JPH10259793A - 分子ポンプ - Google Patents
分子ポンプInfo
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- JPH10259793A JPH10259793A JP9085662A JP8566297A JPH10259793A JP H10259793 A JPH10259793 A JP H10259793A JP 9085662 A JP9085662 A JP 9085662A JP 8566297 A JP8566297 A JP 8566297A JP H10259793 A JPH10259793 A JP H10259793A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- molecular pump
- heat
- rotor
- gas
- heat receiving
- Prior art date
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/58—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer
- F04D29/582—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/584—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps cooling or heating the machine
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 凝縮性を有する気体を分子ポンプにて排気す
る場合に、分子ポンプの静止部をヒータ等で加熱して該
気体が分子ポンプ内に凝着するのを防止しているが、こ
の加熱によってもロータの寿命が短くならないような分
子ポンプを提供する。 【解決手段】 ロータ４に設置した放熱部４ａと内部ハ
ウジング７に接続した受熱体６の受熱部６ａとの間にヘ
リウムのパージガスを導入するようにし、更にロータ４
と内部ハウジング７との間にねじシール部９を設けて前
記パージガスの圧力を高く保つようにして、これらによ
りロータ４の冷却機構を形成した。
る場合に、分子ポンプの静止部をヒータ等で加熱して該
気体が分子ポンプ内に凝着するのを防止しているが、こ
の加熱によってもロータの寿命が短くならないような分
子ポンプを提供する。 【解決手段】 ロータ４に設置した放熱部４ａと内部ハ
ウジング７に接続した受熱体６の受熱部６ａとの間にヘ
リウムのパージガスを導入するようにし、更にロータ４
と内部ハウジング７との間にねじシール部９を設けて前
記パージガスの圧力を高く保つようにして、これらによ
りロータ４の冷却機構を形成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はエッチング装置やＣ
ＶＤ装置等において凝縮性を有する気体を排気するのに
好適なターボ分子ポンプ又は複合分子ポンプ等の分子ポ
ンプに関する。
ＶＤ装置等において凝縮性を有する気体を排気するのに
好適なターボ分子ポンプ又は複合分子ポンプ等の分子ポ
ンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の凝縮性を有する気体の排
気に用いられている複合分子ポンプの例を図３に示す。
気に用いられている複合分子ポンプの例を図３に示す。
【０００３】即ち、複合分子ポンプは吸気口ａと排気口
ｂとを有するハウジングｃ内に、吸気口ａ側からターボ
分子ポンプ部ｄ及びねじ溝真空ポンプ部ｅを順次配置し
ている。
ｂとを有するハウジングｃ内に、吸気口ａ側からターボ
分子ポンプ部ｄ及びねじ溝真空ポンプ部ｅを順次配置し
ている。
【０００４】尚、ｆはロータ、ｇはステータを示す。
又、ｈは内部ハウジングでシャフトｋ、磁気軸受装置ｍ
等を内蔵している。ｎはパージガス導入口で、凝縮性を
有する排気が内部ハウジングｈ内に浸入してくるのを防
ぐために、窒素ガス等のパージガスを該パージガス導入
口ｎを経由して内部ハウジングｈ内に供給している。
又、ｈは内部ハウジングでシャフトｋ、磁気軸受装置ｍ
等を内蔵している。ｎはパージガス導入口で、凝縮性を
有する排気が内部ハウジングｈ内に浸入してくるのを防
ぐために、窒素ガス等のパージガスを該パージガス導入
口ｎを経由して内部ハウジングｈ内に供給している。
【０００５】又、分子ポンプ内部で排気が凝着するのを
防止するため、分子ポンプの静止部をヒータ等で加熱し
て、分子ポンプ各部を排気が凝縮しない温度に昇温させ
るようにした例が知られている。
防止するため、分子ポンプの静止部をヒータ等で加熱し
て、分子ポンプ各部を排気が凝縮しない温度に昇温させ
るようにした例が知られている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】一般に分子ポンプを運
転すると、排気の負荷によってロータの温度が上昇する
が、これに分子ポンプの静止部への加熱が加わると、ロ
ータの温度が更に上昇する。
転すると、排気の負荷によってロータの温度が上昇する
が、これに分子ポンプの静止部への加熱が加わると、ロ
ータの温度が更に上昇する。
【０００７】ロータは高速度で運転されているため高い
応力が発生しているが、一般のロータはアルミ合金で製
作されているため、ロータの温度が１２０℃を越える
と、ロータが破損したりロータの寿命が短くなるという
問題があった。
応力が発生しているが、一般のロータはアルミ合金で製
作されているため、ロータの温度が１２０℃を越える
と、ロータが破損したりロータの寿命が短くなるという
問題があった。
【０００８】本発明はこれらの問題点を解消し、分子ポ
ンプの静止部をヒータ等で加熱した場合にも、ロータの
寿命が短くならないような分子ポンプを提供することを
目的とする。
ンプの静止部をヒータ等で加熱した場合にも、ロータの
寿命が短くならないような分子ポンプを提供することを
目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目標を達
成するべく、分子ポンプのロータ側に設置した放熱部
と、該放熱部より受けた熱を分子ポンプの冷却されてい
る内部ハウジングに伝達するための受熱部とを有し、こ
れら放熱部と受熱部との間にガスを導入して両者間の熱
伝達を促進するように形成したことを特徴とする。
成するべく、分子ポンプのロータ側に設置した放熱部
と、該放熱部より受けた熱を分子ポンプの冷却されてい
る内部ハウジングに伝達するための受熱部とを有し、こ
れら放熱部と受熱部との間にガスを導入して両者間の熱
伝達を促進するように形成したことを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の１実施の形態を図１及び
図２により説明する。
図２により説明する。
【００１１】本発明を適用した複合分子ポンプＡにおい
て、１はハウジング、２はターボ分子ポンプ部、３はね
じ溝真空ポンプ部である。
て、１はハウジング、２はターボ分子ポンプ部、３はね
じ溝真空ポンプ部である。
【００１２】４はロータで、該ロータ４の上方部にはタ
ーボ分子ポンプ部２の動翼２ａが係着されており、又、
その下方部にはねじ溝真空ポンプ部３のロータ部が形成
されている。尚、このねじ溝真空ポンプ部３では、円筒
状のステータ３ａ、３ｂの各々にねじ溝が形成されてい
る。
ーボ分子ポンプ部２の動翼２ａが係着されており、又、
その下方部にはねじ溝真空ポンプ部３のロータ部が形成
されている。尚、このねじ溝真空ポンプ部３では、円筒
状のステータ３ａ、３ｂの各々にねじ溝が形成されてい
る。
【００１３】７は内部ハウジングで、前記ハウジング１
内に位置していて、その底板部に固定されている。
内に位置していて、その底板部に固定されている。
【００１４】前記ロータ４はシャフト５に締着されてお
り、又、該ロータ４の内側頂部には多重の円筒状体から
なる放熱部４ａがロータ中心と同心に形成されている。
り、又、該ロータ４の内側頂部には多重の円筒状体から
なる放熱部４ａがロータ中心と同心に形成されている。
【００１５】６は受熱体で、多重の円筒状体からなる受
熱部６ａを有する。該受熱部６ａは前記放熱部４ａと同
心に、互いに入れ込んだ構造に形成されており、又、こ
れら入れ込んだ円筒状体の相互間の隙間は１mm程度と僅
少である。
熱部６ａを有する。該受熱部６ａは前記放熱部４ａと同
心に、互いに入れ込んだ構造に形成されており、又、こ
れら入れ込んだ円筒状体の相互間の隙間は１mm程度と僅
少である。
【００１６】前記受熱体６はブラケット７ａを介して前
記内部ハウジング７の頂面に設けられており、受熱部６
ａが受けた熱は該ブラケット７ａを介して内部ハウジン
グ７に伝達される。
記内部ハウジング７の頂面に設けられており、受熱部６
ａが受けた熱は該ブラケット７ａを介して内部ハウジン
グ７に伝達される。
【００１７】９はねじシール部で、内部ハウジングの外
周に設けられたねじ山が回転するロータ４の内周面に僅
少の隙間を持って相対しており、そのねじの方向は、該
ねじシール部９内の気体が上方即ち前記放熱部４ａ及び
受熱部６ａ側に送られるように形成されている。
周に設けられたねじ山が回転するロータ４の内周面に僅
少の隙間を持って相対しており、そのねじの方向は、該
ねじシール部９内の気体が上方即ち前記放熱部４ａ及び
受熱部６ａ側に送られるように形成されている。
【００１８】又、８はパージガス導入口で、パージガス
としてヘリウムガスを導入している。該パージガス導入
口８から導入されたヘリウムガスは内部ハウジング７内
に入り、磁気軸受装置１０等の周辺を通って上方の放熱
部４ａ及び受熱部６ａの間へと通じ、前記ねじシール部
９より内側の領域の圧力を高く保っている。
としてヘリウムガスを導入している。該パージガス導入
口８から導入されたヘリウムガスは内部ハウジング７内
に入り、磁気軸受装置１０等の周辺を通って上方の放熱
部４ａ及び受熱部６ａの間へと通じ、前記ねじシール部
９より内側の領域の圧力を高く保っている。
【００１９】尚、前記内部ハウジング７は、図示してい
ない冷却系によって冷却される構造となっている。
ない冷却系によって冷却される構造となっている。
【００２０】次に本実施の形態の作用及び効果について
説明する。
説明する。
【００２１】複合分子ポンプＡによって凝縮し易いガス
を排気する場合、ステータ３ａ等の静止部をヒータで加
熱して、分子ポンプ内に排気ガスが凝着しないようにし
ているが、この加熱によってロータ４も加熱される。
を排気する場合、ステータ３ａ等の静止部をヒータで加
熱して、分子ポンプ内に排気ガスが凝着しないようにし
ているが、この加熱によってロータ４も加熱される。
【００２２】しかし、該ロータ４の放熱部４ａと受熱体
６の受熱部６ａの間で、パージガスを媒介とする熱伝達
が行われ、ロータ４から受熱体６へ伝達された熱は、冷
却されている内部ハウジング７を経て前記冷却系へと伝
えられる。即ち、これらの冷却機構によってロータ４の
温度上昇を抑制することができる。
６の受熱部６ａの間で、パージガスを媒介とする熱伝達
が行われ、ロータ４から受熱体６へ伝達された熱は、冷
却されている内部ハウジング７を経て前記冷却系へと伝
えられる。即ち、これらの冷却機構によってロータ４の
温度上昇を抑制することができる。
【００２３】尚、この放熱部４ａから受熱部６ａへ伝達
される熱量ＱRは数１式により計算される。
される熱量ＱRは数１式により計算される。
【００２４】
【数１】
【００２５】 但し、ＴR：ロータ４の温度 Ｔ2：内部ハウジング７の温度 Ｍ：パージガスの分子量 ＰO：放熱部４ａと受熱部６ａとの間におけるパージガ
スの圧力 λ：１Torrにおけるパージガスの平均自由行程 Ｓ：放熱部４ａと受熱部６ａの対向面積 Ｄ：放熱部４ａと受熱部６ａの対向面間の間隙
スの圧力 λ：１Torrにおけるパージガスの平均自由行程 Ｓ：放熱部４ａと受熱部６ａの対向面積 Ｄ：放熱部４ａと受熱部６ａの対向面間の間隙
【００２６】即ち、該熱伝達熱量ＱRは、パージガスの
分子量が小さく、その平均自由行程が長く、その圧力が
高い程、増大する。
分子量が小さく、その平均自由行程が長く、その圧力が
高い程、増大する。
【００２７】更にＱRは、放熱部４ａと受熱部６ａの対
向面積Ｓが広い程、又、両者間の間隙Ｄが小さい程、増
大する。
向面積Ｓが広い程、又、両者間の間隙Ｄが小さい程、増
大する。
【００２８】この放熱部４ａ、受熱部６ａ及びパージガ
スからなる本発明のロータ冷却機構を持った分子ポンプ
と、これらを持たない従来の分子ポンプとについて、両
者のロータ温度の比較を行ったものが図２に示すグラフ
である。
スからなる本発明のロータ冷却機構を持った分子ポンプ
と、これらを持たない従来の分子ポンプとについて、両
者のロータ温度の比較を行ったものが図２に示すグラフ
である。
【００２９】但し、この比較例において、パージガスに
用いたヘリウムの圧力を２６６Ｐa、１Torrにおける平
均自由行程を０．１４７２mmとし、又、放熱部と受熱部
の対向面積を０．０３１５６ｍ2、対向面間の間隙を１m
mとした。
用いたヘリウムの圧力を２６６Ｐa、１Torrにおける平
均自由行程を０．１４７２mmとし、又、放熱部と受熱部
の対向面積を０．０３１５６ｍ2、対向面間の間隙を１m
mとした。
【００２９】このように本発明のロータ冷却機構付きの
分子ポンプは、ロータの温度をアルミ合金の許容温度１
２０℃以下に保って、ロータの寿命が短くならないよう
にすることができる。
分子ポンプは、ロータの温度をアルミ合金の許容温度１
２０℃以下に保って、ロータの寿命が短くならないよう
にすることができる。
【００３０】尚、本実施の形態では、パージガスをヘリ
ウムとしたが、これは水素又はその他の分子量が小さく
平均自由行程の大きな気体でもよい。
ウムとしたが、これは水素又はその他の分子量が小さく
平均自由行程の大きな気体でもよい。
【００３１】又、パージガス導入口より内部ハウジング
７内に導入するパージガスの圧力を制御して、ロータ４
の放熱部４ａから受熱部６ａへの熱伝達量を調節するよ
うにしてもよい。
７内に導入するパージガスの圧力を制御して、ロータ４
の放熱部４ａから受熱部６ａへの熱伝達量を調節するよ
うにしてもよい。
【００３２】更に又、本実施の形態では複合分子ポンプ
に本発明のロータ冷却機構を適用した例を示したが、こ
れは複合分子ポンプの代りにターボ分子ポンプ、又はね
じ溝真空ポンプに適用してもよい。
に本発明のロータ冷却機構を適用した例を示したが、こ
れは複合分子ポンプの代りにターボ分子ポンプ、又はね
じ溝真空ポンプに適用してもよい。
【００３３】
【発明の効果】このように本発明によれば、凝縮性を有
する気体を排気するために分子ポンプの静止部をヒータ
等で加熱しても、分子ポンプのロータの温度上昇が抑え
られるので、分子ポンプのロータの寿命が短縮するのを
防止できる効果を有する。
する気体を排気するために分子ポンプの静止部をヒータ
等で加熱しても、分子ポンプのロータの温度上昇が抑え
られるので、分子ポンプのロータの寿命が短縮するのを
防止できる効果を有する。
【図１】本発明の１実施の形態の複合分子ポンプの縦断
面図である。
面図である。
【図２】本発明の分子ポンプと従来の分子ポンプのロー
タ温度の比較グラフである。
タ温度の比較グラフである。
【図３】従来の複合分子ポンプの縦断面図である。
４ ロータ 4a 放熱部 6a 受熱部 ７ 内部ハウジング ８ パージガス導入口 ９ ねじシール部
Claims (4)
- 【請求項１】 分子ポンプのロータ側に設置した放熱部
と、該放熱部より受けた熱を分子ポンプの冷却されてい
る内部ハウジングに伝達するための受熱部とを有し、こ
れら放熱部と受熱部との間にガスを導入して両者間の熱
伝達を促進するように形成したことを特徴とする分子ポ
ンプ。 - 【請求項２】 前記放熱部及び受熱部を各々多重の円筒
状体に形成すると共に、これら円筒状体はロータ中心に
対して同心に互いに入れ込んだ状態に配置されているこ
とを特徴とする請求項１に記載の分子ポンプ。 - 【請求項３】 前記ガスは水素又はヘリウム等の分子量
が小さく平均自由行程の長いガスとしたことを特徴とす
る請求項１に記載の分子ポンプ。 - 【請求項４】 ロータと内部ハウジングの間にねじシー
ル部を設けて前記放熱部と受熱部の間に導入したガスが
所定の圧力を保持するように形成すると共に、該ガスを
パージガスに兼用するように形成したことを特徴とする
請求項１に記載の分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08566297A JP3794775B2 (ja) | 1997-03-19 | 1997-03-19 | 分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08566297A JP3794775B2 (ja) | 1997-03-19 | 1997-03-19 | 分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10259793A true JPH10259793A (ja) | 1998-09-29 |
| JP3794775B2 JP3794775B2 (ja) | 2006-07-12 |
Family
ID=13865046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08566297A Expired - Fee Related JP3794775B2 (ja) | 1997-03-19 | 1997-03-19 | 分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3794775B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000205183A (ja) * | 1999-01-13 | 2000-07-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | タ―ボ分子ポンプ |
| US7094036B2 (en) | 2003-09-24 | 2006-08-22 | The Boc Group Plc | Vacuum pumping system |
| US7900652B2 (en) | 2004-05-25 | 2011-03-08 | Edwards Limited | Gas supply system for a pumping arrangement |
| EP3594504A4 (en) * | 2017-03-10 | 2020-12-16 | Edwards Japan Limited | VACUUM PUMP EXHAUST SYSTEM, VACUUM PUMP TO BE SUPPLIED TO A VACUUM PUMP EXHAUST SYSTEM, PURGE GAS SUPPLY DEVICE, TEMPERATURE SENSOR UNIT AND VACUUM PUMP EXHAUST PROCESS |
| WO2021187336A1 (ja) * | 2020-03-19 | 2021-09-23 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及び真空ポンプ用部品 |
-
1997
- 1997-03-19 JP JP08566297A patent/JP3794775B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000205183A (ja) * | 1999-01-13 | 2000-07-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | タ―ボ分子ポンプ |
| US7094036B2 (en) | 2003-09-24 | 2006-08-22 | The Boc Group Plc | Vacuum pumping system |
| US7900652B2 (en) | 2004-05-25 | 2011-03-08 | Edwards Limited | Gas supply system for a pumping arrangement |
| EP3594504A4 (en) * | 2017-03-10 | 2020-12-16 | Edwards Japan Limited | VACUUM PUMP EXHAUST SYSTEM, VACUUM PUMP TO BE SUPPLIED TO A VACUUM PUMP EXHAUST SYSTEM, PURGE GAS SUPPLY DEVICE, TEMPERATURE SENSOR UNIT AND VACUUM PUMP EXHAUST PROCESS |
| US11391283B2 (en) | 2017-03-10 | 2022-07-19 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump exhaust system, vacuum pump provided for vacuum pump exhaust system, purge gas supply unit, temperature sensor unit, and exhausting method of vacuum pump |
| WO2021187336A1 (ja) * | 2020-03-19 | 2021-09-23 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及び真空ポンプ用部品 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3794775B2 (ja) | 2006-07-12 |
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|---|---|---|---|
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| A977 | Report on retrieval |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051213 |
|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060131 |
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