JPH1025104A - オゾン発生装置 - Google Patents

オゾン発生装置

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JPH1025104A
JPH1025104A JP8180799A JP18079996A JPH1025104A JP H1025104 A JPH1025104 A JP H1025104A JP 8180799 A JP8180799 A JP 8180799A JP 18079996 A JP18079996 A JP 18079996A JP H1025104 A JPH1025104 A JP H1025104A
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discharge
ozone
ground electrode
electrodes
dielectric
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Yoichiro Tabata
要一郎 田畑
Masaki Kuzumoto
昌樹 葛本
Junji Hirotsuji
淳二 広辻
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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    • C01B13/10—Preparation of ozone
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 コンパクトで大容量のオゾン発生装置を実現
する。さらに、組み立て、メンテナンスが容易なオゾン
発生装置を実現する。 【解決手段】 接地電極２ｘおよび高圧電極３ａ，３
ｂ，３ｃを誘電体３００ａ，３００ｂ，３００ｃを介し
て対向配置し前記電極間に高電圧を印加して放電を発生
させる放電体を有し、電極間に酸素を含むガスを供給し
て放電によりオゾンを発生させるオゾン発生装置におい
て、放電体は、共通の接地電極に対して誘電体および電
極の少なくとも一方を複数個配置して構成した複数の放
電セルを有する。また、放電体を複数積層し結合してブ
ロックを構成し、ブロックを複数積層し結合してモジュ
ールを構成した。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、オゾン発生装置に
関し、特にその大容量化に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２５は、例えば刊行物（「オゾナイザ
ハンドブック」電気学会オゾナイザ専門委員会編、昭和
35年、コロナ社刊、249頁）に示されたOtto-Plate（オ
ットー・プレート）型と呼ばれる従来のオゾン発生装置
の要部を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は左半分の正面
図である。図において、１は電源、２は接地された金属
電極、３は接地電極２に対向して設けられ、電源１に接
続され高電圧の印加された高圧電極、４は接地電極２お
よび高圧電極３の表面に置かれた誘電体（ガラス板）、
５は放電の発生する放電空間、６は放電空間５を形成す
るための電気絶縁性（誘電体）スペーサである。７、８
はそれぞれガスの供給口、排出口を示す矢印、９はオゾ
ン化ガスの排出管である。接地電極２、高圧電極３、お
よびこれらの電極間に配置された誘電体４により１つの
放電セルを構成している。
【０００３】次に動作について説明する。従来のオゾン
発生装置は接地電極２、高圧電極３、誘電体板４の中央
部にはガス排出用の穴があけられている。上述のオット
ー・プレート型の文献にはスペーサ６に関する記述はな
いが、実際には図２５に示すように、誘電体４の間隔
（空隙長）を保持するため、ガスの流入を邪魔しないよ
うな形で放電空間５の周囲に電気絶縁性のスペーサが設
置されている。酸素を含む原料ガスはオゾン発生装置の
周辺部全周から矢印７の方向に導入され、電源装置１に
よって高電圧が印加され放電している放電空隙５を通過
する際に酸素の一部がオゾンとなり、このオゾンを含む
ガスがオゾン化ガスとして中央部のガス排出管９を通し
て矢印８の方向に取り出される。
【０００４】前記放電空間５では、放電による発熱があ
るため、該放電空間を通過するガスを有効に冷却しない
と放電空間５内のガス温度が上昇し、オゾンの発生量が
減少する。そのため、接地電極２および高圧電極３は絶
縁オイルなど電気絶縁性の液体で冷却し、ガス温度の上
昇を抑えている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来のオゾン発生装置
は以上のように構成されおり、大容量化を図るには、図
２５に示すようにように、放電セルを多段に積層すれば
オゾンの発生量は積層数に比例して増加する。水処理、
パルプ漂白など産業用用途にこのオゾン発生装置を利用
するためには、数十個以上の放電セルを積層し構成した
モジュールがさらに数十台以上必要である。そのため、
大容量のオゾン生産システムを構成する場合、積層数や
装置の台数に比例して電極の枚数や接続部品数が増え、
製作コストが高くなることや、装置スペースが大きくな
ること、補修作業が多くなる困難さが生じる。
【０００６】また、１つの放電セルの放電面積を増やす
ことによりオゾンの発生量は増加するが、電極径を大き
くし過ぎると、所定精度の平坦度を得るには電極の厚み
が厚くなり非常に重くなるなど問題があり、また、誘電
体は機械的強度が弱く平坦度も得にくいので面積を大き
くするのに限界がある。
【０００７】本発明は上記のような問題点を解消するた
めになされたもので、第１に、大面積になると所定精度
の平坦度を得るのに厚みを厚くしなければならない電極
や、機械的強度が弱く平坦度も得にくい誘電体を大型化
することなく、コンパクトで部品点数が少なく製作が容
易で大容量のオゾンを発生することのできるオゾン発生
装置を実現することを目的とする。
【０００８】第２に、セルの積層、点検、交換等の各作
業が容易で大容量のオゾン発生装置を実現することを目
的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】第１の発明に係るオゾン
発生装置は、放電体は、共通の接地電極に対して誘電体
および高圧電極の少なくとも一方を複数個配置して構成
した複数の放電セルを有するものである。
【００１０】第２の発明に係るオゾン発生装置は、前記
第１の発明における接地電極または高圧電極は、板状誘
電体の片面に導電膜を有し、前記導電膜を板状金属体に
電気的に接続して給電するように構成したものである。
【００１１】第３の発明に係るオゾン発生装置は、前記
第１の発明における接地電極または高圧電極は、放電面
に誘電体膜を有するものである。
【００１２】第４の発明に係るオゾン発生装置は、前記
第１ないし３の何れかの発明において、接地電極は軽金
属または軽合金で形成されているものである。
【００１３】第５の発明に係るオゾン発生装置は、前記
第１ないし３の何れかの発明において、接地電極は多角
形状に形成されているものである。
【００１４】第６の発明に係るオゾン発生装置は、前記
第１ないし３の何れかの発明において、電極の少なくと
も一部に耐オゾン加工が施されているものである。
【００１５】第７の発明に係るオゾン発生装置は、前記
第１ないし３の何れかの発明において、接地電極は冷却
用媒体が流通する中空部を有しており、前記接地電極の
前記冷却用媒体に触れる面に耐食処理が施されているも
のである。
【００１６】第８の発明に係るオゾン発生装置は、接地
電極は誘電体および高圧電極を保持しているものであ
る。
【００１７】第９の発明に係るオゾン発生装置は、接地
電極は高圧電源と電極間に接続される過電流防止用ヒュ
ーズを側面に保持しているものである。
【００１８】第１０の発明に係るオゾン発生装置は、電
極間に高電圧を印加するオゾン発生用電源の少なくとも
高電圧発生回路部をオゾン発生装置本体に近接して配置
し、少なくともインバータ制御回路部を前記オゾン発生
装置本体から離して配置したものである。
【００１９】第１１の発明に係るオゾン発生装置は、少
なくとも３個の高圧電極を有して少なくとも３個の放電
セルを構成し、３相交流電源を用いて前記３個の放電セ
ルにそれぞれ位相の異なる３相交流を印加するようにし
たものである。
【００２０】第１２の発明に係るオゾン発生装置は、放
電体を誘電体と所定の間隔を保持した結合棒によって多
段に積層したものである。
【００２１】第１３の発明に係るオゾン発生装置は、放
電体を垂直方向に積層したものである。
【００２２】第１４の発明に係るオゾン発生装置は、接
地電極および高圧電極を誘電体を介して対向配置し前記
電極間に高電圧を印加して放電を発生させる放電体を複
数積層し結合してブロックを構成し、前記ブロックを複
数積層し結合してモジュールを構成し、前記電極間に酸
素を含むガスを供給して前記放電によりオゾンを発生さ
せるものである。
【００２３】第１５の発明に係るオゾン発生装置は、前
記第１４の発明において、放電体は共通の接地電極に対
して誘電体および高圧電極の少なくとも一方を複数個配
置して構成した複数の放電セルを有するものである。
【００２４】第１６の発明に係るオゾン発生装置は、前
記第１４の発明において、結合は接地電極の側面に複数
設けられたフックまたは前記接地電極の非放電面を貫通
するように形成された貫通穴に結合棒を通すことにより
行うものである。
【００２５】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．以下、本発明の一実施の形態を図につい
て説明する。図１、２は本発明の実施の形態１によるオ
ゾン発生装置の要部を示し、図１は平面図、図２は図１
のＡ−Ａ線断面図である。なお、図１は図２のＢ−Ｂ線
を矢印の方向から見た場合を示している。図において、
１ａ、１ｂ、１ｃはオゾン発生用電源、２ｘ、２ｙは変
形６角形状の接地電極である。３００ａ、３００ｂ、３
００ｃは円板状の誘電体であり、各誘電体３００ａ、３
００ｂ、３００ｃの片面に導電膜３０ａ、３０ｂ、３０
ｃが形成されて誘電体高圧電極３ａ、３ｂ、３ｃを構成
している。３２は導電性を有する弾性体すなわち金属バ
ネ、３３は高電圧を給電するための給電板で、給電板３
３から金属バネ３２を介して誘電体電極３ａ、３ｂ、３
ｃの導電膜３０ａ、３０ｂ、３０ｃ面に電気的に接続す
ることで高電圧を供給するように構成している。
【００２６】本実施の形態では変形６角形状の接地電極
２の中心から角度１２０度で３等分した接地電極面に放
電面となる高精度の平坦度を有する円板状の導電部材２
ａｘ、２ｂｘ（、２ｃｘ図示せず）をそれぞれ接合し、
これらの導電部材２ａｘ、２ｂｘ、２ｃｘに３つの誘電
体電極３ａ、３ｂ、３ｃをそれぞれ対向させて配置して
いる。このように、共通の接地電極２ｘと１つの誘電体
電極３ａまたは３ｂまたは３ｃを有する放電部分をそれ
ぞれオゾン発生放電セル１０ａ、１０ｂ（、１０ｃ図示
せず）と称する。本実施の形態では共通の接地電極２ｘ
に３個の放電セル１０ａ、１０ｂ、１０ｃを有する放電
体すなわち放電ユニットを構成している。 ２０ａ、２
０ｂ、２０ｃはガス導入穴、２１は絶縁ガイシである。
２２ａ、２２ｂ、２２ｃは過電流防止用ヒューズであ
り、接地電極２の側面に絶縁ガイシ２１を介して保持さ
れている。２３ａ、２３ｂは接地電極２ｘ、２ｙの冷却
用媒体である水の入口と出口、２４ａ、２４ｂは配管、
２５ａ、２５ｂは複数個の接地電極を冷却するための中
継集合冷却管、２６ａ、２６ｂはメイン冷却管の排出口
と吸入口であり、接地電極に設けられた中空部を冷却水
が流通するように構成されている。２７は冷却水の流れ
を示す矢印、５は放電を発生させる放電空間、６は放電
空間を形成するためのスペーサ、３１は弾性を有するガ
スシール材、７は原料ガス供給口、８はオゾン化ガス排
出方向を示す矢印、９ａ、９ｂ、９ｃはオゾン化ガスの
排出管、１００は圧力容器である。
【００２７】次に動作について説明する。図において、
オゾン発生用電源１ａ、１ｂ、１ｃで発生した高電圧は
接地電極２ｘ、２ｙの側面に設置した過電流防止用ヒュ
ーズ２２ａ、２２ｂ、２２ｃを介して給電板３３から金
属バネ３２を経て誘電体高圧電極３ａ、３ｂ、３ｃに供
給される。圧力容器１００に設けられた原料ガス導入口
７から、酸素を含む原料ガスを導入すると、オゾン発生
放電セル１０ａ、１０ｂ、１０ｃの外周方向から放電空
間５に原料ガスは吸い込まれ、放電空間５に無声放電を
行うと、原料ガスはオゾン化ガスとなる。放電空間５を
出たオゾン化ガスはガス導入穴２０ａ、２０ｂ、２０ｃ
に導かれ、オゾン排出管９ａ、９ｂ、９ｃを矢印８の方
向に排出され、外部に取り出される。
【００２８】このように、本実施の形態では放電面積を
増やして大容量化するのに、共通の接地電極２ｘに対向
して複数の高圧電極３０ａ、３０ｂ、３０ｃおよび誘電
体３００ａ、３００ｂ、３００ｃを配置することによ
り、機械的強度が弱く平坦度も得にくい誘電体３００
ａ、３００ｂ、３００ｃや所定精度の平坦度を得るため
に厚くしなければならない高圧電極３０ａ、３０ｂ、３
０ｃを大型化することなく大容量化が可能となり、接地
電極および接地電極の冷却継手等の接地電極部品数を減
らせオゾン発生量の大容量化が図れる。また、複数の放
電セルを共通の接地電極に有効に配置することでコンパ
クトな装置を実現できる。なお、共通の接地電極２ｘは
放電面となる高精度の平坦度を有する円板状の導電部材
２ａｘ、２ｂｘ、２ｃｘをそれぞれ接合したので、所定
精度の平坦度が得られる。
【００２９】また、本実施の形態では、接地電極２ｘ、
２ｙの形状を変形６角形にしたので、円筒形の圧力容器
１００と接地電極２ｘ、２ｙとの間に空き空間が生じ、
この空き空間である接地電極側面に過電流防止用ヒュー
ズ２２ａ、２２ｂ、２２ｃを絶縁ガイシ２１を介して設
置したり、接地電極の冷却用媒体の給排機構を配置した
りすることは装置全体の省スペース化に有効で、しか
も、共通の接地電極２ｘ、２ｙに過電流防止用ヒューズ
２２ａ、２２ｂ、２２ｃを一体的に保持させることはオ
ゾン発生放電セルを１つの部品とみなすことができ、積
層化が容易に行える利点がある。さらに、放電空間に印
加する電圧は、１kHz〜数十kHz、数kVのオーダーの高周
波高電圧であり、オゾン発生放電ユニットを多段に積層
した場合、各オゾン発生放電セル間に印加している高周
波高電圧配線は、各オゾン発生放電セル１０ａ、１０
ｂ、１０ｃの近傍に過電流防止用ヒューズ２２ａ、２２
ｂ、２２ｃを設けたので非常に短くでき、各オゾン発生
放電セル間での高周波高電圧配線は隣の放電セルの高圧
配線と接触や近接することは殆どなく、そのため高圧配
線同士による絶縁不良の可能性が低くなる利点も生じ
る。また、図１に示すように過電流防止用ヒューズ２２
ａ、２２ｂ、２２ｃを接地電極に一体的に保持させてお
くと、放電セル１０ａまたは１０ｂまたは１０ｃの不良
で過電流が流れヒューズ２２ａまたは２２ｂまたは２２
ｃが切れれば、その不良放電セルを有する放電ユニット
を交換すれば、同時に過電流防止用ヒューズ２２ａ、２
２ｂ、２２ｃも交換でき、電極のメンテナンスが容易に
行え修理作業に有効である。なお、本実施の形態では共
通の接地電極２ｘに対して３個の高圧電極３ａ、３ｂ、
３ｃを並べて３個の放電セルを構成した場合の接地電極
側面に過電流防止用ヒューズを一体的に保持した場合に
ついて説明したが、１つの接地電極に１つの高圧電極を
配置した場合にも接地電極に過電流防止用ヒューズを一
体的に保持しても同様に積層およびメンテナンスが容易
となる。
【００３０】なお、本実施の形態において、接地電極２
ｘ、２ｙはオゾン発生量の大容量化のために１つの接地
電極面に３つのオゾン発生放電セル１０ａ、１０ｂ、１
０ｃを構成したため、接地電極２ｘ、２ｙが大きくな
り、接地電極をステンレス鋼で作ると非常に重くなるた
めオゾン発生放電ユニットの積層作業が困難で、しかも
装置全体の総重量が重くなり、装置の輸送が困難となる
が、接地電極２ｘ、２ｙをアルミニウムやチタニウム等
の軽金属や軽合金で構成すると軽量化でき、積層の作業
性が良くなり、特に、大容量化した大型のオゾン発生装
置で有効で、装置の輸送において有効である。
【００３１】冷却用媒体である冷却水は中継集合冷却管
２５ａに導入されて、配管２４ａ、水の入口２３ａを介
して共通の接地電極２ｘ、２ｙの中空部に供給され、放
電空間５のガスの温度上昇を防ぎ、オゾン発生性能を維
持する。共通の接地電極２ｘ、２ｙを出た冷却水は、同
様に水の出口２３ｂ、配管２４ｂを介して中継集合冷却
管２５ｂに排出される。このように、接地電極２ｘ、２
ｙに冷却水を流すと、接地電極の冷却媒体すなわち水に
触れる面が電気腐食する可能性があるが、この面にガラ
スコーティングやセラミックコーティング等の耐腐食加
工を施すことにより電気腐食を防止できる。なお、ガラ
スコーティング等の耐腐食加工は小容量のオゾン発生装
置、すなわち小さな接地電極面にすることは加工コスト
割合が高くなるが、本実施の形態のように大型のオゾン
発生装置で、しかも共通にした接地電極２ｘ、２ｙの冷
却用媒体に触れる面に耐腐食加工を施すことは加工コス
ト割合が低くなり、特に有効である。
【００３２】また、接地電極２ｘ、２ｙの誘電体高圧電
極３ａ、３ｂ、３ｃに対向する面は放電で発生したオゾ
ンで金属酸化物（サビ）の生成が促進され、このサビが
誘電体３００ａ、３００ｂ、３００ｃの表面や装置内に
付着して絶縁不良を生じる可能性がある。そのため、接
地電極２ｘ、２ｙの誘電体高圧電極３ａ、３ｂ、３ｃに
対向した面にガラスコーティングやセラミックコーティ
ング等の耐オゾン加工を施してオゾンによる酸化を防止
することは有効な手段である。また、誘電体高圧電極３
ａ、３ｂ、３ｃの電気給電面すなわち導電膜３０ａ、３
０ｂ、３０ｃの給電板３３対向面もオゾンによって劣化
する可能性があり、ガラスコーティングやセラミックコ
ーティング等の耐オゾン加工を施して劣化を防止するこ
とも有効な対策である。この場合も、小容量のオゾン発
生装置でのガラスコーティング等の耐オゾン加工コスト
は割高になるが、本実施の形態のように大型のオゾン発
生装置では酸化防止加工をすることにより加工コスト割
合が低くなり、特に有効である。
【００３３】実施の形態２．図３、４は本発明の実施の
形態２によるオゾン発生装置の要部を示し、図３は平面
図、図４は図３のＡ−Ａ線断面図である。なお、図３は
図４のＢ−Ｂ線を矢印の方向から見た場合を示してい
る。図において、３４ａｘ、３４ａｙ、３４ｂｘ、３４
ｂｙ、３４ｃｘは金属からなる円板状の高圧電極であ
る。本実施の形態では円板状高圧電極３４ａｘ、３４ｂ
ｘ、３４ｃｘに対向してスペーサ６を介して円板状の誘
電体３００ａ、３００ｂ、３００ｃをそれぞれ配置し、
各誘電体３００ａ、３００ｂ、３００ｃの接地電極対向
面に導電膜３０ａ、３０ｂ、３０ｃを形成し、この導電
膜３０ａ、３０ｂ、３０ｃ面と共通の接地電極２ｘを電
気的に接触させることで誘電体接地電極としている。本
実施の形態においても、共通の接地電極２ｘに対して高
圧電極３４ａｘ、３４ｂｘ、３４ｃｘと誘電体３００
ａ、３００ｂ、３００ｃをそれぞれ３個ずつ配置して３
個の放電セルを構成しており、この場合にも上記実施の
形態１と同様に大容量化に有利である。
【００３４】実施の形態３．図５は本発明の実施の形態
３によるオゾン発生装置の要部を示す断面図である。図
において、３０１ｘ、３０１ｙは共通の接地電極２ｘ、
２ｙの放電面に形成した共通の誘電体膜である。図４の
３個の円板状誘電体３００ａ、３００ｂ、３００ｃの代
替品として接地電極２ｘ、２ｙの放電側の面全体に誘電
体膜３０１ｘ、３０１ｙを形成して、誘電体膜３０１
ｘ、３０１ｙ付きの接地電極としている。なお、誘電体
膜３０１ｘ、３０１ｙは溶射により接地電極２ｘ、２ｙ
に密着させて形成されるので、大面積であっても機械的
強度および平坦度は接地電極２ｘ、２ｙにより保たれ
る。本実施の形態においても、共通の接地電極２ｘに対
して共通の誘電体膜３０１ｘと３個の高圧電極３４ａ
ｘ、３４ｂｘ、３４ｃｘを配置して３個の放電セルを構
成しており、この場合にも上記実施の形態１と同様に大
容量化に有利である。
【００３５】実施の形態４．図６は本発明の実施の形態
４によるオゾン発生装置の要部を示す断面図であり、実
施の形態２の変形例を示している。図において、２ｓａ
ｘ、２ｓｂｘ、２ｓａｙ、２ｓｂｙはスプリングシール
板である。スプリングシール板２ｓａｘ、２ｓｂｘ（、
２ｓｃｘ図示せず）は片面に導電膜が形成された実施の
形態２の図４で示したのと同様の円板状誘電体３００
ａ、３００ｂ（、３００ｃ図示せず）の導電膜面と接地
電極の円板状導電部材２ａｘ、２ｂｘ（、２ｃｘ図示せ
ず）との間に挟み込まれており、誘電体３００ａ、３０
０ｂ、３００ｃの導電膜面と接地電極２ｘとの電気的接
触を良くするとともに、誘電体３００ａ、３００ｂ、３
００ｃと接地電極２ｘ間でのガスのリークをシールする
役目や誘電体３００ａ、３００ｂ、３００ｃの緩衝材の
役目を果たす。
【００３６】なお、図６では高圧電極は円板状高圧電極
３４ａｘ、３４ｂｘ（、３４ｃｘ図示せず）、金属バネ
３２、ガスシール材３１および給電板３３の４つの部品
で構成しているが、図７に示すように１つの高圧電極体
３で構成してもよい。この場合は、共通の接地電極２ｘ
に対して共通の高圧電極３と片面に導電膜が形成された
円板状誘電体３００ａ、３００ｂ（、３００ｃ図示せ
ず）を配置して３個の放電セルを構成しており、この場
合にも上記実施の形態１と同様に大容量化に有利であ
る。
【００３７】実施の形態５．図８は本発明の実施の形態
５によるオゾン発生装置の要部を示す断面図である。図
において、Ｚｘ、Ｚｙは冷却管２６ａ、２６ｂの絶縁リ
ング、Ｚｏはオゾン管９ａ、９ｂの絶縁リング、Ｚｂは
電圧給電端子の絶縁リングである。１は高圧電源、２ｓ
ａ、２ｓｂはスプリングシール板である。高圧電極３が
冷却媒体流通用の中空部を有して冷却できる構造になっ
ている以外は図７と同様である。本実施の形態は、容器
１００と２極の電極２、３間は上記の絶縁リングＺｘ、
Ｚｙ、Ｚｏ、Ｚｂで電気的に絶縁されている。そして２
極の電極２、３は共に冷却媒体で冷却できる構造になっ
ている、つまり両面冷却構造になっている例である。こ
のように、両電極２、３を冷却すると、放電空間５のガ
スの冷却効果が増し、より高濃度のオゾンを効率よく発
生できる利点がある。
【００３８】実施の形態６.図９は本発明の実施の形態
６によるオゾン発生装置本体と電源回路を示す構成図で
ある。図において、９９はオゾン発生装置本体であり、
例えば図１と同様のものである。１ｘはオゾン発生用電
源であり、実施の形態１のオゾン発生用電源１ａ、１
ｂ、１ｃを１台の電源で行うために、３相交流の高電圧
を発生できる電源である。オゾン発生用電源１ｘは３相
整流回路１０１、３相インバータ回路１０２、３相イン
バータ回路１０２の駆動回路１０３、３相インバータ１
０２の制御回路１０４、直列リアクトル１０５ａ、１０
５ｂ、３相高電圧変圧器１０６、並列リアクトル１０７
ａ、１０７ｂ、１０７ｃで構成される。なお、図９では
電圧値や電流を可変するためのコンバータ部は３相イン
バータ回路１０２での制御で兼ねているが、新たに３相
インバータ回路の前段もしくは後段にコンバータ回路部
を設けてもよい。
【００３９】次にオゾン発生電源１ｘの動作について説
明する。図９において３相整流回路１０１は商用周波数
の３相交流電圧を一旦直流に変換する。直流にした電圧
を３相インバータ回路１０２で、例えば、３相、１０kH
zの交流電圧に変換し、直列リアクトル１０５ａ、１０
５ｂを介して３相高電圧変圧器１０６の入力側に入力さ
れる。３相高電圧変圧器１０６は１次側がΔ結線で、２
次側がＹ結線になっており、変圧器で高電圧に昇圧して
いる。Ｙ結線の中性点をアースとし、オゾン発生装置１
０の接地電極２に接続する。Ｙ結線の各端子をオゾン発
生装置本体９９の各過電流防止用ヒューズ２２ａ、２２
ｂ、２２ｃに接続して各オゾン発生放電セルに位相の異
なる高電圧を印加する。なお、並列リアクトル１０７
ａ、１０７ｂ、１０７ｃは３相高電圧変圧器のアース端
子（中性点）と高電圧端子間に挿入され、並列リアクト
ル１０７ａ、１０７ｂ、１０７ｃと直列リアクトル１０
５ａ、１０５ｂはオゾン発生装置本体９９の放電負荷の
力率改善の役目を果たす。なお、本実施の形態では直列
リアクトル１０５ａ、１０５ｂを３相高電圧変圧器１０
６の１次側に挿入したが、２次側に直列に挿入しても同
様の効果を奏する。
【００４０】本実施の形態で示すように、オゾン発生電
源１ｘを３相交流の高電圧発生電源にすることにより、
１つの電源で３つのオゾン発生放電セルを駆動でき、電
源のコンパクト化が図れ、安価にできる。また、直流リ
アクトル１０５ａ、１０５ｂは３個必要であったが２個
で済み、高電圧変圧器１０６は１個で済む効果がある。
【００４１】実施の形態７．図１０は本発明の実施の形
態７によるオゾン発生装置本体と電源回路を示す構成図
である。本実施の形態においては、オゾン発生用電源１
ｘを高電圧を発生する高電圧発生回路部１ｘａと整流お
よび高周波化するための整流・インバータ回路部１ｘｂ
の２つに分けている。高電圧発生回路部１ｘａは大容量
の変圧器１０６やリアクトル１０５ａ、１０５ｂ、１０
７ａ、１０７ｂ、１０７ｃで構成されているため重量物
であり、変圧器１０６の２次側は高電圧である。そのた
め、オゾン発生装置本体９９の構造体と高電圧発生回路
部１ｘａを一体化するほうが良い。つまり一体化すれ
ば、オゾン発生装置本体とオゾン発生電源の高電圧の配
線が一体化された装置内に組込まれ、かつ、高電圧発生
回路部１ｘａからオゾン発生装置本体９９までの配線距
離を短くでき、高圧配線間のコロナ放電や沿面放電等に
よる電気のリークなどの故障を防止できる。また、イン
バータ１０２からの出力配線１０８ａ、１０８ｂ、１０
８ｃは低電圧配線で良く、長距離配線は容易であり、さ
らに整流・インバータ回路部１ｘｂは軽く小さいため、
オゾン発生装置本体９９と別の部屋に置くこともでき
る。
【００４２】実施の形態８．前記実施の形態７では３相
交流のオゾン発生電源の高電圧発生回路部１ｘａと整流
・インバータ回路部１ｘｂとの分離をしたものについて
示したが、図１１に示すように単相交流のオゾン発生電
源を３台用いた場合でも、上記の実施の形態７と同様に
構成でき、同様の効果がある。図１１において、１０１
ａ、１０１ｂ、１０１ｃは３相整流回路、１０２ａ、１
０２ｂ、１０２ｃは３相インバータ回路、１０３ａ、１
０３ｂ、１０３ｃ駆動回路、１０４ａ、１０４ｂ、１０
４ｃはインバータ制御回路、１０５ｃは直列リアクト
ル、１０６ａ、１０６ｂ、１０６ｃは高電圧変圧器であ
る。
【００４３】さらに、前記実施の形態７、８では、高電
圧発生回路部１ｘａと３相整流回路１０１、１０１ａ、
１０１ｂ、１０１ｃ、３相インバータ回路１０２、１０
２ａ、１０２ｂ、１０２ｃおよびドライブ回路１０３、
１０３ａ、１０３ｂ、１０３ｃとを分離したものを示し
たが、高電圧発生回路部１ｘａと３相整流回路１０１、
１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃと３相インバータ回路１
０２、１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃとドライブ回路１
０３、１０３ａ、１０３ｂ、１０３ｃとをオゾン発生装
置本体９９と一体化構成にして、インバータ制御回路１
０４、１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃのみを遠隔操作で
きるようにしてもよい。
【００４４】実施の形態９．図１２、１３は本発明の実
施の形態９によるオゾン発生装置の要部を示し、図１２
は平面図、図１３は図１２のＡ−Ａ線断面図である。な
お、図１２は図１３のＢ−Ｂ線を矢印の方向から見た場
合を示している。本実施の形態では１つの接地電極２に
６枚の誘電体高圧電極３ａｘ、３ａｙ、３ｂｘ、３ｂｙ
（、３ｃｘ、３ｃｙ図示せず）と、６つのスペーサ６ａ
ｘ、６ｂｘ（、６ｃｘ図示せず）、６ａｙ、６ｂｙ（、
６ｃｙ図示せず）と、３つのガスシール材３１ａ、３１
ｂ（、３１ｃ図示せず）と、３つのバネ体３２ａ、３２
ｂ（、３２ｃ図示せず）と、３つの給電板３３ａ、３３
ｂ（、３３ｃ図示せず）とを一体化させている。６つの
スペーサ６ａｘ、６ｂｘ、６ｃｘ、６ａｙ、６ｂｙ、６
ｃｙは接地電極２と一体化され、給電板３３ａ、３３
ｂ、３３ｃにはそれぞれのバネ体３２ａ、３２ｂ、３２
ｃおよびガスシール材３１ａ、３１ｂ、３１ｃがスポッ
ト溶接やネジ止め等で一体化されている。２９１ａ、２
９１ｂ、２９１ｃは誘電体高圧電極３ａｘ、３ａｙ、３
ｂｘ、３ｂｙ、３ｃｘ、３ｃｙおよび給電板３３ａ、３
３ｂ、３３ｃを接地電極２の外周部で保持する保持具材
Ａ、２９２は誘電体高圧電極３ａｘ、３ａｙ、３ｂｘ、
３ｂｙ、３ｃｘ、３ｃｙおよび給電板３３ａ、３３ｂ、
３３ｃを接地電極２で保持する保持具材Ｂである。２９
３ａ、２９３ｂ、２９３ｃ、２９３ｄは複数個のオゾン
発生放電体を多段に積層する場合に結合棒を通すために
接地電極２の非放電面に設けられた貫通穴ある。バネ体
３２ａ、３２ｂ、３２ｃとガスシール材３１ａ、３１
ｂ、３１ｃとを一体化した給電板３３ａ、３３ｂ、３３
ｃを誘電体高圧電極２でサンドイッチにしたものを、ス
ペーサ６ａｘ、６ｂｘ、６ｃｘ、６ａｙ、６ｂｙ、６ｃ
ｙと一体化した接地電極２に、保持具材Ａ２９１ａ、２
９１ｂ、２９１ｃおよび保持具材Ｂ２９２により保持固
定をしている。
【００４５】本実施の形態のように、複数個の誘電体、
高圧電極、およびスペーサを共通の接地電極に一体化す
ることで、複数個の放電セルが１つの放電部品と見な
せ、この放電部品を多段にすることにより簡単に積層す
ることができ、メンテナンスのとき、一体化した接地電
極全体を新しいものに交換すれば、非常に短い時間でメ
ンテナンスが行える。
【００４６】なお、図１２、１３ではバネ体３２ａ、３
２ｂ、３２ｃとガスシール材３１ａ、３１ｂ、３１ｃと
を一体化した給電板３３ａ、３３ｂ、３３ｃを誘電体高
圧電極３ａｘ、３ａｙ、３ｂｘ、３ｂｙ、３ｃｘ、３ｃ
ｙでサンドイッチにしたものを接地電極１の片面に配置
した例を示したが、図１４、１５にそれぞれ平面図およ
び断面図で示すように、接地電極２の片面側に給電板３
３ａ、３３ｂ、３３ｃと誘電体高圧電極３ａｘ、３ｂ
ｘ、３ｃｘを保持具材２９１ａｘ、２９１ｂｘ、２９１
ｃｘ、２９２ｘで保持固定し、接地電極のもう一方の面
に誘電体高圧電極３ａｙ、３ｂｙ、３ｃｙを別の保持具
材２９１ａｙ（、２９１ｂｙ、２９１ｃｙ、２９２ｙ図
示せず）で保持固定して複数個の誘電体、高圧電極、お
よびスペーサを固定してもよい。なお、本実施の形態で
は共通の接地電極に対して３個の高圧電極３ａ、３ｂ、
３ｃを並べて３個の放電セルを構成した場合の接地電極
に誘電体、高圧電極、およびスペーサを一体的に保持し
た場合について説明したが、１つの接地電極に１つの高
圧電極を配置した場合にも接地電極に誘電体、高圧電
極、およびスペーサを一体的に保持しても同様に積層お
よびメンテナンスが容易となる。
【００４７】実施の形態１０．図１６は本発明の実施の
形態１０によるオゾン発生装置の要部を示す構成図であ
る。共通の接地電極２の形状を４角形にして、１つの接
地電極２の片面に４つのオゾン発生放電セルを形成した
ものである。図において、１ｄはオゾン発生用電源、３
ｄは誘電体高圧電極、２０ｄはガス導入穴、２２ｄは過
電流防止用ヒューズ、２９１ｄは保持具材Ａ、２９２は
保持具材Ｂ、２９３ｅは貫通穴、２９４ａ、２９４ｂ、
２９４ｃ、２９４ｄは接地電極２の側面に設けられたフ
ックである。多段に積層する場合は接地電極２の非放電
面に設けた支持用の貫通穴２９３ａ、２９３ｂ、２９３
ｃ、２９４ｄ、２９３ｅや接地電極２の側面に設けたフ
ック２９４ａ、２９４ｂ、２９４ｃ、２９４ｅに結合棒
を通して、結合棒をナットで締め付けることで、各放電
セル間距離を保つ。
【００４８】本実施の形態のように共通の接地電極２の
形状を４角形にすると、上記各実施の形態で示したよう
な変形６角形に比べて、接地電極２の製作が容易にな
り、製作コストが安くなるなどの利点がある。
【００４９】実施の形態１１．図１７は本発明の実施の
形態１１によるオゾン発生装置の要部を示す構成図であ
る。図において、２５１ｘ、２５１ｙは接地電極を冷却
するための中継集中冷却管、２５０ｘ、２５０ｙはメイ
ン集中冷却管であり、２５０ｘ、２５１ｘは冷却水供給
用配管、２５０ｙ、２５１ｙは冷却水排出用配管であ
る。２９５ａ、２９５ｂ、２９５ｃ、２９５ｄおよび２
９７ａ、２９７ｂ、２９７ｃ、２９７ｄ、２９７ｅは結
合棒である。接地電極２の配置を図１６のものから４５
度回転させ、接地電極２の冷却のための配管２５０ｘ、
２５０ｙ、２５１ｘ、２５１ｙを４角形の接地電極の１
組の対向辺で行い、過電流防止用ヒューズ２２ａ〜２２
ｄをもう１組の対向辺に集中設置したものである。この
ように、接地電極２を４５度回転させることで接地電極
２の最高部に位置する接地電極２部分が狭く、この部分
から冷却水を排出できるので、接地電極２の中空部に気
泡が溜まるのを防止できる。
【００５０】実施の形態１２．図１８、１９は本発明の
実施の形態１２によるオゾン発生装置の要部を示す平面
図である。図１８は図１９のＢ−Ｂ線を矢印の方向から
見た場合を示し、図１９は図１８のＡ−Ａ線を矢印の方
向から見た場合をそれぞれ示している。図において、２
９６ｘ、２９６ｙはブロック固定ナットである。本実施
の形態では実施の形態９と同様の共通の接地電極２に一
体化したものを４対積層し、フック２９４ａ、２９４
ｂ、２９４ｃにブロック固定用の結合棒２９５ａ（、２
９５ｂ、２９５ｃ図示せず）を挿入してブロック固定ナ
ット２９６ｘ、２９６ｙで固定結合して７層のオゾン発
生ユニットすなわち放電体を有するオゾン発生放電ブロ
ックを構成している。このオゾン発生放電ブロックをさ
らに複数積層し、貫通穴２９３ａ、２９３ｂ、２９３
ｃ、２９３ｄに結合棒（２９７図示せず）を挿入してナ
ットで固定結合してモジュールを構成することにより、
より大容量が図れるものである。
【００５１】本実施の形態のように、オゾン発生放電ユ
ニットすなわち放電体を数段積層したものをひとまとめ
して予めブロック化することにより、ブロック毎の積層
ができ、実施の形態９のように放電体を１層づつバラバ
ラで積層するよりもより簡単に短時間で積層できる。ま
た、１箇所の放電セルが不良になっても、ブロック毎に
はずして、不良のブロック毎交換すれば、簡単に短時間
で保守が完了でき、運転の早急な回復が可能である。ま
た、ブロック毎に中継集中冷却管２５１ｘ、２５１ｙを
設けたので、保守時の水の配管の接続時間も早くでき
る。さらに、数段毎に中継集中冷却管２５１ｘ、２５１
ｙを設けることで、各接地電極に流れる水の流量を均等
化でき、冷却能力のバランスがとれ、各放電セルの安定
したオゾン発生性能が得られる利点もある。
【００５２】実施の形態１３．なお、上記実施の形態１
２では放電体が複数の放電セルを有する放電ユニットで
ある場合について示したが、図２０、２１にそれぞれ異
なる方向からの平面図で示すように１個の放電セルで構
成された放電体を数段積層して、それをひとまとめして
オゾン発生放電ブロックを構成し、このオゾン発生放電
ブロックをさらに複数積層し固定してモジュールを構成
してもよい。この場合も実施の形態１２と同様に簡単で
短時間で積層でき、装置の分解や交換も簡単で短時間で
出来るという効果が得られる。
【００５３】実施の形態１４．図２２、２３は本発明の
実施の形態１２によるオゾン発生装置の要部を示す平面
図である。図２２は図２３のＢ−Ｂ線を矢印の方向から
見た場合を示し、図２３は図２２のＡ−Ａ線を矢印の方
向から見た場合をそれぞれ示している。本実施の形態
は、例えば図１に示した放電ユニットを多数積層し、結
合した場合を示している。図において、１１０は高電圧
供給バーである。放電ユニットの結合は、貫通穴２９３
ａ、２９３ｂ、２９３ｃ、２９３ｄに結合棒２９７を挿
入してナットで固定することにより行う。なお、結合棒
２９７とそれぞれの誘電体高圧電極３ａｘ、３ｂｘ、３
ｃｘ、３ａｙ、３ｂｙ、３ｃｙとは所定距離（３ｍｍ以
上）を保つように、各貫通穴２９３ａ、２９３ｂ、２９
３ｃ、２９３ｄと誘電体高圧電極３ａｘ、３ｂｘ、３ｃ
ｘ、３ａｙ、３ｂｙ、３ｃｙ間の距離ｄが調整されてい
る。なお、図２２では図が煩雑になって見にくくなるの
を防ぐため２つの貫通穴２９３ｂ、２９３ｃにのみ結合
棒２９７が挿入されているが、結合棒２９７は残りの貫
通穴２９３ａ、２９３ｄにも挿入されている。
【００５４】結合棒２９７と誘電体高圧電極３ａｘ、３
ｂｘ、３ｃｘ、３ａｙ、３ｂｙ、３ｃｙとを接触もしく
は近接させると、高電圧が印加されている誘電体の導電
膜のエッジ部分および誘電体と結合棒の近接部分で部分
放電（沿面放電）や無声放電が発生し、この不正な放電
によって誘電体の絶縁劣化が生じたり、放電により誘電
体が割れるなどの問題が生じる。そのため、それぞれの
誘電体と結合棒とは接触させず、かつ少なくとも３ｍｍ
以上の間隔を保って放電体を多段に積層すれば、実験的
な結果ではあるが、上記のような誘電体の導電膜のエッ
ジ部分および誘電体と結合棒の近接部分での沿面放電や
無声放電は起こらず、誘電体の絶縁劣化や放電により誘
電体が割れるなどの問題を防止でき、この場合にも、コ
ンパクトな構成で大容量化が可能となる。
【００５５】実施の形態１５．図２４は本発明の実施の
形態１５によるオゾン発生装置の要部を示す平面図であ
る。以上の各実施の形態ではいずれも、オゾン発生放電
体を垂直にし、水平方向に積層する場合を示したが、オ
ゾン発生放電セルを水平にし、垂直方向に積層してもよ
く、この場合、各放電体の積み上げが容易に行える。ま
た、水平方向に積層した場合のように積層した多段の放
電体の自重を結合棒２９７で支える必要が無い。また、
装置の設置面積が小さいので狭いスペースでクレーン等
による放電体の積層が可能となり、装置の大容量化が容
易に行える。なお、図２４では実施の形態１４で説明し
た図２３に示すものを垂直方向に積層した場合を示した
が、これに限るものではなく、例えばブロック化したも
のを積層する場合にも適用できるのは言うまでもない。
【００５６】以上の各実施の形態はいずれも、オゾン発
生装置において、オゾン発生量を大容量化する場合につ
いて示したが、同様の構造の放電体で、酸素原料ガスの
代わりに例えば、工場から排出される有毒ガスなどをこ
の装置に入れれば、有毒ガスの放電による分解装置にも
適用できる。
【００５７】
【発明の効果】以上のように第１の発明によれば、放電
体は、共通の接地電極に対して誘電体および高圧電極の
少なくとも一方を複数個配置して構成した複数の放電セ
ルを有するので、大面積になると所定精度の平坦度を得
るのに厚みを厚くしなければならないことや、機械的強
度が弱く平坦度も得にくい誘電体を大型化することな
く、コンパクトで部品点数が少なく製作が容易で大容量
のオゾンを発生することのできるオゾン発生装置が得ら
れる。
【００５８】第２の発明によれば、前記第１の発明にお
ける接地電極または高圧電極は、板状誘電体の片面に導
電膜を有し、前記導電膜を板状金属体に電気的に接続し
て給電するように構成したので、電極と誘電体とが密着
し、放電効率が向上する。
【００５９】第３の発明によれば、前記第１の発明にお
ける接地電極または高圧電極は、放電面に誘電体膜を有
するので、電極と誘電体とが密着し、放電効率が向上す
る。
【００６０】第４の発明によれば、前記第１ないし３の
何れかの発明において、接地電極は軽金属または軽合金
で形成されているので、軽量化でき、積層の作業性が向
上し、装置の輸送においても有効である。
【００６１】第５の発明によれば、前記第１ないし３の
何れかの発明において、接地電極は多角形状に形成され
ているので、円筒状の圧力容器との間に空間が生じ、こ
の空間に、過電流防止用ヒューズや接地電極の冷却用媒
体の給排機構を配置したりできて装置全体の省スペース
化に有効である。
【００６２】第６の発明によれば、前記第１ないし３の
何れかの発明において、電極の少なくとも一部に耐オゾ
ン加工が施されているので、電極がオゾンによって酸化
されたり劣化したりするのを防止できる。
【００６３】第７の発明によれば、前記第１ないし３の
何れかの発明において、接地電極は冷却用媒体が流通す
る中空部を有しており、前記接地電極の前記冷却用媒体
に触れる面に耐食処理が施されているので、冷却用媒体
による腐食を防止できる。
【００６４】第８の発明によれば、接地電極は誘電体お
よび高圧電極を保持しているので、放電体の積層および
メンテナンスが容易である。
【００６５】第９の発明によれば、接地電極は高圧電源
と電極間に接続される過電流防止用ヒューズを側面に保
持しているので、メンテナンスが容易となる。
【００６６】第１０の発明によれば、電極間に高電圧を
印加するオゾン発生用電源の少なくとも高電圧発生回路
部をオゾン発生装置本体に近接して配置し、少なくとも
インバータ制御回路部を前記オゾン発生装置本体から離
して配置したので、高電圧発生回路部からオゾン発生装
置本体までの配線距離を短くでき、高圧配線間のコロナ
放電や沿面放電等による電気のリークなどの故障を防止
できる。また、インバータからの出力配線は低電圧配線
で良く、長距離配線は容易であり、さらにインバータ制
御回路部は軽く小さいため、オゾン発生装置本体と別の
部屋に置くことも可能となる。
【００６７】第１１の発明によれば、少なくとも３個の
高圧電極を有して少なくとも３個の放電セルを構成し、
３相交流電源を用いて前記３個の放電セルにそれぞれ位
相の異なる３相交流を印加するようにしたので、１つの
電源で３個の放電セルを駆動でき、電源のコンパクト化
が図れ、安価にできる。
【００６８】第１２の発明によれば、放電体を誘電体と
所定の間隔を保持した結合棒によって多段に積層したの
で、誘電体と結合棒の近接部分および誘電体に導電膜が
形成されている場合には誘電体と導電膜のエッジ部分で
の不正な放電は起こりにくく、不正な放電による運転中
の誘電体の絶縁劣化や誘電体が破損するなどの問題を防
止でき、安定した運転が可能となる。
【００６９】第１３の発明によれば、放電体を垂直方向
に積層したので、放電体の積み上げが容易に行え、放電
体の自重を結合棒で支える必要が無い。また、装置の設
置面積が小さいので狭いスペースでクレーン等による放
電体の積層が可能となり、装置の大容量化が容易に行え
る。
【００７０】第１４の発明によれば、接地電極および高
圧電極を誘電体を介して対向配置し前記電極間に高電圧
を印加して放電を発生させる放電体を複数積層し結合し
てブロックを構成し、前記ブロックを複数積層し結合し
てモジュールを構成するので、積層体の組立およびメン
テナンスが容易となる。
【００７１】第１５の発明によれば、前記第１４の発明
において、放電体は共通の接地電極に対して誘電体およ
び高圧電極の少なくとも一方を複数個配置して構成した
複数の放電セルを有するので、前記効果に加えて製作が
容易で大容量のオゾンを発生することのできるオゾン発
生装置が得られる。
【００７２】第１６の発明によれば、前記第１４の発明
において、前記結合は接地電極の側面に複数設けられた
フックまたは前記接地電極の非放電面を貫通するように
形成された貫通穴に結合棒を通すことにより行うので、
放電体の固定結合が容易に行える。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施の形態１によるオゾン発生装置
の要部を示す平面図である。
【図２】 本発明の実施の形態１によるオゾン発生装置
の要部を示す断面図である。
【図３】 本発明の実施の形態２によるオゾン発生装置
の要部を示す平面図である。
【図４】 本発明の実施の形態２によるオゾン発生装置
の要部を示す断面図である。
【図５】 本発明の実施の形態３によるオゾン発生装置
の要部を示す断面図である。
【図６】 本発明の実施の形態４によるオゾン発生装置
の要部を示す断面図である。
【図７】 本発明の実施の形態４による別のオゾン発生
装置の要部を示す断面図である。
【図８】 本発明の実施の形態５によるオゾン発生装置
の要部を示す断面図である。
【図９】 本発明の実施の形態６によるオゾン発生装置
本体と電源回路を示す構成図である。
【図１０】 本発明の実施の形態７によるオゾン発生装
置本体と電源回路を示す構成図である。
【図１１】 本発明の実施の形態８によるオゾン発生装
置本体と電源回路を示す構成図である。
【図１２】 本発明の実施の形態９によるオゾン発生装
置の要部を示す平面図である。
【図１３】 本発明の実施の形態９によるオゾン発生装
置の要部を示す断面図である。
【図１４】 本発明の実施の形態９による別のオゾン発
生装置の要部を示す平面図である。
【図１５】 本発明の実施の形態９による別のオゾン発
生装置の要部を示す断面図である。
【図１６】 本発明の実施の形態１０によるオゾン発生
装置の要部を示す構成図である。
【図１７】 本発明の実施の形態１１によるオゾン発生
装置の要部を示す構成図である。
【図１８】 本発明の実施の形態１２によるオゾン発生
装置の要部を示す平面図である。
【図１９】 本発明の実施の形態１２によるオゾン発生
装置の要部を示す平面図である。
【図２０】 本発明の実施の形態１３によるオゾン発生
装置の要部を示す平面図である。
【図２１】 本発明の実施の形態１３によるオゾン発生
装置の要部を示す平面図である。
【図２２】 本発明の実施の形態１４によるオゾン発生
装置の要部を示す平面図である。
【図２３】 本発明の実施の形態１４によるオゾン発生
装置の要部を示す平面図である。
【図２４】 本発明の実施の形態１５によるオゾン発生
装置の要部を示す平面図である。
【図２５】 従来のオゾン発生装置の要部を示し、
（ａ）は断面図、（ｂ）は左半分正面図である。
【符号の説明】
１，１ａ〜１ｃ，１ｘ 電源、 １ｘａ 高電圧発生回
路部、 １ｘｂ 整流・インバータ回路部、 １０ａ〜
１０ｃ 放電セル、 １０１，１０１ａ〜１０１ｃ ３
相整流回路、 １０２，１０２ａ〜１０２ｃ ３相イン
バータ回路、１０３，１０３ａ〜１０３ｃ 駆動回路、
１０４，１０４ａ〜１０４ｃ インバータ制御回路、
１０５ａ，１０５ｂ 直列リアクトル、 １０６，１
０６ａ〜１０６ｃ ３相高圧変圧器、 １０７ａ〜１０
７ｃ 並列リアクトル、 １１０ 高電圧供給バー、
２，２ｘ，２ｙ 接地電極、 ２ａｘ，２ｂｘ 導電部
材、 ２ｓａ，２ｓｂ，２ｓａｘ，２ｓａｙ，２ｓｂ
ｘ，２ｓｂｙ スプリングシール板、 ２０ａ〜２０ｃ
ガス導入穴、 ２２ａ〜２２ｃ 過電流防止用ヒュー
ズ、 ２６ａ，２６ｂ 冷却水吸入排出口、 ２５０
ｘ，２５０ｙ メイン集中冷却管、 ２５１ｘ，２５１
ｙ 中継集中冷却管、 ２９１ａ〜２９１ｄ，２９１ａ
ｘ〜２９１ｃｘ 保持具材Ａ、 ２９２，２９２ｘ 保
持具材Ｂ、 ２９３ａ〜２９３ｅ 貫通穴、 ２９４ａ
〜２９４ｄ フック、 ２９５ａ〜２９５ｄ，２９７，
２９７ａ〜２９７ｅ 結合棒、 ３ 高圧電極、 ３ａ
〜３ｃ，３ａｘ〜３ｃｘ，３ａｙ〜３ｃｙ 誘電体高圧
電極、 ３０ａ〜３０ｃ 導電膜、 ３００ａ〜３００
ｃ 円板状誘電体、 ３０１ｘ，３０１ｙ 誘電体膜、
３１，３１ａ〜３１ｃ ガスシール材、 ３２，３２ａ
〜３２ｃ 金属バネ、３３，３３ａ〜３３ｃ 給電板、
３４ａｘ〜３４ｃｘ 円板状高圧電極、 ４誘電体、
５ 放電空間、 ６，６ａｘ，６ｂｘ，６ｃｘ，６ａ
ｙ，６ｂｙ，６ｃｙ スペーサ、 ７ 原料ガス供給
口、 ８ ガス出口を示す矢印、 ９ａ，９ｂ オゾン
化ガス排出管、 ９９ オゾン発生装置本体、 Ｚｂ，
Ｚｏ，Ｚｚｘ，Ｚｙ 絶縁リング。

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 接地電極および高圧電極を誘電体を介し
    て対向配置し前記電極間に高電圧を印加して放電を発生
    させる放電体を有し、前記電極間に酸素を含むガスを供
    給して前記放電によりオゾンを発生させるオゾン発生装
    置において、前記放電体は、共通の前記接地電極に対し
    て前記誘電体および高圧電極の少なくとも一方を複数個
    配置して構成した複数の放電セルを有することを特徴と
    するオゾン発生装置。
  2. 【請求項２】 前記接地電極または高圧電極は、板状誘
    電体の片面に導電膜を有し、前記導電膜を板状金属体に
    電気的に接続して給電するように構成したものである請
    求項１記載のオゾン発生装置。
  3. 【請求項３】 前記接地電極または高圧電極は、放電面
    に誘電体膜を有するものである請求項１記載のオゾン発
    生装置。
  4. 【請求項４】 前記接地電極は軽金属または軽合金で形
    成されている請求項１ないし３の何れかに記載のオゾン
    発生装置。
  5. 【請求項５】 前記接地電極は多角形状に形成されてい
    る請求項１ないし３の何れかに記載のオゾン発生装置。
  6. 【請求項６】 前記電極の少なくとも一部に耐オゾン加
    工が施されている請求項１ないし３の何れかに記載のオ
    ゾン発生装置。
  7. 【請求項７】 前記接地電極は冷却用媒体が流通する中
    空部を有しており、前記接地電極の前記冷却用媒体に触
    れる面に耐食処理が施されている請求項１ないし３の何
    れかに記載のオゾン発生装置。
  8. 【請求項８】 接地電極および高圧電極を誘電体を介し
    て対向配置し前記電極間に高電圧を印加して放電を発生
    させる放電体を有し、前記電極間に酸素を含むガスを供
    給して前記放電によりオゾンを発生させるオゾン発生装
    置において、前記接地電極は前記誘電体および高圧電極
    を保持していることを特徴とするオゾン発生装置。
  9. 【請求項９】 接地電極および高圧電極を誘電体を介し
    て対向配置し前記電極間に高電圧を印加して放電を発生
    させる放電体を有し、前記電極間に酸素を含むガスを供
    給して前記放電によりオゾンを発生させるオゾン発生装
    置において、前記接地電極は高圧電源と前記電極間に接
    続される過電流防止用ヒューズを側面に保持しているこ
    とを特徴とするオゾン発生装置。
  10. 【請求項１０】 接地電極および高圧電極を誘電体を介
    して対向配置し前記電極間に高電圧を印加して放電を発
    生させる放電体を有し、前記電極間に酸素を含むガスを
    供給して前記放電によりオゾンを発生させるオゾン発生
    装置において、前記電極間に高電圧を印加するオゾン発
    生用電源の少なくとも高電圧発生回路部をオゾン発生装
    置本体に近接して配置し、少なくともインバータ制御回
    路部を前記オゾン発生装置本体から離して配置したこと
    を特徴とするオゾン発生装置。
  11. 【請求項１１】 接地電極および高圧電極を誘電体を介
    して対向配置し前記電極間に高電圧を印加して放電を発
    生させる放電体を有し、前記電極間に酸素を含むガスを
    供給して前記放電によりオゾンを発生させるオゾン発生
    装置において、少なくとも３個の前記高圧電極を有して
    少なくとも３個の放電セルを構成し、３相交流電源を用
    いて前記３個の放電セルにそれぞれ位相の異なる３相交
    流を印加するようにしたことを特徴とするオゾン発生装
    置。
  12. 【請求項１２】 接地電極および高圧電極を誘電体を介
    して対向配置し前記電極間に高電圧を印加して放電を発
    生させる放電体を有し、前記電極間に酸素を含むガスを
    供給して前記放電によりオゾンを発生させるオゾン発生
    装置において、前記放電体を誘電体と所定の間隔を保持
    した結合棒によって多段に積層したことを特徴とするオ
    ゾン発生装置。
  13. 【請求項１３】 接地電極および高圧電極を誘電体を介
    して対向配置し前記電極間に高電圧を印加して放電を発
    生させる放電体を有し、前記電極間に酸素を含むガスを
    供給して前記放電によりオゾンを発生させるオゾン発生
    装置において、前記放電体を垂直方向に積層したことを
    特徴とするオゾン発生装置。
  14. 【請求項１４】 接地電極および高圧電極を誘電体を介
    して対向配置し前記電極間に高電圧を印加して放電を発
    生させる放電体を複数積層し結合してブロックを構成
    し、前記ブロックを複数積層し結合してモジュールを構
    成し、前記電極間に酸素を含むガスを供給して前記放電
    によりオゾンを発生させるオゾン発生装置。
  15. 【請求項１５】 前記放電体は共通の接地電極に対して
    前記誘電体および高圧電極の少なくとも一方を複数個配
    置して構成した複数の放電セルを有するものである請求
    項１４記載のオゾン発生装置。
  16. 【請求項１６】 前記結合は接地電極の側面に複数設け
    られたフックまたは前記接地電極の非放電面を貫通する
    ように形成された貫通穴に結合棒を通すことにより行う
    請求項１４記載のオゾン発生装置。
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