JPH10262174A - 固体撮像装置 - Google Patents

固体撮像装置

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JPH10262174A
JPH10262174A JP9066418A JP6641897A JPH10262174A JP H10262174 A JPH10262174 A JP H10262174A JP 9066418 A JP9066418 A JP 9066418A JP 6641897 A JP6641897 A JP 6641897A JP H10262174 A JPH10262174 A JP H10262174A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】固体撮像素子の画素数で決まる本来の解像度に
比して、等価的な画素数を増加させた際に、解像度の向
上が制限されるという問題を改善する。 【解決手段】固体撮像素子15、16は1画素の受光部
の開口の大きさが水平、垂直方向ともに画素間隔のほぼ
1/n(n=2,3,…)で、互いの相対的位置関係が
水平、垂直方向ともに画素間隔の1/nずれて光学プリ
ズム14の光射出面145、146に配置される。圧電
素子17、18は光学情報と各固体撮像素子の受光部と
の相対的位置関係を、水平垂直方向の少なくとも1つの
方向に、画素間隔の1/nまたはその整数倍の間隔で変
位させる。各固体撮像素子の出力を処理する回路では、
光学情報と各固体撮像素子の受光部との相対的位置関係
のそれぞれの位置で取り込んだ映像情報を統合処理し、
高解像度映像信号を得る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、固体撮像素子
(例えば、CCD撮像素子等)を用い、固体撮像素子本
来の画素数で決まる解像度よりも高い解像度を得ること
のできる固体撮像装置の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】CCD撮像素子等の固体撮像素子を用い
た固体撮像装置は、小型、軽量、低消費電力で扱いやす
い、解像度の画面内一様性が良い、等の理由により、今
や特殊用途のごく一部の分野を除くと、撮像装置の主流
になっている。このことはX線による画像情報をX線イ
メージインテシファイア等で可視光に変換し、その可視
化された動画映像を撮影するX線撮影装置の分野に関し
ても同じである。
【0003】これらの固体撮像装置の解像度は、基本的
には固体撮像素子の画素数により決まる。一方、固体撮
像素子のチップサイズは製造上の観点からある大きさに
制限されるので、画素数が増加すると1画素当たりのサ
イズは必然的に小さくなり、その分、感度性能が劣化す
る、という問題点が発生する。そこで従来は固体撮像装
置のシステム上の工夫により、固体撮像素子の画素数で
決まる本来の解像度よりも高解像度の映像信号が得られ
る固体撮像装置が実用化されている(例えば文献1:原
田、他:“スウィングCCDイメージセンサー”、テレ
ビジョン学会誌、37、10、pp.826−832、
Oct.1983, 文献2:山中、他:“3CCDカ
ラーカメラの一方式”、テレビジョン学会誌、33、
7、pp.516−522、July1979)。文献
1はバイモルフ圧電素子を用いてCCD撮像素子の位置
を周期的に変位させることにより、画素数を等価的に増
加させるという方式である。また文献2は光学色分解プ
リズムの複数の光射出面に配置するCCD撮像素子の相
対的位置をずらすことにより、同じく画素数を等価的に
増加させるという方式である。
【0004】これらの従来の技術では以下のような問題
点がある。すなわち上記両手段ともそれぞれ単独では移
動位置制御特性や空間的位置合わせ制度の限界があった
り、さらには等価的に増加させた画素の受光部が相互に
重なり合ってしまい、結果として解像度の向上が得られ
なくなるという、いわゆるアパーチャ効果ゆえに、等価
的画素数の増加は水平、垂直それぞれの方向に2倍化
(全体としては2×2=4倍化)することが限度であっ
た。またこの問題は単に上記2方式を組み合わせただけ
では改善されるものではなかった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】以上述べたように、従
来の固体撮像装置では固体撮像素子の画素数を増やさず
に解像度特性を高めるために、被写体からの光学情報と
固体撮像素子上の受光部との相対的位置関係を移動もし
くはずらして等価的な画素数を増やすという手法を採用
してきた。しかし等価的に増加させた画素の受光部が隣
接画素間で重なり合ってしまい、いわゆるアパーチャ効
果のために解像度の向上が制限されるという問題があっ
た。
【0006】そこでこの発明は、固体撮像素子の画素数
で決まる本来の解像度に比して、システム上の工夫によ
り等価的な画素数を増加させた際に、解像度の向上が制
限されるという問題を改善する固体撮像装置を提供する
ことを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
にこの発明に係わる固体撮像装置は以下の手段で構成さ
れる。すなわち1画素中の受光部の開口の大きさが水
平、垂直方向ともに、それぞれ水平及び垂直方向の画素
間隔のほぼ1/n(n=2,3,…)である固体撮像素
子を少なくとも2個使用する。それらを、互いの相対的
位置関係が水平、垂直方向ともに、それぞれ水平及び垂
直方向の画素間隔の1/nだけずれるように光学プリズ
ム等の光学系の異なる光射出面に配置する。そして被写
体からの光学情報と上記各固体撮像素子上の受光部との
相対的位置関係を、水平、垂直方向の少なくとも1つの
方向に、その方向の画素間隔の1/nまたは1/nの整
数倍の間隔で変位させる手段と、上記被写体からの光学
情報と上記各固体撮像素子上の受光部との相対的位置関
係のそれぞれの位置において取り込んだ映像情報を統合
処理して、1つの高解像度映像信号を合成する手段とを
具備することを特徴とする。
【0008】またこの発明に係わる固体撮像装置は、X
線からの画像情報を可視光領域の波長に変換するX線イ
メージインテンシファイア等の画像変換部を有し、その
画像変換部から出力される可視光領域の光学情報を撮像
することを特徴とする。
【0009】このような手段によると、固体撮像素子の
画素数で決まる本来の解像度に比して、システム上の工
夫により等価的な画素数を増加させた際に、解像度の向
上が制限されるという問題を改善することができる。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。図1に本発明の固体撮像
装置の実施の形態を示すブロック構成図を示す。11は
X線イメージングインテンシファイアであり、その入力
部にはこの図では省略してあるが、X線管からのX線情
報が入力される。このX線イメージインテンシファイア
11の出力は可視光領域の光学像となり、光学レンズ系
12を経由して光学プリズム14に入射される。光学プ
リズム14は入射光を2分割し、その一方は光射出面1
45に出力された後CCD撮像素子15に結像される。
2分割された光学プリズム14への入射光の他方は光射
出面146に出力された後CCD撮像素子16に結像さ
れる。これらのCCD撮像素子15、16は、パルス発
生回路31からのパルスがCCD駆動回路30に入力さ
れて、そこから出力されるCCD駆動用のパルスが入力
されることにより、入射された光学像を電気信号に変換
する。
【0011】CCD撮像素子15、16と光学プリズム
14から構成される撮像ブロック13には圧電アクチュ
エータ17、18が取り付けられている。これらの圧電
アクチュエータ17、18は、パルス発生回路31から
のパルスがアクチュエータ駆動回路29に入力されて、
そこから出力されるアクチュエータ駆動用のパルスが入
力されることにより、図示してある矢印の方向(垂直方
向、水平方向)に微小変位する。その結果、撮像ブロッ
ク13が微小変位されるという構造になっている。なお
圧電アクチュエータ17は撮像ブロック13を画像の垂
直方向に変位させ、圧電アクチュエータ18は撮像ブロ
ック13を画像の水平方向に変位させるように配置され
ている。
【0012】CCD撮像素子15、16からの出力信号
はそれぞれプリアンプ19、20にて所定のレベルに増
幅された後、アナログ−ディジタル(以下A/Dと記
す)変換器21、22にてディジタル信号に変換され
る。それぞれの画像データはメモリ23、24に蓄えら
れた後、高解像度化処理回路25にて高解像度化され
る。その後はプロセス回路26にてガンマ補正などの非
線形処理等が施され、D/A変換器27に入力されてア
ナログ信号に変換されて出力端子28から出力される。
【0013】次にCCD撮像素子15、16の相対的位
置関係について述べる。図2は1画素中の受光部の大き
さを説明するための図であり、図3はCCD撮像素子1
5と16の相対的位置関係を説明するための図である。
図2においてPhとPvはそれぞれ1画素の水平、垂直
方向の長さであり、DhとDvは同様に受光部の水平、
垂直方向の長さである。図2では、概略 Dh=Ph/4, Dv=Pv/4 の関係がある。
【0014】図3において“A”はCCD撮像素子16
の受光部を示し、“B”はCCD撮像素子15の受光部
を示している。すなわち上記のような大きさの受光部を
持つ2つのCCD撮像素子15、16は、互いの相対的
位置関係が、水平方向にはPh/4だけ、垂直方向には
Pv/4だけずれて光学プリズム14の光射出面145
と146に固着されているのである。
【0015】次に2つのCCD撮像素子15、16が上
記のようにずれて配置されている撮像ブロック13を、
圧電アクチュエータ17、18によって変位させるとき
の変異量と変位方向について説明する。
【0016】図4はX線イメージインテンシファイア1
1の出力光学像と撮像ブロック13との位置関係を説明
するための図である。まず同図(a)は時刻t1におけ
る位置を示す。図示の簡略化のために受光部のみを示し
ている。この位置でまず光学情報を得る。次に同図
(b)は時刻t2における位置を示す。破線で囲まれた
部分は時刻t1における位置を示しており、右方向にP
h/2だけずれていることがわかる。時刻t1の時と同
様にこの位置で光学情報を得る。次に同図(c)は時刻
t3における位置を示す。破線で囲まれた部分は(b)
と同じく時刻t1における位置を示している。時刻t2
の位置からは下方向にPv/2だけずれていることがわ
かる。時刻t1、t2の時と同様にこの位置で光学情報
を得る。次に同図(d)は時刻t4における位置を示
す。破線で囲まれた部分は上記と同じく時刻t1におけ
る位置を示している。時刻t3の位置からは左方向にP
h/2だけずれていることがわかる。時刻t1、t2、
t3の時と同様にこの位置で光学情報を得る。そして図
示してはいないが、時刻t4から所定の時間後に上方向
にPv/2だけ変位して、元の時刻t1における位置に
戻り、以下この変位が繰り返されることになる。
【0017】これらの4つの位置で取り込んだ光学情報
を1つにまとめたものが同図(e)である。この図から
もわかるように、CCD撮像素子の本来の画素数に対し
て、画素密度は8倍になっていることがわかる。この統
合作業を図1のメモリ23、24と高解像度化処理回路
25にて行なうのである。
【0018】なお図4(e)では画像情報が無い部分も
あるが、必要であれば近接画素からの補間処理を行なう
ことにより、画素密度をCCD撮像素子の本来の画素数
に対して16倍にまで高めることができる。補間処理と
しては例えば注目画素の上下2画素の加算平均を採用す
る、という方法がある。
【0019】以上に述べたように上記した実施の形態で
は、1画素中の受光部の大きさが水平、垂直方向とも
に、1画素の水平、垂直方向の長さの1/4である固体
撮像素子を2個用いて、その相対的位置関係が、水平、
垂直方向ともに1/4画素間隔だけずれるように光学プ
リズムの光射出面に配置した。さらに光学プリズムと固
体撮像素子とから構成される撮像ブロック部を、圧電ア
クチュエータを用いて水平及び垂直方向に微小変位させ
ることができるようにした。これにより撮像される光学
情報と各固体撮像素子上の受光部との相対的位置関係を
1/2画素間隔ずつ左右上下に変位させた。そしてこれ
らの位置で得られた映像データを統合することにより、
固体撮像素子の本来の画素数に対して8乃至16倍の画
素密度を持つ映像信号を得ることができたのである。
【0020】上記した実施の形態では、1画素中の受光
部の大きさを、水平、垂直方向ともに、1画素の長さ1
/4であるとして説明したが、これに限るものではな
い。一般的には1画素中の受光部の開口の大きさが水
平、垂直方向ともに、それぞれ水平及び垂直方向の画素
間隔のほぼ1/n(n=2,3,…)である固体撮像素
子を少なくとも2個使用する。それらを、互いの相対的
位置関係が水平、垂直方向ともに、それぞれ水平及び垂
直方向の画素間隔の1/nだけずれるように光学プリズ
ム等の光学系の異なる光射出面に配置する。そして被写
体からの光学情報と上記各固体撮像素子上の受光部との
相対的位置関係を、水平、垂直方向の少なくとも2つの
方向に、その方向の画素間隔の1/nまたは1/nの整
数倍の間隔で変位させる手段と、上記被写体からの光学
情報と上記各固体撮像素子上の受光部との相対的位置関
係のそれぞれの位置において取り込んだ映像情報を統合
処理して、1つの高解像度映像信号を合成することを具
備していればよい。
【0021】また被写体からの光学情報と各固体撮像素
子上の受光部との相対的位置関係を変位させる手段とし
て、圧電アクチュエータを用いて撮像ブロック全体を変
位させるとして説明したがこれに限るものではなく、例
えば光学プリズムの前に複屈折作用を持つ光学部材を配
置し、その部材の光軸に対する傾きを変えることにより
相対的位置関係を変位させることもできる。
【0022】また光学プリズムに入射される光学像とし
て、X線イメージインテンシファイアの出力像を用いて
説明してきたが、これに限るものではない。ただしX線
イメージインテンシファイアの出力像のように、その波
長帯域が可視光領域内のある波長帯域に制限されている
(この例では緑色系統のみ)場合には、光学レンズの色
収差の影響をほぼ無視できるので、画像周辺部において
も高解像度効果を発揮できるという特徴はある。
【0023】また図1ではプロセス回路の位置として、
高解像度化処理回路の後段として説明したが、この位置
に限るものではなく、例えば高解像度化処理回路の前段
階でもよい。
【0024】以下のようにこの発明は上記した実施形態
に限定されるものではなく、このほかその要旨を逸脱し
ない範囲(例えばCCD撮像素子の個数や出力端子から
のアナログまたはディジタルの出力形態等)で種々変形
して実施することができる。
【0025】以上詳述したようにこの発明によれば、1
画素中の受光部の開口の大きさが水平、垂直方向とも
に、それぞれ水平及び垂直方向の画素間隔のほぼ1/n
(n=2,3,…)である固体撮像素子を少なくとも2
個使用する。それらを、互いの相対的位置関係が水平、
垂直方向ともに、それぞれ水平及び垂直方向の画素間隔
の1/nだけずれるように光学プリズム等の光学系の異
なる光射出面に配置する。そして被写体からの光学情報
と上記各固体撮像素子上の受光部との相対的位置関係
を、水平、垂直方向の少なくとも1つの方向に、その方
向の画素間隔の1/nまたは1/nの整数倍の間隔で変
位させる手段と、上記被写体からの光学情報と上記各固
体撮像素子上の受光部との相対的位置関係のそれぞれの
位置において取り込んだ映像情報を統合処理して、1つ
の高解像度映像信号を合成する手段とを具備している。
【0026】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明は、固体撮
像素子の画素数で決まる本来の解像度に比して、システ
ム上の工夫により等価的な画素数を増加させた際に、解
像度の向上が制限されるという問題を改善する固体撮像
装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の固体撮像装置の一実施の形態を示す
ブロック構成図。
【図2】この発明の一実施の形態における固体撮像素子
上の1画素内の受光部の大きさを説明するための図。
【図3】この発明の一実施の形態における2枚の固体撮
像素子の相対的位置関係を説明するための図。
【図4】この発明の一実施の形態における被写体からの
光学情報とプリズムとの相対的位置関係を説明するため
の図。
【符号の説明】
11…X線イメージインテンシファイア、 12…光学レンズ、 13…撮像ブロック、 14…光学プリズム、 145、146…光学プリズムの光射出面、 15、16…CCD撮像素子、 7、18…圧電アクチュエータ、 19、20…プリアンプ、 21、22…A/D変換器、 23、24…メモリ、 25…高解像度化処理回路、 26…プロセス回路、 27…D/A変換器、 28…出力端子、 29…アクチュエータ駆動回路、 30…CCD撮像素子駆動回路、 31…パルス発生回路。
【手続補正書】
【提出日】平成9年5月12日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 1画素中の受光部の開口の大きさが水
    平、垂直方向ともに、それぞれ水平及び垂直方向の画素
    間隔のほぼ1/n(n=2,3,…)である固体撮像素
    子を少なくとも2個使用し、それらを、互いの相対的位
    置関係が水平、垂直方向ともに、それぞれ水平及び垂直
    方向の画素間隔の1/nだけずれるように光学プリズム
    等の光学系の異なる光射出面に配置し、 被写体からの光学情報と上記各固体撮像素子上の受光部
    との相対的位置関係を、水平、垂直方向の少なくとも1
    つの方向に、その方向の画素間隔の1/nまたは1/n
    の整数倍の間隔で変位させる手段を設け、 上記被写体からの光学情報と上記各固体撮像素子上の受
    光部との相対的位置関係のそれぞれの位置において取り
    込んだ映像情報を統合処理して、1つの高解像度映像信
    号を合成する手段を設けたことを特徴とする固体撮像装
    置。
  2. 【請求項2】 X線からの画像情報を可視光領域の波長
    に変換するX線イメージインテンシファイア等の画像変
    換部を有し、その画像変換部から出力される可視光領域
    の光学情報を前記固体撮像素子により撮像することを特
    徴とする請求項1記載の固体撮像装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2001078411A1 (de) * 2000-04-07 2001-10-18 Pilz Gmbh & Co. Schutzvorrichtung zum absichern eines gefahrenbereichs sowie verfahren zum überprüfen der funktionssicherheit einer solchen
WO2004059267A1 (ja) * 2002-12-25 2004-07-15 Japan As Represented By The President Of The University Of Tokyo 光分配型撮像装置および撮像方法

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