JPH10260366A5 - - Google Patents

Description

【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、標本に対する合焦を行って検査対象位置を検査するパターン検査装置において、標本を撮像する撮像手段と、標本像を前記撮像手段に投影する結像手段と、結像手段と標本との距離を調整する位置調整手段と、撮像手段により、取り込まれた画像の内での位置特定形状を検出する画像処理手段と、画像処理手段により検出された位置特定形状の位置に基づき、検査対象位置を特定する検査対象特定手段と、位置調整手段により結像手段，標本間の距離を変更し、前記検査対象位置で合焦検出を行う合焦位置検出手段とを備えたパターン検査装置である。

【００１０】
また本発明は、標本に対する合焦を行って検査対象位置を検査するパターン検査装置において、標本を撮像する撮像手段と、標本像を前記撮像手段に投影する結像手段と、結像手段と標本との距離を調整する位置調整手段と、撮像手段により、取り込まれた画像の内での位置特定形状を検出する画像処理手段と、画像処理手段により検出された位置特定形状の位置に基づき、検査対象位置を特定する検査対象特定手段と、位置調整手段により結像手段，標本間の距離を変更し、各距離における検査対象位置での画像コントラストを評価し、この画像コントラストが最大となる位置を合焦位置とする合焦位置検出手段とを備えたパターン検査装置である。

【００１１】
また本発明は、標本に対する合焦を行って検査対象位置を検査するパターン検査装置において、前記標本を撮像する撮像手段と、標本像を前記撮像手段に投影する結像手段と、前記結像手段と前記標本との距離を調整する位置調整手段と、前記撮像手段によって取り込まれる画像内で、標本における位置を特定する基準となる位置特定形状及びこの位置特定形状と前記検査対象位置との相対位置情報を保存する位置特定情報記憶手段と、前記撮像手段によって取り込まれた画像の内での前記位置特定形状を検出する画像処理手段と、前記画像処理手段により検出された前記位置特定形状の位置及び前記相対位置情報に基づき、前記検査対象位置を特定する検査対象特定手段と、前記位置調整手段により前記結像手段，前記標本間の距離を変更し、各距離における前記検査対象位置での画像コントラストを評価し、この画像コントラストが最大となる位置を合焦位置とする合焦位置検出手段とを備えたことを特徴とするパターン検査装置である。

【００１２】
（作用）したがって、本発明のパターン検査装置においては、撮像手段により取り込まれた画像の内において、画像処理手段によって位置特定形状が検出される。この位置特定形状は、標本内の画像認識しやすい形状が予め選択され設定されている。

【００１３】
また、検査対象特定手段によって、検出された位置特定形状の位置に基づき、検査対象位置が特定される。合焦位置検出手段による指令により、位置調整手段による結像手段，標本間の距離が変更され、その検査対象位置で合焦が検出される。

【００１４】
本発明では、この合焦位置で標本に対する合焦を行って検査対象位置が検査されるため、検査対象位置における合焦が確実に確保され、微小パターンでの寸法測定誤差等，検査誤差の少ないパターン検査装置とすることができる。

【００３３】
次に、測定モデル１８ａ上の測定部位１８ｂの中心点をトラックボールで入力すると、基準点１７ｂと測定部位１８ｂとのｘ方向距離及びｙ方向距離が演算され位置情報（ｘ，ｙ）が決定する。

【００３８】
この取り込んだ画像と、画像記憶部３に記憶された測定部位の位置検出情報とに基づき、画像検出部５による画像処理によって、図２（Ｂ）に示す特徴モデル１７ｃが検出され、基準点１７ｄが求められる。さらに基準点１７ｄを利用することにより、測定モデル１８ｃが検出され、測定部位１８ｄの位置情報がコントラスト検出部５に送出される（ＳＴ４）。なお、標本１６〜対物レンズ１４間の距離を変更する毎に測定モデル１８ｃの検出を行うのは、対物レンズ１４の標本直交軸から傾く移動や標本１６の傾きがあった場合、また対物レンズ移動軸と光軸が平行でない場合等でも、確実に測定部位１８ｄでのコントラスト検出ができるようにするためである。したがって、例えば対物レンズ１４の移動軸が標本１６との直交軸に確実に沿っており、かつ対物レンズ移動軸と光軸が平行な場合には、ステップＳＴ４の測定部位１８ｄ検出は対物レンズ１４を上限値に移動させた直後に１度だけ行えばよい。

Claims (9)

1. 標本に対する合焦を行って検査対象位置を検査するパターン検査装置において、
   前記標本を撮像する撮像手段と、
   標本像を前記撮像手段に投影する結像手段と、
   前記結像手段と前記標本との距離を調整する位置調整手段と、
   前記撮像手段により、取り込まれた画像の内での位置特定形状を検出する画像処理手段と、
   前記画像処理手段により検出された位置特定形状の位置に基づき、前記検査対象位置を特定する検査対象特定手段と、
   前記位置調整手段により前記結像手段，前記標本間の距離を変更し、前記検査対象位置で合焦検出を行う合焦位置検出手段とを備えたことを特徴とするパターン検査装置。
2. 標本に対する合焦を行って検査対象位置を検査するパターン検査装置において、
   前記標本を撮像する撮像手段と、
   標本像を前記撮像手段に投影する結像手段と、
   前記結像手段と前記標本との距離を調整する位置調整手段と、
   前記撮像手段により、取り込まれた画像の内での位置特定形状を検出する画像処理手段と、
   前記画像処理手段により検出された位置特定形状の位置に基づき、前記検査対象位置を特定する検査対象特定手段と、
   前記位置調整手段により前記結像手段，前記標本間の距離を変更し、各距離における前記検査対象位置での画像コントラストを評価し、この画像コントラストが最大となる位置を合焦位置とする合焦位置検出手段とを備えたことを特徴とするパターン検査装置。
3. 標本に対する合焦を行って検査対象位置を検査するパターン検査装置において、前記標本を撮像する撮像手段と、標本像を前記撮像手段に投影する結像手段と、前記結像手段と前記標本との距離を調整する位置調整手段と、前記撮像手段によって取り込まれる画像内で、標本における位置を特定する基準となる位置特定形状及びこの位置特定形状と前記検査対象位置との相対位置情報を保存する位置特定情報記憶手段と、前記撮像手段によって取り込まれた画像の内での前記位置特定形状を検出する画像処理手段と、前記画像処理手段により検出された前記位置特定形状の位置及び前記相対位置情報に基づき、前記検査対象位置を特定する検査対象特定手段と、前記位置調整手段により前記結像手段，前記標本間の距離を変更し、各距離における前記検査対象位置での画像コントラストを評価し、この画像コントラストが最大となる位置を合焦位置とする合焦位置検出手段とを備えたことを特徴とするパターン検査装置。
4. 前記検査対象位置での画像コントラストの評価に際し、前記位置調整手段により前記結像手段，前記標本間の距離を変更する度に、前記検査対象特定手段による前記検査対象位置の特定を行うことを特徴とする請求項２又は３記載のパターン検査装置。
5. 前記合焦位置検出手段による合焦位置の検出に際し、前記位置調整手段により前記結像手段，前記標本間の距離変更を最短距離もしくは最大距離から開始して当該距離を順次長くもしくは短くし、前記画像コントラストが減少した位置の一つ前の位置を合焦位置とすることを特徴とする請求項２又は３記載のパターン検査装置。
6. 前記合焦位置検出手段は、移動テーブルを有し、前記位置調整手段を上限位置から下限位置まで移動させ、全移動ステップごとに、前記検査対象位置のコントラスト情報を前記移動テーブルに記憶させ、全移動ステップの中で最大コントラストとなる位置を合焦位置として検出するようにしたことを特徴とする請求項２ないし５記載のパターン検査装置。
7. 前記検査対象位置が複数箇所設けられ、各検査対象位置の検査毎に前記合焦位置検出手段により検出された対応する合焦位置に合焦することを特徴とする請求項１ないし６のうち何れか一項記載のパターン検査装置。
8. 前記検査対象位置における検査は、寸法測定であることを特徴とする請求項１ないし７のうち何れか一項記載のパターン検査装置。
9. 前記画像処理手段は画像記憶部を有し、該画像記憶部に記憶された
   位置特定形状と比較することで位置特定形状を検出することを特徴とする請求項１ないし８記載のパターン検査装置。