JPH10206809A - 変調方法および半導体光変調器 - Google Patents

変調方法および半導体光変調器

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JPH10206809A
JPH10206809A JP10011268A JP1126898A JPH10206809A JP H10206809 A JPH10206809 A JP H10206809A JP 10011268 A JP10011268 A JP 10011268A JP 1126898 A JP1126898 A JP 1126898A JP H10206809 A JPH10206809 A JP H10206809A
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JP
Japan
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wave
modulator
diode
control
wavelength
Prior art date
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Application number
JP10011268A
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English (en)
Inventor
Patrick Blundell
パトリツク・ブランデル
Sebastien Bigo
セバステイアン・ビゴ
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Alcatel Lucent SAS
Original Assignee
Alcatel Alsthom Compagnie Generale dElectricite
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Publication date
Application filed by Alcatel Alsthom Compagnie Generale dElectricite filed Critical Alcatel Alsthom Compagnie Generale dElectricite
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/015Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on semiconductor elements having potential barriers, e.g. having a PN or PIN junction
    • G02F1/017Structures with periodic or quasi periodic potential variation, e.g. superlattices, quantum wells
    • G02F1/01716Optically controlled superlattice or quantum well devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y20/00Nanooptics, e.g. quantum optics or photonic crystals

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光変調器の通過帯域を簡単に拡大し、そのた
めに、とくに電気的変調信号を使用せず、変調すべき波
のバイアス状態を保持する高速光変調器を簡単な方法で
実現し、集積光装置内への高速光変調器の組込みを容易
にし、長寸光ファイバに案内されるソリトンを使用する
通信システム内のソリトンの再同期を簡単に行えるよう
にする。 【解決手段】 本発明によれば電気吸収変調器の半導体
部分を構成することができるダイオード(2)のウェー
ブガイド(4)中に、変調すべき波(WE)と光学的制
御波(WC)とを同時に注入し、このダイオードの端子
にあるインピーダンス(R)が十分に高くて、制御波の
振幅変調を、変調すべき波に伝送することができる。と
くに光ファイバ通信システムで、とりわけソリトンの再
同期に適用される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光波を振幅変調す
る、あるいはそのような波のあらかじめ存在する振幅変
調を変更することができる変調器を対象とする。
【0002】
【従来の技術】変調とはここでは時間の経過とともにこ
の波の振幅が変化することを指す。情報の伝送を可能に
することが変調の目的である典型的な場合には、情報要
素はこの振幅の瞬間値によって直接表すことができる。
しかしながら、変調によって光波をパルス列の形態にす
ることもでき、その場合、情報の要素はこれらパルスの
間の間隔によって表される。
【0003】本発明は、変調器を使用してきわめて短い
あるいは高速な光信号上で処理を行わなければならない
場合にとくに適用される。そのためにはこの変調器も高
速であること、すなわち短い応答時間を有することが要
求される。その場合、変調器の通過周波帯は対応する高
周波に到達する。このようなケースは、伝送すべき情報
が、ソリトンを構成するきわめて短い周期のパルスによ
って表される光ファイバ伝送網で発生する。
【0004】種々の種類の高速光変調器が知られてい
る。
【0005】このような変調器の第一の種類は逆バイア
ス半導体ダイオードを含む電気吸収変調器である。この
ダイオードは変調すべき光波および電気制御信号を受け
取る。しかしながらその通過帯域は10または20GH
z程度に限定されるため、場合によっては不十分とな
る。この種の変調器はとくにF.Devauxらの論文
「Full polarization insensitivity of a 20 Gb/s str
ained-MQW Electroabsorption Modulator」、IEEE Phot
onics Technology Letters Vol 6 no. 10, October 199
4, p. 1203-1206に記載されている。
【0006】知られている第二の高速変調器は順バイア
スダイオードを含む半導体変調器である。このダイオー
ドは変調すべき光波および電気制御信号を受け取る。し
かしながらその通過帯域は20GHz程度に限定され
る。この種の変調器はとくにJ.C. Simonらの
論文「Gain and Noise characteristics of a 1.5 オm n
ear travelling wave semiconductor laser amplifie
r」、Electronics LettersVol 25 no. 7, 1989, p. 434
-436に記載されている。
【0007】知られている第三の種類の高速変調器は非
線形ループ光学ミラーである。これはNOLMという略
語で知られている。これは光ファイバで構成され、光制
御信号を使用する。この信号は変調すべき波の既存変調
から光学的に形成される。より詳細には、光学クロック
再生システムによりこの波からクロックパルスが形成さ
れこのクロックパルスが、変調すべき波のパルスの再同
期を行うための変調器の制御信号となる。この種の変調
器はとくにS.Bigo、O.Audouinおよび
E.Desurvireの論文「Analysis of soliton
in-line regeneration through two-wavelength nonlin
ear loop mirror as synchronous amplitude/phase mod
ulator」、Elect. Letters, 7th December 1995, Vol 3
1 no. 25,p.2191に記載されている。
【0008】知られている第四の高速変調器は、表面反
射飽和性吸収体、すなわちブラッグの反射体と量子井戸
を含む半導体層の重なりで構成される。二つの外表面の
うちの一つは光を反射するように金属化され、他方は透
明である。変調すべき波と、別の波長を有し光学的制御
信号となる制御波が透明表面を通して同時に注入され
る。変調すべき波はブラッグの反射体では部分反射し、
金属化表面では全反射する。とくに干渉が形成されるこ
とにより、制御波のパワーの増加または減少によって出
力パワーが増加または減少する。この変調器はH.Ts
uda、A.Hirano、R.Takahashi、
K.SatoおよびK.Hagimotoの論文「3PS,
2.4 Gbits/s All-Optical Pulse Discrimination Expe
riment: All-optical Regenerator based on a High-sp
eed Saturable Absorber Optical Gate」、Proc. 21st
Eur. Conf. on Opt. Comm.(ECOC'95-Brussels) pp 949-
952に記載されている。この種の変調器は、とくに半導
体基板に組み込まれた光装置内に含める場合には、工業
的利用は困難であるものと思われる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、 − 光変調器の通過帯域をシンプルな方法で拡大し、 − そのために、とくに電気的変調信号を使用せず、 − 変調すべき波の偏光状態を保持する高速光変調器を
シンプルな方法で実現し、 − 集積光装置内への高速光変調器の組込みを容易に
し、 − 長寸光ファイバによって案内されるソリトンを使用
する通信システムにおけるソリトンの再同期を簡単に行
えるようにすることをとくに目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】これらの目的のため、本
発明は、ウェーブガイドおよび逆バイアス半導体ダイオ
ードが電気吸収変調器の半導体部分を構成することがで
きるように、このダイオード内に形成された同一のウェ
ーブガイド内に、変調すべき波と光学的制御波とを同時
かつ同一直線上で注入することを特徴とし、この制御波
の波長がこの変調すべき波の波長よりも短く、このダイ
オードの端子にあるインピーダンスが十分に高くて、制
御波の振幅変調を変調すべき波に伝送することができる
光変調方法を対象とする。
【0011】添付の略図により本発明の種々の実施例を
例として説明する。
【0012】
【発明の実施の形態】図1または図2によれば、本発明
による変調器は半導体ダイオード2を含む。このダイオ
ードはとくに、意図的にはドープされていない非ドープ
層4を含み、この層はn型ドープ層6とp型ドープ層8
との間に位置する。層4の屈折率は層6および8の屈折
率よりも高いため、層4によって光波WEおよびWCを
案内することができる。この層はこれら被案内波のため
の吸収体を構成する。この吸収体は、被案内波長λに応
じて変化する吸収率TAによって規定される比率でこれ
らの波のパワーを吸収する。図3によれば、この変化の
曲線は吸収フロントFAを有する。この吸収フロント
は、層6と層8との間の電気ポテンシャルの差の値によ
り波長スペクトル内の下限BL1またはBL2から上限
BH1またはBH2までの遷移帯BT1を占める。この
吸収率は、被案内波長がこの下限未満であるか、この下
限とこの上限との間で増加するか、この上限を上回るか
により、それぞれ、ほぼ最大値THか、漸減値か、最小
値TLかを有する。
【0013】この変調器はさらに、 − たとえば、振幅変調MAを受け取り出力波WSを形
成する入力波WEとなる光波を吸収体4に注入するため
の源SEから成る手段 − 以後、この入力波の波長を
搬送波長と呼びλPで表わすものとし、波長は前記遷移
帯内に一時的に位置する −と、 − ダイオード2用の二つの電気端子10および12
と、 − 端子間にこのダイオード2の逆方向にバイアス電圧
を印加しながら電気アセンブリ14の内部のカップリン
グインピーダンスRを介して、このダイオードの端子1
0および12を相互に接続する、ダイオードの外部の電
気アセンブリ14とを含み、バイアス電圧の制御とカッ
プリングインピーダンス値とを除いては、前記に示す要
素、すなわち端子を有するダイオードと、入力波を注入
する手段と、電気アセンブリとは通常、知られている電
気吸収変調器を構成するものである。
【0014】本発明の範囲内ではこの変調器はさらに、
入力波WEと同時に制御波WCを吸収体4に注入するた
めの制御源SCを含む。この制御波は光波である。この
制御波は、常に遷移帯の下限BL1未満のままである制
御波長λCを有する。制御波は、入力波に印加すべき振
幅変調を表わす変化を有する制御パワーPCを有する。
また、たとえば図3に示す二つの位置BT1とBT2の
間で前記遷移帯を移動することにより制御パワーの変化
がこの振幅変調を行うように十分に高いカップリングイ
ンピーダンスRが選択される。
【0015】遷移帯の移動は、知られている四つの現象
を新しく組み合わせることによって生じる。これらの現
象とは以下の通りである。
【0016】第一のそのような現象は、吸収体の入力部
における制御パワー、すなわち制御波WCのパワーの変
化、たとえば増加に関する。この波のパワーの少なくと
も一部はこの吸収体内に吸収され吸収パワーとなる。制
御パワーが制限される場合、すなわち制御パワーが、そ
れを超えるとこのパワーが増加しても吸収パワーが増加
することがない飽和しきい値より、少なくとも一時的に
低い場合に、この発明の利点が生じる。したがって、こ
のしきい値より下では、制御パワーの増加にともない吸
収パワーが増加する。
【0017】知られている第二の現象の範囲内では、吸
収体中に電子−正孔対を生成するために吸収パワーが使
われる。このようにして発生する荷電担体は、外部電気
アセンブリ14によって印加され、nドープ層とPドー
プ層の間に電界を生じさせるバイアス電圧により、この
吸収体から取り除かれる。これらの荷電担体が取り除か
れるとその結果として、このアセンブリ内を電流が流れ
る。以後、この電流を「光電流」と呼ぶことにする。吸
収パワーが増加するにともないこの光電流の電流値iが
増加する。
【0018】オームの法則によって説明される知られて
いる第三の現象によれば、カップリングインピーダンス
内を光電流が流れることにより、このインピーダンスを
有する電気アセンブリによってダイオードの端子間に印
加されるバイアス電圧に影響が及ぼされる。より詳細に
は、光電流の増加によりこの電圧が低下し、この電圧低
下は、この電流値の増加にこのインピーダンスを乗じた
積に等しい。
【0019】バイアス電圧の変化が吸収波の入力値を表
わす測定信号となる市販の光ダイオードの動作の基本と
なるのは、前記の知られている第一、第二、および第三
の現象を組み合せることである。
【0020】本発明はさらに、波長スペクトル内の吸収
前面の位置がバイアス電圧に依存する知られている第四
の現象も利用する。より詳細には、バイアス電圧の低下
によりこの前面が短波長側に移動する。
【0021】図3を参照して、たとえば遷移帯BT2が
当初搬送波長λPを含んでいたとすると、遷移帯は次
に、BT1においてこの搬送波長より短い波長上にのみ
延びる。その結果、入力波は最初は部分的に吸収され
て、その後はもはやほとんど吸収されない。これによ
り、入力波が一定のパワーを有すると仮定した場合、出
力波の出力が増加する。同じ仮定の場合、制御パワーが
低下すると、出力波のパワーは低下する。
【0022】上記に説明した第四の現象は、吸収体4が
中密材料で構成されるか一連の量子井戸および障壁で構
成されるかにより、フランツケルディッシュ効果または
閉じ込めシュタルク効果という名称で知られている。こ
の現象は光制御源を含まない市販の電気吸収変調器の動
作の基本となっている。外部電気アセンブリによってバ
イアス電圧の変化yがこの現象に課せられる。電圧の変
化はこのアセンブリを制御する変調信号の変化に忠実に
追従する、すなわちとくに、電圧の変化は光電流の変化
からできる限り独立することが好ましい。この理由か
ら、そのような知られている変調器においてはダイオー
ドの端子の外部の電気アセンブリが有するカップリング
インピーダンスは低くなければならない。反対に、本発
明による変調器においては、光電流の変化によりバイア
ス電圧が十分に大きく変化するように、このインピーダ
ンスは比較的高くなければならない。
【0023】このインピーダンスは種々の方法で実現す
ることができる。したがってインピーダンスの値は当該
周波数に依存する。この場合、変調器の通過帯域内、す
なわち制御パワーの変化を出力波の出力の変化の形態で
伝送しなければならない周波数域内で、前記に記載の比
較的高いインピーダンスを実現しなければならない。
【0024】この値の選択にあたっては、少なくとも、
オームを単位とするカップリングインピーダンス(R)
の絶対値|z|とワットを単位とする制御パワーの変化
の振幅ΔPCとの間の変調器の通過帯域内では、一般に
一関係式が成り立つものと思われる。この関係式は |z|=α/ΔPC となり、αは0.05から20までの間に含まれる係数
である。この係数はとくに0.1から10の間、さらに
は0.5から5の間に含まれるべきであると思われる。
【0025】通常、カップリングインピーダンスは抵抗
Rの形態を有する。以後、抵抗値もRで表わすことにす
る。同じく通常、制御パワーは0と最大値PCとの間で
変化するので、この出力の変化の振幅はこの最大値に等
しい。したがって上記関係式はR=α/PCとなる。
【0026】パワーPCは通常、1から10mWの間に
含まれとくに5mW前後の最大値を有する。その結果、
変調器の通過帯域内のカップリングインピーダンスの絶
対値|z|は通常、20から500Ωの間に含まれ、と
くに、少なくとも50Ωに等しい。
【0027】バイアス電圧に関しては、バイアス電圧は
通常5V未満であり、0.5から4Vの間に含まれるこ
とが有利である。
【0028】一般的に、ダイオード2が知られている種
類の電気吸収変調器の半導体チップで構成され、各適用
例について専門家がこの個別の適用例のための種々の電
気的パラメータの適切な値を決定できることが有利であ
ると理解されたい。この目的のため専門家は、これらの
電気吸収変調器の周知の特性と、光電流の電流値への吸
収光パワーの変換の効率Kとを考慮することができる。
通常、この効率Kは、0.5から1.5A.W-1の間に
含まれる値をとる。
【0029】電気アセンブリ14は、 − カップリングインピーダンスと比較して低い内部イ
ンピーダンスを有する バイアス電圧を供給する電圧源SPと、− このカップ
リングインピーダンスまたはその大部分となるカップリ
ング抵抗Rとを含むことが好ましい。
【0030】図1に示す第一の変調器においては、電圧
源SPは分離インダクタ16を介してダイオード2の端
子10および12に接続され、カップリング抵抗Rはこ
の電圧源に並列接続される。もちろんこのインダクタン
スは、変調器の通過帯域内に含まれる周波数についてダ
イオードから源SPを分離しながら直流電流を伝搬する
ことができる他の分離要素に置き換えることができる。
【0031】図2に示す第二の変調器内では、電圧源S
Pおよびカップリング抵抗Rは、ダイオード2の端子1
0と12の間に直列接続される。
【0032】図4によれば、同期再生装置は情報搬送ソ
リトン列21を受け取る光ファイバ20を含む。この列
は周波数Fでクロックされるが、ソリトンは、線路損を
相殺するために、線路に沿って伝播する間に何度も増幅
されており、とくにジッタの影響を受ける。これらのソ
リトンのエネルギーの一部は入力カプラ22によって分
流され、その結果分流列23が形成される。全光学型で
あることが好ましいクロック再生装置24がこの分流列
を受信する。装置24はこれに対する応答として、繰り
返し周波数が周波数Fである一定間隔のクロックパルス
列Hを送出する。これらのパルスは混合カプラ26によ
り光ファイバ20内に注入される。このファイバの出口
側では、本発明により作製された変調器28がソリトン
およびクロックパルスを受信し、この変調器に関し、前
者は前記に記載の入力波WEとなり、後者は制御波WC
となる。その場合出力波WSは、列21と同じ情報を搬
送する列ではあるが再生された列を含む。このような装
置は、H.KubotaおよびM.Nagazawaの
論文「Soliton Transmission control in time andfreq
uency domain」、IEEE J. Quantum Electron vol. 29,
no 7 p. 2189(1993)に記載されている。
【0033】図5によれば、クロック再生装置24は、
モード同期レーザとなる光ファイバループ31内に分流
列23などのソリトン列23を注入するカプラ30を介
して、この列を受信する。このループは、 − 列23が前記に記載の制御波となる、本発明にした
がい作製される変調器32と、 − 前記に記載の繰り返し周波数Fに対する共振を発生
させるように遅延が調節される遅延回路34と、 − 前記に記載の制御波長λCを中心とするバンドパス
フィルタ36と、 − ドープ光ファイバ増幅器38と、 − クロックパルスHを構成するためにループ31内を
通る光の一部を分流する出力カプラ40と、 − ループ31内の光の伝播方向を規定する光アイソレ
ータ42とを閉路で直列に含む。
【0034】このような装置は、K.Smithおよび
J.K.Lucekの論文「All optical clock recove
ry using a mode-locked laser」、Electron. Lett. vo
l. 28, no 19 p.1814 (1992)に記載されている。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による第一の変調器を示す図である。
【図2】本発明による第二の変調器を示す図である。
【図3】変調すべき光波の波長を横軸にとり、この波長
に応じた変調器の吸収要素の吸収率の変化を表わす二つ
の曲線を示し、各曲線は電気吸収型の知られている種類
のものとするか、本発明により実施することができる変
調器の、バイアス電圧の二つの値にそれぞれ相当する図
である。
【図4】ソリトンに適用することができ、本発明による
変調器を使用する全光学同期再生装置を示す図である。
【図5】図4の本発明による変調器を使用する再生装置
においてとくに使用することができる全光学クロック再
生装置を示す図である。
【符号の説明】
2 半導体ダイオード 4 非ドープ層 6 n型ドープ層 8 p型ドープ層 10、12 電気端子 14 電気アセンブリ 16 分離インダクタンス 20 光ファイバ 21 情報搬送ソリトン列 22 入力カプラ 23 分流列 24 クロック再生装置 26 混合カプラ 28 変調器 30 カプラ 31 光ファイバループ 32 変調器 34 遅延回路 36 バンドパスフィルタ 38 ドープ光ファイバ増幅器 40 出力カプラ 42 光アイソレータ BL1、BL2 下限 BH1、BH2 上限 BT1、BT2 遷移帯 FA 吸収フロント H クロック R カップリングインピーダンス SC 制御源 SE 源 SP 電圧源 TA 吸収率 TH 最大値 TL 最小値 WE、WC 光波 WS 出力波 λ 被案内波長 λC 遷移帯の下限未満のままである波長 λP 搬送波長
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 セバステイアン・ビゴ フランス国、91120・パレゾー、リユ・サ ント・ジユヌビイエーブ・17

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ウェーブガイド(4)および逆バイアス
    半導体ダイオード(2)が電気吸収変調器の半導体部分
    を構成することができるように、このダイオード内に形
    成される同一のウェーブガイド内に、変調すべき波(W
    E)と光学的制御波(WC)とを同時かつ同一直線上で
    注入することを特徴とし、この制御波の波長がこの変調
    すべき波の波長よりも短く、このダイオードの端子にあ
    るインピーダンス(R)が十分に高くて、制御波の振幅
    変調を、変調すべき波に伝送することができる光変調方
    法。
  2. 【請求項2】 n型ドープ層(6)とp型ドープ層
    (8)との間に位置し、それ自体が光波(WE、WC)
    を案内することができる非ドープ層(4)を含む半導体
    ダイオード(2)であって、この非ドープ層がこれら被
    案内波のための吸収体を構成し、この吸収体が、被案内
    波長(λ)に応じて変化する吸収率(TA)を有し、こ
    の変化が、波長スペクトル内の下限(BL1)から上限
    (BH1)までの遷移帯(BT1)を占める吸収前面
    (FA)を有し、この吸収率が、被案内波長がこの下限
    未満であるか、この下限とこの上限との間で増加する
    か、それともこの上限を上回るかに応じて、それぞれ、
    ほぼ最大値(TH)、漸減値、あるいは最小値(TL)
    を有し、波長スペクトル内のこの遷移帯の位置がこの吸
    収体中に存在する電界に感応する半導体ダイオードと、 振幅変調(MA)を受け取って出力波(WS)を形成す
    る入力波(WE)となる光波を前記吸収体(4)に注入
    する手段(SE)であって、この入力波の波長が搬送波
    長(λP)となり前記遷移帯内に少なくとも一時的に位
    置する手段と、 前記ダイオード(2)用の二つの電気端子(10および
    12)と、 前記端子間に前記ダイオードの逆方向にバイアス電圧を
    印加しながら電気アセンブリの内部のカップリングイン
    ピーダンス(R)によって、このダイオードの前記端子
    (10および12)を相互に接続する、ダイオードの外
    部の電気アセンブリ(14)とを含み、 さらに、前記入力波(WE)と同時かつ同直線上で制御
    波(WC)を前記吸収体(4)に注入するための制御源
    (SC)を備え、この制御波が、前記遷移帯の前記下限
    (BL1)未満のままである制御波長(λC)を有し、
    前記入力波に印加すべき前記振幅変調を表わす変化を有
    する制限された制御パワー(PC)を有する光波であ
    り、前記遷移帯を移動することにより制御パワーの前記
    変化がこの振幅変調を実現するように前記カップリング
    インピーダンス(R)が十分に高いことを特徴とする半
    導体光変調器。
  3. 【請求項3】 αを0.05から20の間に含まれる係
    数とする時、少なくとも、オーム単位で表したカップリ
    ングインピーダンス(R)の絶対値|z|とワット単位
    で表した制御パワーの前記変化の振幅ΔPCとの間の変
    調器の通過帯域内で、 |z|=α/ΔPC の関係式が成り立つ請求項2に記載の変調器。
  4. 【請求項4】 前記係数αが0.1から10の間に含ま
    れる請求項3に記載の変調器。
  5. 【請求項5】 前記制御パワー(PC)が1から10m
    Wの間に含まれる最大値を有する請求項2に記載の変調
    器。
  6. 【請求項6】 前記変調器の通過帯域内の前記カップリ
    ングインピーダンスの絶対値|z|が20から500Ω
    の間に含まれる請求項2に記載の変調器。
  7. 【請求項7】 前記バイアス電圧が5V未満である請求
    項2に記載の変調器。
  8. 【請求項8】 前記電気アセンブリ(14)が、 前記カップリングインピーダンスに比べて低い内部イン
    ピーダンスを有するバイアス電圧を供給する電圧源(S
    P)と、 ほぼ前記カップリングインピーダンスとなる接続抵抗
    (R)とを含む請求項2に記載の変調器。
  9. 【請求項9】 前記電圧源(SP)が分離要素(16)
    を介して前記ダイオード(2)の端子(10、12)に
    接続され、前記カップリング抵抗(R)がこの電圧源に
    並列接続される請求項8に記載の変調器。
  10. 【請求項10】 前記電圧源(SP)および前記カップ
    リング抵抗(R)が前記ダイオード(2)の端子(1
    0、12)の間に直列接続される請求項8に記載の変調
    器。
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