JPH10209096A - 洗浄用搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明は基板を洗浄した洗浄液が搬送ロ−
ラを伝わって筐体の外部に滴下するのを防止できる洗浄
用搬送装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 基板１０の搬送方向一端側に搬入口１ｃ
が形成され他端側に搬出口１ｄが形成された筐体１と、
上記筐体内に上記基板の搬送方向に沿って所定間隔で設
けられるとともに両端部を上記筐体の搬送方向と交差す
る方向の両側壁から外部へ突出して設けられた複数の搬
送ロ−ラ７と、上記搬送ロ−ラの上記筐体の両側壁から
突出した両端部をそれぞれ回転自在に支持した転がり軸
受１１と、上記筐体の外部に設けられ上記搬送ロ−ラを
回転駆動する駆動源２５と、上記搬送ロ−ラの上記筐体
内に位置する両端部にそれぞれ設けられ上記基板に付着
した洗浄液が上記搬送ロ−ラを伝わって上記筐体の外部
に流出するのを阻止する遮液部材１８とを具備したこと
を特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は洗浄される液晶用
ガラス基板や半導体ウエハなどを搬送するための洗浄用
搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば液晶表示装置や半導体装置の製
造工程においては、基板としての液晶用ガラス基板や半
導体ウエハを高い清浄度で洗浄することが要求される工
程がある。このような基板を洗浄する方式としては、洗
浄液中に複数枚の基板を浸漬するデイップ方式や基板に
向けて洗浄液を噴射して一枚づつ洗浄する枚葉方式があ
り、最近では高い清浄度が得られるとともに、コスト的
に有利な枚葉方式が採用されることが多くなってきてい
る。

【０００３】枚葉方式の１つとして洗浄用搬送装置を用
いた洗浄方式が知られている。この洗浄方式は、上記基
板を搬送装置で搬送しながらその上下面にシャワ−ノズ
ルから洗浄液を噴射して洗浄する構成になっている。

【０００４】上記搬送装置は筐体を有し、この筐体内に
上記基板の搬送方向に沿って複数の搬送ロ−ラを所定間
隔で回転自在に設け、これらの搬送ロ−ラを回転駆動す
ることで、上記基板を搬送するようになっている。

【０００５】ところで、上記構成の搬送装置において、
搬送ロ−ラを回転自在に支持する軸受が筐体の内部に設
けられていると、その軸受で発生する塵埃が基板に付着
して汚染の原因となったり、上記軸受が洗浄液によって
早期に腐食されるなどのことがある。

【０００６】そこで、上記搬送ロ−ラの両端部を筐体の
側壁から外部へ突出させ、その突出部分を軸受によって
支持するということが考えられている。しかしながら、
そのような構成にすると、基板に噴射された洗浄液が搬
送ロ−ラに伝わり、この搬送ロ−ラの筐体外部に突出し
た端部から筐体外部に滴下するということがある。

【０００７】洗浄液が搬送ロ−ラを伝わって筐体の外部
に滴下するのを防止するためには、この搬送ロ−ラが筐
体の側壁を貫通する部分を液密にシ−ルするということ
が考えられるが、そのようなシ−ル構造を採用すると、
構造の複雑化やコストの大幅な上昇を招くことになるた
め、実用的でない。

【０００８】上記搬送ロ−ラはメンテナンスや修理交換
などに際して容易に着脱できる構造であることが望まれ
る。しかしながら、通常は、搬送ロ−ラの両端部を回転
自在に支持するための軸受を、所定の箇所に設けられた
支持体に固定するようにしているので、上記搬送ロ−ラ
を着脱するためには上記軸受を支持体から工具を用いて
取り外さなければならないから、その作業が容易でない
ということがあった。

【０００９】上記搬送ロ−ラは駆動手段によって回転駆
動される。駆動手段としては種々のタイプがあるが、そ
の１つとして駆動源によって回転駆動される駆動歯車の
回転を、第１の従動歯車に伝達し、この第１の従動歯車
を上記搬送ロ−ラの一端部に設けられた第２の従動歯車
に噛合させることで、上記搬送ロ−ラを回転駆動すると
いう構造がある。

【００１０】しかしながら、このような機械的な動力伝
達構造によると、互いに噛合する歯車が早期に損傷した
り、塵埃の発生が避けられないなどのことがあり、とく
に洗浄用搬送装置はクリ−ンル−ムに設置されるため、
塵埃の発生は好ましくないなどのことがある。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】このように、洗浄用搬
送装置において、搬送ロ−ラの両端部を筐体の側壁から
外部に貫通させ、その端部を軸受によって回転自在に支
持するようにすると、基板から搬送ロ−ラに伝わった洗
浄液が上記貫通部分を通って筐体の外部に滴下するとい
うことが生じる。

【００１２】また、搬送ロ−ラを機械的に回転駆動する
構造にすると、摩擦部分の早期損傷を招いたり、塵埃の
発生を招くなどのことがある。この発明の目的は、搬送
ロ−ラの両端部を筐体の外部に突出させて軸受で支持す
る構造としたときに、基板から搬送ロ−ラに伝わる洗浄
液が筐体の外部に滴下するのを簡単な構造で確実に防止
できるようにした洗浄用搬送装置を提供することにあ
る。

【００１３】この発明の目的は、搬送ロ−ラの取り付け
や取り外しを簡単に行えるようにした洗浄用搬送装置を
提供することにある。この発明の目的は、搬送ロ−ラを
機械的に動力を伝達して回転駆動する構造としたとき
に、摩擦部分の早期損傷や発塵を防止できるようにした
洗浄用搬送装置を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、洗浄
液によって洗浄される基板を搬送するための洗浄用搬送
装置において、上記基板の搬送方向一端側に搬入口が形
成され他端側に搬出口が形成された筐体と、上記筐体内
に上記基板の搬送方向に沿って所定間隔で設けられると
ともに両端部を上記筐体の搬送方向と交差する方向の両
側壁から外部へ突出して設けられた複数の搬送ロ−ラ
と、上記搬送ロ−ラの上記筐体の両側壁から突出した両
端部をそれぞれ回転自在に支持した支持手段と、上記筐
体の外部に設けられ上記搬送ロ−ラを回転駆動する駆動
手段と、上記搬送ロ−ラの上記筐体内に位置する両端部
にそれぞれ設けられ上記基板に付着した洗浄液が上記搬
送ロ−ラを伝わって上記筐体の外部に流出するのを阻止
する遮液部材とを具備したことを特徴とする。

【００１５】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、上記支持手段は転がり軸受であることを特徴とす
る。請求項３の発明は、請求項２の発明において、上記
転がり軸受は、外周面に係合溝が形成されたハウジング
に保持され、上記筐体の側壁外部には取付け凹部が形成
された支持体が立設されていて、上記ハウジングは、そ
の係合溝を上記取付け凹部に着脱自在に係合させて設け
られていることを特徴とする。

【００１６】請求項４の発明は、請求項１の発明におい
て、上記筐体の側壁内面側には、上記搬送ロ−ラの端部
が貫通した部分を覆うカバ−が設けられていることを特
徴とする。

【００１７】請求項５の発明は、請求項１の発明におい
て、上記駆動手段は、駆動源と、この駆動源によって回
転駆動される従動軸と、この従動軸に嵌着された第１の
歯車と、上記搬送ロ−ラの端部に嵌着され上記第１の歯
車に噛合した第２の歯車とからなり、上記第１の歯車の
一部は液体に浸漬されていることを特徴とする。

【００１８】請求項６の発明は、請求項１の発明におい
て、上記駆動手段は、駆動源と、この駆動源によって回
転駆動される従動軸と、この従動軸に嵌着された第１の
歯車と、上記搬送ロ−ラの端部に嵌着され上記第１の歯
車に噛合した第２の歯車とからなり、上記筐体の一方の
側壁の外面側には、上記駆動手段のうちの少なくとも第
１の歯車と第２の歯車とが収容される収容室が形成され
ていて、この収容室は排気手段によって排気される構成
であることを特徴とする。

【００１９】請求項１の発明によれば、搬送ロ−ラの筐
体内に位置する両端部に、基板からの洗浄液が上記搬送
ロ−ラを伝わって筐体外部へ流れるのを阻止する遮蔽部
材を設けたから、洗浄液が筐体外部へ滴下するのが防止
される。

【００２０】請求項２の発明によれば、搬送ロ−ラを支
持する支持手段を転がり軸受としたことで、搬送ロ−ラ
を低負荷状態で回転駆動できるとともに、発塵の発生を
低減できる。

【００２１】請求項３の発明によれば、転がり軸受が設
けられるハウジングに係合溝を形成し、その係合溝を支
持体の取り付け凹部に着脱自在に係合させて上記ハウジ
ングを保持するようにしたことで、搬送ロ−ラを上記ハ
ウジングとともに上記支持体に対して容易に着脱するこ
とができる。

【００２２】請求項４の発明によれば、筐体の側壁の搬
送ロ−ラが貫通した部分をカバ−で覆うようにしたた
め、上記側壁の搬送ロ−ラの貫通部分から洗浄液が外部
に流出するのを防止できる。

【００２３】請求項５の発明によれば、駆動手段の第２
の歯車と噛合した第１の歯車の一部を液体に浸漬させた
ことで、これら歯車の噛合部分から発生する塵埃が周囲
に飛散するのが防止されるとともに、液体の潤滑作用に
よって摩耗を防止できる。

【００２４】請求項６の発明によれば、駆動手段のうち
の少なくとも第１の歯車と第２の歯車とを収容室に収容
し、この収容室を排気するようにしたことで、駆動手段
で発生する塵埃が筐体内へ流入するのを防止することで
きる。

【００２５】

【発明の実施形態】以下、この発明の一実施形態を図面
を参照して説明する。図１乃至図３はこの発明の洗浄用
搬送装置が用いられた洗浄装置で、この洗浄装置は筐体
１を備えている。この筐体１は上面が幅方向一側壁１ａ
から他側壁１ｂに向かって低く傾斜していて、その上面
は開閉自在な内蓋２と外蓋３とによって閉塞されてい
る。さらに筐体１の長手方向一端面には搬入口１ｃが形
成され、他端面には搬出口１ｄが形成されている。

【００２６】上記筐体１の底部にはドレンパン４が設け
られ、このドレンパン４は上記筐体の他側から一側に向
かって低く傾斜していて、最も低い部分には排液管５が
接続されている。

【００２７】上記筐体１の一側壁１ａと他側壁１ｂとの
高さ方向中途部にはそれぞれ複数の開口部６が幅方向と
直交する、長手方向に沿って所定間隔で形成されてい
る。上記筐体１内には複数の搬送ロ−ラ７が両端部を一
対の側壁１ａ、１ｂに形成された開口部６から外部に突
出させて設けられている。つまり、複数の搬送ロ−ラ７
は、液晶用ガラス基板や半導体ウエハなどの基板１０の
搬送方向に沿って所定間隔で配置され、後述するごとく
上記搬入口１ｃから搬入された基板１０を搬出口１ｄへ
搬送するようになっている。

【００２８】上記筐体１の両側壁１ａ、１ｂの外面側に
は、それぞれ第１の収容室８と第２の収容室９とがほぼ
全長にわたって筐体１と一体的に形成されていて、これ
らの収容室８、９に上記搬送ロ−ラ７の両端部が位置し
ている。

【００２９】上記搬送ロ−ラ７の上記各側壁１ａ、１ｂ
から突出させた両端部には支持手段としての転がり軸受
１１が設けられている。この転がり軸受１１は図８に示
すほぼ半円形状のハウジング１２に形成された嵌合孔１
２ａに嵌着されている。このハウジング１２の上端面を
除く外周面には係合溝１３が形成されている。

【００３０】なお、搬送ロ−ラ７の両端部に設けられる
一対の転がり軸受１１のうち、第１の収容室８側に位置
する転がり軸受１１は耐腐食性や耐水性を備えた樹脂製
のものが用いられ、第２の収容室９側に位置する転がり
軸受１１は荷重に対する耐久性と耐蝕性を備えたステン
レスのものが用いられている。

【００３１】上記各収容室８、９には帯板状の支持体１
５が立設されている。支持体１５には図３に示すように
上端側に開放した半円形状の取付け凹部１６が上記開口
部６と対応する間隔で形成されていて、上記ハウジング
１２はその取付け凹部１６の縁部に係合溝１３を着脱自
在に係合させて設けられている。

【００３２】したがって、上記搬送ロ−ラ７は、上記転
がり軸受１１を介して上記支持体１５に回転自在に支持
されているとともに、ハウジング１２とともに上記支持
体１５から工具などを用いずに簡単に取り外すことがで
きるようになっている。

【００３３】上記搬送ロ−ラ７には、図４に示すように
上記基板１０を支持するための一対の支持部１７が軸方
向中心から左右に対称に設けられているとともに、両端
部の上記筐体１内に位置する部分にはそれぞれ円盤状の
遮蔽部材１８が外嵌固定されている。この遮蔽部材１８
は、上記搬送ロ−ラ７に付着した洗浄液がこの搬送ロ−
ラ７の軸方向に沿って流れるのを阻止する。それによっ
て、遮蔽部材１８は、洗浄液が上記搬送ロ−ラ７を伝わ
って筐体１の側壁１ａ、１ｂの開口部６から外部へ流出
して滴下するのを防止するようになっている。

【００３４】上記筐体１の一対の側壁１ａ、１ｂに形成
された開口部６は、図１に示すように上端を上記側壁内
面に固定した第１のカバ−２１によって覆われている。
この第１のカバ−２１は上記搬送ロ−ラ７の上記遮蔽部
材１８よりも軸方向外側となる端部側に設けられてい
る。第１のカバ−２１よりも軸方向内方には、上記第１
のカバ−２１と所定間隔で対向した第２のカバ−２２が
上端を上記側壁内面に固定して設けられている。

【００３５】上記第１のカバ−２１と第２のカバ−２２
とは筐体１内に飛散する洗浄液が上記開口部６から流出
するのを防止し、第２のカバ−２２は上記搬送ロ−ラ７
の上記遮蔽部材１８よりも端部側に洗浄液が付着するの
を防止するようになっている。

【００３６】上記筐体１内で、搬送ロ−ラ７によって搬
送される基板１０の上面側と下面側とには、それぞれ上
部シャワ−ノズル２３と下部シャワ−ノズル２４が筐体
１の幅方向に沿って設けられている。各シャワ−ノズル
２３、２４には図示しない供給源から洗浄液が供給され
る。それによって、上記基板１０の上面と下面とには洗
浄液が噴射されるから、その上下面が洗浄されることに
なる。

【００３７】上記第１の収容室８の外側には図１に示す
ように駆動手段を構成するモ−タからなる駆動源２５が
配置されている。この駆動源２５の駆動軸２５ａには駆
動部材としての駆動スプロケット２６が嵌着されてい
る。この駆動スプロケット２６の回転はチェ−ン２７を
介して従動スプロケット２８に伝達される。なお、駆動
源２５を第１の収容室８の外部に設けることで、この収
容室８を小さくすることができる。

【００３８】上記従動スプロケット２８は従動軸３１に
嵌着されている。この従動軸３１は上記第１の収容室８
の底部、つまり第１の収容室８に突出した搬送ロ−ラ７
の一端部よりも下方で、しかも軸線を上記搬送ロ−ラ７
の軸線に対して直交させて配置され、複数の軸受３２
（図２に示す）により回転自在に支持されている。

【００３９】上記従動軸３１には、上記第１の収容室８
に突出させた上記搬送ロ−ラ７の一端部と対応する間隔
で複数の第１のヘリカル歯車３３が嵌着固定されてい
る。上記搬送ロ−ラ７の一端部には上記第１のヘリカル
歯車３３に噛合する第２のヘリカル歯車３４が嵌着固定
されている。

【００４０】したがって、上記駆動源２５の駆動軸２５
ａが回転駆動されると、その回転がチェ−ン２７を介し
て駆動スプロケット２６から従動スプロケット２に伝達
されるから、従動軸３１が回転駆動される。従動軸３１
が回転すれば、その回転は第１のヘリカル歯車３３から
第２のヘリカル歯車３４に伝達されるから、第２のヘリ
カル歯車３４が設けられた搬送ロ−ラ７が回転駆動され
ることになる。それによって、搬送ロ−ラ７の支持部１
７に支持された基板１０が所定方向、たとえば図２に矢
印で示す方向へ搬送されるようになっている。

【００４１】上記従動軸３１に設けられた第１のヘリカ
ル歯車３３の下方には図６に示すように上面が開口した
水槽３５が上記第１の収容室８の長手方向に沿って配置
されている。この水槽３５には水道水などの液体が供給
され、その液体に上記第１のヘリカル歯車３３と従動ス
プロケット２８の一部が浸漬している。水槽３５の液体
は第２のヘリカル歯車３４との接触部分および各スプロ
ケット２６、２８とチェ−ン２７との接触部分に伝わっ
て潤滑作用を呈するとともに、これらの接触部分の摩擦
によって発生する金属粉などの塵埃が周囲に飛散するの
を防止する。

【００４２】上記液体は上記水槽３５からオ−バフロ−
するように供給される。水槽３５からオ−バフロ−した
液体は図１に示すように上記第１の収容室８の底部に接
続されたドレン管３６から排出されるようになってい
る。

【００４３】さらに、上記第１の収容室８と第２の収容
室９との底部には排気液管３７が接続されている。この
排気液管３７はドレンポンプ３８に連通している。した
がって、上記各収容室８、９に溜まるドレンは上記ドレ
ンポンプ３８によって排出され、また第２の収容室９の
雰囲気は上記排気液管３７を通じて第１の収容室８に排
気されるようになっている。

【００４４】上記第１の収容室８と筐体１の内部空間と
にはそれぞれ排気管３９が接続されている。この排気管
３９には排気ポンプ４１が接続されている。したがっ
て、筐体１の内部空間、第１の収容室８および第２の収
容室９は上記排気ポンプ４１によって排気されるように
なっている。

【００４５】第１の収容室８には搬送ロ−ラ７の一端部
を回転自在に支持した転がり軸受１１や互いに噛合した
第１のヘリカル歯車３３と第２のヘリカル歯車３４など
が設けられているために塵埃が発生し、第２の収容室９
には転がり軸受１１が設けられているため、塵埃が発生
する。しかしながら、各収容室８、９は排気ポンプ４１
３８によって排気されることで、各収容室８、９から筐
体１内に塵埃が入り込んだり、外部（クリ−ンル−ム）
に散乱するのが防止される。しかも、筐体１内に塵埃が
入り込むようなことがあっても、この筐体１内も排気さ
れているから、塵埃が筐体１内で飛散するのを防止でき
る。

【００４６】上記構成の洗浄装置によれば、搬送ロ−ラ
７によって筐体１内を矢印方向に搬送される基板１０
は、上部シャワ−ノズル２３と下部シャワ−ノズル２４
から噴射される洗浄液によって上下面が洗浄される。上
記搬送ロ−ラ７は両端部を筐体１の外部に突出させてい
るから、基板１０を洗浄した洗浄液は上記搬送ロ−ラ７
を伝わって筐体１の外部に滴下する虞がある。

【００４７】しかしながら、上記搬送ロ−ラ７の端部に
は遮蔽部材１８が嵌着されている。そのため、搬送ロ−
ラ７に沿う洗浄液の流れは、上記遮蔽部材１８によりそ
れ以上、上記搬送ロ−ラ７の端部側へ流れるのが阻止さ
れるから、洗浄液が搬送ロ−ラ７の筐体１の外部に突出
した端部へ伝達し、そこから筐体１の外部に滴下するこ
とがない。

【００４８】各シャワ−ノズル２３、２４から噴射され
る洗浄液は、その噴射方向は勿論のこと、基板１０の上
下面で衝突することで、筐体１内のあらゆる方向に飛散
する。そのため、洗浄液は、搬送ロ−ラ７の端部が筐体
１の側壁１ａ、１ｂを貫通した開口部６から外部に飛散
する虞があるが、上記開口部６は第１のカバ−２１と第
２のカバ−２２とで覆われている。そのため、搬送ロ−
ラ７の両端部を開口部６から筐体１の外部に突出させて
も、洗浄液が上記開口部６から外部に飛散するのを防止
できる。

【００４９】搬送ロ−ラ７に遮蔽部材１８を設け、さら
に開口部６を第１のカバ−２１と第２のカバ−２２とで
覆ったことにより、洗浄液が上記搬送ロ−ラ７の両端部
を支持した転がり軸受１１に到達することがないから、
転がり軸受１１が洗浄液によって腐食されるのが防止さ
れる。

【００５０】上記搬送ロ−ラ７を回転駆動する駆動機構
は筐体１の外部に設けられている。そのため、第１のヘ
リカル歯車３３と第２のヘリカル歯車３４との噛合によ
って発生する塵埃が筐体１内の基板に付着することがな
い。

【００５１】しかも、上記第１のヘリカル歯車３３と第
２のヘリカル歯車３４とが設けられた第１の収容室８は
排気されるから、上記歯車の噛合によって発生した塵埃
が搬送ロ−ラ７の端部が貫通した筐体１の側壁１ａの開
口部６から内部に入り込んだり、第１の収容室８の外部
に飛散するということもない。

【００５２】第２の収容室９も第１の収容室８と同様に
排気されている。そのため、第２の収容室９内に設けら
れた転がり軸受１１で塵埃が発生しても、筐体１内に流
入したり、第２の収容室９の外部に飛散することがな
い。

【００５３】上記第１の収容室８には水槽３５が設けら
れ、その水槽３５内の液体に従動スプロケット２８と第
１の歯車３３の一部が浸漬している。そのため、その液
体が各スプロケット２６、２８とチェ−ン２７との接触
部分および第１のヘリカル歯車３３と第２のヘリカル歯
車３４との接触部分を潤滑するとともに、これらの接触
部分が液体によって濡れていることで、その部分から発
生する塵埃が周囲に飛散するのも阻止することになる。

【００５４】上記一実施形態では洗浄用搬送装置として
搬送機能と洗浄機能とが一体化された洗浄装置を挙げた
が、たとえばスピン洗浄装置によって洗浄された基板を
搬送する、搬送機能だけを備えた搬送装置にも、この発
明を適用することができること、勿論である。

【００５５】また、搬送ロ−ラを回転駆動する駆動手段
のうち、駆動源を第１の収容室の外部に設けたが、この
駆動源を第１の収容室の内部に設けるようにしてもよ
い。さらに、筐体の側壁の開口部を覆うために第１のカ
バ−と第２のカバ−とを設けたが、カバ−はどちらか一
方だけであってもよい。

【００５６】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、搬送ロ−ラの
筐体内に位置する両端部に、基板からの洗浄液が上記搬
送ロ−ラを伝わって筐体外部へ流れるのを阻止する遮蔽
部材を設けた。

【００５７】そのため、搬送ロ−ラを回転自在に支持す
るための支持手段が洗浄液によって腐食されるのを防止
するために、上記搬送ロ−ラの両端部を筐体の外部に突
出させても、洗浄液が搬送ロ−ラを伝わって筐体外部へ
滴下するのが防止される。

【００５８】請求項２の発明によれば、搬送ロ−ラを支
持する支持手段を転がり軸受としたことで、滑り軸受を
用いる場合に比べて駆動手段に加わる負荷の低減や発塵
を抑制することができる。

【００５９】請求項３の発明によれば、転がり軸受が設
けられるハウジングに係合溝を形成し、その係合溝を支
持体の取り付け凹部に着脱自在に係合させることで、上
記ハウジングを保持するようにした。

【００６０】そのため、搬送ロ−ラは上記ハウジングと
ともに上記支持体に対して容易に着脱することができる
から、上記搬送ロ−ラのメンテナンスや交換作業を容易
かつ迅速に行うことができる。

【００６１】請求項４の発明によれば、筐体の側壁の搬
送ロ−ラが貫通した部分をカバ−で覆うようにしたた
め、上記側壁の搬送ロ−ラの貫通部分から洗浄液が外部
に流出するのを防止できる。

【００６２】請求項５の発明によれば、駆動手段の第２
の歯車と噛合した第１の歯車の一部を液体に浸漬させた
ことで、これら歯車の噛合部分から発生する塵埃が周囲
に飛散するのが防止されるとともに、液体の潤滑作用に
よって摩耗を防止できる。

【００６３】請求項６の発明によれば、駆動手段のうち
の少なくとも第１の歯車と第２の歯車とを収容室に収容
し、この収容室を排気するようにしたことで、駆動手段
で発生する塵埃が筐体内へ流入するのを防止することで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態を示す筐体の幅方向に沿
う拡大縦断面図。

【図２】同じく横断面図。

【図３】同じく筐体の長手方向に沿う断面図。

【図４】同じく搬送ロ−ラの支持構造を示す一部断面し
た正面図。

【図５】同じく搬送ロ−ラを回転駆動する駆動手段の平
面図。

【図６】同じく駆動手段の側面図。

【図７】同じく駆動手段の正面図。

【図８】同じく転がり軸受が取付けられたハウジングの
斜視図。

【符号の説明】

１…筐体 １ｃ…搬入口 １ｄ…搬出口 ７…搬送ロ−ラ １０…基板 １１…転がり軸受（支持手段） １２…ハウジング １３…係合溝 １５…支持体 １６…取付け凹部 １８…遮蔽部材 ２５…駆動源（駆動手段） ２６、２８…スプロケット（駆動手段） ２７…チェ−ン（駆動手段） ３１…従動軸（駆動手段） ３３、３４…第１、第２の歯車（駆動手段）

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 洗浄液によって洗浄される基板を搬送す
   るための洗浄用搬送装置において、 上記基板の搬送方向一端側に搬入口が形成され他端側に
   搬出口が形成された筐体と、 上記筐体内に上記基板の搬送方向に沿って所定間隔で設
   けられるとともに両端部を上記筐体の搬送方向と交差す
   る方向の両側壁から外部へ突出して設けられた複数の搬
   送ロ−ラと、 上記搬送ロ−ラの上記筐体の両側壁から突出した両端部
   をそれぞれ回転自在に支持した支持手段と、 上記筐体の外部に設けられ上記搬送ロ−ラを回転駆動す
   る駆動手段と、 上記搬送ロ−ラの上記筐体内に位置する両端部にそれぞ
   れ設けられ上記基板に付着した洗浄液が上記搬送ロ−ラ
   を伝わって上記筐体の外部に流出するのを阻止する遮液
   部材とを具備したことを特徴とする洗浄用搬送装置。
2. 【請求項２】 上記支持手段は転がり軸受であることを
   特徴とする請求項１記載の搬送装置。
3. 【請求項３】 上記転がり軸受は、外周面に係合溝が形
   成されたハウジングに保持され、上記筐体の側壁外部に
   は取付け凹部が形成された支持体が立設されていて、上
   記ハウジングは、その係合溝を上記取付け凹部に着脱自
   在に係合させて設けられていることを特徴とする請求項
   ２記載の搬送装置。
4. 【請求項４】 上記筐体の側壁内面側には、上記搬送ロ
   −ラの端部が貫通した部分を覆うカバ−が設けられてい
   ることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
5. 【請求項５】 上記駆動手段は、駆動源と、この駆動源
   によって回転駆動される従動軸と、この従動軸に嵌着さ
   れた第１の歯車と、上記搬送ロ−ラの端部に嵌着され上
   記第１の歯車に噛合した第２の歯車とからなり、 上記第１の歯車の一部は液体に浸漬されていることを特
   徴とする請求項１記載の搬送装置。
6. 【請求項６】 上記駆動手段は、駆動源と、この駆動源
   によって回転駆動される従動軸と、この従動軸に嵌着さ
   れた第１の歯車と、上記搬送ロ−ラの端部に嵌着され上
   記第１の歯車に噛合した第２の歯車とからなり、 上記筐体の一方の側壁の外面側には、上記駆動手段のう
   ちの少なくとも第１の歯車と第２の歯車とが収容される
   収容室が形成されていて、この収容室は排気手段によっ
   て排気される構成であることを特徴とする請求項１記載
   の搬送装置。