JPH10209799A - 振動子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 通信機器等に利用される振動子において、外
来ノイズから振動子を保護し、振動子からの内部輻射に
よる他部品への影響を防ぐことを目的とする。 【解決手段】 第２のカバー２の内側に導電体２０を形
成し、この導電体２０を、振動板３に形成した第２のス
ルーホール９及び第１のカバー１に形成した第２の貫通
孔１１を介して第２の外部電極１５へ電気的に導通させ
ることで、導電体２０が振動子の電気的シールドとして
働くため、外来ノイズから振動子を保護し、振動子から
の内部輻射による他部品への影響を防ぐことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は通信機器等に利用さ
れる振動子に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来この種の振動子としては水晶振動子
が知られている。その水晶振動子を図３及び図４に示
す。図３（ａ）は従来の水晶振動子の外観形状を示して
おり、（ｂ）はその断面形状を示している。図３におい
て、１は第１のカバー、２は第２のカバーで板厚４００
μｍの水晶板で構成され、３は振動板で板厚１００μｍ
の水晶板で構成されている。この振動板３の表、裏面
に、第１のカバー１及び第２のカバー２が直接接合され
ている。

【０００３】４は振動板３に加工された舌片状の振動
部、６は励振電極で振動部４の表、裏面に形成されてい
る。７は励振電極６から引き出されたリード電極であ
る。１０は第１のカバー１に形成された貫通孔で、１２
は封止電極、１４は外部電極であり、封止電極１２によ
り貫通孔１０を覆い気密封止を保っている。また、貫通
孔１０を介して封止電極１２によりリード電極７と外部
電極１４が電気的に導通されている。

【０００４】次にこの水晶振動子の内部構成を図４を用
いて説明する。図４（ａ），（ｃ）は水晶振動子の外観
形状を示しており、（ａ）は上側から見た外観形状、
（ｃ）は下側から見た外観形状を示している。また
（ｂ）は、水晶振動子を上側から見た分解斜視図で、上
から第２のカバー２、振動板３、第１のカバー１を示し
ている。同様に（ｄ）は、水晶振動子を下側から見た分
解斜視図で、上から第２のカバー２、振動板３、第１の
カバー１を示している。

【０００５】図４において、振動板３はその内方にＵ字
状の切り溝５が形成され、これにより舌片状の振動部４
が形成されている。この振動部４の表、裏面には励振用
電極６が形成され、各々振動部４の根元部分を介してそ
のリード電極７が引き出されている。このうちリード電
極７の一方側の端部は振動板３をスルーホール８により
貫通し、その後振動部４の側方を通って根元部の反対側
に延長されている。そしてこれらのリード電極７は、対
応する第１のカバー１に形成された貫通孔１０を介して
各々外部電極１４へ電気的に導通されている。

【０００６】尚、振動板３は表、裏面の外周部で第１の
カバー１と第２のカバー２により挟持され、また直接接
合されているものであるが、それは振動板３の切り溝５
の外周部において接合されているのであって、リード電
極７が振動部４の側方を通過している部分については、
その外方において第１のカバー１及び第２のカバー２と
接合されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成では、シールド効果を持たせた電極部を設けて
いないので、外来ノイズ等によって水晶振動子の基準周
波数が変動することが多く、反対に水晶振動子からの輻
射により他の部品に影響を与え周波数を変化させるとい
う課題を有していた。

【０００８】本発明は上記課題に鑑み、水晶振動子のカ
バーの内側に導電体を設け、この導電体と外部電極を電
気的に導通させることで導電体が電気的シールドとして
働き、外来ノイズによる水晶振動子の基準周波数の変動
が起こらず、また輻射による他部品への影響を防ぐこと
ができる水晶振動子を提供することを目的とするもので
ある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の水晶振動子は、水晶振動子のカバーの内側に
導電体を設け、この導電体と外部電極を電気的に導通さ
せることで、導電体が電気的シールドとして働き、外来
ノイズによる水晶振動子の基準周波数の変動を防ぐこと
ができ、また輻射による他部品への影響を防ぐことがで
きる。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、舌片状の振動部を有する振動板と、前記振動板の
表、裏面のそれぞれに設けられた励振用電極と、前記励
振用電極のそれぞれから前記振動部の根元部分に引き出
されたリード電極と、前記振動板の表、裏面をその外周
部で挟持する第１及び第２のカバーと、前記第１のカバ
ーの外側に設けられた第１及び第２の外部電極と、前記
第２のカバーの内側に設けられた導電体とを備え、前記
第１の外部電極と前記リード電極を電気的に接続させる
とともに、前記第２の外部電極を前記導電体を電気的に
接続させたものであり、前記第２の外部電極をグランド
に接続することにより、前記導電体が振動子の外来ノイ
ズ及び内部輻射の電気的シールドとして働くという作用
を有する。

【００１１】請求項２記載の発明は、第１のカバーに第
１及び第２の貫通孔を設け、第１の外部電極とリード電
極を第１の貫通孔を介して電気的に接続させるととも
に、第２の外部電極と導電体を前記第２の貫通孔を介し
て接続させたものであり、非常に簡単な構成により、前
記導電体が振動子の外来ノイズ及び内部輻射に対して電
気的シールドとして働くという作用を有する。

【００１２】請求項３及び４及び５記載の発明は、前記
導電体が導電ペーストもしくは金属薄膜で形成したも
の、もしくは前記導電体を、Ａｕ、またはＡｇ、または
Ｃｕ、またはＣｒ、またはＮｉの少なくとも一つ以上の
成分を含んだものであり、いずれもスクリーン印刷等の
厚膜印刷技術や、蒸着やスパッタリング等の薄膜形成技
術を用いることで簡単に前記導電体を形成することがで
きるという作用を有する。

【００１３】以下、本発明の実施の形態について、図１
及び図２を用いて説明する。なお、図１及び図２に示す
本発明の実施の形態の振動子は、基本的には図３及び図
４に示した従来の振動子と同じ構成であるので、同一構
成部分には同一番号を付して詳細な説明を省略する。

【００１４】（実施の形態１）図１は本発明の実施の形
態を示しており、（ａ）はその外観形状、（ｂ）はその
断面形状を示している。図１において、９は振動板３に
形成した第２のスルーホール、１１は第１のカバー１に
形成した第２の貫通孔である。１３は第２の封止電極、
１５は第２の外部電極である。２０は第２のカバーの内
側に形成した導電体で、２１は第２のスルーホール９内
に形成した補助電極である。

【００１５】次に、本実施の形態における特徴部分につ
いて図２を用いて説明する。図２（ａ）は上側から見た
外観図、（ｂ）はその分解斜視図、（ｃ）は下側から見
た外観図、（ｄ）はその分解斜視図である。図におい
て、振動板３の切り溝５及びスルーホール８を、サンド
ブラスト或いはエッチング或いはその両方で加工する際
に、同時に第２のスルーホール９を加工しておく。その
後振動板３には従来の技術と同様にして、励振電極６及
びリード電極７を蒸着やスパッタリング等の薄膜形成技
術により表、裏面に形成する。

【００１６】この時第２のスルーホール９内部にも補助
電極２１を形成しておく。また、第１のカバー１は一方
面から、サンドブラスト或いはエッチング或いはその両
方で第１の貫通孔１０及び第２の貫通孔１１を加工し、
他方面に窪み部分を加工する。この他方面が後に振動板
３と外周部において直接接合されるのであるが、第１の
貫通孔１０の他方面側はリード電極７と接触する位置に
あるので、予めリード電極７の膜厚以上の段差を設けて
ある。

【００１７】そして第２の貫通孔１１の他方面側は振動
板３に形成された第２のスルーホール９と一致するよう
に加工されており、第２の貫通孔１１の孔径は、第２の
スルーホール９の孔径より大きく開けられている。ま
た、第２の貫通孔１１の周辺部と振動板３は直接接合さ
れている。第２のカバー２については、後に振動板３と
直接接合される面側に窪み部分を加工し、この窪み内部
に導電体２０を形成する。

【００１８】導電体２０は導電ペーストを用いてスクリ
ーン印刷等の厚膜印刷技術による形成方法や、蒸着やス
パッタリング等の薄膜形成技術による形成方法がある
が、Ａｕ，Ａｇ，Ｃｕ，ＣｒまたはＮｉ等の内部抵抗の
低い材料を少なくとも１つ以上を含んでいることが望ま
しい。

【００１９】第２のカバー２に加工した窪み部分は、図
１及び図２に示すように、第１のカバー１に形成した第
２の貫通孔１１及び、振動板３に形成した第２のスルー
ホール９と対向する位置は一定の段差を設けており、こ
の対向する面にも導電体２０を形成している。また、こ
の対向する面の段差は導電体２０の膜厚以上の段差が必
要である。そして、第１のカバー１、第２のカバー２及
び振動板３を個別に形成した後、所定の位置に直接接合
する。

【００２０】その後、真空状態において、第１の貫通孔
１０内及び第２の貫通孔１１内に、蒸着またはスパッタ
リングにより第１の封止電極１２及び第２の封止電極１
３を形成する。この時、振動子内部は第１の封止電極１
２及び第２の封止電極１３により気密封止されている。
また、第１の封止電極１２はリード電極７と電気的に導
通しており、第２の封止電極１３は導電体２０と電気的
に導通している。この第２の封止電極１３は振動板３に
形成している補助電極２１によりその密着度を高めてい
る。その後、第１の封止電極１２の上に、第１の貫通孔
１０の段差を埋めるように、第１の外部電極１４を形成
し、第２の封止電極１３の上に第２の貫通孔１１の段差
を埋めるように第２の外部電極１５を形成し水晶振動子
とする。

【００２１】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、振動子の
第２のカバーの内側に導電体を形成しており、この導電
体と外部電極を電気的に導通させているので、水晶振動
子にシールド効果をもたせることができる。その結果、
外来ノイズによる水晶振動子の基準周波数の変動が起こ
らず、また輻射による他部品への影響を防ぐことができ
る水晶振動子を提供するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）本発明の一実施の形態による水晶振動子
の外観図 （ｂ）同断面図

【図２】（ａ）同実施の形態による水晶振動子の上側か
ら見た外観図 （ｂ）同分解斜視図 （ｃ）同実施の形態の下側から見た外観図 （ｄ）同分解斜視図

【図３】（ａ）従来の水晶振動子の外観図 （ｂ）同断面図

【図４】（ａ）同従来例の上側から見た外観図 （ｂ）同分解斜視図 （ｃ）同従来例の下側から見た外観図 （ｄ）同分解斜視図

【符号の説明】 １ 第１のカバー ２ 第２のカバー ３ 振動板 ４ 振動部 ５ 切り溝 ６ 励振電極 ７ リード電極 ８ スルーホール ９ 第２のスルーホール １０ 第１の貫通孔 １１ 第２の貫通孔 １２ 第１の封止電極 １３ 第２の封止電極 １４ 第１の外部電極 １５ 第２の外部電極 ２０ 導電体 ２１ 補助電極

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 舌片状の振動部を有する振動板と、前記
   振動板の表、裏面のそれぞれに設けられた励振用電極
   と、前記励振用電極のそれぞれから前記振動部の根元部
   分に引き出されたリード電極と、前記振動板の表、裏面
   をその外周部で挟持する第１及び第２のカバーと、前記
   第１のカバーの外側に設けられた第１及び第２の外部電
   極と、前記第２のカバーの内側に設けられた導電体とを
   備え、前記第１の外部電極と前記リード電極を電気的に
   接続させるとともに、前記第２の外部電極と前記導電体
   を電気的に接続させたことを特徴とする振動子。
2. 【請求項２】 第１のカバーに第１及び第２の貫通孔を
   設け、第１の外部電極とリード電極を前記第１の貫通孔
   を介して電気的に接続させるとともに、第２の外部電極
   と導電体を前記第２の貫通孔を介して接続させたことを
   特徴とする請求項１記載の振動子。
3. 【請求項３】 導電体が導電ペーストにより形成されて
   いることを特徴とする請求項１記載の振動子。
4. 【請求項４】 導電体が金属薄膜で形成されていること
   を特徴とする請求項１記載の振動子。
5. 【請求項５】 導電体は、Ａｕ、またはＡｇ、またはＣ
   ｕ、またはＣｒ、またはＮｉの少なくとも一つ以上の成
   分を含んでいることを特徴とする請求項１記載の振動
   子。