JPH10206893A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. スイッチング素子として薄膜トランジスタを用いたアクティブマトリクス型液晶表示装置において、
   ソースラインと、
   前記ソースラインと同層に形成され、かつ前記薄膜トランジスタのドレインに接続している金属配線と、
   前記ソースライン及び前記金属配線上に形成された下層の層間絶縁物層と、
   前記下層の層間絶縁物層とは異なる材料からなり、かつ、開孔部を有する上層の層間絶縁物層と、
   前記上層の層間絶縁物層上に形成された、遮光膜として機能する導電性被膜と、
   を有し、
   前記開孔部において、前記導電性被膜と、前記金属配線を電極とし、前記下層の絶縁物層を誘電体とする補助容量が形成されていることを特徴とするアクティブマトリクス型表示装置。
2. 請求項１において、前記導電性被膜は、一定電位を保持していることを特徴とするアクティブマトリクス型液晶表示装置。
3. 請求項１又は請求項２において、前記下層の層間絶縁物層は窒化珪素を主成分とすることを特徴とするアクティブマトリクス型液晶表示装置。
4. 請求項１乃至請求項３のいずれか一項において、前記上層の層間絶縁物は有機樹脂を主成分とすることを特徴とするアクティブマトリクス型液晶表示装置。
5. 請求項１乃至請求項４のいずれか一項において、前記下層の層間絶縁物の膜厚は１０００Å以下であることを特徴とするアクティブマトリクス型液晶表示装置。
6. 請求項１乃至請求項５のいずれか一項において、前記導電性被膜は、前記開孔部において、前記層間絶縁物の下層と接していることを特徴とするアクティブマトリクス型液晶表示装置。
7. 請求項１乃至請求項６のいずれか一項において、前記金属配線は、各画素において、ディスクリネーションの発生しやすい部分に設けられることを特徴とするアクティブマトリクス型液晶表示装置。
8. 請求項１乃至請求項６のいずれか一項において、前記金属配線は、各画素において、ラビングを始める部分に設けられることを特徴とするアクティブマトリクス型液晶表示装置。
9. 請求項１乃至請求項８のいずれか一項において、前記導電性被膜は、前記スイッチング素子を覆うことを特徴とするアクティブマトリクス型液晶表示装置。