JPH10209352A - Lsiパッケージ用放熱フィン - Google Patents

Lsiパッケージ用放熱フィン

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JPH10209352A
JPH10209352A JP9010987A JP1098797A JPH10209352A JP H10209352 A JPH10209352 A JP H10209352A JP 9010987 A JP9010987 A JP 9010987A JP 1098797 A JP1098797 A JP 1098797A JP H10209352 A JPH10209352 A JP H10209352A
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JP
Japan
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package
fin
bottom plate
claws
corrugated
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Pending
Application number
JP9010987A
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English (en)
Inventor
Masayasu Kojima
正康 小嶋
Chihiro Hayashi
千博 林
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Nippon Steel Corp
Original Assignee
Sumitomo Metal Industries Ltd
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/851Dispositions of multiple connectors or interconnections
    • H10W72/874On different surfaces
    • H10W72/884Die-attach connectors and bond wires

Landscapes

  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ねじ、クリップなどの部品類は一切使用しな
いで、着脱自在にパッケージに装着することのできる放
熱フィンを提供する。 【解決手段】 平板状の底板部と放熱部とからなるLS
Iパッケージ装着用放熱フィンであって、放熱フィンの
底板部の対向する側端部(32a1、32a2)にそれ
ぞれ下方に突出、対向した、LSIパッケージの周縁部
を把持するための爪(31b)を有することを特徴とす
るLSIパッケージ用放熱フィン。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、LSI(大規模集
積回路)パッケージに取り付けて、パッケージに搭載さ
れたLSIチップ(以下、チップと記す)を冷却するた
めの放熱フィンに関する。
【0002】
【従来の技術】LSIパッケージ(以下、単にパッケー
ジと記す)は、チップを収納した最も基本的なエレクト
ロニクスデバイスである。電子機器の高性能化、小型化
の歴史の中で、チップの集積度は年々増加の一途をたど
り、チップの発熱による誤動作やパッケージの電気的な
破壊などを防止するための冷却対策が重要となりつつあ
る。チップの温度上昇を抑制する対策として最も広く採
用されているのが、パッケージに放熱フィンを装着して
自然空冷あるいはファンによる強制空冷でチップの熱を
奪う方法である。
【0003】放熱フィンをパッケージに装着する方法に
は、下記するように種々の方法が提案されている。図4
は、セラミックス製のピングリッドアレイ型パッケージ
(以下、PGAパッケージと記す)にピン型放熱フィン
を取り付けた例を示す。図4(a)はピンフィン側から
の平面図、同(b)はピンフィンが取り付けられたPG
Aパッケージの断面図、同(c)はPGAパッケージの
下面の平面図である。
【0004】ピン型放熱フィン(以下ピンフィンと記
す)2は、放熱部となる多数の放熱ピン2aが底板部2
bに垂直に林立した形状になっている。本発明で放熱フ
ィンとは、放熱部と底板部からなるものを示すものとす
る。
【0005】図4に示すように、チップ3は、伝熱基板
16に接合され、額縁状のセラミックス板5、6および
リッド7で構成される気密空間Sに収納されている。伝
熱基板16とセラミックス板5、リッド7およびセラミ
ックス板6は、ろう付けなどの方法で接合され、セラミ
ックス板5と6の合わせ面はガラス層で封着されてい
る。セラミックス板6に差し込まれた外部端子となる多
数のピン8とチップ3とは、ボンディングワイヤ9およ
びセラミックス板5の下面5aに描かれた端子部に接続
された導通回路(図示せず)を介して電気的に接続され
ている。
【0006】実装の際には、ピン8がプリント基板(図
示せず)に差し込まれる。チップ3が接合された伝熱基
板16は、温度上昇時に熱応力によってチップ3が破壊
されるのを避けるため、チップ3の線膨張係数に近い材
料であることが要求される。
【0007】例えば、タングステンに銅を含浸させた銅
含有タングステンなどが用いられる。チップ3で発生し
た熱は伝熱基板4に伝わり、さらにピンフィン2aに伝
わって放散される。
【0008】図4に示した例では、放熱フィンはPGA
パッケージにねじで装着されている。すなわち、伝熱基
板4にろう付けなどの方法で固定された雄ネジ10を放
熱フィンの底板部2bを貫通させ、ナット11で底板部
2bの座ぐり部分4を締め付けて放熱フィンがパッケー
ジに固定されている。締め付けるのは、底板部2bと伝
熱基板4の間に空気層が存在すると伝熱抵抗が大きくな
るために放熱フィン2の冷却性能が活かされないからで
ある。
【0009】しかし、この固定方法には次のような問題
がある。第1は、伝熱基板16への雄ねじ10のろう付
けや、ピンフィンに雄ねじを貫通させる孔や座ぐり部分
の加工が必要であり手間がかかる。第2は、ピンフィン
にナット11を締めるためのスペースを確保するために
放熱ピン2aを間引く必要があり、その分だけ放熱性能
が低下する。第3は、ナット11の締め付け作業が煩雑
であり、組立作業の生産性が阻害される。第4は、PG
Aパッケージの上面には雄ねじ10が、下面にはピン8
が突き出ているので、これらが製造段階でのパッケージ
の搬送の邪魔になることである。
【0010】図5は、ピンフィンをパッケージにクリッ
プで固定した例を示す図であり、図5(a)は平面図、
同(b)は側面図である。この固定方法は、例えば特開
平02-298053 号公報に開示されている。T字形断面の伝
熱基板16のフランジ16aとピンフィン2の底板部2
bをクリップ13の爪13aで挟んで固定する。
【0011】しかし、この方法では伝熱基板16にフラ
ンジ16aを設ける加工に手間がかかり、クリップ13
を掛けるスペースのために、端部の放熱ピン2aを間引
く必要があることが問題である。また、クリップ13に
ほこりなどがたまり易いので定期的に清掃をする必要も
ある。
【0012】図6は特開昭63-133557号公報に開示され
ている他のクリップ固定法を示す図である。図6(a)
の斜視図に示すように、樹脂製のフレーム132にはめ
こまれたPGAパッケージ1の上にタワー型放熱フィン
(以下、タワーフィンと記す)124を乗せ、フレーム
132の周縁部に設けた歯142に両端部を掛けたばね
性を有するクリップ150でタワーフィン124をPG
パッケージに押しつけ固定されている。
【0013】図6(b)は部分断面図を示し、フレーム
132の内周部には段差部136が設けられていてPG
Aパッケージ1の周縁部を支えており、伝熱基板16上
にフィン124aを備えたタワーフィン124が固定さ
れている。しかし、このクリップ固定法では、クリップ
150を取り付け固定する作業が複雑で、自動組立によ
る量産が難しいことが問題である。
【0014】ところで、電子機器の小型軽量化の要求の
中で、パッケージも小型軽量化が急速に進み、プラスチ
ック製のパッケージが高性能品の中でも主流となりつつ
ある。プラスチック製のパッケージにおいても高集積度
のチップの場合は冷却対策が必要で、放熱フィンが使用
される。
【0015】図7は、代表的なプラスチック製パッケー
ジであるボールグリッドアレイパッケージ14(以下、
BGAパッケージと記す)に、特願平7-91525号 明細書
に記載のコルゲート型放熱フィン15(以下、コルゲー
トフィンと記す)を取り付けた例を示す。なお、コルゲ
ートフィンの波形放熱板15aには種々の形態のものが
あり、ここに示すものはその一例である。図7(a)は
コルゲートフィン側からの平面図、同(b)はコルゲー
トフィンを取り付けたBGAパッケージの断面図、同
(c)はBGAパッケージの下面の平面図である。
【0016】コルゲートフィン15は、薄板を曲げ加工
した波形放熱板15aと底板部2bがろう付けで接合さ
れた構造で、軽量に製造できるので、プラスチック製パ
ッケージの放熱フィンに適している。
【0017】BGAパッケージ14は、伝熱基板16、
額縁状のエポキシ樹脂板17、18の積層接着構造で、
全体の積層厚さは1mm前後である。チップ3は、ボン
ディングワイヤ9によってエポキシ樹脂板17上の端子
部に接続された導電回路(図示せず)を介して、エポキ
シ樹脂板18の下面に配列された外部端子である半田ボ
ール21に電気的に接続され、注入エポキシ樹脂19で
封着されている。チップ3と伝熱基板16の間には軟質
のサーマルコンパウンド20が挟まれており、チップ3
の熱はサーマルコンパウンド20を通って伝熱基板16
に伝わり、さらにコルゲートフィン15に伝わって放散
される。サーマルコンパウンド20を用いるのは、シリ
コン製のチップ3と銅あるいは銅合金製の伝熱基板16
の線膨張係数の差があまりに大きく、両者を強固に接合
すると熱応力によってチップ3が破壊されるためであ
る。すなわち、サーマルコンパウンド20には線膨張差
を吸収する緩衝材としての役割がある。もちろん、金属
製の伝熱基板16とチップ3を電気的に絶縁する役割も
ある。
【0018】BGAパッケージ14へのコルゲートフィ
ン15の取り付けは、接着法により行われている。すな
わち、コルゲートフィンの底板部2bがBGAパッケー
ジの伝熱基板16の上面に伝熱性の接着材で接合され
る。接着法が採用されるのは、伝熱基板16の厚さが極
めて薄い(0.1〜0.2mm)ため、前記のPGAパ
ッケージの場合のようなねじ止め法やクリップ固定法が
採用できないという理由による。もちろん、軽量である
ことが1つの特徴であるプラスチック製においては、ね
じ、ナット、クリップなどによる重量増加を避ける必要
があることも理由の1つである。
【0019】しかし、この接着固定する方法は、いった
ん接着した後で放熱フィンを外すことが困難で、例えば
取り扱い中に変形した放熱フィンを交換することが難し
いことである。
【0020】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、ねじ、クリ
ップなどの部品類は一切使用しないで、着脱自在にパッ
ケージに装着することのできる放熱フィンを提供するこ
とを課題とする。
【0021】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記従来
の装着手段により生じる諸問題を解消すべく鋭意検討し
た結果、放熱フィンの底板部自体にパッケージを把持す
る機能を付与するのがよいとの知見を得るに至った。本
発明はこのような知見に基づきなされたもので、その要
旨は以下のとおりである。
【0022】「平板状の底板部と放熱部とからなるLS
Iパッケージ装着用放熱フィンであって、放熱フィンの
底板部の対向する側端部にそれぞれ下方に突出、対向し
た、LSIパッケージの周縁部を把持するための爪を有
することを特徴とするLSIパッケージ用放熱フィン」 ここで、底板部の下面とは放熱部と反対側の底板の面を
いう。
【0023】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の放熱フィンの一
例を示す爪付きコルゲート型放熱フィン30(以下、爪
付きコルゲートフィンと記す)の図であり、図1(a)
は正面図、同(b)は底板部下面側の平面図、同(c)
は部分拡大図である。
【0024】このコルゲートフィン30は、図1(a)
に示すように平板状の底板部2bと放熱部2cである波
形の放熱板15aからなる。アルミニュウムあるいはア
ルミニュウム合金の薄板をピッチs、高さhで波形に曲
げ加工された放熱板15aが、爪付き底板31の上面3
1aにろう付けなどにより接合されている。
【0025】底板部2bの対向する側端部、すなわち図
1(b)に示す32a1、32a2にそれぞれ高さqの
爪31bが下方に突出、対向した状態で設けられてい
る。なお、この爪を設ける位置は、図1(b)に示す側
端部32b1、32b2側であってもよく、効果は両者
同じである。
【0026】また、図1の例では爪31bが底板の辺長
f1の全体にわたって設けられているが、短い幅の複数
の爪を左右に断続的に配置してもよい。爪付きの底板部
2bは押出し加工あるいは切削加工で製作することがで
きる。切削加工の場合には、波形放熱板15aを接合し
た後に爪31bを加工してもよい。
【0027】また、爪と底板を別々に成形加工してお
き、爪を底板にろう付け等により接合してもよい。爪3
1bの形状は図1に示すものに限定されることはなく、
後述するようにパッケージを把持することができ、対向
する爪間をパッケージをスライドさせて放熱フィンから
外す以外には外れないようにパッケージ周縁を把持しう
るものであれば他の形状であっても差し支えない。
【0028】また、本発明の放熱フィンのフィン形状
は、図1に示したものに限定されず、例えばピンフィン
や板状の放熱板が平行に林立したチャンネルフィンであ
っても差し支えない。
【0029】本発明の放熱フィンの材質は、従来の放熱
フィンと同様、軽量性と経済性の点からアルミニウムあ
るいはアルミニウム合金であることが望ましい。また、
後述するように、アルマイト処理によって優れた電気絶
縁性能と耐食性能を付与できることもアルミニウムある
いはアルミニウム合金が推奨される理由である。
【0030】次に、パッケージへの本発明の放熱フィン
の取り付け方法について説明する。図2は、BGAパッ
ケージ14に爪付きコルゲートフィン30を取り付けた
状態を示す図で、図2(a)は正面図、同(b)は部分
拡大図である。
【0031】BGAパッケージ14の平板部、すなわち
伝熱基板16、エポキシ樹脂板17、18が爪付きコル
ゲートフィン30の底板部の爪が無い側端部から差し込
まれ、エポキシ樹脂板18の周縁部が爪31bの先端部
31cで把持されている。
【0032】なお、爪間にパッケージの平板部を差し込
むときの爪間の入り側になるコーナ部、すなわち、図2
(b)の矢示部を面取りを施しておくと平板部の差込が
容易になり好ましい。
【0033】図3は、別の形状の爪31bを有する爪付
きコルゲートフィン30にBGAパッケージ14を取り
付けた例を示す。この場合の爪31bは先端部31cに
斜面31eが設けられており、斜面31eでエポキシ樹
脂板18が把持されている。
【0034】爪31bにバネ性を持たせれば、伝熱基板
16を底板底面31dに押しつけることも可能である。
例えば、爪31bの肉厚tを薄目にして弾力性を付与し
ておけばよい。また、爪の先端部に斜面31eを設けて
おくことにより、パッケージの把持部の寸法許容量が増
す。
【0035】図2、図3において、伝熱基板16は底板
底面31dに接触しており、伝熱基板16からの熱は爪
付き底板31に伝えられ、波形放熱板15aから放散さ
れる。したがって、図1cにおける底板底面31dと爪
先端部31cの間隔mは、BGAパケージ平板部の厚さ
hb[図7(b)参照]と略略同一である。
【0036】なお、爪31bおよびBGAパッケージ1
4の寸法精度の点から伝熱基板16と底板底面31dの
間に空隙が生じ、伝熱が効果的に行われない恐れがある
場合には、間に伝熱性のグリースなどを介在させて空隙
を無くするとよい。介在させる伝熱性グリースの厚さ
は、伝熱抵抗を小さくするため薄ければ薄いほどよいこ
とはいうまでもない。
【0037】いずれにしても、BGAパッケージ14と
爪付きコルゲートフィン30の着脱は容易であり、パッ
ケージと放熱フィンの従来の取り付け方法における前記
問題点を解消することができる。
【0038】図2において、爪31bは、BGAパッケ
ージ14の下面の半田ボール21よりも外側でBGAパ
ッケージ14を把持し、しかも半田ボール21が爪31
bよりもgだけ突き出た状態になるような寸法形状のも
のであることが必要である。
【0039】半田ボール21は、プリント基板などに温
度上昇させた状態で押しつけられて半田付けが行われ
る。その時の半田ボール21のつぶれを考慮して突き出
し量gが設定される。例えば、半田ボール21の直径を
0.4mmとすれば、gは少なくとも0.2mm程度は
必要である。半田付けが行われた状態でのプリント基板
と爪31bの間隙は、せいぜい0.1mm程度しかない
ので、使用状態での電気的短絡の恐れがある。従って、
少なくとも爪31bには電気絶縁性を持たせておくこと
が不可欠であり、アルミニウムあるいはアルミニウム合
金で爪付きコルゲートフィン30を製作し、アルマイト
処理を施すのが効果的である。
【0040】以上に述べたBGAパッケージへの爪付き
コルゲートフィンの取り付け方法は、他のパッケージと
他の爪付き放熱フィンであっても同様に適用できること
は言うまでもない。
【0041】
【実施例】厚さ0.3mmのアルミニウム合金(JIS
3003)薄板を折り曲げ加工した高さ8.5mm
(h)、ピッチ4.2mm(s)の波形放熱板を、平面
寸法32.0mm(f1)、36.0mm(f2)、厚
さ2.0mm(T)で片面に厚さ50μmのアルミニウ
ム合金ろう(JIS 4004)を有するアルミニウム
合金(JIS 3003)からなる底板に真空ろう付け
したコルゲートフィンを作製した。
【0042】この放熱フィンの底板に図1(c)に示す
q=0.95mm、p=31.4mm、m=0.75m
m、n=1.8mmの爪31bを切削加工したのち、全
面にアルマイト加工を施した。この爪付きコルゲートフ
ィンの底板底面にグリース状のサーマルコンパウンド
(東レダウコーニングシリコーン社SH340)を塗布
した後、図7(b)、(c)に示す外形寸法w1=w2
=32mm、厚さhb=0.7mmで、直径0.4mm
の半田ボール21を底面に多数配置したプラスチック製
BGAパッケージ14を前記爪31bに差し込み装着し
た。さらに、前記放熱フィン付きパッケージをプリント
基板に実装し、十分な冷却機能を有していることを確認
した。
【0043】
【発明の効果】本発明のLSIパッケージ用放熱フィン
によれば、パッケージへの放熱フィンの取り付けが極め
て簡単になり、組立工程の自動化による生産性が向上す
る。
【0044】高集積度のチップを搭載した高性能のパッ
ケージがますます数多く使用されるようになってきてお
り、チップの熱を冷却する放熱フィンをパッケージに簡
単に装着する技術が重要である。このようなニーズに対
し、本発明の放熱フィンは大いなる効果を奏するもので
ある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のLSIパッケージ用放熱フィンの一実
施態様を示す図である。
【図2】本発明のLSIパッケージ用放熱フィンをBG
Aパッケージに取り付けた状態を示す図である。
【図3】本発明の他の態様のLSIパッケージ用放熱フ
ィンをBGAパッケージに取り付けた状態を示す図であ
る。
【図4】ピンフィンをセラミックス製PGAパッケージ
にねじ止めで装着する従来例を示す図である。
【図5】ピンフィンをセラミックス製PGAパッケージ
にクリップを使用して装着する従来例を示す図である。
【図6】タワーフィンをセラミックス製PGAパッケー
ジにクリップを使用して装着する従来例を示す図であ
る。
【図7】コルゲートフィンをプラスチック製BGAパッ
ケージへ接着固定する従来例を示す図である。
【符号の説明】
14 ボールグリッドアレイパッケージ 15 コルゲートフィン型放熱フィン 15a コルゲートフィン 15b コルゲートフィン底板部 16 伝熱基板 17、17 エポキシ樹脂板 21 半田ボール 31 爪

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 平板状の底板部と放熱部とからなるLS
    Iパッケージ装着用放熱フィンであって、放熱フィンの
    底板部の対向する側端部にそれぞれ下方に突出した、L
    SIパッケージの周縁部を把持するための爪を有するこ
    とを特徴とするLSIパッケージ用放熱フィン。
JP9010987A 1997-01-24 1997-01-24 Lsiパッケージ用放熱フィン Pending JPH10209352A (ja)

Priority Applications (1)

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JP9010987A JPH10209352A (ja) 1997-01-24 1997-01-24 Lsiパッケージ用放熱フィン

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JP9010987A JPH10209352A (ja) 1997-01-24 1997-01-24 Lsiパッケージ用放熱フィン

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008309398A (ja) * 2007-06-14 2008-12-25 Eco Power:Kk 区画材及び冷暖房システム
WO2019156018A1 (ja) * 2018-02-07 2019-08-15 Necプラットフォームズ株式会社 ヒートシンク、及びヒートシンクの組立方法

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Effective date: 20010508