JPH10230558A5 - - Google Patents
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- JPH10230558A5 JPH10230558A5 JP1997339097A JP33909797A JPH10230558A5 JP H10230558 A5 JPH10230558 A5 JP H10230558A5 JP 1997339097 A JP1997339097 A JP 1997339097A JP 33909797 A JP33909797 A JP 33909797A JP H10230558 A5 JPH10230558 A5 JP H10230558A5
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Claims (11)
- 有機基体上に、基体側から光吸収膜、低屈折率膜がこの順に形成されてなる光吸収性反射防止膜付き有機基体であって、低屈折率膜側からの入射光の反射低減能を有し、有機基体は表面がプラズマで処理された有機基体であり、プラズマ処理された基体表面と光吸収膜との間には、ケイ素、ケイ素の窒化物、ケイ素の酸化物およびケイ素の酸窒化物からなる群から選ばれる１種以上を主成分とする層が形成されていることを特徴とする光吸収性反射防止膜付き有機基体。
- 光吸収膜の幾何学的膜厚が２〜２０ｎｍである請求項１記載の光吸収性反射防止膜付き有機基体。
- 光吸収膜が、チタン、ジルコニウムおよびハフニウムからなる群から選ばれる１種以上の金属の窒化物を主成分とする膜である請求項１または２記載の光吸収性反射防止膜付き有機基体。
- 低屈折率膜が、ケイ素の酸化物を主成分とする膜である請求項１〜３いずれか１項記載の光吸収性反射防止膜付き有機基体。
- ケイ素、ケイ素の窒化物、ケイ素の酸化物およびケイ素の酸窒化物からなる群から選ばれる１種以上を主成分とする層の幾何学的膜厚が０．５〜１０ｎｍである請求項１〜４いずれか１項記載の光吸収性反射防止膜付き有機基体。
- ケイ素、ケイ素の窒化物、ケイ素の酸化物およびケイ素の酸窒化物からなる群から選ばれる１種以上を主成分とする層が、ケイ素の窒化物を主成分とする層である請求項１〜５いずれか１項記載の光吸収性反射防止膜付き有機基体。
- 光吸収膜と低屈折率膜との間に、ケイ素の窒化物および／またはアルミニウムの窒化物を主成分とする酸化防止層が、０．５〜２０ｎｍの幾何学的膜厚で形成されている請求項１〜６いずれか１項記載の光吸収性反射防止膜付き有機基体。
- 有機基体が、ポリエチレンテレフタレートまたはポリカーボネートからなる有機基体である請求項１〜７いずれか１項記載の光吸収性反射防止膜付き有機基体。
- 有機基体が、基体上にハードコート層が形成された有機基体である請求項１〜８いずれか１項記載の光吸収性反射防止膜付き有機基体。
- 有機基体表面をプラズマ処理し、プラズマ処理された表面上に、ケイ素、ケイ素の窒化物、ケイ素の酸化物およびケイ素の酸窒化物からなる群から選ばれる１種以上を主成分とする層と、光吸収膜と、低屈折率膜とをこの順に形成することを特徴とする光吸収性反射防止膜付き有機基体の製造方法。
- プラズマ処理として、有機基体を真空槽内に設置した後、槽内を非酸化性雰囲気とし、有機基体の裏面に配置された電極に高周波電力を印加し、有機基体表面への投入電力密度をＰ（Ｗ／ｃｍ２ ）、電極の自己バイアス電位を−Ｖ（ボルト）としたときに、処理時間ｔ（秒）が２Ｐ・ｔ／（Ｖ・ｅ・π）≧５×１０１５（ただし、ｅは電気素量を表し、１．６×１０−１９ （Ｃ）である）を満たすプラズマ処理を行う請求項１０記載の光吸収性反射防止膜付き有機基体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9339097A JPH10230558A (ja) | 1996-12-17 | 1997-12-09 | 光吸収性反射防止膜付き有機基体とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8-337266 | 1996-12-17 | ||
| JP33726696 | 1996-12-17 | ||
| JP9339097A JPH10230558A (ja) | 1996-12-17 | 1997-12-09 | 光吸収性反射防止膜付き有機基体とその製造方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007131465A Division JP2007223332A (ja) | 1996-12-17 | 2007-05-17 | 光吸収性反射防止膜付き有機基体とその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10230558A JPH10230558A (ja) | 1998-09-02 |
| JPH10230558A5 true JPH10230558A5 (ja) | 2004-07-29 |
Family
ID=26575723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9339097A Pending JPH10230558A (ja) | 1996-12-17 | 1997-12-09 | 光吸収性反射防止膜付き有機基体とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10230558A (ja) |
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1997
- 1997-12-09 JP JP9339097A patent/JPH10230558A/ja active Pending
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