JPH10239035A - 光学センサ - Google Patents
光学センサInfo
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- JPH10239035A JPH10239035A JP4124997A JP4124997A JPH10239035A JP H10239035 A JPH10239035 A JP H10239035A JP 4124997 A JP4124997 A JP 4124997A JP 4124997 A JP4124997 A JP 4124997A JP H10239035 A JPH10239035 A JP H10239035A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 33
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】取付けスペースが狭い箇所にも使用できる光学
センサを提供する。 【解決手段】センサ本体1では、投光手段が投光窓11
を介してレーザ光4を出射する。ミラー2はセンサ本体
1の投光窓11から出射されたレーザ光4を反射して被
測定物体3に投光するとともに、被測定物体3の反射光
5をさらに反射してセンサ本体1の受光窓12に入射さ
せる。センサ本体1では、受光窓12を介して入射され
た反射光5をPSD素子からなる受光手段で受光して、
被測定物体3の形状を測定する。
センサを提供する。 【解決手段】センサ本体1では、投光手段が投光窓11
を介してレーザ光4を出射する。ミラー2はセンサ本体
1の投光窓11から出射されたレーザ光4を反射して被
測定物体3に投光するとともに、被測定物体3の反射光
5をさらに反射してセンサ本体1の受光窓12に入射さ
せる。センサ本体1では、受光窓12を介して入射され
た反射光5をPSD素子からなる受光手段で受光して、
被測定物体3の形状を測定する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、被測定物体に光を
投光し、被測定物体からの反射光を受光して被測定物体
の形状を検出する光学センサに関するものである。
投光し、被測定物体からの反射光を受光して被測定物体
の形状を検出する光学センサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、投光手段から投光窓を介して
被測定物体に例えばレーザ光を投光し、被測定物体から
の反射光を受光窓を介してPSD(Position Sensitive
Detector )素子よりなる受光手段で受光することによ
り、被測定物体の形状を検出する光学センサがあった。
被測定物体に例えばレーザ光を投光し、被測定物体から
の反射光を受光窓を介してPSD(Position Sensitive
Detector )素子よりなる受光手段で受光することによ
り、被測定物体の形状を検出する光学センサがあった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記構成の光学センサ
では、図11に示すように、円筒状の被測定物体3の円
筒内面に突出する突起31の形状を検出する場合、円筒
の直径が小さいために、上述の投光手段や受光手段が納
装されたセンサ本体1を円筒内部に配置することができ
ず、突起31の形状を検出することができなかった。
では、図11に示すように、円筒状の被測定物体3の円
筒内面に突出する突起31の形状を検出する場合、円筒
の直径が小さいために、上述の投光手段や受光手段が納
装されたセンサ本体1を円筒内部に配置することができ
ず、突起31の形状を検出することができなかった。
【0004】また、図12に示すように、被測定物体3
内の空洞部35に設けられた凹部32の形状を検出する
場合、センサ本体1から凹部32に直接レーザ光4を投
光することができないため、凹部32の形状を検出する
ことができなかった。この種の光学センサでは、センサ
本体1から出射された光が被測定物体3に投光されるま
でに走行する距離が所定の測定範囲に収まるように、セ
ンサ本体1を配置しなければならないが、図13に示す
ように、被測定物体3の上方に他の装置6が配置されて
おり、被測定物体3と装置6との間にセンサ本体1を配
置した場合に、被測定物体3の凹部32とセンサ本体1
との距離が所定の測定範囲よりも短くなり、凹部32の
形状を検出することができないという問題もあった。
内の空洞部35に設けられた凹部32の形状を検出する
場合、センサ本体1から凹部32に直接レーザ光4を投
光することができないため、凹部32の形状を検出する
ことができなかった。この種の光学センサでは、センサ
本体1から出射された光が被測定物体3に投光されるま
でに走行する距離が所定の測定範囲に収まるように、セ
ンサ本体1を配置しなければならないが、図13に示す
ように、被測定物体3の上方に他の装置6が配置されて
おり、被測定物体3と装置6との間にセンサ本体1を配
置した場合に、被測定物体3の凹部32とセンサ本体1
との距離が所定の測定範囲よりも短くなり、凹部32の
形状を検出することができないという問題もあった。
【0005】本発明は上記問題点に鑑みて為されたもの
であり、請求項1乃至7の発明の目的は、センサ本体を
配置するスペースがない箇所や、センサ本体と被測定物
体との距離が短い場合でも使用できる光学センサを提供
することにある。
であり、請求項1乃至7の発明の目的は、センサ本体を
配置するスペースがない箇所や、センサ本体と被測定物
体との距離が短い場合でも使用できる光学センサを提供
することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明では、上
記目的を達成するために、被測定物体に光を投光すると
ともに、被測定物体からの反射光を受光することによ
り、被測定物体の形状を検出する光学センサにおいて、
センサ本体と被測定物体との間に反射手段を配置し、反
射手段がセンサ本体から出射された光を反射して被測定
物体に投光させるとともに、被測定物体からの反射光を
反射してセンサ本体に入射させており、請求項2の発明
では、反射手段がセンサ本体の走査方向と略平行な方向
に光を反射させ、請求項3の発明では、反射手段がセン
サ本体の走査方向と略直交する方向に光を反射させてい
るので、センサ本体を配設するスペースがないために、
センサ本体から被測定物体に光を直接投光することがで
きない場合でも、センサ本体からの光を反射手段で反射
することにより、センサ本体からの光を被測定物体に投
光させることができる。
記目的を達成するために、被測定物体に光を投光すると
ともに、被測定物体からの反射光を受光することによ
り、被測定物体の形状を検出する光学センサにおいて、
センサ本体と被測定物体との間に反射手段を配置し、反
射手段がセンサ本体から出射された光を反射して被測定
物体に投光させるとともに、被測定物体からの反射光を
反射してセンサ本体に入射させており、請求項2の発明
では、反射手段がセンサ本体の走査方向と略平行な方向
に光を反射させ、請求項3の発明では、反射手段がセン
サ本体の走査方向と略直交する方向に光を反射させてい
るので、センサ本体を配設するスペースがないために、
センサ本体から被測定物体に光を直接投光することがで
きない場合でも、センサ本体からの光を反射手段で反射
することにより、センサ本体からの光を被測定物体に投
光させることができる。
【0007】請求項4の発明では、請求項1の発明にお
いて、被測定物体の測定箇所が円筒内部にある場合、反
射手段が円筒内部に配置されており、請求項5の発明で
は、被測定物体が内部に空洞部を備え、空洞部に連通す
る連通部が設けられており、センサ本体が被測定物体の
外部に配置される場合、空洞部の内面にセンサ本体から
の光を投光するために、反射手段が連通部及び空洞部に
配置されているので、センサ本体を配設するスペースが
なかったり、被測定物体の形状が複雑なために、センサ
本体から被測定物体に光を直接投光させることができな
い場合でも、センサ本体からの光を反射手段で反射させ
ることにより、センサ本体からの光を被測定物体に投光
させることができる。
いて、被測定物体の測定箇所が円筒内部にある場合、反
射手段が円筒内部に配置されており、請求項5の発明で
は、被測定物体が内部に空洞部を備え、空洞部に連通す
る連通部が設けられており、センサ本体が被測定物体の
外部に配置される場合、空洞部の内面にセンサ本体から
の光を投光するために、反射手段が連通部及び空洞部に
配置されているので、センサ本体を配設するスペースが
なかったり、被測定物体の形状が複雑なために、センサ
本体から被測定物体に光を直接投光させることができな
い場合でも、センサ本体からの光を反射手段で反射させ
ることにより、センサ本体からの光を被測定物体に投光
させることができる。
【0008】請求項6の発明では、請求項1の発明にお
いて、センサ本体から出射された光が被測定物体に投光
されるまでに走行する距離が所定の測定範囲内に収まる
ように、反射手段がセンサ本体からの光を反射している
ので、センサ本体と被測定物体との直線距離が短い場合
でも、センサ本体から投光された光が走行する距離を伸
ばすことができる。
いて、センサ本体から出射された光が被測定物体に投光
されるまでに走行する距離が所定の測定範囲内に収まる
ように、反射手段がセンサ本体からの光を反射している
ので、センサ本体と被測定物体との直線距離が短い場合
でも、センサ本体から投光された光が走行する距離を伸
ばすことができる。
【0009】請求項7の発明では、請求項1の発明にお
いて、センサ本体と被測定物体との間に反射手段が偶数
個配置されており、反射手段で複数回反射させているの
で、センサ本体で検出した形状と被測定物体の形状が反
転するのを防止できる。
いて、センサ本体と被測定物体との間に反射手段が偶数
個配置されており、反射手段で複数回反射させているの
で、センサ本体で検出した形状と被測定物体の形状が反
転するのを防止できる。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面を参照
して説明する。この光学センサは、図1に示すように、
センサ本体の内部に納装された投光手段(図示せず)が
投光窓11を介して被測定物体3に例えばレーザ光を投
光するとともに、被測定物体3からの反射光を受光窓1
2を介してセンサ本体の内部に納装されたPSD素子の
ような受光手段で受光することにより、被測定物体3の
形状を検出するセンサ本体1と、センサ本体1の投光窓
11から出射されたレーザ光4を反射して被測定物体3
に投光するとともに、被測定物体3からの反射光5を反
射してセンサ本体1の受光窓12に入射させる反射手段
たるミラー2とから構成される。
して説明する。この光学センサは、図1に示すように、
センサ本体の内部に納装された投光手段(図示せず)が
投光窓11を介して被測定物体3に例えばレーザ光を投
光するとともに、被測定物体3からの反射光を受光窓1
2を介してセンサ本体の内部に納装されたPSD素子の
ような受光手段で受光することにより、被測定物体3の
形状を検出するセンサ本体1と、センサ本体1の投光窓
11から出射されたレーザ光4を反射して被測定物体3
に投光するとともに、被測定物体3からの反射光5を反
射してセンサ本体1の受光窓12に入射させる反射手段
たるミラー2とから構成される。
【0011】この光学センサでは、ミラー2がセンサ本
体1からの光と被測定物体3からの反射光をそれぞれ一
回づつ反射しているので、センサ本体1の検出出力〔図
2(a)〕は、被測定物体の形状〔図2(b)〕が左右
に反転された出力となっている。また、図3に示すよう
に、センサ本体1と被測定物体3との間に2個のミラー
21 ,22 を配置してもよく、センサ本体1の投光窓1
1から出射されたレーザ光4はミラー21 ,22 で反射
されて被測定物体3に投光され、被測定物体3からの反
射光5はミラー22 ,21 で反射されてセンサ本体1の
受光窓12に入射する。
体1からの光と被測定物体3からの反射光をそれぞれ一
回づつ反射しているので、センサ本体1の検出出力〔図
2(a)〕は、被測定物体の形状〔図2(b)〕が左右
に反転された出力となっている。また、図3に示すよう
に、センサ本体1と被測定物体3との間に2個のミラー
21 ,22 を配置してもよく、センサ本体1の投光窓1
1から出射されたレーザ光4はミラー21 ,22 で反射
されて被測定物体3に投光され、被測定物体3からの反
射光5はミラー22 ,21 で反射されてセンサ本体1の
受光窓12に入射する。
【0012】この時、ミラー21 ,22 でセンサ本体1
からのレーザ光4及び被測定物体3からの反射光5をそ
れぞれ2回づつ反射しているので、センサ本体1の検出
出力〔図4(a)〕は、被測定物体の形状〔図4
(b)〕と同じになる。このように、ミラー21 …を偶
数個配置し、センサ本体1からのレーザ光4及び被測定
物体3からの反射光5をそれぞれ偶数回反射することに
よって、センサ本体1で検出した形状と被測定物体3の
形状とを一致させることができる。
からのレーザ光4及び被測定物体3からの反射光5をそ
れぞれ2回づつ反射しているので、センサ本体1の検出
出力〔図4(a)〕は、被測定物体の形状〔図4
(b)〕と同じになる。このように、ミラー21 …を偶
数個配置し、センサ本体1からのレーザ光4及び被測定
物体3からの反射光5をそれぞれ偶数回反射することに
よって、センサ本体1で検出した形状と被測定物体3の
形状とを一致させることができる。
【0013】ところで、図5に示すように、センサ本体
1に配設された受光レンズ13が、ミラー2からの反射
光をセンサ本体1内に納装された受光手段14に集光さ
せる場合、ミラー2を、ミラー2が配置された位置での
受光手段14の視野よりも大きくする必要がある。すな
わち、受光手段14の高さをh、幅をdとし、受光レン
ズ13の焦点距離をf、受光レンズ13からミラー2ま
での距離をAとすると、ミラー2の高さH、幅Dは次式
で表される。
1に配設された受光レンズ13が、ミラー2からの反射
光をセンサ本体1内に納装された受光手段14に集光さ
せる場合、ミラー2を、ミラー2が配置された位置での
受光手段14の視野よりも大きくする必要がある。すな
わち、受光手段14の高さをh、幅をdとし、受光レン
ズ13の焦点距離をf、受光レンズ13からミラー2ま
での距離をAとすると、ミラー2の高さH、幅Dは次式
で表される。
【0014】H>(A/f)×h ・・・(1) D>(A/f)×d ・・・(2) 上式より、センサ本体1からミラー2までの距離が遠く
なるほど、ミラー2の大きさを大きくする必要がある。
次に、この光学センサの使用状態を図6乃至図8に基づ
いて説明する。
なるほど、ミラー2の大きさを大きくする必要がある。
次に、この光学センサの使用状態を図6乃至図8に基づ
いて説明する。
【0015】例えば、図6に示すように、円筒状の被測
定物体3の内周面に突設された突起31の形状を検出す
る場合、円筒内部は狭く、センサ本体1を円筒内部に配
置するスペースがないが、センサ本体1を円筒外部に配
置するとともに、ミラー2を円筒内部に配置し、センサ
本体1から出射されたレーザ光4をミラー2で反射して
突起31に投光させ、突起31から反射された反射光を
ミラー2でさらに反射してセンサ本体1に入射させるこ
とにより、突起31の形状を検出することができる。
定物体3の内周面に突設された突起31の形状を検出す
る場合、円筒内部は狭く、センサ本体1を円筒内部に配
置するスペースがないが、センサ本体1を円筒外部に配
置するとともに、ミラー2を円筒内部に配置し、センサ
本体1から出射されたレーザ光4をミラー2で反射して
突起31に投光させ、突起31から反射された反射光を
ミラー2でさらに反射してセンサ本体1に入射させるこ
とにより、突起31の形状を検出することができる。
【0016】また、図7に示すように、被測定物体3が
内部に空洞部35を備え、開口33から空洞部35に連
通する略L字状の連通部34が設けられており、空洞部
35の内面に設けられた凹部32の形状を検出する場
合、空洞部35の内部は狭く、センサ本体1を配置する
スペースがないが、開口33付近にセンサ本体1を配置
するとともに、連通路34と空洞部35にそれぞれミラ
ー21 ,22 を配置し、センサ本体1から出射されたレ
ーザ光4をミラー21 ,22 で反射して凹部32に投光
させ、凹部32で反射された反射光をミラー22 ,21
で反射してセンサ本体1に入射させることにより、凹部
32の形状を検出することができる。
内部に空洞部35を備え、開口33から空洞部35に連
通する略L字状の連通部34が設けられており、空洞部
35の内面に設けられた凹部32の形状を検出する場
合、空洞部35の内部は狭く、センサ本体1を配置する
スペースがないが、開口33付近にセンサ本体1を配置
するとともに、連通路34と空洞部35にそれぞれミラ
ー21 ,22 を配置し、センサ本体1から出射されたレ
ーザ光4をミラー21 ,22 で反射して凹部32に投光
させ、凹部32で反射された反射光をミラー22 ,21
で反射してセンサ本体1に入射させることにより、凹部
32の形状を検出することができる。
【0017】このように、センサ本体1を取り付けるス
ペースが無かったり、被測定物体3の形状が複雑で、セ
ンサ本体1から被測定物体3に直接レーザ光4を投光す
ることができない場合にも、ミラー2でセンサ本体1か
らのレーザ光4や被測定物体3からの反射光5を反射す
ることにより、被測定物体3の形状を測定することがで
きる。
ペースが無かったり、被測定物体3の形状が複雑で、セ
ンサ本体1から被測定物体3に直接レーザ光4を投光す
ることができない場合にも、ミラー2でセンサ本体1か
らのレーザ光4や被測定物体3からの反射光5を反射す
ることにより、被測定物体3の形状を測定することがで
きる。
【0018】さらに、図9に示すように、被測定物体3
の近傍に他の装置6が配置されており、被測定物体3の
表面に形成された凹部32の形状を検出する場合、被測
定物体3と装置6との間にセンサ本体1を配置すると、
凹部32とセンサ本体1との直線距離が所定の測定範囲
よりも短くなるので、センサ本体1で直接凹部32の形
状を測定することはできないが、センサ本体1と凹部3
2との間にミラー21,22 を配置し、センサ本体1か
らのレーザ光4をミラー21 ,22 で反射して凹部32
に投光するとともに、凹部32からの反射光をミラー2
2 ,21 で反射してセンサ本体1に入射させることによ
り、レーザ光4が走行する距離を伸ばして、所定の測定
範囲に収めることができる。
の近傍に他の装置6が配置されており、被測定物体3の
表面に形成された凹部32の形状を検出する場合、被測
定物体3と装置6との間にセンサ本体1を配置すると、
凹部32とセンサ本体1との直線距離が所定の測定範囲
よりも短くなるので、センサ本体1で直接凹部32の形
状を測定することはできないが、センサ本体1と凹部3
2との間にミラー21,22 を配置し、センサ本体1か
らのレーザ光4をミラー21 ,22 で反射して凹部32
に投光するとともに、凹部32からの反射光をミラー2
2 ,21 で反射してセンサ本体1に入射させることによ
り、レーザ光4が走行する距離を伸ばして、所定の測定
範囲に収めることができる。
【0019】ところで、センサ本体1は、図9に示すよ
うに、投光窓11から出射するレーザ光4と受光窓12
に入射する反射光5とを含む面と略直交する方向D
1 に、レーザ光4を走査させて被測定物体3の形状を測
定しており、上述の光学センサでは、ミラー2はセンサ
本体1の走査方向D1 と略平行な方向に光を反射してい
るが、図10に示すように、ミラー2がセンサ本体1の
走査方向D1 と略直交する方向D2 にレーザ光4及び反
射光5をそれぞれ反射させてもよいことは言うまでもな
い。
うに、投光窓11から出射するレーザ光4と受光窓12
に入射する反射光5とを含む面と略直交する方向D
1 に、レーザ光4を走査させて被測定物体3の形状を測
定しており、上述の光学センサでは、ミラー2はセンサ
本体1の走査方向D1 と略平行な方向に光を反射してい
るが、図10に示すように、ミラー2がセンサ本体1の
走査方向D1 と略直交する方向D2 にレーザ光4及び反
射光5をそれぞれ反射させてもよいことは言うまでもな
い。
【0020】
【発明の効果】請求項1の発明は、上述のように、被測
定物体に光を投光するとともに、被測定物体からの反射
光を受光することにより、被測定物体の形状を検出する
光学センサにおいて、センサ本体と被測定物体との間に
反射手段を配置し、反射手段がセンサ本体から出射され
た光を反射して被測定物体に投光させるとともに、被測
定物体からの反射光を反射してセンサ本体に入射させて
おり、請求項2の発明は、反射手段がセンサ本体の走査
方向と略平行な方向に光を反射させ、請求項3の発明
は、反射手段がセンサ本体の走査方向と略直交する方向
に光を反射させている。したがって、センサ本体を配設
するスペースがないために、センサ本体から被測定物体
に光を直接投光することができない場合でも、センサ本
体からの光を反射手段で反射することにより、センサ本
体からの光を被測定物体に投光させることができるの
で、被測定物体の形状を検出できるという効果がある。
定物体に光を投光するとともに、被測定物体からの反射
光を受光することにより、被測定物体の形状を検出する
光学センサにおいて、センサ本体と被測定物体との間に
反射手段を配置し、反射手段がセンサ本体から出射され
た光を反射して被測定物体に投光させるとともに、被測
定物体からの反射光を反射してセンサ本体に入射させて
おり、請求項2の発明は、反射手段がセンサ本体の走査
方向と略平行な方向に光を反射させ、請求項3の発明
は、反射手段がセンサ本体の走査方向と略直交する方向
に光を反射させている。したがって、センサ本体を配設
するスペースがないために、センサ本体から被測定物体
に光を直接投光することができない場合でも、センサ本
体からの光を反射手段で反射することにより、センサ本
体からの光を被測定物体に投光させることができるの
で、被測定物体の形状を検出できるという効果がある。
【0021】請求項4の発明は、被測定物体の測定箇所
が円筒内部にある場合、反射手段が円筒内部に配置され
ており、請求項5の発明は、被測定物体が内部に空洞部
を備え、空洞部に連通する連通部が設けられており、セ
ンサ本体が被測定物体の外部に配置される場合、空洞部
の内面にセンサ本体からの光を投光するために、反射手
段が連通部及び空洞部に配置されている。したがって、
センサ本体を配設するスペースがなかったり、被測定物
体の形状が複雑なために、センサ本体から被測定物体に
光を直接投光させることができない場合でも、センサ本
体からの光を反射手段で反射させることにより、センサ
本体からの光を被測定物体に投光させることができ、被
測定物体の形状を検出できるという効果がある。
が円筒内部にある場合、反射手段が円筒内部に配置され
ており、請求項5の発明は、被測定物体が内部に空洞部
を備え、空洞部に連通する連通部が設けられており、セ
ンサ本体が被測定物体の外部に配置される場合、空洞部
の内面にセンサ本体からの光を投光するために、反射手
段が連通部及び空洞部に配置されている。したがって、
センサ本体を配設するスペースがなかったり、被測定物
体の形状が複雑なために、センサ本体から被測定物体に
光を直接投光させることができない場合でも、センサ本
体からの光を反射手段で反射させることにより、センサ
本体からの光を被測定物体に投光させることができ、被
測定物体の形状を検出できるという効果がある。
【0022】請求項6の発明は、センサ本体から出射さ
れた光が被測定物体に投光されるまでに走行する距離が
所定の測定範囲内に収まるように、反射手段がセンサ本
体からの光を反射しているので、センサ本体と被測定物
体との直線距離が短い場合でも、センサ本体から投光さ
れた光が走行する距離を伸ばして所定の測定範囲を満足
させることができ、被測定物体の形状を検出できるとい
う効果がある。
れた光が被測定物体に投光されるまでに走行する距離が
所定の測定範囲内に収まるように、反射手段がセンサ本
体からの光を反射しているので、センサ本体と被測定物
体との直線距離が短い場合でも、センサ本体から投光さ
れた光が走行する距離を伸ばして所定の測定範囲を満足
させることができ、被測定物体の形状を検出できるとい
う効果がある。
【0023】請求項7の発明は、センサ本体と被測定物
体との間に反射手段が偶数個配置されており、反射手段
で複数回反射させているので、センサ本体で検出した形
状と被測定物体の形状が反転するのを防止できるという
効果がある。
体との間に反射手段が偶数個配置されており、反射手段
で複数回反射させているので、センサ本体で検出した形
状と被測定物体の形状が反転するのを防止できるという
効果がある。
【図1】本実施形態の光学センサを示す概略構成図であ
る。
る。
【図2】(a)(b)は同上の光学センサの検出出力を
説明する説明図である。
説明する説明図である。
【図3】同上の別の光学センサを示す概略構成図であ
る。
る。
【図4】(a)(b)は同上の光学センサの検出出力を
説明する説明図である。
説明する説明図である。
【図5】同上の光学センサに用いる受光素子と反射手段
との関係を説明する説明図である。
との関係を説明する説明図である。
【図6】同上の光学センサの使用状態を説明する説明図
である。
である。
【図7】同上の光学センサの別の使用状態を説明する説
明図である。
明図である。
【図8】同上の光学センサのまた別の使用状態を説明す
る説明図である。
る説明図である。
【図9】同上の光学センサの走査方向を説明する説明図
である。
である。
【図10】同上の光学センサに用いる反射手段の反射方
向を説明する別の説明図である。
向を説明する別の説明図である。
【図11】従来の光学センサの使用状態を説明する説明
図である。
図である。
【図12】同上の光学センサの別の使用状態を説明する
説明図である。
説明図である。
【図13】同上の光学センサのまた別の使用状態を説明
する説明図である。
する説明図である。
1 センサ本体 2 ミラー 3 被測定物体 4 レーザ光 5 反射光 11 投光窓 12 受光窓
Claims (7)
- 【請求項1】被測定物体に光を投光するとともに、被測
定物体からの反射光を受光することにより、被測定物体
の形状を検出する光学センサにおいて、センサ本体と被
測定物体との間に反射手段を配置し、反射手段がセンサ
本体から出射された光を反射して被測定物体に投光させ
るとともに、被測定物体からの反射光を反射してセンサ
本体に入射させることを特徴とする光学センサ。 - 【請求項2】反射手段がセンサ本体の走査方向と略平行
な方向に光を反射することを特徴とする請求項1記載の
光学センサ。 - 【請求項3】反射手段がセンサ本体の走査方向と略直交
する方向に光を反射することを特徴とする請求項1記載
の光学センサ。 - 【請求項4】被測定物体の測定箇所が円筒内部にある場
合、反射手段が円筒内部に配置されることを特徴とする
請求項1記載の光学センサ。 - 【請求項5】被測定物体が内部に空洞部を備え、空洞部
に連通する連通部が設けられており、センサ本体が被測
定物体の外部に配置される場合、空洞部の内面にセンサ
本体からの光を投光するために、反射手段が連通部及び
空洞部に配置されることを特徴とする光学センサ。 - 【請求項6】センサ本体から出射された光が被測定物体
に投光されるまでに走行する距離が所定の測定範囲内に
収まるように、反射手段がセンサ本体からの光を反射す
ることを特徴とする請求項1記載の光学センサ。 - 【請求項7】センサ本体と被測定物体との間に反射手段
が偶数個配置されたことを特徴とする光学センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4124997A JPH10239035A (ja) | 1997-02-25 | 1997-02-25 | 光学センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4124997A JPH10239035A (ja) | 1997-02-25 | 1997-02-25 | 光学センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10239035A true JPH10239035A (ja) | 1998-09-11 |
Family
ID=12603173
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4124997A Withdrawn JPH10239035A (ja) | 1997-02-25 | 1997-02-25 | 光学センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10239035A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006242833A (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Nidec Copal Corp | 光学式角度検出装置 |
-
1997
- 1997-02-25 JP JP4124997A patent/JPH10239035A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006242833A (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Nidec Copal Corp | 光学式角度検出装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040511 |