JPH10215151A - 高電圧パルス電源装置 - Google Patents

高電圧パルス電源装置

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JPH10215151A
JPH10215151A JP9018289A JP1828997A JPH10215151A JP H10215151 A JPH10215151 A JP H10215151A JP 9018289 A JP9018289 A JP 9018289A JP 1828997 A JP1828997 A JP 1828997A JP H10215151 A JPH10215151 A JP H10215151A
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JP
Japan
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power supply
output terminals
pulse
discharge
voltage
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JP9018289A
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English (en)
Inventor
Sadaji Obata
貞二 小畑
Hiroyuki Kishida
寛之 岸田
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Takuma Co Ltd
Original Assignee
Takuma Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 大型の排ガス処理装置の放電部に対して、立
ち上がりの急峻な高電圧パルスを均一に出力できる高電
圧パルス電源装置を提供する。 【解決手段】 高電圧直流電源１と、高電圧直流電源１
より充電された電荷を放電用スイッチ２２を介し放電し
て高電圧パルスを出力するパルス放電回路部２と、高電
圧直流電源１とパルス放電回路部２間の導通を断続また
は制限する電源電流制限手段３を備え、パルス放電回路
部２が、一対の入力端子２０と分散して配置された複数
対の出力端子２１を備え、入力端子２０間に放電用スイ
ッチ２２を接続し、各出力端子２１近傍に夫々放電用コ
ンデンサ２３配置して各出力端子２１間に接続し、各出
力端子２１の一端同士を相互に接続し、その接続点２１
ｃと入力端子２０の一端との間に充電用コンデンサ２４
とインダクタ２５を直列に接続し、少なくとも一対の出
力端子２１間に充電用スイッチ手段４を接続する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高電圧パルス荷電
によりプラズマを発生させてガス中のダスト、有害ガス
等の除去を行う排ガス処理に使用可能な高電圧パルス電
源装置に関し、特に、大型で大容量の排ガス処理装置を
対象とする。
【０００２】
【従来の技術】高電圧パルス電源装置の一つとして、エ
キシマレーザ用放電励起回路がある。このエキシマレー
ザ用放電励起回路に使用されるパルス放電回路として、
例えば、図３に示す容量移行型回路、図４に示すＬＣ反
転型回路等が従来より知られている。
【０００３】図３の容量移行型回路の回路動作は、先
ず、充電用コンデンサＣ1 の一方端が充電用インダクタ
Ｌc を経由して接地され、前記充電用コンデンサＣ1 が
高電圧Ｖ0 に充電され、放電用スイッチＳを閉じて前記
充電用コンデンサＣ1 を放電すると、前記充電用コンデ
ンサＣ1 に充電された電荷が放電用コンデンサＣ2 に移
行する。前記放電用コンデンサＣ2 の電圧が十分高くな
り、負荷ＲL の放電破壊電圧に達すると、前記放電用コ
ンデンサＣ2 、前記負荷ＲL とインダクタＬ2 のＬＣＲ
主放電回路でパルス放電が発生する。一般に、前記イン
ダクタＬ2 は負荷ＲL の漂遊インダクタンス成分で小さ
い値にすることができ、また、前記充電用インダクタＬ
c のインダクタンスを他のインダクタのインダクタンス
よりも十分大きな値とすることで、前記ＬＣＲ主放電回
路は前記充電用インダクタＬc の影響を受けることなく
急峻な立ち上がりのパルス発生が可能なＬＣＲ回路とし
て動作する。
【０００４】図４のＬＣ反転型回路の回路動作は、先
ず、充電用コンデンサＣ2 の一方端が充電用インダクタ
Ｌc を経由して接地され、放電用コンデンサＣ1 と前記
充電用コンデンサＣ2 がインダクタＬ1 を介して高電圧
Ｖ0 に充電される。前記充電用インダクタＬc のインダ
クタンスを他のインダクタのインダクタンスよりも十分
大きな値とすることで、放電用スイッチＳを閉じたと
き、前記放電用コンデンサＣ1 だけが放電を開始し、前
記放電用コンデンサＣ1 の電圧は前記インダクタＬ 1 と
前記放電用コンデンサＣ1 で形成されるＬＣ回路で共振
し、Ｖ0 から−Ｖ0まで２Ｖ0 変化する。一方、前記充
電用コンデンサＣ2 の電圧が十分高くなり、負荷ＲL の
放電破壊電圧に達するまでは、前記放電用コンデンサＣ
1 、前記充電用コンデンサＣ2 、前記負荷ＲL とインダ
クタＬ2 のＬＣＲ主放電回路には電流が流れず、前記充
電用コンデンサＣ2 の両端電圧は初期値Ｖ0 を維持する
ため、前記負荷ＲL に印加される電圧は０から−２Ｖ0
まで変化し、この時、前記負荷ＲL の放電破壊電圧に達
すると、前記ＬＣＲ主放電回路でパルス放電が発生す
る。尚、前記インダクタＬ2 は負荷ＲL の漂遊インダク
タンス成分で小さい値にすることができ、また、前記充
電用インダクタＬc を他のインダクタよりも極めて大き
なインダクタンスとすることで、前記ＬＣＲ主放電回路
の動作は前記充電用インダクタＬc の影響を受けること
なく急峻な立ち上がりのパルス発生が可能となる。
【０００５】更に、図３に示す容量移行型回路から前記
放電用コンデンサＣ2 を除去した基本的なＬＣＲ回路
を、大容量の負荷に対して均一な放電を開始できるよう
に、負荷を分割し、分割された負荷に対して夫々前記充
電用コンデンサＣ1 を設けた並列構成のパルス放電回路
も知られている。例えば、図５に示す回路構成が、特開
平３−１１４５３３号公報に開示されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図３及び図４に示す容
量移行型回路及びＬＣ反転型回路は、エキシマレーザ用
放電励起回路のパルス放電回路として使用される場合、
エキシマレーザの放電部で均一なグロー放電を発生させ
るために放電時間を数ナノ秒になるように各部の回路定
数を設定してある。しかし、排ガス処理装置の高電圧パ
ルス電源のパルス放電回路にそのまま適用しても、負荷
の漂遊キャパシタンスが大きいため、急峻な立ち上がり
の高電圧パルスが得られず、短時間に放電が発生できな
かった。
【０００７】具体的には、図３の容量移行型回路の場
合、前記充電用コンデンサＣ1 を負荷である排ガス処理
装置の放電極と接地極からなる放電部に十分近づけて配
置し、前記充電用コンデンサＣ1 と前記負荷間の配線及
び前記負荷の漂遊インダクタンスである前記インダクタ
Ｌ2 のインダクタンスを小さくする必要があるが、排ガ
ス処理装置が大型の場合、前記放電部全体にわたって均
一に前記充電用コンデンサＣ1 を近くに配置することが
困難となり、実際は前記負荷と前記インダクタＬ 2 が分
布定数回路を形成し、一部の負荷に対し前記インダクタ
Ｌ2 のインダクタンスが大きくなり、パルスの立ち上が
りが遅れ、均一な放電ができないという問題が起こる。
図４のＬＣ反転型回路の場合も、上記容量移行型回路の
場合と同様であり、前記放電用コンデンサＣ1 と前記充
電用コンデンサＣ2 を負荷である排ガス処理装置の放電
部に十分近づけて配置し、前記充電用コンデンサＣ2 と
前記負荷間の配線及び前記負荷の漂遊インダクタンスで
ある前記インダクタＬ2 のインダクタンスを小さくする
必要があるが、排ガス処理装置が大型の場合、前記放電
部全体にわたって均一に前記放電用コンデンサＣ1 と前
記充電用コンデンサＣ2 を近くに配置することが困難と
なり、実際は前記負荷と前記インダクタＬ2 が分布定数
回路を形成し、一部の負荷に対し前記インダクタＬ2 の
インダクタンスが大きくなり、パルスの立ち上がりが遅
れ、均一な放電ができないという問題が起こる。
【０００８】また、図５に示すパルス放電回路の場合、
負荷を分割してあるので、分割した負荷毎の漂遊キャパ
シタンスＣL は非常に大きな値とはならないものの、放
電用スイッチＳを負荷である排ガス処理装置の放電部に
近づけて配置できないため、前記充電用コンデンサＣ1
と前記放電用スイッチＳ間の配線の漂遊インダクタンス
Ｌ1 が大きくなり、各負荷毎に形成されるＬＣＲ回路の
時定数が長くなり、急峻な立ち上がりのパルス発生がで
きなくなるという問題がある。
【０００９】本発明の目的は、上述の問題点を解消し、
大型の排ガス処理装置のような大容量の負荷に対して
も、立ち上がりの急峻な高速な高電圧パルスを前記排ガ
ス処理装置の放電部に対して均一に出力できる高電圧パ
ルス電源装置を提供する点にある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
の本発明による高電圧パルス電源装置の第一の特徴構成
は、特許請求の範囲の欄の請求項１に記載した通り、高
電圧直流電源と、前記高電圧直流電源によって充電され
た電荷を放電用スイッチを介して放電することで高電圧
パルスを出力するパルス放電回路部と、前記高電圧直流
電源と前記パルス放電回路部間の導通を断続または制限
する電源電流制限手段を備えてなり、前記パルス放電回
路部が、一対の入力端子と分散して配置された複数対の
出力端子を備え、前記入力端子間に前記放電用スイッチ
を接続し、前記各出力端子近傍に夫々放電用コンデンサ
を配置して前記各出力端子間に接続し、前記各出力端子
の一端同士を相互に接続し、その接続点と前記入力端子
の一端との間に充電用コンデンサとインダクタを直列に
接続し、前記出力端子の内の少なくとも一対の端子間に
充電用スイッチ手段を接続して構成される点にある。
【００１１】同第二の特徴構成は、特許請求の範囲の欄
の請求項２に記載した通り、高電圧直流電源と、前記高
電圧直流電源によって充電された電荷を放電用スイッチ
を介して放電することで高電圧パルスを出力するパルス
放電回路部と、前記高電圧直流電源と前記パルス放電回
路部間の導通を断続または制限する電源電流制限手段を
備えてなり、前記パルス放電回路部が、一対の入力端子
と分散して配置された複数対の出力端子を備え、前記入
力端子間に前記放電用スイッチを接続し、前記各出力端
子近傍に夫々放電用コンデンサと充電用コンデンサを直
列接続したものを配置して前記各出力端子間に接続し、
前記直列接続した各放電用コンデンサと充電用コンデン
サの中間点同士を相互に接続し、その接続点と前記入力
端子の一端との間にインダクタを接続し、前記各出力端
子対の端子間に夫々充電用スイッチ手段を接続して構成
される点にある。
【００１２】以下に、作用並びに効果について説明す
る。第一の特徴構成によれば、前記各出力端子と前記入
力端子間に、上記の従来の技術において図３に例示して
説明した容量移行型回路が夫々形成される。前記放電用
スイッチの開放時に、前記充電用コンデンサが、前記出
力端子の内の少なくとも一対の端子間に設けられた前記
充電用スイッチ手段と前記充電用コンデンサと直列接続
した前記インダクタを介して、前記高電圧直流電源から
充電される。ここで、前記電源電流制限手段は前記充電
時はその充電電流が導通するように制御されるか、導通
する素子が使用されている。前記充電用コンデンサが充
電された後、前記放電用スイッチを閉じると、前記各出
力端子毎に形成された各容量移行型回路は、相互に同期
して容量移行型回路として作動し、前記充電用コンデン
サに充電された電荷が前記放電用コンデンサに移行し、
同時に各容量移行型回路間で略等しい時定数でＬＣ回路
動作して、前記各出力端子に同タイミングで前記充電レ
ベルの２倍の高電圧を発生する。
【００１３】また、前記各出力端子に前記高電圧が発生
すると、前記各出力端子に接続される負荷と、前記各出
力端子間のコンデンサと、負荷並びに負荷と出力端子間
の漂遊インダクタンスで形成される各ＬＣＲ主放電回路
がＬＣＲ回路動作を開始するタイミングも略同期するの
である。
【００１４】更に、前記ＬＣＲ主放電回路は、前記各出
力端子が分散配置されているため、前記各出力端子と負
荷を近接して配置でき、前記ＬＣＲ主放電回路内の漂遊
インダクタンスを小さい値とすることができ、且つ、前
記各出力端子毎に大容量の負荷を分割して接続できるた
め、負荷容量を小さな値とすることができ、結果とし
て、前記ＬＣＲ主放電回路の時定数を小さく抑制でき、
負荷に印加されるパルス電圧の急峻な立ち上がりが実現
できるのである。
【００１５】尚、第一の特徴構成によれば、前記各出力
端子間を接続した接続点と前記入力端子の一端との間の
配線長が長くなり、その間の漂遊インダクタンスが大き
くなる可能性があるが、この漂遊インダクタンスは前記
ＬＣＲ主放電回路の時定数を決定する要因ではないの
で、負荷に印加されるパルス電圧の急峻な立ち上がりに
は直接影響を与えないことに注意を要する。
【００１６】第二の特徴構成によれば、前記各出力端子
と前記入力端子間に、上記の従来の技術において図４に
例示して説明したＬＣ反転型回路が夫々形成される。前
記放電用スイッチの開放時に、前記各出力端子間に設け
られた前記充電用コンデンサは前記インダクタを介し
て、また、前記各出力端子間に設けられた放電用コンデ
ンサは前記各出力端子対の端子間に夫々設けられた充電
用スイッチ手段と前記充電用コンデンサと直列接続した
前記インダクタを介して、前記高電圧直流電源から充電
される。前記各充電用コンデンサと各放電用コンデンサ
が充電された後、前記放電用スイッチを閉じると、前記
各出力端子毎に形成された各ＬＣ反転型回路は、相互に
同期してＬＣ反転型回路として作動し、ＬＣ回路動作の
時定数も各容量移行型回路間で略等しいため、前記直列
接続した各放電用コンデンサと充電用コンデンサの中間
点の電圧が逆極性の同電圧値まで同タイミングで変化
し、更に、前記各放電用コンデンサがその両端電圧を維
持したまま前記中間点の電圧の変化に追従するので、各
出力端子には同タイミングで前記充電レベルの２倍の高
電圧が発生する。
【００１７】また、前記各出力端子に高電圧が発生する
と、前記各出力端子に接続される負荷と、前記各出力端
子間の前記充電用コンデンサと前記放電用コンデンサ
と、負荷並びに負荷と出力端子間の漂遊インダクタンス
で形成される各ＬＣＲ主放電回路がＬＣＲ回路動作を開
始するタイミングも略同期するのである。
【００１８】更に、前記ＬＣＲ主放電回路は、第一の特
徴構成と同様に、前記各出力端子が分散配置されている
ため、前記ＬＣＲ主放電回路内の漂遊インダクタンスを
小さい値とすることができ、且つ、前記各出力端子毎に
大容量の負荷を分割して接続できるため、負荷容量を小
さな値とすることができ、結果として、前記ＬＣＲ主放
電回路の時定数を小さく抑制でき、負荷に印加されるパ
ルス電圧の急峻な立ち上がりが実現できるのである。
【００１９】尚、第二の特徴構成によれば、前記各中間
点同士を接続した接続点と前記入力端子の一端との間の
配線長が長くなり、その間の漂遊インダクタンスが大き
くなる可能性があるが、この漂遊インダクタンスは前記
ＬＣＲ主放電回路の時定数を決定する要因ではないの
で、負荷に印加されるパルス電圧の急峻な立ち上がりに
は直接影響を与えないことに注意を要する。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１は本発明に係わる高電圧パル
ス電源装置（以下、本発明装置という）の第１実施形態
を示す回路構成の等価回路図である。図１に示すよう
に、本発明装置は高電圧直流電源１と、パルス放電回路
部２と、前記高電圧直流電源１と前記パルス放電回路部
２間の導通を断続または制限する電源電流制限手段３か
ら構成される。ここで、前記電源電流制限手段３の機能
は、前記高電圧直流電源１からの充電電流を前記パルス
放電回路部２に供給し、前記パルス放電回路部２で発生
する高周波電流が前記高電圧直流電源１に逆流するのを
阻止できるローパスフィルタとして機能すれば十分であ
り、前記電源電流制限手段３として、高インダクタンス
のインダクタ３ａが使用できる。
【００２１】前記パルス放電回路部２は、図１に示すよ
うに、一対の入力端子２０と分散して配置された複数対
の出力端子２１を備えている。前記入力端子２０の一方
が接地し、他方２０ａが前記インダクタ３ａを介して前
記高電圧直流電源１に接続している。更に、前記入力端
子２０間に放電用スイッチ２２が接続している。前記放
電用スイッチ２２としては、高電圧用スイッチ素子であ
るサイラトロンや回転型ギャップスイッチ等を使用す
る。一方、前記各出力端子２１間に放電用コンデンサ２
３が夫々接続している。尚、実際の回路のレイアウトと
しては、前記各出力端子２１の漂遊インダクタンスを軽
減するために、前記各出力端子２１とそれに接続する前
記各放電用コンデンサ２３は互いに近接して配置されて
いる。前記各出力端子２１の一方は接地され、他方２１
ａは配線２１ｂによって相互に接続され、その接続点２
１ｃと前記入力端子２０ａとの間に充電用コンデンサ２
４とインダクタ２５が直列に接続している。尚、図１
中、コンデンサ２６は前記配線２１ｂの漂遊キャパシタ
ンスを示しており、積極的に設けられたコンデンサでは
ない。また、前記インダクタ２５には、前記配線２１ｂ
の漂遊インダクタンス成分が含まれている。
【００２２】更に、前記出力端子２１の内の少なくとも
一対の端子間に充電用スイッチ手段４が接続している。
この充電用スイッチ手段４は、その必要とされる機能が
前記電源電流制限手段３と同じであるため、インダクタ
４ａが使用できる。
【００２３】図１に示すように、本発明装置は、前記パ
ルス放電回路部２の各出力端子２１に、排ガス処理装置
の放電極５と接地極６から構成される放電部７を複数に
分割したものが夫々の負荷として接続される。尚、図１
中、コンデンサ８は、分割された前記放電極５と前記接
地極６間のキャパシタンスと、前記各放電極５と前記各
出力端子２１ａとの間の配線５ａの漂遊キャパシタンス
との和を示しており、インダクタ９は前記各配線５ａの
漂遊インダクタンスを示しており、両者とも積極的に設
けられた回路素子ではない。また、前記各出力端子２１
が分割構成され、分割された前記各放電部７と近接して
配置できることから前記インダクタ９のインダクタンス
の値を極めて低く抑制することができる。
【００２４】ここで、前記高電圧直流電源１、前記イン
ダクタ３ａ、前記放電用スイッチ２２、前記放電用コン
デンサ２３、前記充電用コンデンサ２４、前記インダク
タ２５、前記コンデンサ２６、前記インダクタ４ａ、前
記コンデンサ８、及び、前記インダクタ９からなる回路
構成で、前記各出力端子２１毎に容量移行型のパルス放
電回路系が形成される。
【００２５】図２は本発明装置の第２実施形態を回路構
成の等価回路図である。尚、図２中、第１実施形態と共
通の構成要素には同じ符号を付している。次に、第２実
施形態について、第１実施形態と比較しながら説明す
る。
【００２６】図２に示すように、本発明装置は高電圧直
流電源１と、パルス放電回路部２と、電源電流制限手段
３であるインダクタ３ａから構成され、前記パルス放電
回路部２の各出力端子２１に、排ガス処理装置の放電極
５と接地極６から構成される放電部７を複数に分割した
ものが夫々の負荷として接続される点は、第１実施形態
と同様である。また、図２中のコンデンサ８及びインダ
クタ９に関しても同様である。
【００２７】また、前記パルス放電回路部２が、一対の
入力端子２０と分散して配置された複数対の出力端子２
１を備え、前記入力端子２０の一方が接地し、他方２０
ａが前記インダクタ３ａを介して前記高電圧直流電源１
に接続し、前記入力端子２０間に放電用スイッチ２２が
接続し、更に、前記各出力端子２１の一方を接地し、他
方２１ａを配線５ａによって前記各放電極５に接続して
ある点、及び、前記放電用スイッチ２２として、高電圧
用スイッチ素子であるサイラトロンや回転型ギャップス
イッチ等を使用する点も第１実施形態と同様である。
【００２８】第１実施形態との相違点は、前記パルス放
電回路部２の内部回路構成と、前記各出力端子２１間の
夫々に、充電用スイッチ手段４が接続している点であ
る。しかし、この充電用スイッチ手段４がその必要とさ
れる機能が前記電源電流制限手段３と同じであるため、
インダクタ４ａが使用できる点は、第１実施形態と同様
である。
【００２９】前記パルス放電回路部２の内部回路構成に
ついて説明する。図２に示すように、前記各出力端子２
１間に放電用コンデンサ２７と充電用コンデンサ２８が
直列に夫々接続している。尚、実際の回路のレイアウト
としては、前記各出力端子２１の漂遊インダクタンスを
軽減するために、前記各出力端子２１とそれに接続す前
記各放電用コンデンサ２７と前記各充電用コンデンサ２
８は互いに近接して配置されている。前記各放電用コン
デンサ２７と前記各充電用コンデンサ２８の中間点２９
は配線２９ａによって相互に接続され、その接続点２９
ｂと前記入力端子２０ａとの間にインダクタ３０が接続
している。尚、図２中、コンデンサ３１は前記配線２９
ａの漂遊キャパシタンスを示しており、積極的に設けら
れたコンデンサではない。また、前記インダクタ３０に
は、前記配線２９ａの漂遊インダクタンス成分が含まれ
ている。
【００３０】ここで、前記高電圧直流電源１、前記イン
ダクタ３ａ、前記放電用スイッチ２２、前記放電用コン
デンサ２７、前記充電用コンデンサ２８、前記インダク
タ３０、前記コンデンサ３１、前記インダクタ４ａ、前
記コンデンサ８、及び、前記インダクタ９からなる回路
構成で、前記各出力端子２１毎にＬＣ反転型のパルス放
電回路系が形成される。
【００３１】以上の如く説明したように、本発明装置の
第１実施形態と第２実施形態の回路構成は個々の出力端
子毎に容量移行型またはＬＣ反転型のパルス放電回路系
が夫々形成される。尚、その回路動作については、前述
のの容量移行型回路またはＬＣ反転型回路の回路動作と
同じであるため、詳細な説明は割愛する。但し、本発明
によれば、各出力端子２１における、前記各放電部７で
放電が開始するまでの出力電圧の初期の立ち上がりは若
干長くなるものの、前記各放電部７で一旦放電が開始し
た後は、前記インダクタ９の漂遊インダクタンスを低く
抑制でき、前記コンデンサ８も分割によって小容量化し
ているため、各出力端子２１と前記各放電部７間で形成
されるＬＣＲ主放電回路の放電時定数が短く、非常に短
時間で放電を完了できることに注意を要する。
【００３２】以下に、別実施形態を説明する。前記パル
ス放電回路２は、図１または図２に示す回路構成と等価
回路として同じで、前記出力端子２１間に夫々介装され
るコンデンサの配置条件が同じであれば、同様の作用効
果が期待できるため、個々の回路素子の構成については
図１または図２に示す回路構成に必ずしも限定されるも
のではない。
【００３３】第１または第２実施形態において、前記電
源電流制限手段３及び前記充電用スイッチ手段４は夫々
インダクタ３ａ、４ａの代わりに、前記放電用スイッチ
２２と同じ高電圧用スイッチ素子を使用しても構わな
い。この場合、前記電源電流制限手段３及び前記充電用
スイッチ手段４のオン・オフのタイミングは、前記放電
用スイッチ２２のオン・オフと逆になる。
【００３４】第１または第２実施形態において、前記充
電用スイッチ手段４は前記パルス放電回路２内部に設け
てあっても、前記出力端子２１間に外付けで設けてあっ
ても、または、前記負荷側において前記放電極５と前記
接地極６間に別途取り付ける構成であっても構わない。
【００３５】第１または第２実施形態において、前記パ
ルス放電回路２の前記出力端子２１は３対の場合を夫々
例示したが、駆動する負荷の規模に応じて、前記出力端
子２１は２対または４対以上であっても構わない。
【００３６】本発明装置は、排ガス処理装置への応用を
前提として説明したが、前記負荷としては、基本的に大
容量で、高電圧パルス放電を要するものであれば、排ガ
ス処理装置以外の装置に本発明装置を適用しても構わな
い。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
大型の排ガス処理装置のような大容量の負荷に対して
も、立ち上がりの急峻な高速な高電圧パルスを前記排ガ
ス処理装置の放電部に対して均一に出力できる高電圧パ
ルス電源装置を提供できるようになった。この結果、大
型の排ガス処理装置であっても、高電圧ながら立ち上が
りの急峻なパルスによって短時間の放電処理が可能とな
って窒素酸化物またはダイオキシン除去特性に優れた排
ガス処理装置を提供できようになった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る高電圧パルス電源装置の第１実施
形態の回路構成図
【図２】本発明に係る高電圧パルス電源装置の第２実施
形態の回路構成図
【図３】従来の容量移行型のパルス放電回路の回路図
【図４】従来のＬＣ反転型のパルス放電回路の回路図
【図５】従来のパルス放電回路の回路図
【符号の説明】
１ 高電圧直流電源 ２ パルス放電回路部 ３ 電源電流制限手段 ４ 充電用スイッチ手段 ２０ 入力端子 ２１ 出力端子 ２１ｃ、２９ｂ 接続点 ２２ 放電用スイッチ ２３、２７ 放電用コンデンサ ２４、２８ 充電用コンデンサ ２５、３０ インダクタ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 高電圧直流電源と、前記高電圧直流電源
    によって充電された電荷を放電用スイッチを介して放電
    することで高電圧パルスを出力するパルス放電回路部
    と、前記高電圧直流電源と前記パルス放電回路部間の導
    通を断続または制限する電源電流制限手段を備えてな
    り、 前記パルス放電回路部が、一対の入力端子と分散して配
    置された複数対の出力端子を備え、前記入力端子間に前
    記放電用スイッチを接続し、前記各出力端子近傍に夫々
    放電用コンデンサを配置して前記各出力端子間に接続
    し、前記各出力端子の一端同士を相互に接続し、その接
    続点と前記入力端子の一端との間に充電用コンデンサと
    インダクタを直列に接続し、前記出力端子の内の少なく
    とも一対の端子間に充電用スイッチ手段を接続して構成
    される高電圧パルス電源装置。
  2. 【請求項２】 高電圧直流電源と、前記高電圧直流電源
    によって充電された電荷を放電用スイッチを介して放電
    することで高電圧パルスを出力するパルス放電回路部
    と、前記高電圧直流電源と前記パルス放電回路部間の導
    通を断続または制限する電源電流制限手段を備えてな
    り、 前記パルス放電回路部が、一対の入力端子と分散して配
    置された複数対の出力端子を備え、前記入力端子間に前
    記放電用スイッチを接続し、前記各出力端子近傍に夫々
    放電用コンデンサと充電用コンデンサを直列接続したも
    のを配置して前記各出力端子間に接続し、前記直列接続
    した各放電用コンデンサと充電用コンデンサの中間点同
    士を相互に接続し、その接続点と前記入力端子の一端と
    の間にインダクタを接続し、前記各出力端子対の端子間
    に夫々充電用スイッチ手段を接続して構成される高電圧
    パルス電源装置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103537376A (zh) * 2013-10-21 2014-01-29 大连德维电子科技有限公司 一种电除尘用高频高压大功率电源
KR101368402B1 (ko) * 2013-12-11 2014-02-28 국방과학연구소 순차 방전하는 병렬형 대전류 펄스발생기의 서지전압 제거방법 및 그 장치
CN108599742A (zh) * 2018-04-11 2018-09-28 西安交通大学 一种参数可调的负高压脉冲电源装置及参数化调节方法
CN112504104A (zh) * 2020-11-20 2021-03-16 苏州纳芯微电子股份有限公司 基于电感原理的位置传感电路及传感器和位置测量方法
CN119543691A (zh) * 2024-07-11 2025-02-28 中国人民解放军陆军工程大学 电容储能型脉冲功率电源

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103537376A (zh) * 2013-10-21 2014-01-29 大连德维电子科技有限公司 一种电除尘用高频高压大功率电源
KR101368402B1 (ko) * 2013-12-11 2014-02-28 국방과학연구소 순차 방전하는 병렬형 대전류 펄스발생기의 서지전압 제거방법 및 그 장치
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