JPH10237426A - ラップ加工用油剤組成物 - Google Patents
ラップ加工用油剤組成物Info
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- JPH10237426A JPH10237426A JP5398797A JP5398797A JPH10237426A JP H10237426 A JPH10237426 A JP H10237426A JP 5398797 A JP5398797 A JP 5398797A JP 5398797 A JP5398797 A JP 5398797A JP H10237426 A JPH10237426 A JP H10237426A
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- lapping
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 砥粒分散性に優れ、かつ温度条件や使用条件
によらず長時間にわたり優れた砥粒分散性を持続する長
期安定性に優れたラップ加工用油剤組成物を提供するこ
と。 【解決手段】 鉱油、合成油および油脂から選ばれた少
なくとも１種を基油とし、シラン類およびシリカ類の中
から選ばれた少なくとも１種を含有するラップ加工用油
剤組成物。
によらず長時間にわたり優れた砥粒分散性を持続する長
期安定性に優れたラップ加工用油剤組成物を提供するこ
と。 【解決手段】 鉱油、合成油および油脂から選ばれた少
なくとも１種を基油とし、シラン類およびシリカ類の中
から選ばれた少なくとも１種を含有するラップ加工用油
剤組成物。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、砥粒から成る研磨
剤を介して加工物とラップ工具を押さえつけ、かつ相対
運動させることで加工物を研磨するラップ加工（ラッピ
ング）に用いる油剤組成物に関する。
剤を介して加工物とラップ工具を押さえつけ、かつ相対
運動させることで加工物を研磨するラップ加工（ラッピ
ング）に用いる油剤組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】金型加工、機械部品加工あるいはガラス
レンズやシリコン板の成型時に超精密仕上げとして鏡面
加工をする場合、遊離砥粒によるラップ加工が用いられ
ている。この際、加工部分に供給されるラップ加工用油
剤は、加工物とラップ工具との間に効率的に砥粒を介在
させて加工の円滑な進行を助けるため、安定かつ均一に
砥粒を分散させる能力を持つ必要がある。
レンズやシリコン板の成型時に超精密仕上げとして鏡面
加工をする場合、遊離砥粒によるラップ加工が用いられ
ている。この際、加工部分に供給されるラップ加工用油
剤は、加工物とラップ工具との間に効率的に砥粒を介在
させて加工の円滑な進行を助けるため、安定かつ均一に
砥粒を分散させる能力を持つ必要がある。
【０００３】従来は、ポリエチレンワックス等を基油に
配合することで、砥粒の分散を助けていたが、この方法
では長時間安定な砥粒分散性を達成することが困難であ
った。
配合することで、砥粒の分散を助けていたが、この方法
では長時間安定な砥粒分散性を達成することが困難であ
った。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、砥粒
分散性に優れ、かつ温度条件や使用条件によらず長時間
にわたり優れた砥粒分散性を持続する長期安定性に優れ
たラップ加工用油剤組成物を提供することにある。
分散性に優れ、かつ温度条件や使用条件によらず長時間
にわたり優れた砥粒分散性を持続する長期安定性に優れ
たラップ加工用油剤組成物を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、鋭意研究
した結果、シラン類および／またはシリカ類を基油に配
合することで、上記課題を解決することを見出し、本発
明に至った。
した結果、シラン類および／またはシリカ類を基油に配
合することで、上記課題を解決することを見出し、本発
明に至った。
【０００６】すなわち本発明に係るラップ加工用油剤組
成物は、鉱油、合成油および油脂から選ばれた少なくと
も１種を基油とし、シラン類およびシリカ類の中から選
ばれた少なくとも１種を含有することを特徴とする。
成物は、鉱油、合成油および油脂から選ばれた少なくと
も１種を基油とし、シラン類およびシリカ類の中から選
ばれた少なくとも１種を含有することを特徴とする。
【０００７】また、本発明に係るラップ加工用油剤組成
物は、鉱油、合成油および油脂から選ばれた少なくとも
１種を基油とし、シラン類およびシリカ類の中から選ば
れた少なくとも１種、並びに有機粘土鉱物を含有するこ
とを特徴とする。
物は、鉱油、合成油および油脂から選ばれた少なくとも
１種を基油とし、シラン類およびシリカ類の中から選ば
れた少なくとも１種、並びに有機粘土鉱物を含有するこ
とを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の態様】以下、本発明の内容を詳細に説明
する。
する。
【０００９】本発明に係るラップ加工用油剤組成物は、
鉱油、合成油および油脂から選ばれた少なくとも１種を
基油とするものである。
鉱油、合成油および油脂から選ばれた少なくとも１種を
基油とするものである。
【００１０】本発明で使用可能な鉱油系基油を例示すれ
ば、原油を常圧蒸留および減圧蒸留して得られた潤滑油
留分に対して、溶剤脱れき、溶剤抽出、水素化分解、溶
剤脱ろう、接触脱ろう、水素化精製、硫酸洗浄、白土処
理等の１種もしくは２種以上の精製手段を適宜組み合わ
せて適用して得られるパラフィン系またはナフテン系の
鉱油を挙げることができる。
ば、原油を常圧蒸留および減圧蒸留して得られた潤滑油
留分に対して、溶剤脱れき、溶剤抽出、水素化分解、溶
剤脱ろう、接触脱ろう、水素化精製、硫酸洗浄、白土処
理等の１種もしくは２種以上の精製手段を適宜組み合わ
せて適用して得られるパラフィン系またはナフテン系の
鉱油を挙げることができる。
【００１１】また、合成油としては、例えば、ポリα−
オレフィン（エチレン−プロピレン共重合体、ポリブテ
ン、１−オクテンオリゴマー、１−デセンオリゴマー、
およびこれらの水素化物など）、アルキルベンゼン、ア
ルキルナフタレン、ジエステル（ジトリデシルグルタレ
ート、ジ−２−エチルヘキシルアジペート、ジイソデシ
ルアジペート、ジトリデシルアジペート、ジ−２−エチ
ルヘキシルセバケートなど）、ポリエステル（トリメリ
ット酸エステルなど）、ポリオールエステル（トリメチ
ロールプロパンカプリレート、トリメチロールプロパン
ペラルゴネート、ペンタエリスリトール−２−エチルヘ
キサノエート、ペンタエリスリトールペラルゴネートな
ど）、ポリオキシアルキレングリコール、ポリフェニル
エーテル、ジアルキルジフェニルエーテル、リン酸エス
テル（トリクレジルフォスフェートなど）、含フッ素化
合物（パーフルオロポリエーテル、フッ素化ポリオレフ
ィンなど）、シリコーン油およびこれらの混合物などが
例示できる。
オレフィン（エチレン−プロピレン共重合体、ポリブテ
ン、１−オクテンオリゴマー、１−デセンオリゴマー、
およびこれらの水素化物など）、アルキルベンゼン、ア
ルキルナフタレン、ジエステル（ジトリデシルグルタレ
ート、ジ−２−エチルヘキシルアジペート、ジイソデシ
ルアジペート、ジトリデシルアジペート、ジ−２−エチ
ルヘキシルセバケートなど）、ポリエステル（トリメリ
ット酸エステルなど）、ポリオールエステル（トリメチ
ロールプロパンカプリレート、トリメチロールプロパン
ペラルゴネート、ペンタエリスリトール−２−エチルヘ
キサノエート、ペンタエリスリトールペラルゴネートな
ど）、ポリオキシアルキレングリコール、ポリフェニル
エーテル、ジアルキルジフェニルエーテル、リン酸エス
テル（トリクレジルフォスフェートなど）、含フッ素化
合物（パーフルオロポリエーテル、フッ素化ポリオレフ
ィンなど）、シリコーン油およびこれらの混合物などが
例示できる。
【００１２】また、油脂としては、牛脂、豚脂、大豆
油、菜種油、米ぬか油、ヤシ油、パーム油、パーム核油
およびこれらの混合物、あるいはこれらの水素添加物等
が挙げられる。
油、菜種油、米ぬか油、ヤシ油、パーム油、パーム核油
およびこれらの混合物、あるいはこれらの水素添加物等
が挙げられる。
【００１３】本発明で使用する基油は、その粘度に格別
の限定はないが、一般的には、４０℃における動粘度が
１〜２００ｍｍ2 ／ｓの範囲にあるものが好ましく、５
〜１００ｍｍ2 ／ｓの範囲にあるものがより好ましい。
動粘度が低すぎる場合には、砥粒分散性が低下する場合
がある。また動粘度が高すぎる場合には、操作性、作業
性が悪化する場合がある。
の限定はないが、一般的には、４０℃における動粘度が
１〜２００ｍｍ2 ／ｓの範囲にあるものが好ましく、５
〜１００ｍｍ2 ／ｓの範囲にあるものがより好ましい。
動粘度が低すぎる場合には、砥粒分散性が低下する場合
がある。また動粘度が高すぎる場合には、操作性、作業
性が悪化する場合がある。
【００１４】本発明のラップ加工用油剤組成物は、上記
した基油にシラン類およびシリカ類の中から選ばれた少
なくとも１種を含有する。本発明において、シラン類と
しては任意のものが使用可能であるが、具体的には例え
ば、ビニルトリクロルシラン、ビニルトリス（β−メト
キシエトキシ）シラン、ビニルトリエトキシシラン、ビ
ニルトリメトキシシラン等のビニルシラン；γ−メタク
リロキシプロピルトリメトキシシラン等のアクリルシラ
ン；β−（３，４エポキシシクロヘキシル）エチルトリ
メトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキ
シシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシ
シラン等のエポキシシラン；Ｎ−β（アミノエチル）γ
ーアミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−β（アミノ
エチル）γーアミノプロピルメチルジメトキシシラン、
γーアミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−フェニル
−γーアミノプロピルトリメトキシシラン等のアミノシ
ラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ
−クロロプロピルトリメトキシシランおよびこれらの混
合物などが挙げられる。
した基油にシラン類およびシリカ類の中から選ばれた少
なくとも１種を含有する。本発明において、シラン類と
しては任意のものが使用可能であるが、具体的には例え
ば、ビニルトリクロルシラン、ビニルトリス（β−メト
キシエトキシ）シラン、ビニルトリエトキシシラン、ビ
ニルトリメトキシシラン等のビニルシラン；γ−メタク
リロキシプロピルトリメトキシシラン等のアクリルシラ
ン；β−（３，４エポキシシクロヘキシル）エチルトリ
メトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキ
シシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシ
シラン等のエポキシシラン；Ｎ−β（アミノエチル）γ
ーアミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−β（アミノ
エチル）γーアミノプロピルメチルジメトキシシラン、
γーアミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−フェニル
−γーアミノプロピルトリメトキシシラン等のアミノシ
ラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ
−クロロプロピルトリメトキシシランおよびこれらの混
合物などが挙げられる。
【００１５】また、本発明において、シリカ類として
は、任意のものが使用可能であり、シリカ類の１次粒子
の平均径については、何ら制限はない。しかしながら、
入手のし易さなどの点から、通常１次粒子の平均径が７
ｎｍ以上、好ましくは１０ｎｍ以上のものが用いられ
る。また、シリカ類の基油中での分散性がより高いこと
などから、１次粒子の平均径が５０ｎｍ以下、好ましく
は３０ｎｍ以下のものが望ましい。
は、任意のものが使用可能であり、シリカ類の１次粒子
の平均径については、何ら制限はない。しかしながら、
入手のし易さなどの点から、通常１次粒子の平均径が７
ｎｍ以上、好ましくは１０ｎｍ以上のものが用いられ
る。また、シリカ類の基油中での分散性がより高いこと
などから、１次粒子の平均径が５０ｎｍ以下、好ましく
は３０ｎｍ以下のものが望ましい。
【００１６】さらに、シリカ類の見掛け比重に関しても
何ら制限はないが、入手のし易さなどの点から、通常見
掛比重が３００ｇ／ｌ以下、好ましくは２００ｇ／ｌ以
下のものが用いられる。また、シリカ類の基油中での分
散性がより高いことなどから、見掛比重が１０ｇ／ｌ以
上、好ましくは２０ｇ／ｌ以上のものが望ましい。
何ら制限はないが、入手のし易さなどの点から、通常見
掛比重が３００ｇ／ｌ以下、好ましくは２００ｇ／ｌ以
下のものが用いられる。また、シリカ類の基油中での分
散性がより高いことなどから、見掛比重が１０ｇ／ｌ以
上、好ましくは２０ｇ／ｌ以上のものが望ましい。
【００１７】また、シリカ類としては疎水性のものであ
っても、親水性のものであっても良いが、砥粒の分散性
および長期安定性により優れることから、疎水性のもの
が好ましい。疎水性シリカは、通常親水性シリカをメタ
ノール等の低級アルコールやジメチルジクロルシラン等
のクロロシランなどで処理し、表面に存在するシラノー
ル（Ｓｉ−ＯＨ）基を疎水性基に化学修飾することによ
って得られる。
っても、親水性のものであっても良いが、砥粒の分散性
および長期安定性により優れることから、疎水性のもの
が好ましい。疎水性シリカは、通常親水性シリカをメタ
ノール等の低級アルコールやジメチルジクロルシラン等
のクロロシランなどで処理し、表面に存在するシラノー
ル（Ｓｉ−ＯＨ）基を疎水性基に化学修飾することによ
って得られる。
【００１８】本発明において、上記したシラン類および
シリカ類の含有量は任意であるが、ラップ加工用油剤全
量基準で、シラン類およびシリカ類の合計量として０．
０５〜２０質量％、好ましくは０．１〜１０質量％であ
ることが望ましい。含有量が０．０５質量％に満たない
場合には、砥粒分散性および長期安定性が不十分となる
恐れがある。また、含有量が２０質量％を越えてもそれ
以上の効果の向上が期待できず、さらに粘度が上昇しす
ぎて操作性、作業性が悪化する場合がある。
シリカ類の含有量は任意であるが、ラップ加工用油剤全
量基準で、シラン類およびシリカ類の合計量として０．
０５〜２０質量％、好ましくは０．１〜１０質量％であ
ることが望ましい。含有量が０．０５質量％に満たない
場合には、砥粒分散性および長期安定性が不十分となる
恐れがある。また、含有量が２０質量％を越えてもそれ
以上の効果の向上が期待できず、さらに粘度が上昇しす
ぎて操作性、作業性が悪化する場合がある。
【００１９】本発明においては、基油に上記したような
シラン類およびシリカ類の中から選ばれた少なくとも１
種を含有させることによって、砥粒分散性および長期安
定性に優れたラップ加工用油剤組成物が得られるが、さ
らに有機粘土鉱物を含有させることにより、より砥粒分
散性および長期安定性を向上させることができる。
シラン類およびシリカ類の中から選ばれた少なくとも１
種を含有させることによって、砥粒分散性および長期安
定性に優れたラップ加工用油剤組成物が得られるが、さ
らに有機粘土鉱物を含有させることにより、より砥粒分
散性および長期安定性を向上させることができる。
【００２０】本発明でいう有機粘土鉱物とは、モンモリ
ロナイト、ヘクトライト、ハロイサイト、カオリナイ
ト、バーミライト、イライト等の粘土鉱物やこれらの混
合物であるベントナイト等の粘土などを有機塩基化合物
により処理することによって、有機置換を行わせ親有機
性を持たせたものをいう。有機置換に用いられる有機塩
基化合物としては、具体的には例えば、オクタデシルア
ミン酢酸塩等の脂肪族アミン塩、ジメチルジオクタデシ
ルアンモニウムクロライド等の第４級アンモニウム塩、
ステアリン酸アミド等の非イオン性の化合物と第４級ア
ンモニウム塩との混合物などが挙げられる。本発明にお
いては、この中でも砥粒分散性および長期安定性がより
優れる点から、モンモリロナイトやヘクトライトおよび
これらの粘土鉱物を主要成分とする粘土を有機塩基化合
物で処理したものを、シラン類および／またはシリカ類
等と併用して用いることがより好ましい。
ロナイト、ヘクトライト、ハロイサイト、カオリナイ
ト、バーミライト、イライト等の粘土鉱物やこれらの混
合物であるベントナイト等の粘土などを有機塩基化合物
により処理することによって、有機置換を行わせ親有機
性を持たせたものをいう。有機置換に用いられる有機塩
基化合物としては、具体的には例えば、オクタデシルア
ミン酢酸塩等の脂肪族アミン塩、ジメチルジオクタデシ
ルアンモニウムクロライド等の第４級アンモニウム塩、
ステアリン酸アミド等の非イオン性の化合物と第４級ア
ンモニウム塩との混合物などが挙げられる。本発明にお
いては、この中でも砥粒分散性および長期安定性がより
優れる点から、モンモリロナイトやヘクトライトおよび
これらの粘土鉱物を主要成分とする粘土を有機塩基化合
物で処理したものを、シラン類および／またはシリカ類
等と併用して用いることがより好ましい。
【００２１】本発明において、上記した有機粘土鉱物を
含有させる場合の有機粘土鉱物の含有量は任意である
が、ラップ加工用油剤全量基準で、０．０２〜１０質量
％、好ましくは０．０５〜５質量％であることが望まし
い。有機粘土鉱物の含有量が、０．０２質量％に満たな
い場合には、砥粒分散性および長期安定性の向上効果が
見られない場合がある。また、含有量が１０質量％を越
える場合には、それ以上の効果の向上が期待できず、さ
らに粘度が上昇しすぎて操作性、作業性が悪化する場合
がある。また、シラン類およびシリカ類の合計量を１０
０重量部として、有機粘土鉱物が１〜１００重量部、好
ましくは１０〜１００重量部となるように含有させるこ
とが望ましい。有機粘土鉱物の含有量がシラン類および
シリカ類の合計量に対して少なすぎる場合および多すぎ
る場合には、砥粒分散性および長期安定性の向上効果が
見られない場合がある。
含有させる場合の有機粘土鉱物の含有量は任意である
が、ラップ加工用油剤全量基準で、０．０２〜１０質量
％、好ましくは０．０５〜５質量％であることが望まし
い。有機粘土鉱物の含有量が、０．０２質量％に満たな
い場合には、砥粒分散性および長期安定性の向上効果が
見られない場合がある。また、含有量が１０質量％を越
える場合には、それ以上の効果の向上が期待できず、さ
らに粘度が上昇しすぎて操作性、作業性が悪化する場合
がある。また、シラン類およびシリカ類の合計量を１０
０重量部として、有機粘土鉱物が１〜１００重量部、好
ましくは１０〜１００重量部となるように含有させるこ
とが望ましい。有機粘土鉱物の含有量がシラン類および
シリカ類の合計量に対して少なすぎる場合および多すぎ
る場合には、砥粒分散性および長期安定性の向上効果が
見られない場合がある。
【００２２】また、本発明のラップ加工用油剤組成物と
しては、その優れた性能をさらに向上させる目的で、公
知の潤滑油用添加剤を含有させることができる。このよ
うな添加剤としては、ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−ｐ−クレ
ゾール、ビスフェノールＡ等のフェノール系化合物、フ
ェニル−α−ナフチルアミン、Ｎ，Ｎ’−ジ（２−ナフ
チル）−ｐ−フェニレンジアミン等のアミン系化合物等
の酸化防止剤；石油スルホネート、ジノニルナフタレン
スルホネート、ソルビタンエステル等のさび止め剤；脂
肪酸、アルコール、エステル、ポリアミン化合物、ポリ
アミン化合物のアミド化物、動植物油脂等の油性剤；ト
リクレジルフォスフェート、トリクレジルフォスファイ
ト、トリフェニルフォスフェート、トリフェニルフォス
ファイト、ジアルキルジチオリン酸亜鉛、硫化油脂、酸
性リン酸エステルアミン塩等の極圧剤；ベンゾトリアゾ
ールやアルキルチアジアゾール等の金属不活性化剤；シ
リコーン油、フルオロシリコン油等の消泡剤；エチレン
オキサイド、プロピレンオキサイドの縮合生成物等の抗
乳化剤等が挙げられる。
しては、その優れた性能をさらに向上させる目的で、公
知の潤滑油用添加剤を含有させることができる。このよ
うな添加剤としては、ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−ｐ−クレ
ゾール、ビスフェノールＡ等のフェノール系化合物、フ
ェニル−α−ナフチルアミン、Ｎ，Ｎ’−ジ（２−ナフ
チル）−ｐ−フェニレンジアミン等のアミン系化合物等
の酸化防止剤；石油スルホネート、ジノニルナフタレン
スルホネート、ソルビタンエステル等のさび止め剤；脂
肪酸、アルコール、エステル、ポリアミン化合物、ポリ
アミン化合物のアミド化物、動植物油脂等の油性剤；ト
リクレジルフォスフェート、トリクレジルフォスファイ
ト、トリフェニルフォスフェート、トリフェニルフォス
ファイト、ジアルキルジチオリン酸亜鉛、硫化油脂、酸
性リン酸エステルアミン塩等の極圧剤；ベンゾトリアゾ
ールやアルキルチアジアゾール等の金属不活性化剤；シ
リコーン油、フルオロシリコン油等の消泡剤；エチレン
オキサイド、プロピレンオキサイドの縮合生成物等の抗
乳化剤等が挙げられる。
【００２３】本発明のラップ加工用油剤組成物に、これ
ら添加剤を配合する場合は、それぞれ単独で使用しても
良く、また２種類以上組み合わせて使用してもよい。こ
れら公知の添加剤を配合する場合の添加量は任意である
が、通常、これら公知の添加剤の合計量が組成物全量基
準で１５質量％以下となるような量を添加するのが好ま
しい。
ら添加剤を配合する場合は、それぞれ単独で使用しても
良く、また２種類以上組み合わせて使用してもよい。こ
れら公知の添加剤を配合する場合の添加量は任意である
が、通常、これら公知の添加剤の合計量が組成物全量基
準で１５質量％以下となるような量を添加するのが好ま
しい。
【００２４】本発明のラップ加工用油剤組成物の粘度に
格別の限定はないが、一般的には、４０℃における動粘
度が１〜２００ｍｍ2 ／ｓの範囲にあるものが好まし
く、５〜１００ｍｍ2 ／ｓの範囲にあるものがより好ま
しい。
格別の限定はないが、一般的には、４０℃における動粘
度が１〜２００ｍｍ2 ／ｓの範囲にあるものが好まし
く、５〜１００ｍｍ2 ／ｓの範囲にあるものがより好ま
しい。
【００２５】本発明のラップ加工用油剤組成物は、これ
にさらに砥粒を配合させた砥粒分散液としてラップ加工
に用いられる。本発明のラップ加工用油剤に配合する砥
粒としては、何ら制限はなく従来から使用されている砥
粒、具体的には例えば炭化珪素、アルミナ、炭化ボロ
ン、炭化タングステン、炭化チタン、炭化クロム、窒化
チタン、窒化珪素等の何れもが使用可能である。これら
の砥粒の粒径についても何ら制限はないが、通常、１０
〜１００μｍのものが用いられる。また、ラップ加工用
油剤組成物に対する砥粒の配合量についても何ら制限は
ないが、通常、砥粒分散液全量基準として、砥粒が５〜
５０質量％、好ましくは１０〜４０質量％となることが
望ましい。
にさらに砥粒を配合させた砥粒分散液としてラップ加工
に用いられる。本発明のラップ加工用油剤に配合する砥
粒としては、何ら制限はなく従来から使用されている砥
粒、具体的には例えば炭化珪素、アルミナ、炭化ボロ
ン、炭化タングステン、炭化チタン、炭化クロム、窒化
チタン、窒化珪素等の何れもが使用可能である。これら
の砥粒の粒径についても何ら制限はないが、通常、１０
〜１００μｍのものが用いられる。また、ラップ加工用
油剤組成物に対する砥粒の配合量についても何ら制限は
ないが、通常、砥粒分散液全量基準として、砥粒が５〜
５０質量％、好ましくは１０〜４０質量％となることが
望ましい。
【００２６】本発明のラップ加工用油剤組成物は、ガラ
ス、セラミックス、シリコン、半導体材料、水晶、鋼や
非鉄金属等の金属などの加工物を、高精度に研磨加工す
る際や表面を鏡面加工する際などに好適に用いられる。
ス、セラミックス、シリコン、半導体材料、水晶、鋼や
非鉄金属等の金属などの加工物を、高精度に研磨加工す
る際や表面を鏡面加工する際などに好適に用いられる。
【００２７】
【実施例】以下、実施例および比較例により本発明の内
容をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施
例に何ら限定されるものではない。
容をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施
例に何ら限定されるものではない。
【００２８】実施例１〜６および比較例１〜３ 表１に示す組成により、本発明に係るラップ加工用油剤
組成物および比較のためのラップ加工用油剤組成物を調
製した。なお、比較しやすくするため各組成物の４０℃
における動粘度が全て約４０ｍｍ2 ／ｓとなるように、
異なる動粘度を有する３種の鉱油の配合比を変えること
によって動粘度を調整した。
組成物および比較のためのラップ加工用油剤組成物を調
製した。なお、比較しやすくするため各組成物の４０℃
における動粘度が全て約４０ｍｍ2 ／ｓとなるように、
異なる動粘度を有する３種の鉱油の配合比を変えること
によって動粘度を調整した。
【００２９】各組成物１００ｇと粒度＃４００の炭化珪
素砥粒（シンエツ製シナノランダムＧＰ）２５ｇを２０
０ｍＬのビーカーにとり、これを６００ｒｐｍ、２０分
の条件で、攪拌し砥粒濃度２０％の砥粒分散液を調製し
た。攪拌終了後この砥粒分散液１００ｍＬをすばやく１
００ｍＬメスシリンダーに採取して２０℃の恒温層内に
静置し、２４時間後の全液体積に対する砥粒分散層の体
積Ｖ（ｍＬ）を測定した。結果を併せて表１に示す。な
お、Ｖの値が大きいものほど長期安定性に優れることを
示す。
素砥粒（シンエツ製シナノランダムＧＰ）２５ｇを２０
０ｍＬのビーカーにとり、これを６００ｒｐｍ、２０分
の条件で、攪拌し砥粒濃度２０％の砥粒分散液を調製し
た。攪拌終了後この砥粒分散液１００ｍＬをすばやく１
００ｍＬメスシリンダーに採取して２０℃の恒温層内に
静置し、２４時間後の全液体積に対する砥粒分散層の体
積Ｖ（ｍＬ）を測定した。結果を併せて表１に示す。な
お、Ｖの値が大きいものほど長期安定性に優れることを
示す。
【００３０】
【表１】 表１の結果から明らかなように、本発明に係る実施例１
〜６のラップ加工用油剤組成物は砥粒分散の長期安定性
に優れることが分かる。また特に、さらに有機粘土鉱物
を含有させた実施例３および実施例６の組成物はより長
期安定性に優れている。これに対して、シラン類および
シリカ類を含有しないまたはシラン類およびシリカ類の
かわりに、ポリエチレンワックスを含有させた比較例の
各組成物は、砥粒分散の長期安定性に劣ることが分か
る。
〜６のラップ加工用油剤組成物は砥粒分散の長期安定性
に優れることが分かる。また特に、さらに有機粘土鉱物
を含有させた実施例３および実施例６の組成物はより長
期安定性に優れている。これに対して、シラン類および
シリカ類を含有しないまたはシラン類およびシリカ類の
かわりに、ポリエチレンワックスを含有させた比較例の
各組成物は、砥粒分散の長期安定性に劣ることが分か
る。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のラップ加
工用油剤組成物は、従来のラップ加工用油剤組成物に比
べて、長時間にわたり優れた砥粒分散性を持続する長期
安定性に優れている。
工用油剤組成物は、従来のラップ加工用油剤組成物に比
べて、長時間にわたり優れた砥粒分散性を持続する長期
安定性に優れている。
Claims (2)
- 【請求項１】 鉱油、合成油および油脂から選ばれた少
なくとも１種を基油とし、シラン類およびシリカ類の中
から選ばれた少なくとも１種を含有するラップ加工用油
剤組成物。 - 【請求項２】 鉱油、合成油および油脂から選ばれた少
なくとも１種を基油とし、シラン類およびシリカ類の中
から選ばれた少なくとも１種、並びに有機粘土鉱物を含
有するラップ加工用油剤組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5398797A JPH10237426A (ja) | 1997-02-21 | 1997-02-21 | ラップ加工用油剤組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5398797A JPH10237426A (ja) | 1997-02-21 | 1997-02-21 | ラップ加工用油剤組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10237426A true JPH10237426A (ja) | 1998-09-08 |
Family
ID=12957986
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5398797A Pending JPH10237426A (ja) | 1997-02-21 | 1997-02-21 | ラップ加工用油剤組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10237426A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001047358A (ja) * | 1999-05-28 | 2001-02-20 | Nissan Chem Ind Ltd | 研磨用組成物 |
| JP2004502824A (ja) * | 2000-07-05 | 2004-01-29 | キャボット マイクロエレクトロニクス コーポレイション | Ｃｍｐのためのシラン含有研磨組成物 |
| JP2004502823A (ja) * | 2000-07-05 | 2004-01-29 | キャボット マイクロエレクトロニクス コーポレイション | 金属ｃｍｐのための研磨組成物 |
| US7438630B2 (en) | 1997-09-30 | 2008-10-21 | Hoya Corporation | Polishing method, polishing device, glass substrate for magnetic recording medium, and magnetic recording medium |
| EP2364241A4 (en) * | 2008-04-18 | 2013-12-11 | Saint Gobain Abrasives Inc | SURFACE MODIFICATION OF HYDROPHILIC SILANE AND HYDROPHOBIC OF ABRASIVE GRAINS |
| JPWO2013065491A1 (ja) * | 2011-11-01 | 2015-04-02 | 旭硝子株式会社 | ガラス基板の製造方法 |
-
1997
- 1997-02-21 JP JP5398797A patent/JPH10237426A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7438630B2 (en) | 1997-09-30 | 2008-10-21 | Hoya Corporation | Polishing method, polishing device, glass substrate for magnetic recording medium, and magnetic recording medium |
| US7494401B2 (en) | 1997-09-30 | 2009-02-24 | Hoya Corporation | Polishing method, polishing device, glass substrate for magnetic recording medium, and magnetic recording medium |
| US7690969B2 (en) | 1997-09-30 | 2010-04-06 | Hoya Corporation | Polishing method, polishing device, glass substrate for magnetic recording medium, and magnetic recording medium |
| JP2001047358A (ja) * | 1999-05-28 | 2001-02-20 | Nissan Chem Ind Ltd | 研磨用組成物 |
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