JPH1020110A

JPH1020110A - カラーフイルタの製造法

Info

Publication number: JPH1020110A
Application number: JP17010996A
Authority: JP
Inventors: Yasuki Mori; 靖樹森
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd
Current assignee: Resonac Corp
Priority date: 1996-06-28
Filing date: 1996-06-28
Publication date: 1998-01-23

Abstract

(57)【要約】【課題】感光層の貼り付け後に各色の膜厚を調整して
画素間段差を小さくして膜厚をそろえることのできるカ
ラーフイルタの製造法を提供する。【解決手段】透明基板上に、ベースフイルムと着色さ
れた感光性樹脂層とからなる感光性フイルムを、（１）
着色された感光性樹脂層が前記基板に面するように貼り
合わせる工程、（２）パターン状に露光する工程及び
（３）現像工程を含む工程を繰り返して多色パターンを
形成させるカラーフィルタの製造法において、前記
（２）の工程に続いて、加熱して膜厚を増加させる工程
を行うことを特徴とするカラーフイルタの製造法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフイルタの
製造法に関する。

【０００２】

【従来の技術】カラーフイルタは、ガラス等の光学的に
透明な基板の表面に、２種以上の色相を異にする極めて
微細なストライプ状又はモザイク状のパターンを、一定
の間隔を開けて平行又は交差して並べた物である。これ
らのパターンは、色相を所定の順序に所定の間隔をおい
て整然と配置し、厚さムラの少ない均一な層とする必要
があり、スクリーン印刷法、フォトリソグラフィ法、染
色法等のカラーフイルタの製造法が提案されている。

【０００３】また、ベースフイルム及び感光性樹脂層を
有する感光性フイルムを使用した、多色の微細なストラ
イプ状又はモザイク状のパターンを簡単に高精度で形成
できるカラーフイルタの製造法が知られている。

【０００４】感光性フイルムを用いてカラーフイルタを
作成する方法としては、一色に着色された感光性樹脂組
成物をベースフイルムに塗布乾燥した感光性フイルムの
感光性樹脂層を、透明な基板の上に転写して、所定パタ
ーンマスクを介して露光、現像してパターンを形成する
方法（特開昭６１−９９１０２号公報、特開平３−１６
０４５４号公報、特開平３−１１１８０２号公報、特開
平２−１５１８０５号公報、特開平４−２１２１６１号
公報、特開平４−３０１６０２号公報、特開平５−２１
０７号公報等）が知られている。

【０００５】感光性フイルムは、良好なパターンを得る
ために、基板への追従性を向上させることが必要であ
る。感光性フイルムの追従性を向上させる方法として
は、例えば、基板に段差があっても、その基板を正確に
微細加工できることを特徴とする三層レジスト法（J.Va
c.Sci.Technol.,16巻1620頁 1968年発行等）、現像前で
露光後に感光性レジスト層を５０〜１５０℃、３０〜６
０秒の条件で加熱して、ＵＶ光が充分に当たらない下層
部分の反応を促進させるアフタベーク法（特開平３−１
９６５９６号公報等）等が挙げられる。また、顔料分散
フォトポリマーを用いたカラーフイルタで、光開始剤の
ラジカルにより誘起したモノマーラジカルの発生とその
重合連鎖反応を促進し、スピンナーを用いて感光性レジ
スト層を塗布し、溶剤除去のためにプリベーク（例え
ば、８５℃で５分間）を行うプリベーク法（J.Photopol
ym.Sci.Technol.,Vol.No.2,1989年 244頁〜248頁）等が
挙げられる。

【０００６】カラーフイルタの場合は赤緑青及び（また
は）黒の画素から形成されている。画素の膜厚はすべて
同一であることが要求されている。すなわち、画素間の
膜厚の段差は０．１μｍ以内が良いとされている。これ
は、ＩＴＯの断線の防止、液晶の配向の均一性の確保の
ために必要とされる特性である。これは、各色のフイル
ムの膜厚を０．１μｍ以内に調整する塗工により達成さ
れるが塗工技術が難しく、常に完全な調整はできない。
各色のフイルムの膜厚が揃っていなくても、感光層の貼
り付け後に膜厚を調整できれば結果としてカラーフイル
タの画素間段差を小さくすることができる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】請求項１記載の発明は
感光層の貼り付け後に各色の膜厚を調整して画素間段差
を小さくして膜厚をそろえることのできるカラーフイル
タの製造法を提供するものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、透明基板上
に、ベースフイルムと着色された感光性樹脂層とからな
る感光性フイルムを、（１）着色された感光性樹脂層が
前記基板に面するように貼り合わせる工程、（２）パタ
ーン状に露光する工程及び（３）現像工程を含む工程を
繰り返して多色パターンを形成させるカラーフィルタの
製造法において、前記（２）の工程に続いて、加熱して
膜厚を増加させる工程を行うことを特徴とするカラーフ
イルタの製造法に関する。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明のテーパ状の画素断面をも
つパターンの形成は、前記（２）の工程に次いで、加熱
時間と加熱温度を制御して膜厚を増加させ所望の膜厚を
得る工程を行うことにより達成される。これは次の理由
による。露光工程後には露光部ではバインダの架橋と高
分子の生成がある。モノマは反応して高分子となるので
露光部ではモノマの濃度が低下する。充分な温度と時間
が与えられると未露光部から未反応モノマが露光部に移
動して来る。すなわち、モノマのマイグレーションが起
こる。モノマの移動は高温ほどすみやかに行われる。こ
の現象はモノマが均一化されるまで続く。それによって
露光部の密度が増大しさらには膜厚の増大を招く。とこ
ろで、露光後移動してきたモノマは光開始剤が露光によ
って発生したラジカルが生きている間は反応し高分子化
する。

【００１０】本発明では露光後で前記ラジカルが活性な
間に加熱を行いモノマの移動と反応を促進する。移動し
たモノマが反応する。その後、ベースフイルムを剥離す
ると、酸素阻害が起るため前記ラジカルが失活してモノ
マの反応が停止する。以上の理由から、加熱時間と加熱
温度を制御して膜厚を増加させ所望の膜厚を得ることが
できて、画素間の段差を制御することができる。通常、
前記ラジカルが活性を保つ時間は１５分前後であること
が知られている。再露光後加熱しベースフイルムを剥離
して、感光層の表面の粗さを測定すると未露光部と露光
部では露光部が凸となり、未露光部より高くなる。即
ち、露光部でよりモノマの集まりが多く凸となることを
表している。

【００１１】本発明では上記のモノマの移動を利用し
て、画素間の段差を制御することができる。（２）の工
程の後、そのまま現像すると、画素の膜厚は貼り付け前
の感光性樹脂層と同じとなる。本発明では前記（２）の
工程に続いて加熱を行うが、この加熱時に、加熱時間と
加熱温度を制御することにより膜厚を増加させ所望の膜
厚を得ることができる。モノマの移動は温度が高いほど
多く移動する。時間が長いほど移動量は多くなる。前記
ラジカルが活性を保つ時間は１５分前後であるから、ラ
ジカルが不活性になった後では、モノマは移動するが、
反応はしないので、移動はしたが反応していないモノマ
は現像時に溶解除去される。また、ベースフイルムを剥
離すると即座に酸素阻害が始まり反応がとまる。露光後
加熱温度を設定して、加熱し膜厚の増大が所望の値とな
ったときにベースフイルムを剥離する手順により膜厚の
制御ができる。加熱温度は室温以上で、熱硬化温度以下
が設定できる。加熱時間は最大でもラジカルの活性なあ
いだだけである。加熱手段は通常の乾燥機、温水その他
の加熱装置の利用が可能である。通常、加熱温度は、６
０〜１００℃であり、加熱時間は１〜６０分間である。

【００１２】本発明における透明基板としては、例え
ば、ガラス板、プラスチツク板等が挙げられる。透明基
板の厚さは、通常、０．４〜４mmである。本発明におけ
るベースフイルムとしては、例えば、ポリエチレンテレ
フタレート等からなるポリエステルフイルム、ポリエチ
レン、ポリプロピレン等からなるポリオレフインフイル
ム等が挙げられる。ベースフイルムの厚さは、通常、３
〜５０μｍである。

【００１３】本発明に用いられる感光性フイルムは、透
明なベースフイルム、例えば、ポリエチレンテレフタレ
ート等のフイルム上に、着色された感光性樹脂組成物を
塗布し、乾燥させて着色された感光性樹脂層を形成させ
たものである。この着色感光性樹脂層は未硬化であり、
柔軟で、粘着性を有するため、この上にさらにポリエチ
レンフイルム等の保護フイルムを貼り合わせて外部から
の損傷、異物の付着等を防止することが望ましい。感光
性フイルムに形成された着色感光性樹脂層は、保護フイ
ルムを剥がしながら透明基板上に貼り合わされ、また、
該着色感光性樹脂層表面のベースフイルムは、所定パタ
ーンのネガパターンを通じて露光した後に除去される。

【００１４】本発明における感光性樹脂組成物として
は、特に制限なく公知のものを使用できるが、例えば、
（Ａ）エチレン性不飽和化合物、（Ｂ）カルボキシル基
含有フイルム付与性ポリマ、（Ｃ）光重合開始剤及び
（Ｄ）顔料又は染料を含むものが好ましい。

【００１５】エチレン性不飽和化合物（Ａ）としては、
例えば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を
付加して得られる化合物（トリメチロールプロパンジア
クリレート、トリメチロールプロパントリアクリレー
ト、テトラメチロールメタントリアクリレート、ジペン
タエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリス
リトールヘキサアクリレート等）、グリシジル基含有化
合物にα，β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化
合物（トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル
トリアクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエー
テルジアクリレート等）、多価カルボン酸（無水フタル
酸等）と水酸基及びエチレン性不飽和基を有する化合物
（β−ヒドロキシエチルアクリレート等）とのエステル
化物、アクリル酸のアルキルエステル（アクリル酸メチ
ル、アクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸
２−エチルヘキシル等）、トリメチルヘキサメチレンジ
イソシアナートと２価アルコールと２価のアクリル酸モ
ノエステルとを反応させて得られるウレタンジアクリレ
ート化合物、ビスフェノールＡのアルキレンオキシド
（エチレンオキシド、プロピレンオキシド等）の付加物
と水酸基及びエチレン性不飽和基を有する化合物（β−
ヒドロキシエチルアクリレート等）とのエステル化物
（２，２−ビス〔（４−アクリロキシペンタエトキシ）
フェニル〕プロパン）、γ−クロロ−β−ヒドロキシプ
ロピル−β′−アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレ
ート、これらに対応するメタクリレートなどが挙げられ
る。これらの化合物は単独で又は２種類以上を組み合わ
せて使用される。

【００１６】光感度、現像性の点から、（Ａ）成分の配
合量は（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量を１００重量部と
して９０〜５０重量部とされることが好ましい。

【００１７】（Ｂ）カルボキシル基含有フイルム性付与
ポリマーとしては、例えば、アクリル酸アルキルエステ
ル又はメタクリル酸アルキルエステルとアクリル酸又は
メタクリル酸との共重合体、アクリル酸アルキルエステ
ル又はメタクリル酸アルキルエステルとアクリル酸又は
メタクリル酸とこれらと共重合し得るビニルモノマーと
の共重合体等が挙げられる。

【００１８】アクリル酸アルキルエステルとしては、例
えば、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル
酸ブチル、アクリル酸２−エチルヘキシル等が挙げられ
る。また、メタクリル酸アルキルエステルとしては、前
記アクリル酸アルキルエステルに対応するものが挙げら
れる。共重合し得るビニルモノマーとしては、例えば、
アクリル酸ジメチルアミノエチルアクリレート、テトラ
ヒドロフルフリルアクリレート、アミノエチルアクリレ
ート、２，２，２−トリフルオロエチルアクリレート、
２，２，３，３−テトラフルオロプロピルアクリレー
ト、これらに対応するメタクリレート、アクリルアミ
ド、メタクリルアミドジアセトンアクリルアミド、スチ
レン、ビニルトルエン等が挙げられる。

【００１９】（Ｂ）カルボキシル基含有フイルム性付与
ポリノマーとして、例えば、テレフタル酸、イソフタル
酸、セバシン酸等のポリエステル、ブタジエンとアクリ
ロニトリルとの共重合体、セルロースアセテート、セル
ロースアセテートブチレート、メチルセルロース、エチ
ルセルロース等も併用することができる。（Ｂ）成分の
使用によって、塗膜性や硬化物の膜特性が向上し、その
配合量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量を１００重
量部として、１０〜５０重量部が好ましい。配合量が１
０重量部未満では、エチレン性不飽和化合物が多くなる
ため光感度が低下する傾向があり、５０重量部を超える
と、光硬化物が脆くなる傾向がある。また、（Ｂ）成分
の重量平均分子量は、前記塗膜性や膜強度の点から１
０，０００〜５００，０００であることが好ましい。な
お、重量平均分子量は、ゲルパーミェーションクロマト
グラフィで測定し、ポリスチレン換算した値である。

【００２０】光重合開始剤（Ｃ）としては、例えば、芳
香族ケトン（ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル
−４，４′−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーのケト
ン）、４−メトキシ−４′−ジメチルアミノベンゾフェ
ノン、４，４′−ジエチルアミノベンゾフェノン、２−
エチルアントラキノン、フェナントレンキノン等）、ベ
ンゾインエーテル（ベンゾインメチルエーテル、ベンゾ
インエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル
等）、ベンゾイン（メチルベンゾイン、エチルベンゾイ
ン等）、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量
体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニル
イミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−
４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェ
ニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニ
ル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−
（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダ
ゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５
−ジフェニルイミダゾール二量体、２，４−ジ（ｐ−メ
トキシフェニル）−５−フェニルイミダゾール二量体、
２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェ
ニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メチルメルカプト
フェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体
等）、１，７−ビス（９−アクリニジル）ヘプタン等の
アクリジン誘導体などが用いられる。

【００２１】（Ｃ）成分の配合量は、（Ａ）成分及び
（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、０．１〜１０
重量部が好ましい。この配合量が、０．１重量部未満で
は、光感度が不充分となる傾向があり、１０重量部を超
えると、露光の際に感光性組成物の表面での光吸収が増
大し、内部の光硬化が不充分となる傾向がある。

【００２２】（Ｄ）前記顔料又は染料としては、一般に
知られている着色剤が使用でき、感光性樹脂層、特にエ
チレン性不飽和化合物又はカルボキシル基含有フイルム
性付与ポリマーに対する相溶性、目標とする色相、光透
過性等を考慮して選択される。カラーフイルタに使用で
きる顔料としては、各種の化合物が使用でき、例えば、
硫酸バリウム、酸化亜鉛、硫酸鉛、酸化チタン、ベンガ
ラ、カーボンブラック、グラファイト、酸化クロムなど
の無機顔料、下記の有機顔料（カラーインデックス番
号）などがある。

【００２３】黄色顔料：C.I.ピグメントイエロー２０、
２４、８３、８６、９３、１０９、１１０、１１７、１
２５、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５
３、１５４、１６６、１６８オレンジ顔料：C.I.ピグメントオレンジ３６、４３、５
１、５５、５９、６１赤色顔料：C.I.ピグメントレッド９、９７、１２２、１
２３、１４９、１６８、１７７、１８０、０９２、２１
５、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２
６、２２７、２２８、２４０、４８：１バイオレット顔料：C.I.ピグメントバイオレット１９、
２３、２９、３０、３７、４０、５０青色顔料：C.I.ピグメントブルー１５、１５：６、２
２、６０、６４緑色顔料：C.I.ピグメントグリーン７、３６黒色顔料：C.I.ピグメントブラック７

【００２４】（Ｄ）成分の配合量は、（Ａ）成分及び
（Ｂ）及びの総量１００重量部に対して、１〜５０重量
部とすることが好ましい。この配合量が、１重量部未満
では、着色が不充分となる傾向があり、５０重量部を超
えると、光透過率が低下する傾向がある。

【００２５】前記着色感光性樹脂層には、加熱硬化性を
高めるためにカルボキシル基含有フイルム性付与ポリマ
ーのカルボキシル基と熱反応するメラミン樹脂及び／又
はエポキシ樹脂を、（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１０
０重量部に対して、１〜２０重量部添加し、加熱するこ
とが好ましい。加熱温度は、１３０〜２００℃とするこ
とが好ましく、加熱時間は、３０〜６０分とすることが
着色層の架橋密度向上、耐熱性向上等の点から好まし
い。

【００２６】本発明においては、感光性フイルムを貼り
合わされた後にパターン状に露光する工程を行う。貼り
合わせ方法としては、特に制限はないが、例えば、ラミ
ネーターを使用し、熱ロールにより圧力をかける方法等
が挙げられる。貼り合わせ時の温度は、６０〜１５０℃
とすることが好ましく、１００〜１５０℃とすることが
より好ましい。貼り合わせ時の圧力は、１〜１０kgf/cm
²とすることが好ましく、５〜１０kgf/cm²とすることが
より好ましい。なお、熱ロールを通過させる場合は、通
過速度を０．１〜５ｍ／分とすることが好ましく、０．
１〜１．５ｍ／分とすることがより好ましい。

【００２７】パターン状に露光する方法としては、特に
制限はないが、例えば、ベースフイルム上（ベースフイ
ルムが剥離されている場合は感光性樹脂層上）に所定の
パターンのネガマスクを載せ、このネガマスク上から超
高圧水銀ランプ等の光源を用いて活性光線を照射する方
法、レーザーを用いるＣＡＤにより活性光線を照射する
方法等が挙げられる。

【００２８】この露光工程の後に、加熱して膜厚を増加
させる工程を行い、次いで、現像工程を行い、透明基板
上に色パターン（画素）が形成される。現像工程は、感
光性樹脂層を現像して、感光性樹脂層の色パターン（画
素）としたい部分以外の部分（不要部）を除去する工程
である。現像の方法としては、特に制限はないが、例え
ば、パターン状露光により生じた感光性樹脂層の露光部
と未露光部の現像液に対する溶解度差を利用するウエツ
ト現像法、露光部と未露光部の接着力差を利用するドラ
イ現像法等が挙げられる。解像度の点からはウエツト現
像法が好ましく、その現像液としては、特に制限はない
が、例えば、１，１，１，−トリクロロエタン等の有機
溶剤、炭酸ナトリウム水溶液等のアルカリ性溶液等が挙
げらる。ウエツト現像法では、これらの現像液をパター
ン状露光した後の感光性樹脂層に接触させ、露光部及び
未露光部のどちらか一方を溶解又は剥離して除去する。

【００２９】本発明におけるカラーフイルタは、例えば
次のようにして製造される。まず、透明基板上に感光性
フイルムに形成された着色感光性樹脂層が貼り合わさ
れ、着色感光性樹脂層表面のベースフイルム上に所定パ
ターンのネガマスクを乗せて露光すること等によりパタ
ーン状に露光した後、ベースフイルムが除去され、ネガ
型感光性樹脂層の場合未露光部分が現像液で除去されて
現像され、ポジ型の感光性樹脂層の場合は、露光部分が
現像液で除去されて現像され、着色パターン（画素）が
形成される。この着色パターン形成工程を、色の異なる
感光性フイルムを用いて所定回数繰り返し行い、多色の
パターンを形成させてカラーフイルタが得られる。

【００３０】

【実施例】以下、実施例によって本発明を説明する。実施例１（１）着色感光性樹脂層用の塗工液の製造表１の材料を均一に溶解した溶液２００重量部に表２の
いずれかの顔料ペースト１３５重量部、メラミン樹脂５
重量部及びシランカップリング剤５重量部をそれぞれ添
加し、溶解分散して着色感光性樹脂層用の塗工液を得
た。

【００３１】

【表１】

【００３２】

【表２】

【００３３】メラミン樹脂サイメル３００（三井東圧化学(株)製、ヘキサメトキシ
メチルメラミンの商品名）シランカップリング剤ＫＢＭ５０３（信越化学工業(株)
製）塗工液の調整塗工液を使用直前に超音波で２．５時間分散して調整し
た。

【００３４】（２）感光性フイルムの製造得られた塗工液を、厚さ６μｍのポリエチレンテレフタ
レートフイルム（テイジン社製テトロンフイルムＭ５
Ｒ）上に均一な厚さにキスタッチリバース方式の塗工機
を用いて塗布し、１００℃の乾燥機で２分間乾燥した。
保護フイルムとして厚さ３０μｍのポリエチレンフイル
ムを貼り合わせて感光性フイルムを得た。乾燥後の感光
性樹脂層の厚さは、赤２．０μｍ、青１．８μｍ及び緑
１．８μｍであった。

【００３５】（３）カラーフイルタの製造画素の形状の順番は赤、青及び緑である。（ａ）基板加熱工程カラーフイルタ用の下地基板（コーニング７０５４、コ
ーニング社製）を８０℃で１０分間加熱した。（ｂ）貼り合わせ工程前記感光性フイルムの保護フイルムを剥がしながら、着
色感光性樹脂層を前記カラーフイルタ用の下地基板上に
下記条件でラミネートした。二色目、三色目は前置画素
のストライプに平行にラミネートした。ロール温度１２０℃ ロール圧６．０kgf/cm² 速度０．５ｍ／分

【００３６】（ｃ）露光工程所定のパターン（通常のストライプ状のパターン。幅が
８０．０μｍ、長さ１５０mmの仕上がりで、赤、緑及び
青の順に繰り返しているように３００μｍ周期で設計さ
れたストライプ状のパターン）のネガパターン（ネガマ
スク）を通して露光機ＨＭＷ−２０１Ｂ（３kW、超高圧
水銀灯、オーク製作所製）で露光した。（ｄ）加熱工程赤は実施せず、青と緑は８０℃で１５分間乾燥機で加熱
した。（ｅ）剥離工程ポリエチレンテレフタレートフイルムを除去した。

【００３７】（ｆ）現像工程すべての色について現像液として、３０℃の０．０８重
量％のＮａ₂ＣＯ₃水溶液を用いた。赤は１５秒間スプレ
ーにより現像し、未露光部を除去し一色目の赤の着色パ
ターンを形成した。青と緑は各々５秒間スプレーにより
予備的に現像して純水で洗浄することにより現像面の現
像液を除去し、エアークリーニングを行い、その後、８
０℃で５分間乾燥し、次いで、青と緑についてスプレー
２０秒の現像を行い、二色目の青と三色目の緑の着色パ
ターンを形成した。

【００３８】この（ａ）から（ｆ）の着色パターンの形
成工程を、赤、青及び緑の順に各色の感光性フイルムを
用いて繰り返し行い、多色のパターンを形成した。な
お、露光量は赤、青及び緑色の感光性樹脂層に対しては
５０mJ/cm²とした。得られた多色パターンに紫外線照射
機（ランプＨ５６００Ｌ／２、東芝電材社製）を用いて
３J/cm²で照射した後、１５０℃で４５分間加熱してカ
ラーフイルタを得た。得られたカラーフイルタは赤、青
及び緑色のパターンが整然と並んでおり、膜厚は赤２．
０μｍ、青２．０μｍ及び緑２．０μｍであった。青と
緑ではそれぞれ０．２μｍの膜厚の増大があった。

【００３９】実施例２表１の材料に代えて、次の表３の材料を使用した以外は
実施例１と同様に行った。

【００４０】

【表３】

【００４１】実施例３表１の材料に代えて、次の表４の材料を使用した。感光
性樹脂層の膜厚は赤と青１．８μｍ、緑は２．０μｍで
あった。また、（ｃ）の加熱工程は赤と青のみ実施して
緑は行わなかった。それ以外は実施例１と同様に行っ
た。

【００４２】

【表４】

【００４３】得られたカラーフイルタは赤緑青とも膜厚
が２．０μｍであった。赤と青で膜厚の増加があり、画
素間段差は０μｍとなった。

【００４４】比較例１実施例１において（ｃ）の加熱の工程を青及び緑につい
ても行わずにベースフイルムの剥離の工程を行った以外
は実施例１と同様に実施した。得られたカラーフイルタ
では赤は２．０μｍ青は１．８μｍ緑は１．８μｍであ
った。膜厚の増加はみられず、塗工膜の膜厚のままであ
った。

【００４５】

【発明の効果】請求項１記載のカラーフイルタの製造法
は、感光層の貼り付け後に各色の膜厚を調整でき、画素
間段差が小さく、膜厚が均一なカラーフイルタを製造で
きる。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透明基板上に、ベースフイルムと着色さ
れた感光性樹脂層とからなる感光性フイルムを、（１）
着色された感光性樹脂層が前記基板に面するように貼り
合わせる工程、（２）パターン状に露光する工程及び
（３）現像工程を含む工程を繰り返して多色パターンを
形成させるカラーフィルタの製造法において、前記
（２）の工程に続いて、加熱して膜厚を増加させる工程
を行うことを特徴とするカラーフイルタの製造法。