JPH10233172A - 放電表示装置およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】表示放電電極上の誘電体層の局所的なスパッタ
リングを抑制し得る３電極構造の放電表示装置およびそ
の製造方法を提供する。 【解決手段】複数本の表示放電電極５６は、書込電極５
０に沿った方向とは直交する方向に沿って伸び且つ気密
空間内で一平面に沿って互いに平行に配列された複数本
の金属線から成り、表示放電電極５６を覆う誘電体層
は、それら複数本の金属線の外周面を個々に覆って設け
られた誘電体被覆５８から構成される。そのため、誘電
体被覆５８に覆われて相互に隣接して対をなす表示放電
電極５６ａ、５６ｂにはそれぞれ対向面が備えられて、
その対向面間で専ら表示放電が発生する。したがって、
放電に寄与する電極表面間の距離が略一様となって、大
きな電界強度分布が誘電体被覆５８の表面に生じないこ
とから、放電集中に起因する局所的なスパッタリングが
抑制される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数本の表示放電
電極および書込電極を備えた放電表示装置およびその製
造方法に関し、特に、表示放電電極構造の改良に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】一対の平行平板間に形成された気密空間
内に一方向およびそれと直交する他方向に沿ってマトリ
クス状に設けられた複数の発光区画（セル）と、それら
複数の発光区画内で選択的に放電を発生させるための複
数本の放電電極とを備え、その放電を利用して発光させ
ることにより、文字、記号、図形等の所望の画像を表示
する形式の放電表示装置が知られている。例えば、ガス
放電によって生じたプラズマの生成に伴うネオンオレン
ジ等の発光を直接利用し、或いは、発光区画内に蛍光体
が備えられてプラズマによって生じた紫外線により励起
させられた蛍光体の発光を利用するプラズマ・ディスプ
レイ・パネル（以下、ＰＤＰという）等がそれである。
このようなＰＤＰは、薄型且つ大表示面とすることが比
較的容易であると共に、ブラウン管並の広い視野角およ
び早い応答速度が得られるため、ブラウン管に代わる画
像表示装置として考えられており、特に、例えば赤(RE
D) 、緑(GREEN) 、青(BULE)の三色の蛍光体を設けた３
乃至４つの発光区画から一画素を構成して多色表示を可
能とすることにより、壁掛けテレビ等の薄型フルカラー
表示装置を実現し得るものとして期待されている。

【０００３】ところで、ＰＤＰには放電電極が放電空間
に露出するＤＣ型と誘電体で覆われたＡＣ型とがある
が、ＡＣ型の方がスパッタリングに起因する放電電極の
劣化が生じ難い。このＡＣ型ＰＤＰは、対をなす放電電
極の一方および他方が平行平板の一方および他方にそれ
ぞれ設けられた対向放電構造と、平行平板の何れか一方
に対をなす放電電極の両方が設けられた面放電構造とに
分類される。これらのうち対向放電構造では、蛍光体の
発光を利用する場合には蛍光体層が電極の近傍に設けら
れることから、放電ガスイオンの衝突によって劣化し易
いという欠点がある。これに対して、面放電構造では、
放電電極が設けられていない平板上に放電領域と空間的
に分離されて蛍光体層が設けられるため、フルカラー表
示装置を構成した場合に蛍光体の劣化が抑制されるとい
う利点がある。一般に、面放電構造ＡＣ型ＰＤＰでは、
表示放電をさせるために一方向に沿って配列された表示
放電電極（すなわち維持電極）と、発光区画を選択する
ためにそれと直交する他方向に沿って配列された書込電
極とが備えられた３電極構造が採られる。例えば、電子
情報通信学会技術研究報告（ＥＩＤ）92−79（1992年12
月発行）第１７頁乃至第２１頁に記載されたＡＣ型ＰＤ
Ｐはその一例である。このようなＡＣ型ＰＤＰでは、予
め発光区画を選択した後、全表示放電電極に一斉に放電
維持電圧を印加してその選択された発光区画内で表示放
電させるため、発光区画に形成された壁電荷によって表
示放電電圧を低減し得ると共に、画素数の増大に伴う輝
度低下が抑制される利点がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】図１(a) は、上記の３
電極構造ＡＣ型ＰＤＰの構造を示す図である。図におい
て、互いに平行に位置させられた前面板１０および背面
板１２の間に形成された気密空間内に、一方向に沿って
長手状の隔壁１４によって区画形成されて長手方向にそ
れぞれ複数の発光区画を含む複数の放電空間１６が設け
られると共に、背面板１２上にその一方向に沿ってその
隔壁１４の間を通る複数本の書込電極１８が設けられる
一方、前面板１０上にその一方向と直交する他方向に沿
って、硼珪酸ガラス等の低軟化点ガラスから成る誘電体
層２０およびMgO 等から成る保護膜２２で覆われた複数
対の表示放電電極２４ａ、２４ｂが設けられ、上記背面
板１２の内面および隔壁１４の表面には、各放電空間１
６毎に塗り分けられた蛍光体層２６が設けられている。
なお、表示放電電極２４ａ、２４ｂは、面放電を広範囲
で発生させ且つ前面板１０を通して射出される表示光の
遮光を可及的に少なくするため、薄膜プロセス等で形成
されたＩＴＯ（インジウム・ティン・オキサイド）、Ａ
ＴＯ（アンチモン・ティン・オキサイド）等から成る透
明電極２８と、その導電性を補うために各対毎に幅方向
の外側端部位置においてその透明電極２８上に設けられ
たCr-Cu-Cr、Al等の薄膜や、厚膜Ag等から成るバス電極
（金属電極）３０とから構成されている。

【０００５】しかしながら、上記のようなＰＤＰでは、
図１(b) に断面構造を示されるように、表示放電電極２
４が一平面上に配置されるため、一対の表示放電電極２
４ａ、２４ｂにおいて、誘電体層２０に覆われて放電に
寄与する電極表面間の距離は一様ではない。そのため、
誘電体層２０表面における電界強度は、電極表面間の距
離が最も小さい一対の表示放電電極２４ａ、２４ｂの内
側に向かう程大きくなって、その内側端部部分に放電が
集中することとなる。これにより、図において中央に位
置する一対について示されるように、その放電集中部分
で保護膜２２および誘電体層２０が放電ガスイオンによ
って局所的にスパッタされて、表示放電電極２４に沿っ
て溝３２が形成されると共に、実質的に陰極として機能
する保護膜２２の一部が、スパッタリングによって飛散
した誘電体層２０を構成する低軟化点ガラスに覆われる
ことから、放電特性が経時変化させられるという問題が
あった。すなわち、面放電構造のＡＣ型ＰＤＰでは、蛍
光体層２６が備えられる場合はその劣化を抑制できると
共に、特に３電極構造とすることにより表示放電電圧を
低減しつつ輝度を向上できる反面、誘電体層２０および
保護膜２２の局所的なスパッタリングに起因する放電特
性の経時変化が生じるのである。

【０００６】これに対して、第８回プラズマディスプレ
イ技術討論会資料（1994年7 月19日発行）の第16頁〜第
19頁には、放電ガスイオンの拡散が抑制されるように封
入ガスのガス圧を高め、或いは封入ガス中のXe濃度を高
める方法や、誘電体層２０の厚さを適切な電界強度が得
られるように設定することによって、上記のようなスパ
ッタリングが抑制されることが示されている。また、同
資料中には、更に、保護膜２２を厚くすることによって
スパッタリングによる放電特性の変化を抑制し得ること
も示されている。しかしながら、何れの方法でも誘電体
層２０表面における電界強度分布は改善されず、表示放
電電極２４端部部分への放電集中は抑制されないため、
進行速度は低下させられるもののスパッタリングは確実
に進む。したがって、上記の方法によっても、長期的に
は放電特性の変化が避けられないのである。

【０００７】本発明は、以上の事情を背景として為され
たものであって、その目的は、表示放電電極上の誘電体
層の局所的なスパッタリングを抑制し得る３電極構造の
放電表示装置およびその製造方法を提供することにあ
る。

【０００８】

【課題を解決するための第１の手段】斯かる目的を達成
するため、第１発明の放電表示装置の要旨とするところ
は、一対の平行平板間に形成された気密空間内に第１の
方向およびその第１の方向と直交する第２の方向に沿っ
て設けられた複数の発光区画と、それら複数の発光区画
を少なくともその第２の方向において相互に区分する隔
壁と、その第１の方向に沿ってその隔壁の間の位置にそ
れぞれ設けられ、発光させる所定の発光区画を選択する
ための複数本の書込電極と、誘電体層に覆われて前記第
２の方向に沿って設けられてその所定の発光区画を発光
させるための表示放電を発生および維持させる複数本の
表示放電電極とを備えた放電表示装置であって、(a) 前
記複数本の表示放電電極は、前記第２の方向に沿って伸
び且つ前記気密空間内で一平面に沿って互いに平行に配
列された複数本の金属線から成り、(b) 前記誘電体層
は、該複数本の金属線の外周面を個々に覆って設けられ
ていることにある。

【０００９】

【第１発明の効果】このようにすれば、３電極構造の放
電表示装置において、複数本の表示放電電極は、書込電
極に沿った第１の方向とは直交する第２の方向に沿って
伸び且つ前記気密空間内で一平面に沿って互いに平行に
配列された複数本の金属線から成り、前記誘電体層は、
それら複数本の金属線の外周面を個々に覆って設けられ
る。そのため、表示放電電極は金属線から構成されてそ
の外周面が誘電体層によって個々に覆われることから、
誘電体層に覆われて相互に隣接して対をなす表示放電電
極にはそれぞれ対向面が備えられて、その対向面間で専
ら表示放電が発生する。したがって、放電に寄与する電
極表面間の距離が略一様となって、一平面上に設けられ
た表示放電電極間で面放電させる場合のような電界強度
の分布が誘電体層表面に生じないことから、放電集中に
起因する局所的なスパッタリングが抑制される。

【００１０】

【第１発明の他の態様】ここで、好適には、前記表示放
電電極は、外周面のうち放電に寄与する部分が周方向に
滑らかに連続させられた凸面で構成されるものである。
このようにすれば、前記第１の方向に沿った断面におい
て放電に寄与する部分の表面に不連続面を形成する角部
が存在しないため、その角部における放電集中が抑制さ
れて、局所的なスパッタリングが一層抑制される。しか
も、光の射出側から見て表示放電電極の陰に位置する部
分で発生する光が表示放電電極を回り込んで射出される
ことから、表示放電電極による遮光が抑制されるため、
一層高い輝度が得られる。また、遮光性が低いことか
ら、表示放電電極を透明電極およびその導電性を補うた
めの金属電極から構成する必要がないため、放電表示装
置の製造工程が簡単になり、製造コストが低減される。
更に、遮光性が低いことから、遮光量を特に増大するこ
となく、発光区画の大きさに応じて１つの発光区画に対
して複数対の表示放電電極を配置できるため、有効な放
電領域を拡大して一層高い輝度が得られる。なお、一層
好適には、上記の表示放電電極は、前記第１の方向に沿
った断面形状が円形とされる。このようにすれば、断面
形状が円形であることから、放電集中や電極による遮光
が一層抑制され、更に、断面形状に方向性がないことか
ら製造工程も一層簡単になる。

【００１１】因みに、従来の３電極構造のＡＣ型ＰＤＰ
では、前面板の内面に一方向に沿って配列された表示放
電電極およびそれを覆う誘電体層を設ける形式の面放電
構造であったことから、十分な大きさの放電領域を確保
する目的で表示放電電極の幅寸法が大きくされるため、
透明電極を用いることによってそれによる遮光が抑制さ
れていた。しかしながら、例え高透過率といえども、前
面板上に膜形成することは厚みの増大や界面の存在等に
よって必然的に輝度低下をもたらすという問題がある。
また、透明電極は高価な薄膜プロセスによって形成さ
れ、更に導電性を補うために金属電極をバス電極として
重ねて形成する必要がある。そのため、前面板の製造工
程が複雑となって、製造コストが増大していた。しか
も、上記のバス電極は、前述のようにCr-Cu-Cr、Al等の
薄膜や、厚膜Ag等から構成されるが、薄膜の場合には透
明電極との密着強度や抵抗値、誘電体層との適合性等を
確保するために工程管理が困難となり、厚膜の場合に
は、多孔質となることからその上に形成される誘電体層
の耐電圧が低下すると共に、焼付け後に黄色を呈するた
め表示面のコントラストを低下させ、或いは前面板上に
付着している錫と反応して褐色を呈することにより外観
不良を引き起こすという問題がある。なお、ＰＤＰ等に
用いられるガラス基板は、通常、低コストを実現するた
めにフロート法等で製造されることからフロート面（ボ
トム面）には錫が拡散している。更に、上記のように表
示放電電極が遮光性の高いバス電極を備えていることか
ら、１つの発光区画に複数対を設けることは直接的に輝
度の低下をもたらす。したがって、通常は長手状に形成
される発光区画内の中央部に表示放電電極が設けられて
有効な放電領域すなわち発光領域がその中央部に限定さ
れるという問題もあった。

【００１２】また、好適には、前記表示放電電極は、前
記一対の平行平板のそれぞれの内面から所定距離以上離
隔した位置に設けられているものである。このようにす
れば、表示放電電極が平行平板の内面から離隔した位置
に設けられることから、平行平板が誘電体として機能す
ることに起因する効率低下や発熱が抑制される。因み
に、平行平板上に表示放電電極が形成されていた面放電
構造のＡＣ型ＰＤＰでは、電荷が平行平板内にも形成さ
れることから、発光に寄与しない平行平板の静電容量に
基づく発熱や効率低下が生じていた。

【００１３】また、好適には、前記放電表示装置は、前
記気密空間内において、前記一対の平行平板のうち、前
記表示放電電極との間隔が大きい一方の平板の内面およ
び前記隔壁側面に蛍光体層を備えたものである。このよ
うにすれば、気密空間内に備えられた蛍光体層の発光色
に応じた所望の表示色を得ることができるが、その蛍光
体層が表示放電電極から離れた位置に設けられることか
ら、表示放電はその蛍光体層から離れた位置で生じるこ
ととなる。したがって、表示放電の際に飛散する放電ガ
スイオンが衝突することによる蛍光体層の劣化が抑制さ
れるため、放電表示装置の経時的な輝度低下が抑制され
る。

【００１４】

【課題を解決するための第２の手段】また、前記目的を
達成するための第２発明の放電表示装置の製造方法の要
旨とするところは、一対の平行平板間に形成された気密
空間内に第１の方向およびその第１の方向と直交する第
２の方向に沿って設けられた複数の発光区画と、それら
複数の発光区画を少なくともその第２の方向において相
互に区分する隔壁と、その第１の方向に沿ってその隔壁
の間の位置にそれぞれ設けられ、発光させる所定の発光
区画を選択するための複数本の書込電極と、誘電体層に
覆われて前記第２の方向に沿って設けられてその所定の
発光区画を発光させるための表示放電を発生および維持
させる複数本の表示放電電極とを備えた放電表示装置の
製造方法であって、(a) 前記複数本の表示放電電極を構
成するための複数本の金属線の外周面をそれぞれ誘電体
で被覆する被覆工程と、(b) 前記一対の平行平板の一方
の一面に前記隔壁を一様な高さに形成する隔壁形成工程
と、(c) 前記誘電体で被覆された前記複数本の金属線を
前記第２の方向に所定の張力を付与した状態で前記隔壁
の頂部に相互に所定間隔を以て固着する固着工程とを、
含むことにある。

【００１５】

【第２発明の効果】このようにすれば、放電表示装置を
製造するに際しては、被覆工程において、複数本の表示
放電電極を構成するための複数本の金属線の外周面がそ
れぞれ誘電体で被覆される一方、隔壁形成工程におい
て、一対の平行平板の一方の一面に隔壁が一様な高さに
形成され、更に、固着工程において、誘電体で被覆され
た複数本の金属線が前記第２の方向に所定の張力が付与
された状態で隔壁の頂部に相互に所定の間隔を以て固着
されることにより、誘電体で被覆された金属線から成る
表示放電電極が放電表示装置に設けられる。そのため、
表示放電電極は、個々に誘電体で被覆された状態で一平
面内において前記第２の方向に沿って所定間隔で設けら
れることから、対をなす表示放電電極にはそれぞれ対向
面が備えられて、その対向面間で専ら表示放電が発生す
る。したがって、放電に寄与する電極表面間の距離が略
一様となって、一平面上に設けられた表示放電電極間で
面放電させる場合のような電界強度の分布が誘電体層表
面に生じないことから、放電集中に起因する局所的なス
パッタリングが抑制される放電表示装置を製造し得る。

【００１６】しかも、上記第２発明によれば、表示放電
電極は平板上に膜形成されるものではないことから、隔
壁の高さ方向における配置位置を自由に設定し得るた
め、各発光区画毎の放電空間を好適に電界が形成される
ように効率よく利用できる。また、表示放電電極が金属
線から構成されると共に、表示放電電極を覆う誘電体層
を構成するための金属線の誘電体被覆工程が平板の処理
工程とは別工程とされて、平板上に表示放電電極や誘電
体層が形成されないことから、これらを形成するための
設備の大きさが平板寸法の影響を受けないため、放電表
示装置の表示面積が大型化する場合にも製造設備の規模
拡大が抑制される。また、平板の処理工程とは別工程と
されることによって誘電体被覆工程の処理温度を平板の
軟化点等とは無関係に設定し得ることから、処理温度を
特に考慮することなく誘電体材料を選択し得る。したが
って、高い比誘電率を有するが軟化点の高い材料等も、
誘電体としての要求特性に基づいて金属線を被覆する材
料として選択可能であることから、要求される電気特性
を満足しつつ表示放電電極上の誘電体の厚さを一層薄く
できるため、表示放電電極による遮光を一層低減して一
層高い輝度が得られる。更に、前面板には特に膜形成す
る必要がなくなるため、その内面に外光の反射を抑制し
て高いコントラストを得るためのカラーフィルタを設け
ることも容易となる。

【００１７】因みに、表示放電電極が平板の内面に形成
されていた従来の面放電構造の放電表示装置では、一対
の表示放電電極によって形成される電界の一部だけが放
電空間内に位置することから、放電空間を効率よく利用
することができなかった。また、平板上に透明電極、バ
ス電極、誘電体層を順次形成する従来の電極形成方法で
は、平板上に形成される膜の種類が多いため表示面積の
大型化に伴って製造設備の規模が著しく拡大されるとい
う問題もあった。また、基板上に誘電体層等を膜形成す
る場合には、熱処理温度の上限は基板の軟化点や歪み点
等によって定められて、例えば600(℃) 程度と低いこと
から、誘電体材料は実質的に低軟化点ガラスに限定され
ていた。すなわち、PbやNa等を含まないような高誘電率
材料は高軟化点であることから使用できないという制限
があった。また、カラーフィルタを設ける場合には、視
野角の影響を可及的に小さくするために光を射出する平
板の内面に設ける必要があることから、更にその上に表
示放電電極や誘電体層を設けるために、カラーフィルタ
上に誘電体層を設けて表示放電電極等の形成面を平坦に
する必要があると共に、一対の平板を接合して気密空間
を形成するに際してカラーフィルタを前記第１の方向に
沿って隔壁の間に位置させる必要があって、工程が複雑
になり且つ寸法やピッチの制御が困難であるという問題
もあった。

【００１８】

【第２発明の他の態様】ここで、好適には、前記固着工
程は、(c-1) 前記隔壁の頂部に絶縁体を含むペーストを
塗布するペースト塗布工程と、(c-2) 前記誘電体で被覆
された前記複数本の金属線を上方から前記隔壁の頂部に
向かって押圧して前記ペースト内に押し込むことによ
り、その金属線を所定位置に配置する配置工程と、(c-
3) 所定温度で加熱処理することによって前記絶縁体に
よって前記隔壁の頂部に前記誘電体で被覆された金属線
を固着する加熱処理工程とを、含むものである。このよ
うにすれば、隔壁の頂部に塗布された絶縁ペーストで誘
電体を被覆された金属線がその隔壁上に固着されること
によって、放電表示装置の表示放電電極が設けられる。
そのため、隔壁上に塗布される絶縁ペーストの厚さを適
宜設定することによって、表示放電電極と一対の平行平
板の他方との間隔を調節し得るため、気密空間内におい
て表示放電電極を所望の高さ位置に設けることができ
る。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図面を
参照して詳細に説明する。なお、以下の説明において各
部の寸法比等は必ずしも正確に描かれていない。

【００２０】図２(a) は、本発明の一実施例である３電
極構造のＡＣ型カラーＰＤＰ（以下、単にＰＤＰとい
う）４０の構成を一部を切り欠いて示す図であり、図２
(b) は、(a) における後述の書込電極５０に沿った断面
を示す図である。図において、ＰＤＰ４０は、例えばソ
ーダライムガラス製の平板から成り、透光性を有する前
面板４２と、同様にソーダライムガラス製の平板から成
る背面板４４と、それら前面板４２および背面板４４と
の間に形成された気密空間内において一方向に沿って配
列された複数の放電空間４６を形成する長手状の隔壁４
８とを備えて構成されている。本実施例においては、上
記前面板４２および背面板４４が一対の平行平板の一方
および他方の何れかに相当する。隔壁４８は、例えば、
アルミナ等の充填材を含む低軟化点ガラスから成るもの
であり、幅30〜150(μm)程度、高さｈ＝100 〜300(μm)
程度の寸法に、100 〜500(μm)程度の中心間隔で設けら
れている。したがって、前面板４２と背面板４４との間
に形成される放電空間４６の長手方向に垂直な断面寸法
は、幅70〜350(μm)程度、高さ100 〜300(μm)程度であ
る。

【００２１】上記の背面板４４上には、例えば各々の幅
寸法が50〜300(μm)程度で厚膜銀や薄膜アルミニウム等
から成る複数本の書込電極５０が、隔壁４８と同様な10
0 〜500(μm)程度の中心間隔でその間の位置を通って設
けられている。本実施例においては、この書込電極５０
の長手方向が第１の方向に対応する。この書込電極５０
は、背面板４４の全面を覆って設けられた例えば5 〜50
(μm)程度の厚さのオーバコート５２によって覆われて
いる。オーバコート５２は、例えば、隔壁４８と同様な
低軟化点ガラスと無機フィラーとから成るものであり、
書込電極５０が薄膜電極である場合には電極の保護、厚
膜電極である場合には後述の蛍光体層５４が汚染される
ことを防止する目的で設けられている。なお、上記無機
フィラーは酸化チタン等から成る白色フィラーであり、
オーバコート層５２を白色化することで蛍光体の発光を
表示側へ反射させて輝度を上げる目的で添加されてい
る。上記隔壁４８は、このオーバコート５２上に形成さ
れている。

【００２２】また、上記のオーバコート５２表面および
隔壁４８の側面には、例えば紫外線励起により発光させ
られるＲ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）等の発光色に対応
する蛍光体から成る蛍光体層５４が、隣接する放電空間
４６相互に異なる発光色となるように設けられている。
この蛍光体層５４の厚さは、例えば10〜50 (μm)程度の
範囲内で色毎に制御されている。なお、隔壁４８の側面
においては、蛍光体層５４は、図に一点鎖線で示される
高さ方向の中間位置よりも下側の範囲だけに設けられて
いる。

【００２３】また、前記の前面板４２と背面板４４との
間には、それら前面板４２および背面板４４に平行な平
面内において、前記隔壁４８および書込電極５０の長手
方向である第１の方向とは直交する第２の方向に沿って
互いに平行に配列された複数対の表示放電電極５６ａ、
５６ｂ（以下、特に区別しないときは単に表示放電電極
５６という）が設けられている。表示放電電極５６は、
前面板４２から例えば10〜100(μm)程度の距離ｄだけ離
隔した放電空間４６の高さ方向の中間位置、すなわち書
込電極５０表面から例えば100 〜200(μm)程度の距離ｈ
₁ だけ離隔した位置を通って設けられている。各対の表
示放電電極５６ａ、５６ｂの相互の中心間隔は例えば10
0 〜500(μm)程度とされており、各対相互の中心間隔
（すなわち、複数本の表示放電電極５６ａ相互、或いは
複数本の表示放電電極５６ｂ相互の中心間隔）は、例え
ば300 〜1500 (μm)程度である。

【００２４】上記の表示放電電極５６は、例えばニッケ
ル（Ni）、タングステン（W ）等の金属材料から構成さ
れて直径Ｄ＝50 (μm)程度の断面が円形で線状を成す金
属線から成り、粉末を固着させた厚膜電極よりもはるか
に低い抵抗値を有している。図３に拡大して示すよう
に、その表面が例えば厚みｔ₁ ＝15 (μm)程度の誘電体
被覆５８および厚みｔ₂ ＝0.1(μm)程度の保護膜６０に
よって覆われている。この誘電体被覆５８が一対の表示
放電電極５６ａ、５６ｂ間で交流放電させるための誘電
体層として機能するものであり、したがって、誘電体層
は、複数本の表示放電電極５６を個々に覆う誘電体被覆
５８から構成されている。この誘電体被覆５８は、例え
ばB₂O₃−ZnO 等から成り、熱膨張係数が24〜117(×10^-7
／℃) 程度で比誘電率が4.0 〜18.3程度、且つ作業温度
（粘度が10⁴cp 程度となる温度）が575(℃) 程度以上と
前面板４２および背面板４４を構成するガラス基板の歪
み点よりも高い温度の軟化点を有するガラス（以下、高
軟化点ガラスという）から構成されている。また、上記
保護膜６０は、例えばMgO 等のスパッタリングに強く、
二次電子放出係数の高い誘電体から構成されたものであ
る。この保護膜６０は、誘電体被覆５８がスパッタリン
グによって劣化させられることを防止すると共に、実質
的に放電電極として機能させる目的で設けられている。
なお、保護膜６０は上記のように薄いことから、図２等
においては誘電体被覆５８との境界が省略して示されて
いる。

【００２５】なお、本実施例においては、前面板４２と
背面板４４との間に形成される気密空間内においてマト
リクス状（縦横）に配列された発光の最小単位を成す発
光区画（セル）は、一対の表示放電電極５６ａ、５６ｂ
と書込電極５０との交点毎に形成されている。すなわ
ち、発光区画の中心間隔はこれらの交点の中心間隔に等
しい。ＲＧＢ３色から成るＰＤＰ４０の一画素は、書込
電極５０に沿った方向に一列および表示放電電極５６に
沿った方向に３列の発光区画から構成されており、書込
電極５０に沿った方向においては上記交点の中心間隔
で、表示放電電極５６に沿った方向においては上記交点
の３倍の中心間隔で配列されている。但し、図２等から
も明らかなように、放電空間４６は書込電極５０に沿っ
た方向においてのみ隔壁４８によって相互に区分されて
いる。そのため、各発光区画は、相互に異なる発光色が
並ぶ表示放電電極５６に沿った方向においては、隔壁４
８によって物理的に区分されているが、書込電極５０に
沿った方向においては、各対の表示放電電極５６ａ、５
６ｂの間の中央位置近傍すなわち表示放電の効果が及ぶ
範囲の境界によって実質的に区分されている。

【００２６】以上のように構成されるＰＤＰ４０は、例
えば、以下のように駆動される。すなわち、先ず、一対
の表示放電電極５６ａ、５６ｂの一方を順次走査して所
定の負電圧を印加すると同時に、その走査に同期して所
定の書込電極５０に所定の正電圧を印加することによ
り、正電圧が印加された書込電極５０と表示放電電極５
６との間で順次放電させて、表示放電電極５６を覆う誘
電体被覆５８上（厳密にはそれを更に覆う保護膜６０
上）に電荷を蓄積して発光区画を選択する。その後、全
ての表示放電電極５６に所定の放電維持パルスを印加し
て表示放電を発生させ且つ所定時間維持して、選択され
た発光区画内の蛍光体層５４を励起して発光させ、その
光を前面板４２を通して射出することにより、一画像を
表示する。上記の発光区画の選択および発光が一定周期
で繰り返されることにより所望の画像が連続的に表示さ
れる。なお、詳細な駆動方法については本実施例の理解
に必要ではないので説明を省略する。

【００２７】上記の駆動過程において、表示放電電極５
６は直径が80 (μm)程度と細いことから、各発光区画内
においてそれらの陰となる部分の面積が160(μm)程度
と、発光区画の書込電極に沿った方向の長さ（300 〜15
00 [μm]程度）に対して十分に小さいため、表示放電電
極５６による遮光が少なくなって十分に高い輝度が得ら
れる。しかも、表示放電電極５６の断面形状が円形とさ
れていることから、その陰となる部分で発生した光の殆
どは表示放電電極５６を回り込んで前面板４２から射出
されるため、実質的な遮光面積は上記の陰となる面積よ
りも一層小さくなって、上記面積比から算出される輝度
よりも一層高い輝度が得られることとなる。前述のよう
に誘電体被覆５８は、従来から用いられている誘電体層
の材料よりも比誘電率が高くされていることから二次電
子放出効率が高いため、表示放電電極５６を構成する金
属線が50 (μm)程度と細くされていても問題ないのであ
る。しかも、誘電体被覆５８は、基板上に順次膜形成さ
れることに起因する電極層との界面での気泡の生成や厚
膜層に見られるような金属粒子の拡散が抑制されている
ため、従来よりも薄く形成されても十分な耐電圧を有す
る。したがって、一層高い放電効率が得られると共に、
表示放電電極５６による遮光が一層抑制される。

【００２８】また、表示放電電極５６が誘電体被覆５８
に個々に覆われて設けられていることから、その外周面
が実質的に対向面として機能し、表示放電は、図２(b)
に一対の表示放電５６ａ、５６ｂについて示されるよう
に、互いに向かい合った電極間での対向放電となるた
め、放電に寄与する電極面間の距離の差に起因する放電
集中が生じ難く、スパッタリングに起因する放電特性の
経時変化が抑制される。しかも、表示放電電極５６と前
面板４２および背面板４４との間には、ｄ＝10〜100(μ
m)程度或いはｈ₁ ＝100 〜200(μm)程度の間隔が設けら
れていることから、放電がそれらによって妨げられるこ
とはなく、また、それらの静電容量によって効率が低下
させられ、或いは熱が発生することもない。

【００２９】また、図２に示されるように、表示放電電
極５６は隔壁４８によってその周囲が覆われることによ
り、前面板４２から十分離隔した位置において長手方向
において隔壁４８によって分離されている。そのため、
誘電体被覆５８上に蓄積された電荷が異なる発光色の蛍
光体層５４が備えられた隣接する放電空間４６内に入り
込むことが好適に抑制される。

【００３０】因みに、前記図１に示されるような従来の
ＡＣ型ＰＤＰにおいては、表示放電電極２４とこれに対
応する誘電体層２０で形成される電荷は隔壁１４頂部と
の接触によって仕切られる。しかしながら、このような
構造では、誘電体層２０表面や隔壁１４頂部の凹凸、前
面板１０の反り、封着時の密着不良等によって放電空間
１６相互の分離が不十分になると、電荷量に差が生じて
表示品質が低下させられる。そのため、これらの不具合
を抑制するために、隔壁１４頂部を研磨すること等によ
って接触面積が確保され、或いは、前記第８回プラズマ
ディスプレイ技術討論会資料の第16頁〜第19頁に記載さ
れているように、前面側透明誘電体層上に背面板上に形
成された隔壁に対応する仕切りが設けられていた。これ
に対して、本実施例によれば、後述のように上部隔壁体
４８ｂによって電荷が確実に仕切られることから、上記
のような種々の不具合の問題が大幅に軽減されるため、
接触面積を確保するための工程増加や構造複雑化を必要
としない。

【００３１】ところで、ＰＤＰ４０は例えば図４に工程
図を示される製造工程に従って製造される。先ず、工程
１の書込電極形成工程において、例えば、厚膜スクリー
ン印刷法等によって背面板４４上にAgペースト等の厚膜
導電体ペーストを所定パターンで塗布し、乾燥した後、
所定温度で焼成することにより、前記書込電極５０を形
成する。次いで、工程２のオーバコート工程において、
低軟化点ガラスとアルミナ等の充填材を含む厚膜絶縁ペ
ーストを同様に厚膜スクリーン印刷法等によって塗布
し、乾燥した後、所定温度で焼成することにより、前記
オーバコート５２を形成する。なお、厚膜絶縁ペースト
は、所望の塗布厚みが得られるまで繰り返し塗布されて
積層される。そして、工程３の隔壁形成工程において、
例えばオーバコート５２を形成するための厚膜絶縁ペー
ストと同様なペーストを繰り返し印刷・乾燥して積層
し、所定温度で焼成することによって前記隔壁４８の下
部を構成する高さｈ₁ ＝100 〜200(μm)の下部隔壁体４
８ａを形成する。更に、工程４の蛍光体層形成工程にお
いては、前記の蛍光体層５４を構成する所定の蛍光体を
樹脂成分が有機溶剤中に溶解させられたビヒクル中に分
散させた蛍光体ペーストを、下部隔壁体４８ａの側面お
よび背面板４４上（厳密にはオーバコート５２および書
込電極５０上）に塗布し、所定温度で焼成することによ
って前記蛍光体層５４を形成する。

【００３２】続く工程５の固着用ペースト塗布工程にお
いては、下部隔壁体４８ａの形成に用いたものと同様な
厚膜絶縁ペーストを、例えば厚膜スクリーン印刷法等に
よってその下部隔壁体４８ａの頂部に繰り返し塗布して
30〜60 (μm)程度の厚さのペースト層６２を形成する。
図５(a) はこの状態を示している。工程６の金属線配置
工程においては、前記図３に示されるように誘電体被覆
５８および保護膜６０が被覆された複数本の表示放電電
極５６（金属線）を、上方から下部隔壁体４８ａの頂部
に向かって押圧してペースト層６２内に押し込むことに
より、その頂部上に表示放電電極５６を配置する。すな
わち、表示放電電極５６は、ペースト層６２が容易に塑
性変形可能な状態で配置される。このとき、表示放電電
極５６は、ペースト層６２の押し込み抵抗に抗して十分
な直線性を保つだけの張力が付与された状態で対向放電
電極として機能する一対毎に押し込まれ、各対相互の中
心間隔が前記のように660(μm)程度と成るように配置さ
れる。図５(b) はこの状態を示している。

【００３３】なお、上記金属線（表示放電電極５６）の
被覆は、例えば、図６に示される工程に従って施され
る。すなわち、工程１の表面処理工程において、金属線
の表面を例えばアセトンやアルコール等の溶剤等によっ
て洗浄することにより、その表面の油成分等の汚れを除
去して清浄にする。次いで工程２の誘電体塗布工程にお
いては、例えば前記の高軟化点ガラスを含むペースト中
を表面処理の施された金属線を通すディップ法等によ
り、その表面に高軟化点ガラスペーストを塗布する。そ
して、工程３の焼成工程において、高軟化点ガラスの種
類毎に定められている所定の作業温度で熱処理すること
により、前記誘電体被覆５８が形成される。その後、工
程４の保護膜形成工程において、スパッタ法等によって
MgO から成る保護膜６０をその誘電体被覆５８上に形成
することにより、前記図３に示されるような被覆が設け
られる。このとき、上記工程３の焼成工程は前面板４２
および背面板４４の処理とは独立して施されることか
ら、当然に上記焼成工程に起因するそれらの変形や歪み
は何ら生じない。なお、この被覆された金属線は巻き取
られた状態で用いられ、前記金属線配置工程において
は、巻き取られた状態から引き出しつつ下部隔壁体４８
ａ上に配置することとなる。

【００３４】図４に戻って、工程７の加熱処理工程にお
いては、表示放電電極５６に前記の張力が付与された状
態で、例えば600(℃) 程度以下の所定温度で熱処理を施
すことにより、低軟化点ガラスペーストによって表示放
電電極５６が所定位置に固着されると同時に、その低軟
化点ガラスペーストから隔壁４８の上部を構成する上部
隔壁体４８ｂが形成される。この熱処理時において、低
軟化点ガラスペーストは十分に軟化させられることか
ら、前記図２に示されるように、その上面が平坦になっ
て隔壁４８全体の高さｈが一様になると共に、表示放電
電極５６がその低軟化点ガラスペーストによって覆われ
ることとなる。したがって、本実施例においては、放電
空間４６を相互に区分する隔壁４８は下部隔壁体４８ａ
および上部隔壁体４８ｂとから構成されているが、これ
らのうち、本来的に放電空間４６を区分する目的で設け
られた下部隔壁体４８ａが請求の範囲で言う『隔壁』に
相当する。

【００３５】上記のように表示放電電極５６が低軟化点
ガラスペーストによって覆われる結果、前面板４２から
十分離隔した位置において表示放電電極５６が長手方向
において隔壁４８によって分離されることとなるため、
隔壁４８の頂部の平坦度とは無関係に、前述のように、
誘電体被覆５８上に蓄積された電荷が隣接する放電空間
４６内に入り込むことが抑制されるのである。なお、低
軟化点ガラスの軟化変形に伴って表示放電電極５６が当
初配置された位置からずれることもあり得るが、前述の
ように表示放電電極５６は対向放電電極として機能させ
られる一対毎に取り扱われるため、放電特性に大きく影
響する放電電極間隔は所望の値に保たれる。なお、各対
の表示放電電極５６相互の中心間隔は変動し得るが、中
心間隔はその変動による寸法変化が放電特性に影響を与
えないように十分大きく設定できることから、特に問題
とはならない。

【００３６】そして、工程８の前面板接合工程におい
て、上記のように処理された背面板４４上に別途用意さ
れた前面板４２を隔壁４８の上部側から載置し、図示し
ない周縁部においてフリットガラス等によって内部が気
密となるように相互に接合する。その後、工程９の放電
ガス封入工程において、例えば、放電空間４６内を一旦
真空状態にし、更に、例えばHe，Ne，Xe等の放電ガスを
200〜500 (Torr)程度の圧力で封入することによって、
前記ＰＤＰ４０が製造される。したがって、前面板４２
上には何ら膜形成することなく、ＰＤＰ４０が構成され
る。なお、前面板４２と隔壁４８とは突き合わされてい
るだけで互いに接合されてはいない。

【００３７】ここで、本実施例においては、３電極構造
のＰＤＰ４０において、複数本の表示放電電極５６は、
書込電極５０に沿った第１の方向とは直交する第２の方
向に沿って伸び且つ気密空間内で一平面に沿って互いに
平行に配列された複数本の金属線から成り、表示放電電
極５６を覆う誘電体層は、それら複数本の金属線の外周
面を個々に覆って設けられた誘電体被覆５８から構成さ
れる。そのため、表示放電電極５６は金属線から構成さ
れてその外周面が誘電体被覆５８によって個々に覆われ
ることから、誘電体被覆５８に覆われて相互に隣接して
対をなす表示放電電極５６ａ、５６ｂにはそれぞれ対向
面が備えられて、その対向面間で専ら表示放電が発生す
る。したがって、放電に寄与する電極表面間の距離が略
一様となって、大きな電界強度分布が誘電体被覆５８の
表面に生じないことから、放電集中に起因する局所的な
スパッタリングが抑制される。

【００３８】また、本実施例においては、表示放電電極
５６は、断面形状が円形を成すものである。そのため電
極表面に不連続面を形成する角部が存在しないため、放
電集中が一層抑制されて、局所的なスパッタリングが一
層抑制される。しかも、光の射出側である前面板４２か
ら見て表示放電電極５６の陰に位置する部分で発生する
光が表示放電電極５６を回り込んで射出されることか
ら、表示放電電極５６による遮光が抑制されるため、一
層高い輝度が得られる。また、遮光性が低いことから、
表示放電電極５６を従来のような透明電極およびその導
電性を補うための金属電極から構成する必要がないた
め、ＰＤＰ４０の製造工程が簡単になり、製造コストが
低減される。

【００３９】因みに、前記図１に示されるような従来の
３電極構造のＡＣ型ＰＤＰでは、前面板１０の内面に一
方向に沿って配列された表示放電電極２４およびそれを
覆う誘電体層２０を設ける形式の面放電構造であったこ
とから、十分な大きさの放電領域を確保する目的で表示
放電電極２４の幅寸法が大きくされるため、透明電極２
８を用いることによってそれによる遮光が抑制されてい
た。しかしながら、例え透明ではあっても、前面板１０
上に膜形成することは厚みの増大や界面の存在等によっ
て必然的に輝度低下をもたらすという問題がある。

【００４０】また、透明電極２８を用いる場合には、電
極形成工程として例えば図７に示されるような多くの工
程が必要となる。すなわち、先ず、工程１において透明
電極２８の膜強度を高めると共にガラス基板からのアル
カリ成分溶出を抑制するためのSiO₂膜（図１では図示せ
ず）をディッピング法、スパッタ法、ＣＶＤ法やスクリ
ーン印刷法等で設け、次いで、工程２においてそのSiO₂
膜上にＣＶＤや蒸着等の薄膜プロセスによってＩＴＯ、
ＡＴＯ等の透明導電膜を設け、更に、工程３においてフ
ォトプロセスを利用してパターニングすることによって
透明電極２８が形成される。この透明電極２８は導電性
が低いことから、バス電極３０が必要であるため、工程
４において透明電極２８上にCr-Cu-Cr等の金属膜を薄膜
プロセスで形成し、工程５において透明電極２８と同様
にパターニングすることによって、表示放電電極２４が
得られ、その後、工程６において誘電体層２０が形成さ
れる。したがって、高価な薄膜プロセスが利用されると
共に製造工程が複雑となって、製造コストが増大してい
たのである。

【００４１】また、本実施例においては、表示放電電極
５６は、前面板４２の内面から10〜100(μm)程度の距離
ｄ、背面板４４の内面から100 〜200(μm)程度の距離ｈ
₁ だけ離隔した位置に設けられている。そのため、表示
放電電極５６が前面板４２および背面板４４から離隔し
た位置に設けられることから、それらが誘電体として機
能することに起因する効率低下や発熱が抑制される。

【００４２】また、本実施例においては、ＰＤＰ４０
は、気密空間内において、表示放電電極５６との間隔が
大きくされた背面板４４の内面および隔壁４８側面に蛍
光体層５４を備えたカラーＰＤＰである。そのため、気
密空間内に備えられた蛍光体層５４の発光色に応じた所
望の表示色を得ることができるが、その蛍光体層５４が
表示放電電極５６から離れた位置に設けられることか
ら、表示放電はその蛍光体層５４から離れた位置で生じ
ることとなる。したがって、表示放電の際に飛散する放
電ガスイオンが衝突することによる蛍光体層５４の劣化
が抑制されるため、ＰＤＰ４０の経時的な輝度低下が一
層抑制される。

【００４３】また、本実施例においては、前述のように
前面板４２には特に膜形成する必要がなくなるため、そ
の内面に外光の反射を抑制して高いコントラストを得る
ためのカラーフィルタを設けることも容易である。因み
に、カラーフィルタを設ける場合には、視野角の影響を
可及的に小さくするために光を射出する前面板４２の内
面に設ける必要がある。そのため、従来のように前面板
４２の内面に膜形成されるＰＤＰでは、図８に要部断面
を示すように、表示放電電極２４や誘電体層２０を設け
るために、カラーフィルタ６４上に誘電体層６６を設け
て表示放電電極２４等の形成面を平坦にする必要がある
と共に、前面板１０および背面板１２を接合して気密空
間を形成するに際してカラーフィルタ６４を書込電極１
８に沿って隔壁１４の間に位置させる必要があって、工
程が複雑になり且つ寸法やピッチの制御が困難であると
いう問題もあった。

【００４４】また、本実施例によれば、ＰＤＰ４０を製
造するに際しては、被覆工程に対応する図６の工程２
（誘電体塗布工程）および工程３（焼成工程）におい
て、複数本の表示放電電極５６を構成するための複数本
の金属線の外周面がそれぞれ誘電体被覆５８で被覆され
る一方、図４の工程３の隔壁形成工程において、背面板
４４の一面（厳密にはオーバコート５２の表面）に下部
隔壁体４８ａが一様な高さに形成され、更に、工程５乃
至７の固着工程において、誘電体被覆５８で被覆された
複数本の金属線が書込電極５０と直交する方向に所定の
張力が付与された状態で下部隔壁体４８ａの頂部に相互
に所定の間隔を以て固着されることにより、誘電体被覆
５８で被覆された金属線から成る表示放電電極５６がＰ
ＤＰ４０に設けられる。そのため、表示放電電極５６
は、個々に誘電体被覆５８で被覆された状態で一平面内
において所定間隔で設けられることから、対をなす表示
放電電極５６には実質的にそれぞれ対向面が備えられ
て、その対向面間で専ら表示放電が発生する。したがっ
て、放電に寄与する電極表面間の距離が略一様となっ
て、大きな電界強度の分布が誘電体被覆５８表面に生じ
ないことから、放電集中に起因する局所的なスパッタリ
ングが抑制されるＰＤＰ４０を製造し得る。

【００４５】しかも、本実施例によれば、表示放電電極
５６は、下部隔壁体４８ａの高さを適宜変更することに
より隔壁４８の高さ方向における配置位置を自由に設定
し得るため、各発光区画毎の放電空間４６を好適に電界
が形成されるように効率よく利用できる。また、表示放
電電極５６が金属線から構成されると共に、表示放電電
極５６を覆う誘電体被覆５８を構成するための金属線の
誘電体被覆工程（図６の工程２、３）が前面板４２およ
び背面板４４の処理工程とは別工程とされて、それらの
上に表示放電電極５６や誘電体被覆５８が形成されない
ことから、これらを形成するための設備の大きさが前面
板４２および背面板４４の寸法の影響を受けないため、
ＰＤＰ４０の表示面積が大型化する場合にも製造設備の
規模拡大が抑制される。また、前面板４２および背面板
４４の処理工程とは別工程とされることによって誘電体
被覆工程の処理温度をこれらを構成するソーダライムガ
ラス等の軟化点等とは無関係に設定し得ることから、処
理温度を特に考慮することなく前述のように高い誘電率
の誘電体材料を選択し得て、誘電体被覆５８の厚さを 1
5(μm)程度と、従来必要とされていた30〜40 (μm)程度
よりも薄くできるため、表示放電電極５６による遮光を
一層低減して一層高い輝度が得られる。

【００４６】また、本実施例においては、固着工程は、
下部隔壁体４８ａの頂部に低軟化点ガラスを含むペース
トを塗布する図４の工程５の固着用ペースト塗布工程
と、誘電体被覆５８で被覆された複数本の金属線（表示
放電電極５６）を上方から下部隔壁体４８ａの頂部に向
かって押圧して固着用ペースト内に押し込むことによ
り、その金属線を所定位置に配置する工程６の配置工程
と、所定温度で加熱処理することによって低軟化点ガラ
スによって下部隔壁体４８ａの頂部に誘電体被覆５８で
被覆された金属線を固着する工程７の加熱処理工程と
を、含むものである。そのため、下部隔壁体４８ａの頂
部に塗布された絶縁ペーストで金属線が固着されること
によって、ＰＤＰ４０の表示放電電極５６が設けられる
ことから、下部隔壁体４８ａ上に塗布される絶縁ペース
トの厚さを適宜設定することによって、表示放電電極５
６と前面板４２との間隔ｄを調節し得るため、気密空間
内において表示放電電極５６を所望の高さ位置に設ける
ことができる。

【００４７】ところで、以上の実施例においては、表示
放電電極５６の断面形状が円形とされていたが、円形に
代えて、例えば、図９(a) 〜(d) に示されるような種々
の断面形状とされてもよい。なお、図において、上下方
向が図２(b) 等における上下方向すなわち前面板４２か
ら背面板４４に向かう方向に対応し、これらの表示放電
電極５６と対を成して表示放電させられる電極はそれぞ
れの左方に位置する。すなわち、表示放電電極５６の外
周面のうち、図に一点鎖線で示される部分よりも左側に
位置する放電に寄与する。このようにしても、その放電
に寄与する部分が周方向に滑らかに連続させられた凸面
から構成されていることから、前記図３等に示される円
形断面の場合と同様なスパッタリング抑制効果、遮光抑
制効果、製造コスト低減効果等が得られる。

【００４８】以上、本発明の一実施例を図面を参照して
詳細に説明したが、本発明は更に別の態様でも実施され
る。

【００４９】例えば、実施例においては、本発明が蛍光
体層５４を備えたＡＣ型カラーＰＤＰ４０に適用された
場合について説明したが、蛍光体層５４を備えていない
ＡＣ型モノクロＰＤＰや、ＬＣＤバックライト等の他の
放電表示装置にも本発明は同様に適用される。

【００５０】また、実施例においては、表示放電電極５
６の高さ位置が背面板４４との間隔がｈ₁ ＝100 〜200
(μm)程度、前面板４２との間隔がｄ＝10〜100(μm)程
度となるように設定されていたが、これらの寸法は下部
隔壁体４８ａの高さやペースト層６２の厚さを変更する
ことにより適宜変更される。したがって、放電空間４６
の寸法が異なるものとされる場合にも、書込電極５０と
の距離等を適正な値に設定することが容易である。

【００５１】また、実施例においては、１つの発光区画
に対して一対の表示放電電極５６が設けられていたが、
前述のように表示放電電極５６の断面が円形である場合
にはその遮光性が低いことから、１つの発光区画に複数
対の表示放電電極５６を配置してもよい。このようにす
れば、遮光量を特に増大することなく、発光区画の大き
さに応じた複数対の表示放電電極を配置できるため、有
効な放電領域を拡大して一層高い輝度が得られる。

【００５２】また、実施例においては、表示放電電極５
６すなわち金属線はNi、W 等から構成されていたが、F
e、Al、Ti、Cu、Ag、Mo、Pt、Ta、ニクロムＩ(Ni60,Cr1
6,Fe24)、ニクロムIII(Ni85,Cr15)、Cu-Ag(Cu93,Ag6.3,
MgO0.02) 、YEF426(Ni42,Cr6,Fe) 、50(Ni50,Fe) 、SUS
304(18Cr,8Ni,Fe) 、SUS316(18Cr,12Ni,Fe)等の他の導
電性が高い金属材料から構成されてもよい。

【００５３】また、実施例においては、誘電体被覆５８
がB₂O₃-ZnO等から成る高誘電率ガラスから構成されてい
たが、CaO-Al₂O₃-SiO₂、MgO-B₂O₃-SiO₂ 、B₂O₃-SiO₂ 、
Na₂O-B₂O₃-SiO₂、B₂O₃-ZnO-SiO₂ 、PbO-B₂O₃-SiO₂-Al₂O
₃ 、SiO₂-Al₂O₃-B₂O₃-R₂O 、CaO-BaO-SiO₂、SiO₂-Al₂O₃
-CaO、SiO₂-ZnO-CaO、SiO₂-B₂O₃-R₂O 等の種々の組成の
高誘電率ガラスも同様に用いられ得る。

【００５４】また、表示放電電極５６（金属線）の直径
や誘電体被覆５８の厚み等は実施例で示された数値に限
られず、これらの材料特性、放電空間４６の大きさや駆
動電圧等に応じて適宜変更される。

【００５５】また、実施例においては、ペースト層６２
の軟化・流動によって表示放電電極５６が覆われると共
に隔壁４８の頂部が平坦になるように説明したが、例え
ば、ペースト層６２の流動性が表示放電電極５６を完全
に覆うまでには高くならない場合には、図４の工程７の
加熱処理工程の後に表示放電電極５６上に低軟化点ガラ
スから成るペーストを塗布し、更に加熱処理することに
よって表示放電電極５６と前面板４２との間に隙間が生
じないようにしてもよい。なお、その隙間が形成される
場合にも、その寸法が小さく、ＰＤＰ４０の機能上支障
がない場合には、このような処置は不要である。

【００５６】また、実施例においては、表示放電電極５
６（金属線）の表面に誘電体被覆５８を施す図６の被覆
工程はディップ法で行われていたが、所望の高誘電率ガ
ラスを含むガラスペーストをスプレー等によって塗布し
ても良く、或いは、電着法等によって金属線の外周面に
ガラス粉末を固着した後、焼成するようにしても差し支
えない。なお、何れの方法による場合にも、誘電体被覆
５８が可及的に緻密に形成されることが望まれるため、
焼成温度は十分に軟化する温度に設定されることが必要
である。

【００５７】また、実施例においては、表示放電電極５
６は、その表面にスパッタ法等によって保護膜６０を形
成した後、下部隔壁体４８ａ上に固着していたが、形成
方法はスプレー塗布やディップ法等でも差し支えない。
また、保護膜６０を形成しながら下部隔壁体４８ａ上に
固着し、或いは、固着した後に保護膜６０を形成しても
よい。特に後者の場合には均一な膜形成をすることは困
難となるが、保護膜６０は表示放電電極５６の外周面に
均一に形成する必要はなく、対向面となる部分のみに必
要な厚さに形成されていれば十分であることから、特に
支障は生じない。

【００５８】また、実施例においては、発光区画は長手
状の隔壁４８によって一方向に沿った方向のみにおいて
物理的に区分されていたが、格子状の隔壁を設けてそれ
と直交する他方向においても物理的に区分されるように
しても差し支えない。但し、その場合には、書込電極に
沿った方向のクロストークが抑制される反面、図４の工
程８の前面板接合工程において位置合わせが困難になる
という問題も生じることから、隔壁の形状はこれらの兼
ね合いで決定されることが望ましい。

【００５９】その他、一々例示はしないが、本発明はそ
の趣旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得るものであ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】(a) は従来の３電極構造のＡＣ型ＰＤＰを一部
を切り欠いて示す斜視図であり、(b) は(a) における書
込電極に沿った断面を示す図である。

【図２】(a) は本発明の３電極構造のＡＣ型ＰＤＰを一
部を切り欠いて示す斜視図であり、(b) は(a) における
書込電極に沿った断面を示す図である。

【図３】図２のＰＤＰに用いられている表示放電電極の
構成を説明する図である。

【図４】図２のＰＤＰの製造工程を説明する工程図であ
る。

【図５】(a) は図４の製造工程における固着用ペースト
塗布工程の後の状態を説明する図であり、(b) は金属線
配置工程の後の状態を説明する図である。

【図６】図４の製造工程において金属線配置工程に用い
られる金属線の被覆処理方法を説明する工程図である。

【図７】図１に示される従来のＰＤＰの前面板の処理工
程を説明する図である。

【図８】従来のＰＤＰにおいてカラーフィルタが設けら
れる場合の構成を説明する図である。

【図９】(a) 〜(d) は、図２のＰＤＰに用いられ得る表
示放電電極の断面形状の他の例をそれぞれ示す図であ
る。

【符号の説明】

４０：ＡＣ型カラーＰＤＰ（放電表示装置） ４２：前面板（一対の平行平板の他方） ４４：背面板（一対の平行平板の一方） ４６：放電空間 ４８：隔壁 ５０：書込電極 ５６：表示放電電極 ５８：誘電体被覆（誘電体層）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 廣嶋 政幸 福岡県朝倉郡夜須町大字三並字八ツ並2160 番地九州ノリタケ株式会社内 (72)発明者 中村 哲郎 福岡県朝倉郡夜須町大字三並字八ツ並2160 番地九州ノリタケ株式会社内 (72)発明者 飯島 基 愛知県名古屋市西区則武新町三丁目１番36 号 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 内 (72)発明者 菊地 直哉 愛知県名古屋市西区則武新町三丁目１番36 号 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 内 (72)発明者 浅井 秀之 愛知県名古屋市西区則武新町三丁目１番36 号 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一対の平行平板間に形成された気密空間
   内に第１の方向および該第１の方向と直交する第２の方
   向に沿って設けられた複数の発光区画と、該複数の発光
   区画を少なくとも該第２の方向において相互に区分する
   隔壁と、該第１の方向に沿って該隔壁の間の位置にそれ
   ぞれ設けられ、発光させる所定の発光区画を選択するた
   めの複数本の書込電極と、誘電体層に覆われて前記第２
   の方向に沿って設けられて該所定の発光区画を発光させ
   るための表示放電を発生および維持させる複数本の表示
   放電電極とを備えた放電表示装置であって、 前記複数本の表示放電電極は、前記第２の方向に沿って
   伸び且つ前記気密空間内で一平面に沿って互いに平行に
   配列された複数本の金属線から成り、 前記誘電体層は、該複数本の金属線の外周面を個々に覆
   って設けられていることを特徴とする放電表示装置。
2. 【請求項２】 前記表示放電電極は、外周面のうち放電
   に寄与する部分が周方向に滑らかに連続させられた凸面
   で構成されているものである請求項１の放電表示装置。
3. 【請求項３】 前記表示放電電極は、前記一対の平行平
   板のそれぞれの内面から所定距離以上離隔した位置に設
   けられているものである請求項１の放電表示装置。
4. 【請求項４】 一対の平行平板間に形成された気密空間
   内に第１の方向および該第１の方向と直交する第２の方
   向に沿って設けられた複数の発光区画と、該複数の発光
   区画を少なくとも該第２の方向において相互に区分する
   隔壁と、該第１の方向に沿って該隔壁の間の位置にそれ
   ぞれ設けられ、発光させる所定の発光区画を選択するた
   めの複数本の書込電極と、誘電体層に覆われて前記第２
   の方向に沿って設けられて該所定の発光区画を発光させ
   るための表示放電を発生および維持させる複数本の表示
   放電電極とを備えた放電表示装置の製造方法であって、 前記複数本の表示放電電極を構成するための複数本の金
   属線の外周面をそれぞれ誘電体で被覆する被覆工程と、 前記一対の平行平板の一方の一面に前記隔壁を一様な高
   さに形成する隔壁形成工程と、 前記誘電体で被覆された前記複数本の金属線を前記第２
   の方向に所定の張力を付与した状態で前記隔壁の頂部に
   相互に所定間隔を以て固着する固着工程とを、含むこと
   を特徴とする放電表示装置の製造方法。
5. 【請求項５】 前記固着工程は、 前記隔壁の頂部に絶縁体を含むペーストを塗布するペー
   スト塗布工程と、 前記誘電体で被覆された前記複数本の金属線を上方から
   前記隔壁の頂部に向かって押圧して前記ペースト内に押
   し込むことにより、該金属線を所定位置に配置する配置
   工程と、 所定温度で加熱処理することによって前記絶縁体によっ
   て前記隔壁の頂部に前記誘電体で被覆された金属線を固
   着する加熱処理工程とを、含むものである請求項４の放
   電表示装置の製造方法。