JPH10225U - 共焦点タンデム走査反射光顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 走査パターンを改善し、 高いフレーム反復度
で高分解像を与えるタンデム走査顕微鏡を提供すること 【解決手段】 光学写像システム内に使用される走査装
置であって、円板周辺の環状パターン内で形成されてい
る孔を有する不透明円板を有し、該孔は環状パターン内
で、下記の関係に従って決定される長さＲ_n を有する半
径方向の動径によって規定される一連の近接した弓状で
半径方向に伸びる腕の中に配分され、 Ｒ_n ＝〔Ｒ_n-1 ＋（Ｒ_n-1 ²＋４Ｋ)^1/2〕／２ であるタンデム走査顕微鏡

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、被走査写像に関し、更に詳しくは、例えば、タンデム走査顕微鏡の ような写像される視野を走査する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

像の形成は、機械的または電子的な走査を伴う共焦点写像技術によって実行さ れる。これらの技術の一例が、タンデム走査反射光顕微鏡（TSRLM)である。タン デム走査反射光顕微鏡の理論は、アメリカ光学協会会誌」第５８巻第５号の６６ １−６６４頁（１９６８年５月）の論文「タンデム走査反射光顕微鏡」でペトラ ンとハドラフスキによって論じられている。タンデム走査反射光顕微鏡は更に、 「走査」第７巻 Vol. ７、第２号の９７−１０８頁（１９８５年）の論文「タン デム走査反射光顕微鏡」で更にペトラン、ハドラフスキおよびボイドによって説 明されている。ペトラン他に対する米国特許第3,517,980 号も、タンデム走査反 射光顕微鏡装置について述べている。

【０００３】 タンデム走査反射光顕微鏡での走査装置は、１つの環状域に複数の孔を有する 回転円板である。それらの孔はアルキメデスのスパイラル状に配置されている。 直径上反対の位置にある複数の孔は、同一の半径上にあり、その全体としての パターンは、中心に対して対称性を有している。この装置は、ニポー円板として 知られている。かかる円板の構造は従来、保持リング上に張られた銅治シートで 、そこにエッチングされた複数の孔を有するものであった。

【０００４】

【考案の目的】

本考案は、写像システムに用いられる走査パターンにおける改善を提供するも のである。本考案は、特にタンデム走査顕微鏡に用いられる走査システムにおけ る改善を提供するものである。

【０００５】

【考案の構成】

本考案のタンデム走査顕微鏡は、モジュール・ペトランとミラン・ハドラフス キーによるタンデム走査反射光顕微鏡に類似しており、多くの刊行物の中に述べ られている。より複数でコスト高の共焦点レーザ顕微鏡と対照的に、本考案は高 いフレーム反復度での高分解像を与える。革新的な走査システムを使用するもの である。得られる静止像は肉眼での直接検視、またはテレビやカメラのフィルム に適している。その像は直線的に走査され、像は修正なしにフレーム・バッファ ーに直接デジタル化されてもよい。照明は、フィルター（又は選択）された波長 励起を用いて可視実際色による動作から蛍光動作へ素早く切替えられる標準電灯 で行なわれる。

【０００６】 この走査システムは、走査円板１枚を有している。１実施例では、この円板は いかなる直径においても対称である正確なパターンで配列された数万個の孔をも っている。円板は対物レンズの中間像面に位置している。試料と対物レンズによ って形成される像は、反対側の共役孔から見られる。円板が回転すると、試料は 焦点面にある。小さなパッチェルの中で照明される。パッチェルが試料を横切っ て走査されると、全視野の像が作りだされる。焦点面のこれらの照明されたパッ チェルから反射される光のみが観察側の開口孔を通ることができるので像は従来 の光学顕微鏡よりも優れたコントラストと解像度を持つ。 本考案によるタンデム走査顕微鏡の分離された焦点面は、従来の光学顕微鏡で は達成されることのできない光学的分断能力を持つ。このタンデム走査顕微鏡は 、表面から試料内の任意の深度まで比較できない明瞭さで像を与え、それは材料 の透明度と用いられる対物レンズまでへの使用距離によってのみ制限される。さ らに、このタンデム走査顕微鏡は、従来の光学顕微鏡の1.２８倍の解像度を有す る。

【０００７】 本タンデム走査顕微鏡によって、従来の光学系を使用して写像される通常の入 射角では、表面が十分な光を反射しない場合に、高解像度で表面の精密光学検査 が可能となる。本タンデム走査顕微鏡によって、連続像が得られ、このことによ り操作者は一試料を横切って内部焦点面を動かしながら、実際色での直視を享受 できる。本タンデム走査顕微鏡は、反射性で不透明な試料の表面構造を研究（高 い空間解像度で）するのに用いられる。

【０００８】

【考案の実施の形態】

本考案を実施するのに現在知られている最良の方法を説明し、それを実行かつ 使用する方法について述べる文献は、添付図面に示される好適な実施例について の下記の詳細説明である。 Ａ．タンデム走査顕微鏡の基本原理 タンデム走査顕微鏡（ＴＳＭ）は、共焦点写像を用いる。図１の光線図は共焦 点顕微鏡の原理を示している。図１で、照明１４は走査円板上の照明孔１０から 入り、対物レンズ０１及び０２によって焦点に集められる。対物レンズの焦点面 からの反射光１６のみが観察孔１８を通過する。焦点面２２の上から出される光 １７またはその下から出される光１９は、観察孔の上に焦点が合わず円板によっ てさえぎられる。孔１８は、走査円板の観察側の共役孔である。実際の装置では 、その円板上には数千個の孔がある。

【０００９】 対物レンズの焦点面内の対象物は、点光源によって照明され、試料によって反 射された光は点検知素子によって観察される。実際には、点光源及び点検知素子 は、従来の光源と検知素子及び対物レンズの間に孔を設けることによって得られ る。共焦点写像がえられるのは、このシステムが、調節可能な複数の鏡のシステ ム及びビーム・スプリッターによって、光源孔からの光線が観察孔を通過するよ うに正確に揃えられる場合である。図示のように、焦点面外の物体から現れる光 線は、観察孔で焦点が合わず、検知素子への到達が妨げられる。その結果が焦点 面での試料の小部分の高コントラスト像である。全視野を見るためには、試料ま たは、照明及び検知素子のいずれかを走査させる手段が要求される。これは、光 伝達可能域を有する走査円板によってその照明と検知素子を走査することによっ て達成される。

【００１０】 タンデム走査顕微鏡検査理論の補足説明として、上に引用した刊行物が有益で ある。 Ｂ．本タンデム走査顕微鏡の構造 図２は、実用タンデム走査顕微鏡装置の外形を示している。装置３０は、テー ブル面のような平坦面に置かれるためのスタンド３２を有する。スタンド３２は 、試料プラットフォーム３６を支える。プラットフォーム３６の垂直調節はつま み３８の回転で行なわれる。スタンド３２上に設置されているのは、光学系構成 の要素及び走査円板を有するヘッド４０である。ヘッド・ランプ箱４２から光を 伝送するエピ・イルミネータ４１も含まれている。このエピ・イルミネータは、 幾つかのレンズ、アイリス絞り及びフィルターホルダーを有し、光源のみかけ輝 度と発光スペクトルを調節する。

【００１１】 タンデム走査顕微鏡の再構成の構造の詳細については、米国特許第3,517,980 号がここに参考として用いられる。 １．光学系構成要素 接眼鏡：レンズの前に焦点面を有するラムスデンタイプ、倍率１０×および１ ５×が顕微鏡と共に使用されている。 対物レンズ：管長（ボディに刻まれている）１６０、１６５または１７０mmを 有する標準ねじ付き対物レンズ（ＲＭＳねじ）が使用されている。（無限の管長 をもつ対物レンズが特殊修正レンズをつければ使用可能である）任意の従来型の ＬＭＥ対物レンズが用いられるが、内部構造研究の際には、液浸対物レンズが観 察される試料のもつ屈折指数にみ合う液浸媒体の屈折指数を有することが望まし い。水、油及びグリセリンによる液浸対物レンズが最も一般に使用される。乾燥 対物レンズは、表面研究で用いられる透明な試料の内部構造検査には用いられて よい。水液浸対物レンズは、生体動物及び植物の組織に、油液浸対物レンズは骨 、歯及び岩石（化石）の試料に、グリセリンまたは油液浸対物レンズは蛍光体に 使用される。

【００１２】 ビーム・スプリッタ：ビームをスプリットするフィルムはきわめて薄いので像 をダブらせたり、非点収差を発生させない。蛍光モードでの本タンデム走査顕微 鏡の使用については、ＵＶ反射は５０％以下で、可視光線の透過は５０％以上で あり、この面での特性を高めている。所定の用途に対する透過率及び反射率を選 択的的に高めるため、種々の波長選択コーディングをもつフィルムが使用されて よい。 照明：実際の経験によれば、最も便利な光源は、可視光線による作業及び幾つ かの蛍光作業には標準タングステン灯、延長拡大されたスペクトル・レスポンス には水銀灯かキセノン灯である。 ２．走査円板 単一走査円板システムの実施例による１つの走査円板のパターンが図３に示さ れている。このユニークな円板のパターンは、いかなる直径においても対称であ る正確なパターンで配置された数万個の孔を有する。この円板は、対物レンズの 中間像面に置かれている。対物レンズで形成される試料像は、反対側の共液孔か らみられる。この円板が回ると試料は焦点面内にある小さな「パッチェル」の中 で照明される。その「パッチェル」が試料を横切って走査されると全視野の像が 作りだされる。焦点面内のこれらの照明されている「パッチェル」から反射され る光のみが観察側の複数の開口孔を通り得るので、その像は従来の光学顕微鏡よ りすぐれたコントラストと解像度とをもつことになる。

【００１３】 走査円板は、回転時には光の均一な透過が環部全体を抜けて生じるように、周 辺に複数の環状パターンの孔を有している。共焦点動作は、写像システムを通し て除かれた時に正確に重なっているようにある円板直径に沿ってそれぞれから横 切れるように配設されている複数の孔を有している。（すなわち、その孔のパタ ーンは、いかなる直径についても対称でなければならない）これらの要求は、複 数の孔を、螺旋と腕の上と、動径の端に配置することによって満足される。これ らの孔の配置についての以下の説明は、図３、図４及び図５を参照することによ って、最もよく理解される。 孔は、複数の螺旋と腕に沿って配設されている。Ｒ₀ は、円板中心と円板上の 最内部の孔との距離である。その螺旋の次の孔は、半径Ｒ₀ から半径Ｒ₁ への増 加が等式１と２に述べられているように、Ｒ₁ に反比例するように円板の中心か ら半径Ｒ₁ に配設され、ここでＫは定数である。 等式１ Ｒ₁ ＝Ｒ₀ ＋Ｒ₁ ／Ｋ 等式２ Ｒ₁ ＝〔Ｒ₀ ＋（Ｒ₀ ²＋４Ｋ)^1/2〕／２ 更に要求されることは、１つの螺旋にそった全ての孔は同一距離だけ離れてい ることである。この距離をＬとすれば第１の孔と第２の孔に連がる半径方向の動 径は、等式３に与えられているごとく、円板の中心で角度Ｔをなす。 等式３ Ｔ＝ Cos^-1（Ｒ₀ ²＋Ｒ₁ ²−Ｌ²)／２Ｒ₀ Ｒ₁ 〕 ある螺旋上の他の全の点についても同様であり、それは、等式４及び５に示さ れている。

【００１４】 ここで、Ｒ_n はｎ点の半径方向の動径、Ｒ_n-1 はｎ−１点（即ち続いている点 ）の動径、Ｋは定数である。 等式４ Ｒ_n ＝〔Ｒ_n-1(Ｒ_n-1 ²＋４Ｋ)^1/2〕／２ 等式５ Ｔ＝ Cos^-1〔（Ｒ_n-1 ²＋Ｒ_n ² −Ｌ²)／２Ｒ_n Ｒ_n-1 〕 図４は、等式２及び３の条件を表しており、ここでＣは環部の中心、Ｐ₀ は螺 旋上の最初の孔、そしてＰ₁ は第２の孔である。Ｒ₀ 及びＲ₁ はこれらの点の半 径方向の動径であり、Ｔはそれらの動径Ｒ₀ 及びＲ₁ によって形成される角であ る。等式６及び７が分かるように、角Ａが定数Ｋの値を決める（またはその逆） 。 等式６ Ｒ₁ ＝（Ｒ₀ ２＋Ｌ² ＋２Ｒ₀ ＬCos Ａ)^1/2 等式７ Ｋ＝Ｒ₁ ２−Ｒ₀ Ｒ₁ 角ＡはＲ₀ の値を持つ螺旋の第１コードにしか関係しないいことに注意すべき である。

【００１５】 Ｒ₀ とＫの値は全の螺旋にとって一定である。しかし円板走査中に孔が重なり あうためには、連結する螺旋で最初の孔を半径方向にオフセットさせることが必 要である。このオフセットがＲ₀ に加えられて、次にある各螺旋上の第１の点の 実半径を決める。 上述の円板中の孔のパターンの実用化は、そのパターンをシリコン・ウェハー に微細加工することによって達成された。このような幾何学的に精密なシリコン 構造を作るプロセスは、「Ｊ．バック・シ・テクノＢ」（４）、１０１５−１０ ２５（１９８５）のＧ．カミンスキーの論文「シリコン機械構造の微細加工」に 示されているように、周知の技術であるが、ここにそれを参照する。 円板は、次のような方法で製造される。シリコン・ウェハー（直径１００mm） は、適当な厚さ（６０ミクロンの孔に対し、０．２５７mm＝０．０１０１インチ ）に迄薄くされ、更に円板の最終孔の寸法を決定するリングラフィー・マスクの 寸法の厚さに迄薄くされる。パターンが１つのマスクを用いる標準のリングラフ ィック技術でこのウェハー上にプリントされる。露光されたウェハーは、指向性 化学腐蝕液によってエッチングされて望みのパターンで一連の方形孔が作りださ れる。本円板は、１３６４２個の孔をもち、それぞれは、辺から辺まで６０ミク ロンで、全体的には円環の形状のなかの螺旋に沿って配列されている。円環の内 部半径は２６mmであり、外部半径は４６mmである。円板の透過を入射光の約１％ に限定しておくことが望ましいので、もっと多くの孔が入用ならば孔寸法は減少 させられねばならない。光学顕微鏡像での横及び軸方向の解像度を最適にするた めには、２０ミクロンの孔寸法が要求されるが、それは孔の最大数を約７０００ ０個に決定する。このような円板はカミンスキーの述べる技術によって作くられ るであろう。各孔の辺は５２角度の傾きをもつ。その角度は、シリコンのもつ結 晶格子によって決定されている。

【００１６】 走査円板のパターンの機械的製造手段が説明されたが、他の手段を使用するこ とも可能である。例えば、電子的パターンの発生がタンデム走査顕微鏡では使用 されるだろう。かかる１つの電子的発生手段が、カー・セル・アレイである。カ ・セルとは、ソリッド・ステートの光学スイッチであって、ある状態で光を通し 、他の状態ではこれを通さない。カー・セルの二次元アレイは、機械的走査円板 全体に代わりうるか、または単に照明における円板の部分または観察レンズの瞳 の部分に代わりうるだろう。カー・セルは、視野を横切って操作するように電子 的に切替えられ得るだろう。光は、照明セルをへて透過させられるので、対応す る観察セルも試料からの反射光を接眼鏡に伝えるだろう。 別の電子的パターン発生手段は、ＣＲＴ照明／像分解である。この手段による と、照明は固定されたパターン、多分私達のパターンの螺旋でＣＲＴ（管）の面 を横切って電子ビームを走査させることが行われる。典型的なスポット寸法は数 １０ミクロンのオーダーである。燐からの光は、このシステムの照明となるだろ う。試料からの反射光は直接にはみられないかもしれないが、写像解像管上では 、検知されるだろう。解像管（ＩＤ）は、本質的には収束コイル及び走査コイル を付けた光電子倍増管（ＰＭＴ）である。解像管の中心は、光電陰極とダイオー ドの間にある小さな孔（１００μm 以下）である。光電陰極の小領域からの信号 は、任意の瞬間にこの孔を通って焦点が合わされ、陰極全体が走査コイルを使用 して走査されうる。解像管は、視野を横切って走査されうる点検知素子として機 能する。もしその走査が照明ＣＲＴ走査と正確に同期されていれば、共焦点動作 は達成される。光学的レウアウトは、対物レンズの中間面にある円板がＣＲＴと ＩＤで置換えられた反射タンデム走査顕微鏡のそれと同一であり得るだろう。あ るいは、透過させられる光の仕事は、レーザー走査共焦点顕微鏡でなされるよう に試料の下の第２対物レンズの下にＩＤを置くことによってなされ得るだろう。 Ｃ．タンデム走査顕微鏡の作用 本考案のタンデム走査顕微鏡の基本的な作用は、従来の装置のそれと同様であ る。相違点は円板によって行われる像走査での改善である。本タンデム走査顕微 鏡では、孔のアレイは、視野を走査し、かつ、焦点以外の層よりも焦点面にある 斑点をより強く照明する一連のビームとしての入射光を与える。これらの斑点か らの反射光は、顕微鏡の焦点面のなかで走査しているアレイの孔の上で結像する 。照明ビームをチョップする孔のアレイは、観察側のアレイと同一である。走査 し、照明する孔は合焦された面にある対物レンズによって像となる。この面にあ る斑点からの反射光はやはり対物レンズの中間像面にある対応する孔の中に像と なって帰る。焦点外の層からの他の全ての光、及び顕微鏡内の光学系表面から散 布される光は、孔のアレイのソリッド部分又は顕微鏡ヘッド内の光トラップによ って遮断される。照明及び観察の走査は、全ての孔を１つの回転円板に作ること によって、１つの装置によって行われる。円板内の各孔の組は、ユニークで、こ の円板の中心から異なった半径の距離にあって、像の１本の線を走査するのであ る。

【００１７】 この円板の両側面は、照明用（集光用）と像形成用（対物レンズ）に使われる レンズから同距離にある。対物レンズこの２つの機能は、極めて薄いビーム・ス プリッティング用の半透明鏡によって分離されている。焦点のあわされた面にあ る対物レンズによって形成される両方の孔パターンの合同（重なり）は、鏡シス テムによって完成される、つまり円板の中心対称性は合同へと変換されるのであ る。 孔は、それらの間の距離よりもはるかに小さいので、円板に孔パターンを製作 する精度と鏡の調整の精度は、十分なものでなければならない。本タンデム走査 顕微鏡の新しい走査円板は、高い技術水準で製作されている。方形孔の平均寸法 は６０−８０ミクロン以下であるか、その寸法は要望によって変えられる。走査 線数が像内の走査線を観察できない程度であるのは、それらの分離が顕微鏡の解 像度以下であるからである。本円板は強い光源で照明されるので、光スポットの パターンが形成される。その像は試料の焦点を当てられた層の中で作られる。光 は、観察されるべき特徴によって反射される。瞬間的に照明される構造の像は、 走査円板の他の側にある対物レンズによって形成される。焦点のあてられた層か らの光のみが接眼鏡に入り得る。

【００１８】 本円板のスピードは可変で、見掛上の静止像を与えるように設定されることが できる。 ここに説明したタンデム走査顕微鏡は、単一の円板が使用される本考案の一実 施例である。かかる実施例は、この円板が２つの機能、即ち試料上へ照明を像と してつくることと得られた像ポイントを写像ビーム中に選択することを要求する 。これらの機能を行うため、円板は複数の同一セクターを持たねばならない。２ つのこのようなセクターがあれば、円板は任意の直径について対称であり、照明 と写像ビームの光軸は、直径方向で反対側にある点で円板と交差する。もし３、 ４、また５（等）のこのようなセクターがあれば、円板の中心からのそれらの半 径がそれぞれ１２０度、９０度、および７２度（等）をなす点で、それらの光軸 は円板と交差する。

【００１９】 タンデム走査顕微鏡は、複数の円板を持って、たとえば照明ビームに１つの円 板と写像ビーム内に１つの円板を於いて製作されることができる。もしこれらの 円板が同期されれば、対称性の要求は出されない。しかし、それら円板は同一で なければならない。 タンデム走査顕微鏡はまた、本考案の範囲に於いては、寸法に於いて同一では ないが、幾何学的には類似の複数の円板を持つものである。すなわち、それらの 孔パターンは、目盛りを除いて同一である。このようなタンデム走査顕微鏡は、 対物レンズと試料との間では共焦点であるだろうが、ここに述べたタンデム走査 顕微鏡の作用上の効果をもたせるために、照明または写像のビーム（または両方 のビーム）の中に別の光学的要素を含むことになるだろう。ここに述べられた任 意の鏡像である円板パターンもまた考えられる。

【００２０】 孔の形状は、次のものを含み、任意に選べるが、それらに限定されるものでは ない。円形、正方形、六角形、八角形、長方形、その他の幾何学的形状。更に、 いかなる非円形孔への志向を制限するものではない。孔の寸法（絶対及び相対） は、全ての特定の用途に合うように変更されてよい。上の記述に含まれている説 明は、存在する可能性のある螺旋数の選択、あるいは円板、孔、または孔のパタ ーン寸法またはバラメーターのいずれを限定することも意味するものではない。 本考案のこれらの記述は、説明と図示の目的のため、特定の好適な実施例につ いて行われた。しかしながら、本考案の本質から乖離することなく、多くの修正 と変更がなされ得ることは当業者にとって明らかであろう。 下記のクレームの出願人の意図は、この請求が規定するような、本考案の範囲 の中で行われるこのような修正と変更をまとめることである。

【図面の簡単な説明】

【図１】タンデム走査顕微鏡（タンデム走査顕微鏡）内
の共焦点写像光系路図である。

【図２】本考案によタンデム走査顕微鏡の実際配置図で
ある。

【図３】本考案によるタンデム走査顕微鏡内に用いられ
る走査円板の孔パターンの図である。

【図４】図３のパターンの孔の数学的関係を示す。

【図５】図３の走査円板のパターンでの孔の幾何学的関
係を示す図である。

【符号の説明】

０１，０２ 対物レンズ １４ 照明 １６ 反射光 １８ 観察孔 ２２ 焦点面 ３２ スタンド ３６ 試料プラットフォーム

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 ジョン ディー フェアリング アメリカ合衆国 ミズーリー州 63011 ボールドウィン ウェストウッド ドライ ヴ 809 (72)考案者 ジェフリー シー ブックホールズ アメリカ合衆国 ウィスコンシン州 53528クロス プレインズ マーティンズ ヴィル ロード 7699

Claims (5)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 光学写像システム内に使用される走査装
   置に於いて、上記の走査装置は、 円板周辺の環状パターン内で形成されている孔を有する
   不透明円板によって構成され、 上記の孔は、環状パターン内で、下記の関係に従って決
   定される長さＲ_n を有する半径方向の動径によって規定
   される一連の近接した弓状で半径方向に伸びる腕の中に
   配分され、 Ｒ_n ＝〔Ｒ_n-1 ＋（Ｒ_n-1 ²＋４Ｋ)^1/2〕／２ ここで、Ｒ_n-1 は、以前の半径方向の動径であり、Ｋは
   定数であり、動径の指向角度Ｔは次式によって決めら
   れ、 Ｔ＝ Cos^-1（Ｒ_n ² ＋Ｒ_n+1 ²Ｌ²)／（２Ｒ_n Ｒ_n+1) ここでＬは半径方向の動径端の間の距離であることを特
   徴とする走査装置。
2. 【請求項２】 タンデム走査顕微鏡において、 光を透過させる領域の回転アレイによって構成される回
   転アレイであって、上記の領域は、環状パターン内で、
   下記の関係に従って決定される長さＲ_n を有する半径方
   向の動径によって規定される一連の近接した弓状で半径
   方向に伸びる腕の中に配分され、 Ｒ_n ＝〔Ｒ_n-1 ＋（Ｒ_n-1 ²＋４Ｋ)^1/2〕／２ ここで、Ｒ_n-1 は、以前の半径方向の動径であり、Ｋは
   定数であり、動径の指向角度Ｔは次式によって決めら
   れ、 Ｔ＝ Cos^-1（Ｒ_n ² ＋Ｒ_n+1 ²Ｌ²)／（２Ｒ_n Ｒ_n+1) ここでＬは半径方向の動径端の間の距離である回転アレ
   イ、 試料視野内で走査し、焦点面で斑点を照明する一連のビ
   ームとしての入射光を設けるアレイ領域を有する手段、
   及び焦点面内で照明された斑点からの反射光を接眼鏡の
   焦点面で走査しているアレイ領域の上に写像する手段に
   よって構成されることを特徴とするタンデム走査顕微
   鏡。
3. 【請求項３】 光透過領域は、微細加工されたシリコン
   円板内に形成されていることを特徴とする請求項２記載
   の装置。
4. 【請求項４】 光透過領域が方形孔として形成されてい
   ることを特徴とする請求項３記載の装置。
5. 【請求項５】 タンデム走査顕微鏡に於いて、 微細加工されたシリコン構造内に形成された孔のアレイ
   を有する回転円板、 試料視野内で走査し、焦点面内の斑点を照明する一連の
   ビームとして入射光を設ける孔のアレイの領域と連動す
   る手段、及び焦点面内の照明された斑点からの反射光を
   接眼鏡の焦点面内で走査しているアレイの孔の上に写像
   する手段によって構成されることを特徴とするタンデム
   走査顕微鏡。