JPH10197472A - ポリマーフィルムガスセンサーの感度の改良法およびその方法を実施するセンサー構造 - Google Patents
ポリマーフィルムガスセンサーの感度の改良法およびその方法を実施するセンサー構造Info
- Publication number
- JPH10197472A JPH10197472A JP9342607A JP34260797A JPH10197472A JP H10197472 A JPH10197472 A JP H10197472A JP 9342607 A JP9342607 A JP 9342607A JP 34260797 A JP34260797 A JP 34260797A JP H10197472 A JPH10197472 A JP H10197472A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- gas
- temperature
- measured
- heating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 title claims abstract description 9
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 title claims description 6
- 238000002715 modification method Methods 0.000 title 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 19
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 11
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 11
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 3
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 19
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 37
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 7
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000005316 response function Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 238000013528 artificial neural network Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000011067 equilibration Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000009103 reabsorption Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/122—Circuits particularly adapted therefor, e.g. linearising circuits
- G01N27/123—Circuits particularly adapted therefor, e.g. linearising circuits for controlling the temperature
- G01N27/124—Circuits particularly adapted therefor, e.g. linearising circuits for controlling the temperature varying the temperature, e.g. in a cyclic manner
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/125—Composition of the body, e.g. the composition of its sensitive layer
- G01N27/126—Composition of the body, e.g. the composition of its sensitive layer comprising organic polymers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ポリマーフィルムガスセンサーの感度を改良
する。 【解決手段】 測定変量に敏感なセンサーパラメータを
センサーの加熱および冷却期間中に多数点で測定し、加
熱および冷却期間にわたりセンサー応答のヒステリシス
関数（１）を作成し、ヒステリシス関数（１）に基づ
き、各測定ガス成分の濃度を決定する。
する。 【解決手段】 測定変量に敏感なセンサーパラメータを
センサーの加熱および冷却期間中に多数点で測定し、加
熱および冷却期間にわたりセンサー応答のヒステリシス
関数（１）を作成し、ヒステリシス関数（１）に基づ
き、各測定ガス成分の濃度を決定する。
Description
【０００１】本発明はポリマーフィルムガスセンサーの
感度を改良するための請求項１の前文に従う方法に関す
る。本発明はまたセンサー構造に関する。本発明は、適
用するガス測定法を強く妨害する他の１種以上のガス成
分を表す複合信号から、単一のガス成分に特有な信号を
取り出すのに特に適する。
感度を改良するための請求項１の前文に従う方法に関す
る。本発明はまたセンサー構造に関する。本発明は、適
用するガス測定法を強く妨害する他の１種以上のガス成
分を表す複合信号から、単一のガス成分に特有な信号を
取り出すのに特に適する。
【０００２】
【従来技術】ポリマーフィルムガスセンサーは、複数の
異なるガス種に高感度なことを特徴としている。センサ
ーの感度を改良するための典型的解決法は、異なる型の
幾つかのガスセンサーを組み合わせ、次いでたとえばニ
ューラルネットワークにより、上記センサーの組み合わ
せの出力信号を解析することであった。しかし、この種
の測定系は複雑で費用がかかる。ポリマーフィルムセン
サーの本来の特性を回復させるために、たとえばＦＩ特
許出願942,727 に記載されている方法で加熱する装置
も、業界では既知である。この技術はセンサーの当初の
性能を回復させるが、正常の測定状態でのガスセンサー
の基本的選択性を改善するものではない。本発明の目的
は、上記従来の技術の欠点を克服し、ポリマーフィルム
ガスセンサーの選択性を改良する全く新規な方法を提供
するにある。
異なるガス種に高感度なことを特徴としている。センサ
ーの感度を改良するための典型的解決法は、異なる型の
幾つかのガスセンサーを組み合わせ、次いでたとえばニ
ューラルネットワークにより、上記センサーの組み合わ
せの出力信号を解析することであった。しかし、この種
の測定系は複雑で費用がかかる。ポリマーフィルムセン
サーの本来の特性を回復させるために、たとえばＦＩ特
許出願942,727 に記載されている方法で加熱する装置
も、業界では既知である。この技術はセンサーの当初の
性能を回復させるが、正常の測定状態でのガスセンサー
の基本的選択性を改善するものではない。本発明の目的
は、上記従来の技術の欠点を克服し、ポリマーフィルム
ガスセンサーの選択性を改良する全く新規な方法を提供
するにある。
【０００３】
【課題を解決するための手段】センサーを加熱し、加熱
／冷却の全サイクルにわたり、測定変量について感度が
高いことが知られているセンサーパラメータを測定し、
それによりサイクル中に行われた測定をヒステリシス関
数としてプロットし、それから測定変量を決定すること
により、本発明の目的が達成される。
／冷却の全サイクルにわたり、測定変量について感度が
高いことが知られているセンサーパラメータを測定し、
それによりサイクル中に行われた測定をヒステリシス関
数としてプロットし、それから測定変量を決定すること
により、本発明の目的が達成される。
【０００４】更に詳しくは、本発明の方法は、請求項１
の特徴部分に述べられたことを特徴としている。更に、
本発明によるセンサー構造は、請求項５の特徴部分に述
べられたことを特徴としている。
の特徴部分に述べられたことを特徴としている。更に、
本発明によるセンサー構造は、請求項５の特徴部分に述
べられたことを特徴としている。
【０００５】本発明は著しい利点を与える。本発明の主
な利点は、測定を妨害するガス成分を、高効率で安価に
測定結果から排除できることである。この新規な測定法
の別の著しい利点は、ガスのない環境では、センサーは
そのエージング挙動には関係なく、常にゼロヒステリシ
スを示すことである。
な利点は、測定を妨害するガス成分を、高効率で安価に
測定結果から排除できることである。この新規な測定法
の別の著しい利点は、ガスのない環境では、センサーは
そのエージング挙動には関係なく、常にゼロヒステリシ
スを示すことである。
【０００６】以下本発明を、添付図面に示した実施態様
の助けを借りながら、一層詳細に検討する。本発明によ
る測定法は、測定に係るガス成分を識別するために、異
なるガス成分で異なる特徴的拡散時間定数を利用する。
既知のように、ガス成分の拡散は、温度上昇と共に指数
関数的に加速される。同時に、ポリマー層中に平衡条件
で吸収されたガス量が減少する。
の助けを借りながら、一層詳細に検討する。本発明によ
る測定法は、測定に係るガス成分を識別するために、異
なるガス成分で異なる特徴的拡散時間定数を利用する。
既知のように、ガス成分の拡散は、温度上昇と共に指数
関数的に加速される。同時に、ポリマー層中に平衡条件
で吸収されたガス量が減少する。
【０００７】しかし、ポリマー層を急激に加熱すると、
層に吸収されたガス量は平衡に達せずに、ガスの過剰量
が層に残存する。この過剰量のガスは、ガスの拡散定数
が温度上昇と共に十分高い値に達するまで、層に残存す
る。異なるガスは異なる拡散定数をもつから、平衡に達
する時間は、ガスと温度により異なる。
層に吸収されたガス量は平衡に達せずに、ガスの過剰量
が層に残存する。この過剰量のガスは、ガスの拡散定数
が温度上昇と共に十分高い値に達するまで、層に残存す
る。異なるガスは異なる拡散定数をもつから、平衡に達
する時間は、ガスと温度により異なる。
【０００８】図１に示したように、ガスセンサーのポリ
マー層を、常温以上の十分高い（100−200℃）温度に加
熱すると、実際上全てのガス成分はポリマー層から追い
出される。加熱期間後十分に迅速にポリマー層を冷却す
ると、常温に下がるまでポリマー層を吸収ガスを含まな
いで保つことができる。
マー層を、常温以上の十分高い（100−200℃）温度に加
熱すると、実際上全てのガス成分はポリマー層から追い
出される。加熱期間後十分に迅速にポリマー層を冷却す
ると、常温に下がるまでポリマー層を吸収ガスを含まな
いで保つことができる。
【０００９】これらの事実に基づき、その変量のために
設計されたポリマーフィルムガスセンサーの変量に対す
るセンサー応答を測定し（記録するパラメータはたとえ
ばセンサーのキャパシタンス、導電率または重量である
ことができる）、また同時に加熱期間４および冷却期間
５の両者にわたりセンサー温度を測定することにより、
ヒステリシスを示す温度vs.センサー応答関数の関数１
を記録できる。言い換えると、所定温度におけるセンサ
ー応答を特徴づける関数は、加熱期間中は、冷却期間と
は異なる値をもつ。
設計されたポリマーフィルムガスセンサーの変量に対す
るセンサー応答を測定し（記録するパラメータはたとえ
ばセンサーのキャパシタンス、導電率または重量である
ことができる）、また同時に加熱期間４および冷却期間
５の両者にわたりセンサー温度を測定することにより、
ヒステリシスを示す温度vs.センサー応答関数の関数１
を記録できる。言い換えると、所定温度におけるセンサ
ー応答を特徴づける関数は、加熱期間中は、冷却期間と
は異なる値をもつ。
【００１０】ヒステリシスとして知られる応答関数のこ
の変動は、温度が高くなると減少する。最も低い温度で
は、ヒステリシス２は、集合的に全ガス成分により引き
起こされる。ポリマー層の温度を上げると、最高の拡散
係数をもつガスが先ず追い出れ、そこでセンサー応答に
おけるその寄与は無くなる。層温度を上げ続けると、図
の点３で示すように、第２の最高拡散係数のガス成分が
追い出される。二つ以上の温度範囲にわたり、ヒステリ
シス関数１のループを測定することにより、異なるガス
成分に対するセンサー応答を識別できる。ヒステリシス
関数の微分係数の極大および極小から、またはヒステリ
シス関数の不連続点から、ガス成分の濃度を決定でき
る。
の変動は、温度が高くなると減少する。最も低い温度で
は、ヒステリシス２は、集合的に全ガス成分により引き
起こされる。ポリマー層の温度を上げると、最高の拡散
係数をもつガスが先ず追い出れ、そこでセンサー応答に
おけるその寄与は無くなる。層温度を上げ続けると、図
の点３で示すように、第２の最高拡散係数のガス成分が
追い出される。二つ以上の温度範囲にわたり、ヒステリ
シス関数１のループを測定することにより、異なるガス
成分に対するセンサー応答を識別できる。ヒステリシス
関数の微分係数の極大および極小から、またはヒステリ
シス関数の不連続点から、ガス成分の濃度を決定でき
る。
【００１１】ガス成分のポリマー層への再吸収を達成す
るためには、十分長い平衡時間を、次の測定サイクルの
間に置く必要がある。
るためには、十分長い平衡時間を、次の測定サイクルの
間に置く必要がある。
【００１２】センサー６の活性ポリマー層は、自己支持
できるまたは基板に接着できるものである。典型的に
は、層の厚さは0.1−10μmである。ポリマー層の加熱お
よび冷却速度は、典型的には10−1000℃／sの範囲であ
る。
できるまたは基板に接着できるものである。典型的に
は、層の厚さは0.1−10μmである。ポリマー層の加熱お
よび冷却速度は、典型的には10−1000℃／sの範囲であ
る。
【００１３】本発明の別の実施態様においては、測定を
妨害するガス成分を追い出すのに十分なだけ高温であっ
て、しかし測定ガス成分（すなわちヒステリシスループ
３を含む図でガス成分１）を追い出すほどは高くない温
度に、センサーを加熱する。この配置により、連続測定
サイクルの反復速度をより速くすることができる。第１
の実施態様に比較し、この場合測定温度におけるガスを
含まない条件でのセンサー応答の値を知る必要がある。
妨害するガス成分を追い出すのに十分なだけ高温であっ
て、しかし測定ガス成分（すなわちヒステリシスループ
３を含む図でガス成分１）を追い出すほどは高くない温
度に、センサーを加熱する。この配置により、連続測定
サイクルの反復速度をより速くすることができる。第１
の実施態様に比較し、この場合測定温度におけるガスを
含まない条件でのセンサー応答の値を知る必要がある。
【００１４】明らかに、上記ヒステリシス値は、加熱期
間または冷却期間中のある所定の温度で記録された測定
したセンサーパラメータの中間値で補完することができ
る。連続して迅速に二つの測定サイクルを実施すると、
拡散の遅いガス成分はセンサーに逆拡散して平衡に到達
できないことにより、追加の情報を得ることができる。
この場合、記録しようとするパラメータは、たとえば二
つの連続測定の間のヒステリシス関数の変化であること
ができる。
間または冷却期間中のある所定の温度で記録された測定
したセンサーパラメータの中間値で補完することができ
る。連続して迅速に二つの測定サイクルを実施すると、
拡散の遅いガス成分はセンサーに逆拡散して平衡に到達
できないことにより、追加の情報を得ることができる。
この場合、記録しようとするパラメータは、たとえば二
つの連続測定の間のヒステリシス関数の変化であること
ができる。
【００１５】図２を参照すると、センサー構造６の例示
の実施態様が示されている。センサーチップの寸法は、
7×3.5×0.4mm（たとえば、低い熱伝導率のため理想材
料ではないガラス製）である。ガス測定信号は、接点Ｃ
１−Ｃ２で測定されるコンデンサ７のキャパシタンス
（約10pF）である。接点ＲＬ１−ＲＬ２に接続された加
熱器素子（約100ohm）により、センサー６を加熱する。
接点ＲＭ１−ＲＭ２に接続された別の抵抗器８（約300o
hm）により、センサー温度を測定する。抵抗器８の熱係
数は、典型的には約3000ppm／℃である。センサーコン
デンサ７および温度検出器８は、ヒーターエレメント９
に関し最大限に対称的に位置し、それによりその温度は
速い温度変化中センサー温度に確実に追随できる。
の実施態様が示されている。センサーチップの寸法は、
7×3.5×0.4mm（たとえば、低い熱伝導率のため理想材
料ではないガラス製）である。ガス測定信号は、接点Ｃ
１−Ｃ２で測定されるコンデンサ７のキャパシタンス
（約10pF）である。接点ＲＬ１−ＲＬ２に接続された加
熱器素子（約100ohm）により、センサー６を加熱する。
接点ＲＭ１−ＲＭ２に接続された別の抵抗器８（約300o
hm）により、センサー温度を測定する。抵抗器８の熱係
数は、典型的には約3000ppm／℃である。センサーコン
デンサ７および温度検出器８は、ヒーターエレメント９
に関し最大限に対称的に位置し、それによりその温度は
速い温度変化中センサー温度に確実に追随できる。
【００１６】典型的加熱／冷却サイクルは次のように行
われる。 １．接点ＲＬ１−ＲＬ２にかける加熱電圧を、400ms中0
Vから10Vに線型に上げていく。 ２．加熱電圧を300ms間10Vに保つ。 ３．加熱電圧を、400msの間0Vに線型に下げていく。
われる。 １．接点ＲＬ１−ＲＬ２にかける加熱電圧を、400ms中0
Vから10Vに線型に上げていく。 ２．加熱電圧を300ms間10Vに保つ。 ３．加熱電圧を、400msの間0Vに線型に下げていく。
【００１７】サイクル中、センサーキャパシタンスおよ
び温度センサーの抵抗を、１秒２５回以上の速い速度で
測定する。図３に示すように、水蒸気（H2O）およびア
ンモニアガス（NH3）の濃度を、ヒステリシス関数の微
分係数の極大から決定する。水蒸気は６０℃に極大を示
し、一方アンモニアガスは１６０℃における微分係数の
極大から検出される。ヒステリシス関数の微分係数の極
大／極小はまた、異なる型のガスの決定にも利用でき
る。
び温度センサーの抵抗を、１秒２５回以上の速い速度で
測定する。図３に示すように、水蒸気（H2O）およびア
ンモニアガス（NH3）の濃度を、ヒステリシス関数の微
分係数の極大から決定する。水蒸気は６０℃に極大を示
し、一方アンモニアガスは１６０℃における微分係数の
極大から検出される。ヒステリシス関数の微分係数の極
大／極小はまた、異なる型のガスの決定にも利用でき
る。
【図１】図１は本発明の方法により記録した典型的測定
サイクルのグラフを示す。
サイクルのグラフを示す。
【図２】図２は本発明の方法を実施するのに適したセン
サー構造の模式的上面図を示す。
サー構造の模式的上面図を示す。
【図３】図３は本発明に従い、二つの異なるガスで実施
した測定サイクルのグラフを示す。
した測定サイクルのグラフを示す。
Claims (5)
- 【請求項１】 ガスセンサー（６）を加熱し、測定変量
に敏感なセンサーパラメータを記録するポリマーフィル
ムガスセンサーの感度の改良法において、測定変量に敏
感なセンサー（６）のパラメータをセンサーの加熱およ
び冷却期間中に多数点で測定し、加熱および冷却期間に
わたりセンサー応答のヒステリシス関数（１）を作成
し、ヒステリシス関数（１）に基づき、各測定ガス成分
の濃度を決定することを特徴とするポリマーフィルムガ
スセンサーの感度の改良法。 - 【請求項２】 測定ガス成分の濃度を、当該ヒステリシ
ス関数（１）の微分係数における極大および極小に基づ
き決定する、請求項１の方法。 - 【請求項３】 測定ガス成分の型を、当該ヒステリシス
関数（１）の微分係数における極大および極小に基づき
決定する、請求項１の方法。 - 【請求項４】 測定したセンサーパラメータの値を１秒
あたり２５回より速い速度で記録する、請求項１の方
法。 - 【請求項５】 ポリマー誘電体をもつコンデンサのよう
な、測定変量に敏感なセンサーエレメント（７）、 センサー構造（６）の加熱用ヒーターエレメント
（９）、 ガスセンサー構造（６）の温度測定用の温度センサー手
段（８）、からなるガスセンサー構造（６）において、 測定変量に敏感なセンサー温度検出手段（８）およびセ
ンサーエレメント（７）がセンサーのヒーターエレメン
トに関し最大限対称的に位置していることを特徴とする
ガスセンサー構造。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI965015 | 1996-12-13 | ||
| FI965015A FI104654B (fi) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | Menetelmä polymeeripohjaisen kaasuanturin selektiivisyyden parantamiseksi |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10197472A true JPH10197472A (ja) | 1998-07-31 |
| JP4043572B2 JP4043572B2 (ja) | 2008-02-06 |
Family
ID=8547269
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34260797A Expired - Fee Related JP4043572B2 (ja) | 1996-12-13 | 1997-12-12 | 測定ガス成分の濃度決定法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5987963A (ja) |
| EP (1) | EP0853240B1 (ja) |
| JP (1) | JP4043572B2 (ja) |
| DE (1) | DE69730585T2 (ja) |
| FI (1) | FI104654B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001281192A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-10 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA2481117C (en) * | 2002-04-15 | 2012-07-31 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Method for improving a chemo/electro-active material |
| US6739180B2 (en) * | 2002-08-30 | 2004-05-25 | Industrial Technology Research Institute | Intelligent gas identification system and method thereof |
| US20050246259A1 (en) * | 2004-03-30 | 2005-11-03 | Andre Lavoie | Method and system for providing guidance data |
| DE102006028123A1 (de) * | 2006-06-15 | 2007-12-20 | JÜRG PAUL Haller | Vorrichtung zur Manipulation von flachem Stückgut, wie Bogen aus Papier, Kunststoff, Karton und dergleichen |
| US9506888B2 (en) | 2011-04-13 | 2016-11-29 | 3M Innovative Properties Company | Vapor sensor including sensor element with integral heating |
| US9279792B2 (en) | 2011-04-13 | 2016-03-08 | 3M Innovative Properties Company | Method of using an absorptive sensor element |
| WO2012141925A1 (en) | 2011-04-13 | 2012-10-18 | 3M Innovative Properties Company | Method of detecting volatile organic compounds |
| CN105259212B (zh) * | 2015-10-19 | 2018-01-16 | 中国南方电网有限责任公司超高压输电公司检修试验中心 | 一种用于sf6分解产物检测的交叉干扰消除方法 |
| CN106093134B (zh) * | 2016-05-31 | 2018-09-21 | 重庆大学 | 金属氧化物传感器阵列响应漂移的补偿方法 |
| EP3623804B1 (en) | 2018-09-13 | 2023-10-25 | STMicroelectronics S.r.l. | Method of operating gas sensors and corresponding device, sensor and program product |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2313413C3 (de) * | 1973-03-17 | 1978-03-02 | Westfaelische Berggewerkschaftskasse, 4630 Bochum | Verfahren und Meßgerät zur Bestimmung des Anteils eines oder mehrerer Gaskomponenten in einem Gasgemisch, insbesondere des CO-Gehaltes und/oder des CH4 -Gehaltes im Untertagebetrieb |
| EP0075101A3 (de) * | 1981-09-22 | 1985-12-04 | Cerberus Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Reduzierung von durch Störgase hervorgerufenen Falschalarmen in Gaswarnanlagen |
| US4399684A (en) * | 1981-11-27 | 1983-08-23 | Sierra Monitor Corporation | Gas measurement method |
| DE3364035D1 (en) * | 1982-04-15 | 1986-07-17 | Cerberus Ag | Gas and/or vapour alarm device |
| GB8804717D0 (en) * | 1988-02-29 | 1988-03-30 | Atomic Energy Authority Uk | Gas sensing |
| US5288645A (en) * | 1992-09-04 | 1994-02-22 | Mtm Engineering, Inc. | Hydrogen evolution analyzer |
| FI98960C (fi) * | 1994-10-21 | 1997-09-10 | Vaisala Oy | Menetelmä ei-polaaristen kaasujen, kuten hiilidioksidin pitoisuuden mittaamiseksi polymeeripohjaisella anturilla sekä anturirakenne |
-
1996
- 1996-12-13 FI FI965015A patent/FI104654B/fi not_active IP Right Cessation
-
1997
- 1997-12-09 DE DE69730585T patent/DE69730585T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-12-09 EP EP97660140A patent/EP0853240B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-12-11 US US08/988,896 patent/US5987963A/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-12-12 JP JP34260797A patent/JP4043572B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001281192A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-10 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0853240A2 (en) | 1998-07-15 |
| FI104654B (fi) | 2000-03-15 |
| EP0853240A3 (en) | 2000-10-11 |
| JP4043572B2 (ja) | 2008-02-06 |
| US5987963A (en) | 1999-11-23 |
| EP0853240B1 (en) | 2004-09-08 |
| DE69730585T2 (de) | 2005-09-15 |
| DE69730585D1 (de) | 2004-10-14 |
| FI965015A0 (fi) | 1996-12-13 |
| FI965015L (fi) | 1998-06-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH10197472A (ja) | ポリマーフィルムガスセンサーの感度の改良法およびその方法を実施するセンサー構造 | |
| JPH02171647A (ja) | ガス或は蒸気の相対濃度を測定する為の測定方法及びセンサー | |
| US4877329A (en) | Method and apparatus for measuring the dew point of a gas | |
| CA1106027A (en) | Apparatus and method for detecting the presence of a substance on a liquid surface | |
| JP2001201478A (ja) | 湿度センサ又はガス濃度センサ用の測定方法及び測定システム | |
| JPH09257587A (ja) | 非接触型温度計 | |
| US9453807B2 (en) | Thermal conductivity gas sensor with amplification material | |
| Johnson et al. | The stability of carbon resistance thermometers | |
| KR900010368A (ko) | 열기억 소자와 이들의 집합체, 열내력(熱內歷) 결정방법과 장치, 및 열내력 기록장치 | |
| JP3167798B2 (ja) | ガスセンサ | |
| CN114526844B (zh) | 一种热电堆传感器热学参数自测试方法 | |
| Toda et al. | NO-sensing properties of Au thin film | |
| JPH1054816A (ja) | 酸化ガリウムセンサーを用いてのメタンの検出法及びメタン濃度の測定法 | |
| US11988624B2 (en) | Method for detecting at least one gas quantity of at least one predetermined gas by a measurement sensor of a plurality of gases | |
| US20260009753A1 (en) | System and method for determining a gas concentration using a sensor device | |
| JP3302784B2 (ja) | 湿度計 | |
| KR20180136369A (ko) | 센서 어셈블리 작동 방법 및 이에 적합한 센서 어셈블리 | |
| Baumbach et al. | A new method for fast identification of gases and gas mixtures after sensor power up | |
| JP4270711B2 (ja) | ガス検知方法及び装置 | |
| JPH0961259A (ja) | サーミスタを用いた熱的変量の測定方法 | |
| GB2293015A (en) | Formaldehyde vapour detector | |
| JP4197823B2 (ja) | ガス検知方法及び装置 | |
| SU1193559A1 (ru) | Устройство дл анализа газов | |
| JP2001296264A (ja) | 分析装置 | |
| JP2002243551A (ja) | 赤外線の検出方法、及び赤外線検出素子 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061211 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20070309 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20070314 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070607 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070702 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070927 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071022 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071114 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101122 Year of fee payment: 3 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |