JPH10227708A - 複合機能形センサ - Google Patents
複合機能形センサInfo
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- JPH10227708A JPH10227708A JP9031899A JP3189997A JPH10227708A JP H10227708 A JPH10227708 A JP H10227708A JP 9031899 A JP9031899 A JP 9031899A JP 3189997 A JP3189997 A JP 3189997A JP H10227708 A JPH10227708 A JP H10227708A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 差圧又は絶対圧を検出する圧力センサと、加
速度を検出するセンサを、１のセンシング素子で構成す
る複合機能形センサを得る。 【解決手段】 ダイヤフラム２の一面にゲージ抵抗３を
設けると共に、ダイヤフラム２の一面側に近接して磁石
４を設け、ダイヤフラム２の他面側にはロッド１を接触
させ、更にロッド１とセンサステム９の間に隙間を設け
て、圧力と加速度を１個のセンサで測定可能としたもの
である。
速度を検出するセンサを、１のセンシング素子で構成す
る複合機能形センサを得る。 【解決手段】 ダイヤフラム２の一面にゲージ抵抗３を
設けると共に、ダイヤフラム２の一面側に近接して磁石
４を設け、ダイヤフラム２の他面側にはロッド１を接触
させ、更にロッド１とセンサステム９の間に隙間を設け
て、圧力と加速度を１個のセンサで測定可能としたもの
である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、圧力及び加速度
を１つの機器で検出する複合機能形のセンサに関するも
のであり、特に高精度の圧力信号と安価で信頼性の高い
加速度信号を得ることができるセンサに関するものであ
る。
を１つの機器で検出する複合機能形のセンサに関するも
のであり、特に高精度の圧力信号と安価で信頼性の高い
加速度信号を得ることができるセンサに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】図６は例えば特開昭６３−４０３７９号
公報に示された従来の加速度センサを示す平面図、図７
は図６におけるＸ−Ｘ線断面図である。すなわち、従来
の加速度センサは、図７に示すように、ダイヤフラム２
０には、重り部２１を中央にしてその左右両側に撓み部
２２，２３があり、この撓み部に、従来と同様にゲージ
抵抗Ｒ1，Ｒ3を備えた構成をとっている。ここで、ゲー
ジ抵抗Ｒ1，Ｒ3は、厚さが約１０μｍの撓み部２２，２
３の付け根位置に設けられているが、この理由は、加速
度による重り部２１の降下に際してこの付け根位置に最
も大きな応力が発生することによる。
公報に示された従来の加速度センサを示す平面図、図７
は図６におけるＸ−Ｘ線断面図である。すなわち、従来
の加速度センサは、図７に示すように、ダイヤフラム２
０には、重り部２１を中央にしてその左右両側に撓み部
２２，２３があり、この撓み部に、従来と同様にゲージ
抵抗Ｒ1，Ｒ3を備えた構成をとっている。ここで、ゲー
ジ抵抗Ｒ1，Ｒ3は、厚さが約１０μｍの撓み部２２，２
３の付け根位置に設けられているが、この理由は、加速
度による重り部２１の降下に際してこの付け根位置に最
も大きな応力が発生することによる。
【０００３】なお、撓み部は図６に示すように、左右の
撓み部２２，２３のみならず、上下にも撓み部２４，２
５として十字形に設けてあり、それぞれゲージ抵抗
Ｒ2，Ｒ4を備えている。ここで、ゲージ抵抗Ｒ1，Ｒ2，
Ｒ3，Ｒ4は、ｎ形のＳｉウエハの撓み部に硼素（Ｂ）を
約２μｍの深さに拡散させ、コの字状のパターン形状に
作られているが、ここでＲ1とＲ3は抵抗パターンの長手
方向が応力発生方向と平行となるように、またＲ2とＲ4
は抵抗パターンの長手方向が応力発生方向と直角となる
ように形成されており、これによりピエゾ抵抗の符号が
反対となるようにしている。
撓み部２２，２３のみならず、上下にも撓み部２４，２
５として十字形に設けてあり、それぞれゲージ抵抗
Ｒ2，Ｒ4を備えている。ここで、ゲージ抵抗Ｒ1，Ｒ2，
Ｒ3，Ｒ4は、ｎ形のＳｉウエハの撓み部に硼素（Ｂ）を
約２μｍの深さに拡散させ、コの字状のパターン形状に
作られているが、ここでＲ1とＲ3は抵抗パターンの長手
方向が応力発生方向と平行となるように、またＲ2とＲ4
は抵抗パターンの長手方向が応力発生方向と直角となる
ように形成されており、これによりピエゾ抵抗の符号が
反対となるようにしている。
【０００４】また、上側の基板２６には入力端子２７，
２８と測定端子２９，３０があり、これよりそれぞれの
ゲージ抵抗Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3，Ｒ4に配線パターン３１が形
成され、図８に示すような抵抗ブリッジ形に結線してあ
るが、この従来例の場合は、厚さが約８０００Åのアル
ミニウム（Ａｌ）蒸着膜で形成し、配線パターン３１の
幅は２０μｍとしている。
２８と測定端子２９，３０があり、これよりそれぞれの
ゲージ抵抗Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3，Ｒ4に配線パターン３１が形
成され、図８に示すような抵抗ブリッジ形に結線してあ
るが、この従来例の場合は、厚さが約８０００Åのアル
ミニウム（Ａｌ）蒸着膜で形成し、配線パターン３１の
幅は２０μｍとしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の加速度検出器
は、以上のように構成されているので、圧力信号を検出
することはできないため、圧力信号を加速度信号とは別
に得るため別個のセンサが必要となり、センサの取付場
所に制約がでてくる。また、供給電圧、信号出力のため
の配線やコネクタがそれぞれのセンサに対して必要であ
り、簡素にできないという問題があった。また、センシ
ング素子や、外装部品や内部構成部品がそれぞれのセン
サに対して必要となるため、安価につくることができな
いという問題があった。
は、以上のように構成されているので、圧力信号を検出
することはできないため、圧力信号を加速度信号とは別
に得るため別個のセンサが必要となり、センサの取付場
所に制約がでてくる。また、供給電圧、信号出力のため
の配線やコネクタがそれぞれのセンサに対して必要であ
り、簡素にできないという問題があった。また、センシ
ング素子や、外装部品や内部構成部品がそれぞれのセン
サに対して必要となるため、安価につくることができな
いという問題があった。
【０００６】また、加速度センサの感度をきめる重り部
がダイヤフラムと一体に形成されているため、感度のバ
ラツキが大きく、しかも、感度の調整を重り部の形状や
質量を変化させて対応することができないという問題、
及び、重り部がダイヤフラムと一体に形成されているた
め、ダイヤフラム面に対し、垂直方向以外の加速度がダ
イヤフラムのゲージ抵抗部に応力を及ぼし、測定軸に対
する他軸感度の比率が大きくなるという問題があった。
がダイヤフラムと一体に形成されているため、感度のバ
ラツキが大きく、しかも、感度の調整を重り部の形状や
質量を変化させて対応することができないという問題、
及び、重り部がダイヤフラムと一体に形成されているた
め、ダイヤフラム面に対し、垂直方向以外の加速度がダ
イヤフラムのゲージ抵抗部に応力を及ぼし、測定軸に対
する他軸感度の比率が大きくなるという問題があった。
【０００７】この発明は、上記のような問題点を解消す
るためになされたもので、圧力信号と加速度信号を１個
のセンサで構成することにより、センサの取付場所の制
約が少なくなり、また、供給電圧、信号出力のための配
線やコネクタが簡素にできること、さらにまた、高精度
な圧力センサと、高感度で感度調整幅が広い加速度セン
サを得ることを目的とする。
るためになされたもので、圧力信号と加速度信号を１個
のセンサで構成することにより、センサの取付場所の制
約が少なくなり、また、供給電圧、信号出力のための配
線やコネクタが簡素にできること、さらにまた、高精度
な圧力センサと、高感度で感度調整幅が広い加速度セン
サを得ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
る複合機能形センサは、圧力を検出するためのダイヤフ
ラムと加速度を検出するためのセンシング素子を単一チ
ップで構成する複合機能形センサであって、センサステ
ム上に設けられると共に、表面にゲージ抵抗が配置され
ているダイヤフラムと、ダイヤフラムの表面側に近接し
て配置された磁石と、ダイヤフラムの裏面に接触すると
共に、センサステムに摺動可能に保持された強磁性体か
らなるロッドとを備え、ロッドとセンサステムとの間に
隙間を設けたものである。
る複合機能形センサは、圧力を検出するためのダイヤフ
ラムと加速度を検出するためのセンシング素子を単一チ
ップで構成する複合機能形センサであって、センサステ
ム上に設けられると共に、表面にゲージ抵抗が配置され
ているダイヤフラムと、ダイヤフラムの表面側に近接し
て配置された磁石と、ダイヤフラムの裏面に接触すると
共に、センサステムに摺動可能に保持された強磁性体か
らなるロッドとを備え、ロッドとセンサステムとの間に
隙間を設けたものである。
【０００９】又、この発明の請求項２に係る複合機能形
センサは、センサステム上に設けられると共に、表面に
ゲージ抵抗が配置されているダイヤフラムと、ダイヤフ
ラムの表面側に近接して配置された磁石と、ダイヤフラ
ムの裏面に接触すると共に、センサステムに摺動可能に
保持され、ダイヤフラム側の磁極が磁石の磁極と異なる
極性を有する磁石からなるロッドとを備え、ロッドとセ
ンサステムとの間に隙間を設けたものである。
センサは、センサステム上に設けられると共に、表面に
ゲージ抵抗が配置されているダイヤフラムと、ダイヤフ
ラムの表面側に近接して配置された磁石と、ダイヤフラ
ムの裏面に接触すると共に、センサステムに摺動可能に
保持され、ダイヤフラム側の磁極が磁石の磁極と異なる
極性を有する磁石からなるロッドとを備え、ロッドとセ
ンサステムとの間に隙間を設けたものである。
【００１０】更に、この発明の請求項３に係る複合機能
形センサは、センサステム上に設けられると共に、表面
にゲージ抵抗が配置されているダイヤフラムと、ダイヤ
フラムの表面側に近接して配置された強磁性体と、ダイ
ヤフラムの裏面に接触すると共に、センサステムに摺動
可能に保持された磁石からなるロッドとを備え、ロッド
とセンサステムとの間に隙間を設けたものである。
形センサは、センサステム上に設けられると共に、表面
にゲージ抵抗が配置されているダイヤフラムと、ダイヤ
フラムの表面側に近接して配置された強磁性体と、ダイ
ヤフラムの裏面に接触すると共に、センサステムに摺動
可能に保持された磁石からなるロッドとを備え、ロッド
とセンサステムとの間に隙間を設けたものである。
【００１１】又、この発明の請求項４に係る複合機能形
センサは、センサステムの裏面に、ロッドのダイヤフラ
ム面と接する端面と反対の端面に近接する位置であっ
て、反ダイヤフラム側ロッド面の磁石と同極の磁石を取
付けたものである。
センサは、センサステムの裏面に、ロッドのダイヤフラ
ム面と接する端面と反対の端面に近接する位置であっ
て、反ダイヤフラム側ロッド面の磁石と同極の磁石を取
付けたものである。
【００１２】この発明の請求項５に係る複合機能形セン
サは、ダイヤフラムを、センサステム上に固定された固
定台を介して取付け、ロッドは上記センサステム及び固
定台を貫通しかつセンサステムにスリーブを介して保持
されている。
サは、ダイヤフラムを、センサステム上に固定された固
定台を介して取付け、ロッドは上記センサステム及び固
定台を貫通しかつセンサステムにスリーブを介して保持
されている。
【００１３】
実施の形態１．以下、この発明の一実施形態を図につい
て説明する。図１はこの発明による複合機能形センサを
示す断面図、図２はその一部の拡大断面図である。図に
おいて、加速度を検出する強磁性体または磁石から構成
されるロッド１の先端部（上端）１ａは、受圧部である
ダイヤフラム２の裏面に点接触しており、ダイヤフラム
２のロッド１に接している反対側の面（表面）には、ピ
エゾ抵抗効果を利用して応力を抵抗変換するゲージ抵抗
３が４個以上配置されている。ダイヤフラム２の上方に
は、ダイヤフラム２に近接して磁石４がセンサキャップ
５に接着剤６を介して設置されており、当該磁石４の極
性は、ロッド１が磁石から構成される場合には、ロッド
１のダイヤフラム２側の磁極とは異なる磁性となるよう
にされている。ゲージ抵抗３と外部に接続するリード７
との間はワイヤ８によって接続されている。上記センサ
キャップ５及びリード７はセンサステム９の周縁部及び
その内側にそれぞれ保持されており、ダイヤフラム２は
このセンサステム９の中央部に台座１０を介して固定さ
れている。また、ロッド１はリング状のスリーブ１１を
介してセンサステム９の内径（圧力導入穴）９ａ部に隙
間をあけて摺動可能に保持されている。
て説明する。図１はこの発明による複合機能形センサを
示す断面図、図２はその一部の拡大断面図である。図に
おいて、加速度を検出する強磁性体または磁石から構成
されるロッド１の先端部（上端）１ａは、受圧部である
ダイヤフラム２の裏面に点接触しており、ダイヤフラム
２のロッド１に接している反対側の面（表面）には、ピ
エゾ抵抗効果を利用して応力を抵抗変換するゲージ抵抗
３が４個以上配置されている。ダイヤフラム２の上方に
は、ダイヤフラム２に近接して磁石４がセンサキャップ
５に接着剤６を介して設置されており、当該磁石４の極
性は、ロッド１が磁石から構成される場合には、ロッド
１のダイヤフラム２側の磁極とは異なる磁性となるよう
にされている。ゲージ抵抗３と外部に接続するリード７
との間はワイヤ８によって接続されている。上記センサ
キャップ５及びリード７はセンサステム９の周縁部及び
その内側にそれぞれ保持されており、ダイヤフラム２は
このセンサステム９の中央部に台座１０を介して固定さ
れている。また、ロッド１はリング状のスリーブ１１を
介してセンサステム９の内径（圧力導入穴）９ａ部に隙
間をあけて摺動可能に保持されている。
【００１４】本発明においては、センサキャップ５に取
付けられた磁石４の吸引力により、強磁性体、または磁
石からなるロッド１がダイヤフラム２の裏面に接触し、
このロッド１に働く加速度により、ゲージ抵抗３の抵抗
値が変化する。また、ロッド１の位置決めをするスリー
ブ１１とセンサステム９の境界部より圧力導通が確保で
きるよう隙間をあけることにより、センサ素子の外部圧
力をダイヤフラム２により測定することができる。な
お、センサステム９の内径とロッド１の外径を近接させ
ることにより、スリーブ１１を廃止することもできる。
付けられた磁石４の吸引力により、強磁性体、または磁
石からなるロッド１がダイヤフラム２の裏面に接触し、
このロッド１に働く加速度により、ゲージ抵抗３の抵抗
値が変化する。また、ロッド１の位置決めをするスリー
ブ１１とセンサステム９の境界部より圧力導通が確保で
きるよう隙間をあけることにより、センサ素子の外部圧
力をダイヤフラム２により測定することができる。な
お、センサステム９の内径とロッド１の外径を近接させ
ることにより、スリーブ１１を廃止することもできる。
【００１５】このようにして、圧力を検出するためのダ
イヤフラム２と加速度を検出するためのセンシング素子
を単一チップで構成する複合機能形センサを構成し、ダ
イヤフラム２の裏面に強磁性体または磁石からなるロッ
ド１を接触させ、ダイヤフラム２の表面近傍に磁石４を
設置し、この磁石４の吸引力により、加速度を検出する
ロッド１をセンシング素子であるダイヤフラム２に接触
させる構造としたものである。
イヤフラム２と加速度を検出するためのセンシング素子
を単一チップで構成する複合機能形センサを構成し、ダ
イヤフラム２の裏面に強磁性体または磁石からなるロッ
ド１を接触させ、ダイヤフラム２の表面近傍に磁石４を
設置し、この磁石４の吸引力により、加速度を検出する
ロッド１をセンシング素子であるダイヤフラム２に接触
させる構造としたものである。
【００１６】この発明における複合機能形センサは、上
記のように構成されているので、ダイヤフラム２面に対
し垂直方向の加速度により、ロッド１が上下に変動す
る。そして、左右方向の変動成分は、ロッド１の先端１
ａとダイヤフラム２の裏面が接合されていないため、ダ
イヤフラム２に応力を与えない。また、加速度を検出す
るロッド１を、ダイヤフラム２部を組み立てた後で挿入
できるため、ロッド１の形状、材質、及び磁石４の材
質、設置距離を変えることが容易となり、加速度感度調
整幅の広い加速度センサを得ることができる。また、過
大な加速度や衝撃によりロッド１に過大な加速度が働い
たとき、ダイヤフラム２とロッド１が離れることによ
り、ダイヤフラム２に応力が伝達されなくなり、ダイヤ
フラム２の破壊を防ぐことができる。
記のように構成されているので、ダイヤフラム２面に対
し垂直方向の加速度により、ロッド１が上下に変動す
る。そして、左右方向の変動成分は、ロッド１の先端１
ａとダイヤフラム２の裏面が接合されていないため、ダ
イヤフラム２に応力を与えない。また、加速度を検出す
るロッド１を、ダイヤフラム２部を組み立てた後で挿入
できるため、ロッド１の形状、材質、及び磁石４の材
質、設置距離を変えることが容易となり、加速度感度調
整幅の広い加速度センサを得ることができる。また、過
大な加速度や衝撃によりロッド１に過大な加速度が働い
たとき、ダイヤフラム２とロッド１が離れることによ
り、ダイヤフラム２に応力が伝達されなくなり、ダイヤ
フラム２の破壊を防ぐことができる。
【００１７】さらに、ロッド１とセンサステム９の圧力
導入穴９ａ間にリング状のスリーブ１１を挿入し、しか
もダイヤフラム２部と圧力導通が確保できるよう隙間を
あけることにより、センサ素子の外部圧力をダイヤフラ
ム２により測定することができる。
導入穴９ａ間にリング状のスリーブ１１を挿入し、しか
もダイヤフラム２部と圧力導通が確保できるよう隙間を
あけることにより、センサ素子の外部圧力をダイヤフラ
ム２により測定することができる。
【００１８】上記のようにこの発明によれば、圧力信号
と加速度信号を１個のセンサで構成することにより、セ
ンサの取付場所の制約が少なくなり、また、供給電圧、
信号出力のための配線やコネクタが簡素にできる。ま
た、高精度な圧力センサ、高感度で感度調整幅が広い加
速度センサを得ることができると共に、いうまでもな
く、圧力センサ、または加速度センサ単独としても機能
することができる。
と加速度信号を１個のセンサで構成することにより、セ
ンサの取付場所の制約が少なくなり、また、供給電圧、
信号出力のための配線やコネクタが簡素にできる。ま
た、高精度な圧力センサ、高感度で感度調整幅が広い加
速度センサを得ることができると共に、いうまでもな
く、圧力センサ、または加速度センサ単独としても機能
することができる。
【００１９】実施の形態２．次に、この発明の実施の形
態２について説明する。図３はこの発明の実施の形態２
による複合機能形センサを示す断面図で、図１に対応す
る図である。実施の形態１においては、磁石４をセンサ
キャップ５に接着剤６を介して接着した場合を示した
が、本実施形態では、磁石４の代わりに強磁性体１２を
設置すると共に、ロッド１を磁石で構成したものであ
る。以上のように構成することにより、実施の形態１の
場合と同様、加速度を検出するロッド１をセンシング素
子であるダイヤフラム２に接触させることができる。
態２について説明する。図３はこの発明の実施の形態２
による複合機能形センサを示す断面図で、図１に対応す
る図である。実施の形態１においては、磁石４をセンサ
キャップ５に接着剤６を介して接着した場合を示した
が、本実施形態では、磁石４の代わりに強磁性体１２を
設置すると共に、ロッド１を磁石で構成したものであ
る。以上のように構成することにより、実施の形態１の
場合と同様、加速度を検出するロッド１をセンシング素
子であるダイヤフラム２に接触させることができる。
【００２０】実施の形態３．次に、この発明の実施の形
態３について説明する。図４はこの発明の実施の形態３
による複合機能形センサを示す断面図である。実施の形
態３においては、センサステム９の中央部下面でスリー
ブ１１の挿入部に、凹部１３ｂを有するステム側磁石１
３を、磁石からなるロッド１のロッド下端部１ｂに近接
して固定する。なおその固定方法は、接着材を用いても
よく、又、強磁性体からなるセンサステム９を使用した
場合、この下部の磁石１３の吸引力により固定すること
も可能である。この場合、ロッド下端部１ｂの磁極と、
ステム側磁石１３のロッド１近接部の磁極が同極となる
ように構成することにより、ステム側磁石１３の反発力
を利用してロッド先端部１ａをダイヤフラム２に接触さ
せる。又、ステム側磁石１３には、圧力を導入するため
のステム側磁石切り欠き部１３ａを設けている。
態３について説明する。図４はこの発明の実施の形態３
による複合機能形センサを示す断面図である。実施の形
態３においては、センサステム９の中央部下面でスリー
ブ１１の挿入部に、凹部１３ｂを有するステム側磁石１
３を、磁石からなるロッド１のロッド下端部１ｂに近接
して固定する。なおその固定方法は、接着材を用いても
よく、又、強磁性体からなるセンサステム９を使用した
場合、この下部の磁石１３の吸引力により固定すること
も可能である。この場合、ロッド下端部１ｂの磁極と、
ステム側磁石１３のロッド１近接部の磁極が同極となる
ように構成することにより、ステム側磁石１３の反発力
を利用してロッド先端部１ａをダイヤフラム２に接触さ
せる。又、ステム側磁石１３には、圧力を導入するため
のステム側磁石切り欠き部１３ａを設けている。
【００２１】実施の形態４．次に、この発明の実施の形
態４について説明する。図５はこの発明の実施の形態４
による複合機能形センサを示す断面図である。本実施形
態によれば、上記各実施形態におけるように、キャップ
５の裏面に接着して設けた磁石４を廃止したものであ
り、その他の構成は実施の形態２の場合と同様に構成し
たものである。このように構成することにより、ロッド
下端部１ｂと、ステム側磁石１３の反発力により、ロッ
ド先端部１ａをダイヤフラム２に接触させることができ
るのである。
態４について説明する。図５はこの発明の実施の形態４
による複合機能形センサを示す断面図である。本実施形
態によれば、上記各実施形態におけるように、キャップ
５の裏面に接着して設けた磁石４を廃止したものであ
り、その他の構成は実施の形態２の場合と同様に構成し
たものである。このように構成することにより、ロッド
下端部１ｂと、ステム側磁石１３の反発力により、ロッ
ド先端部１ａをダイヤフラム２に接触させることができ
るのである。
【００２２】
【発明の効果】以上のように、この発明の複合機能形セ
ンサによれば、圧力信号と加速度信号を１個のセンサで
構成することにより、センサの取付場所の制約が少なく
なり、また、供給電圧、信号出力のための配線やコネク
タが簡素にできる。また、高精度な圧力センサ、高感度
で感度調整幅が広い加速度センサを得ることができ、更
にいうまでもなく、圧力センサ、または加速度センサ単
独として機能することもできる。
ンサによれば、圧力信号と加速度信号を１個のセンサで
構成することにより、センサの取付場所の制約が少なく
なり、また、供給電圧、信号出力のための配線やコネク
タが簡素にできる。また、高精度な圧力センサ、高感度
で感度調整幅が広い加速度センサを得ることができ、更
にいうまでもなく、圧力センサ、または加速度センサ単
独として機能することもできる。
【図１】 この発明の実施の形態１による複合機能形セ
ンサを示す断面図である。
ンサを示す断面図である。
【図２】 この発明の実施の形態１による複合機能形セ
ンサを示す一部の拡大断面図である。
ンサを示す一部の拡大断面図である。
【図３】 この発明の実施の形態２による複合機能形セ
ンサを示す断面図である。
ンサを示す断面図である。
【図４】 この発明の実施の形態３による複合機能形セ
ンサを示す断面図である。
ンサを示す断面図である。
【図５】 この発明の実施の形態４による複合機能形セ
ンサを示す断面図である。
ンサを示す断面図である。
【図６】 従来の加速度センサを示す平面図である。
【図７】 図６におけるＸ−Ｘ線断面図である。
【図８】 従来の加速度センサの配線図である。
１ ロッド、２ ダイヤフラム、３ ゲージ抵抗、４
磁石、９ センサステム、１２ 強磁性体、１３ 磁
石。
磁石、９ センサステム、１２ 強磁性体、１３ 磁
石。
Claims (5)
- 【請求項１】 センサステム上に設けられ、表面にゲー
ジ抵抗が配置されているダイヤフラムと、上記ダイヤフ
ラムの表面側に近接して配置された磁石と、上記ダイヤ
フラムの裏面に接触すると共に、上記センサステムに摺
動可能に保持された強磁性体からなるロッドとを備え、
上記ロッドと上記センサステムとの間に隙間を設けたこ
とを特徴とする複合機能形センサ。 - 【請求項２】 センサステム上に設けられ、表面にゲー
ジ抵抗が配置されているダイヤフラムと、上記ダイヤフ
ラムの表面側に近接して配置された磁石と、上記ダイヤ
フラムの裏面に接触すると共に、上記センサステムに摺
動可能に保持され、上記ダイヤフラム側の磁極が上記磁
石の磁極と異なる極性を有する磁石からなるロッドとを
備え、上記ロッドと上記センサステムとの間に隙間を設
けたことを特徴とする複合機能形センサ。 - 【請求項３】 センサステム上に設けられ、表面にゲー
ジ抵抗が配置されているダイヤフラムと、上記ダイヤフ
ラムの表面側に近接して配置された強磁性体と、上記ダ
イヤフラムの裏面に接触すると共に、上記センサステム
に摺動可能に保持された磁石からなるロッドとを備え、
上記ロッドと上記センサステムとの間に隙間を設けたこ
とを特徴とする複合機能形センサ。 - 【請求項４】 センサステムの表面に、ロッドのダイヤ
フラム面と接する端面と反対の端面に近接する位置であ
って、当該反ダイヤフラム側ロッド面の磁極と同極の磁
石を取付けたことを特徴とする請求項２又は請求項３記
載の複合機能形センサ。 - 【請求項５】 ダイヤフラムは、センサステム上に固定
された台座を介して取付けられており、ロッドは上記セ
ンサシステム及び台座を貫通しかつセンサステムにスリ
ーブを介して保持されている請求項１乃至請求項４記載
の複合機能形センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9031899A JPH10227708A (ja) | 1997-02-17 | 1997-02-17 | 複合機能形センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9031899A JPH10227708A (ja) | 1997-02-17 | 1997-02-17 | 複合機能形センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10227708A true JPH10227708A (ja) | 1998-08-25 |
Family
ID=12343867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9031899A Pending JPH10227708A (ja) | 1997-02-17 | 1997-02-17 | 複合機能形センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10227708A (ja) |
-
1997
- 1997-02-17 JP JP9031899A patent/JPH10227708A/ja active Pending
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