JPH10259040A

JPH10259040A - シール焼成用治具及びシール焼成炉

Info

Publication number: JPH10259040A
Application number: JP8219797A
Authority: JP
Inventors: Tetsuo Ota; 哲郎太田; Hiroshi Yoshida; 弘吉田
Original assignee: CHUO RIKEN KK
Current assignee: CHUO RIKEN KK
Priority date: 1997-03-14
Filing date: 1997-03-14
Publication date: 1998-09-29

Abstract

(57)【要約】【課題】工程全体が短くできて機械装置を簡略化でき
るとともに、ギャップ出しの精度を低下させることのな
い実用的な構成を提供する。【解決手段】熱硬化性樹脂２を介在させて重ね合わせ
た二枚のガラス基板１１，１２を、ガラス基板１１，１
２より低熱膨張率の非金属材料で形成された二枚の挟み
板８１，８２で挟み込み、挟み板８１，８２の間のギャ
ップの大きさが所定の値に維持されるように挟み板８
１，８２の間にギャップ材８３を介在させる。挟み板８
１の一方には排気孔８４が形成されており、ギャップ材
８３は排気孔８４から排気した際に挟み板８１，８２の
間の空間が真空状態になるよう挟み板８１，８２の間の
空間を周状に閉鎖する。治具全体が加熱されて熱硬化性
樹脂２が硬化すると、ガラス基板１１，１２の間のギャ
ップが所定の大きさになる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本願の発明は、液晶基板等の
二枚のガラス基板を重ね合わせて熱硬化性樹脂を使用し
て封着するシール焼成技術に関し、特に、二枚のガラス
基板の間に所定の大きさのギャップを精度よく形成しな
がら封着するシール焼成技術に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）等の製作に
は、所定の回路を形成したガラス基板を組み立てる組立
工程中に、二枚のガラス基板を所定のギャップを形成し
ながら重ね合わせてシールするギャップ出しシール工程
が存在する。図４は、このようなＬＣＤの製作における
ギャップ出しシール工程の説明図である。

【０００３】まず、図４（１）に示すように、二枚のガ
ラス基板１１，１２はいずれも方形のものである。そし
て、一方のガラス基板１１には、図４に示すように、熱
硬化性樹脂２が塗布されている。熱硬化性樹脂２は、液
晶封入用の開口となる部分を残して、ガラス基板１１の
縁に沿って周状に塗布される。塗布された熱硬化性樹脂
２の高さは、例えば３０〜４０μｍ程度である。このよ
うな熱硬化性樹脂２の塗布は、スクリーン印刷機又はデ
ィスペンサー描画装置等を使用して行われる。

【０００４】次に、図４（２）に示すように、この二枚
のガラス基板１１，１２を重ね合わせ、まず、仮シール
を行う。仮シールは、二枚のガラス基板１１，１２の重
ね合わせの位置出しを行うものである。即ち、液晶ディ
スプレイは、二枚のガラス基板１１，１２の間に封入し
た液晶によって画像を形成するものであり、各ガラス基
板１１，１２の表面に形成された回路によって各画素が
構成されるので、二枚のガラス基板１１，１２は所定の
位置関係で重ね合わされる必要がある。具体的には、二
枚のガラス基板１１，１２は、１〜２μｍ程度の位置精
度で重ね合わされる。重ね合わせは、二枚のガラス基板
１１，１２を軽くプレスしながら位置出し機構を使用し
て行う。この際、熱硬化性樹脂２の高さは、１０μｍ程
度まで圧縮される。

【０００５】そして、図４（３）に示すように、仮シー
ルの後に本シールを行う。本シールは、二枚のガラス基
板１１，１２をさらにプレスしながら加熱し、熱硬化性
樹脂２を完全に硬化させる工程である。この際重要なこ
とは、二枚のガラス基板１１，１２の間のギャップの所
定の大きさに合わせていくこと、即ちギャップ出しを行
うことである。具体的には、本シールの終了時には、二
枚のガラス基板１１，１２の間のギャップが５〜６μｍ
程度の所定の大きさにするようにする。

【０００６】このように、ガラス基板１１，１２の組立
工程では、仮シールの際に板面方向の位置出しを行い、
本シールの際に板厚方向の位置出しを行うのである。本
明細書では、この本シール工程を、ギャップ出しシール
工程と呼ぶ。尚、熱硬化性樹脂２は、二枚のガラス基板
１１，１２を接着する接着材として機能するとともに、
二枚のガラス基板１１，１２との間に液晶を封入するた
めの「壁」を形成する部材としても機能する。

【０００７】本願発明は、上記ギャップ出しシール工程
に利用される技術に関するものである。図５は、従来の
ギャップ出しシール工程を詳しく説明する図である。従
来のギャップ出しシール工程は、図５に示すような三つ
の工程（１）（２）（３）に分けられる。まず、第一の
工程（１）では、仮プレスした二枚のガラス基板１１，
１２の間のギャップ出しを行いながら、熱硬化性樹脂２
の仮硬化を行う。具体的には、二枚のガラス基板１１，
１２をホットプレス機３によって加圧加熱処理する。加
圧の荷重は例えば１ｋｇ／ｃｍ² 程度、加熱温度は例え
ば１２０〜１３０℃程度である。このような加熱加圧処
理を行うことによって、二枚のガラス基板１１，１２の
間のギャップは、前述した５〜６μｍ程度の所定の大き
さまで圧縮される。

【０００８】次に、第二の工程（２）では、仮硬化後の
ガラス基板１１，１２を本硬化用治具４に取り付ける。
本硬化用治具４は、二枚のガラス基板１１，１２より大
きな二枚のベース板４１，４２の間に二枚のガラス基板
１１，１２を挟み込み、ボルトとナット等を使用したカ
シメ機構４３により二枚のベース板４１，４２をかしめ
て二枚のガラス基板１１，１２を圧縮するよう構成され
ている。但し、この本硬化用治具４のカシメ圧力は、第
一の工程（１）の仮硬化の際の圧力よりも小さく、例え
ば０．５ｋｇ／ｃｍ² 程度とされる。

【０００９】そして、第三の工程（３）では、このよう
に本硬化用治具４に取り付けた二枚のガラス基板１１，
１２を焼成炉５に搬入して所定の温度まで加熱し、本硬
化を行う。焼成炉５内の温度は、例えば１８０℃程度と
され、二枚のガラス基板１１，１２を１．５〜２時間程
度焼成炉５内に配置して１８０℃の加熱を３０分程度維
持することで、熱硬化性樹脂２が完全に硬化し、ギャッ
プ出しシール工程が最終的に完了する。

【００１０】尚、この本硬化を行う第三の工程（３）で
は、二枚のガラス基板１１，１２を挟み込んだ本硬化用
治具４を焼成炉５に複数搬入し、バッチ処理が行われ
る。また実際には、保護シート４３を介して二枚のガラ
ス基板１１，１２の組を積み重ね、複数組のガラス基板
１１，１２を一括して本硬化用治具４に取り付けて本硬
化を行う場合が多い。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来のギャッ
プ出しシール工程は、仮硬化、本硬化用治具への取り付
け、本硬化という三つの工程に分かれるため、工程が長
くなり、生産性の点で問題があった。また、本硬化用の
焼成炉の他、仮硬化用のホットプレス機及び本硬化用治
具への取り付け機が必要となるため、機械装置が大がか
りとなり、生産ラインにおける占有スペースも大きくな
るという問題があった。

【００１２】このような問題を解決する方法として、仮
硬化と本硬化とを同時に行う方法が考えられる。図６
は、仮硬化と本硬化とを同時に行うことを可能にする技
術の概略構成を示した図であり、本願発明を想到する過
程で検討された検討例の構成を示している。この図６に
示す構成では、図５に示す本硬化用治具４を改良し、本
硬化用治具４に加熱機能を持たせた改良型治具６を用い
ている。この改良型治具６は、仮シールした二枚のガラ
ス基板１１，１２を挟み込む二枚のベース板６１，６２
と、各ベース板６１，６２の外面に設けたヒータブロッ
ク６３と、二枚のベース板６１，６２の間のギャップの
大きさを所定の値に維持するギャップ材６４とから主に
構成されている。

【００１３】また、この図６に示す構成では、二枚のガ
ラス基板１１，１２を充分圧縮するため、二枚のベース
板６１，６２の間の空間を排気する排気系７を用いる。
一方のベース板６１には、排気孔６５が設けられてお
り、真空ポンプを含む排気系７をこの排気孔６５に接続
する。尚、ギャップ材６４は、二枚のベース板６１，６
２の間の空間を周状に閉鎖し、排気系７によってこの空
間が真空状態になるようにする。ギャップ材６４は、Ｏ
リング等のように、弾性に富む材料であって、所定の加
圧状態において所定の太さになるようなものが採用され
る。

【００１４】この図６に示す構成においては、二枚のガ
ラス基板１１，１２の間の熱硬化性樹脂２は、ヒータブ
ロック６３からの熱によって加熱されて硬化する。この
際、二枚のガラス基板１１，１２は、二枚のベース板６
１，６２の間の空間が真空状態になるため、大気圧によ
って圧縮され、これによってギャップ出しが行われる。
即ち、ギャップ出しを行いながら、仮硬化と本硬化とを
同時に行う。上述した図６に示す構成によれば、仮硬化
と本硬化とを同時に行うので、図５に示す構成に比べる
と、工程全体が短くできる長所がある。また、改良型治
具６と排気系７という比較的簡単な構成でギャップ出し
シールが行えるので、使用する機械装置が簡略化され、
占有スペースも小さくできるという長所もある。

【００１５】しかしながら、発明者のさらなる検討によ
ると、上記図６に示す構成では、ギャップ出し精度の点
で充分な結果が得られず、また、熱容量の問題から加熱
時間が非常に長くかかる問題があることが分かった。即
ち、図６に示す構成では、ベース板６１，６２はステン
レスなどの金属で形成されるが、このベース板６１，６
２は、加熱効率を良くするため極力薄く形成される。こ
のため、ヒータブロック６３で加熱された際、ベース板
６１，６２が熱膨張により反ったり歪んだりすることに
なる。このような熱変形がベース板６１，６２に生ずる
と、二枚のベース板６１，６２の間のギャップが不均一
になり、二枚のガラス基板１１，１２のギャップ出しの
精度が低下して製品不良となる恐れがある。

【００１６】この問題を解決するものとして、ベース板
６１，６２の周縁に枠材６６を設けてベース板６１，６
２の熱変形を防止する構成が考えられるが、ベース板６
１，６２の熱が枠材６６にも伝わるため、全体の熱容量
が大きくなって加熱効率が低下する問題が派生する。ま
た、ベース板６１，６２の厚さを厚くすることも熱変形
の防止には有効であるが、同様に熱容量が大きくなって
加熱効率が低下してしまう。

【００１７】ベース板６１，６２の材料に、クロムやモ
リブデンのような低熱膨張の金属材料を使用すれば、上
記問題をある程度解決することができる。しかし、図６
に示す構成では、構造上一組（二枚）のガラス基板１
１，１２のみしか一つの治具で処理できないので、生産
性を高めるためには、このような治具を多数生産ライン
に用意する必要があり、従って、一つ一つの治具には高
いコストはかけられない。上述したクロムやモリブデン
は高価な材料であり、このような高価な材料を上記改良
型治具６に使用することは、実用的な構成とはいえな
い。

【００１８】本願の発明は、このような従来技術の課題
や検討例の課題を解決するためになされてものであり、
工程全体が短くできて機械装置を簡略化できるととも
に、ギャップ出しの精度を低下させることのない実用的
な構成を提供することを目的としている。

【００１９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本願の請求項１記載の発明は、熱硬化性樹脂を介在
させながら所定の位置関係で重ね合わせた二枚のガラス
基板を加熱して、二枚のガラス基板の間のギャップが所
定の大きさになるようにしながら熱硬化性樹脂を硬化さ
せるシール焼成に使用されるシール焼成用治具であっ
て、前記二枚のガラス基板を挟み込む二枚の挟み板と、
二枚の挟み板の間のギャップの大きさが所定の値に維持
されるように二枚の挟み板の間に介在されたギャップ材
とから構成され、前記二枚の挟み板は前記二枚のガラス
基板よりも低い熱膨張率の非金属材料で形成されている
とともに、二枚の挟み板のうちの一方には排気孔が形成
されており、前記ギャップ材は、排気孔から排気した際
に二枚の挟み板の間の空間が真空状態になるよう二枚の
挟み板の間の空間を周状に閉鎖するものであるという構
成を有する。また、上記課題を解決するため、請求項２
記載の発明は、上記請求項１の発明の構成において、二
枚の挟み板は、ガラス中に微細結晶を析出させた結晶化
ガラスにより形成されているという構成を有する。ま
た、上記課題を解決するため、請求項３記載の発明は、
上記請求項１記載のシール焼成用治具が内部に配置され
る焼成チャンバーと、焼成チャンバー内の温度を所定の
高温に維持する加熱手段と、前記シール焼成用治具を排
気孔から排気する排気系とを備えているという構成を有
する。また、上記課題を解決するため、請求項４記載の
発明は、上記請求項３の構成において、焼成チャンバー
は、シール焼成用治具を複数配置可能に構成されてお
り、排気系は、各シール焼成用治具を排気孔から排気可
能になっているという構成を有する。また、上記課題を
解決するため、請求項５記載の発明は、上記請求項３又
は４の構成において、排気系は、真空ポンプに繋がる配
管とシール焼成用治具の排気孔とを自動的に着脱する着
脱部を備えているという構成を有する。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態につ
いて説明する。図１は、本願発明の実施形態に係るシー
ル焼成用治具の概略構成を示す図である。図１に示すシ
ール焼成用治具は、図６に示すものと同様、熱硬化性樹
脂を介在させながら所定の位置関係で重ね合わせた二枚
のガラス基板１１，１２を加熱して、二枚のガラス基板
１１，１２の間のギャップが所定の大きさになるように
しながら熱硬化性樹脂を硬化させるシール焼成に使用さ
れるシール焼成用治具である。尚、熱硬化性樹脂として
は、三井東圧化学（株）製のトラストボンド等が使用さ
れる。

【００２１】そして、このシール焼成用治具は、上記二
枚のガラス基板１１，１２を挟み込む二枚の挟み板８
１，８２と、二枚の挟み板８１，８２の間のギャップの
大きさに所定の値に維持するよう二枚の挟み板８１，８
２の間に介在されたギャップ材８３と、挟み板８１，８
２とガラス基板１１，１２との間に挟み込む不図示の保
護シートとから主に構成されている。

【００２２】まず、二枚の挟み板８１，８２は、ガラス
基板１１，１２よりも低い熱膨張率の非金属材料で形成
されている。具体的には、二枚の挟み板８１，８２の材
料としては、日本電気硝子（株）製のネオセラムＮ−１
１又はＮ−０等が使用できる。このような低熱膨張率
の非金属材料は、ガラス中に微細結晶を析出させた結晶
化ガラス等が典型的に使用できる。微細結晶の大きさは
１μｍ以下とすることが好ましく、結晶相の熱膨張係数
がマイナス又は極めて小さいため、ガラスマトリックス
の熱膨張と互いに打ち消し合うことにより、低熱膨張率
の材料となる。

【００２３】また、このような二枚の挟み板８１，８２
は、二枚のガラス基板１１，１２と同様の方形の形状で
あり、大きさはガラス基板１１，１２よりも少し大きい
ものが使用される。そして、一方の挟み板８１には、排
気孔８４が形成されている。また、排気孔８４には、排
気管８５が接続されている。排気管８５は、挟み板８
１，８２と同様の材質で形成されることが好ましいが、
他のセラミックスや樹脂等の材質でもよい。排気管８５
は、排気孔８４の縁に接着などの方法により固定され
る。

【００２４】また、ギャップ材８３は、図６に示すもの
と同様に、具体的にはＯリング等が使用できる。材質と
しては、フッ素系樹脂等が使用できる。また、二枚の挟
み板８１，８２の間の空間が後述のように所定の圧力ま
で排気された際、ギャップの断面の高さ（ベース材の厚
さ方向での長さ）が必要なギャップ出しの大きさになる
よう、ギャップ材８３の弾性や太さが選定される。尚、
少なくとも一方の挟み板８１，８２の表面にギャップ材
８３の形状に即した溝を形成しておき、この溝にギャッ
プ材８３の一部が填め込まれるようにすると、ギャップ
材８３の位置が固定できるので好適である。この場合
は、填め込みの深さを差し引いた分のギャップ材８３の
高さが上記ギャップ出しの大きさになるように、ギャッ
プ材８３の弾性や太さが選定される。

【００２５】不図示の保護シートは、挟み板８１，８２
との接触による損傷からガラス基板１１，１２を保護す
るものである。保護シートには、耐熱性のシリコンフィ
ルム等が好適に使用でき、厚さは０．５〜１ｍｍ程度で
よい。

【００２６】次に、上記実施形態に係るシール焼成用治
具を使用してギャップ出しシールを行うシール焼成炉の
発明の実施形態について説明する。図２及び図３は、本
願発明の実施形態に係るシール焼成炉の概略構成を示す
図であり、図２はその正面図、図３はその側面図であ
る。図２及び図３に示すシール焼成炉は、上記実施形態
のシール焼成用治具８が内部に配置される焼成チャンバ
ー９１と、焼成チャンバー９１内の温度を所定の高温に
維持する加熱手段９２と、前記シール焼成用治具８内を
排気孔８４から排気する排気系９３とを備えている。

【００２７】焼成チャンバー９１は、恒温槽を構成する
容器であり、外壁部分に断熱材を備えている。また、焼
成チャンバー９１は、シール焼成用治具８の出し入れの
ための扉９１１を有している。

【００２８】また、加熱手段９２は、焼成チャンバー９
１内に配置された発熱源９２１と、発熱源９２１を通っ
て焼成チャンバー９１内に風を循環させる送風機９２２
などから構成されている。このような構成により、焼成
チャンバー９１の内部は、例えば１８０℃程度の温度に
維持されるようになっている。尚、温風の循環炉上に
は、温風から塵埃を除去するフィルター９５が配置され
ており、塵埃によるガラス基板１１，１２の汚損が防止
されるようになっている。

【００２９】また、焼成チャンバー９１内には、上記実
施形態のシール焼成用治具８を配置する棚部材９４が設
けられている。棚部材９４は、メッシュ、パンチングプ
レート又はシール焼成用治具の縁近傍のみを支持する断
面Ｌ字状の部材等で構成され、シール焼成用治具８への
接触部分を極力少なくして温風による加熱効率を高くす
るようになっている。

【００３０】そして、シール焼成用治具８を排気する排
気系９３は、真空ポンプ９３１と、真空ポンプ９３１に
繋がる配管９３２と、配管９３２とシール焼成用治具８
の排気孔８４とを自動的に着脱する着脱部９３３を備え
ている。本実施形態における着脱部９３３は、配管９３
２の終端に設けられたジョイント９３４と、ジョイント
９３４をシール焼成用治具８の排気管８５の端部に押し
付けるためのコイルスプリング９３５とから主に構成さ
れている。尚、配管９３２には、バルブ９３６が設けら
れている。

【００３１】ジョイント９３４は、蛇腹状に形成されて
伸縮可能になっており、先端が図３に示すようにカップ
状に形成されている。そして、排気管８５の端部は、図
３に示すように若干肉厚になっており、ジョイント９３
４の先端に押し当てられるよう構成されている。シール
焼成用治具８が所定位置に配置された際、排気管８５の
先端がジョイント９３４の先端のカップ状の部分に若干
入り込んだ状態でジョイント９３４に軽く押し当てられ
る。この際、コイルスプリング９３５の弾性によってジ
ョイント９３４が排気管８５を軽く押圧する状態とな
る。この状態でバルブ９３６が開いて配管９３２内が減
圧されると、排気管８５の先端とジョイント９３４との
接合部分がより気密になる。これによって、配管９３２
と排気管８５とが気密に連通し、二枚の挟み板８１，８
２の間の空間が排気されるようになっている。

【００３２】また、ジョイント９３４と排気管８５とを
切り離す際には、シール焼成用治具８を全体を手前側に
移動させることで、ジョイント９３４と排気管８５の気
密接触を強制的に切り離すようにする。もしくは、配管
９３２にベントガス供給系を設けた構成とし、配管９３
２内及び排気管８５内を大気圧に戻した後に切り離すよ
うにしてもよい。尚、ジョイント９３４の先端又は排気
管８５の先端にＯリングのようなシール部材を設ける
と、さらに気密に連通するので好適である。また、コイ
ルスプリング９３５の弾性力によってシール焼成用治具
８が移動しないよう、シール焼成用治具８を所定の配置
位置で止めるストッパを設けるようにすると好適であ
る。

【００３３】また、図２及び図３に示すように、本実施
形態のシール焼成炉では、棚部材９４が複数設けられて
おり、複数のシール焼成用治具８を同時に焼成チャンバ
ー９１内の所定位置に配置することが可能になってい
る。そして、図２に示すように、配管９３２の終端側は
複数に分岐し、それぞれの終端に上述のようなジョイン
ト９３４が設けられている。従って、焼成チャンバー９
１内の各シール焼成用治具８を同時に排気可能になって
いる。尚、真空ポンプ９３１の能力により、複数のシー
ル焼成用治具８の同時排気が困難な場合には、分岐部分
の配管９３７に設けたバルブ９３８を開閉して切り替え
ながら、一つずつ又は数個ずつ排気するようにしてもよ
い。

【００３４】次に、上記各構成に係る本実施形態のシー
ル焼成用治具及びシール焼成炉の動作について説明す
る。まず、従来の技術の欄で説明したように仮シールが
終了した二枚のガラス基板１１，１２を、図１に示すよ
うにシール焼成用治具８に取り付ける。この状態で扉９
１１を開けてシール焼成用治具８をシール焼成炉に搬入
し、棚部材９４上の所定位置に配置する。この際、シー
ル焼成用治具８の排気管８５の先端が着脱部９３３のジ
ョイント９３４に軽く押し当てられる。

【００３５】このようにして所定数のシール焼成用治具
８を焼成チャンバー９１内に搬入し、バルブ９３６，９
３８を開閉しながら真空ポンプ９３１でシール焼成用治
具８を排気する。これによって、二枚の挟み板８１，８
２の間の空間が真空状態となり、二枚の挟み板８１，８
２は内側の二枚のガラス基板１１，１２を大気圧によっ
て圧縮した状態となる。これによって、二枚のガラス基
板１１，１２の間のギャップの大きさは、所定のギャッ
プ出しの大きさに精度よく一致した状態となる。尚、こ
の際のシール焼成用治具８内の真空圧力は、例えば１〜
２Ｔｏｒｒ程度でよい。

【００３６】この状態で又は並行して加熱手段９２を動
作させ、焼成チャンバー９１内に温風を送って温度上昇
させる。そして、加熱手段９２に設けた不図示の制御部
によって焼成チャンバー９１内の雰囲気温度を制御し、
例えば１８０℃程度の温度に維持されるようにする。こ
の状態を所定時間維持することで、熱硬化性樹脂が硬化
する。

【００３７】その後、加熱手段９２の動作を停止させ、
焼成チャンバー９１内の温度が所定の温度以下になった
ら、各シール焼成用治具８を焼成チャンバー９１から取
り出す。そして、二枚のガラス基板１１，１２をシール
焼成用治具から取り外すと、ギャップ出しシール工程が
完了する。

【００３８】このような動作において、シール焼成用治
具の挟み板８１，８２は、ガラス基板１１，１２より低
い熱膨張率を有しているので、挟み板８１，８２に反り
や歪みといった熱変形が生じず、ギャップ出しの精度が
高く維持される。前述した図６の構成において、ベース
板６１，６２に反りが生じたのは、ベース板６１，６２
がガラス基板１１，１２より熱膨張率の高い金属で形成
されているためであり、ガラス基板１１，１２に比べて
大きくベース板６１，６２が熱膨張する結果、反りや歪
みが生じるのである。

【００３９】また、このような低熱膨張率の非金属材料
は、金属に比べて一般的に比重が軽く、また比熱も小さ
い。このため、挟み板８１，８２の部分の熱容量が小さ
くでき、この結果、加熱効率も図６のものに比べて向上
する。従って、ヒータブロックが挟み板８１，８２に直
接接する構成でないにもかかわらず、加熱時間を充分短
くでき、充分な生産性を確保することができる。

【００４０】上述した実施形態は、一組（二枚）のガラ
ス基板１１，１２を一つのシール焼成用治具８に取り付
ける構成であったが、二組以上のガラス基板１１，１２
を重ね合わせて一つのシール焼成用治具８に取り付ける
ようにすることも可能である。但し、あまり組数が多く
なると、中心側に位置する組のガラス基板１１，１２に
熱が充分伝わらず、熱硬化性樹脂が充分硬化しない恐れ
があるので、注意を要する。尚、二組以上のガラス基板
１１，１２を重ね合わせる際には、上述した保護シート
と同様のシートを介在させるようにする。

【００４１】また、シール焼成用治具８の焼成チャンバ
ー９１内の棚部材９４への配置については、オペレータ
ーが手で行うようにしてもよいし、専用の搬送機構を設
けて自動的に搬入搬送を行うようにしてもよい。尚、以
上の説明では、液晶ディスプレイを製作する際の液晶基
板の組立工程におけるギャップ出しシールについて説明
したが、本願発明の適用分野がこれに限られるものでは
なく、例えばプラズマディスプレイ用のガラス基板のギ
ャップ出しシール等についても適用することが可能であ
る。

【００４２】

【発明の効果】以上説明した通り、本願の各請求項の発
明によれば、ギャップ出しシールの工程全体が短くでき
て生産ラインの機械装置が簡略化できるとともに、ギャ
ップ出しの精度を低下させることのない実用的な構成が
提供される。また、請求項４の発明によれば、上記効果
に加え、複数組のガラス基板を同時に処理することがで
きるので、さらに生産性の高いシール焼成炉が提供され
るという効果が得られる。また、請求項５の発明によれ
ば、上記効果に加え、排気系の着脱が自動化されるの
で、この点でさらに実用的な構成が提供される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願発明の実施形態に係るシール焼成用治具の
概略構成を示す図である。

【図２】本願発明の実施形態に係るシール焼成炉の概略
構成を示す正面図である。

【図３】本願発明の実施形態に係るシール焼成炉の概略
構成を示す側面図である。

【図４】ＬＣＤの製作におけるギャップ出しシール工程
の説明図である。

【図５】従来のギャップ出しシール工程を詳しく説明す
る図である。

【図６】仮硬化と本硬化とを同時に行うことを可能にす
る技術の概略構成を示した図であり、本願発明を想到す
る過程で検討された検討例の構成を示している。

【符号の説明】

１１ガラス基板１２ガラス基板２熱硬化性樹脂８１挟み板８２挟み板８３ギャップ材８４排気孔９１焼成チャンバー９２加熱手段９３排気系９３３着脱部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】熱硬化性樹脂を介在させながら所定の位
置関係で重ね合わせた二枚のガラス基板を加熱して、二
枚のガラス基板の間のギャップが所定の大きさになるよ
うにしながら熱硬化性樹脂を硬化させるシール焼成に使
用されるシール焼成用治具であって、前記二枚のガラス基板を挟み込む二枚の挟み板と、二枚
の挟み板の間のギャップの大きさが所定の値に維持され
るように二枚の挟み板の間に介在されたギャップ材とか
ら構成され、前記二枚の挟み板は前記二枚のガラス基板よりも低い熱
膨張率の非金属材料で形成されているとともに、二枚の
挟み板のうちの一方には排気孔が形成されており、前記
ギャップ材は、排気孔から排気した際に二枚の挟み板の
間の空間が真空状態になるよう二枚の挟み板の間の空間
を周状に閉鎖するものであることを特徴とするシール焼
成用治具。
【請求項２】前記二枚の挟み板は、ガラス中に微細結
晶を析出させた結晶化ガラスにより形成されていること
を特徴とする請求項１記載のシール焼成用治具。
【請求項３】請求項１記載のシール焼成用治具が内部
に配置される焼成チャンバーと、焼成チャンバー内の温
度を所定の高温に維持する加熱手段と、前記シール焼成
用治具を排気孔から排気する排気系とを備えていること
を特徴とするシール焼成炉。
【請求項４】前記焼成チャンバーは、前記シール焼成
用治具を複数配置可能に構成されており、前記排気系
は、各シール焼成用治具を排気孔から排気可能になって
いることを特徴とする請求項３記載のシール焼成炉。
【請求項５】前記排気系は、真空ポンプに繋がる配管
と前記シール焼成用治具の排気孔とを自動的に着脱する
着脱部を備えていることを特徴とする請求項３又は４記
載のシール焼成炉。