JPH10206714A - レンズ移動装置 - Google Patents
レンズ移動装置Info
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- JPH10206714A JPH10206714A JP9019601A JP1960197A JPH10206714A JP H10206714 A JPH10206714 A JP H10206714A JP 9019601 A JP9019601 A JP 9019601A JP 1960197 A JP1960197 A JP 1960197A JP H10206714 A JPH10206714 A JP H10206714A
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- Japan
- Prior art keywords
- lens
- moving device
- holding plate
- lens holding
- support
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus
- G03F7/70825—Mounting of individual elements, e.g. mounts, holders or supports
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- Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Epidemiology (AREA)
- Public Health (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 傾斜可能角度とラジアル方向の軸受剛性の少
なくとも一方、および光軸方向のストロークと位置決め
精度の少なくとも一方をそれぞれの他方を損なうことな
く向上させる。 【解決手段】 レンズ光路を遮らないように開口部を有
する台盤１と、台盤に立設された支持手段２と、この支
持手段の支持面に対向する案内面を有するレンズ保持盤
３と、前記支持面と前記案内面を互に非接触に支持する
静圧軸受手段７と、前記レンズ保持盤を前記支持面に平
行な軸に沿って移動させる駆動手段とを有するレンズ移
動装置において、前記駆動手段は複数個５ａ〜５ｃを前
記レンズ台盤に個別に支持する。
なくとも一方、および光軸方向のストロークと位置決め
精度の少なくとも一方をそれぞれの他方を損なうことな
く向上させる。 【解決手段】 レンズ光路を遮らないように開口部を有
する台盤１と、台盤に立設された支持手段２と、この支
持手段の支持面に対向する案内面を有するレンズ保持盤
３と、前記支持面と前記案内面を互に非接触に支持する
静圧軸受手段７と、前記レンズ保持盤を前記支持面に平
行な軸に沿って移動させる駆動手段とを有するレンズ移
動装置において、前記駆動手段は複数個５ａ〜５ｃを前
記レンズ台盤に個別に支持する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体リソグラフ
ィに用いる投影露光装置、各種精密加工機あるいは各種
精密測定器等においてレンズを位置決めするためのレン
ズ移動装置に関するものである。
ィに用いる投影露光装置、各種精密加工機あるいは各種
精密測定器等においてレンズを位置決めするためのレン
ズ移動装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体露光装置の投影レンズの倍率補正
手段として、レンズ鏡筒にレンズ移動装置を組み込んだ
機構については特公昭６２−０３２６１３号に記載され
ている。ここに記載されたレンズ移動装置は、駆動案内
としての静圧空気軸受と、駆動アクチュエータとしての
供給空気圧力を制御した静圧空気軸受、電歪素子お
よび磁歪素子、ダイヤフラム等とで構成されている。
手段として、レンズ鏡筒にレンズ移動装置を組み込んだ
機構については特公昭６２−０３２６１３号に記載され
ている。ここに記載されたレンズ移動装置は、駆動案内
としての静圧空気軸受と、駆動アクチュエータとしての
供給空気圧力を制御した静圧空気軸受、電歪素子お
よび磁歪素子、ダイヤフラム等とで構成されている。
【０００３】また、特開平０６−２２６５７０号には、
静圧軸受け手段で支持された楔形状の入力片を用いた変
位縮小機構について記載されている。
静圧軸受け手段で支持された楔形状の入力片を用いた変
位縮小機構について記載されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例において、特公昭６２−０３２６１３号に記載され
ている従来のレンズ移動装置は、レンズ光軸から傾斜さ
せるためにレンズの直径方向の両端間で約１ｍｍ程度の
駆動ストローク差を必要とする場合、原理的に実施不可
能であったり、また、剛性が非常に弱くなる等の欠点が
あった。また、特開平０６−２２６５７０号に記載され
ているレンズ移動装置では、レンズ光軸方向に数ｍｍ程
度の駆動ストロークを必要とする場合、レンズの位置決
め分解能が粗くなったり、機構自体が大型化してしま
う。さらに、レンズを移動させる方向をレンズ光軸方向
に合わせるには各構成部品の形状寸法を高精度に保たな
ければならない、という欠点があった。
来例において、特公昭６２−０３２６１３号に記載され
ている従来のレンズ移動装置は、レンズ光軸から傾斜さ
せるためにレンズの直径方向の両端間で約１ｍｍ程度の
駆動ストローク差を必要とする場合、原理的に実施不可
能であったり、また、剛性が非常に弱くなる等の欠点が
あった。また、特開平０６−２２６５７０号に記載され
ているレンズ移動装置では、レンズ光軸方向に数ｍｍ程
度の駆動ストロークを必要とする場合、レンズの位置決
め分解能が粗くなったり、機構自体が大型化してしま
う。さらに、レンズを移動させる方向をレンズ光軸方向
に合わせるには各構成部品の形状寸法を高精度に保たな
ければならない、という欠点があった。
【０００５】本発明は、上述の従来例における問題点に
鑑みてなされたもので、傾斜可能な角度を比較的大きく
てラジアル方向の軸受剛性が高く、かつ光軸方向の長ス
トロークが長くて位置決め精度の高いレンズ移動装置を
提供することを目的とする。
鑑みてなされたもので、傾斜可能な角度を比較的大きく
てラジアル方向の軸受剛性が高く、かつ光軸方向の長ス
トロークが長くて位置決め精度の高いレンズ移動装置を
提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段および作用】上記の目的を
達成するために本発明では、レンズ光路を遮らないよう
に開口部を有する台盤と、台盤に立設された支持手段
と、この支持手段の支持面に対向する案内面を有するレ
ンズ保持盤と、前記支持面と前記案内面を互に非接触に
支持する静圧軸受手段と、前記レンズ保持盤を前記支持
面に平行な軸に沿って移動させる駆動手段を有し、前記
駆動手段が前記レンズ台盤に個別に支持されていること
を特徴とする。
達成するために本発明では、レンズ光路を遮らないよう
に開口部を有する台盤と、台盤に立設された支持手段
と、この支持手段の支持面に対向する案内面を有するレ
ンズ保持盤と、前記支持面と前記案内面を互に非接触に
支持する静圧軸受手段と、前記レンズ保持盤を前記支持
面に平行な軸に沿って移動させる駆動手段を有し、前記
駆動手段が前記レンズ台盤に個別に支持されていること
を特徴とする。
【０００７】上記構成において、駆動手段によってレン
ズの光軸方向の位置決めを行なう。レンズ保持盤の案内
面は静圧軸受け手段によって非接触に支持されており、
また、駆動手段はそれぞれ個別に台盤に支持されている
ため、駆動量を大きくすることができる。板バネ等の弾
性部材を必要としないために、駆動量が大きくても案内
面やレンズ保持盤が変形して、レンズ位置決め精度が低
下する恐れがない。レンズ変形の恐れもない。また、駆
動手段がレンズ保持盤の周方向の異なる部位にそれぞれ
連結された少なくとも３個の駆動装置を有すれば、各駆
動装置の駆動量を変えることで、レンズ保持盤およびレ
ンズの中心軸に垂直な平面に対する傾斜角度を調節する
ことができる。
ズの光軸方向の位置決めを行なう。レンズ保持盤の案内
面は静圧軸受け手段によって非接触に支持されており、
また、駆動手段はそれぞれ個別に台盤に支持されている
ため、駆動量を大きくすることができる。板バネ等の弾
性部材を必要としないために、駆動量が大きくても案内
面やレンズ保持盤が変形して、レンズ位置決め精度が低
下する恐れがない。レンズ変形の恐れもない。また、駆
動手段がレンズ保持盤の周方向の異なる部位にそれぞれ
連結された少なくとも３個の駆動装置を有すれば、各駆
動装置の駆動量を変えることで、レンズ保持盤およびレ
ンズの中心軸に垂直な平面に対する傾斜角度を調節する
ことができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【０００９】図１および図２は本発明の一実施例に係る
レンズ移動装置の構成を示す。図２は平面図であり、図
１は図２におけるＡーＢ断面図である。
レンズ移動装置の構成を示す。図２は平面図であり、図
１は図２におけるＡーＢ断面図である。
【００１０】同図のレンズ移動装置は、装置全体を支持
する環状の台盤１と、これに一体的に設けられた円筒状
の支持手段である固定部材２と、その支持面である内周
面に遊合する円筒状のレンズ保持盤３と、該レンズ保持
盤３に保持されたレンズ４と、レンズ４を台盤１に対し
て接近、離間させる３個の駆動手段であるＺリニアモー
タ５ａ〜５ｃと、レンズ４の台盤１に対する回転を規制
する第２の支持手段（取り付け板１５ａおよび多孔質パ
ッド１７等）を有する。固定部材２の内周面とレンズ保
持盤３の案内面である外周面は、固定部材２の内周面に
保持された環状の多孔質絞り型の静圧軸受手段である多
孔質パッド７から噴出される加圧流体の静圧によって互
に非接触に支持され、従って、レンズ４は、固定部材２
と案内部材３の中心軸（以下「Ｚ軸」という。）に沿っ
て往復移動自在である。また、多孔質パッド７の軸受間
隙の許す範囲内において、Ｚ軸に対して傾斜自在であ
り、多孔質パッド７のＺ軸方向の寸法を小さくすること
で、Ｚ軸に対する傾斜角の許容値を大きくすることがで
きる。さらに、レンズ保持盤３、レンズ４の重量の大部
分は台盤１とリニアモータ可動子５１ａ〜５１ｃの間に
設けられた付勢手段であるベローズシリンダ８ａ〜８ｃ
への加圧流体の圧力によって支持される。固定部材２は
多孔質パッド７に加圧流体を供給する図示しない内部流
路を有し、また、台盤１はベローズシリンダ８ａ〜８ｃ
に加圧流体を供給する図示しない内部流路を有する。な
お、多孔質パッド７とレンズ保持盤３との間の間隔の寸
法は７μｍ程度である。
する環状の台盤１と、これに一体的に設けられた円筒状
の支持手段である固定部材２と、その支持面である内周
面に遊合する円筒状のレンズ保持盤３と、該レンズ保持
盤３に保持されたレンズ４と、レンズ４を台盤１に対し
て接近、離間させる３個の駆動手段であるＺリニアモー
タ５ａ〜５ｃと、レンズ４の台盤１に対する回転を規制
する第２の支持手段（取り付け板１５ａおよび多孔質パ
ッド１７等）を有する。固定部材２の内周面とレンズ保
持盤３の案内面である外周面は、固定部材２の内周面に
保持された環状の多孔質絞り型の静圧軸受手段である多
孔質パッド７から噴出される加圧流体の静圧によって互
に非接触に支持され、従って、レンズ４は、固定部材２
と案内部材３の中心軸（以下「Ｚ軸」という。）に沿っ
て往復移動自在である。また、多孔質パッド７の軸受間
隙の許す範囲内において、Ｚ軸に対して傾斜自在であ
り、多孔質パッド７のＺ軸方向の寸法を小さくすること
で、Ｚ軸に対する傾斜角の許容値を大きくすることがで
きる。さらに、レンズ保持盤３、レンズ４の重量の大部
分は台盤１とリニアモータ可動子５１ａ〜５１ｃの間に
設けられた付勢手段であるベローズシリンダ８ａ〜８ｃ
への加圧流体の圧力によって支持される。固定部材２は
多孔質パッド７に加圧流体を供給する図示しない内部流
路を有し、また、台盤１はベローズシリンダ８ａ〜８ｃ
に加圧流体を供給する図示しない内部流路を有する。な
お、多孔質パッド７とレンズ保持盤３との間の間隔の寸
法は７μｍ程度である。
【００１１】Ｚリニアモータ５ａ〜５ｃは取り付け板１
５ａ〜１５ｃを介してレンズ保持盤３に固設された可動
子５１ａ〜５１ｃと台盤１に固設された固定子５２ａ〜
５２ｃを備え、固定部材２の外側に周方向に等間隔で配
設されている。可動子５１ａ〜５１ｃは取り付け板１５
ａ〜１５ｃと一体である支持体１６ａ〜１６ｃに固着さ
れたコイルであり、図示しない配線によって所定の駆動
回路に接続され、該駆動回路から供給される電流量に応
じてＺ軸方向へ駆動される。各Ｚリニアモータ５ａ〜５
ｃの固定子５２ａ〜５２ｃは内面に永久磁石を有する筒
状の枠体である。各Ｚリニアモータ５ａ〜５ｃに供給さ
れる電流量が同じであれば、レンズ４はＺ軸方向に移動
し、各Ｚリニアモータ５ａ〜５ｃに供給される電流量を
個別に変化させることによってレンズ４のＺ軸に対する
傾斜角度を変化させることができる。
５ａ〜１５ｃを介してレンズ保持盤３に固設された可動
子５１ａ〜５１ｃと台盤１に固設された固定子５２ａ〜
５２ｃを備え、固定部材２の外側に周方向に等間隔で配
設されている。可動子５１ａ〜５１ｃは取り付け板１５
ａ〜１５ｃと一体である支持体１６ａ〜１６ｃに固着さ
れたコイルであり、図示しない配線によって所定の駆動
回路に接続され、該駆動回路から供給される電流量に応
じてＺ軸方向へ駆動される。各Ｚリニアモータ５ａ〜５
ｃの固定子５２ａ〜５２ｃは内面に永久磁石を有する筒
状の枠体である。各Ｚリニアモータ５ａ〜５ｃに供給さ
れる電流量が同じであれば、レンズ４はＺ軸方向に移動
し、各Ｚリニアモータ５ａ〜５ｃに供給される電流量を
個別に変化させることによってレンズ４のＺ軸に対する
傾斜角度を変化させることができる。
【００１２】図２に示すように、取り付け板１５ａ〜１
５ｃは、固定部材２の切り欠き部１８ａ〜１８ｃに遊合
している。取り付け板１５ａの側面と対向する固定部材
２の切り欠き部１８ａの側面には、多孔質絞り型の静圧
軸受手段である多孔質パッド１７が設けられている。取
り付け板１５ａは、その側面が案内面になっていて対向
する一対の多孔質パッド１７により非接触で支持され
る。従って、レンズ４はＺ軸回りに回動することを規制
されている。
５ｃは、固定部材２の切り欠き部１８ａ〜１８ｃに遊合
している。取り付け板１５ａの側面と対向する固定部材
２の切り欠き部１８ａの側面には、多孔質絞り型の静圧
軸受手段である多孔質パッド１７が設けられている。取
り付け板１５ａは、その側面が案内面になっていて対向
する一対の多孔質パッド１７により非接触で支持され
る。従って、レンズ４はＺ軸回りに回動することを規制
されている。
【００１３】台盤１は各Ｚリニアモータ５ａ〜５ｃに隣
接する第１の非接触型の変位センサ９ａ〜９ｃを有し、
各変位センサ９ａ〜９ｃは取り付け板１５ａ〜１５ｃの
図示下面に対向する検出端を有し、レンズ４のＺ軸方向
の位置の変化を検出する。変位センサ９ａ〜９ｃの出力
を前述の駆動回路にフィードバックすることにより、レ
ンズ４の微動位置決めを自動的に行なうことができる。
接する第１の非接触型の変位センサ９ａ〜９ｃを有し、
各変位センサ９ａ〜９ｃは取り付け板１５ａ〜１５ｃの
図示下面に対向する検出端を有し、レンズ４のＺ軸方向
の位置の変化を検出する。変位センサ９ａ〜９ｃの出力
を前述の駆動回路にフィードバックすることにより、レ
ンズ４の微動位置決めを自動的に行なうことができる。
【００１４】本実施例は、Ｚリニアモータ５ａ〜５ｃが
それぞれ個別に台盤１上に支持されており、また、レン
ズ保持盤３と台盤１が非接触であるため、レンズ保持盤
３の移動中に大きな振動が発生するおそれがない。ま
た、ベローズシリンダ８ａ〜８ｃによってレンズ保持盤
３や保持されたレンズ４の重量の大部分を支えているた
め、Ｚリニアモータ５ａ〜５ｃの駆動力が小さくて済
む。
それぞれ個別に台盤１上に支持されており、また、レン
ズ保持盤３と台盤１が非接触であるため、レンズ保持盤
３の移動中に大きな振動が発生するおそれがない。ま
た、ベローズシリンダ８ａ〜８ｃによってレンズ保持盤
３や保持されたレンズ４の重量の大部分を支えているた
め、Ｚリニアモータ５ａ〜５ｃの駆動力が小さくて済
む。
【００１５】なお、レンズの初期取り付け状態を調整す
るために、レンズ４のＺ軸に対する傾斜角度を変化させ
た場合は、これに伴って多孔質パッド７の軸受間隙の寸
法と、各Ｚリニアモータ５ａ〜５ｃのそれぞれの永久磁
石とコイルの間隙寸法が変化するが、このような傾斜量
は微量であるため、多孔質パッド７とレンズ保持盤３が
接触したり、あるいはリニアモータの駆動量が著しく制
限されるおそれはない。すなわち、通常は、リニアモー
タの最小間隙は１〜２ｍｍ程度であり、例えば、図３に
示すように、多孔質パッド７の軸受面の直径をｄ、Ｚ軸
方向の寸法をｗ、軸受間隙の中心部の寸法をｈ０、軸受
間隙の両端の寸法ｈ１，ｈ２としたとき、ｄ＝２００ｍ
ｍ、ｗ＝２０ｍｍ、レンズ４の傾斜角度の微調節量αが
３ｘ１０ー4ｒａｄであれば、軸受間隙の寸法の変動量
（ｈ１−ｈ２）／２は約３μｍとなる（ｈ０の変動量は
無視できるほど小さい）が、前述のように、多孔質パッ
ド７の間隙寸法ｈ１，ｈ２の初期設定値は７μｍ程度に
設定されているため、上記のトラブルは発生しない。ま
た、各リニアモータの可動ストロークは５ｍｍ程度まで
可能である。
るために、レンズ４のＺ軸に対する傾斜角度を変化させ
た場合は、これに伴って多孔質パッド７の軸受間隙の寸
法と、各Ｚリニアモータ５ａ〜５ｃのそれぞれの永久磁
石とコイルの間隙寸法が変化するが、このような傾斜量
は微量であるため、多孔質パッド７とレンズ保持盤３が
接触したり、あるいはリニアモータの駆動量が著しく制
限されるおそれはない。すなわち、通常は、リニアモー
タの最小間隙は１〜２ｍｍ程度であり、例えば、図３に
示すように、多孔質パッド７の軸受面の直径をｄ、Ｚ軸
方向の寸法をｗ、軸受間隙の中心部の寸法をｈ０、軸受
間隙の両端の寸法ｈ１，ｈ２としたとき、ｄ＝２００ｍ
ｍ、ｗ＝２０ｍｍ、レンズ４の傾斜角度の微調節量αが
３ｘ１０ー4ｒａｄであれば、軸受間隙の寸法の変動量
（ｈ１−ｈ２）／２は約３μｍとなる（ｈ０の変動量は
無視できるほど小さい）が、前述のように、多孔質パッ
ド７の間隙寸法ｈ１，ｈ２の初期設定値は７μｍ程度に
設定されているため、上記のトラブルは発生しない。ま
た、各リニアモータの可動ストロークは５ｍｍ程度まで
可能である。
【００１６】図４は第２の実施例を示すもので、本実施
例は第１の実施例の環状の多孔質軸受７の代わりに、案
内面が平面である多孔質軸受パッド２７を複数枚対向す
るように設けた構成である。従って、図２の多孔質軸受
パッド１７のような他の支持手段を付加することなく、
レンズ４はＺ軸回りに回動することを規制される。
例は第１の実施例の環状の多孔質軸受７の代わりに、案
内面が平面である多孔質軸受パッド２７を複数枚対向す
るように設けた構成である。従って、図２の多孔質軸受
パッド１７のような他の支持手段を付加することなく、
レンズ４はＺ軸回りに回動することを規制される。
【００１７】なお、第１および第２の実施例のＺリニア
モータの代わりに圧電素子や回転モータとネジまたは弾
性ヒンジの組み合わせを用いることもできる。
モータの代わりに圧電素子や回転モータとネジまたは弾
性ヒンジの組み合わせを用いることもできる。
【００１８】
【発明の効果】本発明のレンズ移動装置では、レンズ保
持盤（静圧軸受）の傾斜角度方向のストロークを犠牲に
することなくラジアル方向の軸受剛性を向上させること
ができるために耐外乱特性が向上し、駆動量が大きく
（長ストロークが可能）てもレンズの位置決め精度が低
下するおそれがない。加えて、レンズを安定して支持
し、クリーン度が高いためにレンズを汚染する恐れもな
い。さらに、レンズ光軸の傾斜角度を調節し、レンズを
移動させる方向をレンズ光軸方向に合わせることができ
るため、各構成部品の形状寸法や組み立て精度を緩くで
き、コストが安くなる。
持盤（静圧軸受）の傾斜角度方向のストロークを犠牲に
することなくラジアル方向の軸受剛性を向上させること
ができるために耐外乱特性が向上し、駆動量が大きく
（長ストロークが可能）てもレンズの位置決め精度が低
下するおそれがない。加えて、レンズを安定して支持
し、クリーン度が高いためにレンズを汚染する恐れもな
い。さらに、レンズ光軸の傾斜角度を調節し、レンズを
移動させる方向をレンズ光軸方向に合わせることができ
るため、各構成部品の形状寸法や組み立て精度を緩くで
き、コストが安くなる。
【図１】 本発明の一実施例に係るレンズ移動装置の模
式断面図である。
式断面図である。
【図２】 図１の装置の模式平面図である。
【図３】 図１の装置の一部分を拡大して示す拡大部分
断面図である。
断面図である。
【図４】 本発明の他の実施例に係るレンズ移動装置の
模式平面図である。
模式平面図である。
【符号の説明】 １：台盤、 ２：固定部材、 ３：レンズ保持盤、
４：レンズ、 ５ａ〜５ｃ：Ｚリニアモータ、 ７，１
７，２７：多孔質パッド、８ａ〜８ｃ：ベローズ、 ９
ａ〜９ｃ：変位センサ。
４：レンズ、 ５ａ〜５ｃ：Ｚリニアモータ、 ７，１
７，２７：多孔質パッド、８ａ〜８ｃ：ベローズ、 ９
ａ〜９ｃ：変位センサ。
Claims (5)
- 【請求項１】 レンズ光路を遮らないように開口部を有
する台盤と、台盤に立設された支持手段と、該支持手段
の支持面に対向する案内面を有するレンズ保持盤と、前
記支持面と前記案内面を互に非接触に支持する静圧軸受
手段と、前記レンズ保持盤を前記支持面に平行な軸に沿
って移動させる駆動手段とを有し、前記駆動手段が前記
台盤に個別に支持された複数個の駆動装置を備えている
ことを特徴とするレンズ移動装置。 - 【請求項２】 前記案内面が前記レンズ保持盤と一体で
ある円筒状の案内部材の内周面または外周面であり、前
記レンズ保持盤の前記支持面に平行な軸まわりの回転を
非接触に規制する第２の静圧軸受手段をさらに有するこ
とを特徴とする請求項１記載のレンズ移動装置。 - 【請求項３】 前記静圧軸受手段が多孔質絞り型である
ことを特徴とする請求項１または２記載のレンズ移動装
置。 - 【請求項４】 前記駆動手段が、レンズ保持盤の周方向
の異なる部位にそれぞれ連結された少なくとも３個の駆
動装置を有することを特徴とする請求項１ないし３のい
ずれか１項に記載のレンズ移動装置。 - 【請求項５】 前記駆動手段がリニアモータを含むこと
を特徴とする請求項請求項１ないし４のいずれか１項に
記載のレンズ移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9019601A JPH10206714A (ja) | 1997-01-20 | 1997-01-20 | レンズ移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9019601A JPH10206714A (ja) | 1997-01-20 | 1997-01-20 | レンズ移動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10206714A true JPH10206714A (ja) | 1998-08-07 |
Family
ID=12003743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9019601A Pending JPH10206714A (ja) | 1997-01-20 | 1997-01-20 | レンズ移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10206714A (ja) |
Cited By (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000195788A (ja) * | 1998-12-23 | 2000-07-14 | Carl Zeiss Stiftung Trading As Carl Zeiss | 光学システム、特にマイクロリソグラフィ―に用いられる投影照明ユニット |
| JP2001168027A (ja) * | 1999-11-05 | 2001-06-22 | Asm Lithography Bv | リソグラフィ装置 |
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