JPH10249295A - 集塵装置および集塵システム - Google Patents
集塵装置および集塵システムInfo
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- JPH10249295A JPH10249295A JP5788697A JP5788697A JPH10249295A JP H10249295 A JPH10249295 A JP H10249295A JP 5788697 A JP5788697 A JP 5788697A JP 5788697 A JP5788697 A JP 5788697A JP H10249295 A JPH10249295 A JP H10249295A
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- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims abstract description 18
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims abstract description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
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- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【課題】クリーンルーム内に浮遊する塵埃を静電気によ
り除去するための集塵装置を提供する。 【解決手段】作業室１と、作業室１内に設置され所定の
工程がなされる精密部品２と、精密部品２に近接して設
けられ静電気を帯電する帯電手段３とを備え、帯電手段
３による静電気の帯電により精密部品２に対する塵埃を
帯電手段３が吸着してなることを特徴とする。
り除去するための集塵装置を提供する。 【解決手段】作業室１と、作業室１内に設置され所定の
工程がなされる精密部品２と、精密部品２に近接して設
けられ静電気を帯電する帯電手段３とを備え、帯電手段
３による静電気の帯電により精密部品２に対する塵埃を
帯電手段３が吸着してなることを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する利用分野】本発明は、例えば厚膜印刷工
程等を有する作業室、特にクリーンルームにおける塵埃
を除去するための集塵装置および集塵システムに関す
る。
程等を有する作業室、特にクリーンルームにおける塵埃
を除去するための集塵装置および集塵システムに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】厚膜集積回路を形成する厚膜印刷、集積
回路等のベアチップ実装等の電子部品や精密機器等を製
造するには、これらの部品や機器が汚損されないよう室
内で発生する塵埃が除去されているクリーンルーム内で
作業する必要がある。一般的なクリーンルームでは、風
力により排気ダクト等を介してルーム内の塵埃を排出す
る方法や、ウレタン系粘着ゴム等を表面に塗布したロー
ラ式粘着クリーナ等により作業台あるいはベルトコンベ
ヤ等を人手により清掃する等の方法により塵埃の除去が
行われている。
回路等のベアチップ実装等の電子部品や精密機器等を製
造するには、これらの部品や機器が汚損されないよう室
内で発生する塵埃が除去されているクリーンルーム内で
作業する必要がある。一般的なクリーンルームでは、風
力により排気ダクト等を介してルーム内の塵埃を排出す
る方法や、ウレタン系粘着ゴム等を表面に塗布したロー
ラ式粘着クリーナ等により作業台あるいはベルトコンベ
ヤ等を人手により清掃する等の方法により塵埃の除去が
行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、風力に
より塵埃を除去する方法ではルーム内の気圧が低下する
ため空調能力を増強する必要があり、また設備等の障害
物があると風の流れが妨害され集塵効果が低下する。ま
た、粘着クリーナを使用する方法では人手によるため煩
わしい作業となるという問題がある。
より塵埃を除去する方法ではルーム内の気圧が低下する
ため空調能力を増強する必要があり、また設備等の障害
物があると風の流れが妨害され集塵効果が低下する。ま
た、粘着クリーナを使用する方法では人手によるため煩
わしい作業となるという問題がある。
【０００４】本発明は、このような問題を解決するため
低コスト且つ手間の掛からない集塵装置の提供を目的と
する。
低コスト且つ手間の掛からない集塵装置の提供を目的と
する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明における集塵装置は、帯電板と、前記帯電板上
を摺動する摺動部と、前記摺動部を駆動させる駆動部と
からなり、前記駆動部により前記摺動部が前記帯電板上
で摺動して該帯電板に静電気を発生させ該帯電板が塵埃
を吸着してなることを特徴とする。
に本発明における集塵装置は、帯電板と、前記帯電板上
を摺動する摺動部と、前記摺動部を駆動させる駆動部と
からなり、前記駆動部により前記摺動部が前記帯電板上
で摺動して該帯電板に静電気を発生させ該帯電板が塵埃
を吸着してなることを特徴とする。
【０００６】また本発明における集塵装置の前記帯電板
はプラスチック材からなり、前記摺動部はプラスチック
材からなるブラシを有する棒状部材であって、前記駆動
部は前記ブラシを円弧方向または水平方向に駆動させる
ものであることを特徴とするものである。また本発明に
おける集塵装置は、前記帯電板には複数の透孔が設けら
れてなることを特徴とするものである。
はプラスチック材からなり、前記摺動部はプラスチック
材からなるブラシを有する棒状部材であって、前記駆動
部は前記ブラシを円弧方向または水平方向に駆動させる
ものであることを特徴とするものである。また本発明に
おける集塵装置は、前記帯電板には複数の透孔が設けら
れてなることを特徴とするものである。
【０００７】また本発明における集塵システムは、作業
室と、前記作業室内に設置され所定の工程がなされる精
密部品と、前記精密部品に近接して設けられ摩擦により
静電気を発生させる帯電手段とを備え、前記帯電手段に
よる静電気の発生により前記精密部品に対する塵埃を該
帯電手段が吸着してなることを特徴とする。また本発明
における集塵システムの前記帯電手段は、帯電板と、前
記帯電板上を摺動する摺動部と、前記摺動部を駆動させ
る駆動部とからなり、前記駆動部により前記摺動部が前
記帯電板上で摺動して該帯電板に静電気を発生させてな
るものであることを特徴とする。
室と、前記作業室内に設置され所定の工程がなされる精
密部品と、前記精密部品に近接して設けられ摩擦により
静電気を発生させる帯電手段とを備え、前記帯電手段に
よる静電気の発生により前記精密部品に対する塵埃を該
帯電手段が吸着してなることを特徴とする。また本発明
における集塵システムの前記帯電手段は、帯電板と、前
記帯電板上を摺動する摺動部と、前記摺動部を駆動させ
る駆動部とからなり、前記駆動部により前記摺動部が前
記帯電板上で摺動して該帯電板に静電気を発生させてな
るものであることを特徴とする。
【０００８】また本発明における集塵システムの前記帯
電板はプラスチック材からなり、前記摺動部はプラスチ
ック材からなるブラシを有する棒状部材であって、前記
駆動部は前記ブラシを円弧方向または水平方向に駆動さ
せるものであることを特徴とするものである。また本発
明における集塵システムは、前記帯電板には複数の透孔
が設けられてなることを特徴とするものである。
電板はプラスチック材からなり、前記摺動部はプラスチ
ック材からなるブラシを有する棒状部材であって、前記
駆動部は前記ブラシを円弧方向または水平方向に駆動さ
せるものであることを特徴とするものである。また本発
明における集塵システムは、前記帯電板には複数の透孔
が設けられてなることを特徴とするものである。
【０００９】
【実施例】以下図面を用いて本発明の一実施例を説明す
る。図１は、本実施例に係る集塵装置を設置したクリー
ンルームの模式的斜視図であり、図２は、本発明の一実
施例に係る集塵装置の前面を示す斜視図、図３は、本実
施例に係る集塵装置の裏面を示す斜視図である。
る。図１は、本実施例に係る集塵装置を設置したクリー
ンルームの模式的斜視図であり、図２は、本発明の一実
施例に係る集塵装置の前面を示す斜視図、図３は、本実
施例に係る集塵装置の裏面を示す斜視図である。
【００１０】１は、厚膜印刷工程、ベアチップ実装工程
等を有し、加工される厚膜集積回路２等の電子部品に塵
埃が付着しないように、集塵装置３が設置されたクリー
ンルーム（作業台）である。クリーンルーム１内では所
定の空調がなされ、更に厚膜印刷やベアチップ実装が行
われる厚膜集積回路２の近くに集塵装置３が数箇所にわ
たって設置されている。そして、図２に示すように集塵
装置３は、帯電板４、帯電板の支持棒５、摺動部６およ
び摺動部駆動装置７等により構成されている。
等を有し、加工される厚膜集積回路２等の電子部品に塵
埃が付着しないように、集塵装置３が設置されたクリー
ンルーム（作業台）である。クリーンルーム１内では所
定の空調がなされ、更に厚膜印刷やベアチップ実装が行
われる厚膜集積回路２の近くに集塵装置３が数箇所にわ
たって設置されている。そして、図２に示すように集塵
装置３は、帯電板４、帯電板の支持棒５、摺動部６およ
び摺動部駆動装置７等により構成されている。
【００１１】帯電板４は静電気を発生し易いプラスチッ
ク製の板材で形成されており、多数の透孔４１（例え
ば、マトリックス的に）が設けられている。帯電板４の
支持棒４２は、帯電板４に帯電した静電気が漏洩しない
ように絶縁材で形成され、帯電板４を両側面より支えて
いる。摺動部５は、棒状の形態を有し、帯電板４の裏面
上を擦るように摺動するブラシの毛５１とブラシの柄５
２より構成されている。ブラシの毛５１はプラスチック
材により形成されており、ブラシの柄５２は静電気が漏
洩しないように絶縁材で形成されている。そして、摺動
部５のブラシの毛５１、ブラシの柄５２を駆動させる駆
動装置６は、図３に示すようにモータ等で構成され、ブ
ラシの柄５２の一端（図示下端）に取り付けられてい
る。
ク製の板材で形成されており、多数の透孔４１（例え
ば、マトリックス的に）が設けられている。帯電板４の
支持棒４２は、帯電板４に帯電した静電気が漏洩しない
ように絶縁材で形成され、帯電板４を両側面より支えて
いる。摺動部５は、棒状の形態を有し、帯電板４の裏面
上を擦るように摺動するブラシの毛５１とブラシの柄５
２より構成されている。ブラシの毛５１はプラスチック
材により形成されており、ブラシの柄５２は静電気が漏
洩しないように絶縁材で形成されている。そして、摺動
部５のブラシの毛５１、ブラシの柄５２を駆動させる駆
動装置６は、図３に示すようにモータ等で構成され、ブ
ラシの柄５２の一端（図示下端）に取り付けられてい
る。
【００１２】次に、上記構成による集塵装置の操作につ
いて説明する。集塵装置３は、摺動部５の下端にモータ
６を取り付け、摺動部５のブラシの毛５１が帯電板４の
裏面を摺動するように取り付ける。そして、印刷工程等
が行われる時には、図示せぬスイッチを操作すれば、モ
ータ６の回動する駆動力により摺動部５が帯電板４上を
擦りながら左右に摺動する（矢印Ａ）。これは、自動車
のワイパーがフロントガラスを摺動するように、摺動部
５の下端を中心として円弧を描くように摺動部５が左右
に回動するものである。なお、この駆動は帯電板４の帯
電能力にあわせて連続的に、あるいは間欠的に行われ
る。
いて説明する。集塵装置３は、摺動部５の下端にモータ
６を取り付け、摺動部５のブラシの毛５１が帯電板４の
裏面を摺動するように取り付ける。そして、印刷工程等
が行われる時には、図示せぬスイッチを操作すれば、モ
ータ６の回動する駆動力により摺動部５が帯電板４上を
擦りながら左右に摺動する（矢印Ａ）。これは、自動車
のワイパーがフロントガラスを摺動するように、摺動部
５の下端を中心として円弧を描くように摺動部５が左右
に回動するものである。なお、この駆動は帯電板４の帯
電能力にあわせて連続的に、あるいは間欠的に行われ
る。
【００１３】厚膜印刷工程の作業台あるいはベルトコン
ベヤ等の作業場周辺において、帯電板４の表面が加工さ
れる厚膜集積回路２に近傍で対向するように設置されて
いる。そして、プラスチックの帯電板４と摺動部５のブ
ラシの毛５１が摩擦されると帯電板４上に静電気が発生
するので、厚膜集積回路２に付着しようとする塵埃は帯
電板４に吸い寄せられ、該表面に付着する。従って、厚
膜集積回路２への塵埃の付着は防止されることになる。
ベヤ等の作業場周辺において、帯電板４の表面が加工さ
れる厚膜集積回路２に近傍で対向するように設置されて
いる。そして、プラスチックの帯電板４と摺動部５のブ
ラシの毛５１が摩擦されると帯電板４上に静電気が発生
するので、厚膜集積回路２に付着しようとする塵埃は帯
電板４に吸い寄せられ、該表面に付着する。従って、厚
膜集積回路２への塵埃の付着は防止されることになる。
【００１４】なお、帯電板４には多数の透孔４１が設け
られているため摩擦面積が拡大され、また帯電板４の表
面側がより強力に帯電される。これにより、吸着能力は
向上する。また、帯電板４に付着した塵埃は、定期的に
掃除機等により除去するものとする。上述したような本
実施例によれば、帯電し易いプラスチック材を摩擦する
ことにより静電気を発生させ、浮遊する塵埃を吸着させ
ることができる。
られているため摩擦面積が拡大され、また帯電板４の表
面側がより強力に帯電される。これにより、吸着能力は
向上する。また、帯電板４に付着した塵埃は、定期的に
掃除機等により除去するものとする。上述したような本
実施例によれば、帯電し易いプラスチック材を摩擦する
ことにより静電気を発生させ、浮遊する塵埃を吸着させ
ることができる。
【００１５】なお、本実施例では帯電板４を摺動する摺
動部５に直接モータ６を取り付け摺動部５を円弧を描く
ように摺動させたが、駆動装置３１を図４に示すように
ロッドレス型エアシリンダ６１等を使用し摺動部にスラ
イドガイド７を設け、摺動部８を左右に（矢印Ｂ）摺動
させ帯電させることも可能である。また、帯電板４の裏
面を粗めにして、ブラシの毛５１と裏面との摩擦係数を
大きくし、帯電能力を向上させるようにしても良い。
動部５に直接モータ６を取り付け摺動部５を円弧を描く
ように摺動させたが、駆動装置３１を図４に示すように
ロッドレス型エアシリンダ６１等を使用し摺動部にスラ
イドガイド７を設け、摺動部８を左右に（矢印Ｂ）摺動
させ帯電させることも可能である。また、帯電板４の裏
面を粗めにして、ブラシの毛５１と裏面との摩擦係数を
大きくし、帯電能力を向上させるようにしても良い。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明による集塵装
置およびシステムによれば、作業室、特にクリーンルー
ム内の吸排気バランスを考慮することなく室内の空調が
可能となり、また人手を煩わすことも少なくして、静電
気の発生し易いプラスチックの摩擦により容易に室内の
塵埃を除去することができる。
置およびシステムによれば、作業室、特にクリーンルー
ム内の吸排気バランスを考慮することなく室内の空調が
可能となり、また人手を煩わすことも少なくして、静電
気の発生し易いプラスチックの摩擦により容易に室内の
塵埃を除去することができる。
【図１】本実施例に係る集塵装置を設置したクリーンル
ームの模式的斜視図である。
ームの模式的斜視図である。
【図２】本実施例に係る集塵装置の前面を示す斜視図で
ある。
ある。
【図３】本実施例に係る集塵装置の裏面を示す斜視図で
ある。
ある。
【図４】他の実施例に係る集塵装置の裏面を示す斜視図
である。
である。
１・・・・クリーンルーム ２・・・・厚膜集積回路 ３・・・・集塵装置
Claims (7)
- 【請求項１】 帯電板と、前記帯電板上を摺動する摺動
部と、前記摺動部を駆動させる駆動部とからなり、前記
駆動部により前記摺動部が前記帯電板上で摺動して該帯
電板に静電気を発生させ該帯電板が塵埃を吸着してなる
ことを特徴とする集塵装置。 - 【請求項２】 前記帯電板はプラスチック材からなり、
前記摺動部はプラスチック材からなるブラシを有する棒
状部材であって、前記駆動部は前記ブラシを円弧方向ま
たは水平方向に駆動させるものであることを特徴とする
請求項１記載の集塵装置。 - 【請求項３】 前記帯電板には複数の透孔が設けられて
なることを特徴とする請求項１記載の集塵装置。 - 【請求項４】 作業室と、前記作業室内に設置され所定
の工程がなされる精密部品と、前記精密部品に近接して
設けられ摩擦により静電気を発生させる帯電手段とを備
え、前記帯電手段による静電気の発生により前記精密部
品に対する塵埃を該帯電手段が吸着してなることを特徴
とする集塵システム。 - 【請求項５】 前記帯電手段は、帯電板と、前記帯電板
上を摺動する摺動部と、前記摺動部を駆動させる駆動部
とからなり、前記駆動部により前記摺動部が前記帯電板
上で摺動して該帯電板に静電気を発生させてなるもので
あることを特徴とする請求項４記載の集塵システム。 - 【請求項６】 前記帯電板はプラスチック材からなり、
前記摺動部はプラスチック材からなるブラシを有する棒
状部材であって、前記駆動部は前記ブラシを円弧方向ま
たは水平方向に駆動させるものであることを特徴とする
請求項５記載の集塵システム。 - 【請求項７】 前記帯電板には複数の透孔が設けられて
なることを特徴とする請求項５記載の集塵システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5788697A JPH10249295A (ja) | 1997-03-12 | 1997-03-12 | 集塵装置および集塵システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5788697A JPH10249295A (ja) | 1997-03-12 | 1997-03-12 | 集塵装置および集塵システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10249295A true JPH10249295A (ja) | 1998-09-22 |
Family
ID=13068482
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5788697A Withdrawn JPH10249295A (ja) | 1997-03-12 | 1997-03-12 | 集塵装置および集塵システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10249295A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010224340A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-07 | Seiko Epson Corp | 機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置およびこれを備えた液滴吐出装置 |
| US9267899B2 (en) | 2013-07-25 | 2016-02-23 | Samsung Display Co.,Ltd | Contaminant measurement substrate, apparatus and method for fabricating substrate using the same |
| JP6301033B1 (ja) * | 2017-06-29 | 2018-03-28 | 三菱電機株式会社 | 集塵デバイスおよび空気調和機 |
| CN108032369A (zh) * | 2018-02-07 | 2018-05-15 | 靖江市亚通胶粘制品有限公司 | 一种oca光学胶模切方法 |
| CN113900330A (zh) * | 2021-09-29 | 2022-01-07 | 王小翠 | 一种基于全息投影技术用投影仪 |
| CN115161821A (zh) * | 2022-08-16 | 2022-10-11 | 含山县光乾纺织有限公司 | 一种用于纺织设备纺织尘的处理箱 |
-
1997
- 1997-03-12 JP JP5788697A patent/JPH10249295A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010224340A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-07 | Seiko Epson Corp | 機能液滴吐出ヘッドのワイピング装置およびこれを備えた液滴吐出装置 |
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| TWI631593B (zh) * | 2013-07-25 | 2018-08-01 | 三星顯示器有限公司 | 汙染物測量基板以及使用其製造基板之設備及方法 |
| JP6301033B1 (ja) * | 2017-06-29 | 2018-03-28 | 三菱電機株式会社 | 集塵デバイスおよび空気調和機 |
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| CN115161821A (zh) * | 2022-08-16 | 2022-10-11 | 含山县光乾纺织有限公司 | 一种用于纺织设备纺织尘的处理箱 |
| CN115161821B (zh) * | 2022-08-16 | 2023-08-04 | 含山县光乾纺织有限公司 | 一种用于纺织设备纺织尘的处理箱 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040601 |