JPH10227643A - 振動ジャイロ - Google Patents
振動ジャイロInfo
- Publication number
- JPH10227643A JPH10227643A JP9032191A JP3219197A JPH10227643A JP H10227643 A JPH10227643 A JP H10227643A JP 9032191 A JP9032191 A JP 9032191A JP 3219197 A JP3219197 A JP 3219197A JP H10227643 A JPH10227643 A JP H10227643A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output
- piezoelectric element
- vibrating body
- vibrating
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 検出用圧電素子の電圧出力および加算回路の
電圧出力のオフセット電圧の変動に対して発振出力用の
コンパレータから安定したデューティサイクル５０％の
矩形波出力を得る振動ジャイロを提供する。 【解決手段】 弾性金属或は半導体を多角柱状に形成し
て支持部４０を介してフレーム部３０に一体に構成され
る振動体１を具備し、振動体１に駆動用圧電素子２およ
び１対の検出用圧電素子３ａおよび３ｂを形成して単一
電源で動作する帰還型自励発振回路１０により振動体１
を駆動振動させて角速度を検出する振動ジャイロにおい
て、帰還型自励発振回路は検出用圧電素子の加算出力４
を位相調整した結果の出力電圧と加算出力４のオフセッ
トとに基づいて矩形波を生成するものである振動ジャイ
ロ。
電圧出力のオフセット電圧の変動に対して発振出力用の
コンパレータから安定したデューティサイクル５０％の
矩形波出力を得る振動ジャイロを提供する。 【解決手段】 弾性金属或は半導体を多角柱状に形成し
て支持部４０を介してフレーム部３０に一体に構成され
る振動体１を具備し、振動体１に駆動用圧電素子２およ
び１対の検出用圧電素子３ａおよび３ｂを形成して単一
電源で動作する帰還型自励発振回路１０により振動体１
を駆動振動させて角速度を検出する振動ジャイロにおい
て、帰還型自励発振回路は検出用圧電素子の加算出力４
を位相調整した結果の出力電圧と加算出力４のオフセッ
トとに基づいて矩形波を生成するものである振動ジャイ
ロ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、振動ジャイロに
関し、特に、振動体を自励発振駆動する帰還型自励発振
回路を具備する振動ジャイロに関する。
関し、特に、振動体を自励発振駆動する帰還型自励発振
回路を具備する振動ジャイロに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来例を図２および図３を参照して説明
する。図２において、１は弾性金属或は半導体により構
成される振動ジャイロの振動体を示す。この振動体１
は、図３に示される如く６角柱状に構成され、支持部４
０を介してフレーム部３０に一体に構成されている。こ
の振動体１の上面の中央部には駆動用圧電素子２が形成
される。この駆動用圧電素子２はジルコンチタン酸鉛
（ＰＺＴ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）その他の圧電材料を、
振動体１の上面の中央部に直接にスパッタリング或は蒸
着することにより被着形成される。振動体１の下側の斜
面の中央部には検出用圧電素子３ａおよび検出用圧電素
子３ｂが形成される。この検出用圧電素子３ａおよび検
出用圧電素子３ｂも、駆動用圧電素子２と同様に、ジル
コンチタン酸鉛（ＰＺＴ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）その他
の圧電材料を振動体１の下側の斜面の中央部に直接にス
パッタリング或は蒸着することにより形成される。これ
らの圧電素子にはそれぞれ圧電素子電極被膜が成膜され
る。
する。図２において、１は弾性金属或は半導体により構
成される振動ジャイロの振動体を示す。この振動体１
は、図３に示される如く６角柱状に構成され、支持部４
０を介してフレーム部３０に一体に構成されている。こ
の振動体１の上面の中央部には駆動用圧電素子２が形成
される。この駆動用圧電素子２はジルコンチタン酸鉛
（ＰＺＴ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）その他の圧電材料を、
振動体１の上面の中央部に直接にスパッタリング或は蒸
着することにより被着形成される。振動体１の下側の斜
面の中央部には検出用圧電素子３ａおよび検出用圧電素
子３ｂが形成される。この検出用圧電素子３ａおよび検
出用圧電素子３ｂも、駆動用圧電素子２と同様に、ジル
コンチタン酸鉛（ＰＺＴ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）その他
の圧電材料を振動体１の下側の斜面の中央部に直接にス
パッタリング或は蒸着することにより形成される。これ
らの圧電素子にはそれぞれ圧電素子電極被膜が成膜され
る。
【０００３】４は加算回路であり、１０は位相調整用フ
ィルタ６およびコンパレータ７より成る帰還型自励発振
回路である。駆動用圧電素子２の電極は発振回路１０に
接続し、検出用圧電素子３ａおよび検出用圧電素子３ｂ
の電極は加算回路４に接続している。なお、弾性金属或
は半導体より成る振動体１のこれら圧電素子の形成され
る表面自体は、これら圧電素子それぞれの他方の電極を
構成している。回路を単一電源で駆動させる必要上、振
動体１に定電圧素子８から基準電圧が付与されている。
ィルタ６およびコンパレータ７より成る帰還型自励発振
回路である。駆動用圧電素子２の電極は発振回路１０に
接続し、検出用圧電素子３ａおよび検出用圧電素子３ｂ
の電極は加算回路４に接続している。なお、弾性金属或
は半導体より成る振動体１のこれら圧電素子の形成され
る表面自体は、これら圧電素子それぞれの他方の電極を
構成している。回路を単一電源で駆動させる必要上、振
動体１に定電圧素子８から基準電圧が付与されている。
【０００４】発振回路１０の発振振動数は振動体１の駆
動方向の固有振動数と同一の振動数の駆動信号を発生す
る。この駆動信号が駆動用圧電素子２に印加され、これ
により振動体１は図２において上下方向に屈曲振動せし
めらる。そして、振動体１はその上下方向の歪みの大き
さおよび振動数に対応して図２における左右方向にも屈
曲振動し、検出用圧電素子３ａおよび検出用圧電素子３
ｂはそれぞれこの屈曲振動に対応する電圧出力を発生す
る。
動方向の固有振動数と同一の振動数の駆動信号を発生す
る。この駆動信号が駆動用圧電素子２に印加され、これ
により振動体１は図２において上下方向に屈曲振動せし
めらる。そして、振動体１はその上下方向の歪みの大き
さおよび振動数に対応して図２における左右方向にも屈
曲振動し、検出用圧電素子３ａおよび検出用圧電素子３
ｂはそれぞれこの屈曲振動に対応する電圧出力を発生す
る。
【０００５】振動体１を上下方向に駆動振動している時
に入力軸である振動体の軸回りの角速度が入力される
と、左右方向にコリオリ力が生じて振動体１には左右方
向の力が作用する。このコリオリ力により振動体１の振
動方向がずれるところから検出用圧電素子３の出力電圧
は変化する。この場合、検出用圧電素子３ａおよび検出
用圧電素子３ｂの内の一方の出力は増加するのに対し
て、他方の検出用圧電素子の出力は減少する。何れか一
方の検出用圧電素子３の出力の変化量、或は両者の出力
の差動出力の変化量を加算回路４により加算出力する。
に入力軸である振動体の軸回りの角速度が入力される
と、左右方向にコリオリ力が生じて振動体１には左右方
向の力が作用する。このコリオリ力により振動体１の振
動方向がずれるところから検出用圧電素子３の出力電圧
は変化する。この場合、検出用圧電素子３ａおよび検出
用圧電素子３ｂの内の一方の出力は増加するのに対し
て、他方の検出用圧電素子の出力は減少する。何れか一
方の検出用圧電素子３の出力の変化量、或は両者の出力
の差動出力の変化量を加算回路４により加算出力する。
【０００６】ここで、図５を参照するに、加算回路４の
加算出力は（ａ）に示される通りの位相、振幅を有する
Ａ’である。位相調整用フィルタ６はこの加算出力Ａ’
に対して、定電圧素子８の基準電圧Ｃ’を基準にして駆
動用圧電素子２から駆動用のコンパレータ７までの位相
をほぼ０°にする位相調整を施し、出力する回路であ
る。この位相調整用フィルタ６の出力は（ｂ）に示され
るＢ’であり、これとコンパレータの閾値として（ｃ）
の基準電圧Ｃ’をコンパレータ７に入力する。これらの
比較結果である（ｄ）の矩形波Ｄ’を駆動信号として振
動体１の駆動用圧電素子２に印加することにより振動体
１を自励発振駆動している。
加算出力は（ａ）に示される通りの位相、振幅を有する
Ａ’である。位相調整用フィルタ６はこの加算出力Ａ’
に対して、定電圧素子８の基準電圧Ｃ’を基準にして駆
動用圧電素子２から駆動用のコンパレータ７までの位相
をほぼ０°にする位相調整を施し、出力する回路であ
る。この位相調整用フィルタ６の出力は（ｂ）に示され
るＢ’であり、これとコンパレータの閾値として（ｃ）
の基準電圧Ｃ’をコンパレータ７に入力する。これらの
比較結果である（ｄ）の矩形波Ｄ’を駆動信号として振
動体１の駆動用圧電素子２に印加することにより振動体
１を自励発振駆動している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】以上の振動ジャイロの
発振回路１０は、検出用圧電素子３ａおよび検出用圧電
素子３ｂの出力或は加算回路４の出力Ａ’にオフセット
が含まれると、出力Ａ’はオフセットの分だけ信号レベ
ルが変化する。従って、出力Ａ’がコンパレータ７の基
準電圧Ｃ’を通過するタイミングは図５（ｂ）に示され
る如くオフセットを通過するタイミングとは異なる。コ
ンパレータ７はこの基準電圧Ｃ’を閾値電圧Ｃ’とする
ものであり、図５（ｃ）および図５（ｄ）に示される如
く、コンパレータ７の出力Ｄ’のデューティサイクルは
５０％から変動し、振動体１を安定して駆動することが
困難になる。これに起因して、検出角速度および出力バ
イアスが変動し、振動ジャイロの動作は正確性を欠くに
到る。
発振回路１０は、検出用圧電素子３ａおよび検出用圧電
素子３ｂの出力或は加算回路４の出力Ａ’にオフセット
が含まれると、出力Ａ’はオフセットの分だけ信号レベ
ルが変化する。従って、出力Ａ’がコンパレータ７の基
準電圧Ｃ’を通過するタイミングは図５（ｂ）に示され
る如くオフセットを通過するタイミングとは異なる。コ
ンパレータ７はこの基準電圧Ｃ’を閾値電圧Ｃ’とする
ものであり、図５（ｃ）および図５（ｄ）に示される如
く、コンパレータ７の出力Ｄ’のデューティサイクルは
５０％から変動し、振動体１を安定して駆動することが
困難になる。これに起因して、検出角速度および出力バ
イアスが変動し、振動ジャイロの動作は正確性を欠くに
到る。
【０００８】この発明は、上述の問題を解消した振動体
を自励発振駆動する帰還型自励発振回路を具備する振動
ジャイロを提供するものである。
を自励発振駆動する帰還型自励発振回路を具備する振動
ジャイロを提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】弾性金属或は半導体を多
角柱状に形成して支持部４０を介してフレーム部３０に
一体に構成される振動体１を具備し、振動体１に駆動用
圧電素子２および１対の検出用圧電素子３ａおよび３ｂ
を形成して単一電源で動作する帰還型自励発振回路１０
により振動体１を駆動振動させて角速度を検出する振動
ジャイロにおいて、帰還型自励発振回路は検出用圧電素
子の加算出力を位相調整した結果の出力電圧と加算出力
のオフセットとに基づいて矩形波を生成するものである
振動ジャイロを構成した。
角柱状に形成して支持部４０を介してフレーム部３０に
一体に構成される振動体１を具備し、振動体１に駆動用
圧電素子２および１対の検出用圧電素子３ａおよび３ｂ
を形成して単一電源で動作する帰還型自励発振回路１０
により振動体１を駆動振動させて角速度を検出する振動
ジャイロにおいて、帰還型自励発振回路は検出用圧電素
子の加算出力を位相調整した結果の出力電圧と加算出力
のオフセットとに基づいて矩形波を生成するものである
振動ジャイロを構成した。
【００１０】そして、帰還型自励発振回路１０は加算回
路４の出力を入力してそのオフセットを生成するオフセ
ット電圧用フィルタ５、加算回路４の出力を位相調整す
る位相調整用フィルタ６、オフセット電圧用フィルタ５
の生成するオフセット電圧Ｃ o と位相調整用フィルタ６
の位相調整出力電圧Ｂとを入力して矩形波を生成するコ
ンパレータ７より成るものである振動ジャイロを構成し
た。
路４の出力を入力してそのオフセットを生成するオフセ
ット電圧用フィルタ５、加算回路４の出力を位相調整す
る位相調整用フィルタ６、オフセット電圧用フィルタ５
の生成するオフセット電圧Ｃ o と位相調整用フィルタ６
の位相調整出力電圧Ｂとを入力して矩形波を生成するコ
ンパレータ７より成るものである振動ジャイロを構成し
た。
【００１１】また、オフセット電圧用フィルタ５は抵抗
を入力端とする逆Ｌ型ＲＣフィルタより成るものである
振動ジャイロを構成した。
を入力端とする逆Ｌ型ＲＣフィルタより成るものである
振動ジャイロを構成した。
【００１２】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を図１を参
照して説明する。図１において、図２における参照数字
と共通する参照数字は互に共通する部材を意味するもの
とする。振動体１は、図２の従来例と同様に、６角柱状
に構成されている。この振動体１の上面の中央部には駆
動用圧電素子２が形成される。振動体１の下側の斜面の
中央部には検出用圧電素子３ａおよび検出用圧電素子３
ｂが形成される。これらの圧電素子にはそれぞれ圧電素
子電極被膜が成膜される。駆動用圧電素子２の電極は帰
還型自励発振回路１０に接続し、検出用圧電素子３ａお
よび検出用圧電素子３ｂの電極は加算回路４に接続して
いる。なお、弾性金属或は半導体より成る振動体１のこ
れら圧電素子の形成される表面自体は、これら圧電素子
それぞれの他方の電極を構成している。回路を単一電源
で駆動させる必要上、振動体１に定電圧素子８から基準
電圧が付与されている。
照して説明する。図１において、図２における参照数字
と共通する参照数字は互に共通する部材を意味するもの
とする。振動体１は、図２の従来例と同様に、６角柱状
に構成されている。この振動体１の上面の中央部には駆
動用圧電素子２が形成される。振動体１の下側の斜面の
中央部には検出用圧電素子３ａおよび検出用圧電素子３
ｂが形成される。これらの圧電素子にはそれぞれ圧電素
子電極被膜が成膜される。駆動用圧電素子２の電極は帰
還型自励発振回路１０に接続し、検出用圧電素子３ａお
よび検出用圧電素子３ｂの電極は加算回路４に接続して
いる。なお、弾性金属或は半導体より成る振動体１のこ
れら圧電素子の形成される表面自体は、これら圧電素子
それぞれの他方の電極を構成している。回路を単一電源
で駆動させる必要上、振動体１に定電圧素子８から基準
電圧が付与されている。
【００１３】帰還型自励発振回路１０の発振振動数は振
動体１の駆動方向の固有振動数と同一の振動数の駆動信
号を発生する。この駆動信号が駆動用圧電素子２に印加
されてこれにより振動体１は図１において上下方向に屈
曲振動せしめらる。そして、振動体１はその上下方向の
歪みの大きさおよび振動数に対応して図１における左右
方向にも屈曲振動し、検出用圧電素子３ａおよび検出用
圧電素子３ｂはそれぞれこの屈曲振動に対応する電圧出
力を発生する。
動体１の駆動方向の固有振動数と同一の振動数の駆動信
号を発生する。この駆動信号が駆動用圧電素子２に印加
されてこれにより振動体１は図１において上下方向に屈
曲振動せしめらる。そして、振動体１はその上下方向の
歪みの大きさおよび振動数に対応して図１における左右
方向にも屈曲振動し、検出用圧電素子３ａおよび検出用
圧電素子３ｂはそれぞれこの屈曲振動に対応する電圧出
力を発生する。
【００１４】ここで、振動体１が上下方向に駆動振動し
ている時に入力軸である振動体の軸回りの角速度が入力
されると、左右方向にコリオリ力が生じて振動体１には
左右方向の力が作用する。このコリオリ力により振動体
１の振動方向がずれるところから検出用圧電素子３の出
力電圧は変化する。この場合、検出用圧電素子３ａおよ
び検出用圧電素子３ｂの内の一方の出力は増加するのに
対して、他方の検出用圧電素子の出力は減少する。何れ
か一方の検出用圧電素子３の出力の変化量、或は両者の
出力の差動出力の変化量を加算回路４により加算出力す
る。
ている時に入力軸である振動体の軸回りの角速度が入力
されると、左右方向にコリオリ力が生じて振動体１には
左右方向の力が作用する。このコリオリ力により振動体
１の振動方向がずれるところから検出用圧電素子３の出
力電圧は変化する。この場合、検出用圧電素子３ａおよ
び検出用圧電素子３ｂの内の一方の出力は増加するのに
対して、他方の検出用圧電素子の出力は減少する。何れ
か一方の検出用圧電素子３の出力の変化量、或は両者の
出力の差動出力の変化量を加算回路４により加算出力す
る。
【００１５】図４を参照するに、加算回路４の加算出力
は図４（ａ）に示される通りのＡである。この発明はこ
の加算出力Ａをオフセット電圧用フィルタ５に入力し、
図４（ｃ）のオフセット電圧Ｃo を発生出力する。この
オフセット電圧Ｃo を位相調整用フィルタ６に印加する
と共に、この位相調整用フィルタ６には加算回路４の加
算出力Ａも印加し、位相調整用フィルタ６は加算出力Ａ
に対してこのオフセット電圧Ｃo を基準にして駆動用圧
電素子２から駆動用コンパレータ７までの位相をほぼ０
°にする位相調整を施して出力する。この位相調整用フ
ィルタ６の出力である図４（ｂ）のＢと先のオフセット
電圧用フィルタ５の出力するのオフセット電圧Ｃo をコ
ンパレータ７に入力する。これらの比較結果である図４
（ｄ）の矩形波Ｄを振動体１の駆動用圧電素子２に印加
することにより振動体１の自励発振駆動が行なわれる。
は図４（ａ）に示される通りのＡである。この発明はこ
の加算出力Ａをオフセット電圧用フィルタ５に入力し、
図４（ｃ）のオフセット電圧Ｃo を発生出力する。この
オフセット電圧Ｃo を位相調整用フィルタ６に印加する
と共に、この位相調整用フィルタ６には加算回路４の加
算出力Ａも印加し、位相調整用フィルタ６は加算出力Ａ
に対してこのオフセット電圧Ｃo を基準にして駆動用圧
電素子２から駆動用コンパレータ７までの位相をほぼ０
°にする位相調整を施して出力する。この位相調整用フ
ィルタ６の出力である図４（ｂ）のＢと先のオフセット
電圧用フィルタ５の出力するのオフセット電圧Ｃo をコ
ンパレータ７に入力する。これらの比較結果である図４
（ｄ）の矩形波Ｄを振動体１の駆動用圧電素子２に印加
することにより振動体１の自励発振駆動が行なわれる。
【００１６】ここで、加算出力Ａのオフセットが変動し
た時、位相調整用フィルタ６の出力Ｂのオフセットと、
オフセット電圧用フィルタ５から出力されるオフセット
電圧は共に同様に変動するところから、コンパレータ７
においては常に入力の高低の中間の電圧を基準として矩
形波を出力することになる。その結果、波形のデューテ
ィサイクルは５０％となり、振動体１を安定して駆動さ
せることになる。従って、動作状態の安定した振動ジャ
イロを得ることができる。
た時、位相調整用フィルタ６の出力Ｂのオフセットと、
オフセット電圧用フィルタ５から出力されるオフセット
電圧は共に同様に変動するところから、コンパレータ７
においては常に入力の高低の中間の電圧を基準として矩
形波を出力することになる。その結果、波形のデューテ
ィサイクルは５０％となり、振動体１を安定して駆動さ
せることになる。従って、動作状態の安定した振動ジャ
イロを得ることができる。
【００１７】
【発明の効果】以上の通りであって、この発明は、振動
ジャイロの帰還型自励発振回路において、振動体の検出
用圧電素子の電圧出力の加算結果の位相調整出力とその
オフセット電圧を比較することにより常に電圧出力の中
間電圧を基準にした比較をすることとなり、検出用圧電
素子の電圧出力および加算回路の電圧出力のオフセット
電圧の変動に対して発振出力用のコンパレータから安定
したデューティサイクル５０％の矩形波出力が得られ
る。従って、振動状態が安定した振動ジャイロが得られ
る。
ジャイロの帰還型自励発振回路において、振動体の検出
用圧電素子の電圧出力の加算結果の位相調整出力とその
オフセット電圧を比較することにより常に電圧出力の中
間電圧を基準にした比較をすることとなり、検出用圧電
素子の電圧出力および加算回路の電圧出力のオフセット
電圧の変動に対して発振出力用のコンパレータから安定
したデューティサイクル５０％の矩形波出力が得られ
る。従って、振動状態が安定した振動ジャイロが得られ
る。
【図１】実施例を説明する図。
【図２】従来例を説明する図。
【図３】振動体を説明する図。
【図４】実施例の電圧波形を説明する図。
【図５】従来例の電圧波形を説明する図。
１ 振動体 ２ 駆動用圧電素子 ３ａ、３ｂ 検出用圧電素子 ４ 加算回路 ５ オフセット電圧用フィルタ ６ 位相調整用フィルタ １０ 発振回路 ３０ フレーム部 ４０ 支持部
Claims (3)
- 【請求項１】 弾性金属或は半導体を多角柱状に形成し
て支持部を介してフレーム部に一体に構成される振動体
を具備し、振動体に駆動用圧電素子および１対の検出用
圧電素子を形成して単一電源で動作する帰還型自励発振
回路により振動体を駆動振動させて角速度を検出する振
動ジャイロにおいて、 帰還型自励発振回路は検出用圧電素子の加算出力を位相
調整した結果の出力電圧と加算出力のオフセットとに基
づいて矩形波を生成するものであることを特徴とする振
動ジャイロ。 - 【請求項２】 請求項１に記載される振動ジャイロにお
いて、 帰還型自励発振回路は加算回路の加算出力を入力してそ
のオフセットを生成するオフセット電圧用フィルタ、加
算回路の加算出力を位相調整する位相調整用フィルタ、
オフセット電圧用フィルタの生成するオフセット電圧と
位相調整用フィルタの位相調整出力電圧とを入力して矩
形波を生成するコンパレータより成るものであることを
特徴とする振動ジャイロ。 - 【請求項３】 請求項２に記載される振動ジャイロにお
いて、 オフセット電圧用フィルタは抵抗を入力端とする逆Ｌ型
ＲＣフィルタより成るものであることを特徴とする振動
ジャイロ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03219197A JP3718786B2 (ja) | 1997-02-17 | 1997-02-17 | 振動ジャイロ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03219197A JP3718786B2 (ja) | 1997-02-17 | 1997-02-17 | 振動ジャイロ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10227643A true JPH10227643A (ja) | 1998-08-25 |
| JP3718786B2 JP3718786B2 (ja) | 2005-11-24 |
Family
ID=12352020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03219197A Expired - Fee Related JP3718786B2 (ja) | 1997-02-17 | 1997-02-17 | 振動ジャイロ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3718786B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004286503A (ja) * | 2003-03-20 | 2004-10-14 | Ngk Insulators Ltd | 振動子の駆動方法および振動子の駆動装置 |
| US7210349B2 (en) | 2004-07-14 | 2007-05-01 | Sony Corporation | Drive circuit of oscillation gyro |
| US9261364B2 (en) | 2011-08-26 | 2016-02-16 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Driving circuit, system, and driving method for gyro sensor |
| CN110530354A (zh) * | 2019-07-22 | 2019-12-03 | 北京航天时代激光导航技术有限责任公司 | 一种单边供电的激光陀螺抖动电路及抖动控制方法 |
-
1997
- 1997-02-17 JP JP03219197A patent/JP3718786B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004286503A (ja) * | 2003-03-20 | 2004-10-14 | Ngk Insulators Ltd | 振動子の駆動方法および振動子の駆動装置 |
| US7210349B2 (en) | 2004-07-14 | 2007-05-01 | Sony Corporation | Drive circuit of oscillation gyro |
| US9261364B2 (en) | 2011-08-26 | 2016-02-16 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Driving circuit, system, and driving method for gyro sensor |
| CN110530354A (zh) * | 2019-07-22 | 2019-12-03 | 北京航天时代激光导航技术有限责任公司 | 一种单边供电的激光陀螺抖动电路及抖动控制方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3718786B2 (ja) | 2005-11-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100267815B1 (ko) | 진동자이로스코프 | |
| JP4668407B2 (ja) | 角速度センサ | |
| CN1894558A (zh) | 借助转速科式陀螺测量转速/加速度的方法和实现该方法的科式陀螺 | |
| US7387025B2 (en) | Angular velocity sensor | |
| JPH10221083A (ja) | 振動型ジャイロ装置 | |
| JP2002228453A (ja) | 振動ジャイロおよびその温度ドリフト調整方法 | |
| JPH10227643A (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP2007263941A (ja) | 角速度センサおよびその製造方法 | |
| JPH11183178A (ja) | マイクロ振動体 | |
| KR100198308B1 (ko) | 진동 자이로스코프 | |
| JP2996157B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP3732582B2 (ja) | 角速度検出装置 | |
| EP0658743A1 (en) | Vibrating gyroscope | |
| JPH07139952A (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP2005345404A (ja) | 圧電振動ジャイロ用振動子及びその製造方法 | |
| EP0717263A1 (en) | Vibrating gyroscope | |
| JPH1054722A (ja) | 角速度検出装置 | |
| JPH09105637A (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP2007071654A (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP5041465B2 (ja) | 振動子駆動回路 | |
| JP3166484B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP3028999B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP4044547B2 (ja) | 圧電振動ジャイロ | |
| JPH07270165A (ja) | 振動ジャイロ装置 | |
| JP2006266969A (ja) | 音叉形圧電振動ジャイロ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040113 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050602 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050809 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050824 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080916 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090916 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100916 Year of fee payment: 5 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |