JPH10217068A - ワーク加工機における熱変位補正装置 - Google Patents
ワーク加工機における熱変位補正装置Info
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- JPH10217068A JPH10217068A JP1668497A JP1668497A JPH10217068A JP H10217068 A JPH10217068 A JP H10217068A JP 1668497 A JP1668497 A JP 1668497A JP 1668497 A JP1668497 A JP 1668497A JP H10217068 A JPH10217068 A JP H10217068A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 石英棒等の溝切り加工に於いて、外界の温度
変化に起因する熱変位に対する補正を簡単な操作で行な
い、高精度加工を可能とする。 【解決手段】 移動テーブル１８は、移動手段であるボ
ールネジ２２と、これを駆動するサーボモータ２６等の
駆動手段より成り、当ワーク加工機１４とは独立して設
けた補正基準用スケール３６の始点３６ａと終点３６ｂ
との検知センサー３８を移動テーブルに取付けて、セン
サーからの始点及終点検知信号をＮＣ制御演算手段３４
に入力して、補正基準用スケールの公称値長さと、スケ
ール長さに対応する移動テーブルの移動距離又はこの移
動距離に対応するボールネジ部分の長さ及び補正基準用
スケールのスケール長さと移動距離又は該ボールネジ部
分の長さとの誤差をそれぞれ演算し、駆動手段を制御す
るためのパラメータを自動調整する。
変化に起因する熱変位に対する補正を簡単な操作で行な
い、高精度加工を可能とする。 【解決手段】 移動テーブル１８は、移動手段であるボ
ールネジ２２と、これを駆動するサーボモータ２６等の
駆動手段より成り、当ワーク加工機１４とは独立して設
けた補正基準用スケール３６の始点３６ａと終点３６ｂ
との検知センサー３８を移動テーブルに取付けて、セン
サーからの始点及終点検知信号をＮＣ制御演算手段３４
に入力して、補正基準用スケールの公称値長さと、スケ
ール長さに対応する移動テーブルの移動距離又はこの移
動距離に対応するボールネジ部分の長さ及び補正基準用
スケールのスケール長さと移動距離又は該ボールネジ部
分の長さとの誤差をそれぞれ演算し、駆動手段を制御す
るためのパラメータを自動調整する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、移動可能な移動テ
ーブル上に、ワーク、例えば、ウェーハキャリアボート
又はウェーハキャリアボートに供される石英棒を載置固
定し、該移動テーブルの移動を行ないながらワークを加
工、例えば、溝切り加工するワーク加工機において、移
動テーブルの移動を精密に行ない、高精度な加工、例え
ば、溝切り加工を行なうことができるようにしたワーク
加工機における熱変位補正装置及び当該装置を用いたウ
ェーハキャリアボート又は石英棒の溝切り加工方法に関
する。
ーブル上に、ワーク、例えば、ウェーハキャリアボート
又はウェーハキャリアボートに供される石英棒を載置固
定し、該移動テーブルの移動を行ないながらワークを加
工、例えば、溝切り加工するワーク加工機において、移
動テーブルの移動を精密に行ない、高精度な加工、例え
ば、溝切り加工を行なうことができるようにしたワーク
加工機における熱変位補正装置及び当該装置を用いたウ
ェーハキャリアボート又は石英棒の溝切り加工方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体熱処理用に使用されるウ
ェーハキャリアボ−ト又はウェーハキャリアボートに供
される石英棒に多数の溝を形成するための溝切り加工
は、ＮＣ制御の溝切り加工機で行なわれている。溝切り
加工機は、ワーク（被加工物、即ちウェーハキャリアボ
ート又は石英棒）を載置固定する移動可能な移動テーブ
ルと、該移動テーブルを所定方向に移動させるためのボ
ールネジと、該ボールネジを駆動するための駆動手段、
例えばサーボモータと、該駆動手段を制御する（例え
ば、サーボモータに回転数を指令する）ＮＣ制御部とか
ら構成されている。
ェーハキャリアボ−ト又はウェーハキャリアボートに供
される石英棒に多数の溝を形成するための溝切り加工
は、ＮＣ制御の溝切り加工機で行なわれている。溝切り
加工機は、ワーク（被加工物、即ちウェーハキャリアボ
ート又は石英棒）を載置固定する移動可能な移動テーブ
ルと、該移動テーブルを所定方向に移動させるためのボ
ールネジと、該ボールネジを駆動するための駆動手段、
例えばサーボモータと、該駆動手段を制御する（例え
ば、サーボモータに回転数を指令する）ＮＣ制御部とか
ら構成されている。
【０００３】また、この溝切り加工機は、温度制御のな
い通常の環境下に置かれて使用されるため、外部温度の
変化に応じてボールネジや移動テーブルが熱変位をおこ
してしまい、気温が高いと膨張し気温が低下すると収縮
するという現象が生じる。つまり、ボールネジ等は、一
日のうちでも朝晩は気温が低いために収縮し、日中は気
温が高いために膨張するし、季節でいえば、夏場は膨張
し、冬場は収縮するものである。
い通常の環境下に置かれて使用されるため、外部温度の
変化に応じてボールネジや移動テーブルが熱変位をおこ
してしまい、気温が高いと膨張し気温が低下すると収縮
するという現象が生じる。つまり、ボールネジ等は、一
日のうちでも朝晩は気温が低いために収縮し、日中は気
温が高いために膨張するし、季節でいえば、夏場は膨張
し、冬場は収縮するものである。
【０００４】そのために、上記したウェーハキャリアボ
ートや石英棒等に対する溝切り加工を行なう場合には、
製品の溝切り加工前に試し切りを行い、形成された溝を
実測して指示値通りに切り上がっているかどうかを確認
した後に、はじめて製品の溝切り加工を行うという手間
のかかる作業を必要としていた。
ートや石英棒等に対する溝切り加工を行なう場合には、
製品の溝切り加工前に試し切りを行い、形成された溝を
実測して指示値通りに切り上がっているかどうかを確認
した後に、はじめて製品の溝切り加工を行うという手間
のかかる作業を必要としていた。
【０００５】また、熱変位に対する補正作業も手間を必
要とするため頻繁に行うことは作業効率の低下を招くた
め実際の作業においては不可能であり、多くとも一日一
回程度の補正作業を行なうのが限界であった。従って、
一日の中での温度変化に対しては、溝切り加工機の補正
は全く行えなかったのが実情である。また、補正作業自
体は作業者の手によるプログラムの操作で行っており、
非常に煩わしく、正確さを要求されるものであった。
要とするため頻繁に行うことは作業効率の低下を招くた
め実際の作業においては不可能であり、多くとも一日一
回程度の補正作業を行なうのが限界であった。従って、
一日の中での温度変化に対しては、溝切り加工機の補正
は全く行えなかったのが実情である。また、補正作業自
体は作業者の手によるプログラムの操作で行っており、
非常に煩わしく、正確さを要求されるものであった。
【０００６】つまり、この溝切り加工機は環境の変化
（機械の温度、切削液の温度等）の影響を受けるので、
ＮＣ制御部の数値を調整して所望の加工寸法に成るよう
に制御しているのであるが、ＮＣ制御部の数値調整が頻
繁に必要であり、また数値調整のための操作が煩雑であ
ることから、環境の変化に応じてのリアルタイムな調整
が不可能であった。換言すれば、溝切り加工機自体の温
度が変化してしまうため、必要な精度が得られないとい
う問題点があった。
（機械の温度、切削液の温度等）の影響を受けるので、
ＮＣ制御部の数値を調整して所望の加工寸法に成るよう
に制御しているのであるが、ＮＣ制御部の数値調整が頻
繁に必要であり、また数値調整のための操作が煩雑であ
ることから、環境の変化に応じてのリアルタイムな調整
が不可能であった。換言すれば、溝切り加工機自体の温
度が変化してしまうため、必要な精度が得られないとい
う問題点があった。
【０００７】一般的な加工機における熱変位補正方法に
ついては、例えば、特開昭６２−１８７２０４、実開昭
６３−２７２４５、実開昭６４−２３３４０、特開平１
−２９５７４２、特開平１−２９５７４３、特開平２−
２４３２４８等の種々の提案がなされているが、何れも
石英ガラス製品の高精度加工には不十分なものであっ
た。
ついては、例えば、特開昭６２−１８７２０４、実開昭
６３−２７２４５、実開昭６４−２３３４０、特開平１
−２９５７４２、特開平１−２９５７４３、特開平２−
２４３２４８等の種々の提案がなされているが、何れも
石英ガラス製品の高精度加工には不十分なものであっ
た。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明者等は
上記した従来技術の問題点を解決するため、鋭意研究を
重ねた結果、どんな環境下でも所望の加工精度が容易に
得られ、石英ガラス製品の高精度加工を可能としたワー
ク加工機における熱変位補正装置を発明した。これによ
り、加工機の温度が頻繁に変化しても、溝切り加工等の
加工を行なう都度補正を自動的に行うことが可能とな
り、溝切り等の加工上がりの製品の精度は従来方法に比
べ格段に高精度に維持され、十分満足の行く成果を達成
することが可能となった。
上記した従来技術の問題点を解決するため、鋭意研究を
重ねた結果、どんな環境下でも所望の加工精度が容易に
得られ、石英ガラス製品の高精度加工を可能としたワー
ク加工機における熱変位補正装置を発明した。これによ
り、加工機の温度が頻繁に変化しても、溝切り加工等の
加工を行なう都度補正を自動的に行うことが可能とな
り、溝切り等の加工上がりの製品の精度は従来方法に比
べ格段に高精度に維持され、十分満足の行く成果を達成
することが可能となった。
【０００９】本発明は、外界の温度の変化に起因する熱
変位に対する補正を簡単な操作で行なうことができ、高
精度な加工、例えばウェーハキャリアボートや石英棒に
対する溝切り加工を行なうことができるようにしたワー
ク加工機における熱変位補正装置及び当該装置を用いた
ウェーハキャリアボート又は石英棒の溝切り加工方法を
提供することを目的とする。
変位に対する補正を簡単な操作で行なうことができ、高
精度な加工、例えばウェーハキャリアボートや石英棒に
対する溝切り加工を行なうことができるようにしたワー
ク加工機における熱変位補正装置及び当該装置を用いた
ウェーハキャリアボート又は石英棒の溝切り加工方法を
提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のワーク加工機における熱変位補正装置は、
ワークを載置固定することができかつ移動可能な移動テ
ーブルと、該移動テーブルを所定方向に移動させるため
のボールネジと、該ボールネジを駆動する駆動手段と、
該駆動手段を制御するとともに入力される加工情報に基
づいて所定の演算を行なうＮＣ制御演算手段とを有する
ワーク加工機において、所定の公称値スケール長さを有
する補正基準用スケールを該ワーク加工機とは独立して
設置するとともに該補正基準用スケールの始点と終点と
を検知可能とされたセンサーを該移動テーブルに取付
け、該移動テーブルを移動させて該センサーにより該補
正基準用スケールの始点と終点を検知せしめ、該センサ
ーからの始点検知信号及び終点検知信号を該ＮＣ制御演
算手段に入力して該補正基準用スケールの公称値長さと
該補正基準用スケールのスケール長さに対応する該移動
テーブルの移動距離又はこの移動距離に対応するボール
ネジ部分の長さ及び該補正基準用スケールのスケール長
さと該移動距離又は該ボールネジ部分の長さとの誤差を
それぞれ演算し、該ＮＣ制御演算手段においてこの演算
された誤差に基づいて前記駆動手段を制御するためのパ
ラメータを自動調整し、当該誤差を補正するようにした
ことを特徴とする。
に、本発明のワーク加工機における熱変位補正装置は、
ワークを載置固定することができかつ移動可能な移動テ
ーブルと、該移動テーブルを所定方向に移動させるため
のボールネジと、該ボールネジを駆動する駆動手段と、
該駆動手段を制御するとともに入力される加工情報に基
づいて所定の演算を行なうＮＣ制御演算手段とを有する
ワーク加工機において、所定の公称値スケール長さを有
する補正基準用スケールを該ワーク加工機とは独立して
設置するとともに該補正基準用スケールの始点と終点と
を検知可能とされたセンサーを該移動テーブルに取付
け、該移動テーブルを移動させて該センサーにより該補
正基準用スケールの始点と終点を検知せしめ、該センサ
ーからの始点検知信号及び終点検知信号を該ＮＣ制御演
算手段に入力して該補正基準用スケールの公称値長さと
該補正基準用スケールのスケール長さに対応する該移動
テーブルの移動距離又はこの移動距離に対応するボール
ネジ部分の長さ及び該補正基準用スケールのスケール長
さと該移動距離又は該ボールネジ部分の長さとの誤差を
それぞれ演算し、該ＮＣ制御演算手段においてこの演算
された誤差に基づいて前記駆動手段を制御するためのパ
ラメータを自動調整し、当該誤差を補正するようにした
ことを特徴とする。
【００１１】前記ワークとしては、ウェーハキャリアボ
ート又はウェーハキャリアボートに供される石英棒を用
いることができ、上記加工としては該石英棒に対して所
定幅及び所定間隔の複数の溝を形成する溝切り加工を行
なうことができる。
ート又はウェーハキャリアボートに供される石英棒を用
いることができ、上記加工としては該石英棒に対して所
定幅及び所定間隔の複数の溝を形成する溝切り加工を行
なうことができる。
【００１２】前記補正基準用スケールとしては、温度変
化の影響を受けないものであれば採用可能であるが石英
ガラスが最も熱膨張率が小さく最も好適である。
化の影響を受けないものであれば採用可能であるが石英
ガラスが最も熱膨張率が小さく最も好適である。
【００１３】前記センサ−としては、接触式及び非接触
式のいずれも適用することができ、タッチセンサーや光
センサーを例示することができる。
式のいずれも適用することができ、タッチセンサーや光
センサーを例示することができる。
【００１４】本発明のウェーハキャリアボート又は石英
棒の溝切り加工方法は、上記した装置を用い、（１）溝
切り加工の対象となるウェーハキャリアボート又は石英
棒を溝切り用加工機の移動テーブル上に載置固定する工
程と、（２）該移動テーブルを移動させて該センサーに
より前記補正基準用スケールの始点と終点を検知せし
め、該センサーからの始点検知信号及び終点検知信号を
該ＮＣ制御演算手段に入力して該補正基準用スケールの
公称値長さと該補正基準用スケールのスケール長さに対
応する該移動テーブルの移動距離又はこの移動距離に対
応するボールネジ部分の長さとの誤差を演算する工程
と、（３）上記誤差が所定値以上か否かを判断する工程
と、（４）この演算された誤差に基づいて該ＮＣ制御演
算手段において前記駆動手段を制御するためのパラメー
タを自動調整し、当該誤差を補正し、該補正基準用スケ
ールの公称値長さと該移動テーブルの移動距離又はこの
移動距離に対応するボールネジ部分の長さとを一致させ
る工程と、（５）所定の溝切り加工条件で該ウェーハキ
ャリアボート又は該石英棒に対する溝切り加工を行なう
工程と、を有し、上記誤差が所定値以上の場合には、上
記（４）（５）の工程を行ない、上記誤差が所定値未満
の場合には、上記（４）の工程を省略し上記（５）の工
程を行なうようにしたものである。
棒の溝切り加工方法は、上記した装置を用い、（１）溝
切り加工の対象となるウェーハキャリアボート又は石英
棒を溝切り用加工機の移動テーブル上に載置固定する工
程と、（２）該移動テーブルを移動させて該センサーに
より前記補正基準用スケールの始点と終点を検知せし
め、該センサーからの始点検知信号及び終点検知信号を
該ＮＣ制御演算手段に入力して該補正基準用スケールの
公称値長さと該補正基準用スケールのスケール長さに対
応する該移動テーブルの移動距離又はこの移動距離に対
応するボールネジ部分の長さとの誤差を演算する工程
と、（３）上記誤差が所定値以上か否かを判断する工程
と、（４）この演算された誤差に基づいて該ＮＣ制御演
算手段において前記駆動手段を制御するためのパラメー
タを自動調整し、当該誤差を補正し、該補正基準用スケ
ールの公称値長さと該移動テーブルの移動距離又はこの
移動距離に対応するボールネジ部分の長さとを一致させ
る工程と、（５）所定の溝切り加工条件で該ウェーハキ
ャリアボート又は該石英棒に対する溝切り加工を行なう
工程と、を有し、上記誤差が所定値以上の場合には、上
記（４）（５）の工程を行ない、上記誤差が所定値未満
の場合には、上記（４）の工程を省略し上記（５）の工
程を行なうようにしたものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明する。図１は本発明に係るワーク加
工機の熱変位補正装置の一つの実施の形態を示す斜視説
明図である。
図面に基づいて説明する。図１は本発明に係るワーク加
工機の熱変位補正装置の一つの実施の形態を示す斜視説
明図である。
【００１６】図中、１２は本発明に係るワーク加工機に
おける熱変位補正装置で、ワーク加工機１４を包含す
る。該ワーク加工機１４は、ワーク、例えばウェーハキ
ャリアボート又はウェーハキャリアボートに供される石
英棒、例えば石英丸棒１６を載置固定することができか
つ移動可能な移動テーブル１８を有している。該ワーク
１６は、図示の例では、カーボン製ワーク台２０上にワ
ックス等を介して固定される４本の石英丸棒として表示
されている。
おける熱変位補正装置で、ワーク加工機１４を包含す
る。該ワーク加工機１４は、ワーク、例えばウェーハキ
ャリアボート又はウェーハキャリアボートに供される石
英棒、例えば石英丸棒１６を載置固定することができか
つ移動可能な移動テーブル１８を有している。該ワーク
１６は、図示の例では、カーボン製ワーク台２０上にワ
ックス等を介して固定される４本の石英丸棒として表示
されている。
【００１７】該移動テーブル１８は、その下面側に取り
つけられたボールネジ２２を回転することによって、該
ボールネジ２２に沿って移動する。２４，２４は該ボー
ルネジ２２の軸部分２２ａを回転可能に支持する軸受で
ある。石英丸棒１６等を溝切り加工する場合には、予め
設定された所定の溝切り間隔で該移動テーブル１８を間
欠的に移動せしめて、ダイヤモンドカッター刃などの切
断手段（図示せず）を用いて溝切りを行なうものであ
る。
つけられたボールネジ２２を回転することによって、該
ボールネジ２２に沿って移動する。２４，２４は該ボー
ルネジ２２の軸部分２２ａを回転可能に支持する軸受で
ある。石英丸棒１６等を溝切り加工する場合には、予め
設定された所定の溝切り間隔で該移動テーブル１８を間
欠的に移動せしめて、ダイヤモンドカッター刃などの切
断手段（図示せず）を用いて溝切りを行なうものであ
る。
【００１８】２６はサーボモータで、該ボールネジ２２
を回転駆動させる駆動手段として働く。該サーボモータ
２６の駆動軸２８は該ボールネジ２２の一方の軸部分２
２ａに設けられたプーリ３０とプーリベルト３２を介し
て接続されており、該駆動軸２８が回転することによ
り、該プーリ３０を介してボールネジ２２が回転するよ
うになっている。
を回転駆動させる駆動手段として働く。該サーボモータ
２６の駆動軸２８は該ボールネジ２２の一方の軸部分２
２ａに設けられたプーリ３０とプーリベルト３２を介し
て接続されており、該駆動軸２８が回転することによ
り、該プーリ３０を介してボールネジ２２が回転するよ
うになっている。
【００１９】３４はＮＣ制御演算手段で、該駆動手段、
即ちサーボモータ２６を制御するとともに入力される加
工情報に基づいて所定の演算を行なう。
即ちサーボモータ２６を制御するとともに入力される加
工情報に基づいて所定の演算を行なう。
【００２０】しかして、３６は所定の公称値スケール長
さを有する補正基準用スケールで、該ワーク加工機１４
とは独立して設けられている。つまり、該補正基準用ス
ケール３６は、該ワーク加工機１４の移動テーブル１８
の熱変位の影響を受けることがないように独立して設け
られているものである。該補正基準用スケール３６の材
質としては、温度変化の影響を受けないものであれば採
用可能であるが、石英ガラスが最も熱膨張率が小さく最
も好適に用いられる。
さを有する補正基準用スケールで、該ワーク加工機１４
とは独立して設けられている。つまり、該補正基準用ス
ケール３６は、該ワーク加工機１４の移動テーブル１８
の熱変位の影響を受けることがないように独立して設け
られているものである。該補正基準用スケール３６の材
質としては、温度変化の影響を受けないものであれば採
用可能であるが、石英ガラスが最も熱膨張率が小さく最
も好適に用いられる。
【００２１】前記した移動テーブル１８の適宜位置、図
示の例では、移動テーブル１８の側端部にセンサー３８
が取りつけられている。該センサー３８は、該補正基準
用スケール３６の始点３６ａ及び終点３６ｂを検出する
作用を行なう。
示の例では、移動テーブル１８の側端部にセンサー３８
が取りつけられている。該センサー３８は、該補正基準
用スケール３６の始点３６ａ及び終点３６ｂを検出する
作用を行なう。
【００２２】該センサー３８は該補正基準用スケール３
６の始点３６ａ及び終点３６ｂを検出できる機能を有す
ればよいもので、特別の限定はないが、接触式及び非接
触式のいずれのタイプも使用でき、例えば、タッチセン
サーや光センサー等を用いることができる。図示の例で
は、センサー３８としてタッチセンサーを設けた場合を
示した。
６の始点３６ａ及び終点３６ｂを検出できる機能を有す
ればよいもので、特別の限定はないが、接触式及び非接
触式のいずれのタイプも使用でき、例えば、タッチセン
サーや光センサー等を用いることができる。図示の例で
は、センサー３８としてタッチセンサーを設けた場合を
示した。
【００２３】上記の構成により、ウェーハキャリアボー
ト又は石英丸棒等のワーク１６を溝切り加工する場合に
ついて図２を参照してさらに説明する。なお、この例に
おいては、センサー３８としてはタッチセンサーを用い
る場合について説明する。
ト又は石英丸棒等のワーク１６を溝切り加工する場合に
ついて図２を参照してさらに説明する。なお、この例に
おいては、センサー３８としてはタッチセンサーを用い
る場合について説明する。
【００２４】まず、図１に示される如く、溝を切ろうと
する石英丸棒等のワーク１６（図示の例では４本）をワ
ックス等の接着手段によってカーボン製ワーク台２０上
に接着固定する（１０１）。
する石英丸棒等のワーク１６（図示の例では４本）をワ
ックス等の接着手段によってカーボン製ワーク台２０上
に接着固定する（１０１）。
【００２５】該ワーク１６を上面に固定したワーク台２
０をワーク加工機１４の移動テーブル１８上に載置固定
する（１０２）。
０をワーク加工機１４の移動テーブル１８上に載置固定
する（１０２）。
【００２６】該ワーク１６に形成する溝寸法に合わせて
ダイヤモンドカッター刃を選定する（１０３）。
ダイヤモンドカッター刃を選定する（１０３）。
【００２７】上記移動テーブル１８を移動させて、石英
ガラス製補正基準用スケール３６（例えば公称値８０
０．００ｍｍ）の始点３６ａ及び終点３６ｂにタッチセ
ンサー３８を接触させる（１０４）。
ガラス製補正基準用スケール３６（例えば公称値８０
０．００ｍｍ）の始点３６ａ及び終点３６ｂにタッチセ
ンサー３８を接触させる（１０４）。
【００２８】該タッチセンサー３８からの始点接触信号
及び終点接触信号をＮＣ制御演算手段３４に入力して該
補正基準用スケール３６の公称値長さ（例えば、８０
０．００ｍｍ）と該補正基準用スケール３６のスケール
長さに対応する該移動テーブル１８の移動距離又はこの
移動距離に対応するボールネジ２２部分の長さとの誤差
を演算する（１０５）。
及び終点接触信号をＮＣ制御演算手段３４に入力して該
補正基準用スケール３６の公称値長さ（例えば、８０
０．００ｍｍ）と該補正基準用スケール３６のスケール
長さに対応する該移動テーブル１８の移動距離又はこの
移動距離に対応するボールネジ２２部分の長さとの誤差
を演算する（１０５）。
【００２９】この演算された誤差が所定値以上か否かを
該ＮＣ制御演算手段３４において判断する（１０６）。
該ＮＣ制御演算手段３４において判断する（１０６）。
【００３０】上記誤差が所定値以上の場合には、この誤
差に基づいて該ＮＣ制御演算手段３４において前記駆動
手段２６を制御するためのパラメータを自動調整し、当
該誤差を補正し、該補正基準用スケール３６の公称値長
さと該移動テーブル１８の移動距離又はこの移動距離に
対応するボールネジ２２部分の長さとを一致させる（１
０７）。
差に基づいて該ＮＣ制御演算手段３４において前記駆動
手段２６を制御するためのパラメータを自動調整し、当
該誤差を補正し、該補正基準用スケール３６の公称値長
さと該移動テーブル１８の移動距離又はこの移動距離に
対応するボールネジ２２部分の長さとを一致させる（１
０７）。
【００３１】上記誤差が所定値以上の場合には、上記し
た誤差の補正を行なった後、所定の溝切り加工条件で該
ワーク１６に対する溝切り加工を行なう（１０８）。ま
た、上記誤差が所定値に達しない場合には、上記した誤
差の補正を行なう必要がないので、この誤差補正を行な
うことなく、直接溝切り加工（１０８）を行なえばよ
い。
た誤差の補正を行なった後、所定の溝切り加工条件で該
ワーク１６に対する溝切り加工を行なう（１０８）。ま
た、上記誤差が所定値に達しない場合には、上記した誤
差の補正を行なう必要がないので、この誤差補正を行な
うことなく、直接溝切り加工（１０８）を行なえばよ
い。
【００３２】溝切り加工された石英丸棒等のワーク１６
は、カーボン製ワーク台２０から取り外される。該カー
ボン製ワーク台２０は、その付着しているワックス等を
洗浄し、再使用される。
は、カーボン製ワーク台２０から取り外される。該カー
ボン製ワーク台２０は、その付着しているワックス等を
洗浄し、再使用される。
【００３３】溝切り加工された石英丸棒等のワーク１６
は、乾燥後三次元座標測定機にて、溝幅、溝累積ピッチ
を実測し、指示値通りに仕上がっていれば、次工程へ流
されることとなる。
は、乾燥後三次元座標測定機にて、溝幅、溝累積ピッチ
を実測し、指示値通りに仕上がっていれば、次工程へ流
されることとなる。
【００３４】従来法では１本／バッチの頻度で上記した
三次元座標測定機により、溝幅、溝累積ピッチの測定を
行なう必要がある上、実測値が指示値より外れているこ
とがあるため、作業も繁雑な上、材料歩留まりが悪かっ
た。
三次元座標測定機により、溝幅、溝累積ピッチの測定を
行なう必要がある上、実測値が指示値より外れているこ
とがあるため、作業も繁雑な上、材料歩留まりが悪かっ
た。
【００３５】本発明方法によれば、上記した測定の頻度
としては、確認のために１本／日サンプルで充分であ
り、しかも実測値が指定値より外れているということは
皆無となるため、作業の繁雑さも解消される他に材料歩
留まりも向上するものである。
としては、確認のために１本／日サンプルで充分であ
り、しかも実測値が指定値より外れているということは
皆無となるため、作業の繁雑さも解消される他に材料歩
留まりも向上するものである。
【００３６】
【発明の効果】以上述べたごとく、本発明によれば、外
界の温度の変化に起因する熱変位に対する補正を簡単な
操作で行なうことができ、高精度な加工、例えばウェー
ハキャリアボート又はウェーハキャリアボートに供され
る石英棒に対する溝切り加工を行なうことができ、した
がって高精度なウェーハキャリアボートを直接作成する
ことができ、又はこの溝付き石英棒を用いて高精度のウ
ェーハキャリアボートを作成することができるという著
大な効果が達成される。
界の温度の変化に起因する熱変位に対する補正を簡単な
操作で行なうことができ、高精度な加工、例えばウェー
ハキャリアボート又はウェーハキャリアボートに供され
る石英棒に対する溝切り加工を行なうことができ、した
がって高精度なウェーハキャリアボートを直接作成する
ことができ、又はこの溝付き石英棒を用いて高精度のウ
ェーハキャリアボートを作成することができるという著
大な効果が達成される。
【図１】本発明のワーク加工機の熱変位補正装置の一つ
の実施の形態を示す斜視説明図である。
の実施の形態を示す斜視説明図である。
【図２】本発明の石英丸棒の溝切り加工方法の工程順の
１例を示すフローチャートである。
１例を示すフローチャートである。
１２ 熱変位補正装置 １４ ワーク加工機 １６ ワーク，石英丸棒 １８ 移動テーブル ２０ カーボン製ワーク台 ２２ ボールネジ ２２ａ 軸部分 ２４ 軸受 ２６ サーボモータ ２８ 駆動軸 ３０ プーリ ３２ プーリベルト ３４ ＮＣ制御演算手段 ３６ 補正基準用スケール ３６ａ 始点 ３６ｂ 終点 ３８ センサー、タッチセンサー
Claims (4)
- 【請求項１】 ワークを載置固定することができかつ移
動可能な移動テーブルと、該移動テーブルを所定方向に
移動させるためのボールネジと、該ボールネジを駆動す
る駆動手段と、該駆動手段を制御するとともに入力され
る加工情報に基づいて所定の演算を行なうＮＣ制御演算
手段とを有するワーク加工機において、所定の公称値ス
ケール長さを有する補正基準用スケールを該ワーク加工
機とは独立して設置するとともに該補正基準用スケール
の始点と終点とを検知可能とされたセンサーを該移動テ
ーブルに取付け、該移動テーブルを移動させて該センサ
ーにより該補正基準用スケールの始点と終点を検知せし
め、該センサーからの始点検知信号及び終点検知信号を
該ＮＣ制御演算手段に入力して該補正基準用スケールの
公称値長さと該補正基準用スケールのスケール長さに対
応する該移動テーブルの移動距離又はこの移動距離に対
応するボールネジ部分の長さ及び該補正基準用スケール
のスケール長さと該移動距離又は該ボールネジ部分の長
さとの誤差をそれぞれ演算し、該ＮＣ制御演算手段にお
いてこの演算された誤差に基づいて前記駆動手段を制御
するためのパラメータを自動調整し、当該誤差を補正す
るようにしたことを特徴とするワーク加工機における熱
変位補正装置。 - 【請求項２】 前記ワークがウェーハキャリアボート又
はウェーハキャリアボートに供される石英棒であり、該
ウェーハキャリアボート又該石英棒に対して所定幅及び
所定間隔の複数の溝を形成する溝切り加工を行なうよう
にしたことを特徴とする請求項１記載のワーク加工機に
おける熱変位補正装置。 - 【請求項３】 前記補正基準用スケールが石英ガラス製
であることを特徴とする請求項２記載のワーク加工機に
おける熱変位補正装置。 - 【請求項４】 請求項３記載の装置を用い、（１）溝切
り加工の対象となるウェーハキャリアボ−ト又は石英棒
を溝切り用加工機の移動テーブル上に載置固定する工程
と、（２）該移動テーブルを移動させて該センサーによ
り前記補正基準用スケールの始点と終点を検知せしめ、
該センサーからの始点検知信号及び終点検知信号を該Ｎ
Ｃ制御演算手段に入力して該補正基準用スケールの公称
値長さと該補正基準用スケールのスケール長さに対応す
る該移動テーブルの移動距離又はこの移動距離に対応す
るボールネジ部分の長さとの誤差を演算する工程と、
（３）上記誤差が所定値以上か否かを判断する工程と、
（４）この演算された誤差に基づいて該ＮＣ制御演算手
段において前記駆動手段を制御するためのパラメータを
自動調整し、当該誤差を補正し、該補正基準用スケール
の公称値長さと該移動テーブルの移動距離又はこの移動
距離に対応するボールネジ部分の長さとを一致させる工
程と、（５）所定の溝切り加工条件で該ウェーハキャリ
アボート又は該石英棒に対する溝切り加工を行なう工程
と、を有し、上記誤差が所定値以上の場合には、上記
（４）（５）の工程を行ない、上記誤差が所定値未満の
場合には、上記（４）の工程を省略し上記（５）の工程
を行なうようにしたことを特徴とするウェーハキャリア
ボート又は石英棒の溝切り加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1668497A JPH10217068A (ja) | 1997-01-30 | 1997-01-30 | ワーク加工機における熱変位補正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1668497A JPH10217068A (ja) | 1997-01-30 | 1997-01-30 | ワーク加工機における熱変位補正装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10217068A true JPH10217068A (ja) | 1998-08-18 |
Family
ID=11923155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1668497A Pending JPH10217068A (ja) | 1997-01-30 | 1997-01-30 | ワーク加工機における熱変位補正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10217068A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100976899B1 (ko) | 2002-04-26 | 2010-08-18 | 티에치케이 가부시끼가이샤 | 수치 제어 공작 기계에 있어서의 가공 오차 보정 방법 및이를 이용한 연삭반 |
| US20130004256A1 (en) * | 2011-06-28 | 2013-01-03 | The Department Of Electrical Engineering, National Chang-Hua University Of Education | Thermal compensation system for a milling machine |
| WO2013187106A1 (ja) * | 2012-06-14 | 2013-12-19 | 村田機械株式会社 | 工作機械とその熱変形の補正方法 |
| CN103941641A (zh) * | 2013-01-17 | 2014-07-23 | 日立金属株式会社 | 加工条件预测装置和加工条件预测方法 |
| CN119036175A (zh) * | 2024-11-04 | 2024-11-29 | 欧伯朗精工(江苏)有限公司 | 车铣摆头热延伸误差补偿方法及系统 |
-
1997
- 1997-01-30 JP JP1668497A patent/JPH10217068A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100976899B1 (ko) | 2002-04-26 | 2010-08-18 | 티에치케이 가부시끼가이샤 | 수치 제어 공작 기계에 있어서의 가공 오차 보정 방법 및이를 이용한 연삭반 |
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| US8845247B2 (en) * | 2011-06-28 | 2014-09-30 | Buffalo Machinery Company Limited | Thermal compensation system for a milling machine |
| WO2013187106A1 (ja) * | 2012-06-14 | 2013-12-19 | 村田機械株式会社 | 工作機械とその熱変形の補正方法 |
| JPWO2013187106A1 (ja) * | 2012-06-14 | 2016-02-04 | 村田機械株式会社 | 工作機械とその熱変形の補正方法 |
| CN103941641A (zh) * | 2013-01-17 | 2014-07-23 | 日立金属株式会社 | 加工条件预测装置和加工条件预测方法 |
| CN103941641B (zh) * | 2013-01-17 | 2016-08-24 | 日立金属株式会社 | 加工条件预测装置和加工条件预测方法 |
| CN119036175A (zh) * | 2024-11-04 | 2024-11-29 | 欧伯朗精工(江苏)有限公司 | 车铣摆头热延伸误差补偿方法及系统 |
| CN119036175B (zh) * | 2024-11-04 | 2025-03-07 | 欧伯朗精工(江苏)有限公司 | 车铣摆头热延伸误差补偿方法及系统 |
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|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20050111 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
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