JPH10253686A - プリント配線板検査装置 - Google Patents
プリント配線板検査装置Info
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- JPH10253686A JPH10253686A JP9053068A JP5306897A JPH10253686A JP H10253686 A JPH10253686 A JP H10253686A JP 9053068 A JP9053068 A JP 9053068A JP 5306897 A JP5306897 A JP 5306897A JP H10253686 A JPH10253686 A JP H10253686A
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 41
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 31
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 27
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 abstract description 7
- 230000005684 electric field Effects 0.000 abstract description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】被測定部分に機械的損傷を与えることなくオー
プン、ショートを検出できるプリント配線板検査装置を
提供する。 【解決手段】プリント配線板２上に形成された被検査物
３の一部分に対し外部から電圧を印加するための電極１
と、被検査導体の他の部分に生じる電圧を検出するため
のプローブ５とを設ける。電極１及びプローブ５の少な
くとも一方を、非接触で行うようにする。電極１におい
ては、被検査物３との間の容量を用いて、被検査物３に
電圧を誘起する。プローブ５においては、電界に応じて
屈折率が変化する電気光学素子を用いたプローブが利用
できる。電極１と被検査物３との間に比誘電率が空気の
比誘電率より大なる絶縁物を介在させると、小さい電圧
で大きい電圧を被検査物３に誘起できる。
プン、ショートを検出できるプリント配線板検査装置を
提供する。 【解決手段】プリント配線板２上に形成された被検査物
３の一部分に対し外部から電圧を印加するための電極１
と、被検査導体の他の部分に生じる電圧を検出するため
のプローブ５とを設ける。電極１及びプローブ５の少な
くとも一方を、非接触で行うようにする。電極１におい
ては、被検査物３との間の容量を用いて、被検査物３に
電圧を誘起する。プローブ５においては、電界に応じて
屈折率が変化する電気光学素子を用いたプローブが利用
できる。電極１と被検査物３との間に比誘電率が空気の
比誘電率より大なる絶縁物を介在させると、小さい電圧
で大きい電圧を被検査物３に誘起できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線板検
査装置に関し、特に、プリント配線板上の検査対象であ
る導電体部分に電圧を印加することにより、オープン或
いはショートなどの電気的検査を行う構成のプリント配
線板検査装置に関する。
査装置に関し、特に、プリント配線板上の検査対象であ
る導電体部分に電圧を印加することにより、オープン或
いはショートなどの電気的検査を行う構成のプリント配
線板検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種のプリント配線板検査装置を用い
て配線板上の配線パターン或いはコネクタのような被検
査部分のオープンやショートなどを検査するには、よく
知られているように、ピンプローブと称する金属製で針
状のピンが用いられる。すなわち、上記のプローブを二
本、被検査部分上に距離をおいて立て、二本のプローブ
のうちの一本で被検査部分に電圧を印加し、他の一本の
プローブで電圧の検出を行い、二つの電圧の関係で被検
査部分の導通状態を検知するのである。その際、従来の
検査装置では、二本のプローブを、プリント配線板上の
コネクタや配線、パッド或いはスルーホールなどに直接
機械的に接触させていた。
て配線板上の配線パターン或いはコネクタのような被検
査部分のオープンやショートなどを検査するには、よく
知られているように、ピンプローブと称する金属製で針
状のピンが用いられる。すなわち、上記のプローブを二
本、被検査部分上に距離をおいて立て、二本のプローブ
のうちの一本で被検査部分に電圧を印加し、他の一本の
プローブで電圧の検出を行い、二つの電圧の関係で被検
査部分の導通状態を検知するのである。その際、従来の
検査装置では、二本のプローブを、プリント配線板上の
コネクタや配線、パッド或いはスルーホールなどに直接
機械的に接触させていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のプリント配
線板検査装置における問題点は、配線、パッド或いはス
ルーホールに傷をつけてしまうということである。近年
細密化の著しいプリント配線板上の被検査部分に選択的
に接触させるには、ピンプローブの先端は極力細く尖っ
ていなければならない。一方で、検査精度を高めるため
には、被検査部分とプローブとの間の接触抵抗を十分低
くしなければならない。上記のように被検査部分に対す
る接触面積が小さいプローブで、被検査部分に対する接
触抵抗を低くするには、接触圧を高めなければならず、
結局、検査のために配線、パッド或いはスルーホールを
傷つけることになってしまうのである。
線板検査装置における問題点は、配線、パッド或いはス
ルーホールに傷をつけてしまうということである。近年
細密化の著しいプリント配線板上の被検査部分に選択的
に接触させるには、ピンプローブの先端は極力細く尖っ
ていなければならない。一方で、検査精度を高めるため
には、被検査部分とプローブとの間の接触抵抗を十分低
くしなければならない。上記のように被検査部分に対す
る接触面積が小さいプローブで、被検査部分に対する接
触抵抗を低くするには、接触圧を高めなければならず、
結局、検査のために配線、パッド或いはスルーホールを
傷つけることになってしまうのである。
【０００４】従って本発明は、被測定部分に機械的損傷
を与えることのないプリント配線板検査装置を提供する
ことを目的とするものである。
を与えることのないプリント配線板検査装置を提供する
ことを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のプリント配線板
検査装置は、検査対象のプリント配線板上に形成された
被検査導体の一部分に対し外部から電圧を印加するため
の電圧印加手段と、前記電圧の印加に応じて前記被検査
導体の他の部分に生じる電圧を検出するための電圧検出
手段とを備えるプリント配線板検査装置において、前記
電圧印加手段による被検査導体への電圧の印加及び前記
電圧検出手段による被検査導体の電圧検出の少なくとも
一方を、非接触で行うように構成したことを特徴とす
る。
検査装置は、検査対象のプリント配線板上に形成された
被検査導体の一部分に対し外部から電圧を印加するため
の電圧印加手段と、前記電圧の印加に応じて前記被検査
導体の他の部分に生じる電圧を検出するための電圧検出
手段とを備えるプリント配線板検査装置において、前記
電圧印加手段による被検査導体への電圧の印加及び前記
電圧検出手段による被検査導体の電圧検出の少なくとも
一方を、非接触で行うように構成したことを特徴とす
る。
【０００６】本発明のプリント配線板検査装置は、検査
対象のプリント配線板上に形成された被検査導体の一部
分に対し、前記被検査導体との間の容量を用いて、外部
から加えられた電圧により電圧を誘起する電圧印加手段
及び、前記電圧印加手段による被検査導体への電圧の誘
起に応じて前記被検査導体の他の部分に生じる電圧を、
前記被検査導体に非接触で検出する電圧検出手段の、少
なくとも一方を備えることを特徴とする。
対象のプリント配線板上に形成された被検査導体の一部
分に対し、前記被検査導体との間の容量を用いて、外部
から加えられた電圧により電圧を誘起する電圧印加手段
及び、前記電圧印加手段による被検査導体への電圧の誘
起に応じて前記被検査導体の他の部分に生じる電圧を、
前記被検査導体に非接触で検出する電圧検出手段の、少
なくとも一方を備えることを特徴とする。
【０００７】上記のプリント配線板検査装置において、
前記電圧検出手段として電気光学素子を用いたプローブ
を用いることを特徴とする。叉は、前記被検査導体に機
械的に接触する金属製針状のプローブを用いることを特
徴とする。
前記電圧検出手段として電気光学素子を用いたプローブ
を用いることを特徴とする。叉は、前記被検査導体に機
械的に接触する金属製針状のプローブを用いることを特
徴とする。
【０００８】そして、前記電圧印加手段と前記被検査導
体との間に、比誘電率が１より大なる絶縁物を介在させ
たことを特徴とする。
体との間に、比誘電率が１より大なる絶縁物を介在させ
たことを特徴とする。
【０００９】本発明のプリント配線板検査装置において
は、電圧供給用の電極と被測定物との間の容量を利用し
て、被測定物に対する電圧の供給を行う。これにより、
従来二個所であった被測定物との機械的接触部分を、少
なくとも一個所減らすことができる。
は、電圧供給用の電極と被測定物との間の容量を利用し
て、被測定物に対する電圧の供給を行う。これにより、
従来二個所であった被測定物との機械的接触部分を、少
なくとも一個所減らすことができる。
【００１０】更に、電圧検出手段として屈折率が外部の
電界に応じて変化する電気光学素子を用いたプローブを
用いることにより、電圧検出側も非接触にして、検査装
置と被検査物との機械的接触を皆無にできる。
電界に応じて変化する電気光学素子を用いたプローブを
用いることにより、電圧検出側も非接触にして、検査装
置と被検査物との機械的接触を皆無にできる。
【００１１】そして、電圧検出手段と被測定物との間に
比誘電率が空気の比誘電率より大なる絶縁物を介在させ
ることにより、同じ電圧でも、より大きい電圧を被検査
物に誘導できるようにしている。
比誘電率が空気の比誘電率より大なる絶縁物を介在させ
ることにより、同じ電圧でも、より大きい電圧を被検査
物に誘導できるようにしている。
【００１２】電圧印加用の電極と被測定物の間の容量を
利用して被測定物に電圧を誘起している。このため非接
触で電圧の印加が可能になり、プリント配線板にダメー
ジを与えずに検査することが可能となる。
利用して被測定物に電圧を誘起している。このため非接
触で電圧の印加が可能になり、プリント配線板にダメー
ジを与えずに検査することが可能となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。図１は、本発明の作用原
理を説明するための、プローブとプリント配線板との関
係を示す斜視図である。図１を参照して、プリント配線
板２上の被測定物３に対し、電圧印加用の電極１と電圧
検出用プローブ５とを、距離をおいて配置する。外部か
ら電極１に電圧を印加し、被測定物３の電圧をプローブ
５を用いて検出する。それら電極１とプローブ５とは、
少なくとも一方が、被測定物に対し非接触である。図２
は、図１中のＡ−ａ切断線における断面図である。図２
を参照して、一例としてこの図に示すプリント配線板検
査装置では、電圧印加用の電極１が被測定物３に対し非
接触であり、一方、電圧検出用プローブ７は、従来のピ
ンプローブと同様に、被測定物に直接接触している。こ
の図に示す検査装置において、電極１に外部から電圧を
印加すると、プリント配線板上の被測定物３と電極１と
の間の空間ギャップ６に存在する容量により、被測定物
３に電圧が誘起される。電極の材料としては、良導体が
望ましい。この電極１による電圧印加に応じて被測定物
３に生じた電圧を、電気プローブ７を用いて電圧計など
で検出する。以下に、三例の実施の形態について、説明
する。
て、図面を参照して説明する。図１は、本発明の作用原
理を説明するための、プローブとプリント配線板との関
係を示す斜視図である。図１を参照して、プリント配線
板２上の被測定物３に対し、電圧印加用の電極１と電圧
検出用プローブ５とを、距離をおいて配置する。外部か
ら電極１に電圧を印加し、被測定物３の電圧をプローブ
５を用いて検出する。それら電極１とプローブ５とは、
少なくとも一方が、被測定物に対し非接触である。図２
は、図１中のＡ−ａ切断線における断面図である。図２
を参照して、一例としてこの図に示すプリント配線板検
査装置では、電圧印加用の電極１が被測定物３に対し非
接触であり、一方、電圧検出用プローブ７は、従来のピ
ンプローブと同様に、被測定物に直接接触している。こ
の図に示す検査装置において、電極１に外部から電圧を
印加すると、プリント配線板上の被測定物３と電極１と
の間の空間ギャップ６に存在する容量により、被測定物
３に電圧が誘起される。電極の材料としては、良導体が
望ましい。この電極１による電圧印加に応じて被測定物
３に生じた電圧を、電気プローブ７を用いて電圧計など
で検出する。以下に、三例の実施の形態について、説明
する。
【００１４】図２は、本発明の第１の実施の形態におけ
るプリント配線板検査時の状態を示す断面図である。本
実施の形態では、既に述べたように、電圧の印加を非接
触で行う。従って、パターン検査時あるいはオープン、
ショート検査時に電圧を供給する側のパッド、配線また
はスルーホールに傷が付かないようにすることができ、
被検査物に生じる損傷を、従来に比べ減らすことができ
る。
るプリント配線板検査時の状態を示す断面図である。本
実施の形態では、既に述べたように、電圧の印加を非接
触で行う。従って、パターン検査時あるいはオープン、
ショート検査時に電圧を供給する側のパッド、配線また
はスルーホールに傷が付かないようにすることができ、
被検査物に生じる損傷を、従来に比べ減らすことができ
る。
【００１５】次に、図３は、本発明の第２の実施の形態
におけるプリント配線板検査時の状態を示す断面図であ
る。図３を参照すると、電圧印加用電極１も電圧検出用
プローブ８も、共に、プリント配線板上の被測定物３に
対し非接触である。電圧検出用プローブ８には、外部か
ら加わる電界によって屈折率が変化する、いわゆる電気
光学素子を用いたプローブを用いる。これにより、第１
の実施の形態における効果に加え、パターン検査時やオ
ープン、ショート検査時にパッド、配線、スルーホール
に全く傷をつけないようにすることができ、被測定物に
生じる損傷を、第１の実施の形態におけるより、更に減
らすことができる。
におけるプリント配線板検査時の状態を示す断面図であ
る。図３を参照すると、電圧印加用電極１も電圧検出用
プローブ８も、共に、プリント配線板上の被測定物３に
対し非接触である。電圧検出用プローブ８には、外部か
ら加わる電界によって屈折率が変化する、いわゆる電気
光学素子を用いたプローブを用いる。これにより、第１
の実施の形態における効果に加え、パターン検査時やオ
ープン、ショート検査時にパッド、配線、スルーホール
に全く傷をつけないようにすることができ、被測定物に
生じる損傷を、第１の実施の形態におけるより、更に減
らすことができる。
【００１６】次に、図４は、本発明の第３の実施の形態
におけるプリント配線板検査時の状態を示す断面図であ
る。図４を参照して、本実施の形態は、被測定物３と電
圧印加用電極１との間に絶縁体４を介在させた点が、第
２の実施の形態と異なっている。本実施の形態において
は、電極１に印加された電圧を、電極１と被測定物３と
の間の絶縁体４の容量により、被測定物３に誘起させ
る。一方、被測定物３に対し加わった電圧を、電圧検出
用プローブ５により検出する。絶縁体４としてはたとえ
ばフォトレジストなどが挙げられる。フォトレジストは
比誘電率が３〜４であり、比誘電率が１の空気より大き
い比誘電率を持っている。従って、被測定物３に対して
加わる電圧を、電極１と被測定物３との間に空気だけし
か存在しない第１の実施の形態におけるよりも大きくで
きる。本実施の形態は、第１及び第２の実施の形態にお
ける効果に加え、更に高感度の測定を可能にするという
効果を有する。
におけるプリント配線板検査時の状態を示す断面図であ
る。図４を参照して、本実施の形態は、被測定物３と電
圧印加用電極１との間に絶縁体４を介在させた点が、第
２の実施の形態と異なっている。本実施の形態において
は、電極１に印加された電圧を、電極１と被測定物３と
の間の絶縁体４の容量により、被測定物３に誘起させ
る。一方、被測定物３に対し加わった電圧を、電圧検出
用プローブ５により検出する。絶縁体４としてはたとえ
ばフォトレジストなどが挙げられる。フォトレジストは
比誘電率が３〜４であり、比誘電率が１の空気より大き
い比誘電率を持っている。従って、被測定物３に対して
加わる電圧を、電極１と被測定物３との間に空気だけし
か存在しない第１の実施の形態におけるよりも大きくで
きる。本実施の形態は、第１及び第２の実施の形態にお
ける効果に加え、更に高感度の測定を可能にするという
効果を有する。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、プリン
ト配線板上の導電体の電気的特性の検査に際し、電圧印
加用の電極と被測定物との間及び、被測定物と電圧検出
用プローブとの間の少なくとも一方を非接触にしてい
る。
ト配線板上の導電体の電気的特性の検査に際し、電圧印
加用の電極と被測定物との間及び、被測定物と電圧検出
用プローブとの間の少なくとも一方を非接触にしてい
る。
【００１８】これにより本発明によれば、プリント配線
板を傷つけずに検査できる。
板を傷つけずに検査できる。
【図１】本発明によるプリント配線板検査装置の作用原
理を説明するための斜視図である。
理を説明するための斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態における検査時の状態
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図３】本発明の第２の実施形態における検査時の状態
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図４】本発明の第３の実施形態における検査時の状態
を示す断面図である。
を示す断面図である。
１ 電圧印加用電極 ２ プリント配線板 ３ 被測定物 ４ 絶縁体 ５ 電圧検出用プローブ ６ 空間ギャップ ７ 電気光学素子を用いたプローブ ８ ピンプローブ
Claims (5)
- 【請求項１】 検査対象のプリント配線板上に形成され
た被検査導体の一部分に対し外部から電圧を印加するた
めの電圧印加手段と、前記電圧の印加に応じて前記被検
査導体の他の部分に生じる電圧を検出するための電圧検
出手段とを備えるプリント配線板検査装置において、 前記電圧印加手段による被検査導体への電圧の印加及び
前記電圧検出手段による被検査導体の電圧検出の少なく
とも一方を、非接触で行うように構成したことを特徴と
するプリント配線板検査装置。 - 【請求項２】 検査対象のプリント配線板上に形成され
た被検査導体の一部分に対し、前記被検査導体との間の
容量を用いて、外部から加えられた電圧により非接触で
電圧を誘起する電圧印加手段及び、前記電圧印加手段に
よる被検査導体への電圧の誘起に応じて前記被検査導体
の他の部分に生じる電圧を、前記被検査導体に非接触で
検出する電圧検出手段の、少なくとも一方を備えること
を特徴とするプリント配線板検査装置。 - 【請求項３】 請求項１叉は請求項２に記載のプリント
配線板検査装置において、 前記電圧検出手段として電気光学素子を用いたプローブ
を用いることを特徴とするプリント配線板検査装置。 - 【請求項４】 請求項１叉は請求項２に記載のプリント
配線板検査装置において、 前記電圧検出手段として前記被検査導体に機械的に接触
する金属製針状のプローブを用いることを特徴とするプ
リント配線板検査装置。 - 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれかに記載のプリ
ント配線板検査装置において、 前記電圧印加手段と前記被検査導体との間に、比誘電率
が空気の比誘電率より大なる絶縁物を介在させたことを
特徴とするプリント配線板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9053068A JPH10253686A (ja) | 1997-03-07 | 1997-03-07 | プリント配線板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9053068A JPH10253686A (ja) | 1997-03-07 | 1997-03-07 | プリント配線板検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10253686A true JPH10253686A (ja) | 1998-09-25 |
Family
ID=12932512
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9053068A Pending JPH10253686A (ja) | 1997-03-07 | 1997-03-07 | プリント配線板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10253686A (ja) |
-
1997
- 1997-03-07 JP JP9053068A patent/JPH10253686A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000111 |