JPH10209251A - テープ貼り方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、例えば被加工物である半導体ウェ
ーハと、それを支持して搬送し加工等に供するためのリ
ング状のフレームとを粘着テープによって一体にするテ
ープ貼り装置に関し、粘着テープをフレームに沿ってテ
ープカッターで切断するときに、不完全切断を確実に検
出することである。 【解決手段】 被加工物とフレーム８０とを粘着テープ
２によって一体にするテープ貼り方法であって、被加工
物とフレーム８０とを所定の保持部に吸着支持させて粘
着テープ２を貼着し、フレーム８０に沿って粘着テープ
を切断するテープカッター３１とフレーム保持部で保持
されたフレーム８０とが接触することで通電する回路３
５を構成し、テープカッター３１によるテープ切断中に
おいて前記回路３５が非導通となったことでテープの未
切断を検出するテープ貼り方法としたことである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば被加工物で
ある半導体ウェーハと、それを支持して搬送し加工等に
供するためのリング状のフレームとを粘着テープによっ
て一体にするテープ貼り方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体ウェーハとフレームとを粘
着テープによって一体にするテープ貼り装置は、例え
ば、特開平６−１７７２４３号に開示されているものが
知られている。このテープ貼り装置１は、図８乃至図１
０に示すように、テープ送り出し部２０とテープ巻き取
り部３０と、これらの中間に存するテープ貼着領域６０
と、該テープ貼着領域６０においてテープカットのため
に待機位置と作用位置に移動自在に設けられたテープカ
ッター３１と、テープ貼着可動ローラ２２と、テープ剥
離可動ローラ２３，２４と、前記テープ貼着領域６０に
粘着テープの送り方向に直角方向に進退するテーブル４
０とから概ね構成されている。

【０００３】そして、前記テーブル４０が作業領域５０
（引き出された位置）に位置付けられていて、そのフレ
ーム載置領域４１にフレーム８０が載置されると共に、
ウェーハ７０がウェーハ載置領域４２に載置される。

【０００４】テーブル４０のボタンＡを押すと、前記フ
レーム８０とウェーハ７０とがテーブル４０に吸着さ
れ、該テーブル４０は矢印９０の方向に移動してテープ
貼着領域６０に進出する。

【０００５】そして、テープ貼着領域６０に位置付けら
れたフレーム８０とウェーハ７０に粘着テープ２を貼着
すべくテープ貼着可動ローラ２２を、粘着テープ２の送
り出し方向と同方向に往動させ、破線で示すテープ貼着
可動ローラ２２ａの位置に達したら逆方向に復動させ
て、元の位置に戻す。

【０００６】これにより、粘着テープ２が一点鎖線で示
す粘着テープ２ａの状態となって前記フレーム８０とウ
ェーハ７０に貼着される。そして、テープカッター３１
が作用位置に下降され、そのカッター３２が回転軸３３
を中心に３６０゜回転され、フレーム８０に沿って粘着
テープ２を円形状に切断する。この後、テープカッター
３１は待機領域に戻される。

【０００７】そして、テープカッター３１により切断さ
れた使用済みの不要となった粘着テープが、テープ剥離
可動ローラ２３，２４の移動によりフレーム８０から剥
離され、テープ巻き取り部３０の巻き取り軸２５に巻き
取られるとともに、未使用の粘着テープ２をテープ送り
出し部２０からテープ貼着領域６０に引き出す。

【０００８】テーブル４０は、作業領域５０に退出させ
られ、粘着テープ２で一体に貼着されたフレーム８０と
ウェーハ７０が、作業者によって取り出されて次の工程
に移送される。このようにして、テープ貼着工程が繰り
返し遂行される。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記テ
ープカッター３１によって粘着テープ２をフレーム８０
に沿って切断する際に、該テープカッター３１のカッタ
ー３２の刃先が磨耗等により切れ味が悪かったり、後退
していると、図１１に示すように、カッター３２の刃先
とフレーム８０との間に僅かな隙間αが生じるようにな
り、粘着テープ２を完全に切断できないことがある。こ
のような未切断部分があると、使用済みの不要となった
粘着テープ２をテープ剥離可動ローラ２３，２４によっ
てフレーム８０から剥がす際の障害となり、テープの未
切断部分を無理に剥がしたりするとウェーハ割れの原因
となると言う問題点がある。

【００１０】このように、従来例に係るテープ貼り装置
には、粘着テープの完全切断を遂行する上において解決
すべき課題がある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明に係るテープ貼り
方法の上記課題を解決するための要旨は、被加工物とフ
レームとを粘着テープによって一体にするテープ貼り方
法であって、被加工物とフレームとを所定の保持部に吸
着支持させて粘着テープを貼着し、フレームに沿って粘
着テープを切断するテープカッターとフレーム保持部で
保持されたフレームとが接触することで通電する回路を
構成し、テープカッターによるテープ切断中において前
記回路が非導通となったことでテープの未切断を検出す
るテープ貼り方法である。

【００１２】本発明に係るテープ貼り装置の要旨は、被
加工物とフレームとを粘着テープによって一体にするテ
ープ貼り装置であって、該テープ貼り装置は、未使用テ
ープを供給するテープ供給ローラと、テープを送るテー
プ送りローラと、使用済みテープを巻き取るテープ巻き
取りローラと、被加工物保持部とフレーム保持部とを含
み被加工物とフレームとを粘着テープによって一体貼着
するテープ貼り部と、作用位置と非作用位置とに位置付
けられ作用位置に位置付けられた際にフレームに沿って
粘着テープを切断するテープカッターとを備え、前記フ
レーム保持部には電気導通部が形成されており、前記テ
ープカッターと該電気導通部とはフレームを介して回路
が形成され、該テープカッターが作用位置に位置付けら
れフレームに沿ってテープを切断する際にテープの未切
断を電気の非導通によって検出することである。

【００１３】また、前記テープの未切断を検出した際に
アラームを発し、オペレータにテープの未切断を知らせ
ること；テープの未切断を検出した際、完全切断するま
でテープカッターを作用させることも付加要件として含
むものである。

【００１４】本発明のテープ貼り方法によれば、粘着テ
ープを切断するためのテープカッターの刃先が、切断作
用中に常にフレームの表面に当接して、完全に粘着テー
プの切断が遂行されたか否かを回路の非導通によって直
ちに判断することが出来る。また、本発明のテープ貼り
装置により、粘着テープを不完全に切断したことが直ぐ
に判り、完全に切断されるまでテープカッターによって
テープ切断を遂行することができるようになり、テープ
未切断のままテープ剥離作業がテープ剥離ローラによっ
て行われるのを防止することが出来る。

【００１５】

【発明の実施の形態】次に、本発明に係るテープ貼り方
法と装置について図面を参照して説明する。なお、発明
の理解容易のため従来例に対応する部分には従来例と同
一の符号を付けて説明する。テープ貼り装置１０は、図
１に示すように、未使用の粘着テープ２を供給するテー
プ供給ローラ１１と、粘着テープ２を送るテープ送りロ
ーラ１２と、使用済み粘着テープを巻き取るテープ巻き
取りローラ１３と、粘着テープ２の送り方向に直角に進
退するテーブル４０と、テープ貼着領域６０においてフ
レーム８０に沿って粘着テープ２を切断するテープカッ
ター３１と、を概ね備えて構成されている。

【００１６】作業領域５０のテーブル４０には、図２に
示すように、リング状のフレーム８０を載置するフレー
ム載置領域４１と、ウェーハ７０を保持する被加工物保
持部が形成されたウェーハ載置領域４２とが設けられて
いる。そして、該テーブル４０は、矢印４４で示すよう
に、粘着テープ２の送り方向に対して直角方向に進退す
るように構成され、作業領域５０とテープ貼着領域６０
との間を正面側から往復移動されるものである。

【００１７】また、前記フレーム載置領域４１には、そ
の周縁部にフレーム８０を吸着して支持する吸引孔４１
ａが適宜間隔を置いて複数配設されているとともに、フ
レーム８０に接触し該フレーム８０を介してテープカッ
ター３１と電気的導通を図る電気導通部４１ｂが配設さ
れて、フレーム保持部が形成されている。この電気導通
部４１ｂを含む回路構成については後述する。

【００１８】装置本体を正面側から見てテープ貼着領域
６０の右側には、図３に示すように、テープ送り方向に
沿って往復移動可能な貼着ローラ２２が配設されてい
る。該貼着ローラ２２は、略隣接状態にテープ剥離ロー
ラ２２ａを備えており、テープ送り方向と順方向に移動
することで、テープ貼着領域６０においてフレーム８０
とウェーハ７０とを粘着テープ２で一体に貼着し、テー
プ送り方向と逆方向に移動することで、フレームに沿っ
て切断された部分以外の使用済みの粘着テープ２をフレ
ーム８０から剥離させるものである。

【００１９】前記テープ貼着領域６０におけるテーブル
４０と対向配置したテープカッター３１が、装置本体の
上部に配設されている。該テープカッター３１には、図
３に示すように、カッター基台３１ｄに垂下された上下
動自在な回転軸３１ａと、その回転軸３１ａの下端部に
水平に設けられた支持部材３１ｅと、該支持部材３１ｅ
の端部にカッター３１ｂとフレームローラ３１ｃとが設
けられている。

【００２０】そして、前記テープカッター３１とテーブ
ル４０の電気導通部４１ｂとが、粘着テープ２の切断作
業中に、導電性（例えば、ステンレス製）のフレーム８
０が介在することで、テープ未切断検出用の回路３５が
形成されている。

【００２１】そのテープ未切断検出用の回路３５の構成
は、図４に示すように、例えば、テープカッター３１の
カッター基台３１ｄから回転軸３１ａ，支持部材３１ｅ
及びカッター３１ｂへと電気的に導通を図り、カッター
３１ｂが粘着テープ２を突き破ってフレーム８０に接触
することで、更にカッター基台３１ｄと、フレーム８０
及びこれに接触する電気導通部４１ｂと、電源部４１ｃ
と、リレー３７とが電気的に導通して閉回路が構成され
る。

【００２２】又、前記テープ未切断検出用の回路３５の
リレー３７に、電源部３９とアラーム３８を有するアラ
ーム回路３６の一部が接続されている。よって、例え
ば、前記回路３５の一部において非導通となって前記リ
レー３７が作動したときに、そのリレー３７の作動によ
ってアラーム回路３６が閉回路となって通電状態とな
る。

【００２３】そして、アラーム回路３６中のアラーム３
８が作動し、警報音・光点滅等の警報手段でオペレータ
等に知らせるようになっている。尚、前記アラーム回路
３６は、テープカッター３１がテープ切断作業中におい
てのみ作動状態になるものである。よって、テープカッ
ター３１がテープ切断の作用位置に位置付けられた直後
に制御装置によってアラーム回路３６が作動状態にさ
れ、テープ切断作業が完全に遂行された後でテープカッ
ター３１を非作用位置に後退させる直前に制御装置によ
って当該アラーム回路３６が非作動状態にされるもので
ある。

【００２４】このようにして、テーブル４０のフレーム
載置領域４１とテープカッター３１とに、テープ未切断
検出用の回路３５を設けたテープ貼り装置１０によっ
て、粘着テープ２の切断が完全に遂行される様子を説明
する。

【００２５】図１乃至図２を参照して説明すると、テー
プ貼り装置１０において作業領域５０にあるテーブル４
０に、フレーム８０をフレーム載置領域４１に載置して
吸着支持させ、ウェーハ７０を回路面を下にしてウェー
ハ載置領域４２に載置して吸着支持させ、該テーブル４
０をテープ貼着領域６０に進出させる。

【００２６】テープ貼着領域６０において、図３に示す
状態から貼着ローラ２２及びテープ剥離ローラ２２ａを
テープ送り方向と同一方向に移動させて、テーブル４０
上のフレーム８０とウェーハ７０とを粘着テープ２で一
体に貼着する。

【００２７】そして、図５に示すように、テープカッタ
ー３１をテープ切断の作用位置に位置付ける。これによ
り、テープカッター３１におけるカッター３１ｂの先端
部が粘着テープ２に押圧し、図６に示すように、粘着テ
ープ２を突き破ってフレーム８０に接触し、図４に示し
たテープ未切断検出用の回路３５が閉回路となる。

【００２８】その直後に、アラーム回路３６を制御装置
により作動状態にして、テープカッター３１の回転軸３
１ａを矢印方向に１回転させる。カッター３１ｂがフレ
ーム８０に沿って回転し、粘着テープ２を切断する。

【００２９】このカッター３１ｂによる粘着テープ２の
切断中において、例えば、カッター３１ｂの刃先が磨耗
し切れ味が悪かったり、フレーム８０の平坦度のバラツ
キ（不陸）があったりすると、カッター３１ｂの刃先と
フレーム８０の表面との間に僅かな間隙が生じる。

【００３０】すると、図４に示したテープ未切断検出用
の回路３５において、カッター３１ｂとフレーム８０と
の間で電気的導通が遮断され、該回路３５のリレー３７
が働き、それに連動してアラーム回路３６が閉回路とな
り、アラーム３８が直ちに作動して、例えば、警報を発
する。

【００３１】そして、オペレータは、カッター３１ｂの
１回転中において、粘着テープ２を完全に切断すること
が出来なかったことを知らされるので、再度、カッター
３１ｂを１回転させるべくテープ貼り装置１０を操作し
て粘着テープ２を完全に切断するか、又は、刃先の磨耗
が著しい場合には古いカッター３１ｂを新しいカッター
３１ｂに交換してから、粘着テープ２を完全に切断する
ものである。

【００３２】このように、テープ未切断検出用の回路３
５とアラーム回路３６とにより、粘着テープの切断作業
中に未切断部分が発生したときに、それを回路の非導通
によって検出し、当該粘着テープ２の完全切断が確実に
達成されるものである。

【００３３】テープカッター３１により完全に粘着テー
プ２を切断した後に、アラーム回路３６を制御装置によ
って非作動状態にしてから、該テープカッター３１を非
作用位置に後退させる。そして、貼着ローラ２２及びテ
ープ剥離ローラ２２ａをテープ送り方向と逆方向に移動
させてテープ貼着領域６０における使用済みの不要とな
った粘着テープ２をフレーム８０から剥離させ、その
後、該粘着テープ２をテープ送りローラ１２によりテー
プ送り方向に送り出し、粘着テープ２の弛みを取るテー
プテンション調整部１９を介してテープ巻き取りローラ
１３に巻き取らせる。

【００３４】そして、図７に示すように、フレーム８０
に沿って完全に切断された粘着テープ２で一体に貼着さ
れたフレーム８０とウェーハ７０を取り出すべく、テー
ブル４０をテープ貼着領域６０から作業領域５０へと後
退させて、当該フレーム８０とウェーハ７０とを次の作
業工程、例えばダイシング工程に移送させるものであ
る。

【００３５】なお、本発明に係るテープ貼り方法におい
て、テープカッター３１のカッター３１ｂを１回転させ
て粘着テープ２を切断させたときに、アラーム回路３６
のアラーム３８が警報を発した場合には、自動的にカッ
ター３１ｂをもう１回転させるように設定したり、完全
切断するまでテープカッターを切断作用させるようにし
たりすることが出来るものである。そして、再度の切断
を遂行しても未切断部分があってアラームが発生する場
合には、カッター３１ｂの交換を促すようにすることも
できるものである。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のテープ貼
り方法は、被加工物とフレームとを粘着テープによって
一体にするもので、被加工物とフレームとを所定の保持
部に吸着支持させて粘着テープを貼着し、フレームに沿
って粘着テープを切断するテープカッターとフレーム保
持部で保持されたフレームとが接触することで通電する
回路を構成し、テープカッターによるテープ切断中にお
いて前記回路が非導通となったことでテープの未切断を
検出する方法とすることにより、カッターの磨耗等で粘
着テープに未切断部分があると確実に検出され、テープ
カッターによる切断作業を完全に遂行することが出来る
ようになるという優れた効果を奏するものである。

【００３７】本発明に係るテープ貼り装置は、未使用テ
ープを供給するテープ供給ローラと、テープを送るテー
プ送りローラと、使用済みテープを巻き取るテープ巻き
取りローラと、被加工物保持部とフレーム保持部とを含
み被加工物とフレームとを粘着テープによって一体貼着
するテープ貼り部と、作用位置と非作用位置とに位置付
けられ作用位置に位置付けられた際にフレームに沿って
粘着テープを切断するテープカッターとを備え、前記フ
レーム保持部には電気導通部が形成されており、前記テ
ープカッターと該電気導通部とはフレームを介して回路
が形成され、該テープカッターが作用位置に位置付けら
れフレームに沿ってテープを切断する際にテープの未切
断を電気の非導通によって検出するので、粘着テープに
未切断部分があるにもかかわらずテープ剥離を遂行して
ウェーハ割れを引き起こす不都合を防止できるという優
れた効果を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るテープ貼り装置の斜視図である。

【図２】同本発明のテープ貼り装置におけるテープ貼着
領域と作業領域の概略平面図である。

【図３】同本発明のテープ貼り装置の概略構成配置を示
す正面図である。

【図４】同本発明のテープ貼り装置における、テープ未
切断検出用の回路３５とアラーム回路３６との概略構成
を示す説明図である。

【図５】同本発明のテープ貼り装置で粘着テープをテー
プカッターで切断する様子を示す説明図である。

【図６】同本発明のテープ貼り装置で粘着テープを切断
する際の、粘着テープを突き破ってカッターとフレーム
とが接触する様子を示す説明図である。

【図７】同本発明のテープ貼り装置において、本発明の
テープ貼り方法で完全に粘着テープを切断した後、テー
ブルを作業領域に後退させて、粘着テープによって一体
化したフレームとウェーハを取り出す様子を示す説明図
である。

【図８】従来例に係るテープ貼り装置の斜視図である。

【図９】同従例に係るテープ貼り装置によるテープ貼着
の様子を示す説明図である。

【図１０】同従例に係るテープ貼り装置によるテープ切
断の様子を示す説明図である。

【図１１】従来例に係るテープ貼り装置において、テー
プカッターによる粘着テープの切断中に、カッターの刃
先とフレームとの間に間隙が生じて未切断部分が生じる
様子を示す説明図である。

【符号の説明】

２ 粘着テープ、１０ テープ貼り装置、１１ テープ
供給ローラ、１２ テープ送りローラ、 １３ テープ
巻き取りローラ、２２ 貼着ローラ、２２ａ テープ剥
離ローラ、３１ テープカッター、３１ｂ カッター、
３１ｄ カッター基台、３１ｅ 支持部材、３５ テー
プ未切断検出用の回路、３６ アラーム回路、３７ リ
レー、３８ アラーム、３９，４１ｃ 電源部、４０
テーブル、４１ フレーム載置領域、４１ｂ 電気導通
部、４２ ウェーハ載置領域、５０ 作業領域、６０
テープ貼着領域、７０ ウェーハ、８０ フレーム。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被加工物とフレームとを粘着テープによ
   って一体にするテープ貼り方法であって、 被加工物とフレームとを所定の保持部に吸着支持させて
   粘着テープを貼着し、 フレームに沿って粘着テープを切断するテープカッター
   とフレーム保持部で保持されたフレームとが接触するこ
   とで通電する回路を構成し、 テープカッターによるテープ切断中において前記回路が
   非導通となったことでテープの未切断を検出すること、 を特徴とするテープ貼り方法。
2. 【請求項２】 被加工物とフレームとを粘着テープによ
   って一体にするテープ貼り装置であって、該テープ貼り
   装置は、未使用テープを供給するテープ供給ローラと、
   テープを送るテープ送りローラと、使用済みテープを巻
   き取るテープ巻き取りローラと、被加工物保持部とフレ
   ーム保持部とを含み被加工物とフレームとを粘着テープ
   によって一体貼着するテープ貼り部と、作用位置と非作
   用位置とに位置付けられ作用位置に位置付けられた際に
   フレームに沿って粘着テープを切断するテープカッター
   とを備え、 前記フレーム保持部には電気導通部が形成されており、
   前記テープカッターと該電気導通部とはフレームを介し
   て回路が形成され、該テープカッターが作用位置に位置
   付けられフレームに沿ってテープを切断する際にテープ
   の未切断を電気の非導通によって検出すること、 を特徴とするテープ貼り装置。
3. 【請求項３】 テープの未切断を検出した際にアラーム
   を発し、オペレータにテープの未切断を知らせる請求項
   ２に記載のテープ貼り装置。
4. 【請求項４】 テープの未切断を検出した際、完全切断
   するまでテープカッターを作用させる請求項２または３
   に記載のテープ貼り装置。