JPH10208642A - Electron tube manufacturing equipment - Google Patents
Electron tube manufacturing equipmentInfo
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- JPH10208642A JPH10208642A JP9012669A JP1266997A JPH10208642A JP H10208642 A JPH10208642 A JP H10208642A JP 9012669 A JP9012669 A JP 9012669A JP 1266997 A JP1266997 A JP 1266997A JP H10208642 A JPH10208642 A JP H10208642A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】この発明は、放電誤検出をなくし、高精度で信
頼性の高い放電検出を可能とした電子管の製造装置を提
供することを目的とする。
【解決手段】この発明の電子管の製造装置は、出力側に
電子管の陽極と陰極とが接続される直流高電圧トランス
１と、この直流高電圧トランスの中性点端子間に直列に
接続される管電流電圧変換抵抗器１０及びフォトカプラ
ー１７と、このフォトカプラーと直列に接続される第１
の可変出力定電圧直流電源１８，コンデンサー１９，及
び補正抵抗器２０と、アース電位に対し補正抵抗器の電
圧マイナス側をプラス電位にバイアスする第２の可変出
力定電圧直流電源１４と、管電流電圧変換抵抗器の電圧
プラス側電位と補正抵抗器の電圧プラス側電位を比較
し、管電流電圧変換抵抗器の電圧プラス側電位が高い場
合に出力を発生するコンパレータ１１とを具備してなる
ことにより、上記の目的を達成することが出来る。
(57) Abstract: An object of the present invention is to provide an electron tube manufacturing apparatus which eliminates erroneous discharge detection and enables highly accurate and highly reliable discharge detection. An apparatus for manufacturing an electron tube according to the present invention is connected in series between a DC high-voltage transformer (1) having an anode and a cathode of the electron tube connected to an output side and a neutral point terminal of the DC high-voltage transformer. A tube current-voltage conversion resistor 10 and a photocoupler 17, and a first series-connected photocoupler
A variable output constant-voltage DC power supply 18, a capacitor 19, and a correction resistor 20, a second variable output constant-voltage DC power supply 14 for biasing the negative side of the correction resistor to a positive potential with respect to the ground potential, and a tube current A comparator for comparing the voltage plus side potential of the voltage conversion resistor with the voltage plus side potential of the correction resistor and generating an output when the voltage plus side potential of the tube current voltage conversion resistor is high; Thereby, the above object can be achieved.
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は電子管の製造装置
に係わり、特に高電圧放電検出精度の改良に関する。[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to an apparatus for manufacturing an electron tube, and more particularly to an improvement in high voltage discharge detection accuracy.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般にＸ線管の製造工程では、Ｘ線管の
陽極を電子ビームで加熱し陽極のガスを放出させる排気
工程、陽極の表面状態を電子ビームで調えるエージング
工程があり、陰極から電子ビームを発生させるために陽
極−陰極間に高電圧を印加する。又、市場で使用される
場合も陽極−陰極間に高電圧が印加されるため、品質を
保証する目的から、実使用条件よりも高い例えば２００
［ｋＶ］の高電圧を印加する試験工程も必要である。2. Description of the Related Art Generally, an X-ray tube manufacturing process includes an exhaust process of heating an anode of an X-ray tube with an electron beam to release gas from the anode, and an aging process of adjusting the surface state of the anode with an electron beam. A high voltage is applied between the anode and the cathode to generate an electron beam. Also, when used in the market, a high voltage is applied between the anode and the cathode.
A test step of applying a high voltage of [kV] is also required.
【０００３】しかし、製造工程で品質的に未熟なＸ線管
があり、上記の各工程でＸ線管に高電圧を印加すると、
Ｘ線管の耐電圧不良で絶縁破壊を起こし、放電を発生す
る。このような放電が持続すると、Ｘ線管に大きなダメ
ージがかかり、損傷する危険性があり、又、製造装置が
故障する恐れもある。このため、Ｘ線管に放電が発生し
た場合は、高電圧を遮断する必要があり、従って放電検
出機能が必要となる。又、上記の試験工程では高電圧を
印加して放電を起こさないことが良品判定基準であり、
この場合も高精度の放電検出機能が必要となる。[0003] However, there is an X-ray tube of poor quality in the manufacturing process, and when a high voltage is applied to the X-ray tube in each of the above steps,
Insulation breakdown occurs due to poor withstand voltage of the X-ray tube, causing discharge. If such a discharge continues, the X-ray tube may be seriously damaged and may be damaged, and the manufacturing apparatus may be damaged. For this reason, when a discharge occurs in the X-ray tube, it is necessary to cut off the high voltage, so that a discharge detection function is required. Also, in the above test process, it is a good product criterion that no high voltage is applied and no discharge occurs.
Also in this case, a highly accurate discharge detection function is required.
【０００４】さて、従来の電子管の製造装置（放電検出
回路）は図４に示すように構成されている。即ち、高電
圧トランス１のプラス出力側２は高電圧ケーブル５を介
しＸ線管６の陽極７に接続され、マイナス側３も同様に
高電圧ケーブル５を介し陰極８に接続される。一方、高
電圧トランス１の中性点４には、ダイオードブリッジ９
を介して高電圧トランス１の出力電流を電圧に変換する
管電流電圧変換抵抗器１０が接続され、この変換抵抗器
１０の片側はアース電位となり、反対側はコンパレータ
１１の比較電圧入力端子１２に接続される。A conventional electron tube manufacturing apparatus (discharge detection circuit) is configured as shown in FIG. That is, the plus output side 2 of the high voltage transformer 1 is connected to the anode 7 of the X-ray tube 6 via the high voltage cable 5, and the minus side 3 is similarly connected to the cathode 8 via the high voltage cable 5. On the other hand, the neutral point 4 of the high-voltage transformer 1 has a diode bridge 9
A tube current-voltage conversion resistor 10 for converting the output current of the high-voltage transformer 1 into a voltage is connected through the terminal. One side of the conversion resistor 10 is connected to the ground potential, and the other side is connected to a comparison voltage input terminal 12 of the comparator 11. Connected.
【０００５】又、コンパレータの基準電圧入力端子１３
には、マイナス側がアース電位となる可変直流定電圧電
源１４のプラス側が接続され、Ｘ線管６が放電した場合
に比較電圧入力端子１２に入力される電圧より小さく、
且つＸ線管６が放電していない場合に比較電圧入力端子
１２に入力される電圧より大きな電圧設定とする。The reference voltage input terminal 13 of the comparator
Is connected to the plus side of a variable DC constant voltage power supply 14 whose minus side is ground potential, and is smaller than the voltage input to the comparison voltage input terminal 12 when the X-ray tube 6 is discharged.
When the X-ray tube 6 is not discharged, the voltage is set to be higher than the voltage input to the comparison voltage input terminal 12.
【０００６】コンパレータ１１は、基準電圧入力端子１
３の入力電圧と比較電圧入力端子１２の入力電圧を比較
し、比較電圧側が高い時に出力する。Ｘ線管６の放電は
短時間消滅するため、ラッチ回路１５で放電消滅後も信
号を保持する。ラッチ回路１５の出力信号１６によっ
て、Ｘ線管６に放電が発生したことを判断する。The comparator 11 has a reference voltage input terminal 1
3 is compared with the input voltage of the comparison voltage input terminal 12 and output when the comparison voltage side is high. Since the discharge of the X-ray tube 6 disappears for a short time, the signal is held by the latch circuit 15 even after the discharge has disappeared. It is determined from the output signal 16 of the latch circuit 15 that a discharge has occurred in the X-ray tube 6.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来技術
によると、次のような不都合がある。前述した高電圧を
発生する電子管の製造装置は、高電圧トランス１の出力
電圧を高電圧ケーブル５でＸ線管６に供給する。一方、
高電圧ケーブル５はシールド構造となっており、絶縁被
覆劣化等の絶縁破壊を起こした場合の安全を考慮し、シ
ールド部の末端はアース電位と接続されている。The prior art described above has the following disadvantages. The above-described apparatus for manufacturing an electron tube that generates a high voltage supplies the output voltage of the high-voltage transformer 1 to the X-ray tube 6 through the high-voltage cable 5. on the other hand,
The high-voltage cable 5 has a shield structure, and the end of the shield is connected to a ground potential in consideration of safety in the event of insulation breakdown such as insulation coating deterioration.
【０００８】このため、高電圧ケーブル５は分布定数回
路的には容量（コンデンサ）であり、高電圧トランス１
が電圧を発生した瞬間には、高電圧ケーブル５に充電電
流が流れる。又、高電圧トランス１自身も発生電圧のリ
ップルを小さくするためコンデンサを内蔵している場合
があり、この時も同様に高電圧発生の瞬間に充電電流が
流れる。For this reason, the high-voltage cable 5 is a capacitance (capacitor) in the form of a distributed constant circuit, and the high-voltage transformer 1
At the moment when a voltage is generated, a charging current flows through the high-voltage cable 5. Also, the high-voltage transformer 1 itself may have a built-in capacitor to reduce the ripple of the generated voltage. In this case, the charging current also flows at the moment when the high voltage is generated.
【０００９】この状態で前述した従来の製造装置（放電
検出回路）を構成した場合、高電圧ケーブル５及び高電
圧トランス１内部のコンデンサへの充電電流は、放電検
出回路からはＸ線管６の放電電流と区別がつかず、Ｘ線
管６が放電を起こしていなくても、高電圧発生直後に放
電と判断する（図５（ａ）参照）。このため、コンパレ
ータ１１の基準電圧を充電電流以上に設定する必要があ
るが、この場合は微少な放電を検出する設定が困難とな
る問題があった（図５（ｂ）参照）。In this state, when the above-described conventional manufacturing apparatus (discharge detection circuit) is configured, the charging current to the high voltage cable 5 and the capacitor inside the high voltage transformer 1 is supplied from the discharge detection circuit to the X-ray tube 6. Even if the X-ray tube 6 has not caused a discharge because it is indistinguishable from the discharge current, the discharge is determined immediately after the high voltage is generated (see FIG. 5A). For this reason, it is necessary to set the reference voltage of the comparator 11 to be equal to or higher than the charging current. In this case, however, there is a problem that it is difficult to set to detect a minute discharge (see FIG. 5B).
【００１０】対策として、高電圧発生から遅延を掛けて
検出開始する方法もあるが、高電圧発生の瞬間にＸ線管
６が放電する場合もあり、この方法も信頼性で問題があ
った（図５（ｃ）参照）。As a countermeasure, there is a method of starting detection with a delay from the generation of a high voltage. However, the X-ray tube 6 may discharge at the moment of the generation of a high voltage, and this method has a problem in reliability ( FIG. 5C).
【００１１】この発明は、以上のような不都合を解決す
るものであり、放電検出回路のコンパレータ基準電圧
に、高電圧発生に同期してコンデンサの充電電流をキャ
ンセルする擬似電圧を加えることにより、高電圧ケーブ
ル及び高電圧トランスの内部コンデンサーへの充電電流
による放電誤検出をなくし、高精度で信頼性の高い放電
検出を可能とした電子管の製造装置を提供することを目
的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned disadvantages, and adds a pseudo voltage for canceling a charging current of a capacitor in synchronization with generation of a high voltage to a comparator reference voltage of a discharge detection circuit. It is an object of the present invention to provide an electron tube manufacturing apparatus which eliminates erroneous discharge detection due to charging current to an internal capacitor of a voltage cable and a high-voltage transformer and enables highly accurate and highly reliable discharge detection.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】この発明は、出力側に電
子管の陽極と陰極とが接続される直流高電圧トランス
と、この直流高電圧トランスの中性点端子間に直列に接
続される管電流電圧変換抵抗器及びフォトカプラーと、
このフォトカプラーと直列に接続される第１の可変出力
定電圧直流電源，コンデンサー，及び補正抵抗器と、ア
ース電位に対し補正抵抗器の電圧マイナス側をプラス電
位にバイアスする第２の可変出力定電圧直流電源と、管
電流電圧変換抵抗器の電圧プラス側電位と補正抵抗器の
電圧プラス側電位を比較し、管電流電圧変換抵抗器の電
圧プラス側電位が高い場合に出力を発生するコンパレー
タとを具備してなる電子管の製造装置である。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a DC high-voltage transformer in which an anode and a cathode of an electron tube are connected to an output side, and a tube connected in series between neutral terminals of the DC high-voltage transformer. A current-voltage conversion resistor and a photocoupler,
A first variable output constant voltage DC power supply, a capacitor, and a correction resistor connected in series with the photocoupler, and a second variable output constant for biasing the negative side of the correction resistor to a positive potential with respect to the ground potential. A voltage DC power supply, a comparator that compares the voltage plus side potential of the tube current voltage conversion resistor and the voltage plus side potential of the correction resistor, and generates an output when the voltage plus side potential of the tube current voltage conversion resistor is high. An electron tube manufacturing apparatus comprising:
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の一実施の形態を詳細に説明する。電子管としてＸ線管
を例にとると、この発明の電子管の製造装置（放電検出
回路）は図１に示すように構成され、従来例（図４）と
同一箇所は同一符号を付すことにする。An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. Taking an X-ray tube as an example of an electron tube, an electron tube manufacturing apparatus (discharge detection circuit) of the present invention is configured as shown in FIG. 1, and the same parts as those in the conventional example (FIG. 4) are denoted by the same reference numerals. .
【００１４】即ち、高電圧トランス１のプラス出力側２
は高電圧ケーブル５を介しＸ線管６の陽極７に接続さ
れ、マイナス側３も同様に高電圧ケーブル５を介し陰極
８に接続される。一方、高電圧トランス１の中性点４に
は、ダイオードブリッジ９を介し、高電圧トランス１の
出力電流を電圧に変換する管電流電圧変換抵抗器１０と
フォトカプラ−１７のフォトダイオード部が接続され、
変換抵抗器１０の片側はアース電位として、反対側はコ
ンパレータ１１の比較電圧入力端子１２に接続される。That is, the plus output side 2 of the high-voltage transformer 1
Is connected to the anode 7 of the X-ray tube 6 via the high voltage cable 5, and the negative side 3 is similarly connected to the cathode 8 via the high voltage cable 5. On the other hand, the neutral point 4 of the high-voltage transformer 1 is connected via a diode bridge 9 to a tube current-voltage conversion resistor 10 for converting the output current of the high-voltage transformer 1 into a voltage and a photodiode part of a photocoupler 17. And
One side of the conversion resistor 10 is connected to the ground potential, and the other side is connected to the comparison voltage input terminal 12 of the comparator 11.
【００１５】又、フォトカプラー１７のトランジスタ部
と直列に第１の可変出力直流定電圧電源１８とコンデン
サー１９、及び補正抵抗器２０が接続され、マイナス側
がアース電位となる第２の可変出力直流定電圧電源１４
のプラス側が補正抵抗器２０の電圧マイナス側に接続さ
れる。そして、補正抵抗器２０の電圧プラス側は、コン
パレータ１１の基準電圧入力端子１３に接続される。A first variable output DC constant voltage power supply 18, a capacitor 19, and a correction resistor 20 are connected in series with the transistor section of the photocoupler 17, and a second variable output DC constant voltage having a negative side at ground potential. Voltage power supply 14
Is connected to the negative voltage side of the correction resistor 20. The positive voltage side of the correction resistor 20 is connected to the reference voltage input terminal 13 of the comparator 11.
【００１６】更に、第２の可変出力直流定電圧電源１４
は、高電圧ケーブル５及び高電圧トランス１内部のコン
デンサの充電電流を考えず、定常状態でＸ線管６が放電
した場合に比較電圧入力端子１２に入力される電圧より
小さく、且つＸ線管６が放電していない場合に比較電圧
入力端子１２に入力される電圧より大きな電圧に設定さ
れている。Further, a second variable output DC constant voltage power supply 14
Is smaller than the voltage input to the comparison voltage input terminal 12 when the X-ray tube 6 is discharged in a steady state, without considering the charging current of the high-voltage cable 5 and the capacitor inside the high-voltage transformer 1. 6 is set to a voltage higher than the voltage input to the comparison voltage input terminal 12 when the battery 6 is not discharged.
【００１７】又、第１の可変出力直流定電圧電源１８
は、高電圧ケーブル５及び高電圧トランス１の内部コン
デンサーへの充電電流によって比較電圧入力端子に発生
する突入電圧のピーク値と同等の値になるように設定さ
れている。The first variable output DC constant voltage power supply 18
Is set to a value equivalent to the peak value of the rush voltage generated at the comparison voltage input terminal by the charging current to the internal capacitor of the high voltage cable 5 and the high voltage transformer 1.
【００１８】又、コンデンサー１９の容量は、補正抵抗
器２０との時定数が、高電圧ケーブル５及び高電圧トラ
ンス１の内部コンデンサーによる充電波形の時定数と同
等になる値とする。The capacitance of the capacitor 19 is set to a value such that the time constant of the capacitor 19 and the correction resistor 20 becomes equal to the time constant of the charging waveform by the internal capacitor of the high-voltage cable 5 and the high-voltage transformer 1.
【００１９】さて動作時には、高電圧トランス１の高電
圧が発生すると、高電圧ケーブル５及び高電圧トランス
１の内部コンデンサーによる充電電流が、管電流電圧変
換抵抗器１０とフォトカプラ−１７のフォトダイオード
部に流れる。すると、フォトカプラ−１７のトランジス
タ部のコレクタ−エミッタ間が導通する。すると、コン
デンサー１９と補正抵抗器２０に過渡電流が流れ、補正
抵抗器２０両端には、高電圧ケーブル５及び高電圧トラ
ンス１の内部コンデンサーによる充電電流が比較電圧入
力端子１２に発生する電圧と同じ波形の擬似電圧が発生
する（図２（ｂ）参照）。In operation, when a high voltage is generated in the high-voltage transformer 1, the charging current by the high-voltage cable 5 and the internal capacitor of the high-voltage transformer 1 causes the tube current-voltage conversion resistor 10 and the photodiode of the photocoupler 17 to be charged. Flow into the department. Then, the collector-emitter of the transistor portion of the photocoupler 17 conducts. Then, a transient current flows through the capacitor 19 and the correction resistor 20, and the charging current by the internal capacitor of the high-voltage cable 5 and the high-voltage transformer 1 is equal to the voltage generated at the comparison voltage input terminal 12 across the correction resistor 20. A pseudo voltage having a waveform is generated (see FIG. 2B).
【００２０】このため、基準電圧入力端子１３には、図
２（ｂ）の擬似電圧と第２の可変出力直流定電圧電源１
４で発生する電圧（図２（ａ）参照）の和が入力され
る。以上の動作により、コンパレータ１１の基準電圧は
（図２（ｃ））の波形となり、高電圧ケーブル５及び高
電圧トランス１の内部コンデンサーによる充電電流は検
出されず、且つ高電圧投入時からのＸ線管６の放電電流
は検出可能となる（図３参照）。Therefore, the reference voltage input terminal 13 is connected to the pseudo voltage shown in FIG.
4 (see FIG. 2A). By the above operation, the reference voltage of the comparator 11 has a waveform (FIG. 2 (c)), the charging current due to the internal capacitor of the high-voltage cable 5 and the high-voltage transformer 1 is not detected, and X from the high-voltage input. The discharge current of the tube 6 can be detected (see FIG. 3).
【００２１】以上の結果、Ｘ線管６の高電圧放電を高い
精度で検出することが可能になる。尚、この発明による
製造装置の適用は、Ｘ線管に限定されないのは言うまで
もない。As a result, the high-voltage discharge of the X-ray tube 6 can be detected with high accuracy. It goes without saying that the application of the manufacturing apparatus according to the present invention is not limited to the X-ray tube.
【００２２】[0022]
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
請求項１に記載された構成を有しているので、高電圧ト
ランスの中性点から発生する電流をトリガとして、コン
パレータの基準電圧信号入力端子にかかる直流電圧にパ
ルス電圧を重ねることで、電子管に高電圧を印加する瞬
間に発生する高電圧ケーブル及び高電圧トランスの内部
コンデンサーへの充電電流による放電誤検出をなくし、
高精度で信頼性の高い放電検出を可能とする。As described above, according to the present invention,
With the configuration according to claim 1, an electron tube is formed by superimposing a pulse voltage on a DC voltage applied to a reference voltage signal input terminal of a comparator using a current generated from a neutral point of a high voltage transformer as a trigger. Eliminates erroneous discharge detection due to charging current to the internal capacitor of the high-voltage cable and high-voltage transformer that occurs at the moment when high voltage is applied to the
It enables highly accurate and highly reliable discharge detection.
【図１】この発明の一実施の形態に係る電子管の製造装
置（放電検出回路）を示す回路構成図。FIG. 1 is a circuit configuration diagram showing an electron tube manufacturing apparatus (discharge detection circuit) according to an embodiment of the present invention.
【図２】この発明の製造装置における動作時の電圧波形
図。FIG. 2 is a voltage waveform diagram during operation in the manufacturing apparatus of the present invention.
【図３】同じく電圧波形図。FIG. 3 is a voltage waveform diagram.
【図４】従来の電子管の製造装置（放電検出回路）を示
す回路構成図。FIG. 4 is a circuit diagram showing a conventional electron tube manufacturing apparatus (discharge detection circuit).
【図５】従来の製造装置における動作時の電圧波形図。FIG. 5 is a voltage waveform diagram during operation in a conventional manufacturing apparatus.
１…高電圧トランス、２…高電圧トランスのプラス出力
側、３…高電圧トランスのマイナス出力側、４…高電圧
トランス中性点、５…高電圧ケーブル、６…Ｘ線管、７
…陽極、８…陰極、９…ダイオードブリッジ、１０…管
電流電圧変換抵抗器、１１…コンパレータ、１２…比較
電圧入力端子、１３…基準電圧入力端子、１４…第２の
可変出力直流定電圧電源、１５…ラッチ回路、１６…ラ
ッチ回路出力、１７…フォトカプラー、１８…第１の可
変出力直流定電圧電源、１９…コンデンサー、２０…補
正抵抗器。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... High voltage transformer, 2 ... High voltage transformer positive output side, 3 ... High voltage transformer negative output side, 4 ... High voltage transformer neutral point, 5 ... High voltage cable, 6 ... X-ray tube, 7
... Anode, 8 ... Cathode, 9 ... Diode bridge, 10 ... Tube current-voltage conversion resistor, 11 ... Comparator, 12 ... Comparative voltage input terminal, 13 ... Reference voltage input terminal, 14 ... Second variable output DC constant voltage power supply , 15: latch circuit, 16: latch circuit output, 17: photocoupler, 18: first variable output DC constant voltage power supply, 19: capacitor, 20: correction resistor.
Claims (1)
れる直流高電圧トランスと、この直流高電圧トランスの
中性点端子間に直列に接続される管電流電圧変換抵抗器
及びフォトカプラーと、このフォトカプラーと直列に接
続される第１の可変出力定電圧直流電源，コンデンサ
ー，及び補正抵抗器と、アース電位に対し上記補正抵抗
器の電圧マイナス側をプラス電位にバイアスする第２の
可変出力定電圧直流電源と、上記管電流電圧変換抵抗器
の電圧プラス側電位と上記補正抵抗器の電圧プラス側電
位を比較し、上記管電流電圧変換抵抗器の電圧プラス側
電位が高い場合に出力を発生するコンパレータとを具備
することを特徴とする電子管の製造装置。1. A DC high voltage transformer having an output side connected to an anode and a cathode of an electron tube, a tube current / voltage conversion resistor and a photocoupler connected in series between neutral terminals of the DC high voltage transformer. A first variable output constant voltage DC power supply, a capacitor, and a correction resistor connected in series with the photocoupler, and a second bias for biasing the voltage minus side of the correction resistor to a plus potential with respect to the ground potential. A variable output constant voltage DC power supply, a voltage plus side potential of the tube current-voltage conversion resistor and a voltage plus side potential of the correction resistor are compared, and when the voltage plus side potential of the tube current-voltage conversion resistor is high, An apparatus for manufacturing an electron tube, comprising: a comparator that generates an output.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9012669A JPH10208642A (en) | 1997-01-27 | 1997-01-27 | Electron tube manufacturing equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9012669A JPH10208642A (en) | 1997-01-27 | 1997-01-27 | Electron tube manufacturing equipment |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10208642A true JPH10208642A (en) | 1998-08-07 |
Family
ID=11811789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9012669A Pending JPH10208642A (en) | 1997-01-27 | 1997-01-27 | Electron tube manufacturing equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10208642A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002250799A (en) * | 2001-02-23 | 2002-09-06 | Ushio Inc | Electron beam processing equipment |
-
1997
- 1997-01-27 JP JP9012669A patent/JPH10208642A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002250799A (en) * | 2001-02-23 | 2002-09-06 | Ushio Inc | Electron beam processing equipment |
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