JPH10209502A - 光軸調整装置及び光軸調整方法 - Google Patents

光軸調整装置及び光軸調整方法

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JPH10209502A
JPH10209502A JP9013518A JP1351897A JPH10209502A JP H10209502 A JPH10209502 A JP H10209502A JP 9013518 A JP9013518 A JP 9013518A JP 1351897 A JP1351897 A JP 1351897A JP H10209502 A JPH10209502 A JP H10209502A
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JP
Japan
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optical axis
optical
adjusting device
axis adjusting
optical component
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Application number
JP9013518A
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English (en)
Inventor
Kazunori Matsubara
和徳 松原
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Original Assignee
Sharp Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光学部品と発光源との間における光軸を高精
度に調整することのできる光軸調整装置及び光軸調整方
法を提供する。 【解決手段】 赤外線カメラ27は赤外線レーザチップ
11から出射されたレーザ光を撮像する。画像処理装置
40はその撮像画像を2値化する。パソコン31は2値
化データから重心位置座標を求め、その重心位置座標が
基準位置座標に一致するように赤外線レーザチップ1
1,プリズム14,集光レンズ15,光ファイバ16の
位置を調整する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体レーザや発
光ダイオード等発光半導体素子を内蔵する光半導体素子
モジュールの調整装置及び光軸調整方法に関する。
【0002】
【従来の技術】以下、従来における光軸調整方法として
半導体レーザと光学部品との光軸を一致させる場合を例
にとって説明する。図7はその従来の光軸調整方法を実
現する光学系を示す図である。図7において、3は半導
体レーザ、2はレーザ光、4は2方向への平行移動
(X、Y)及び回転調整(θx、θy)が可能なステー
ジに搭載されたレンズ(光軸調整対象の光学部品)、5
はレーザ光2の照射位置を確認するためのターゲットで
ある。
【0003】この光学系を用いた光軸調整においては、
まず、半導体レーザ3を駆動してレーザ光2をあらかじ
め所望の光学系上を通す。その際、光軸を一致させるべ
きレンズ4は挿入せず、又、レーザ光2は十分遠方まで
飛ばしておく。さらに、遠方に用意されたターゲット5
によって、レンズ4挿入前のレーザ光2の照射位置に印
を付けておく。
【0004】次に、レーザ照射位置がターゲット5上の
印からズレないように、レンズ4を挿入する。このよう
なレンズ4の挿入に際して、レンズ4へのレーザ光2の
入射位置及びレンズ4の傾きの調整は、レンズ4自身を
そのステージの調整機構によって移動、回転させること
により行う。
【0005】
【本発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記
した従来の光軸調整方法においては光軸調整の実行可能
な条件が非常に限られており、光軸の調整が不可能な場
合があった。例えば、光学系の関係でレンズ4の挿入位
置より後方に十分に長い距離を取れない場合とか、ある
いは、焦点距離が非常に短いレンズを挿入しなければな
らない場合には、レンズ4の後方遠方位置にレーザ光2
の照射位置の印を付けるためのターゲット5を配置でき
なくなるので、上記方法で光軸を調整することができな
い。
【0006】また、上記方法では遠方でのターゲット5
でのレーザ光2の照射位置の変化によってレンズ4の光
軸の調整を行うが、レンズを挿入しない状態でのレーザ
光は、ビーム径がかなり拡がっており、高精度に光軸を
求めることが困難である。さらに、レンズ通過後の場合
も遠方においてもレーザ光2のビーム径はかなり拡がっ
てしまい、レーザ光2のレンズ4への入射位置及び入射
角度の違いに起因するターゲット5での照射位置の変化
が見極めがたい。このため、レーザ光の光軸を微細に調
整することは困難であった。
【0007】本発明は、上記従来技術の問題点を解決す
るためになされたものであって、発光素子から照射され
た光の光軸にレンズ等の光学部品の光軸を一致させるこ
とを可能とする光軸調整装置及び光軸調整方法を提供す
ることを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の光軸調
整装置は、光学部品と該光学部品へ光線を供給する発光
源との間の光軸を調整する光軸調整装置において、前記
光線の光路中に配置され、前記光線を撮像する撮像手段
と、前記撮像手段による撮像画像を画像処理し、前記光
線の前記撮像手段上での入射位置座標を検出する画像処
理手段と、該入射位置座標が基準座標と一致するよう
に、前記光学部品と前記発光源との位置関係を調整する
調整手段と、を備えてなるものである。
【0009】請求項2に記載の光軸調整装置は、請求項
1に記載の光軸調整装置において、前記画像処理手段
が、前記撮像手段による撮像画像から2値化データを得
るとともに、該2値化データの重心位置を計測すること
で前記入射位置座標を検出する2値化手段を有してなる
ものである。
【0010】請求項3に記載の光軸調整装置は、請求項
1または請求項2に記載の光軸調整装置において、前記
基準座標を生成する基準座標生成手段を有しており、該
基準座標生成手段が、基準とする光学部品あるいは発光
源を前記撮像手段が撮像した撮像画像から、少なくとも
2つの閾値を用いて、少なくとも2つの2値化データを
得る基準2値化手段と、前記少なくとも2つの2値化デ
ータの重心位置が一致するように、前記基準とする光学
部品あるいは発光源の位置調整を行う基準調整手段と、
前記少なくとも2つの2値化データの重心位置が一致し
たときの該重心位置の座標を基準座標として記憶する記
憶手段と、を有してなるものである。
【0011】請求項4に記載の光軸調整装置は、請求項
1乃至請求項3のいずれかに記載の光軸調整装置におい
て、前記光学部品あるいは前記発光源の外形を撮像し
て、その撮像結果に基づき前記光学部品と前記発光源と
の間の位置調整を行う粗調整手段を有してなるものであ
る。
【0012】請求項5に記載の光軸調整装置は、請求項
1乃至請求項4のいずれかに記載の光軸調整装置におい
て、前記撮像手段はフォーカス方向に移動可能に形成さ
れており、前記撮像手段をフォーカス方向に駆動して、
前記光学部品あるいは前記発光源の特性に基づき予め設
定された位置に配置する撮像駆動手段を有してなるもの
である。
【0013】請求項6に記載の光軸調整装置は、請求項
1乃至請求項5のいずれかに記載の光軸調整装置におい
て、前記光学部品あるいは前記発光源から出射する光線
の強度を測定して、該強度が最大となるように、前記光
学部品あるいは前記発光源の位置を調整する光強度調整
手段を有してなるものである。
【0014】請求項7に記載の光軸調整装置は、光学部
品と該光学部品へ光線を供給する発光源との間の光軸を
調整する光軸調整方法において、前記光線の光路中に配
置された撮像手段により、前記光線を撮像する工程と、
前記撮像手段による撮像画像を画像処理し、前記光線の
前記撮像手段上での入射位置座標を検出する工程と、該
入射位置座標が基準座標と一致するように、前記光学部
品と前記発光源との位置関係を調整する工程と、を含む
ものである。
【0015】以下に本発明の作用を説明する。
【0016】請求項1に記載の光軸調整装置では、撮像
手段を用いて光軸を調整するため、光線の径が適切な大
きさの位置においてその光軸を観測することができる。
したがって、精密に光軸調整を行うことが可能となる。
【0017】請求項2に記載の光軸調整装置では、2値
化データの重心位置から入射位置座標を求め、その入射
位置座標が基準座標と一致するように光軸を調整する。
このため、光学部品や発光源の傾きを正確に検出し、調
整できる。
【0018】請求項3に記載の光軸調整装置では、少な
くとも2つの閾値を用いて2値化データを作成し、それ
らの重心位置が一致したときの重心位置の座標を基準座
標とするため、傾き等の調整が精密になされた光学部品
あるいは発光源を基準として他の部品の位置調整を行う
ことができる。したがって、光軸調整が精密に行える。
【0019】請求項4に記載の光軸調整装置では、光学
部品あるいは発光源の外形の撮像結果に基づき粗調整を
行う。このため、微調整による調整量を減少でき、調整
時間を短縮できる。
【0020】請求項5に記載の光軸調整装置では、撮像
手段がフォーカス方向に移動可能に形成されており、光
軸調整する対象物(光学部品あるいは発光源)に応じて
撮像手段がフォーカス方向に移動し、その対象物の撮像
に適した位置(予め計算により求められた位置)に配置
される。したがって、光線の形状が常に最適となるよう
に撮像することが可能となり、従来のような光線の径が
拡がった位置で光軸の傾きの計測を行わなくても良くな
り、位置調整の精度を向上させることができる。
【0021】請求項6に記載の光軸調整装置では、光線
の強度が最大となるように位置調整(光軸調整)を行
う。これにより、さらに精密な位置調整が可能となる。
【0022】請求項7に記載の光軸調整方法では、撮像
手段により光線を撮像し、その撮像手段上における光線
の入射位置に基づき、光学部品と発光源との間の位置調
整を行う。このため、精密な光軸調整が可能となる。
【0023】
【発明の実施の形態】以下、本発明の光軸調整方法及び
光軸調整装置について、赤外線レーザチップを有する光
学モジュールの光軸を調整する場合を例にとって説明す
る。
【0024】図1は本実施の形態のこの光軸調整方法及
び光軸調整装置を説明する図である。以下、この図に基
づいて本光軸調整方法及び光軸調整装置について説明す
るが、まず光軸調整対象である赤外線レーザチップ11
を有する光学モジュール50について説明する。
【0025】図2は、その光学モジュール50の構成図
であり、(a)はその概略構成図であり、(b)は分解
斜視図である。この図において、11は赤外線レーザチ
ップ、12は光ファイバからの出射光を受光するための
フォトダイオード、13は上記部品をパッケージしたレ
ーザペン、15はレーザペンから出力されたレーザ光を
任意の位置に集光させるための集光レンズ、16は集光
レンズにより集光されたレーザ光17を受光するための
光ファイバ、14は光ファイバからの出射された光を集
光レンズ15を介してレーザペン13内のフォトダイオ
ード12にレーザ光を受光させるためのプリズムであ
る。尚、上記プリズム14はプリズムナイフエッジ14
aを、集光レンズ15は基準面15と基準円筒15b
を、光ファイバ16は基準面16aと基準円筒16bを
有している。本光学モジュール10は上記構成により双
方向の通信が可能である。
【0026】次に、上記光学モジュール10の光軸調整
を行うための光学機構について図1に基づき説明する。
図1において、20は光学モジュール10を撮像する顕
微鏡である。40はこの光学モジュール10により撮像
されたデータの処理を行う画像処理装置であり、処理後
のデータは制御装置(P.C.)31により処理され
る。41はレーザ点灯回路であり、赤外線レーザチップ
11を駆動する。30は赤外線レーザチップ11からの
レーザ光が光ファイバ16を通過した後の光強度を測定
するパワーメータ30である。42は光ファイバ16内
に赤外線を入力するための赤外線光源であり、43はそ
の赤外線光源を駆動する点灯回路である。図1におい
て、顕微鏡20は、Z方向に移動可能な1軸ステージ上
に搭載され、任意の位置に移動可能となっており、ま
た、集光レンズ15、光ファイバ16、レーザペン1
3、プリズム14も図示せぬ駆動源により、X、Y、
Z、θx、θy方向の任意の位置に移動可能となってい
る。
【0027】次に、本光軸調整装置における顕微鏡20
について詳細に説明する。図3は、その顕微鏡20構成
を示す拡大図である。図3において、27は赤外線カメ
ラであり、レーザペンから出射された赤外線光の状態を
撮像するときに使用する。26はCCDカメラであり、
各光学部品を粗調整する場合の明視野画像を撮像する。
赤外線カメラ27とCCDカメラ26は、ハーフミラー
23を介し対物レンズ21で拡大された画像を同軸上で
観測できる構成となっている。また、CCDカメラ26
での観測時の同軸照明として照明25を設けており、こ
の照明25から出た光はハーフミラー22を介し対物レ
ンズ21を通してワークに照射し、ワークからの反射光
は、ハーフミラー22、23を介しミラー24により9
0度向きをかえ、CCDカメラ26で撮像されるように
なっている。
【0028】次に、光学モジュール10における光学部
品の光軸調整方法を、図4,5に示す説明図に基づき説
明する。
【0029】本発明では、まず、発光源(赤外線レーザ
チップ11)の光軸と観測手段(顕微鏡20)の光軸を
画像処理を用いて一致させ、その光軸の座標(基準座
標)を記憶する。その後、その基準座標を用いて、光学
部品(プリズム14,集光レンズ15,光ファイバ1
6)の外形検査に基づく位置調整(粗調整)と、光学部
品への光の導入に基づく光軸調整(微調整)とを行う。
【0030】具体的に、本実施の形態では、レーザペ
ン13(赤外線レーザチップ11)と顕微鏡20との間
の位置調整(粗調整)、レーザペン13(赤外線レー
ザチップ11)と顕微鏡20との間の光軸調整(微調
整)、プリズム14と顕微鏡20との間の位置調整
(粗調整)、集光レンズ15と顕微鏡20との間の位
置調整(粗調整)、集光レンズ15と顕微鏡20との
間の光軸調整(微調整)、光ファイバ16と顕微鏡2
0との間の位置調整(粗調整)、光ファイバ16と顕
微鏡20との間の光軸調整(微調整)、プリズム14
と顕微鏡20との間の光軸調整(微調整)、をこの順に
行う。以下に詳細に説明する。
【0031】レーザペン13の粗調整 まず、顕微鏡20に取り付けたCCDカメラ26でレー
ザペン13の内部に取り付けられた赤外線レーザチップ
11の表面にフォーカスが合うように顕微鏡のZ軸ステ
ージを駆動する(図4(a)参照)。その後、赤外線レ
ーザチップ11の外形を認識し、赤外線レーザチップ1
1の外形中心がCCDカメラ26で撮像した画像のはぼ
中央にくるようにレーザチップ11を搭載したステージ
(X、Y軸)を駆動しその位置調整を行う。
【0032】レーザペン13の微調整 次に、赤外線レーザチップ11をLD点灯回路41によ
り点灯し、顕微鏡20に取り付けた赤外線カメラ27に
より、レーザ光を撮像する。このとき、顕微鏡のフォー
カス位置(Z軸位置)は、対物レンズ21の合焦位置が
赤外線レーザチップ11表面より少し離れた位置となる
位置に設定しておく(具体的には、20倍対物レンズ使
用時は、赤外線レーザチップ11表面より300μm離
れた位置が望ましい)。これは、この調整においては後
述するようにレーザ光の形状を基に光軸調整を行うた
め、対物レンズ21の合焦位置が赤外線レーザチップ1
1表面にあるとレーザ光の形状が極めて小さく、光軸調
整が行えなくなるためである。
【0033】そして、赤外線カメラ27により撮像した
画像を、画像処理装置40が2値化処理する。すなわ
ち、上記画像を2値化レベルよりも光強度の大きい部分
と小さい部分とに分離する。このとき、少なくとも2つ
の2値化レベルを用いて処理を行い少なくとも2通りの
2値化データを作成する。
【0034】以下、ここでの2値化処理について具体的
に説明する。図6は、半導体レーザチップ11を顕微鏡
20の赤外線カメラ27により撮像した画像を2値化処
理した状態を示す図であり、G0は、2値化レベルが低
い場合の処理画像、G1は、2値化レベルが高い場合の
処理画像を示している。ここで、図6(a),(b),
(c)はそれぞれ半導体レーザビーム17が光軸検出用
顕微鏡20に対して左方向に傾いている場合、正対した
場合、右方向に傾いている場合を示している。尚、図6
(a),(b),(c)における最右段には赤外線レー
ザチップ11と赤外線カメラ27との位置関係を示して
いる。
【0035】これらの図から分かるように、2値化レベ
ルが低い場合には、半導体レーザビーム17がどのよう
な状態であっても面積の大きな処理画像G0が得られる
(2値化レベルが低い場合、光量が低い部分も高い部分
も同一の状態として処理されるため)が、2値化レベル
が高い場合は、光強度が高い部分のみが強調され面積の
小さい処理画像G1が得られるため、半導体レーザビー
ム17の傾きの度合いによって、その処理画像の重心位
置が変化する。本実施の形態では、上記2値化処理画像
の特性を利用して、光軸の調整を行う。
【0036】まず、低いレベルの2値化レベルを用い
て、G0の重心座標を算出する。次に、高いレベルの2
値化レベルを用いて、G1の重心位置座標を算出する。
そして、G0,G1の重心位置座標が一致していなけれ
ば、半導体レーザチップ11をθx若しくはθy方向に
変位させ(実際にはレーザペン13をθx 、θyに調
整)、G0の重心位置座標とG1の重心位置座標が一致す
るように調整する。これにより、顕微鏡20の光軸に赤
外線レーザチップ11の光軸が一致する。
【0037】以上のような処理を終えたら、次に赤外線
レーザチップ11の発光点位置(発光点座標)を計測し
て、後述する他の光学部品の位置調整時における基準座
標とする。この発光点位置の計測は以下のようにして行
う。
【0038】まず、顕微鏡20のZ軸ステージを駆動
し、赤外線カメラ27で撮像した赤外線レーザビーム1
7を画像処理装置40により画像処理し、レーザビーム
径が最小になるZ軸方向の位置を探索し、その時の赤外
線カメラ27上の赤外線レーザビームの面積重心位置座
標と、顕微鏡20用Z軸ステージの座標値を記憶する。
【0039】プリズム14の粗調整 本実施の形態では、プリズム14の形状は、プリズムナ
イフエッジ14aを赤外線レーザ光軸と一致させること
により、光ファイバからの光がレーザペン13内のフォ
トダイオード12に照射される位置関係になるように予
め決められたものとする。このとき、プリズム14の調
整は、プリズムナイフエッジ14aを赤外線レーザ光軸
と一致させることが必要である。
【0040】そのため、まず、プリズムナイフエッジ1
4aを顕微鏡20に取り付けたCCDカメラ26により
撮像する。このとき、プリズムナイフエッジ14aがジ
ャストフォーカスになるように、顕微鏡20をZ方向に
駆動する(図5(b)参照)。そして、画像処理装置4
0によりプリズムナイフエッジ14aの位置を計測す
る。そして、赤外線レーザチップ11の発光点座標とそ
の計測座標が一致するように、パソコン31の制御によ
り図示せぬ駆動源によりプリズム14をX、Y、θz方
向に調整する。
【0041】集光レンズ15の粗調整 使用する集光レンズ15の前焦点、後焦点等の値は予め
調べておくことが可能であるため、赤外線レーザビーム
17の発光点位置座標を基準に集光レンズ15が位置す
べき座標位置は計算上求まる。
【0042】そこで、まず、集光レンズ15の基準面1
5aが光学上配置されなければならない位置(すなわち
予め計算された座標位置)に、CCDカメラ26のフォ
ーカスが合うように、顕微鏡20のZ軸を駆動する。本
実施の形態では、このように適切な位置に顕微鏡20の
フォーカスが合うように顕微鏡20を駆動するため、精
密な調整が可能である。
【0043】次に、集光レンズ15を図示せぬ駆動源に
より赤外線レーザ光軸内に移動させ、図5(c)で示す
ように配置して、集光レンズ15の基準面15aを顕微
鏡20のCCDカメラ26で撮像し、基準面15aの画
像が全域においてジャストフォーカスになるように集光
レンズのθx、θy軸を駆動し調整する。この作業によ
り顕微鏡20の光軸に対する集光レンズ15の傾き調整
を完了する。
【0044】次に、集光レンズ15の基準円柱15bを
顕微鏡20のCCDカメラ26で撮像し、基準円柱15
bの中心がレーザペン光軸調整完了時に求めた基準座標
値に一致するように、X、Y軸を駆動して調整する。
【0045】集光レンズ15の微調整 まず、理論上求まる集光レンズ15の合焦位置に顕微鏡
20の対物レンズ21の焦点位置がくるように顕微鏡2
0のZ軸を駆動する(図5(d)参照)。
【0046】続いて、レーザペン13内の赤外線レーザ
11をレーザ点灯回路41により点灯させ、そのレーザ
光を顕微鏡20の赤外線カメラ27で撮像する。そし
て、撮像した画像を画像処理装置40により画像処理
(2値化処理)し、その画像の重心位置を計測する。計
測した重心位置が、レーザ光軸調整時に検出した基準座
標値に一致するように、パソコン31の制御により集光
レンズ15のX、Y、θx、θyステージを駆動して調
整する。
【0047】光ファイバ16の粗調整 まず、光ファイバ16の基準面16aが光学上配置され
なければならない位置(予め計算により求めた位置)
に、顕微鏡20に取り付けたCCDカメラ26のフォー
カスが合うように、顕微鏡20をZ軸方向に駆動する。
【0048】次に、光ファイバ16を図示せぬ駆動源に
より赤外線レーザ光軸内に移動させ、図5(e)に示す
位置に配置する。そして、光ファイバ16の基準面16
aを顕微鏡20のCCDカメラ26で撮像し、基準面1
6a画像が全域においてジャストフォーカスになるよう
に光ファイバ16のθx、θy軸を駆動し調整する。次
に、光ファイバ16の基準円柱16bを顕微鏡20のC
CDカメラ26で撮像し、基準円柱16bの中心がレー
ザペン光軸調整完了時に求めた基準座標値に一致する位
置にX、Y軸を駆動して調整する。
【0049】光ファイバ16の微調整 続いて、レーザペン13内の半導体レーザ11をレーザ
点灯回路41により点灯し、光ファイバ16の受光側に
設置した光パワーメータ30の出力をパソコン31に取
り込み、光ファイバー受光光量が最大となる位置を、光
ファイバ用X、Y、Z、θx、θyステージを駆動して
調整する(図5(f)参照)。
【0050】プリズムの微調整 次に、光ファイバの一端に配置された赤外線光源42を
点灯回路43により点灯し、レーザペン13内に配置さ
れたフォトダイオード12の受光光量を電流計32によ
り計測し、そのデータをパソコン31に取り込みフォト
ダイオード12の受光光量が最大となる位置をプリズム
用X、Y、θzステージを駆動し、調整する(図5
(g)参照)。
【0051】以上説明した〜により光学モジュール
10の光軸調整が完了する。
【0052】尚、ここでは、図2に示した光学モジュー
ル10の光軸調整について説明したが、本発明の光軸調
整方法及び装置はこれに限らず、どのような発光源と光
学部品との間の光軸調整に対しても適用できる。
【0053】また、発光源から出射する光線の方向と光
学モジュールから出射する光線の方向が異なっている場
合にも適用可能である。この場合には、まず、光線の方
向を変化させる光学部品に基づいて撮像手段の位置を決
定し、その後、発光源や他の光学部品の位置を決定す
る。
【0054】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、赤外線レ
ーザ(発光源)と集光レンズ、光ファイバ、プリズム等
(光学部品)から構成される光学系の光軸調整を、赤外
線及びCCDカメラ(撮像手段)を基準にして全自動で
精密に行うことが可能であり、例えば、光通信用光学系
の高精度の調整及び光学部品の機能、性能評価が可能と
なる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の光軸調整装置の構成を
示す概略図である。
【図2】光軸調整対象の光学モジュールの一例を示す構
成図である。
【図3】図1の顕微鏡の拡大構成図である。
【図4】図1の光軸調整装置における光軸調整方法を説
明する工程図である。
【図5】図4の工程図に続く工程を説明する工程図であ
る。
【図6】画像処理を用いて光軸を調整する原理を示す図
である。
【図7】従来の光軸調整方法を説明する図である。
【符号の説明】
11 赤外線レーザチップ 12 フォトダイオード 13 レーザペン 14 プリズム 15 集光レンズ 16 光ファイバー 26 CCDカメラ 27 赤外線カメラ

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光学部品と該光学部品へ光線を供給する
    発光源との間の光軸を調整する光軸調整装置において、 前記光線の光路中に配置され、前記光線を撮像する撮像
    手段と、 前記撮像手段による撮像画像を画像処理し、前記光線の
    前記撮像手段上での入射位置座標を検出する画像処理手
    段と、 該入射位置座標が基準座標と一致するように、前記光学
    部品と前記発光源との位置関係を調整する調整手段と、
    を備えてなることを特徴とする光軸調整装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の光軸調整装置におい
    て、 前記画像処理手段は、前記撮像手段による撮像画像から
    2値化データを得るとともに、該2値化データの重心位
    置を計測することで前記入射位置座標を検出する2値化
    手段を有してなることを特徴とする光軸調整装置。
  3. 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載の光軸調
    整装置において、 前記基準座標を生成する基準座標生成手段を有してお
    り、 該基準座標生成手段は、 基準とする光学部品あるいは発光源を前記撮像手段が撮
    像した撮像画像から、少なくとも2つの閾値を用いて、
    少なくとも2つの2値化データを得る基準2値化手段
    と、 前記少なくとも2つの2値化データの重心位置が一致す
    るように、前記基準とする光学部品あるいは発光源の位
    置調整を行う基準調整手段と、 前記少なくとも2つの2値化データの重心位置が一致し
    たときの該重心位置の座標を基準座標として記憶する記
    憶手段と、を有してなることを特徴とする光軸調整装
    置。
  4. 【請求項4】 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載
    の光軸調整装置において、 前記光学部品あるいは前記発光源の外形を撮像して、そ
    の撮像結果に基づき前記光学部品と前記発光源との間の
    位置調整を行う粗調整手段を有してなることを特徴とす
    る光軸調整装置。
  5. 【請求項5】 請求項1乃至請求項4のいずれかに記載
    の光軸調整装置において、 前記撮像手段はフォーカス方向に移動可能に形成されて
    おり、 前記撮像手段をフォーカス方向に駆動して、前記光学部
    品あるいは前記発光源の特性に基づき予め設定された位
    置に、配置する撮像駆動手段を有してなることを特徴と
    する光軸調整装置。
  6. 【請求項6】 請求項1乃至請求項5のいずれかに記載
    の光軸調整装置において、 前記光学部品あるいは前記発光源から出射する光線の強
    度を測定して、該強度が最大となるように、前記光学部
    品あるいは前記発光源の位置を調整する光強度調整手段
    を有してなることを特徴とする光軸調整装置。
  7. 【請求項7】 光学部品と該光学部品へ光線を供給する
    発光源との間の光軸を調整する光軸調整方法において、 前記光線の光路中に配置された撮像手段により、前記光
    線を撮像する工程と、 前記撮像手段による撮像画像を画像処理し、前記光線の
    前記撮像手段上での入射位置座標を検出する工程と、 該入射位置座標が基準座標と一致するように、前記光学
    部品と前記発光源との位置関係を調整する工程と、を含
    むことを特徴とする光軸調整方法。
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