれる銅系合金が裏金に積層された複層構造を有す
るものとなすことによって、Ａｌ−Ｓｎ窒化膜と裏金と
の間での密着性をより一層向上させたものとすることが
可能であって、良好なる軸受特性を長期にわたって維持
することができるすべり軸受を提供しうるものになると
いう顕著な効果がもたらされる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施例で用いたＤＣスパッタリング
装置の概要を示す説明図である。

【図２】 実施例の評価試料Ｎｏ．３ＮのＡｌ−Ｓｎ窒
化膜のオージェスペクトル（３０ｍｉｎエッチング）を
示すグラフである。

【図３】 実施例の評価試料Ｎｏ．３ＮのＡｌ−Ｓｎ窒
化膜の表面（図３の（Ａ））および断面（図３の
（Ｂ））のＳＥＭ像を示す模写図である。

【手続補正書】

【提出日】平成９年１月１０日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】図３

【補正方法】変更

【補正内容】

【図３】 実施例の評価試料Ｎｏ．３Ｎ（７）Ａｌ−Ｓ
ｎ窒化膜の表面（図３の（Ａ））および断面（図３の
（Ｂ））のＳＥＭ像を示す金属組織写真である。

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図３

【補正方法】変更

【補正内容】

【図３】

フロントページの続き (72)発明者 大 川 広 衛 千葉県習志野市実籾町１ノ687 エヌデー シー株式会社内

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 反応性スパッタリングにより皮膜を作製
   するに際し、スパッタリング雰囲気をＡｒ＋Ｎ_２ガスも
   しくはＮ_２ガスとし、スパッタリング時にターゲットか
   ら飛び出してくるＡｌ，Ｓｎ分子または原子をグロー放
   電時にＮ_２ガスがイオン化した窒素イオンと反応させ
   て、５〜５０重量％のＳｎを含むＡｌ−Ｓｎ窒化膜に形
   成することを特徴とする耐摩耗性皮膜の作製方法。
2. 【請求項２】 Ａｌ−Ｓｎ窒化膜は、Ａｌ−Ｓｎ合金窒
   化膜を有する皮膜である請求項１に記載の耐摩耗性皮膜
   の作製方法。
3. 【請求項３】 Ａｌ−Ｓｎ窒化膜は、Ａｌ−Ｓｎ膜中に
   窒化Ａｌおよび／または窒化Ｓｎが分散した皮膜である
   請求項１に記載の耐摩耗性皮膜の作製方法。
4. 【請求項４】 反応性スパッタリングによる皮膜中に５
   〜５０重量％のＳｎを含むＡｌ−Ｓｎ窒化膜を最表面に
   有することを特徴とする耐摩耗性すべり軸受。
5. 【請求項５】 最表面に５〜３０μｍ厚さの請求項４に
   記載の皮膜を有し、中間に１００〜５００μｍ厚さのＡ
   ｌ系合金が裏金に積層された複層構造を有する請求項４
   に記載の耐摩耗性すべり軸受。
6. 【請求項６】 最表面に５〜３０μｍ厚さの請求項４に
   記載の皮膜を有し、中間に１００〜５００μｍ厚さのＣ
   ｕ−Ｐｂ−Ｓｎ系合金，Ｃｕ−Ｐｂ系合金，Ｃｕ−Ｓｎ
   系合金のうちから選ばれる合金が裏金に積層された複層
   構造を有する請求項４に記載の耐摩耗性すべり軸受。