JPH10249701A - インゴットのワイヤソー切断方法及び装置 - Google Patents
インゴットのワイヤソー切断方法及び装置Info
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- JPH10249701A JPH10249701A JP6305097A JP6305097A JPH10249701A JP H10249701 A JPH10249701 A JP H10249701A JP 6305097 A JP6305097 A JP 6305097A JP 6305097 A JP6305097 A JP 6305097A JP H10249701 A JPH10249701 A JP H10249701A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims abstract description 15
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- 238000005299 abrasion Methods 0.000 abstract description 3
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Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 往復走行方式のワイヤソー切断により、板厚
変動の少ないウェーハをインゴットから切り出す。 【解決手段】 インゴット９を挟むように平行配置され
た溝付きのグルーブローラ間１，２にワイヤを螺旋状に
周回させ、往復走行するワイヤ５にスラリーを供給しな
がらインゴット９をスライスする際、各グルーブローラ
１，２の新線供給側につける溝の最大ピッチをａ，ワイ
ヤ回収側に付ける溝の最小ピッチをｂ，インゴット９を
スライスする際に摩耗するワイヤの径減少分をΔｄとす
るとき、ｂ＝ａ−Δｄの関係を維持してワイヤ５を周回
させる。 【効果】 ワイヤ５の径減少分に起因した入側及び出側
でインゴットから切り出されるウェーハＷ1 ，Ｗ2 の厚
み差（Δｔ＝ｔ1 −ｔ2 ）をピッチａ，ｂで相殺し、厚
み差が抑制されたウェーハをインゴット９から切り出
す。
変動の少ないウェーハをインゴットから切り出す。 【解決手段】 インゴット９を挟むように平行配置され
た溝付きのグルーブローラ間１，２にワイヤを螺旋状に
周回させ、往復走行するワイヤ５にスラリーを供給しな
がらインゴット９をスライスする際、各グルーブローラ
１，２の新線供給側につける溝の最大ピッチをａ，ワイ
ヤ回収側に付ける溝の最小ピッチをｂ，インゴット９を
スライスする際に摩耗するワイヤの径減少分をΔｄとす
るとき、ｂ＝ａ−Δｄの関係を維持してワイヤ５を周回
させる。 【効果】 ワイヤ５の径減少分に起因した入側及び出側
でインゴットから切り出されるウェーハＷ1 ，Ｗ2 の厚
み差（Δｔ＝ｔ1 −ｔ2 ）をピッチａ，ｂで相殺し、厚
み差が抑制されたウェーハをインゴット９から切り出
す。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インゴットから均一な
厚みをもつウェーハを切り出すワイヤソー切断方法及び
装置に関する。
厚みをもつウェーハを切り出すワイヤソー切断方法及び
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】引上げ法等で製造したインゴットは、ト
ップ及びテールを切断分離した後、外径研削，オリエン
テーションフラット加工等の工程を経て所定厚みのウェ
ーハにスライスされる。スライシングには、内周刃を備
えたスライサーが知られているが、最近ではウェーハの
大径化に伴ってピアノ線等のワイヤソーによる切断が採
用されるようになってきた。ワイヤソー切断装置は、図
１に示すように３本のグルーブローラ１〜３を備えてお
り、そのうちの１本が駆動モータ４に連結されている。
グルーブローラ１〜３を周回するワイヤ５は、一方のワ
イヤリール６から巻き出され、他方のワイヤリール７に
巻き取られる一方向方式と、ワイヤリール６と７とを往
復しながら次第に一方のリール７に巻き取られる往復走
行方式がある。ワイヤ５には、引っ張られた状態でロー
ラ１〜３を周回するようにテンショナー８で張力が付与
される。
ップ及びテールを切断分離した後、外径研削，オリエン
テーションフラット加工等の工程を経て所定厚みのウェ
ーハにスライスされる。スライシングには、内周刃を備
えたスライサーが知られているが、最近ではウェーハの
大径化に伴ってピアノ線等のワイヤソーによる切断が採
用されるようになってきた。ワイヤソー切断装置は、図
１に示すように３本のグルーブローラ１〜３を備えてお
り、そのうちの１本が駆動モータ４に連結されている。
グルーブローラ１〜３を周回するワイヤ５は、一方のワ
イヤリール６から巻き出され、他方のワイヤリール７に
巻き取られる一方向方式と、ワイヤリール６と７とを往
復しながら次第に一方のリール７に巻き取られる往復走
行方式がある。ワイヤ５には、引っ張られた状態でロー
ラ１〜３を周回するようにテンショナー８で張力が付与
される。
【０００３】スライスされるインゴット９は、ホルダ１
０に把持されてグルーブローラ１と２の間に配置され、
ワイヤ５により複数のウェーハにスライスされる。この
とき、スライシング作業を効率よく行わせるため、砥粒
を含むスラリー１１がワイヤ５に供給される。スラリー
１１は、スラリータンク１２から供給管１３を経てノズ
ル１４からワイヤ５に供給された後、パン１５で回収さ
れ、スラリータンク１２に返送される。また、スラリー
１１を冷却するため、熱交換器１６とスラリータンク１
２との間でスラリー１１を循環させる。グルーブローラ
１〜３は、周面に所定ピッチで溝が刻設されており、溝
内にワイヤ５が入り込む。そのため、インゴット９の両
側に位置するグルーブローラ１〜２の間では、溝ピッチ
に対応したピッチでワイヤ５が走行する。このピッチに
対応する厚みでウェーハがインゴット９から切り出され
る。
０に把持されてグルーブローラ１と２の間に配置され、
ワイヤ５により複数のウェーハにスライスされる。この
とき、スライシング作業を効率よく行わせるため、砥粒
を含むスラリー１１がワイヤ５に供給される。スラリー
１１は、スラリータンク１２から供給管１３を経てノズ
ル１４からワイヤ５に供給された後、パン１５で回収さ
れ、スラリータンク１２に返送される。また、スラリー
１１を冷却するため、熱交換器１６とスラリータンク１
２との間でスラリー１１を循環させる。グルーブローラ
１〜３は、周面に所定ピッチで溝が刻設されており、溝
内にワイヤ５が入り込む。そのため、インゴット９の両
側に位置するグルーブローラ１〜２の間では、溝ピッチ
に対応したピッチでワイヤ５が走行する。このピッチに
対応する厚みでウェーハがインゴット９から切り出され
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ワイヤソー切断方法
は、ワイヤ５の走行形態から一方向走行方式と往復走行
方式に分類される。往復走行方式は、一方向走行方式に
比較してワイヤ５をリール６に蓄えておく貯線量が少な
くて済み、インゴット９から切り出されるウェーハがク
サビ型にならない等の利点から、インゴットをスライシ
ングするワイヤソー切断の主流になっている。しかしな
がら、その一方で往復走行方式には、ワイヤ５の摩耗に
よって新線供給側とワイヤ回収側とでウェーハの厚みに
バラツキが生じる欠点がある。すなわち、ワイヤ５は、
新線供給側に比べてワイヤ回収側で摩耗量が大きいた
め、ワイヤ５の実効径が小さくなり、ウェーハの厚みが
大きくなる傾向にある。本発明は、このような問題を解
消すべく往復走行方式を採用し、二つのグルーブローラ
に付ける溝のピッチに差を付けることにより、厚み均一
性に優れたウェーハをワイヤソー切断でインゴットから
切り出すことを目的とする。
は、ワイヤ５の走行形態から一方向走行方式と往復走行
方式に分類される。往復走行方式は、一方向走行方式に
比較してワイヤ５をリール６に蓄えておく貯線量が少な
くて済み、インゴット９から切り出されるウェーハがク
サビ型にならない等の利点から、インゴットをスライシ
ングするワイヤソー切断の主流になっている。しかしな
がら、その一方で往復走行方式には、ワイヤ５の摩耗に
よって新線供給側とワイヤ回収側とでウェーハの厚みに
バラツキが生じる欠点がある。すなわち、ワイヤ５は、
新線供給側に比べてワイヤ回収側で摩耗量が大きいた
め、ワイヤ５の実効径が小さくなり、ウェーハの厚みが
大きくなる傾向にある。本発明は、このような問題を解
消すべく往復走行方式を採用し、二つのグルーブローラ
に付ける溝のピッチに差を付けることにより、厚み均一
性に優れたウェーハをワイヤソー切断でインゴットから
切り出すことを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のワイヤソー切断
方法は、その目的を達成するため、インゴットを挟むよ
うに平行配置された溝付きのグルーブローラ間にワイヤ
を螺旋状に周回させ、往復走行するワイヤにスラリーを
供給しながらインゴットをスライスする際、各グルーブ
ローラの新線供給側につける溝の最大ピッチをａ，ワイ
ヤ回収側に付ける溝の最小ピッチをｂ，インゴットをス
ライスする際に摩耗するワイヤの径減少分をΔｄとする
とき、ｂ＝ａ−Δｄの関係を維持してワイヤを周回させ
ることを特徴とする。また、ワイヤソー切断装置は、イ
ンゴットを挟むように平行配置された一対の溝付きグル
ーブローラと、駆動モータに接続された溝付き駆動ロー
ラと、これら溝付きローラに螺旋状に周回されて往復走
行するワイヤと、砥粒を懸濁させたスラリーをワイヤに
供給するノズルとを備え、各グルーブローラの新線供給
側につける溝の最大ピッチをａ，ワイヤ回収側に付ける
溝の最小ピッチをｂ，インゴットをスライスする際に摩
耗するワイヤの径減少分をΔｄとするとき、ｂ＝ａ−Δ
ｄの関係を成立させている。
方法は、その目的を達成するため、インゴットを挟むよ
うに平行配置された溝付きのグルーブローラ間にワイヤ
を螺旋状に周回させ、往復走行するワイヤにスラリーを
供給しながらインゴットをスライスする際、各グルーブ
ローラの新線供給側につける溝の最大ピッチをａ，ワイ
ヤ回収側に付ける溝の最小ピッチをｂ，インゴットをス
ライスする際に摩耗するワイヤの径減少分をΔｄとする
とき、ｂ＝ａ−Δｄの関係を維持してワイヤを周回させ
ることを特徴とする。また、ワイヤソー切断装置は、イ
ンゴットを挟むように平行配置された一対の溝付きグル
ーブローラと、駆動モータに接続された溝付き駆動ロー
ラと、これら溝付きローラに螺旋状に周回されて往復走
行するワイヤと、砥粒を懸濁させたスラリーをワイヤに
供給するノズルとを備え、各グルーブローラの新線供給
側につける溝の最大ピッチをａ，ワイヤ回収側に付ける
溝の最小ピッチをｂ，インゴットをスライスする際に摩
耗するワイヤの径減少分をΔｄとするとき、ｂ＝ａ−Δ
ｄの関係を成立させている。
【０００６】
【作用】本発明に従ったワイヤソー切断装置は、グルー
ブローラに付ける溝のピッチが異なる外は、図１の設備
構成と同じであるため、以下の説明においては適宜図１
を参照しながら説明する。往復走行方式では、図２
（ａ）に示すようにインゴット９をスライスする際、図
２（ｂ）に示したようにワイヤ５を往復走行させる。た
とえば、新線供給側のグルーブローラ１から３００ｍだ
けワイヤ５を送り出した後、反対方向に２００ｍだけワ
イヤ５を走行させ、次いで新線供給側のグルーブローラ
１からワイヤ回収側のグルーブローラ２に向けて３００
ｍだけワイヤ５を送り出す。この往復走行を繰り返すこ
とにより、ワイヤ５は、全体としてグルーブローラ１か
らグルーブローラ２に毎分１００ｍ程度の速度で順次送
られる。
ブローラに付ける溝のピッチが異なる外は、図１の設備
構成と同じであるため、以下の説明においては適宜図１
を参照しながら説明する。往復走行方式では、図２
（ａ）に示すようにインゴット９をスライスする際、図
２（ｂ）に示したようにワイヤ５を往復走行させる。た
とえば、新線供給側のグルーブローラ１から３００ｍだ
けワイヤ５を送り出した後、反対方向に２００ｍだけワ
イヤ５を走行させ、次いで新線供給側のグルーブローラ
１からワイヤ回収側のグルーブローラ２に向けて３００
ｍだけワイヤ５を送り出す。この往復走行を繰り返すこ
とにより、ワイヤ５は、全体としてグルーブローラ１か
らグルーブローラ２に毎分１００ｍ程度の速度で順次送
られる。
【０００７】ワイヤ５は、往復走行の何れの時機におい
てもスライシングのためインゴット９との間での摩耗を
受ける。そのため、図３に示すように供給側ローラ１の
入側でのワイヤ径ｄinと回収側ローラ２の出側でのワイ
ヤ径ｄout とを比較すると、一方向切断の場合に比較し
てワイヤ５自体の径減少分Δｄ（＝ｄin−ｄout ）がは
るかに大きくなる。たとえば、本発明者等が使用してい
るワイヤソー切断装置では、入側径ｄinが１８０μｍで
あったワイヤ５は、出側径ｄout が１７０〜１７５μｍ
と小さくなっており、５〜１０μｍの径減少分Δｄであ
った。ワイヤ５の径減少は、インゴット９から切り出さ
れたウェーハ１７の厚み変動に影響を及ぼす。すなわ
ち、グルーブローラ１，２に最大ピッチａ〜最小ピッチ
ｂで刻設された溝に案内されながら送給されるワイヤ５
でインゴットがスライシングされるとき、入側のインゴ
ット９から切り出されるウェーハＷ1 の最大厚みｔ1
は、砥粒による切断代を無視するとａ−ｄinと計算され
る。他方、図４に示すように出側のインゴット９から切
り出されるウェーハＷ2 の最大厚みｔ2 は、ｂ−ｄout
と計算される。
てもスライシングのためインゴット９との間での摩耗を
受ける。そのため、図３に示すように供給側ローラ１の
入側でのワイヤ径ｄinと回収側ローラ２の出側でのワイ
ヤ径ｄout とを比較すると、一方向切断の場合に比較し
てワイヤ５自体の径減少分Δｄ（＝ｄin−ｄout ）がは
るかに大きくなる。たとえば、本発明者等が使用してい
るワイヤソー切断装置では、入側径ｄinが１８０μｍで
あったワイヤ５は、出側径ｄout が１７０〜１７５μｍ
と小さくなっており、５〜１０μｍの径減少分Δｄであ
った。ワイヤ５の径減少は、インゴット９から切り出さ
れたウェーハ１７の厚み変動に影響を及ぼす。すなわ
ち、グルーブローラ１，２に最大ピッチａ〜最小ピッチ
ｂで刻設された溝に案内されながら送給されるワイヤ５
でインゴットがスライシングされるとき、入側のインゴ
ット９から切り出されるウェーハＷ1 の最大厚みｔ1
は、砥粒による切断代を無視するとａ−ｄinと計算され
る。他方、図４に示すように出側のインゴット９から切
り出されるウェーハＷ2 の最大厚みｔ2 は、ｂ−ｄout
と計算される。
【０００８】ウェーハＷ1 の厚みｔ1 とウェーハＷ2 の
厚みｔ2 とを比較すると、両者の間にΔｔ＝ｔ2 −ｔ1
＝（ｂ−ｄout ）−（ａ−ｄin）＝Δｄ＋（ａ−ｂ）の
厚み差が生じる。ここで、グルーブローラ１，２に等ピ
ッチ（ａ＝ｂ）で溝が刻設されていると、厚み差はΔｔ
＝Δｄとなり、入側ウェーハＷ1 に比較してワイヤ５の
径減少分Δｄだけ出側ウェーハＷ2 が厚くなる。そこ
で、本発明においては、ワイヤ５の径減少分Δｄに起因
した厚み差Δｔを解消するように、グルーブローラ１，
２の新線供給側に付ける最大溝ピッチａとワイヤ回収側
に付ける最小溝ピッチｂとの間にａ−ｂ＝Δｄの関係を
成立させている。また、新線供給側からワイヤ回収側に
向けて溝ピッチをａ→ｂと徐々に小さくしている。これ
により、ワイヤ５の径減少分が溝ピッチの減少によって
相殺され、新線供給側のインゴット９から切り出された
ウェーハＷ1 の厚みｔ1 とワイヤ回収側のインゴット９
から切り出されたウェーハ2 の厚みｔ2 とを実質的に同
じ厚みに、或いは少なくとも厚み差Δｔを小さくしてい
る。このようにして、新線供給側とワイヤ回収側とで厚
み変動が抑制されたウェーハ１７（Ｗ1 ，Ｗ2 ）がイン
ゴット９から切り出されるため、所定の均一厚みをもつ
ウェーハ１７に加工する際の切削工程やラッピング工程
の負荷が軽減され、削り代も少なくなり、製品ウェーハ
としての歩留りが向上する。
厚みｔ2 とを比較すると、両者の間にΔｔ＝ｔ2 −ｔ1
＝（ｂ−ｄout ）−（ａ−ｄin）＝Δｄ＋（ａ−ｂ）の
厚み差が生じる。ここで、グルーブローラ１，２に等ピ
ッチ（ａ＝ｂ）で溝が刻設されていると、厚み差はΔｔ
＝Δｄとなり、入側ウェーハＷ1 に比較してワイヤ５の
径減少分Δｄだけ出側ウェーハＷ2 が厚くなる。そこ
で、本発明においては、ワイヤ５の径減少分Δｄに起因
した厚み差Δｔを解消するように、グルーブローラ１，
２の新線供給側に付ける最大溝ピッチａとワイヤ回収側
に付ける最小溝ピッチｂとの間にａ−ｂ＝Δｄの関係を
成立させている。また、新線供給側からワイヤ回収側に
向けて溝ピッチをａ→ｂと徐々に小さくしている。これ
により、ワイヤ５の径減少分が溝ピッチの減少によって
相殺され、新線供給側のインゴット９から切り出された
ウェーハＷ1 の厚みｔ1 とワイヤ回収側のインゴット９
から切り出されたウェーハ2 の厚みｔ2 とを実質的に同
じ厚みに、或いは少なくとも厚み差Δｔを小さくしてい
る。このようにして、新線供給側とワイヤ回収側とで厚
み変動が抑制されたウェーハ１７（Ｗ1 ，Ｗ2 ）がイン
ゴット９から切り出されるため、所定の均一厚みをもつ
ウェーハ１７に加工する際の切削工程やラッピング工程
の負荷が軽減され、削り代も少なくなり、製品ウェーハ
としての歩留りが向上する。
【０００９】
【実施例】グルーブローラ１，２のワイヤ供給側に１．
１００ｍｍのピッチａで、ワイヤ回収側に１．０９５ｍ
ｍのピッチｂで深さ０．２ｍｍの溝を刻設した。直径
０．１８ｍｍのピアノ線をワイヤ５として使用し、グル
ーブローラ１とグルーブローラ２との間でワイヤ５を往
復走行させながら、直径２００ｍｍのインゴット９をワ
イヤソー切断した。インゴット９の切断中、ＧＣ＃６０
０の砥粒をラッピングオイルに混合したスラリー１１を
流量７０リットル／分でワイヤ５に供給した。ワイヤ５
は、グルーブローラ１からグルーブローラ２に向けて平
均速度５００ｍ／分で３６秒間走行させた後、逆方向に
平均速度５００ｍ／分で２４秒間走行させる合計６０秒
を１サイクルとして連続走行させた。
１００ｍｍのピッチａで、ワイヤ回収側に１．０９５ｍ
ｍのピッチｂで深さ０．２ｍｍの溝を刻設した。直径
０．１８ｍｍのピアノ線をワイヤ５として使用し、グル
ーブローラ１とグルーブローラ２との間でワイヤ５を往
復走行させながら、直径２００ｍｍのインゴット９をワ
イヤソー切断した。インゴット９の切断中、ＧＣ＃６０
０の砥粒をラッピングオイルに混合したスラリー１１を
流量７０リットル／分でワイヤ５に供給した。ワイヤ５
は、グルーブローラ１からグルーブローラ２に向けて平
均速度５００ｍ／分で３６秒間走行させた後、逆方向に
平均速度５００ｍ／分で２４秒間走行させる合計６０秒
を１サイクルとして連続走行させた。
【００１０】インゴット９から切り出されたウェーハ１
７の形状を測定したところ、厚みが８６０±１μｍの範
囲に収まっていた。比較のため同じピッチ（＝１．１０
０ｍｍ）で溝を付けたグルーブローラ１，２を使用して
ワイヤーソー切断したところ、得られたウェーハの厚み
変動は８６５±２．５μｍと大きくなっており、回収側
グルーブローラ２に近い側で厚くなる傾向が見られた。
この対比から明らかなように、インゴット９をスライス
する際に摩耗するワイヤ５の径減少分Δｄを見込んでグ
ルーブローラ１，２に付ける溝のピッチを供給側で大き
く、回収側で小さくすることにより、厚み変動が少ない
ウェーハが得られることが判る。このようにして得られ
たウェーハは、枚葉ごとの厚み差が小さいことに加え、
表面の平滑度も優れていることから、後続するラッピン
グや研削工程で作業性が良く、歩留りも向上する。
７の形状を測定したところ、厚みが８６０±１μｍの範
囲に収まっていた。比較のため同じピッチ（＝１．１０
０ｍｍ）で溝を付けたグルーブローラ１，２を使用して
ワイヤーソー切断したところ、得られたウェーハの厚み
変動は８６５±２．５μｍと大きくなっており、回収側
グルーブローラ２に近い側で厚くなる傾向が見られた。
この対比から明らかなように、インゴット９をスライス
する際に摩耗するワイヤ５の径減少分Δｄを見込んでグ
ルーブローラ１，２に付ける溝のピッチを供給側で大き
く、回収側で小さくすることにより、厚み変動が少ない
ウェーハが得られることが判る。このようにして得られ
たウェーハは、枚葉ごとの厚み差が小さいことに加え、
表面の平滑度も優れていることから、後続するラッピン
グや研削工程で作業性が良く、歩留りも向上する。
【００１１】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明において
は、ワイヤを往復走行させながらインゴットをスライス
する際、摩耗するワイヤの径減少分を見込んで溝ピッチ
を供給側で大きく、回収側で小さくしたグルーブローラ
を使用している。そのため、供給側と回収側とでワイヤ
の摩耗による径の減少が相殺され、供給側及び回収側の
インゴットから切り出されたウェーハの厚み差が小さく
なる。このようにして得られたウェーハは、往復走行方
式のワイヤーソー切断特有の高い平坦度をもち、しかも
枚葉間の厚み変動が抑制されているため、後続するラッ
ピングや研削工程の作業性が向上し、高い歩留りで製品
となる。
は、ワイヤを往復走行させながらインゴットをスライス
する際、摩耗するワイヤの径減少分を見込んで溝ピッチ
を供給側で大きく、回収側で小さくしたグルーブローラ
を使用している。そのため、供給側と回収側とでワイヤ
の摩耗による径の減少が相殺され、供給側及び回収側の
インゴットから切り出されたウェーハの厚み差が小さく
なる。このようにして得られたウェーハは、往復走行方
式のワイヤーソー切断特有の高い平坦度をもち、しかも
枚葉間の厚み変動が抑制されているため、後続するラッ
ピングや研削工程の作業性が向上し、高い歩留りで製品
となる。
【図１】 本発明が適用されるワイヤソー切断装置
【図２】 ワイヤを往復走行させながらインゴットを切
断している状態を示す概略斜視図（ａ）及びワイヤの走
行図（ｂ）
断している状態を示す概略斜視図（ａ）及びワイヤの走
行図（ｂ）
【図３】 本発明に従ってインゴットをワイヤソー切断
している状態の説明図
している状態の説明図
【図４】 ワイヤ供給側のインゴットから切り出された
ウェーハ（ａ）及びワイヤ回収側のインゴットから切り
出されたウェーハ（ｂ）
ウェーハ（ａ）及びワイヤ回収側のインゴットから切り
出されたウェーハ（ｂ）
１〜３：グルーブローラ ４：駆動モータ ５：ワ
イヤ ６，７：ワイヤリール ８：テンショナー
９：インゴット １０：ホルダ １１：スラリー
１２：スラリータンク １３：供給管 １４：
ノズル １５：パン １６：熱交換器 ａ：グルーブローラ（上流側）に付ける溝のピッチ ｂ：グルーブローラ（下流側）に付ける溝のピッチ ｄin：供給側ワイヤ径 ｄout ：回収側ワ
イヤ径 Ｗ1 ：入側インゴットから切り出されたウェーハ Ｗ2 ：出側インゴットから切り出されたウェーハ ｔ1 ：入側インゴットから切り出されたウェーハの厚み ｔ2 ：出側インゴットから切り出されたウェーハの厚み
イヤ ６，７：ワイヤリール ８：テンショナー
９：インゴット １０：ホルダ １１：スラリー
１２：スラリータンク １３：供給管 １４：
ノズル １５：パン １６：熱交換器 ａ：グルーブローラ（上流側）に付ける溝のピッチ ｂ：グルーブローラ（下流側）に付ける溝のピッチ ｄin：供給側ワイヤ径 ｄout ：回収側ワ
イヤ径 Ｗ1 ：入側インゴットから切り出されたウェーハ Ｗ2 ：出側インゴットから切り出されたウェーハ ｔ1 ：入側インゴットから切り出されたウェーハの厚み ｔ2 ：出側インゴットから切り出されたウェーハの厚み
Claims (2)
- 【請求項１】 インゴットを挟むように平行配置された
溝付きのグルーブローラ間にワイヤを螺旋状に周回さ
せ、往復走行するワイヤにスラリーを供給しながらイン
ゴットをスライスする際、各グルーブローラの新線供給
側につける溝の最大ピッチをａ，ワイヤ回収側に付ける
溝の最小ピッチをｂ，インゴットをスライスする際に摩
耗するワイヤの径減少分をΔｄとするとき、ｂ＝ａ−Δ
ｄの関係を維持してワイヤを周回させるインゴットのワ
イヤソー切断方法。 - 【請求項２】 インゴットを挟むように平行配置された
一対の溝付きグルーブローラと、駆動モータに接続され
た溝付き駆動ローラと、これら溝付きローラに螺旋状に
周回されて往復走行するワイヤと、砥粒を懸濁させたス
ラリーをワイヤに供給するノズルとを備え、各グルーブ
ローラの新線供給側につける溝のピッチをａ，ワイヤ回
収側に付ける溝のピッチをｂ，インゴットをスライスす
る際に摩耗するワイヤの径減少分をΔｄとするとき、ｂ
＝ａ−Δｄの関係を成立させているインゴットのワイヤ
ソー切断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6305097A JPH10249701A (ja) | 1997-03-17 | 1997-03-17 | インゴットのワイヤソー切断方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6305097A JPH10249701A (ja) | 1997-03-17 | 1997-03-17 | インゴットのワイヤソー切断方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10249701A true JPH10249701A (ja) | 1998-09-22 |
Family
ID=13218127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6305097A Pending JPH10249701A (ja) | 1997-03-17 | 1997-03-17 | インゴットのワイヤソー切断方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10249701A (ja) |
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-
1997
- 1997-03-17 JP JP6305097A patent/JPH10249701A/ja active Pending
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