JPH10214545A - 真空バルブ - Google Patents
真空バルブInfo
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- JPH10214545A JPH10214545A JP1606897A JP1606897A JPH10214545A JP H10214545 A JPH10214545 A JP H10214545A JP 1606897 A JP1606897 A JP 1606897A JP 1606897 A JP1606897 A JP 1606897A JP H10214545 A JPH10214545 A JP H10214545A
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- Japan
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- arc
- shield
- vacuum valve
- arc shield
- vacuum
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H33/00—High-tension or heavy-current switches with arc-extinguishing or arc-preventing means
- H01H33/60—Switches wherein the means for extinguishing or preventing the arc do not include separate means for obtaining or increasing flow of arc-extinguishing fluid
- H01H33/66—Vacuum switches
- H01H33/662—Housings or protective screens
- H01H33/66261—Specific screen details, e.g. mounting, materials, multiple screens or specific electrical field considerations
- H01H2033/66269—Details relating to the materials used for screens in vacuum switches
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01H33/00—High-tension or heavy-current switches with arc-extinguishing or arc-preventing means
- H01H33/60—Switches wherein the means for extinguishing or preventing the arc do not include separate means for obtaining or increasing flow of arc-extinguishing fluid
- H01H33/66—Vacuum switches
- H01H33/662—Housings or protective screens
- H01H33/66261—Specific screen details, e.g. mounting, materials, multiple screens or specific electrical field considerations
- H01H2033/66276—Details relating to the mounting of screens in vacuum switches
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- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
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- H01H33/60—Switches wherein the means for extinguishing or preventing the arc do not include separate means for obtaining or increasing flow of arc-extinguishing fluid
- H01H33/66—Vacuum switches
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- H01H33/66261—Specific screen details, e.g. mounting, materials, multiple screens or specific electrical field considerations
- H01H2033/66284—Details relating to the electrical field properties of screens in vacuum switches
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- High-Tension Arc-Extinguishing Switches Without Spraying Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】アークによるアークシールドの消耗を防ぐ。
【解決手段】絶縁筒１の両端が端板２，３で密封された
真空容器４と、この真空容器４内に配され接離可能に対
向する一対の接点７，８と、この一対の接点７，８の周
りを真空ギャップ２４を介して周回するアークシールド
５とにより構成された真空バルブにおいて、アークシー
ルド５の外周が磁性体よりなる磁気シールド２０で覆わ
れる。
真空容器４と、この真空容器４内に配され接離可能に対
向する一対の接点７，８と、この一対の接点７，８の周
りを真空ギャップ２４を介して周回するアークシールド
５とにより構成された真空バルブにおいて、アークシー
ルド５の外周が磁性体よりなる磁気シールド２０で覆わ
れる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、真空遮断器に接
点用として組み込まれる真空バルブに関し、特に、電流
開閉時に接点間で発生するアークが外部磁界の影響を受
けない真空バルブに関する。
点用として組み込まれる真空バルブに関し、特に、電流
開閉時に接点間で発生するアークが外部磁界の影響を受
けない真空バルブに関する。
【０００２】
【従来の技術】図７は、従来の真空バルブの構成を示す
断面図である。真空容器４が、セラミック材よりなる絶
縁筒１の両端に端板２，３が気密に接合されたものから
なり、内部が真空に保たれている。この端板２，３をそ
れぞれ可動ロッド９，固定ロッド１０が貫通している。
可動ロッド９はベローズ６を介して端板２に気密に接合
され、固定ロッド１０は直接、端板３に気密に接合され
ている。可動ロッド９，固定ロッド１０の真空容器４内
部側の端部は、互いに対向する接点７，８にそれぞれ接
合されている。この一対の接点７，８の周りに真空ギャ
ップ２４を介して円筒状の金属からなるアークシールド
５が配されている。このアークシールド５は、取付け金
具１１を介して絶縁筒１の内壁に取り付けられている。
断面図である。真空容器４が、セラミック材よりなる絶
縁筒１の両端に端板２，３が気密に接合されたものから
なり、内部が真空に保たれている。この端板２，３をそ
れぞれ可動ロッド９，固定ロッド１０が貫通している。
可動ロッド９はベローズ６を介して端板２に気密に接合
され、固定ロッド１０は直接、端板３に気密に接合され
ている。可動ロッド９，固定ロッド１０の真空容器４内
部側の端部は、互いに対向する接点７，８にそれぞれ接
合されている。この一対の接点７，８の周りに真空ギャ
ップ２４を介して円筒状の金属からなるアークシールド
５が配されている。このアークシールド５は、取付け金
具１１を介して絶縁筒１の内壁に取り付けられている。
【０００３】図７において、可動ロッド９の上端部と固
定ロッド１０の下端部が、それぞれ図示されていない主
回路に接続される。可動ロッド９の上端部は、さらに、
図示されていない駆動装置に連結される。駆動装置によ
って可動ロッド９を上方へ移動させ、一対の接点７，８
を開離させることによって主回路電流が遮断される。ベ
ローズ６は、それ自体が伸縮することによって可動ロッ
ド９を気密状態で上下可動に支持している。アークシー
ルド５は銅やステンレス鋼からなり、接点７，８の開離
時のアーク熱によって発生する金属蒸気が絶縁筒１の付
着するのを防いでいる。すなわち、金属蒸気をアークシ
ールド５の内壁に付着させ、絶縁筒１自体の絶縁が低下
するのを妨げている。アークシールド５自体は導電性が
あるので、金属蒸気が付着しても何ら遮断性能には影響
を及ぼさない。
定ロッド１０の下端部が、それぞれ図示されていない主
回路に接続される。可動ロッド９の上端部は、さらに、
図示されていない駆動装置に連結される。駆動装置によ
って可動ロッド９を上方へ移動させ、一対の接点７，８
を開離させることによって主回路電流が遮断される。ベ
ローズ６は、それ自体が伸縮することによって可動ロッ
ド９を気密状態で上下可動に支持している。アークシー
ルド５は銅やステンレス鋼からなり、接点７，８の開離
時のアーク熱によって発生する金属蒸気が絶縁筒１の付
着するのを防いでいる。すなわち、金属蒸気をアークシ
ールド５の内壁に付着させ、絶縁筒１自体の絶縁が低下
するのを妨げている。アークシールド５自体は導電性が
あるので、金属蒸気が付着しても何ら遮断性能には影響
を及ぼさない。
【０００４】図８は、図７の真空バルブが組み込まれた
真空遮断器の構成を示す側面図である。真空バルブの真
空容器４から可動ロッド９，固定ロッド１０が上下に引
き出されている。可動ロッド９は、可撓性の導体１９を
介して主回路導体１６に接続されている。さらに、可動
ロッド９には、駆動ロッド１３が取り付けられている。
駆動ロッド１３は、連結ピン１４を介して変換レバー１
５に連結されている。一方、固定ロッド１０は、直接、
主回路導体１７に接続されている。さらに、固定ロッド
１０は、絶縁碍子２５を介して台車１２に固定されてい
る。台車１２には、図示されていない駆動装置が収納さ
れている。その駆動装置に変換レバー１５が連結されて
いる。駆動装置によって変換レバー１５を回動させ、そ
れによって駆動ロッド１３および可動ロッド９を上下さ
せて接点７，８を接離させる。主回路電流を矢印Ｉの方
向に流し、接点７，８を接離させることによって主回路
電流を開閉することができる。
真空遮断器の構成を示す側面図である。真空バルブの真
空容器４から可動ロッド９，固定ロッド１０が上下に引
き出されている。可動ロッド９は、可撓性の導体１９を
介して主回路導体１６に接続されている。さらに、可動
ロッド９には、駆動ロッド１３が取り付けられている。
駆動ロッド１３は、連結ピン１４を介して変換レバー１
５に連結されている。一方、固定ロッド１０は、直接、
主回路導体１７に接続されている。さらに、固定ロッド
１０は、絶縁碍子２５を介して台車１２に固定されてい
る。台車１２には、図示されていない駆動装置が収納さ
れている。その駆動装置に変換レバー１５が連結されて
いる。駆動装置によって変換レバー１５を回動させ、そ
れによって駆動ロッド１３および可動ロッド９を上下さ
せて接点７，８を接離させる。主回路電流を矢印Ｉの方
向に流し、接点７，８を接離させることによって主回路
電流を開閉することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
たような従来の装置は、接点間のアークが長く引き伸ば
される個所があり、そのアークがアークシールドに接触
する場合があるという問題があった。すなわち、図８
は、真空遮断器が主回路電流を遮断している途中の構成
でもあり、接点７，８間にアーク１８が発生している。
主回路電流は矢印Ｉのように逆コの字状に流れるために
アーク１８に直交する磁界が形成され、アーク１８に矢
印Ｆの方向に電磁力が働く。この電磁力によって、アー
ク１８が接点７，８の左端で左方へくの字状に長く引き
伸ばされ、アークシールドに直接接触する場合があっ
た。アークシールドにアーク１８が接触すると、そのア
ーク熱でアークシールド自体が局部的に消耗する。真空
バルブの寿命は、このようなアークシールド自体の消耗
によって決まる場合もあった。
たような従来の装置は、接点間のアークが長く引き伸ば
される個所があり、そのアークがアークシールドに接触
する場合があるという問題があった。すなわち、図８
は、真空遮断器が主回路電流を遮断している途中の構成
でもあり、接点７，８間にアーク１８が発生している。
主回路電流は矢印Ｉのように逆コの字状に流れるために
アーク１８に直交する磁界が形成され、アーク１８に矢
印Ｆの方向に電磁力が働く。この電磁力によって、アー
ク１８が接点７，８の左端で左方へくの字状に長く引き
伸ばされ、アークシールドに直接接触する場合があっ
た。アークシールドにアーク１８が接触すると、そのア
ーク熱でアークシールド自体が局部的に消耗する。真空
バルブの寿命は、このようなアークシールド自体の消耗
によって決まる場合もあった。
【０００６】この発明の目的は、アークによるアークシ
ールドの消耗を防ぐことにある。
ールドの消耗を防ぐことにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明によれば、絶縁筒の両端が端板で密封され
た真空容器と、この真空容器内に配され接離可能に対向
する一対の接点と、この一対の接点の周りを真空ギャッ
プを介して周回するアークシールドとにより構成された
真空バルブにおいて、前記アークシールドの外周が磁性
体よりなる磁気シールドで覆われてなるものとするとよ
い。それによって、逆コの字状に流れる主回路電流によ
って形成される外部磁界が遮蔽され、接点間のアークに
働く電磁力が緩和される。それによって、アークがアー
クシールドに接触しなくなる。
に、この発明によれば、絶縁筒の両端が端板で密封され
た真空容器と、この真空容器内に配され接離可能に対向
する一対の接点と、この一対の接点の周りを真空ギャッ
プを介して周回するアークシールドとにより構成された
真空バルブにおいて、前記アークシールドの外周が磁性
体よりなる磁気シールドで覆われてなるものとするとよ
い。それによって、逆コの字状に流れる主回路電流によ
って形成される外部磁界が遮蔽され、接点間のアークに
働く電磁力が緩和される。それによって、アークがアー
クシールドに接触しなくなる。
【０００８】また、かかる構成において、磁気シールド
の両端部がアークシールドの両端部をそれぞれ囲むよう
にして内径側に丸められてなるものとしてもよい。それ
によって、アークシールド端部の電界が緩和される。ま
た、かかる構成において、アークシールドの両端部が磁
気シールドの両端部をそれぞれ囲むようにして外径側に
丸められてなるものとしてもよい。それによっても、ア
ークシールド端部の電界が緩和される。
の両端部がアークシールドの両端部をそれぞれ囲むよう
にして内径側に丸められてなるものとしてもよい。それ
によって、アークシールド端部の電界が緩和される。ま
た、かかる構成において、アークシールドの両端部が磁
気シールドの両端部をそれぞれ囲むようにして外径側に
丸められてなるものとしてもよい。それによっても、ア
ークシールド端部の電界が緩和される。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、この発明を実施例に基づい
て説明する。図１は、この発明の実施例にかかる真空バ
ルブの構成を示す断面図である。アークシールド５の外
周に磁気シールド２０がろう付けされてる。磁気シール
ド２０は、取付け金具１１を介して絶縁筒１に取り付け
られている。図１のその他は、図７の従来の構成と同じ
であり、同じ部分には同一参照符号を付け詳細な説明を
省略する。
て説明する。図１は、この発明の実施例にかかる真空バ
ルブの構成を示す断面図である。アークシールド５の外
周に磁気シールド２０がろう付けされてる。磁気シール
ド２０は、取付け金具１１を介して絶縁筒１に取り付け
られている。図１のその他は、図７の従来の構成と同じ
であり、同じ部分には同一参照符号を付け詳細な説明を
省略する。
【００１０】図１において、磁気シールド２０は鉄など
の強磁性体よりなり、接点７，８間に侵入する外部磁界
を遮蔽している。したがって、逆コの字状に流れる主回
路電流によって形成されるような外部磁界が発生して
も、その磁界が接点７，８間のアークにまで影響を及ぼ
すことがなくなる。磁気シールド２０はアークシールド
５の外周を覆う構成であればよく、必ずしも磁気シール
ド２とアークシールド５とは互いに接していなくても
い。アークシールド５の外周を磁気シールド２０が覆う
ことにより、アークは、ほぼ接点７，８間に滞在するよ
うになりアークシールド５に接触することがなくなる。
それによって、アークシールド５がアーク熱で消耗する
ことが一切なくなり、真空バルブの寿命が従来のものよ
り長くなる。なお、磁気シールド２０をアークシールド
５の内壁側に配しても外部磁界を遮蔽することができる
が、真空バルブ自体の耐電圧性能の方が劣る。
の強磁性体よりなり、接点７，８間に侵入する外部磁界
を遮蔽している。したがって、逆コの字状に流れる主回
路電流によって形成されるような外部磁界が発生して
も、その磁界が接点７，８間のアークにまで影響を及ぼ
すことがなくなる。磁気シールド２０はアークシールド
５の外周を覆う構成であればよく、必ずしも磁気シール
ド２とアークシールド５とは互いに接していなくても
い。アークシールド５の外周を磁気シールド２０が覆う
ことにより、アークは、ほぼ接点７，８間に滞在するよ
うになりアークシールド５に接触することがなくなる。
それによって、アークシールド５がアーク熱で消耗する
ことが一切なくなり、真空バルブの寿命が従来のものよ
り長くなる。なお、磁気シールド２０をアークシールド
５の内壁側に配しても外部磁界を遮蔽することができる
が、真空バルブ自体の耐電圧性能の方が劣る。
【００１１】図２は、この発明の異なる実施例にかかる
真空バルブの構成を示す断面図である。接点７Ａ，８Ａ
にスリット２１が形成されコルゲート状になっている。
その他は、図１の構成と同じである。このコルゲート状
の接点形状は公知であり、スリット２１によって接点７
Ａ，８Ａの横方向（周回方向）に電流を流して接点７
Ａ，８Ａ間に横方向磁界を発生させるものである。この
横方向磁界によっれアークが横方向に押され一個所に滞
在しないので、接点７Ａ，８Ａの消耗が少ないくなると
いう利点がある。この接点７Ａ，８Ａの周囲が磁気シー
ルド２０で覆われたことにより、主回路電流による外部
磁界が遮蔽され、アークシールド５が消耗されなくなる
ことは、図１の場合と同じである。
真空バルブの構成を示す断面図である。接点７Ａ，８Ａ
にスリット２１が形成されコルゲート状になっている。
その他は、図１の構成と同じである。このコルゲート状
の接点形状は公知であり、スリット２１によって接点７
Ａ，８Ａの横方向（周回方向）に電流を流して接点７
Ａ，８Ａ間に横方向磁界を発生させるものである。この
横方向磁界によっれアークが横方向に押され一個所に滞
在しないので、接点７Ａ，８Ａの消耗が少ないくなると
いう利点がある。この接点７Ａ，８Ａの周囲が磁気シー
ルド２０で覆われたことにより、主回路電流による外部
磁界が遮蔽され、アークシールド５が消耗されなくなる
ことは、図１の場合と同じである。
【００１２】真空バルブの他の構造として、図示されて
はいないが、接点を図２のようなコルゲート状の代わり
にスパイラル状にしてもよい。このスパイラル状の接点
も公知のであり、接点の横方向に電流をスパイラル状に
流して接点間に横方向磁界を発生させるものであり、そ
の効果はコルゲート状の場合と同じである。図３は、こ
の発明のさらに異なる実施例にかかる真空バルブの構成
を示す断面図であり、図４は、図３のＡ部拡大断面図で
ある。磁気シールド２２の上下両端部２２Ａがアークシ
ールド５の両端部をそれぞれ囲むようにして内径側に丸
められている。それによって、アークシールド５の端部
電界が緩和される。したがって、真空バルブ自体の耐電
性能が向上し、真空バルブの縮小化が可能になる。ま
た、磁気シールド２２の丸みによって、アークシールド
５を支えることかでき、磁気シールド２２とアークシー
ルド５との接合が機械的に丈夫になる。
はいないが、接点を図２のようなコルゲート状の代わり
にスパイラル状にしてもよい。このスパイラル状の接点
も公知のであり、接点の横方向に電流をスパイラル状に
流して接点間に横方向磁界を発生させるものであり、そ
の効果はコルゲート状の場合と同じである。図３は、こ
の発明のさらに異なる実施例にかかる真空バルブの構成
を示す断面図であり、図４は、図３のＡ部拡大断面図で
ある。磁気シールド２２の上下両端部２２Ａがアークシ
ールド５の両端部をそれぞれ囲むようにして内径側に丸
められている。それによって、アークシールド５の端部
電界が緩和される。したがって、真空バルブ自体の耐電
性能が向上し、真空バルブの縮小化が可能になる。ま
た、磁気シールド２２の丸みによって、アークシールド
５を支えることかでき、磁気シールド２２とアークシー
ルド５との接合が機械的に丈夫になる。
【００１３】図５は、この発明のさらに異なる実施例に
かかる真空バルブの構成を示す断面図であり、図６は、
図５のＢ部拡大断面図である。アークシールド２３の上
下両端部２３Ａが磁気シールド２０の両端部をそれぞれ
囲むようにして外径側に丸められている。それによっ
て、アークシールド２３の端部電界が緩和される。した
がって、この場合も、真空バルブ自体の耐電性能が向上
し、真空バルブの縮小化が可能になる。また、アークシ
ールド２３の丸みによって、アークシールド２３が支え
され、磁気シールド２０とアークシールド２３との接合
も機械的に丈夫になる。
かかる真空バルブの構成を示す断面図であり、図６は、
図５のＢ部拡大断面図である。アークシールド２３の上
下両端部２３Ａが磁気シールド２０の両端部をそれぞれ
囲むようにして外径側に丸められている。それによっ
て、アークシールド２３の端部電界が緩和される。した
がって、この場合も、真空バルブ自体の耐電性能が向上
し、真空バルブの縮小化が可能になる。また、アークシ
ールド２３の丸みによって、アークシールド２３が支え
され、磁気シールド２０とアークシールド２３との接合
も機械的に丈夫になる。
【００１４】
【発明の効果】この発明は前述のように、アークシール
ドの外周が磁性体よりなる磁気シールドで覆われる。そ
れによって、アークがアークシールドに接触しなくな
り、真空バルブの寿命が長くなる。また、かかる構成に
おいて、磁気シールドの両端部がアークシールドの両端
部をそれぞれ囲むようにして内径側に丸められてなるも
のとしてもよい。それによって、アークシールド端部の
電界が緩和され、真空バルブ自体の耐電性能が向上し縮
小化が可能になる。また、磁気シールドとアークシール
ドとを機械的に丈夫に接合することができる。成におい
て、アークシールドの両端部が磁気シールドの両端部を
それぞれ囲むようにして外径側に丸められてなるものと
してもよい。それによっても、アークシールド端部の電
界が緩和される。それによっても、アークシールド端部
の電界が緩和され、真空バルブ自体の耐電性能が向上し
縮小化が可能になる。また、磁気シールドとアークシー
ルドとを機械的に丈夫に接合することができる。
ドの外周が磁性体よりなる磁気シールドで覆われる。そ
れによって、アークがアークシールドに接触しなくな
り、真空バルブの寿命が長くなる。また、かかる構成に
おいて、磁気シールドの両端部がアークシールドの両端
部をそれぞれ囲むようにして内径側に丸められてなるも
のとしてもよい。それによって、アークシールド端部の
電界が緩和され、真空バルブ自体の耐電性能が向上し縮
小化が可能になる。また、磁気シールドとアークシール
ドとを機械的に丈夫に接合することができる。成におい
て、アークシールドの両端部が磁気シールドの両端部を
それぞれ囲むようにして外径側に丸められてなるものと
してもよい。それによっても、アークシールド端部の電
界が緩和される。それによっても、アークシールド端部
の電界が緩和され、真空バルブ自体の耐電性能が向上し
縮小化が可能になる。また、磁気シールドとアークシー
ルドとを機械的に丈夫に接合することができる。
【図１】この発明の実施例にかかる真空バルブの構成を
示す断面図
示す断面図
【図２】この発明の異なる実施例にかかる真空バルブの
構成を示す断面図
構成を示す断面図
【図３】この発明のさらに異なる実施例にかかる真空バ
ルブの構成を示す断面図
ルブの構成を示す断面図
【図４】図３のＡ部拡大断面図
【図５】この発明のさらに異なる実施例にかかる真空バ
ルブの構成を示す断面図
ルブの構成を示す断面図
【図６】図５のＢ部拡大断面図
【図７】従来の真空バルブの構成を示す断面図
【図８】図７の真空バルブが組み込まれた真空遮断器の
構成を示す側面図
構成を示す側面図
１：絶縁筒、２，３：端板、４：真空容器、５，２３：
アークシールド、６：ベローズ、７，８，７Ａ，８Ａ：
接点、９：可動ロッド、１０：固定ロッド、１１：取付
け金具、１８：アーク、２０，２２：磁気シールド、２
２Ａ，２３Ａ：端部、２４：真空ギャップ
アークシールド、６：ベローズ、７，８，７Ａ，８Ａ：
接点、９：可動ロッド、１０：固定ロッド、１１：取付
け金具、１８：アーク、２０，２２：磁気シールド、２
２Ａ，２３Ａ：端部、２４：真空ギャップ
Claims (3)
- 【請求項１】絶縁筒の両端が端板で密封された真空容器
と、この真空容器内に配され接離可能に対向する一対の
接点と、この一対の接点の周りを真空ギャップを介して
周回するアークシールドとにより構成された真空バルブ
において、前記アークシールドの外周が磁性体よりなる
磁気シールドで覆われてなることを特徴とする真空バル
ブ。 - 【請求項２】請求項１に記載の真空バルブにおいて、磁
気シールドの両端部がアークシールドの両端部をそれぞ
れ囲むようにして内径側に丸められてなることを特徴と
する真空バルブ。 - 【請求項３】請求項１に記載の真空バルブにおいて、ア
ークシールドの両端部が磁気シールドの両端部をそれぞ
れ囲むようにして外径側に丸められてなることを特徴と
する真空バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1606897A JPH10214545A (ja) | 1997-01-30 | 1997-01-30 | 真空バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1606897A JPH10214545A (ja) | 1997-01-30 | 1997-01-30 | 真空バルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10214545A true JPH10214545A (ja) | 1998-08-11 |
Family
ID=11906263
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1606897A Withdrawn JPH10214545A (ja) | 1997-01-30 | 1997-01-30 | 真空バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10214545A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006309944A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Hitachi Ltd | 真空スイッチ |
| WO2014080623A1 (ja) * | 2012-11-21 | 2014-05-30 | 株式会社 東芝 | 真空バルブ |
-
1997
- 1997-01-30 JP JP1606897A patent/JPH10214545A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006309944A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Hitachi Ltd | 真空スイッチ |
| WO2014080623A1 (ja) * | 2012-11-21 | 2014-05-30 | 株式会社 東芝 | 真空バルブ |
| JP2014103012A (ja) * | 2012-11-21 | 2014-06-05 | Toshiba Corp | 真空バルブ |
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