JPH10264249A - フィルム張付装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板上に、ラミネーション液を介してフィル
ムを圧着するフィルム張付装置において、ラミネーショ
ン液を、パターン形成領域を不必要に濡らしたりするこ
となく塗布する。 【解決手段】 フィルム張付装置１０において、基板搬
送面１４上を搬送される基板１２の幅方向に、シリンジ
２６を移動してラミネーション液を基板１２に滴下する
際に、一旦受け皿２２の液溜り部２２Ａにラミネーショ
ン液１６を溜めてから、液流出口２２Ｂを経て基板１２
上に滴下させ、受け皿２２を上昇させて液溜り部２２Ａ
の上面２２Ｃによってシリンジ２６の吐出口２６Ａを閉
じることにより、ラミネーション液の塗布を停止させ、
これによって基板１２上の所定範囲に精密にラミネーシ
ョン液を塗布する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、水等のラミネー
ション液を基板に付着させてから該基板のフィルム張付
面にラミネーションロールによりフィルムを張付けるよ
うにされたフィルム張付装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ等の電子機器に使用される
プリント配線板、液晶ディスプレイパネル、プラズマデ
ィスプレイパネル等には、その製造工程において、基板
に感光性樹脂（フォトレジスト）層を張付けて所定パタ
ーンを焼付形成するという工程を採用しているものがあ
る。

【０００３】この種のプリント配線板等の製造工程で
は、まず絶縁性基板上に設けられた導電層上に感光性樹
脂層と、それを保護する透光性支持フィルム（保護膜）
とからなる積層体フィルムを、いわゆるラミネータと称
されるフィルム張付装置により熱圧着させる。

【０００４】前記のようなフィルム張付装置に関して
は、従来から多くの提案がなされていて、本出願人も、
例えば特開昭６３−２０８０３７号公報、特開平３ー７
３４４号公報等で開示されるような発明を提案してい
る。

【０００５】一般的に、フィルム張付装置により基板に
張付けられる積層体フィルムは、透光性支持フィルムに
感光性樹脂層を塗布したものに、カバーフィルムを積層
させてなり、基板に感光性樹脂層側を張付ける前に、前
記カバーフィルムを剥離させるようになっている。

【０００６】前記のようなフィルム張付装置により、積
層体フィルムを基板に圧着する際しては、積層体フィル
ムの感光性樹脂層と基板との間に空気が入る場合があ
り、その場合両者の接着面に微細な気泡（空泡）が発生
することがある。

【０００７】この気泡は、感光性樹脂層と基板の密着性
を損ない、微細なライン幅を有する配線パターン等を基
板上に形成する工程においては、ラインの部分的欠落の
原因、換言すれば圧着製品の不良の原因となる。

【０００８】このような気泡の発生を防止して、感光性
樹脂層と基板の密着性を良好にするために、圧着前の基
板のフィルム張付面に、水、メタノール水溶液、接着性
物質（例えばポリビニールアルコールの水溶液、又は、
アルコール水溶液、フォトレジスト溶液）等に例示され
るラミネーション液を付着させてからフィルムを圧着す
るフィルム張付装置が提案されている。

【０００９】ここで、上記のようなラミネーション液を
基板のフィルム張付面に付着させる場合、該ラミネーシ
ョン液がフィルム張付面にできるだけ薄く且つ均一に付
着されるのが望ましい。

【００１０】これは、過剰なラミネーション液が基板の
幅方向両端から溢れて裏面にまで流出し、更には搬送ロ
ール、ラミネーションロールを汚してしまうことを防止
するためである。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】上述のように、ラミネ
ーション液を基板幅方向に塗布する場合、該ラミネーシ
ョン液が基板幅方向端部から溢れると、これが基板裏面
にまで流れ出し、搬送ローラ、ラミネーションロール等
を汚すことになり、これが次回以降のフィルムの圧着時
にフィルム表面を汚したりしてしまうという問題点が生
じる。

【００１２】従って、ラミネーション液の塗布は、その
量のみならず、基板の搬送方向（幅）及び基板幅方向
（長さ）にも厳密にその範囲が制御されなければならな
い。

【００１３】このように、基板上面にラミネーション液
をその幅及び長さを厳密に制御して塗布しようとする場
合、例えばシリンジ等の、下端に吐出口を有する装置を
基板上面に沿ってその幅方向に走行させつつラミネーシ
ョン液を滴下（又は流下）させることが考えられるが、
ラミネーション液を吐出圧をもって基板上面に供給する
際に、吐出圧の変動等によってその塗布幅が微妙に変化
してしまうという問題点がある。

【００１４】更に、基板幅方向にラミネーション液を塗
布する際、その始点及び終点において、吐出口からのラ
ミネーション液の供給をオン・オフしなければならない
が、通常、シリンジからの液体供給時には、シリンジ内
液体を空気により加圧し、停止時には空気圧を零又は弱
い負圧にしている。

【００１５】しかし、空気圧を零又は弱い負圧にしたの
みでは、吐出口からのラミネーション液の滴下を瞬間的
に停止させることが不可能であり、瞬間的停止のために
は、ラミネーション液に強い負圧を作用させることが考
えられる。

【００１６】しかしながら、このようにラミネーション
液に強い負圧を作用させると、その際に気泡が吐出口か
ら入り込んでしまう。ラミネーション液に入り込んだ気
泡は、次回以降にラミネーション液に混入した状態で基
板上面に塗布されてしまい、これがフィルム圧着状態で
の気泡の原因となってしまうという問題点が生じる。

【００１７】従って、ラミネーション液供給のオン・オ
フに際して、ラミネーション液に強い負圧を作用させる
ことはできない。

【００１８】この発明は、上記問題点に鑑みてなされた
ものであって、ラミネーション液供給圧力の変動に影響
されることなく、且つ、ラミネーション液に強い負圧を
かけることなく一定の線幅及び長さでラミネーション液
をフィルム上面に塗布することができるようにしたフィ
ルム張付装置を提供することを目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本発明は、請求項１のよ
うに、基板を、基板搬送面に沿って水平に搬送すると
き、該基板の搬送方向先端近傍上面にラミネ−ション液
により液層を形成し、この液層上にフィルムを重ね、基
板の搬送方向先端側から該フィルムとともに上下一対の
ラミネ−ションロ−ル間に通して該フィルムを基板上面
に、搬送方向先端側から後端側に順次圧着していくフィ
ルム張付装置において、前記基板搬送面の上方を、該基
板搬送面からわずかに離間した状態で、基板幅方向に、
且つ、水平に移動自在とされるとともに、上面に、上方
から流出されるラミネ−ション液を受けてこれを溜める
液溜り部及びこの液溜り部内のラミネ−ション液を導
き、前記基板搬送面の上方から流出させる液流出口を備
えた受け皿と、前記液流出口からのラミネ−ション液の
流出を停止させる流出停止装置と、を設けることにより
上記目的を達成するものである。

【００２０】請求項２のように、前記液溜り部の上方
に、前記受け皿とともに基板幅方向に移動されるラミネ
−ション液吐出口を配置するとともに、前記受け皿を、
該吐出口及び前記基板搬送面に対して上下動自在、且
つ、上昇時に、前記液溜り部の上面により前記ラミネ−
ション液吐出口を下方から塞ぐようにして、前記流出停
止装置を構成してもよい。

【００２１】請求項３のように、前記受け皿を、前記基
板搬送面に対して上下動自在とするともに該受け皿上昇
時に、上方から前記液流出口を塞ぐ弁体を、前記受け皿
とともに基板幅方向に移動自在、且つ、前記基板搬送面
に対して高さを固定に設けて、前記流出停止装置を構成
してもよい。

【００２２】請求項４のように、前記受け皿の前記液流
出口を、該受け皿の前記基板搬送面上における移動方向
前方に向けて形成され、且つ、該受け皿の底面の基板搬
送方向の幅を、基板上におけるにラミネ−ション液の液
層の目標幅とほぼ等しくしてもよい。

【００２３】請求項５のように、前記受け皿の前記液溜
り部にラミネ−ション液を滴下する手段を、下向きに滴
下口が配置されたシリンジとしてもよい。

【００２４】この発明によれば、ラミネーション液塗布
時の線幅及び基板幅方向の塗布範囲を精密に制御するこ
とができる。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態の例を図
面を参照して詳細に説明する。

【００２６】図１に示されるように、この発明に係るフ
ィルム張付装置１０は、上面にパターン形成領域１３
（図２参照）が設けられている基板１２を、基板搬送面
１４に沿って水平に搬送するとき、該基板１２の搬送方
向先端近傍上面に水等のラミネーション液１６により液
層１６Ａを形成し、この液層１６Ａ上にフィルム１８を
重ね、基板１２の搬送方向先端から該フィルム１８と共
に上下一対のラミネーションロール２０Ａ、２０Ｂ間に
通して、該フィルム１８を基板１２上面に、搬送方向先
端側から後端側に順次圧着していくものであり、フィル
ム張付開始前に、前記基板１２上面のパターン形成領域
１３と基板先端縁１２Ａとの間であって、基板搬送方向
には、前記パターン形成領域１３の先端縁１３Ａから僅
かに基板先端縁１２Ａ側に離間した位置から大きくとも
基板先端縁１２Ａまでの範囲で、且つ、基板幅方向には
基板幅方向両端から少なくとも５ｍｍ内側の領域に、前
記液層１６Ａを形成するようにしたものである。

【００２７】前記基板１２の上面にラミネーション液１
６の液層１６Ａを形成するための手段は、基板搬送面１
４の上方に離間した状態で、基板幅方向に、且つ水平に
移動自在とされると共に、上面に、上方から流出される
ラミネーション液１６を受けて、これを溜める液溜り部
２２Ａ及びこの液溜り部２２Ａ内のラミネーション液１
６を導き、前記基板１２の上方から流出させる液流出口
２２Ｂを備えた受け皿２２と、前記受け皿２２と基板幅
方向に一体的に移動されると共に、該受け皿２２の移動
中に、前記液溜り部２２Ａにラミネーション液１６を滴
下させるシリンジ２６と、を備えて構成されている。

【００２８】前記流出停止装置２４は、前記受け皿２２
を、前記シリンジ２６の吐出口２６Ａ及び前記基板搬送
面１４に対して上下動自在、且つ、上昇時に、前記液溜
り部２２Ａの上面２２Ｃにより前記ラミネーション液吐
出口２６Ａを下方から塞ぐようにして構成されている。

【００２９】前記受け皿２２及びシリンジ２６は、共に
スライダ２８に取り付けられ、該スライダ２８を基板幅
方向に移動させることによって、一体的に移動できるよ
うにされている。

【００３０】ここで、前記受け皿２２は、図３〜図６に
示されるように、前記スライダ２８から鉛直下方に延在
し、その下端が基板搬送面１４上方近傍に至る支持ロッ
ド３０下端に水平方向及び基板幅方向に長く取り付けら
れ、且つ前記液流出口２２Ｂが基板幅方向に一方に向け
られるようにして取り付けられている。

【００３１】前記支持ロッド３０は、その上端におい
て、上下駆動装置３２及び支持プレート３４を介して前
記スライダ２８に取り付けられ、これにより、前記受け
皿２２は、その上面２２Ｃが上下方向に位置固定のシリ
ンジ２６下端の吐出口２６Ａに下方から接触して、これ
を塞ぐ流出停止位置、及び、下面２２Ｄが基板搬送面１
４上の基板１２の上面に所定の間隔をもって位置する塗
布位置との間で選択的に上下動されるようになってい
る。

【００３２】前記シリンジ２６は、前記スライダ２８上
端の水平の支持プレート３４に端面から、前記支持ロッ
ド３０と平行に垂下した支持部材３４Ａの下端に、チャ
ッキング装置３６により着脱自在に取り付けられてい
る。

【００３３】前記シリンジ２６には、ラミネーション液
供給源（図示省略）から、供給ホース２７を介してラミ
ネーション液が供給されるようになっている。又、シリ
ンダ２６には、加圧／減圧切替弁３１を介して空気圧が
印加され、加圧時にはその圧力に応じて吐出口２６Ａか
らラミネーション液が吐出され、減圧時には吐出が停止
されるようになっている。なお減圧は、吐出口２６Ａか
ら空気が逆流しないように弱くされている。

【００３４】前記支持ロッド３０は、長孔３０Ａ及びね
じ３０Ｂによって、前記上下駆動装置３２の側面に上下
方向一定範囲で取付位置調節自在に支持されている。

【００３５】又、前記支持プレート３４も、前記スライ
ダ２８に対して、スライドブッシュ３４Ａ及びねじ３４
Ｂによって、基板幅方向に一定範囲で位置調節自在に取
り付けられている。

【００３６】前記スライダ２８は、前記基板搬送面１４
の上側位置で、且つ前記ラミネーションロール２０Ａ、
２０Ｂの入側に接近した位置で基板１２の幅方向（ラミ
ネーションロール２０Ａ、２０Ｂの軸方向）に配置され
たガイドレール３８に摺動自在に嵌合し、該ガイドレー
ル３８に沿って基板幅方向に水平に往復動できるように
されている。

【００３７】前記スライダ２８には、ガイドレール３８
と平行に配置されたフィードスクリュー４０がその中心
部に螺合貫通し、該フィードスクリュー４０をカップリ
ング４２を介してサーボモータ４４によって回転駆動す
ることにより、その回転方向に応じて、前記スライダ２
８がガイドレール３８に沿って移動されるようになって
いる。

【００３８】図４の符号４６は、フィードスクリュー４
０の軸方向両端を軸受け４６Ａを介して回転自在に支持
するための支持フレーム、４８は、前記ガイドレール３
８の下端を支持するための下フレーム、５０は、この下
フレーム４８を支持するサイドフレーム、図６の符号３
８Ａは、ガイドレール３８とスライダ２８との間に介在
され、スライダ２８をガイドレール３８に沿って円滑に
案内するためのベアリングをそれぞれ示す。

【００３９】又、図１〜図５の符号５２は基板ストッパ
を示す。この基板ストッパ５２は、ラミネーションロー
ル液を塗布する際に、基板搬送面１４の下方位置からエ
アシリンダ５４によって突出され、基板搬送面１４を形
成する搬送ローラ１５によって搬送されてくる基板１２
の先端縁１２Ａに当接して、ラミネーション液１６を塗
布する位置に停止させるものである。基板ストッパ５２
は、ラミネーション液塗布後はエアシリンダ５４によっ
て基板搬送面１４よりも下方に引き込み、基板１２はラ
ミネーションロール２０Ａ、２０Ｂ方向に搬送可能とな
る。

【００４０】前記スライダ２８は、基板搬送面１４上の
基板１２の幅方向一端外側から、該基板１２上を横切っ
て反対側の幅方向端部から外側位置に至り停止される
が、このスライダ２８の基板１２の幅方向両端外側の停
止位置の下方には、図１、図４、図５に示されるよう
に、一対の液受けトレイ５６Ａ、５６Ｂが配置され、前
記受け皿２２から溢出したラミネーション液を受け止め
るようにされている。

【００４１】図１、図４、図５の符号５８は、前記搬送
ローラ１５の下方位置で、左右のサイドフレーム５０に
両端が支持されて、基板幅方向に張り渡された水平のボ
トムプレートを示す。このボトムプレート５８には、前
記基板ストッパ５２を駆動するエアシリンダ５４、前記
液受けトレイ５６Ａ、５６Ｂがそれぞれ支持されてい
る。

【００４２】又、図１、図５の符号６０は、搬送ローラ
１５上を搬送される基板１２の幅方向両側端縁に転接し
て、その幅方向の位置決めをするためのガイドローラを
示す。

【００４３】図７に示されるように、前記フィードスク
リュー４０を介してスライダ２８を往復動させるための
サーボモータ４４、受け皿２２を上下方向に駆動するた
めの上下駆動装置３２、シリンジ２６へのラミネーショ
ン液１６の供給をオン・オフするためのバルブ６２、基
板ストッパ５２を駆動するためのエアシリンダ５４、搬
送ローラ１５、及び上側のラミネーションロール２０Ａ
を、下側のラミネーションロール２０Ｂとの隙間が、基
板１２とフィルム１８の厚さの和よりも僅かに小さくな
るように上下方向に移動して調節するためのラミネーシ
ョンロール位置調節装置６４とが、制御装置６６によっ
て制御されるようになっている。

【００４４】図１、図７の符号８０、８２は基板搬送面
１４上を搬送される基板１２の先端及び後端を光学的に
検出する基板先端センサ及び基板後端センサをそれぞれ
示す。これらの検出信号は制御装置６６に入力されるよ
うになっている。

【００４５】又、前記受け皿２２における液流出口２２
Ｂは、図２〜図５において右方向に移動するとき、受け
皿２２の後端に位置するようにされている。又、ラミネ
ーション液がパターン形成領域１３方向に流出しないよ
うに基板先端縁１２Ａ方向に所定角度（１０°〜４５
°、ここでは２６°）に傾けられている。

【００４６】図１の符号６８は、フィルム１８を巻き出
すためのフィルム供給ロール、７０はこのフィルム供給
ロールから巻き出されたフィルム１８から分離ロール７
１により剥離されるカバーフィルム１８Ａを巻き取るた
めの巻取りロールをそれぞれ示す。

【００４７】前記フィルム供給ロール６８は、例えばト
ルクモータにより駆動され、上側のラミネーションロー
ル２０Ａとの間で、フィルム１８が垂れ下がらないよう
に、フィルム１８に常時一定の張力を付与するようにさ
れている。又、フィルム１８は基板１２よりも広幅であ
るが、これは基板１２と同一幅又はこれより狭幅であっ
てもよい。

【００４８】前記下側のラミネーションロール２０Ｂに
は、フィルム１８が張り付けられるべき基板１２の幅よ
りも広幅の液だれ受けシート７２が巻き掛けられ、基板
１２の上面に塗布されてから、その幅方向両端から溢出
したラミネーション液がラミネーションロール２０Ｂの
表面に付着することを阻止するようにされている。

【００４９】この液だれ受けシート７２は、例えばポリ
エステルフィルムからなり、フィルムロール７４から巻
き出され、ガイドロール７５Ａ、７５Ｂを経てラミネー
ションロール２０Ｂに巻き掛けられた後、フリーローラ
７６を経て、巻取りロール７８に巻き取られ、ラミネー
ションロール２０Ａ、２０Ｂの間の位置で基板１２と等
速度で送られることにより、基板１２と摩擦を生じたり
することなく、ラミネーション液１６を受けるようにさ
れている。

【００５０】次に、上記フィルム張付装置１０におい
て、フィルム１８の張付前に、基板１２の上面にラミネ
ーション液を塗布する過程について説明する。

【００５１】まず、ラミネーションロール位置調節装置
６４により、上側のラミネーションロール２０Ａを下側
のラミネーションロール２０Ｂとの隙間が基板１２とフ
ィルム１８の厚さの和よりも僅かに小さくなるようにセ
ットする。

【００５２】このとき、スライダ２８はガイドレール３
８上で、図４及び図５に実線で示されるように、基板搬
送面１４の幅方向左側に外れた位置にセットしておく。
又、上下駆動装置３２により、受け皿２２を上方位置で
あって、且つシリンジ２６の吐出口２６Ａを液溜り部２
２Ａの上面２２Ｃによって閉じる状態としておく。

【００５３】次に、基板１２を搬送ローラ１５により送
り込むと、その先端が基板先端センサ８０により検出さ
れ、この検出信号に基づいて、制御装置６６によりエア
シリンダ５４が作動され、基板ストッパ５２が基板搬送
面１４の位置にまで突出される。

【００５４】基板１２が基板搬送面１４に沿って進行
し、その先端縁１２Ａが前記基板ストッパ５２に当接す
る時間に、制御装置６６により搬送ローラ１５を停止さ
せる。

【００５５】次に、制御装置６６からの指令に基づい
て、サーボモータ４４によりフィードスクリュー４０を
駆動し、スライダ２８を、基板１２の、図４及び図５に
おいて左側端部から右方向に進行させる。

【００５６】スライダ２８と共に、受け皿２２が進行す
る際に、前記上下駆動装置３２により受け皿２２を図２
に示されるように、あるいは図３及び図６において二点
鎖線で示されるように、シリンジ２６の吐出口２６Ａか
ら下方に離間した塗布位置にセットする。

【００５７】同時に、前記バルブ６２を開き、チューブ
２７を介してシリンジ２６にラミネーション液を供給す
ると、吐出口２６Ａからラミネーション液１６が液溜り
部２２Ａに吐出され、ここから液流出口２２Ｂを経て下
方に流出する。

【００５８】この液流出口２２Ｂからのラミネーション
液流出のタイミングは、基板１２の図４及び図５におい
て左側端部から約５ｍｍの位置からラミネーション液１
６が基板１２上に流出を開始するように設定しておく。

【００５９】基板１２の上面に流出したラミネーション
液は、液流出口２２Ｂからの単位時間当りのラミネーシ
ョン液流出量が一定であれば、幅及び厚さ（高さ）が一
定の液層１６Ａを形成する。

【００６０】この液層１６Ａが塗布される範囲を、図２
に示されるように、基板１２の上面におけるパターン形
成領域１３の先端縁１３Ａと、基板１２の先端縁１２Ａ
との間であって、先端縁１３Ａから図２において左方向
に僅かに離間した位置から、基板先端縁１２Ａとの間の
範囲に液層１６Ａが形成されるようになる。

【００６１】シリンジ２６からラミネーション液１６を
供給しつつ、受け皿２２を図２において右方向に移動さ
せ、液層１６Ａを形成していくが、その終端は、基板１
２の図２において右側端部から５ｍｍ離れた内側の位置
までとする。

【００６２】これは、液流出口２２Ｂが、基板１２の図
２において左側端部から５ｍｍの位置となるときバルブ
６２を閉じると共に、上下駆動装置３２により受け皿２
２を上昇させて、その液溜り部２２Ａの上面２２Ｃによ
りシリンジ２６の吐出口２６Ａを閉じるようにすればよ
い。

【００６３】このようにすると、シリンジ２６内又はそ
の液供給系を負圧にすることなく、シリンジ２６からの
ラミネーション液１６の滴下を直ちに停止させることが
できる。従って、受け皿２２及びシリンジ２６を停止さ
せた後もラミネーション液が基板１２上に余分に滴下さ
れることがない。

【００６４】ここで、基板幅方向両端位置での液層１６
Ａの厚さが少ない場合、即ち、液量が少ない場合がある
ので、このときは、受け皿２２を下降させた直後及び上
昇させる直前に一定時間受け皿２２の基板幅方向の移動
を停止させて、図２において２点鎖線１６Ｂで示される
ようにラミネーション液供給量を増加させるとよい。

【００６５】なお、シリンジ２６及び受け皿２２の移動
は、これらが基板１２の上面から外側に移動した後にサ
ーボモータ４４を停止させればよい。このようにする
と、シリンジ２６からのラミネーション液吐出が停止さ
れた後に、液溜り部２２Ａに残っていたラミネーション
液が液流出口２２Ｂから流出しても、これが基板１２上
に落下することがない。

【００６６】液層１６Ａを形成した後に吐出されるラミ
ネーション液は、前記液受けトレイ５６Ａ、５６Ｂによ
って受け止められ、フィルム張付装置１０の下方を汚し
たりすることがない。

【００６７】ラミネーション液の液層１６Ａを形成した
後は、前記スライダ２８を、図４及び図５において、基
板搬送面１４の右外側に一定時間停止させ、液溜り部２
２Ａに残ったラミネーション液を排出させる。

【００６８】この後、前記サーボモータ４４によってフ
ィードスクリュー４０を、前記とは逆方向に回転させ、
スライダ２８を図４、図５において実線で示される原位
置に戻す。

【００６９】ラミネーション液の塗布後は、エアシリン
ダ５４により基板ストッパ５２を、基板搬送面１４から
下方に引き込め、搬送ローラ１５を駆動して基板１２を
ラミネーションロール２０Ａ、２０Ｂ方向に搬送させる
と、基板１２の先端がラミネーションロール２０Ａ、２
０Ｂ間の隙間に入り込む。

【００７０】この状態で、ラミネーションロール２０Ｂ
を駆動すると、基板１２が図１において右方向に進行す
ると同時に、フィルム１８が基板１２の上面に、前記ラ
ミネーション液１６を介して圧着されることになる。

【００７１】このとき、ラミネーションロール２０Ａ、
２０Ｂの回転の際に、下側のラミネーションロール２０
Ｂに巻き掛けられている液だれ受けシート７２も同方向
に、基板１２の裏面に接触しながら回転する。

【００７２】なお、上側及び下側のラミネーションロー
ル２０Ａ、２０Ｂの間の予め設定されている隙間に、基
板１２及びフィルム１８がその先端側から入り込むよう
に進行するので、フィルム１８が先端側から順次押圧さ
れることになり、基板１２とフィルム１８と間のラミネ
ーションロール液が基板１２の先端側から後端側及び幅
方向両端に向けて拡がっていき、基板１２の先端側から
ラミネーション液が溢出することはない。

【００７３】従って、ラミネーションロール２０Ａ、２
０Ｂによってフィルム１８が基板１２に圧着された結
果、両者の間からラミネーション液が基板幅方向にはみ
出しても、これが液だれ受けシート７２に補捉されて、
そのまま巻取りロール７８に巻き取られてしまうので、
ラミネーション液がラミネーションロール２０Ｂあるい
はここからラミネーションロール２０Ａ、搬送ローラ１
５等に付着して、これらを汚染することが防止される。

【００７４】又、液だれ受けシート７２は、第２のガイ
ドロール７５Ｂにより基板搬送面１４の下側に接近した
経路を通るので、下側ラミネーションロール２０Ｂの入
側で基板１４から落下するラミネーション液を補捉する
ことができる。

【００７５】又、基板１４及びフィルム１８の後端側か
ら溢出するラミネーションロール液があっても、液だれ
を受けシート７２により補捉されるので下側ラミネーシ
ョンロール２０Ｂを汚すことがない。

【００７６】更に、出側においては、液だれ受けシート
７２が出側ガイドロール７６により下向きに案内される
ので、該液だれ受けシート７２上に落下したラミネーシ
ョン液が基板１２の下面に付着することが極めて少な
い。

【００７７】なお、ラミネーションロール２０Ａ、２０
Ｂの出側で、下側ラミネーションロール２０Ｂから基板
１２の下面に伝わっていくわずかなラミネーションロー
ル液がある場合には、下流側で水により洗浄し、その後
洗浄水を吹き取ることにより処理すればよい。

【００７８】フィルム１８の基板１６への張付完了後
は、カッター（図示省略）、又は、手作業によりフィル
ム１８を基板１２の後端側で切断する。

【００７９】なお、上記フィルム張付装置１０によるラ
ミネーション液の塗布は、パターン形成領域１３の先端
縁１３Ａと基板１２の先端縁１２Ａとの間であって、両
者間の幅の約１／３の幅で液層１６Ａを形成するもので
あるが、本発明はこれに限定されるものでなく、パター
ン形成領域１３の先端縁１３Ａから離間していれば、基
板１２の先端縁１２Ａに至る範囲までであってもよい。

【００８０】又、上記受け皿２２に設けられた液流出口
２２Ｂは、受け皿２２の進行方向後側に設けられている
が、本発明はこれに限定されるものでなく、例えば図８
に示されるように、液流出口２２Ｅを受け皿２２の、進
行方向に対して側面に設けるようにしてもよい。

【００８１】この場合は、受け皿２２の、基板幅方向の
往路、復路の両方においてラミネーション液を塗布する
ことができる。又、液流出口２２Ｂは受け皿２２の進行
方向前側とすると、基板１２の上面に流出したラミネー
ション液が、その表面張力によって一旦基板１２上で盛
り上がった形状となるが、ここに受け皿２２が進行して
くるので、該受け皿２２を基板１２に接近させておけ
ば、その下面２２Ｄによって押さえられ、基板１２の上
面から所定高さの液層１６Ａが形成されることになる。

【００８２】上記受け皿２２は、上下駆動装置３２によ
って上方に駆動されたとき、その液溜り部２２Ａの上面
２２Ｃによってシリンジ２６の吐出口２６Ａを閉じ、ラ
ミネーション液の流出を停止させるものであるが、ラミ
ネーション液の粘性が高い場合、あるいは液溜り部２２
Ａに溜ったラミネーション液の排出が早くない場合は、
シリンジ２６の吐出口２６Ａを閉じた後も液流出口２２
Ｂあるいは２２Ｅからのラミネーション液流出が有り得
る。

【００８３】このような場合は、図９に示されるよう
に、シリンジ２６側に弁体２６Ｂを設け、受け皿２２が
上昇して液溜り部２２Ａの上面２２Ｃが吐出口２６Ａを
閉じるタイミングで、前記弁体２６Ｂが、前記液流出口
２２Ｂ又は２２Ｅを閉じるようにするとよい。

【００８４】なお、上記フィルム張付装置１０におい
て、ラミネーション液はシリンジ２６から液溜り部２２
Ａに吐出されるように構成されているが、本発明はこれ
に限定されるものでなく、例えばバルブ６２の吐出口か
ら直接ラミネーション液を吐出するようにしてもよい。

【００８５】なお、フィルム１８は感光性樹脂層を有し
ないもの、有するもののどちらでもよい。更に、ラミネ
ーションロール２０Ａ、２０Ｂは加熱型、非加熱型のど
ちらでもよく、その材質は、金属ロールにゴムを被覆し
たもの、金属ロール等でもよく、形状はストレートロー
ル、あるいは、軸方向中央部が両端よりも直径が大きい
クラウンロールであってもよい。

【００８６】

【発明の効果】本発明は上記のように構成したので、塗
布範囲を精密に制御して、基板上面のパターン形成領域
を不必要に膨潤させたりすることなく、又、基板の幅方
向端部からのラミネーション液溢出を最小限にして、ラ
ミネーション液を塗布することができるという優れた効
果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るフィルム張付装置を示す略示側面
図

【図２】同フィルム張付装置の要部におけるラミネーシ
ョン液塗布過程を示す斜視図

【図３】同フィルム張付装置のラミネーション液塗布部
分を拡大して示す正面図

【図４】同フィルム張付装置の要部を示す略示正面図

【図５】同平面図

【図６】図４のVI−VI線に沿う拡大断面図

【図７】上記フィルム張付装置の制御系を示すブロック
図

【図８】フィルム張付装置の他の実施の形態の例を示す
図２と同様の斜視図

【図９】フィルム張付装置の更に他の実施の形態の例を
示す図２及び図８と同様の斜視図

【符号の説明】

１０…フィルム張付装置 １２…基板 １２Ａ…先端縁 １３…パターン形成領域 １３Ａ…先端縁 １４…基板搬送面 １６…ラミネーション液 １６Ａ…液層 １８…フィルム ２０Ａ、２０Ｂ…ラミネーションロール ２２…受け皿 ２２Ａ…液溜り部 ２２Ｂ、２２Ｅ…液流出口 ２２Ｃ…上面 ２２Ｄ…下面 ２４…流出停止装置 ２６…シリンジ ２６Ａ…吐出口 ２６Ｂ…弁体 ２８…スライダ ３２…上下駆動装置 ４０…フィードスクリュー ４４…サーボモータ ５２…基板ストッパ ５６Ａ、５６Ｂ…液受けトレイ ６２…バルブ ６６…制御装置

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成９年４月１０日

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図２

【補正方法】変更

【補正内容】

【図２】

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図３

【補正方法】変更

【補正内容】

【図３】

【手続補正３】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図４

【補正方法】変更

【補正内容】

【図４】

【手続補正４】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図５

【補正方法】変更

【補正内容】

【図５】

【手続補正５】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図６

【補正方法】変更

【補正内容】

【図６】

【手続補正６】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図７

【補正方法】変更

【補正内容】

【図７】

【手続補正７】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図８

【補正方法】変更

【補正内容】

【図８】

【手続補正８】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図９

【補正方法】変更

【補正内容】

【図９】

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板を、基板搬送面に沿って水平に搬送す
   るとき、該基板の搬送方向先端近傍上面にラミネ−ショ
   ン液により液層を形成し、この液層上にフィルムを重
   ね、基板の搬送方向先端側から該フィルムとともに上下
   一対のラミネ−ションロ−ル間に通して該フィルムを基
   板上面に、搬送方向先端側から後端側に順次圧着してい
   くフィルム張付装置において、 前記基板搬送面の上方を、該基板搬送面からわずかに離
   間した状態で、基板幅方向に、且つ、水平に移動自在と
   されるとともに、上面に、上方から流出されるラミネ−
   ション液を受けてこれを溜める液溜り部及びこの液溜り
   部内のラミネ−ション液を導き、前記基板搬送面の上方
   から流出させる液流出口を備えた受け皿と、前記液流出
   口からのラミネ−ション液の流出を停止させる流出停止
   装置と、を有してなるフィルム張付装置。
2. 【請求項２】請求項１において、前記液溜り部の上方
   に、前記受け皿とともに基板幅方向に移動されるラミネ
   −ション液吐出口を配置するとともに、前記受け皿を、
   該吐出口及び前記基板搬送面に対して上下動自在、且
   つ、上昇時に、前記液溜り部の上面により前記ラミネ−
   ション液吐出口を下方から塞ぐようにして、前記流出停
   止装置を構成したことを特徴とするフィルム張付装置。
3. 【請求項３】請求項１において、前記受け皿を、前記基
   板搬送面に対して上下動自在とするともに該受け皿上昇
   時に、上方から前記液流出口を塞ぐ弁体を、前記受け皿
   とともに基板幅方向に移動自在、且つ、前記基板搬送面
   に対して高さを固定に設けて、前記流出停止装置を構成
   したことを特徴とするフィルム張付装置。
4. 【請求項４】請求項１ないし３のいずれかにおいて、前
   記受け皿の前記液流出口を、該受け皿の前記基板搬送面
   上における移動方向前方に向けて形成し、且つ、該受け
   皿の底面の基板搬送方向の幅を、基板上におけるにラミ
   ネ−ション液の液層の目標幅とほぼ等しくしたことを特
   徴とするフィルム張付装置。
5. 【請求項５】請求項１ないし４のいずれかにおいて、前
   記受け皿の前記液溜り部にラミネ−ション液を吐出する
   手段を、下向きに吐出口が配置されたシリンジとしたこ
   とを特徴とするフィルム張付装置。