JPH10223371A - 発光ディスプレイとその製造方法 - Google Patents
発光ディスプレイとその製造方法Info
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- JPH10223371A JPH10223371A JP9024955A JP2495597A JPH10223371A JP H10223371 A JPH10223371 A JP H10223371A JP 9024955 A JP9024955 A JP 9024955A JP 2495597 A JP2495597 A JP 2495597A JP H10223371 A JPH10223371 A JP H10223371A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
- H10K50/11—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers
-
- H—ELECTRICITY
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- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
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- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
- H10K59/35—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡便に製造できる発光ディスプレイを提供す
る事。 【解決手段】 少なくともＥＬ（エレクトロルミネッセ
ンス）発光帯域を有する単層または積層の有機薄膜を、
交差している２組のストライプ電極（１０４、１０５）
によってマトリクス状に挟持してなり、それぞれ１本１
本の電極が交差した部分が２次画素を形成し、ディスプ
レイを構成する各画素が、それぞれが異なる発光色のＥ
Ｌ発光帯域を有する２つ以上の２次画素から構成される
発光ディスプレイにおいて、各２次画素の境界に、部分
的に遮蔽壁を設け、かつ、各画素に含まれている２次画
素の１つ以上が、ＥＬ発光帯域に発光ドーパント材料を
含む。
る事。 【解決手段】 少なくともＥＬ（エレクトロルミネッセ
ンス）発光帯域を有する単層または積層の有機薄膜を、
交差している２組のストライプ電極（１０４、１０５）
によってマトリクス状に挟持してなり、それぞれ１本１
本の電極が交差した部分が２次画素を形成し、ディスプ
レイを構成する各画素が、それぞれが異なる発光色のＥ
Ｌ発光帯域を有する２つ以上の２次画素から構成される
発光ディスプレイにおいて、各２次画素の境界に、部分
的に遮蔽壁を設け、かつ、各画素に含まれている２次画
素の１つ以上が、ＥＬ発光帯域に発光ドーパント材料を
含む。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は発光ディスプレイと
その製造方法に関するものである。
その製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】有機薄膜ＥＬ（エレクトロルミネッセン
ス）素子は、自発光の面状表示素子としての利用が注目
されている。この発光素子は、有機層を積層して機能分
離する事によって大幅に発光効率の改善がなされ、印加
電圧１０Ｖ弱で高輝度な発光が実現している（アプライ
ド・フィジクス・レターズ（Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓ
ｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ）５１巻’８７年９１３、５６
巻’９０年７９９）。その基本となる素子構成は、陽極
／正孔輸送帯域／ＥＬ発光帯域／電子輸送帯域／陰極と
なっているものがほとんどである。正孔輸送帯域、電子
輸送帯域の片方または両方を設けない場合もある。
ス）素子は、自発光の面状表示素子としての利用が注目
されている。この発光素子は、有機層を積層して機能分
離する事によって大幅に発光効率の改善がなされ、印加
電圧１０Ｖ弱で高輝度な発光が実現している（アプライ
ド・フィジクス・レターズ（Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓ
ｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ）５１巻’８７年９１３、５６
巻’９０年７９９）。その基本となる素子構成は、陽極
／正孔輸送帯域／ＥＬ発光帯域／電子輸送帯域／陰極と
なっているものがほとんどである。正孔輸送帯域、電子
輸送帯域の片方または両方を設けない場合もある。
【０００３】有機薄膜ＥＬ素子を用いて多色発光の表示
をする場合、一般に、有機薄膜ＥＬ素子の有機層をパタ
ーニングする必要がある。特開平５−２５８８５９号公
報には、それぞれ発光色の異なる２次画素間に壁をあら
かじめ設けておき、基板の法線方向に対して斜めの方向
から有機物を蒸着することによって、基板上で壁に隠れ
る部分と隠れない部分をつくって２次画素を別々に形成
する方法が開示されている。この方法によると、発光色
の異なる有機薄膜ＥＬ素子を同一基板上に配置すること
ができる。しかし開示内容によると、２色発光の場合
（つまり、１つの画素に対して２次画素は２つ）はそれ
ぞれの発光層を独立に形成することはできるが、３色以
上の発光層を独立に形成することはできない。第１番目
の２次画素の発光層を壁に部分的に遮蔽されるように斜
め方向から蒸着して形成し、第２番目の２次画素の発光
層を反対側の斜め方向から蒸着して形成することはでき
るが、第３番目の２次画素だけに第３番目の発光層を蒸
着することはできず、第１番目、第２番目の２次画素に
も同時に蒸着されてしまう。この点に問題があった。ま
た、それぞれ異なる発光色のＥＬ発光帯域を別々の工程
で形成するため工程が多いという課題があった。
をする場合、一般に、有機薄膜ＥＬ素子の有機層をパタ
ーニングする必要がある。特開平５−２５８８５９号公
報には、それぞれ発光色の異なる２次画素間に壁をあら
かじめ設けておき、基板の法線方向に対して斜めの方向
から有機物を蒸着することによって、基板上で壁に隠れ
る部分と隠れない部分をつくって２次画素を別々に形成
する方法が開示されている。この方法によると、発光色
の異なる有機薄膜ＥＬ素子を同一基板上に配置すること
ができる。しかし開示内容によると、２色発光の場合
（つまり、１つの画素に対して２次画素は２つ）はそれ
ぞれの発光層を独立に形成することはできるが、３色以
上の発光層を独立に形成することはできない。第１番目
の２次画素の発光層を壁に部分的に遮蔽されるように斜
め方向から蒸着して形成し、第２番目の２次画素の発光
層を反対側の斜め方向から蒸着して形成することはでき
るが、第３番目の２次画素だけに第３番目の発光層を蒸
着することはできず、第１番目、第２番目の２次画素に
も同時に蒸着されてしまう。この点に問題があった。ま
た、それぞれ異なる発光色のＥＬ発光帯域を別々の工程
で形成するため工程が多いという課題があった。
【０００４】この方法に対して、アジア・ディスプレ
イ’９５（Ａｓｉａ Ｄｉｓｐｌａｙ’９５）Ｓ１１−
２には有機薄膜ＥＬ素子からのＥＬ発光を吸収して蛍光
を発する蛍光材料部を形成する方法が開示されている。
この方法によると蛍光材料部に用いる蛍光材料を変える
ことによって発光色を変えることができるため、蛍光材
料部のパターニングによって多色有機薄膜ＥＬディスプ
レイの製造が可能となる。しかし、この方法において
は、有機薄膜ＥＬ素子部の他に蛍光材料部を形成しなけ
ればならず、また、蛍光材料部をパターニングして、そ
れぞれの発光色ごとに別々に形成しなければならないた
め工程が非常に多くなるという課題があった。
イ’９５（Ａｓｉａ Ｄｉｓｐｌａｙ’９５）Ｓ１１−
２には有機薄膜ＥＬ素子からのＥＬ発光を吸収して蛍光
を発する蛍光材料部を形成する方法が開示されている。
この方法によると蛍光材料部に用いる蛍光材料を変える
ことによって発光色を変えることができるため、蛍光材
料部のパターニングによって多色有機薄膜ＥＬディスプ
レイの製造が可能となる。しかし、この方法において
は、有機薄膜ＥＬ素子部の他に蛍光材料部を形成しなけ
ればならず、また、蛍光材料部をパターニングして、そ
れぞれの発光色ごとに別々に形成しなければならないた
め工程が非常に多くなるという課題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】多色有機薄膜ＥＬディ
スプレイの従来の製造方法においては、それぞれ異なる
発光色のＥＬ発光帯域を別々の工程で形成するために工
程が多くなるという課題があった。
スプレイの従来の製造方法においては、それぞれ異なる
発光色のＥＬ発光帯域を別々の工程で形成するために工
程が多くなるという課題があった。
【０００６】本発明は、以上のような従来の事情に対処
してなされたもので、簡便に製造可能な発光ディスプレ
イを提供する事を目的とする。
してなされたもので、簡便に製造可能な発光ディスプレ
イを提供する事を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者は、少なくとも
ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）発光帯域を有する単
層または積層の有機薄膜を、交差している２組のストラ
イプ電極によってマトリクス状に挟持してなり、それぞ
れ１本１本の電極が交差した部分が２次画素を形成し、
ディスプレイを構成する各画素が、それぞれが異なる発
光色のＥＬ発光帯域を有する２つ以上の２次画素から構
成される発光ディスプレイにおいて、各２次画素の境界
に、部分的に遮蔽壁を設け、かつ、各画素に含まれてい
る２次画素の１つ以上が、ＥＬ発光帯域に発光ドーパン
ト材料を含むことを特徴とする発光ディスプレイにおい
て、簡便に発光ディスプレイのＥＬ発光帯域を形成する
事ができることを見出した。
ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）発光帯域を有する単
層または積層の有機薄膜を、交差している２組のストラ
イプ電極によってマトリクス状に挟持してなり、それぞ
れ１本１本の電極が交差した部分が２次画素を形成し、
ディスプレイを構成する各画素が、それぞれが異なる発
光色のＥＬ発光帯域を有する２つ以上の２次画素から構
成される発光ディスプレイにおいて、各２次画素の境界
に、部分的に遮蔽壁を設け、かつ、各画素に含まれてい
る２次画素の１つ以上が、ＥＬ発光帯域に発光ドーパン
ト材料を含むことを特徴とする発光ディスプレイにおい
て、簡便に発光ディスプレイのＥＬ発光帯域を形成する
事ができることを見出した。
【０００８】有機薄膜ＥＬ素子は有機薄膜を一対の電極
で挟んだ構成をしており、電極間に電圧を印加すること
によって駆動する。基板上に下部電極をストライプ状に
形成し、その上に単層または多層の有機薄膜を形成し
て、さらにその上に下部電極と交差するようにストライ
プ状に上部電極を形成することによってドットマトリク
スの有機薄膜ＥＬディスプレイが形成される。この下部
電極と上部電極とを適宜選択して電圧を印加することに
よって発光パターンを形成することができる。
で挟んだ構成をしており、電極間に電圧を印加すること
によって駆動する。基板上に下部電極をストライプ状に
形成し、その上に単層または多層の有機薄膜を形成し
て、さらにその上に下部電極と交差するようにストライ
プ状に上部電極を形成することによってドットマトリク
スの有機薄膜ＥＬディスプレイが形成される。この下部
電極と上部電極とを適宜選択して電圧を印加することに
よって発光パターンを形成することができる。
【０００９】このとき、有機層がパターニングされてい
ない場合には単色の表示となるが、発光色の異なるＥＬ
発光帯域をそれぞれ別々の部分に配置すると多色表示が
可能となる。あるパターンの多色の画像を表示する場合
に、そのパターンの構成要素を画素と呼ぶことにする。
多色表示をする場合、画素は２種類以上の発光色を呈す
るそれぞれ独立した複数の有機薄膜ＥＬ素子からなり、
その構成要素を２次画素と呼ぶことにする。画素内の２
次画素間の強度比を変えることによって画素の呈する色
調を変えることが可能になる。
ない場合には単色の表示となるが、発光色の異なるＥＬ
発光帯域をそれぞれ別々の部分に配置すると多色表示が
可能となる。あるパターンの多色の画像を表示する場合
に、そのパターンの構成要素を画素と呼ぶことにする。
多色表示をする場合、画素は２種類以上の発光色を呈す
るそれぞれ独立した複数の有機薄膜ＥＬ素子からなり、
その構成要素を２次画素と呼ぶことにする。画素内の２
次画素間の強度比を変えることによって画素の呈する色
調を変えることが可能になる。
【００１０】一般に、２次画素をパターニングするため
には有機層をパターニングする必要がある。これは、一
般には有機薄膜ＥＬ素子の発光色は有機発光材料によっ
て決まるからである。本発明では、ＥＬ発光帯域の形成
時に部分的に発光ドーパントをドーピングすることによ
ってパターニングを行う。有機層を形成する前に、基板
の面が部分的に遮蔽されるように遮蔽壁を設けておき、
ＥＬ発光帯域を蒸着によって形成するときに同時に基板
の法線方向に対して斜めの方向から発光ドーパントを蒸
着することによって、発光ドーパントが蒸着された部分
の発光色を変える。発光ドーパントをドーピングするこ
とによって、その発光ドーパントがドーピングされてい
ないときの有機薄膜ＥＬ素子の発光色とは異なる発光色
を得ることが重要である。この方法によって、２色以上
のＥＬ発光帯域を同時に形成することが可能となる。
には有機層をパターニングする必要がある。これは、一
般には有機薄膜ＥＬ素子の発光色は有機発光材料によっ
て決まるからである。本発明では、ＥＬ発光帯域の形成
時に部分的に発光ドーパントをドーピングすることによ
ってパターニングを行う。有機層を形成する前に、基板
の面が部分的に遮蔽されるように遮蔽壁を設けておき、
ＥＬ発光帯域を蒸着によって形成するときに同時に基板
の法線方向に対して斜めの方向から発光ドーパントを蒸
着することによって、発光ドーパントが蒸着された部分
の発光色を変える。発光ドーパントをドーピングするこ
とによって、その発光ドーパントがドーピングされてい
ないときの有機薄膜ＥＬ素子の発光色とは異なる発光色
を得ることが重要である。この方法によって、２色以上
のＥＬ発光帯域を同時に形成することが可能となる。
【００１１】２色以上のＥＬ発光帯域を同時に形成する
ときに、さらに、基板に対するホスト材料の入射方向と
ほぼ同じ入射方向から発光ドーパントを入射させて発光
効率を向上させる、かつ／または、ホスト材料のみ蒸着
される部分の発光色を変えることも可能である。
ときに、さらに、基板に対するホスト材料の入射方向と
ほぼ同じ入射方向から発光ドーパントを入射させて発光
効率を向上させる、かつ／または、ホスト材料のみ蒸着
される部分の発光色を変えることも可能である。
【００１２】本発明における遮蔽壁は、蒸発物を斜め方
向から入射させて蒸着したときにこの遮蔽壁の影になっ
て蒸発物が蒸着されない部分ができるように構成しなけ
ればならない。そのため、本発明における遮蔽壁は少な
くとも有機薄膜ＥＬ素子の有機層より十分に高く形成す
る必要がある。具体的には、１マイクロメーター以上が
望ましい。また、遮蔽壁の影になって蒸発物が蒸着され
ない部分の幅に対して、遮蔽壁の高さが高すぎる場合も
低すぎる場合も蒸発物の入射方向の制御性が悪くなるた
めに好ましくない。２次画素のピッチに対する遮蔽壁の
高さの比は、０．２〜５が好ましい。
向から入射させて蒸着したときにこの遮蔽壁の影になっ
て蒸発物が蒸着されない部分ができるように構成しなけ
ればならない。そのため、本発明における遮蔽壁は少な
くとも有機薄膜ＥＬ素子の有機層より十分に高く形成す
る必要がある。具体的には、１マイクロメーター以上が
望ましい。また、遮蔽壁の影になって蒸発物が蒸着され
ない部分の幅に対して、遮蔽壁の高さが高すぎる場合も
低すぎる場合も蒸発物の入射方向の制御性が悪くなるた
めに好ましくない。２次画素のピッチに対する遮蔽壁の
高さの比は、０．２〜５が好ましい。
【００１３】遮蔽壁に用いる材料は、薄膜形成が可能で
かつ電気的絶縁性が十分に高い公知の材料の中から適宜
選択することができる。有機物でも無機物でも構わな
い。
かつ電気的絶縁性が十分に高い公知の材料の中から適宜
選択することができる。有機物でも無機物でも構わな
い。
【００１４】遮蔽壁をパターニングして形成する方法
は、公知の方法から適宜選択して適用できる。例えば半
導体デバイス製造時に使用されるようなフォトレジスト
を用いてエッチングによってパターニングすることが可
能である。有機薄膜ＥＬ素子の下部電極を形成した後に
遮蔽壁を形成する場合、遮蔽壁の形成時及びパターニン
グ時に下部電極が劣化しないようにパターニング方法を
適宜選択する必要がある。
は、公知の方法から適宜選択して適用できる。例えば半
導体デバイス製造時に使用されるようなフォトレジスト
を用いてエッチングによってパターニングすることが可
能である。有機薄膜ＥＬ素子の下部電極を形成した後に
遮蔽壁を形成する場合、遮蔽壁の形成時及びパターニン
グ時に下部電極が劣化しないようにパターニング方法を
適宜選択する必要がある。
【００１５】また、フォトレジスト材料を遮蔽壁に用い
ると、工程は簡略化される。この場合、フォトレジスト
材料を成膜し、露光を行い、不要な部分を除去すること
によってパターニングがなされる。フォトレジスト材料
の成膜は公知の方法から適宜選択することができる。例
えば、湿式成膜法によって形成することができる。ま
た、フィルム状になっているフォトレジスト材料を基板
に貼り付けることによって形成することも可能である。
ると、工程は簡略化される。この場合、フォトレジスト
材料を成膜し、露光を行い、不要な部分を除去すること
によってパターニングがなされる。フォトレジスト材料
の成膜は公知の方法から適宜選択することができる。例
えば、湿式成膜法によって形成することができる。ま
た、フィルム状になっているフォトレジスト材料を基板
に貼り付けることによって形成することも可能である。
【００１６】有機薄膜ＥＬ素子のＥＬ発光帯域の形成
は、公知の蒸着法から適宜選択して行うことができる。
これは具体的には、抵抗加熱，イオンプレーティング，
ＭＢＥ等である。本発明では、発光層の形成時に部分的
に発光ドーパントをドーピングするが、発光ドーパント
の入射が遮蔽壁によって部分的に遮蔽されなければなら
ない。従って、蒸発源を蒸発した粒子が散乱の影響をあ
まり受けることが無く基板に蒸着されるように、成膜チ
ャンバー内の真空度を十分に高くする必要がある。
は、公知の蒸着法から適宜選択して行うことができる。
これは具体的には、抵抗加熱，イオンプレーティング，
ＭＢＥ等である。本発明では、発光層の形成時に部分的
に発光ドーパントをドーピングするが、発光ドーパント
の入射が遮蔽壁によって部分的に遮蔽されなければなら
ない。従って、蒸発源を蒸発した粒子が散乱の影響をあ
まり受けることが無く基板に蒸着されるように、成膜チ
ャンバー内の真空度を十分に高くする必要がある。
【００１７】有機薄膜ＥＬ素子のＥＬ発光帯域以外の有
機層は公知の成膜方法から適宜選択して成膜することが
できる。上記のような蒸着法も可能であるが、湿式成膜
法によっても成膜できる。低分子化合物を高分子バイン
ダー中に分散させた膜を用いることもできる。
機層は公知の成膜方法から適宜選択して成膜することが
できる。上記のような蒸着法も可能であるが、湿式成膜
法によっても成膜できる。低分子化合物を高分子バイン
ダー中に分散させた膜を用いることもできる。
【００１８】ＥＬ発光材料には、公知の有機蛍光剤を用
いることができる。例えば、アントラセン系化合物、ト
リフェニルブタジエン系化合物をはじめ、８−キノリノ
ールの金属錯体（特開昭５９−１９４３９３号公報）、
ジスチリルアリーレン誘導体（特開平２−２４７２７８
号公報、特開平５−１７７６５号公報）、混合配位子ア
ルミニウムキレート（特開平５−２１４３３２号公報、
特開平５−１９８３７８号公報）、等があげられる。
いることができる。例えば、アントラセン系化合物、ト
リフェニルブタジエン系化合物をはじめ、８−キノリノ
ールの金属錯体（特開昭５９−１９４３９３号公報）、
ジスチリルアリーレン誘導体（特開平２−２４７２７８
号公報、特開平５−１７７６５号公報）、混合配位子ア
ルミニウムキレート（特開平５−２１４３３２号公報、
特開平５−１９８３７８号公報）、等があげられる。
【００１９】本発明では、ドーピング法によって、発光
ドーパントがドーピングされていないときの有機薄膜Ｅ
Ｌ素子の発光色とは異なる発光色を得る。ジャーナル・
オブ・アプライド・フィジクス（Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ
Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ）６５巻’８９年３
６１０、ＳＩＤ’９６年１４．１、信学技報ＯＭＥ９４
−８０（電子情報通信学会）にはドーピング法によって
発光色を変える方法が例示されている。ホスト材料と発
光ドーパントとを適宜選択することによって様々な発光
色を得ることが可能である。発光ドーパントとしては、
例えば、クマリン誘導体、ジシアノメチレンピラン誘導
体（特開昭６３−２６４６９２号公報）、ペリレンジカ
ルボン酸エステル誘導体（特開平４−１７２９４号公
報）、また、キナクリドン誘導体（特開平５−７０７７
３号公報）等があげられる。
ドーパントがドーピングされていないときの有機薄膜Ｅ
Ｌ素子の発光色とは異なる発光色を得る。ジャーナル・
オブ・アプライド・フィジクス（Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ
Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ）６５巻’８９年３
６１０、ＳＩＤ’９６年１４．１、信学技報ＯＭＥ９４
−８０（電子情報通信学会）にはドーピング法によって
発光色を変える方法が例示されている。ホスト材料と発
光ドーパントとを適宜選択することによって様々な発光
色を得ることが可能である。発光ドーパントとしては、
例えば、クマリン誘導体、ジシアノメチレンピラン誘導
体（特開昭６３−２６４６９２号公報）、ペリレンジカ
ルボン酸エステル誘導体（特開平４−１７２９４号公
報）、また、キナクリドン誘導体（特開平５−７０７７
３号公報）等があげられる。
【００２０】発光ドーパントは、ＥＬ発光材料中にドー
ピングすることはもちろん可能であるが、正孔輸送材料
または電子輸送材料中にドーピングすることによって発
光ドーパントを発光させることも可能である。例えば、
正孔輸送材料であるＮ，Ｎ’−ジフェニル−Ｎ，Ｎ’−
ビス（３−メチルフェニル）−１，１’−ビフェニル−
４，４’−ジアミン中にルブレンをドーピングすること
によってルブレンを発光させる方法が、ジャパニーズ・
ジャーナル・オブ・アプライド・フィジクス（Ｊａｐａ
ｎｅｓｅ Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐ
ｈｙｓｉｃｓ）３４巻’９５年Ｌ８２４に示されてい
る。本発明に示すように、適切な位置に遮蔽壁を設けて
適切な入射角の斜方からルブレンを入射させてドーピン
グすることによって部分的にルブレンからの発光を得る
ことができる。
ピングすることはもちろん可能であるが、正孔輸送材料
または電子輸送材料中にドーピングすることによって発
光ドーパントを発光させることも可能である。例えば、
正孔輸送材料であるＮ，Ｎ’−ジフェニル−Ｎ，Ｎ’−
ビス（３−メチルフェニル）−１，１’−ビフェニル−
４，４’−ジアミン中にルブレンをドーピングすること
によってルブレンを発光させる方法が、ジャパニーズ・
ジャーナル・オブ・アプライド・フィジクス（Ｊａｐａ
ｎｅｓｅ Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐ
ｈｙｓｉｃｓ）３４巻’９５年Ｌ８２４に示されてい
る。本発明に示すように、適切な位置に遮蔽壁を設けて
適切な入射角の斜方からルブレンを入射させてドーピン
グすることによって部分的にルブレンからの発光を得る
ことができる。
【００２１】本発明は、簡便な方法で多色発光ディスプ
レイのＥＬ発光帯域を形成する事を目的とする。したが
って、ＥＬ発光帯域以外の部分は公知のいかなる構成も
適用可能である。正孔輸送帯域は設けられていても設け
られていなくても構わないし、同様に電子輸送帯域も設
けられていても設けられていなくても構わない。また、
陽極、陰極は公知の材料から適宜選択することができ
る。
レイのＥＬ発光帯域を形成する事を目的とする。したが
って、ＥＬ発光帯域以外の部分は公知のいかなる構成も
適用可能である。正孔輸送帯域は設けられていても設け
られていなくても構わないし、同様に電子輸送帯域も設
けられていても設けられていなくても構わない。また、
陽極、陰極は公知の材料から適宜選択することができ
る。
【００２２】
【実施例】以下、本発明の実施例について詳細に説明す
る。
る。
【００２３】（実施例１）青色，緑色，赤色の３色の発
光素子からなる多色有機薄膜ＥＬディスプレイの製造例
について以下に述べる。図１にディスプレイの一部の構
成の模式図を示した。基板上に横方向に緑，青，赤の順
で２次画素が並んでおり、これら３つの素子が画素を構
成している。領域１０１，１０２，１０３はそれぞれ緑
色，青色，赤色に発光する有機薄膜ＥＬ素子の領域であ
る。縦方向にストライプ状に下部電極（陽極）１０４が
並び、横方向にストライプ状に上部電極（陰極）１０５
が並んでいる。下部電極と上部電極の交差する部分に有
機薄膜ＥＬ素子が形成される。
光素子からなる多色有機薄膜ＥＬディスプレイの製造例
について以下に述べる。図１にディスプレイの一部の構
成の模式図を示した。基板上に横方向に緑，青，赤の順
で２次画素が並んでおり、これら３つの素子が画素を構
成している。領域１０１，１０２，１０３はそれぞれ緑
色，青色，赤色に発光する有機薄膜ＥＬ素子の領域であ
る。縦方向にストライプ状に下部電極（陽極）１０４が
並び、横方向にストライプ状に上部電極（陰極）１０５
が並んでいる。下部電極と上部電極の交差する部分に有
機薄膜ＥＬ素子が形成される。
【００２４】以下、ディスプレイの一部を図１の横方向
に切った断面の模式図である図２で順を追って製造工程
を説明する。まず、絶縁性基板１１１上に下部電極（陽
極）１０４と遮蔽壁１１２を形成する（図２（ａ））。
次に正孔輸送層１２１を形成する（図２（ｂ））。蒸着
法により形成する場合には図２（ａ）に矢印で示したよ
うに遮蔽壁によって影がなるべくできない方向から入射
させて蒸着する。次に緑色発光層１３１と青色発光層１
３２と赤色発光層１３３を同時に形成する（図２
（ｃ））。図２（ｂ）に矢印１２２で図示したように遮
蔽壁によって影がなるべくできない方向から青色発光材
料を入射させて発光層を形成するが、このとき同時に、
矢印１２３のように遮蔽壁にかくれて領域１０２，１０
３には蒸着されず領域１０１にのみ蒸着されるように入
射角を適宜選択して緑色発光材料を微量入射させ、また
同時に、矢印１２４のように遮蔽壁にかくれて領域１０
１，１０２には蒸着されず領域１０３にのみ蒸着される
ように入射角を適宜選択して赤色発光材料を微量入射さ
せる。そうすると、領域１０２には、青色発光層が形成
され、領域１０１には、青色発光ホストに緑色発光ドー
パントがドーピングされた発光層が形成され、また領域
１０３には、青色発光ホストに赤色発光ドーパントがド
ーピングされた発光層が形成される。青色発光材料と緑
色発光材料を適宜選択することにより領域１０１におい
て緑色ＥＬ発光を得ることができ、また青色発光材料と
赤色発光材料を適宜選択することにより領域１０３にお
いて赤色ＥＬ発光を得ることができる。次に電子輸送層
１４１を形成する（図２（ｄ））。蒸着法により形成す
る場合には図２（ｃ）に矢印で示したように遮蔽壁によ
って影がなるべくできない方向から入射させて蒸着す
る。次に上部電極を形成する。上部電極は図１に示した
ようにパターニングしてストライプ状に形成する。この
とき、遮蔽壁１１２によって上部電極の導通が切れない
ように配慮する必要がある。例えば、上部電極を形成し
た後に、図２（ｄ）において遮蔽壁の左右の側面に蒸着
されるように絶縁性基板の法線方向から少しずらして左
右方向から上部電極導通用の金属を蒸着することが有効
である。
に切った断面の模式図である図２で順を追って製造工程
を説明する。まず、絶縁性基板１１１上に下部電極（陽
極）１０４と遮蔽壁１１２を形成する（図２（ａ））。
次に正孔輸送層１２１を形成する（図２（ｂ））。蒸着
法により形成する場合には図２（ａ）に矢印で示したよ
うに遮蔽壁によって影がなるべくできない方向から入射
させて蒸着する。次に緑色発光層１３１と青色発光層１
３２と赤色発光層１３３を同時に形成する（図２
（ｃ））。図２（ｂ）に矢印１２２で図示したように遮
蔽壁によって影がなるべくできない方向から青色発光材
料を入射させて発光層を形成するが、このとき同時に、
矢印１２３のように遮蔽壁にかくれて領域１０２，１０
３には蒸着されず領域１０１にのみ蒸着されるように入
射角を適宜選択して緑色発光材料を微量入射させ、また
同時に、矢印１２４のように遮蔽壁にかくれて領域１０
１，１０２には蒸着されず領域１０３にのみ蒸着される
ように入射角を適宜選択して赤色発光材料を微量入射さ
せる。そうすると、領域１０２には、青色発光層が形成
され、領域１０１には、青色発光ホストに緑色発光ドー
パントがドーピングされた発光層が形成され、また領域
１０３には、青色発光ホストに赤色発光ドーパントがド
ーピングされた発光層が形成される。青色発光材料と緑
色発光材料を適宜選択することにより領域１０１におい
て緑色ＥＬ発光を得ることができ、また青色発光材料と
赤色発光材料を適宜選択することにより領域１０３にお
いて赤色ＥＬ発光を得ることができる。次に電子輸送層
１４１を形成する（図２（ｄ））。蒸着法により形成す
る場合には図２（ｃ）に矢印で示したように遮蔽壁によ
って影がなるべくできない方向から入射させて蒸着す
る。次に上部電極を形成する。上部電極は図１に示した
ようにパターニングしてストライプ状に形成する。この
とき、遮蔽壁１１２によって上部電極の導通が切れない
ように配慮する必要がある。例えば、上部電極を形成し
た後に、図２（ｄ）において遮蔽壁の左右の側面に蒸着
されるように絶縁性基板の法線方向から少しずらして左
右方向から上部電極導通用の金属を蒸着することが有効
である。
【００２５】以上に述べた工程によって青色，緑色，赤
色の３色の発光素子からなる多色有機薄膜ＥＬディスプ
レイが製造される。このディスプレイは下部電極と上部
電極を選択することによって青色，緑色，赤色の２次画
素をそれぞれ独立に輝度を制御して発光させることが可
能である。
色の３色の発光素子からなる多色有機薄膜ＥＬディスプ
レイが製造される。このディスプレイは下部電極と上部
電極を選択することによって青色，緑色，赤色の２次画
素をそれぞれ独立に輝度を制御して発光させることが可
能である。
【００２６】（実施例２）青色，緑色，赤色の３色の発
光素子からなる多色有機薄膜ＥＬディスプレイの第２の
製造例について以下に述べる。図１のディスプレイの一
部の構成の模式図において、基板上に横方向に青，緑，
赤の順で２次画素が並んでおり、これら３つの素子が画
素を構成している。領域１０１，１０２，１０３はそれ
ぞれ青色，緑色，赤色に発光する有機薄膜ＥＬ素子の領
域である。縦方向にストライプ状に上部電極（陰極）１
０４が並び、横方向にストライプ状に下部電極（陽極）
１０５が並んでいる。下部電極と上部電極の交差する部
分に有機薄膜ＥＬ素子が形成される。
光素子からなる多色有機薄膜ＥＬディスプレイの第２の
製造例について以下に述べる。図１のディスプレイの一
部の構成の模式図において、基板上に横方向に青，緑，
赤の順で２次画素が並んでおり、これら３つの素子が画
素を構成している。領域１０１，１０２，１０３はそれ
ぞれ青色，緑色，赤色に発光する有機薄膜ＥＬ素子の領
域である。縦方向にストライプ状に上部電極（陰極）１
０４が並び、横方向にストライプ状に下部電極（陽極）
１０５が並んでいる。下部電極と上部電極の交差する部
分に有機薄膜ＥＬ素子が形成される。
【００２７】以下、ディスプレイの一部を図１の横方向
に切った断面の模式図である図３で順を追って製造工程
を説明する。まず、絶縁性基板２１１上に下部電極（陽
極）１０５と遮蔽壁２１２を形成する（図３（ａ））。
次に正孔輸送層２２１を形成する（図３（ｂ））。蒸着
法により形成する場合には図３（ａ）に矢印で示したよ
うに遮蔽壁によって影がなるべくできない方向から入射
させて蒸着する。次に青色発光層２３１を形成する（図
３（ｃ））。図３（ｂ）に矢印で図示したように遮蔽壁
にかくれて領域１０２，１０３には蒸着されず領域１０
１にのみ蒸着されるように入射角を適宜選択して青色発
光材料を入射させて発光層を形成する。次に緑色発光層
２４１と赤色発光層２４２を同時に形成する（図３
（ｄ））。図３（ｃ）に矢印２３２で図示したように遮
蔽壁にかくれて領域１０１には蒸着されず領域１０２，
１０３にのみ蒸着されるように入射角を適宜選択して緑
色発光材料を入射させて発光層を形成するが、このとき
同時に、矢印２３３のように遮蔽壁にかくれて領域１０
１，１０２には蒸着されず領域１０３にのみ蒸着される
ように入射角を適宜選択して赤色発光材料を微量入射さ
せる。そうすると、領域１０２には緑色発光層が形成さ
れ、領域１０３には、緑色発光ホストに赤色発光ドーパ
ントがドーピングされた発光層が形成される。緑色発光
材料と赤色発光材料を適宜選択することにより領域１０
３において赤色ＥＬ発光を得ることができる。次に電子
輸送層２５１を形成する（図３（ｅ））。蒸着法により
形成する場合には図３（ｄ）に矢印で示したように遮蔽
壁によって影がなるべくできない方向から入射させて蒸
着する。次に上部電極を形成する（図３（ｆ））。上部
電極は図１に示したようにパターニングしてストライプ
状に形成する。上部電極の形成は、蒸着時にシャドーマ
スクを用いてパターニングすることも可能であるが、特
開平５−２７５１７２号公報にあるように、有機層を形
成する前に、遮蔽壁２１２よりも十分に高さの低い遮蔽
壁を、領域１０１と領域１０２の間と領域１０２と領域
１０３の間にあらかじめ設けておき斜め方向から上部電
極材料を蒸着することも可能である。
に切った断面の模式図である図３で順を追って製造工程
を説明する。まず、絶縁性基板２１１上に下部電極（陽
極）１０５と遮蔽壁２１２を形成する（図３（ａ））。
次に正孔輸送層２２１を形成する（図３（ｂ））。蒸着
法により形成する場合には図３（ａ）に矢印で示したよ
うに遮蔽壁によって影がなるべくできない方向から入射
させて蒸着する。次に青色発光層２３１を形成する（図
３（ｃ））。図３（ｂ）に矢印で図示したように遮蔽壁
にかくれて領域１０２，１０３には蒸着されず領域１０
１にのみ蒸着されるように入射角を適宜選択して青色発
光材料を入射させて発光層を形成する。次に緑色発光層
２４１と赤色発光層２４２を同時に形成する（図３
（ｄ））。図３（ｃ）に矢印２３２で図示したように遮
蔽壁にかくれて領域１０１には蒸着されず領域１０２，
１０３にのみ蒸着されるように入射角を適宜選択して緑
色発光材料を入射させて発光層を形成するが、このとき
同時に、矢印２３３のように遮蔽壁にかくれて領域１０
１，１０２には蒸着されず領域１０３にのみ蒸着される
ように入射角を適宜選択して赤色発光材料を微量入射さ
せる。そうすると、領域１０２には緑色発光層が形成さ
れ、領域１０３には、緑色発光ホストに赤色発光ドーパ
ントがドーピングされた発光層が形成される。緑色発光
材料と赤色発光材料を適宜選択することにより領域１０
３において赤色ＥＬ発光を得ることができる。次に電子
輸送層２５１を形成する（図３（ｅ））。蒸着法により
形成する場合には図３（ｄ）に矢印で示したように遮蔽
壁によって影がなるべくできない方向から入射させて蒸
着する。次に上部電極を形成する（図３（ｆ））。上部
電極は図１に示したようにパターニングしてストライプ
状に形成する。上部電極の形成は、蒸着時にシャドーマ
スクを用いてパターニングすることも可能であるが、特
開平５−２７５１７２号公報にあるように、有機層を形
成する前に、遮蔽壁２１２よりも十分に高さの低い遮蔽
壁を、領域１０１と領域１０２の間と領域１０２と領域
１０３の間にあらかじめ設けておき斜め方向から上部電
極材料を蒸着することも可能である。
【００２８】（実施例３）青色，緑色，赤色の３色の発
光素子からなる多色有機薄膜ＥＬディスプレイの第３の
製造例について以下に述べる。図１のディスプレイの一
部の構成の模式図において、基板上に横方向に青，緑，
赤の順で２次画素が並んでおり、これら３つの素子が画
素を構成している。領域１０１，１０２，１０３はそれ
ぞれ青色，緑色，赤色に発光する有機薄膜ＥＬ素子の領
域である。縦方向にストライプ状に下部電極（陽極）１
０４が並び、横方向にストライプ状に上部電極（陰極）
１０５が並んでいる。下部電極と上部電極の交差する部
分に有機薄膜ＥＬ素子が形成される。
光素子からなる多色有機薄膜ＥＬディスプレイの第３の
製造例について以下に述べる。図１のディスプレイの一
部の構成の模式図において、基板上に横方向に青，緑，
赤の順で２次画素が並んでおり、これら３つの素子が画
素を構成している。領域１０１，１０２，１０３はそれ
ぞれ青色，緑色，赤色に発光する有機薄膜ＥＬ素子の領
域である。縦方向にストライプ状に下部電極（陽極）１
０４が並び、横方向にストライプ状に上部電極（陰極）
１０５が並んでいる。下部電極と上部電極の交差する部
分に有機薄膜ＥＬ素子が形成される。
【００２９】以下、ディスプレイの一部を図１の横方向
に切った断面の模式図である図４で順を追って製造工程
を説明する。まず、絶縁性基板３１１上に下部電極（陽
極）１０４と遮蔽壁３１２を形成する（図４（ａ））。
次に正孔輸送層３２１を形成する（図４（ｂ））。蒸着
法により形成する場合には図４（ａ）に矢印で示したよ
うに遮蔽壁によって影がなるべくできない方向から入射
させて蒸着する。次に青色発光層３３１と緑色発光層３
３２と赤色発光層３３３を同時に形成する（図４
（ｃ））。図４（ｂ）に矢印３２２で図示したように遮
蔽壁によって影がなるべくできない方向から青色発光材
料を入射させて発光層を形成するが、このとき同時に、
矢印３２３のように遮蔽壁にかくれて領域１０１，１０
３には蒸着されず領域１０２にのみ蒸着されるように入
射角を適宜選択して緑色発光材料を微量入射させ、また
同時に、矢印３２４のように遮蔽壁にかくれて領域１０
１，１０２には蒸着されず領域１０３にのみ蒸着される
ように入射角を適宜選択して赤色発光材料を微量入射さ
せる。そうすると、領域１０１には、青色発光層が形成
され、領域１０２には、青色発光ホストに緑色発光ドー
パントがドーピングされた発光層が形成され、また領域
１０３には、青色発光ホストに赤色発光ドーパントがド
ーピングされた発光層が形成される。青色発光材料と緑
色発光材料を適宜選択することにより領域１０２におい
て緑色ＥＬ発光を得ることができ、また青色発光材料と
赤色発光材料を適宜選択することにより領域１０３にお
いて赤色ＥＬ発光を得ることができる。次に電子輸送層
３４１を形成する（図４（ｄ））。蒸着法により形成す
る場合には図４（ｃ）に矢印で示したように遮蔽壁によ
って影がなるべくできない方向から入射させて蒸着す
る。次に上部電極を形成する。上部電極は図１に示した
ようにパターニングしてストライプ状に形成する。この
とき、遮蔽壁３１２によって上部電極の導通が切れない
ように配慮する必要がある。例えば、上部電極を形成し
た後に、図４（ｄ）において遮蔽壁の左右の側面に蒸着
されるように絶縁性基板の法線方向から少しずらして左
右方向から上部電極導通用の金属を蒸着することが有効
である。
に切った断面の模式図である図４で順を追って製造工程
を説明する。まず、絶縁性基板３１１上に下部電極（陽
極）１０４と遮蔽壁３１２を形成する（図４（ａ））。
次に正孔輸送層３２１を形成する（図４（ｂ））。蒸着
法により形成する場合には図４（ａ）に矢印で示したよ
うに遮蔽壁によって影がなるべくできない方向から入射
させて蒸着する。次に青色発光層３３１と緑色発光層３
３２と赤色発光層３３３を同時に形成する（図４
（ｃ））。図４（ｂ）に矢印３２２で図示したように遮
蔽壁によって影がなるべくできない方向から青色発光材
料を入射させて発光層を形成するが、このとき同時に、
矢印３２３のように遮蔽壁にかくれて領域１０１，１０
３には蒸着されず領域１０２にのみ蒸着されるように入
射角を適宜選択して緑色発光材料を微量入射させ、また
同時に、矢印３２４のように遮蔽壁にかくれて領域１０
１，１０２には蒸着されず領域１０３にのみ蒸着される
ように入射角を適宜選択して赤色発光材料を微量入射さ
せる。そうすると、領域１０１には、青色発光層が形成
され、領域１０２には、青色発光ホストに緑色発光ドー
パントがドーピングされた発光層が形成され、また領域
１０３には、青色発光ホストに赤色発光ドーパントがド
ーピングされた発光層が形成される。青色発光材料と緑
色発光材料を適宜選択することにより領域１０２におい
て緑色ＥＬ発光を得ることができ、また青色発光材料と
赤色発光材料を適宜選択することにより領域１０３にお
いて赤色ＥＬ発光を得ることができる。次に電子輸送層
３４１を形成する（図４（ｄ））。蒸着法により形成す
る場合には図４（ｃ）に矢印で示したように遮蔽壁によ
って影がなるべくできない方向から入射させて蒸着す
る。次に上部電極を形成する。上部電極は図１に示した
ようにパターニングしてストライプ状に形成する。この
とき、遮蔽壁３１２によって上部電極の導通が切れない
ように配慮する必要がある。例えば、上部電極を形成し
た後に、図４（ｄ）において遮蔽壁の左右の側面に蒸着
されるように絶縁性基板の法線方向から少しずらして左
右方向から上部電極導通用の金属を蒸着することが有効
である。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば簡
便な方法で発光ディスプレイのＥＬ発光帯域を形成する
事ができる。
便な方法で発光ディスプレイのＥＬ発光帯域を形成する
事ができる。
【図１】本発明の多色有機薄膜ＥＬディスプレイの一部
の構成の１例を示す模式図である。
の構成の１例を示す模式図である。
【図２】本発明の多色有機薄膜ＥＬディスプレイの１つ
の画素の製造工程を示す断面の模式図である。
の画素の製造工程を示す断面の模式図である。
【図３】本発明の多色有機薄膜ＥＬディスプレイの１つ
の画素の製造工程を示す断面の模式図である。
の画素の製造工程を示す断面の模式図である。
【図４】本発明の多色有機薄膜ＥＬディスプレイの１つ
の画素の製造工程を示す断面の模式図である。
の画素の製造工程を示す断面の模式図である。
１０１ １つの発光色の領域 １０２ １つの発光色の領域 １０３ １つの発光色の領域 １０４ 電極 １０５ 電極 １０６ １つの画素の領域 １０７ １つの２次画素の領域 １１１ 絶縁性基板 １１２ 遮蔽壁 １２１ 正孔輸送層 １２２ 青色発光材料の入射方向 １２３ 緑色発光材料の入射方向 １２４ 赤色発光材料の入射方向 １３１ 緑色発光層 １３２ 青色発光層 １３３ 赤色発光層 １４１ 電子輸送層 ２１１ 絶縁性基板 ２１２ 遮蔽壁 ２２１ 正孔輸送層 ２３１ 青色発光層 ２３２ 緑色発光材料の入射方向 ２３３ 赤色発光材料の入射方向 ２４１ 緑色発光層 ２４２ 赤色発光層 ２５１ 電子輸送層 ３１１ 絶縁性基板 ３１２ 遮蔽壁 ３２１ 正孔輸送層 ３２２ 青色発光材料の入射方向 ３２３ 緑色発光材料の入射方向 ３２４ 赤色発光材料の入射方向 ３３１ 青色発光層 ３３２ 緑色発光層 ３３３ 赤色発光層 ３４１ 電子輸送層
Claims (6)
- 【請求項１】少なくともＥＬ（エレクトロルミネッセン
ス）発光帯域を有する単層または積層の有機薄膜を、交
差している２組のストライプ電極によってマトリクス状
に挟持してなり、それぞれ１本１本の電極が交差した部
分が２次画素を形成し、ディスプレイを構成する各画素
が、それぞれが異なる発光色のＥＬ発光帯域を有する２
つ以上の２次画素から構成される発光ディスプレイにお
いて、各２次画素の境界に、部分的に遮蔽壁を設け、か
つ、各画素に含まれている２次画素の１つ以上が、ＥＬ
発光帯域に発光ドーパント材料を含むことを特徴とする
発光ディスプレイ。 - 【請求項２】少なくともＥＬ（エレクトロルミネッセン
ス）発光帯域を有する単層または積層の有機薄膜を、交
差している２組のストライプ電極によってマトリクス状
に挟持してなり、それぞれ１本１本の電極が交差した部
分が２次画素を形成し、ディスプレイを構成する各画素
が、それぞれが異なる発光色のＥＬ発光帯域を有する３
つの２次画素から構成される発光ディスプレイにおい
て、各画素の境界に、部分的に遮蔽壁を設け、かつ、各
画素に含まれている２次画素の１つ以上が、ＥＬ発光帯
域に発光ドーパント材料を含むことを特徴とする発光デ
ィスプレイ。 - 【請求項３】少なくともＥＬ（エレクトロルミネッセン
ス）発光帯域を有する単層または積層の有機薄膜を、交
差している２組のストライプ電極によってマトリクス状
に挟持してなり、それぞれ１本１本の電極が交差した部
分が２次画素を形成し、ディスプレイを構成する各画素
が、それぞれが異なる発光色のＥＬ発光帯域を有する３
つの２次画素から構成される発光ディスプレイにおい
て、各画素の境界に、部分的に遮蔽壁を設け、かつ、各
画素内の１つの２次画素と他の２つの２次画素との境界
に遮蔽壁を設け、かつ、各画素に含まれている２次画素
の１つ以上が、ＥＬ発光帯域に発光ドーパント材料を含
むことを特徴とする発光ディスプレイ。 - 【請求項４】少なくともＥＬ（エレクトロルミネッセン
ス）発光帯域を有する単層または積層の有機薄膜を、交
差している２組のストライプ電極によってマトリクス状
に挟持してなり、それぞれ１本１本の電極が交差した部
分が２次画素を形成し、ディスプレイを構成する各画素
が、それぞれが異なる発光色のＥＬ発光帯域を有する２
つ以上の２次画素から構成される発光ディスプレイにお
いて、各２次画素の境界に、部分的に遮蔽壁を設ける工
程と、かつ、ホスト材料と１種類以上の発光ドーパント
材料をそれぞれ別の、互いに位置の離れた蒸発源から同
時に蒸発させてＥＬ発光帯域を形成する工程とを含むこ
とを特徴とする発光ディスプレイの製造方法。 - 【請求項５】少なくともＥＬ（エレクトロルミネッセン
ス）発光帯域を有する単層または積層の有機薄膜を、交
差している２組のストライプ電極によってマトリクス状
に挟持してなり、それぞれ１本１本の電極が交差した部
分が２次画素を形成し、ディスプレイを構成する各画素
が、それぞれが異なる発光色のＥＬ発光帯域を有する３
つの２次画素から構成される発光ディスプレイにおい
て、各画素の境界に、部分的に遮蔽壁を設ける工程と、
かつ、ホスト材料と１種類以上の発光ドーパント材料を
それぞれ別の、互いに位置の離れた蒸発源から同時に蒸
発させてＥＬ発光帯域を形成する工程とを含むことを特
徴とする発光ディスプレイの製造方法。 - 【請求項６】少なくともＥＬ（エレクトロルミネッセン
ス）発光帯域を有する単層または積層の有機薄膜を、交
差している２組のストライプ電極によってマトリクス状
に挟持してなり、それぞれ１本１本の電極が交差した部
分が２次画素を形成し、ディスプレイを構成する各画素
が、それぞれが異なる発光色のＥＬ発光帯域を有する３
つの２次画素から構成される発光ディスプレイにおい
て、各画素の境界の一部分と、各画素内の１つの２次画
素と他の２つの２次画素との境界とに遮蔽壁を設ける工
程と、かつ、ホスト材料と１種類以上の発光ドーパント
材料をそれぞれ別の、互いに位置の離れた蒸発源から同
時に蒸発させてＥＬ発光帯域を形成する工程とを含むこ
とを特徴とする発光ディスプレイの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9024955A JP2833605B2 (ja) | 1997-02-07 | 1997-02-07 | 発光ディスプレイの製造方法 |
| US09/534,400 US6224448B1 (en) | 1997-02-07 | 2000-03-24 | Luminescent display device and method of forming the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9024955A JP2833605B2 (ja) | 1997-02-07 | 1997-02-07 | 発光ディスプレイの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10223371A true JPH10223371A (ja) | 1998-08-21 |
| JP2833605B2 JP2833605B2 (ja) | 1998-12-09 |
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ID=12152421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9024955A Expired - Lifetime JP2833605B2 (ja) | 1997-02-07 | 1997-02-07 | 発光ディスプレイの製造方法 |
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP2833605B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001080319A3 (en) * | 2000-04-14 | 2002-04-04 | Emagin Corp | Improved method of fabrication of color changing medium layers in organic light emitting devices resulting in improved light extraction |
| EP1003221A3 (en) * | 1998-11-18 | 2004-04-14 | Eastman Kodak Company | Organic light-emitting color display |
| KR100796620B1 (ko) | 2007-01-10 | 2008-01-22 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기전계발광표시장치 및 그의 제조 방법 |
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-
1997
- 1997-02-07 JP JP9024955A patent/JP2833605B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-03-24 US US09/534,400 patent/US6224448B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1003221A3 (en) * | 1998-11-18 | 2004-04-14 | Eastman Kodak Company | Organic light-emitting color display |
| WO2001080319A3 (en) * | 2000-04-14 | 2002-04-04 | Emagin Corp | Improved method of fabrication of color changing medium layers in organic light emitting devices resulting in improved light extraction |
| EP1768184A3 (en) * | 2001-06-21 | 2008-04-30 | 3M Innovative Properties Company | Organic light emitting full color display panel |
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| US6224448B1 (en) | 2001-05-01 |
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