JPH10202242A - 超純水の比抵抗調整方法 - Google Patents
超純水の比抵抗調整方法Info
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- JPH10202242A JPH10202242A JP9010682A JP1068297A JPH10202242A JP H10202242 A JPH10202242 A JP H10202242A JP 9010682 A JP9010682 A JP 9010682A JP 1068297 A JP1068297 A JP 1068297A JP H10202242 A JPH10202242 A JP H10202242A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】炭酸ガスを疎水性透過膜を透過させて超純水に
溶解して超純水の比抵抗値を調整する比抵抗調整方法に
おいて、超純水の比抵抗値を精度よく調整する。 【解決手段】比抵抗値の調整に使用する炭酸ガス量を、
対象とする超純水の全流量のうちの一定流量に対応して
設定される第１の流量分と、一定流量部を除く残余の流
量部に対応して設定される変動流量である第２の流量分
とに分けて、炭酸ガスの第２の流量分を超純水の残余の
流量部に対応して制御する。これにより、超純水の制御
の対象とする変動部分の流量が少なくて炭酸ガスの流量
の制御幅が小さく、超純水の比抵抗値の調整精度を向上
させることができる。
溶解して超純水の比抵抗値を調整する比抵抗調整方法に
おいて、超純水の比抵抗値を精度よく調整する。 【解決手段】比抵抗値の調整に使用する炭酸ガス量を、
対象とする超純水の全流量のうちの一定流量に対応して
設定される第１の流量分と、一定流量部を除く残余の流
量部に対応して設定される変動流量である第２の流量分
とに分けて、炭酸ガスの第２の流量分を超純水の残余の
流量部に対応して制御する。これにより、超純水の制御
の対象とする変動部分の流量が少なくて炭酸ガスの流量
の制御幅が小さく、超純水の比抵抗値の調整精度を向上
させることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、超純水に炭酸ガス
を溶解して、超純水の比抵抗値を調整するための比抵抗
調整方法に関する。
を溶解して、超純水の比抵抗値を調整するための比抵抗
調整方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】超純水は、半導体の製造工程において基
板の洗浄に使用されるが、超純水の比抵抗値が高い場合
には基板に静電気が発生して、基板に絶縁破壊が生じた
り、微粒子が付着する等の不都合が生じる。このため、
基板の洗浄水として使用される超純水は、その使用に先
だって比抵抗処理して、その比抵抗値を所定の範囲に調
整することが好ましい。超純水の比抵抗値を調整する方
法の一例としては、特公平５−２１８４１号公報に示さ
れている比抵抗調整方法がある。
板の洗浄に使用されるが、超純水の比抵抗値が高い場合
には基板に静電気が発生して、基板に絶縁破壊が生じた
り、微粒子が付着する等の不都合が生じる。このため、
基板の洗浄水として使用される超純水は、その使用に先
だって比抵抗処理して、その比抵抗値を所定の範囲に調
整することが好ましい。超純水の比抵抗値を調整する方
法の一例としては、特公平５−２１８４１号公報に示さ
れている比抵抗調整方法がある。
【０００３】当該比抵抗調整方法は、一定流量の超純水
を常時流通させる処理室内に配設された疎水性で炭酸ガ
スを透過させる疎水性透過膜にて形成された流通路に炭
酸ガスを流通させて、炭酸ガスの一部を同流通路を構成
する疎水性透過膜を透過させることにより、前記処理室
内を流通する超純水に炭酸ガスを溶解させて超純水の比
抵抗値を調整する方法である。
を常時流通させる処理室内に配設された疎水性で炭酸ガ
スを透過させる疎水性透過膜にて形成された流通路に炭
酸ガスを流通させて、炭酸ガスの一部を同流通路を構成
する疎水性透過膜を透過させることにより、前記処理室
内を流通する超純水に炭酸ガスを溶解させて超純水の比
抵抗値を調整する方法である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、当該比抵抗
調整方法においては、超純水を処理室内を常に流通させ
て処理室内での滞留をできるかぎり防止することにより
超純水の純度を保持しているが、この方式を採用する場
合には超純水の供給流量が変動することから、超純水の
変動量に対応して炭酸ガスの流通路への流量を精度よく
制御する必要がある。
調整方法においては、超純水を処理室内を常に流通させ
て処理室内での滞留をできるかぎり防止することにより
超純水の純度を保持しているが、この方式を採用する場
合には超純水の供給流量が変動することから、超純水の
変動量に対応して炭酸ガスの流通路への流量を精度よく
制御する必要がある。
【０００５】炭酸ガスの流量の制御には、流通路へ供給
する炭酸ガスの流量が微量であることから高い精度が要
求され、精度の高い制御バルブを比例制御または開閉制
御する手段が採られる。この場合、炭酸ガスの流量制御
は、処理室内に供給される超純水の全流量を基準とする
ものであって、制御幅が大きくて制御の精度が必ずしも
良くない。このため、超純水の比抵抗値の調整精度は、
必ずしも良いものとはいえない。
する炭酸ガスの流量が微量であることから高い精度が要
求され、精度の高い制御バルブを比例制御または開閉制
御する手段が採られる。この場合、炭酸ガスの流量制御
は、処理室内に供給される超純水の全流量を基準とする
ものであって、制御幅が大きくて制御の精度が必ずしも
良くない。このため、超純水の比抵抗値の調整精度は、
必ずしも良いものとはいえない。
【０００６】従って、本発明の目的は、当該比抵抗調整
方法において、超純水の比抵抗値の調整精度を向上させ
ることにある。
方法において、超純水の比抵抗値の調整精度を向上させ
ることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は超純水の比抵抗
調整方法に関し、特に、一定流量の超純水を常時流通さ
せる処理室内に配設された疎水性で炭酸ガスを透過させ
る疎水性透過膜にて形成された流通路に炭酸ガスを流通
させて、炭酸ガスの一部を同流通路を構成する疎水性透
過膜を透過させることにより、前記処理室内を流通する
超純水に炭酸ガスを溶解させて超純水の比抵抗値を調整
する超純水の比抵抗調整方法を対象するものである。
調整方法に関し、特に、一定流量の超純水を常時流通さ
せる処理室内に配設された疎水性で炭酸ガスを透過させ
る疎水性透過膜にて形成された流通路に炭酸ガスを流通
させて、炭酸ガスの一部を同流通路を構成する疎水性透
過膜を透過させることにより、前記処理室内を流通する
超純水に炭酸ガスを溶解させて超純水の比抵抗値を調整
する超純水の比抵抗調整方法を対象するものである。
【０００８】しかして、本発明は上記した比抵抗調整方
法において、前記流通路に流通させる炭酸ガスの流量
を、前記処理室内に流通させる超純水の流量のうちの一
定流量部に対応して設定される一定流量である第１の流
量分と、前記超純水の流量の一定流量部を除く残余の流
量部に対応して設定される変動流量である第２の流量分
とに分けて、炭酸ガスの第２の流量分を前記超純水の残
余の流量部に対応して制御することを特徴とするもので
ある。
法において、前記流通路に流通させる炭酸ガスの流量
を、前記処理室内に流通させる超純水の流量のうちの一
定流量部に対応して設定される一定流量である第１の流
量分と、前記超純水の流量の一定流量部を除く残余の流
量部に対応して設定される変動流量である第２の流量分
とに分けて、炭酸ガスの第２の流量分を前記超純水の残
余の流量部に対応して制御することを特徴とするもので
ある。
【０００９】本発明に係る超純水の比抵抗調整方法にお
いては、前記炭酸ガスの第２の流量分を全流量分の６０
％〜９５％とすることができる。
いては、前記炭酸ガスの第２の流量分を全流量分の６０
％〜９５％とすることができる。
【００１０】
【発明の作用・効果】本発明に係る超純水の比抵抗調整
方法においては、処理室内の流通路に流通させる炭酸ガ
スの流量を、処理室内に流通させる超純水の流量のうち
の一定流量部に対応して設定される第１の流量分（一定
流量分）と、超純水の流量の一定流量部を除く残余の流
量部に対応して設定される第２の流量分（変動流量分）
とに分けて、炭酸ガスの第２の流量分を超純水の残余の
流量部に対応して制御する手段を採っている。
方法においては、処理室内の流通路に流通させる炭酸ガ
スの流量を、処理室内に流通させる超純水の流量のうち
の一定流量部に対応して設定される第１の流量分（一定
流量分）と、超純水の流量の一定流量部を除く残余の流
量部に対応して設定される第２の流量分（変動流量分）
とに分けて、炭酸ガスの第２の流量分を超純水の残余の
流量部に対応して制御する手段を採っている。
【００１１】このめ、超純水の制御の対象としている変
動部分の流量が少なくて、超純水に流量変動が生じた場
合の炭酸ガスの流量の制御幅が小さく、超純水の比抵抗
値の調整精度を向上させることができる。
動部分の流量が少なくて、超純水に流量変動が生じた場
合の炭酸ガスの流量の制御幅が小さく、超純水の比抵抗
値の調整精度を向上させることができる。
【００１２】
（比抵抗調整装置）図１には、本発明に係る超純水の比
抵抗調整方法を実施するため使用される比抵抗調整装置
の一例が示されている。当該比抵抗調整装置は、処理槽
１１、および処理槽１１内に配設された疎水性透過膜に
て形成された筒体１２を備えている。処理槽１１は本発
明の処理室を構成し、かつ筒体１２は本発明の疎水性膜
にて形成された流通路を構成しているもので、処理槽１
１には、その入口に超純水の供給管路１３ａが接続され
ているとともに、その出口に流出管路１３ｂが接続され
ており、また筒体１２には、その入口に炭酸ガスの供給
管路１４ａが接続されているとともに、その出口に流出
管路１４ｂが接続されている。
抵抗調整方法を実施するため使用される比抵抗調整装置
の一例が示されている。当該比抵抗調整装置は、処理槽
１１、および処理槽１１内に配設された疎水性透過膜に
て形成された筒体１２を備えている。処理槽１１は本発
明の処理室を構成し、かつ筒体１２は本発明の疎水性膜
にて形成された流通路を構成しているもので、処理槽１
１には、その入口に超純水の供給管路１３ａが接続され
ているとともに、その出口に流出管路１３ｂが接続され
ており、また筒体１２には、その入口に炭酸ガスの供給
管路１４ａが接続されているとともに、その出口に流出
管路１４ｂが接続されている。
【００１３】当該比抵抗調整装置においては、炭酸ガス
の供給管路１４ａにガス流量調整機構２０が介装されて
おり、また超純水の流出管路１３ｂには比抵抗値を検出
するための比抵抗値センサー３１が介装されている。ガ
ス流量調整機構２０は、互いに並列する４本の流路２１
ａ〜２１ｄを備え、各流路２１ａ〜２１ｄにはそれぞれ
電磁バルブ２２ａ〜２２ｄと、ガスフィルター２３ａ〜
２３ｄとが介装されている。各電磁バルブ２２ａ〜２２
ｄは電磁式の開閉バルブであり、また各ガスフィルター
２３ａ〜２３ｄはガス透過量をそれぞれ異にするもの
で、例えば第１ガスフィルター２３ａの透過量を１とし
た場合に、第２ガスフィルター２３ｂの透過量は１／２
に、第３ガスフィルター２３ｃの透過量は１／４に、第
４ガスフィルター２３ｄの透過量は１／８にそれぞれ設
定されている。
の供給管路１４ａにガス流量調整機構２０が介装されて
おり、また超純水の流出管路１３ｂには比抵抗値を検出
するための比抵抗値センサー３１が介装されている。ガ
ス流量調整機構２０は、互いに並列する４本の流路２１
ａ〜２１ｄを備え、各流路２１ａ〜２１ｄにはそれぞれ
電磁バルブ２２ａ〜２２ｄと、ガスフィルター２３ａ〜
２３ｄとが介装されている。各電磁バルブ２２ａ〜２２
ｄは電磁式の開閉バルブであり、また各ガスフィルター
２３ａ〜２３ｄはガス透過量をそれぞれ異にするもの
で、例えば第１ガスフィルター２３ａの透過量を１とし
た場合に、第２ガスフィルター２３ｂの透過量は１／２
に、第３ガスフィルター２３ｃの透過量は１／４に、第
４ガスフィルター２３ｄの透過量は１／８にそれぞれ設
定されている。
【００１４】ガス流量調整機構２０においては、コント
ローラ３２からの動作信号に基づいて各電磁バルブ２２
ａ〜２２ｄの開閉動作が制御されて、筒体１２内への炭
酸ガスの流量が制御されるもので、コントローラ３２は
比抵抗値センサー３１からの検出信号に基づいて各電磁
バルブ２２ａ〜２２ｄに対して動作信号を出力する。
ローラ３２からの動作信号に基づいて各電磁バルブ２２
ａ〜２２ｄの開閉動作が制御されて、筒体１２内への炭
酸ガスの流量が制御されるもので、コントローラ３２は
比抵抗値センサー３１からの検出信号に基づいて各電磁
バルブ２２ａ〜２２ｄに対して動作信号を出力する。
【００１５】（比抵抗調整方法）当該比抵抗調整装置を
使用して超純水の比抵抗値を調整するには、被処理水で
ある一定の温度の超純水を供給管路１３ａを通して一定
の圧力、一定の流量で処理槽１１内に供給するととも
に、流出管路１３ｂを通して流出させ、かつ筒体１２内
へは炭酸ガスをガス流量調整機構２０を通して供給する
とともに、ガス流出管路１４ｂを通して流出させる。
使用して超純水の比抵抗値を調整するには、被処理水で
ある一定の温度の超純水を供給管路１３ａを通して一定
の圧力、一定の流量で処理槽１１内に供給するととも
に、流出管路１３ｂを通して流出させ、かつ筒体１２内
へは炭酸ガスをガス流量調整機構２０を通して供給する
とともに、ガス流出管路１４ｂを通して流出させる。
【００１６】この間、筒体１２内を流通する炭酸ガスの
一部が疎水性透過膜を透過して処理槽１１内に侵入して
超純水に溶解し、超純水の比抵抗値を所定の値に低下さ
せる。また、この間、処理槽１１から流出する超純水の
比抵抗値は比抵抗値センサー３１により常時検出され、
コントローラ３２では、この検出信号に基づいて各電磁
バルブ２２ａ〜２２ｄに対して動作信号が出力されて、
筒体１２内への炭酸ガスの供給量が適正に制御され、超
純水の比抵抗値が設定された所定の範囲に調整される。
一部が疎水性透過膜を透過して処理槽１１内に侵入して
超純水に溶解し、超純水の比抵抗値を所定の値に低下さ
せる。また、この間、処理槽１１から流出する超純水の
比抵抗値は比抵抗値センサー３１により常時検出され、
コントローラ３２では、この検出信号に基づいて各電磁
バルブ２２ａ〜２２ｄに対して動作信号が出力されて、
筒体１２内への炭酸ガスの供給量が適正に制御され、超
純水の比抵抗値が設定された所定の範囲に調整される。
【００１７】しかして、当該比抵抗調整方法において
は、ガス流量調整機構２０を構成する各電磁バルブ２２
ａ〜２２ｄのいずれか１個を常時開放状態に設定して、
筒体１２内へは常に所定量の炭酸ガスを供給して流通さ
せる手段を採用しており、かかる炭酸ガスの供給量を考
慮して、ガス流量調整機構２０では筒体１１内への炭酸
ガスの供給量を制御する手段が採られている。
は、ガス流量調整機構２０を構成する各電磁バルブ２２
ａ〜２２ｄのいずれか１個を常時開放状態に設定して、
筒体１２内へは常に所定量の炭酸ガスを供給して流通さ
せる手段を採用しており、かかる炭酸ガスの供給量を考
慮して、ガス流量調整機構２０では筒体１１内への炭酸
ガスの供給量を制御する手段が採られている。
【００１８】すなわち、当該比抵抗調整方法において、
筒体１２に流通させる炭酸ガスの流量を、処理室１１内
に流通させる超純水の流量のうちの一定流量部に対応し
て設定される一定流量である第１の流量分と、超純水の
流量の一定流量部を除く残余の流量部に対応して設定さ
れる変動流量である第２の流量分とに分けて、炭酸ガス
の第２の流量分を、超純水の残余の流量部に対応して制
御する手段を採っている。炭酸ガスの第２の流量分は、
炭酸ガスの全流量分の２０％〜８０％の範囲内である。
筒体１２に流通させる炭酸ガスの流量を、処理室１１内
に流通させる超純水の流量のうちの一定流量部に対応し
て設定される一定流量である第１の流量分と、超純水の
流量の一定流量部を除く残余の流量部に対応して設定さ
れる変動流量である第２の流量分とに分けて、炭酸ガス
の第２の流量分を、超純水の残余の流量部に対応して制
御する手段を採っている。炭酸ガスの第２の流量分は、
炭酸ガスの全流量分の２０％〜８０％の範囲内である。
【００１９】従って、ガス流量調整機構２０において
は、各電磁バルブ２２ａ〜２２ｄのうちのいずれか１個
が常時開放状態とされ、残りの電磁バルブを開閉制御す
る手段が採られる。常時開放された電磁バルブは炭酸ガ
スの第１の流量分を受持ち、残りの各電磁バルブが炭酸
ガスの第２の流量分を受持ち、これらの各電磁バルブが
超純水の流量の変動に対応して炭酸ガスの流量を制御す
る。
は、各電磁バルブ２２ａ〜２２ｄのうちのいずれか１個
が常時開放状態とされ、残りの電磁バルブを開閉制御す
る手段が採られる。常時開放された電磁バルブは炭酸ガ
スの第１の流量分を受持ち、残りの各電磁バルブが炭酸
ガスの第２の流量分を受持ち、これらの各電磁バルブが
超純水の流量の変動に対応して炭酸ガスの流量を制御す
る。
【００２０】このように、当該比抵抗調整方法によれ
ば、処理室１１内の筒体１２に流通させる炭酸ガスの流
量を、処理室１１内に流通させる超純水の流量のうちの
一定流量部に対応して設定される第１の流量分（一定流
量分）と、超純水の流量の一定流量部を除く残余の流量
部に対応して設定される第２の流量分（変動流量分）と
に分けて、炭酸ガスの第２の流量分を超純水の残余の流
量部に対応して制御する手段を採っているため、超純水
の制御の対象としている変動部分の流量が少なくて、超
純水に流量変動が生じた場合の炭酸ガスの流量の制御幅
が小さく、超純水の比抵抗値の調整の精度を向上させる
ことができる。
ば、処理室１１内の筒体１２に流通させる炭酸ガスの流
量を、処理室１１内に流通させる超純水の流量のうちの
一定流量部に対応して設定される第１の流量分（一定流
量分）と、超純水の流量の一定流量部を除く残余の流量
部に対応して設定される第２の流量分（変動流量分）と
に分けて、炭酸ガスの第２の流量分を超純水の残余の流
量部に対応して制御する手段を採っているため、超純水
の制御の対象としている変動部分の流量が少なくて、超
純水に流量変動が生じた場合の炭酸ガスの流量の制御幅
が小さく、超純水の比抵抗値の調整の精度を向上させる
ことができる。
【００２１】（実験）本実験では、図１に示す比抵抗調
整装置を使用し、かつ筒体１２としてポリプロピレン製
の疎水性透過膜にて形成された筒体１２を使用して、超
純水の比抵抗値を調整する実験を試みた。
整装置を使用し、かつ筒体１２としてポリプロピレン製
の疎水性透過膜にて形成された筒体１２を使用して、超
純水の比抵抗値を調整する実験を試みた。
【００２２】本実験においては、水温２５．３℃で比抵
抗値が１７．５ＭΩ・ｃｍの超純水を用い、超純水を１
２ｌ／ｍｉｎの流量で処理室１１内を流動させ、この間
炭酸ガスを０．８ｋｇ／ｃｍ2の圧力でガス供給管路１
４ａに供給して筒体１２内に流し、超純水の比抵抗値を
０．１ＭΩ・ｃｍに調整した。この間、超純水の流量を
２分間だけ１２ｌ／ｍｉｎから３分間２ｌ／ｍｉｎに低
減して、また２分間１２ｌ／ｍｉｎに戻すことによっ
て、超純水の全体の流量を変動させた。
抗値が１７．５ＭΩ・ｃｍの超純水を用い、超純水を１
２ｌ／ｍｉｎの流量で処理室１１内を流動させ、この間
炭酸ガスを０．８ｋｇ／ｃｍ2の圧力でガス供給管路１
４ａに供給して筒体１２内に流し、超純水の比抵抗値を
０．１ＭΩ・ｃｍに調整した。この間、超純水の流量を
２分間だけ１２ｌ／ｍｉｎから３分間２ｌ／ｍｉｎに低
減して、また２分間１２ｌ／ｍｉｎに戻すことによっ
て、超純水の全体の流量を変動させた。
【００２３】なお、比抵抗値センサー３１は流出管路１
３ｂにおける処理槽１１側の接続部から４００ｍｍ下流
側に設置している。
３ｂにおける処理槽１１側の接続部から４００ｍｍ下流
側に設置している。
【００２４】また、本実験においては、ガス流量調整機
構２０を構成する全ての電磁バルブ２２ａ〜２２ｄを開
閉制御する第１制御方法と、第１電磁バルブ２２ａを常
時開放し、残りの各電磁バルブ２２ｂ〜２２ｄを開閉制
御する第２制御方法との２通りの制御方法を採用した。
なお、第１電磁バルブ２２ａを常時開放させる場合、炭
酸ガス圧力は０．８ｋｇ／ｃｍ2で、流量６０ｃｃ／ｍ
ｉｎとなる。
構２０を構成する全ての電磁バルブ２２ａ〜２２ｄを開
閉制御する第１制御方法と、第１電磁バルブ２２ａを常
時開放し、残りの各電磁バルブ２２ｂ〜２２ｄを開閉制
御する第２制御方法との２通りの制御方法を採用した。
なお、第１電磁バルブ２２ａを常時開放させる場合、炭
酸ガス圧力は０．８ｋｇ／ｃｍ2で、流量６０ｃｃ／ｍ
ｉｎとなる。
【００２５】第２制御方法においては、処理室１１内に
流通させる超純水の流量のうちの２ｌ／ｍｉｎの流量を
一定流量部とし、これに対応する炭酸ガスの流量である
９０ｃｃ／ｍｉｎの流量を第１電磁バルブ２２ａを通し
て供給するように設定し、超純水の流量の一定流量部を
除く残余の流量部を１０ｌ／ｍｉｎの流量として、これ
に対応する炭酸ガスの流量である３５０ｃｃ／ｍｉｎの
流量を第２電磁バルブ２２ｂ〜第２電磁バルブ２２ｄを
通して、制御された状態で供給するように設定してい
る。
流通させる超純水の流量のうちの２ｌ／ｍｉｎの流量を
一定流量部とし、これに対応する炭酸ガスの流量である
９０ｃｃ／ｍｉｎの流量を第１電磁バルブ２２ａを通し
て供給するように設定し、超純水の流量の一定流量部を
除く残余の流量部を１０ｌ／ｍｉｎの流量として、これ
に対応する炭酸ガスの流量である３５０ｃｃ／ｍｉｎの
流量を第２電磁バルブ２２ｂ〜第２電磁バルブ２２ｄを
通して、制御された状態で供給するように設定してい
る。
【００２６】これらの２通りの制御方法において、超純
水の流量の変化時に示す比抵抗値の変動状態を図２
（ａ），（ｂ）のグラフに示す。これらのグラフにおい
て、同図（ａ）に示すグラフは第２制御方法の場合であ
り、同図（ｂ）に示すグラフは第１制御方法の場合であ
って、各グラフを参照すれば明らかなように、同図
（ａ）に示す第２制御方法の場合は比抵抗値の変動幅が
小さい。このことは、第２制御方法を採用した場合に
は、第１制御方法を採用した場合に比較して炭酸ガス供
給量の変動幅を小さくし得て、超純水の比抵抗値をより
精度よく調整できることを意味している。
水の流量の変化時に示す比抵抗値の変動状態を図２
（ａ），（ｂ）のグラフに示す。これらのグラフにおい
て、同図（ａ）に示すグラフは第２制御方法の場合であ
り、同図（ｂ）に示すグラフは第１制御方法の場合であ
って、各グラフを参照すれば明らかなように、同図
（ａ）に示す第２制御方法の場合は比抵抗値の変動幅が
小さい。このことは、第２制御方法を採用した場合に
は、第１制御方法を採用した場合に比較して炭酸ガス供
給量の変動幅を小さくし得て、超純水の比抵抗値をより
精度よく調整できることを意味している。
【００２７】超純水流量が２ｌ／ｍｉｎの時の比抵抗値
の変動は、炭酸ガスを供給して比抵抗値を測定し、さら
に炭酸ガスを供給して比抵抗値を測定し、さらに炭酸ガ
スの供給量を変えるという動作のハンチングである。こ
れは、超純水流量が少ない時に発生する現象である。一
般的には、超純水流量が変動した時には、超純水の比抵
抗値は一時的に変動するが、すぐに設定された比抵抗値
に復帰して一定となるものである。
の変動は、炭酸ガスを供給して比抵抗値を測定し、さら
に炭酸ガスを供給して比抵抗値を測定し、さらに炭酸ガ
スの供給量を変えるという動作のハンチングである。こ
れは、超純水流量が少ない時に発生する現象である。一
般的には、超純水流量が変動した時には、超純水の比抵
抗値は一時的に変動するが、すぐに設定された比抵抗値
に復帰して一定となるものである。
【図１】本発明に係る超純水の比抵抗調整方法を実施す
るために使用する比抵抗調整装置の一例を示す概略構成
図である。
るために使用する比抵抗調整装置の一例を示す概略構成
図である。
【図２】超純水の比抵抗調整方法における比抵抗値の変
動量を示すグラフで、同図（ａ）は超純水の一定流量を
除く残余の流量を制御の対象として炭酸ガスを制御した
場合の比抵抗値の変動量の状態、同図（ｂ）は供給され
る超純水の全量を基準として炭酸ガス量を制御した場合
の比抵抗値の変動量の状態を示す。
動量を示すグラフで、同図（ａ）は超純水の一定流量を
除く残余の流量を制御の対象として炭酸ガスを制御した
場合の比抵抗値の変動量の状態、同図（ｂ）は供給され
る超純水の全量を基準として炭酸ガス量を制御した場合
の比抵抗値の変動量の状態を示す。
１１…処理槽、１２…筒体、１３ａ…水供給管路、１３
ｂ…水流出管路、１４ａ…ガス供給管路、１４ｂ…ガス
流出管路、２０…ガス流量調整機構、２１ａ〜２１ｄ…
流路、２２ａ〜２２ｄ…電磁バルブ、２３ａ〜２３ｄ…
ガスフィルター、３１…比抵抗値センサー、３２…コン
トローラ。
ｂ…水流出管路、１４ａ…ガス供給管路、１４ｂ…ガス
流出管路、２０…ガス流量調整機構、２１ａ〜２１ｄ…
流路、２２ａ〜２２ｄ…電磁バルブ、２３ａ〜２３ｄ…
ガスフィルター、３１…比抵抗値センサー、３２…コン
トローラ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｇ０５Ｆ 1/00 Ｇ０５Ｆ 1/00 Ｚ Ｈ０１Ｌ 21/304 ３４１ Ｈ０１Ｌ 21/304 ３４１Ｓ
Claims (2)
- 【請求項１】一定流量の超純水を常時流通させる処理室
内に配設された疎水性で炭酸ガスを透過させる疎水性透
過膜にて形成された流通路に炭酸ガスを流通させて、炭
酸ガスの一部を同流通路を構成する疎水性透過膜を透過
させることにより、前記処理室内を流通する超純水に炭
酸ガスを溶解させて超純水の比抵抗値を調整する超純水
の比抵抗調整方法において、前記流通路に流通させる炭
酸ガスの流量を、前記処理室内に流通させる超純水の流
量のうちの一定流量部に対応して設定される一定流量で
ある第１の流量分と、前記超純水の流量の一定流量部を
除く残余の流量部に対応して設定される変動流量である
第２の流量分とに分けて、炭酸ガスの第２の流量分を前
記超純水の残余の流量部に対応して制御することを特徴
とする超純水の比抵抗調整方法。 - 【請求項２】請求項１に記載の超純水の比抵抗調整方法
において、前記炭酸ガスの第２の流量分を全流量分の６
０％〜９５％とすることを特徴とする超純水の比抵抗調
整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9010682A JPH10202242A (ja) | 1997-01-23 | 1997-01-23 | 超純水の比抵抗調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9010682A JPH10202242A (ja) | 1997-01-23 | 1997-01-23 | 超純水の比抵抗調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10202242A true JPH10202242A (ja) | 1998-08-04 |
Family
ID=11757042
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9010682A Pending JPH10202242A (ja) | 1997-01-23 | 1997-01-23 | 超純水の比抵抗調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10202242A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1997
- 1997-01-23 JP JP9010682A patent/JPH10202242A/ja active Pending
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051129 |
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