JPH10229116A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 基板を載置する基板載置面を有し、前記基板を真空吸着するための複数の吸着溝が前記基板載置面に形成された基板ホルダであって、
   前記複数の吸着溝の配置関係に基づいて、所定の吸着溝のエッジの少なくとも一部を前記載置面よりも低く形成したことを特徴とする基板ホルダ。
2. 請求項１記載の基板ホルダにおいて、
   前記基板載置面は、位置合わせ用の基準板が前記基板載置面に対して上下動するための開口部を有し、
   前記所定の吸着溝は、前記開口部側のエッジが前記載置面よりも低く形成されていることを特徴とする基板ホルダ。
3. 基板を載置する基板載置面を有し、前記基板を真空吸着するための複数の吸着溝が前記基板載置面に形成された基板ホルダであって、
   前記複数の吸着溝は、隣り合う吸着溝のうち配置間隔の相対的に長い一方の吸着溝側の壁面の高さが、配置間隔の相対的に短い他方の吸着溝側の壁面の高さより低く形成された吸着溝を有していることを特徴とする基板ホルダ。
4. 請求項３記載の基板ホルダにおいて、
   前記基板載置面は、位置合わせ用の基準板が前記基板載置面に対して上下動するための開口部を有し、
   前記開口部に隣接する吸着溝の前記開口部側の壁面の高さが、当該吸着溝の前記開口部と反対側の壁面の高さより低く形成されていることを特徴とする基板ホルダ。
5. 請求項１記載の基板ホルダにおいて、
   前記基板載置面は、前記基板を真空吸着できない開口部を有し、
   前記所定の吸着溝は、前記開口部側のエッジが前記載置面よりも低く形成されていることを特徴とする基板ホルダ。