JPH10268225A - 光偏向装置の調整方法及び調整装置 - Google Patents
光偏向装置の調整方法及び調整装置Info
- Publication number
- JPH10268225A JPH10268225A JP7484297A JP7484297A JPH10268225A JP H10268225 A JPH10268225 A JP H10268225A JP 7484297 A JP7484297 A JP 7484297A JP 7484297 A JP7484297 A JP 7484297A JP H10268225 A JPH10268225 A JP H10268225A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tilt angle
- polygon mirror
- mirror
- mirror surface
- adjusting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ポリゴンミラーを用いた光偏向装置の倒れ角
精度の向上をはかった調整方法と調整装置の提供。 【解決手段】 ポリゴンミラー１０１の鏡面１０１Ａを
照射する光源３０１と鏡面１０１Ａからの反射光と受光
する受光素子３０２とから成っていて、鏡面１０１Ａの
倒れ角を測定する倒れ角測定器３００と、ポリゴンミラ
ー１０１の軸方向と平行に押す方向に作動する押上部材
４０１Ａ（Ｂ）から成る傾き角度調整手段４００とを有
し、鏡面１０１Ａの倒れ角を測定し、傾き角度調整手段
４００の微調を行って、鏡面１０１Ａの倒れ角のバラツ
キが小さくなるよう調整して、ラジアル軸外筒１０２に
外挿したポリゴンミラーの位置調整する。
精度の向上をはかった調整方法と調整装置の提供。 【解決手段】 ポリゴンミラー１０１の鏡面１０１Ａを
照射する光源３０１と鏡面１０１Ａからの反射光と受光
する受光素子３０２とから成っていて、鏡面１０１Ａの
倒れ角を測定する倒れ角測定器３００と、ポリゴンミラ
ー１０１の軸方向と平行に押す方向に作動する押上部材
４０１Ａ（Ｂ）から成る傾き角度調整手段４００とを有
し、鏡面１０１Ａの倒れ角を測定し、傾き角度調整手段
４００の微調を行って、鏡面１０１Ａの倒れ角のバラツ
キが小さくなるよう調整して、ラジアル軸外筒１０２に
外挿したポリゴンミラーの位置調整する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は画像記録装置の画像
書き込み用として用いる光偏向装置の調整方法及び調整
装置に関する。
書き込み用として用いる光偏向装置の調整方法及び調整
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザビームプリンタ等の画像記録装置
においては、その画像の書き込み手段として読み取った
情報を基にレーザ光を高速回転するポリゴンミラーに入
光させ、反射光を走査させて感光体面に投影し画像記録
を行っている。図７は光偏向装置１００を装着した書き
込み光学系の斜視図を示している。半導体レーザ１から
の出力レーザ光は、ビーム整形用光学系のコリメータレ
ンズ２によって平行光となり、第１シリンドリカルレン
ズ３を経て光偏向装置１００のポリゴンミラー１０１で
反射偏向されたのち、Ｆθレンズ４、第２シリンドリカ
ルレンズ５を透過してビーム補正がなされ、反射ミラー
５を介して感光体ドラム６上に、所定のスポット径で副
走査方向に走査投影される。１ライン毎の同期検知は、
走査開始前の光束をミラー７を介して同期検知器８に入
射することによって行われる。
においては、その画像の書き込み手段として読み取った
情報を基にレーザ光を高速回転するポリゴンミラーに入
光させ、反射光を走査させて感光体面に投影し画像記録
を行っている。図７は光偏向装置１００を装着した書き
込み光学系の斜視図を示している。半導体レーザ１から
の出力レーザ光は、ビーム整形用光学系のコリメータレ
ンズ２によって平行光となり、第１シリンドリカルレン
ズ３を経て光偏向装置１００のポリゴンミラー１０１で
反射偏向されたのち、Ｆθレンズ４、第２シリンドリカ
ルレンズ５を透過してビーム補正がなされ、反射ミラー
５を介して感光体ドラム６上に、所定のスポット径で副
走査方向に走査投影される。１ライン毎の同期検知は、
走査開始前の光束をミラー７を介して同期検知器８に入
射することによって行われる。
【０００３】かかる走査光学系でポリゴンミラーのごく
僅かの倒れ角誤差も画面上では走査ムラとなり、画像歪
みとなって画像品質は劣化する。このことはポリゴンミ
ラーを高速回転し、記録密度を高めることによって更に
顕著となる。
僅かの倒れ角誤差も画面上では走査ムラとなり、画像歪
みとなって画像品質は劣化する。このことはポリゴンミ
ラーを高速回転し、記録密度を高めることによって更に
顕著となる。
【０００４】ポリゴンミラーは低速回転の場合にはモー
タの回転軸に直接固定して使用されるが、高速回転とな
るとポリゴンミラーをラジアル軸外筒に固定し、ラジア
ル軸内筒に対して触れることなく浮き上がった形で回転
する空気ベアリングを用いての駆動回転が行われる。本
出願人は動圧軸受を有する光偏光装置について、特開平
７−２４３４３７号、特開平７−２５９８４９号、特開
平８−１１４２１９号、特開平８−１２１４７１号等の
各明細書によって技術開示を行っているが、図８は上ス
ラスト板１２４、下スラスト板１２３、及びラジアル軸
内筒１２５よりなる動圧軸受を有する光偏光装置の断面
構成を示している。図８において、基台１２１と一体に
ラジアル軸内筒１２５とそれと同心に下スラスト板１２
３とモータの静止磁界を構成するコイル１２６が取り付
けられて動圧軸受部１２０が構成されている。また、回
転磁界用のリング状のマグネット１０６とアルミ製の外
輪部１０４とセラミック製のラジアル軸外筒１０２とポ
リゴンミラー１０１とミラー押さえ１０３とが同心で一
体に組み立てられてロータ１１０が構成されている。ロ
ータ１１０は前記ラジアル軸内筒１２５に嵌入された
後、上スラスト板１２４がラジアル軸１２５に同心に固
定される。そして該ラジアル軸内筒１２５、下スラスト
板１２３及び上スラスト板１２４と、ラジアル軸外筒１
０２の上下面及び嵌入内周面との間には３〜１０μｍ程
度の隙間Ｓが形成され、ロータ１１０の回転時にはロー
タ１１０は動圧軸受部１２０に触れることなく、空中に
浮き上がって円滑な回転が持続される。
タの回転軸に直接固定して使用されるが、高速回転とな
るとポリゴンミラーをラジアル軸外筒に固定し、ラジア
ル軸内筒に対して触れることなく浮き上がった形で回転
する空気ベアリングを用いての駆動回転が行われる。本
出願人は動圧軸受を有する光偏光装置について、特開平
７−２４３４３７号、特開平７−２５９８４９号、特開
平８−１１４２１９号、特開平８−１２１４７１号等の
各明細書によって技術開示を行っているが、図８は上ス
ラスト板１２４、下スラスト板１２３、及びラジアル軸
内筒１２５よりなる動圧軸受を有する光偏光装置の断面
構成を示している。図８において、基台１２１と一体に
ラジアル軸内筒１２５とそれと同心に下スラスト板１２
３とモータの静止磁界を構成するコイル１２６が取り付
けられて動圧軸受部１２０が構成されている。また、回
転磁界用のリング状のマグネット１０６とアルミ製の外
輪部１０４とセラミック製のラジアル軸外筒１０２とポ
リゴンミラー１０１とミラー押さえ１０３とが同心で一
体に組み立てられてロータ１１０が構成されている。ロ
ータ１１０は前記ラジアル軸内筒１２５に嵌入された
後、上スラスト板１２４がラジアル軸１２５に同心に固
定される。そして該ラジアル軸内筒１２５、下スラスト
板１２３及び上スラスト板１２４と、ラジアル軸外筒１
０２の上下面及び嵌入内周面との間には３〜１０μｍ程
度の隙間Ｓが形成され、ロータ１１０の回転時にはロー
タ１１０は動圧軸受部１２０に触れることなく、空中に
浮き上がって円滑な回転が持続される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】良好な画像品質を得る
為にはポリゴンミラーの倒れ角を小さくする必要があ
り、ポリゴンミラーやそれが固定されるロータ部分及び
動圧軸受部の各機械加工精度及び組立加工精度が特に高
くなければならない。
為にはポリゴンミラーの倒れ角を小さくする必要があ
り、ポリゴンミラーやそれが固定されるロータ部分及び
動圧軸受部の各機械加工精度及び組立加工精度が特に高
くなければならない。
【０００６】ポリゴンミラーの倒れ角を極力抑えるため
の手段はこのように各部品精度や組み立て精度を上げる
ことに依存されており、このような加工技術や組立加工
技術は高精度の工作機械と高度な熟練技能を要し製作コ
ストも非常に高くなる。また、部品間での熱膨張係数を
異にする場合には必然的に安定した精度の保持と耐久性
も得にくいこととなる。
の手段はこのように各部品精度や組み立て精度を上げる
ことに依存されており、このような加工技術や組立加工
技術は高精度の工作機械と高度な熟練技能を要し製作コ
ストも非常に高くなる。また、部品間での熱膨張係数を
異にする場合には必然的に安定した精度の保持と耐久性
も得にくいこととなる。
【０００７】本発明は、このような従来技術の問題点を
解決して各部品の加工精度や組立精度を特に高める事な
く高品質のスキャンニング画像が安定して得られる、ポ
リゴンミラーの軸部又はラジアル軸外筒に対する倒れ角
を極めて高い精度をもって調整し解消して固定すること
を可能とした光偏向装置の調整方法及び調整装置を提供
することを目的とする。
解決して各部品の加工精度や組立精度を特に高める事な
く高品質のスキャンニング画像が安定して得られる、ポ
リゴンミラーの軸部又はラジアル軸外筒に対する倒れ角
を極めて高い精度をもって調整し解消して固定すること
を可能とした光偏向装置の調整方法及び調整装置を提供
することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的は、回転軸又は
ラジアル軸外筒へのポリゴンミラーの固定に先だって、
前記回転軸又はラジアル軸外筒に対する前記ポリゴンミ
ラーの各鏡面の倒れ角を測定し、前記倒れ角のバラツキ
を減少させる方向に前記ポリゴンミラーの傾きの調整を
行うことを特徴とする光偏向装置の調整方法、及びポリ
ゴンミラーの鏡面を照射する光源と、前記鏡面からの反
射光を受光する受光素子とからなっていて前記鏡面の倒
れ角を測定する倒れ角測定器と、ポリゴンミラーの軸方
向と平行に押す方向に作動する押し部材から成るポリゴ
ンミラーの傾き角度調整手段と、前記倒れ角測定器によ
り各鏡面の倒れ角を測定し、鏡面の倒れ角のバラツキが
減少する方向に前記傾き角度調整手段の調整を行う制御
部とを有していて、軸部又はラジアル軸外筒に外挿した
ポリゴンミラーの位置関係の調整を行うことを特徴とす
る光偏向装置の調整装置によって達成される。
ラジアル軸外筒へのポリゴンミラーの固定に先だって、
前記回転軸又はラジアル軸外筒に対する前記ポリゴンミ
ラーの各鏡面の倒れ角を測定し、前記倒れ角のバラツキ
を減少させる方向に前記ポリゴンミラーの傾きの調整を
行うことを特徴とする光偏向装置の調整方法、及びポリ
ゴンミラーの鏡面を照射する光源と、前記鏡面からの反
射光を受光する受光素子とからなっていて前記鏡面の倒
れ角を測定する倒れ角測定器と、ポリゴンミラーの軸方
向と平行に押す方向に作動する押し部材から成るポリゴ
ンミラーの傾き角度調整手段と、前記倒れ角測定器によ
り各鏡面の倒れ角を測定し、鏡面の倒れ角のバラツキが
減少する方向に前記傾き角度調整手段の調整を行う制御
部とを有していて、軸部又はラジアル軸外筒に外挿した
ポリゴンミラーの位置関係の調整を行うことを特徴とす
る光偏向装置の調整装置によって達成される。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明による光偏向装置の調整装
置について、以下２つの実施の形態について説明する。
但し本発明はこれに限定されるものではない。
置について、以下２つの実施の形態について説明する。
但し本発明はこれに限定されるものではない。
【００１０】（実施形態１）図１〜図３によって実施形
態１の光偏向装置の調整装置について説明する。
態１の光偏向装置の調整装置について説明する。
【００１１】本実施形態においては、ラジアル軸外筒に
外挿したポリゴンミラーの傾き角度の調整を行って、ポ
リゴンミラーの各鏡面の倒れ角のバラツキを極めて小さ
くするよう調整する調整装置について説明しているが、
ラジアル軸外筒に代えてモータ軸部についても全く同様
にして調整が行われる。
外挿したポリゴンミラーの傾き角度の調整を行って、ポ
リゴンミラーの各鏡面の倒れ角のバラツキを極めて小さ
くするよう調整する調整装置について説明しているが、
ラジアル軸外筒に代えてモータ軸部についても全く同様
にして調整が行われる。
【００１２】ポリゴンミラー１０１は純アルミ等を材料
とする正多角形の多面鏡であって、対角線長は３０〜８
０ｍｍ程度、軸部近傍での厚さは３〜１２ｍｍ程度の高
精度に加工された部材である。ラジアル軸外筒１０２は
セラミック等を材料とする円筒状部材で、ポリゴンミラ
ー１０１の厚さよりも若干長い長さに設定されている。
ラジアル軸外筒１０２の外径とポリゴンミラー１０１の
内径との間には隙間Ｓ１がある。この隙間Ｓ１は次に述
べる調整後に接着剤によって充填され固着状態となる。
とする正多角形の多面鏡であって、対角線長は３０〜８
０ｍｍ程度、軸部近傍での厚さは３〜１２ｍｍ程度の高
精度に加工された部材である。ラジアル軸外筒１０２は
セラミック等を材料とする円筒状部材で、ポリゴンミラ
ー１０１の厚さよりも若干長い長さに設定されている。
ラジアル軸外筒１０２の外径とポリゴンミラー１０１の
内径との間には隙間Ｓ１がある。この隙間Ｓ１は次に述
べる調整後に接着剤によって充填され固着状態となる。
【００１３】２０１はラジアル軸外筒１０２を固定する
軸部固定手段で、円筒状のラジアル軸外筒１０２の両端
部を挟持し内径を承持することで、或いはラジアル軸外
筒１０２の端面を吸引することで、ラジアル軸外筒１０
２を固定している。２０２はラジアル軸外筒１０２部の
中心軸を中心として回動可能とする支持テーブルで、上
面にはラジアル軸外筒１０２に外挿したポリゴンミラー
１０１を載置している。図２はポリゴンミラー１０１の
載置の状態を示したもので、ポリゴンミラー１０１は支
持テーブル２０２上で３点支持によって支持される。そ
のうちの１点は固定支持部２１２で、吸引その他の手段
によって３点支持されたポリゴンミラー１０１に滑り
（位置ずれ）が生じないよう支持している。他の２点は
支持テーブル２０２上のポリゴンミラー１０１の傾き角
度の微調を可能とする傾き角度調整手段４００Ａ，４０
０Ｂで、モータＭ２Ａ又はＭ２Ｂの正逆回転によってポ
リゴンミラー１０１に当接する押しピン４０１Ａ，４０
１Ｂは上下方向に微動する。また支持テーブル２０２の
外周には歯車２０２ａが設けられていて、モータＭ１の
回転によって、モータ軸に設けた歯車Ｇ（Ｍ１）と中間
歯車を介して歯合する歯車２０２ａによって、ポリゴン
ミラー１０１を載置した支持テーブル２０２は回動す
る。
軸部固定手段で、円筒状のラジアル軸外筒１０２の両端
部を挟持し内径を承持することで、或いはラジアル軸外
筒１０２の端面を吸引することで、ラジアル軸外筒１０
２を固定している。２０２はラジアル軸外筒１０２部の
中心軸を中心として回動可能とする支持テーブルで、上
面にはラジアル軸外筒１０２に外挿したポリゴンミラー
１０１を載置している。図２はポリゴンミラー１０１の
載置の状態を示したもので、ポリゴンミラー１０１は支
持テーブル２０２上で３点支持によって支持される。そ
のうちの１点は固定支持部２１２で、吸引その他の手段
によって３点支持されたポリゴンミラー１０１に滑り
（位置ずれ）が生じないよう支持している。他の２点は
支持テーブル２０２上のポリゴンミラー１０１の傾き角
度の微調を可能とする傾き角度調整手段４００Ａ，４０
０Ｂで、モータＭ２Ａ又はＭ２Ｂの正逆回転によってポ
リゴンミラー１０１に当接する押しピン４０１Ａ，４０
１Ｂは上下方向に微動する。また支持テーブル２０２の
外周には歯車２０２ａが設けられていて、モータＭ１の
回転によって、モータ軸に設けた歯車Ｇ（Ｍ１）と中間
歯車を介して歯合する歯車２０２ａによって、ポリゴン
ミラー１０１を載置した支持テーブル２０２は回動す
る。
【００１４】３００は支持テーブル２０２上のポリゴン
ミラー１０１の鏡面１０１Ａの倒れ各を測定する倒れ角
測定器である。倒れ各測定器３００はポリゴンミラー１
０１の鏡面１０１Ａを照射する発光部３０１と、鏡面１
０１Ａからの反射光を受光する受光部３０２とから成っ
ていて、発光部３０１と受光部３０２とは前記のラジア
ル軸外筒１０２の中心軸と同一平面上にあるような位置
関係に設けられている。発光部３０１は発光素子として
レーザダイオード（ＬＤ）とその前面にレンズが設けら
れていて、スポット状の平行光が鏡面１０１Ａを照射す
る。受光部３０２は例えば受光素子をライン状に配列し
たポジション・センシティブ・ディテクタであって、正
対した位置にある鏡面１０１Ａからの反射光が受光部３
０２を照射する位置によって鏡面１０１Ａの倒れ角を測
定する。この際受光部３０２を鏡面１０１Ａから遠ざけ
ることによって、測定精度は高めることができる。
ミラー１０１の鏡面１０１Ａの倒れ各を測定する倒れ角
測定器である。倒れ各測定器３００はポリゴンミラー１
０１の鏡面１０１Ａを照射する発光部３０１と、鏡面１
０１Ａからの反射光を受光する受光部３０２とから成っ
ていて、発光部３０１と受光部３０２とは前記のラジア
ル軸外筒１０２の中心軸と同一平面上にあるような位置
関係に設けられている。発光部３０１は発光素子として
レーザダイオード（ＬＤ）とその前面にレンズが設けら
れていて、スポット状の平行光が鏡面１０１Ａを照射す
る。受光部３０２は例えば受光素子をライン状に配列し
たポジション・センシティブ・ディテクタであって、正
対した位置にある鏡面１０１Ａからの反射光が受光部３
０２を照射する位置によって鏡面１０１Ａの倒れ角を測
定する。この際受光部３０２を鏡面１０１Ａから遠ざけ
ることによって、測定精度は高めることができる。
【００１５】上記の構造の調整装置は、制御部２００が
メモリとして有している光偏向装置の調整プログラムに
よって、ポリゴンミラー１０１の多面鏡での倒れ角のバ
ラツキが最も小さくなるような制御がなされる。次にこ
の調整プログラムによる制御について説明する。
メモリとして有している光偏向装置の調整プログラムに
よって、ポリゴンミラー１０１の多面鏡での倒れ角のバ
ラツキが最も小さくなるような制御がなされる。次にこ
の調整プログラムによる制御について説明する。
【００１６】制御部２００はモータＭ１を回転駆動
し、これにより支持テーブル２０２を緩やかに回転させ
る。
し、これにより支持テーブル２０２を緩やかに回転させ
る。
【００１７】倒れ角測定器３００で、発光部３０１か
ら正対した位置にある鏡面１０１Ａに向けて発光を行
い、その反射光を受光部３０２によって受光し、倒れ角
の測定を行う。支持テーブル２０２の１回転中での受光
部３０２による測定結果は例えば図３（ａ）に示す状態
になっている。図上で測定点は○印をもって示してい
る。図示したのは６面鏡のポリゴンミラー１０１につい
て示しているが、勿論この鏡面数に限定されるものでは
ない。ここで制御部２００は鏡面中で最も倒れ角の小さ
な鏡面と最も倒れ角の大きな鏡面とを検出し、最大の倒
れ角のバラツキ量ＢMAXを求める。
ら正対した位置にある鏡面１０１Ａに向けて発光を行
い、その反射光を受光部３０２によって受光し、倒れ角
の測定を行う。支持テーブル２０２の１回転中での受光
部３０２による測定結果は例えば図３（ａ）に示す状態
になっている。図上で測定点は○印をもって示してい
る。図示したのは６面鏡のポリゴンミラー１０１につい
て示しているが、勿論この鏡面数に限定されるものでは
ない。ここで制御部２００は鏡面中で最も倒れ角の小さ
な鏡面と最も倒れ角の大きな鏡面とを検出し、最大の倒
れ角のバラツキ量ＢMAXを求める。
【００１８】次に２つの傾き角度調整手段４００Ａ，
４００Ｂの何れか一方、例えば傾き角度調整手段４００
ＡのモータＭ２Ａを一方向に適当量回転し、押し部材で
ある押しピン４０１Ａを適当量押し上げた状態で、支持
テーブル２０２の１回転中での最大倒れ角のバラツキ量
ＢMAX 1を求める。制御部２００は先の最大のバラツキ量
ＢMAXと比較し、ＢMAX＜ＢMAX 1であれば、モータＭ２Ａ
を反対方向に適当量回転し、押ししピン４０１Ａを適当
量押し下げた状態として支持テーブル２０２の１回転中
での最大のバラツキ量ＢMAX 2を求める。ＢMAX＞ＢMAX 2
であれば、更に同方向にモータＭ２Ａを適当量回転させ
てのバラツキ量ＢMAX 3を求め、先のバラツキ量ＢMAX 2と
比較し、なおＢMAX 2＞ＢMAX 3であれば、モータＭ２Ａを
同方向に適当量、ＢMAX 2＜ＢMAX 3であれば反対方向に微
少量回転させる等の動作を繰り返すことによって最大の
倒れ角のバラツキ量ＢMAX Nが最も小さくなる押しピン４
０１Ａの位置を求める。この状態での測定結果を示した
のが図３（ｂ）である。
４００Ｂの何れか一方、例えば傾き角度調整手段４００
ＡのモータＭ２Ａを一方向に適当量回転し、押し部材で
ある押しピン４０１Ａを適当量押し上げた状態で、支持
テーブル２０２の１回転中での最大倒れ角のバラツキ量
ＢMAX 1を求める。制御部２００は先の最大のバラツキ量
ＢMAXと比較し、ＢMAX＜ＢMAX 1であれば、モータＭ２Ａ
を反対方向に適当量回転し、押ししピン４０１Ａを適当
量押し下げた状態として支持テーブル２０２の１回転中
での最大のバラツキ量ＢMAX 2を求める。ＢMAX＞ＢMAX 2
であれば、更に同方向にモータＭ２Ａを適当量回転させ
てのバラツキ量ＢMAX 3を求め、先のバラツキ量ＢMAX 2と
比較し、なおＢMAX 2＞ＢMAX 3であれば、モータＭ２Ａを
同方向に適当量、ＢMAX 2＜ＢMAX 3であれば反対方向に微
少量回転させる等の動作を繰り返すことによって最大の
倒れ角のバラツキ量ＢMAX Nが最も小さくなる押しピン４
０１Ａの位置を求める。この状態での測定結果を示した
のが図３（ｂ）である。
【００１９】次に制御部２００は押しピン４０１Ａは
上記の位置に固定した状態で、傾き角度調整手段４００
ＢのモータＭ２Ｂを一方向に適当量回転し、押しピン４
０１Ｂを適当量押し上げた状態で、支持テーブル２０２
の１回転中での最大の倒れ角のバラツキ量ＢMAX N+1を求
め、先の最大のバラツキ量ＢMAX Nと比較しその比較結果
に基づいて、押しピン４０１Ｂを押し上げ方向或いは押
し下げ方向に作動させ、先にで説明したと同様にし
て、次第に最大の倒れ角のバラツキが小となる方向への
微調を行い、そのバラツキ量が予め設定した限界値ＢAL
よりも小さくなるところをもって調整完了とする。ま
た、上記の最大のバラツキ量の比較とこれに基づく微調
整を複数回繰り返し、なお予め設定した限界値ＢALより
も小さくならないときは、押しピン４０１Ｂは最小とな
るバラツキ量の位置に固定し、再度傾き角度調整手段４
００Ａによる微調整を行って、得られた最大の倒れ角の
バラツキ量ＢMAX Mが予め設定した限界値ＢALよりも小さ
くなる迄微調整を継続する。図３（Ｃ）は調整完了時点
での測定結果を示している。
上記の位置に固定した状態で、傾き角度調整手段４００
ＢのモータＭ２Ｂを一方向に適当量回転し、押しピン４
０１Ｂを適当量押し上げた状態で、支持テーブル２０２
の１回転中での最大の倒れ角のバラツキ量ＢMAX N+1を求
め、先の最大のバラツキ量ＢMAX Nと比較しその比較結果
に基づいて、押しピン４０１Ｂを押し上げ方向或いは押
し下げ方向に作動させ、先にで説明したと同様にし
て、次第に最大の倒れ角のバラツキが小となる方向への
微調を行い、そのバラツキ量が予め設定した限界値ＢAL
よりも小さくなるところをもって調整完了とする。ま
た、上記の最大のバラツキ量の比較とこれに基づく微調
整を複数回繰り返し、なお予め設定した限界値ＢALより
も小さくならないときは、押しピン４０１Ｂは最小とな
るバラツキ量の位置に固定し、再度傾き角度調整手段４
００Ａによる微調整を行って、得られた最大の倒れ角の
バラツキ量ＢMAX Mが予め設定した限界値ＢALよりも小さ
くなる迄微調整を継続する。図３（Ｃ）は調整完了時点
での測定結果を示している。
【００２０】以上の倒れ角のバラツキ量が予め設定し
た限界値以下になるまでの調整が終わった時点で、ポリ
ゴンミラー１０１とラジアル軸外筒１０２との間の隙間
Ｓ１に接着剤を充填し、調整がなされた状態での一体化
がなされる。
た限界値以下になるまでの調整が終わった時点で、ポリ
ゴンミラー１０１とラジアル軸外筒１０２との間の隙間
Ｓ１に接着剤を充填し、調整がなされた状態での一体化
がなされる。
【００２１】以上説明した実施形態１の調整装置は、制
御部２００によって全自動で倒れ角の微調整を行ってい
るが、この工程の中間にマニュアル操作を介してこれを
実現するよう構成したものであってもよい。
御部２００によって全自動で倒れ角の微調整を行ってい
るが、この工程の中間にマニュアル操作を介してこれを
実現するよう構成したものであってもよい。
【００２２】（実施形態２）図４〜図６によって実施形
態２の光偏向装置の調整装置について説明する。ここで
実施形態１におけると同一機能の部材については同一符
号をもって表示し、説明を省略する。本実施形態におい
ては、モータ軸部に外挿したポリゴンミラーの傾き角度
の調整を行って、ポリゴンミラーの各鏡面の倒れ角のバ
ラツキを極めて小さくするよう調整する調整装置につい
て説明しているが、モータ軸部に代えてラジアル軸外筒
についても、次に説明するモータＭＯに代えて回転駆動
部材を別に設けることによって全く同様にして調整が行
われる。
態２の光偏向装置の調整装置について説明する。ここで
実施形態１におけると同一機能の部材については同一符
号をもって表示し、説明を省略する。本実施形態におい
ては、モータ軸部に外挿したポリゴンミラーの傾き角度
の調整を行って、ポリゴンミラーの各鏡面の倒れ角のバ
ラツキを極めて小さくするよう調整する調整装置につい
て説明しているが、モータ軸部に代えてラジアル軸外筒
についても、次に説明するモータＭＯに代えて回転駆動
部材を別に設けることによって全く同様にして調整が行
われる。
【００２３】モータＭＯは高速回転を可能とする駆動モ
ータで、モータＭＯのモータ軸５０１にはポリゴンミラ
ー１０１が挿入され、モータ軸５０１とポリゴンミラー
１０１の内径との間には０．１ｍｍ程度の隙間Ｓ２があ
って、この隙間Ｓ２には例えば無機接着剤等の接着剤が
充填され、接着剤が固着する以前の半固着の状態で調整
を行うようにしたものである。
ータで、モータＭＯのモータ軸５０１にはポリゴンミラ
ー１０１が挿入され、モータ軸５０１とポリゴンミラー
１０１の内径との間には０．１ｍｍ程度の隙間Ｓ２があ
って、この隙間Ｓ２には例えば無機接着剤等の接着剤が
充填され、接着剤が固着する以前の半固着の状態で調整
を行うようにしたものである。
【００２４】ポリゴンミラー１０１の上面にはマーキン
グ１０１Ｂが付されていて、マーキング検知手段５０２
によって、非接触の状態でマーキング１０１Ｂの検知が
なされる。制御部５００にはマーキング検知手段５０２
によるマーキングの検出に基づいて、倒れ角測定器３０
０が対向する鏡面１０１Ａが第１〜第６鏡面の何れのナ
ンバーの鏡面であるかが判明する回路が構成されてい
る。なお本実施形態においても６面鏡のポリゴンミラー
１０１について説明するが、勿論この鏡面数に限定され
るものではない。
グ１０１Ｂが付されていて、マーキング検知手段５０２
によって、非接触の状態でマーキング１０１Ｂの検知が
なされる。制御部５００にはマーキング検知手段５０２
によるマーキングの検出に基づいて、倒れ角測定器３０
０が対向する鏡面１０１Ａが第１〜第６鏡面の何れのナ
ンバーの鏡面であるかが判明する回路が構成されてい
る。なお本実施形態においても６面鏡のポリゴンミラー
１０１について説明するが、勿論この鏡面数に限定され
るものではない。
【００２５】本実施形態においては、１組だけの角度調
整手段４００が設けられていて、図５の平面図に示すよ
うに、モータ軸の中心軸と、角度調整手段４００の押し
ピン４０１と、倒れ角測定器３００の発光部３０１と受
光部３０２とは同一平面上にあるような位置関係に設け
られている。
整手段４００が設けられていて、図５の平面図に示すよ
うに、モータ軸の中心軸と、角度調整手段４００の押し
ピン４０１と、倒れ角測定器３００の発光部３０１と受
光部３０２とは同一平面上にあるような位置関係に設け
られている。
【００２６】本実施形態の調整装置は制御部５００が有
している光偏向装置の調整プログラムによって、次のよ
うな調整が行われる。
している光偏向装置の調整プログラムによって、次のよ
うな調整が行われる。
【００２７】制御部５００はモータＭＯを回転し、倒
れ角測定器３００の発光部３０１の正対位置にある鏡面
１０１Ａに向けて発光を行い、その反射光を受光部３０
２によって受光して、６鏡面すべてについて倒れ角の測
定を行う。その際マーキング検知手段５０２によってマ
ーキング１０１Ｂの検出を行って、鏡面ナンバーとその
鏡面の倒れ角とを関連付ける。図５において測定点は○
印をもって示している。図５（ａ）はその一例を示した
もので、制御部５００は鏡面中で最も倒れ角の小さな鏡
面（Ｎｏ．４）と最も倒れ角の大きな鏡面（Ｎｏ．１）
とを検出し、最大の倒れ角のバラツキ量ＢMAXを求め
る。そして最も倒れ角の大きな鏡面（Ｎｏ．１）を倒れ
角測定器３００に対向した位置まで回動させた上で停止
し、角度調整手段４００のモータＭ２を駆動して、押し
部材である押しピン４０１によってＮｏ．１の鏡面の倒
れ角が減る方向に所定量ΔＨ1だけ押し下げる。
れ角測定器３００の発光部３０１の正対位置にある鏡面
１０１Ａに向けて発光を行い、その反射光を受光部３０
２によって受光して、６鏡面すべてについて倒れ角の測
定を行う。その際マーキング検知手段５０２によってマ
ーキング１０１Ｂの検出を行って、鏡面ナンバーとその
鏡面の倒れ角とを関連付ける。図５において測定点は○
印をもって示している。図５（ａ）はその一例を示した
もので、制御部５００は鏡面中で最も倒れ角の小さな鏡
面（Ｎｏ．４）と最も倒れ角の大きな鏡面（Ｎｏ．１）
とを検出し、最大の倒れ角のバラツキ量ＢMAXを求め
る。そして最も倒れ角の大きな鏡面（Ｎｏ．１）を倒れ
角測定器３００に対向した位置まで回動させた上で停止
し、角度調整手段４００のモータＭ２を駆動して、押し
部材である押しピン４０１によってＮｏ．１の鏡面の倒
れ角が減る方向に所定量ΔＨ1だけ押し下げる。
【００２８】再びモータＭＯを回転し、６鏡面すべて
について鏡面ナンバーとその鏡面の倒れ角の測定を行
う。図５（ｂ）はその一例を示したもので、制御部５０
０は鏡面中で最も倒れ角の小さな鏡面（Ｎｏ．１）と最
も倒れ角の大きな鏡面（Ｎｏ．４）とを検出し、最大の
倒れ角のバラツキ量ＢMAX′を求める。そして最も倒れ
角の大きな鏡面（Ｎｏ．４）を倒れ角測定器３００に対
向した位置まで回転させた上で停止し、角度調整手段４
００のモータＭ２を駆動して、押しピン４０１によって
Ｎｏ．４の鏡面の倒れ角が減る方向に所定量ΔＨ2（Δ
Ｈ2＜ΔＨ1）だけ押し下げる。
について鏡面ナンバーとその鏡面の倒れ角の測定を行
う。図５（ｂ）はその一例を示したもので、制御部５０
０は鏡面中で最も倒れ角の小さな鏡面（Ｎｏ．１）と最
も倒れ角の大きな鏡面（Ｎｏ．４）とを検出し、最大の
倒れ角のバラツキ量ＢMAX′を求める。そして最も倒れ
角の大きな鏡面（Ｎｏ．４）を倒れ角測定器３００に対
向した位置まで回転させた上で停止し、角度調整手段４
００のモータＭ２を駆動して、押しピン４０１によって
Ｎｏ．４の鏡面の倒れ角が減る方向に所定量ΔＨ2（Δ
Ｈ2＜ΔＨ1）だけ押し下げる。
【００２９】上記のの作動を繰り返し、最大の倒れ
角のバラツキ量ＢMAX pが予め設定した限界値ＢALよりも
小さくなるまで継続する。そしてこの調整が終わった状
態でモータ軸５０１とポリゴンミラー１０１の内径との
隙間Ｓ２に充填した接着剤が完全に固着するのを待つ。
角のバラツキ量ＢMAX pが予め設定した限界値ＢALよりも
小さくなるまで継続する。そしてこの調整が終わった状
態でモータ軸５０１とポリゴンミラー１０１の内径との
隙間Ｓ２に充填した接着剤が完全に固着するのを待つ。
【００３０】以上説明した実施形態２の調整装置は、制
御部５００によって全自動で倒れ角の微調整を行ってい
るが、この工程の中間のマニュアル操作を介してこれを
実現するよう構成したものであってもよい。
御部５００によって全自動で倒れ角の微調整を行ってい
るが、この工程の中間のマニュアル操作を介してこれを
実現するよう構成したものであってもよい。
【００３１】
【発明の効果】従来、光偏向装置の倒れ角精度を向上さ
せる調整・組み立てについては、殆ど紹介されることが
なかった。本発明はポリゴンミラーの鏡面の倒れ角を測
定しながらその倒れ角のバラツキを小さくするよう調整
を行う調整方法及び調整装置を提供するもので、本発明
によるときはモータの回転軸又はラジアル軸外筒に対す
るポリゴンミラーの傾き角度の調整に併せてポリゴンミ
ラーの各鏡面の倒れ角をも補正がなされ、従来では得ら
れなかった高度の倒れ角の修正がなされ、高画質の画像
記録がなされる光偏向装置が提供されることとなった。
せる調整・組み立てについては、殆ど紹介されることが
なかった。本発明はポリゴンミラーの鏡面の倒れ角を測
定しながらその倒れ角のバラツキを小さくするよう調整
を行う調整方法及び調整装置を提供するもので、本発明
によるときはモータの回転軸又はラジアル軸外筒に対す
るポリゴンミラーの傾き角度の調整に併せてポリゴンミ
ラーの各鏡面の倒れ角をも補正がなされ、従来では得ら
れなかった高度の倒れ角の修正がなされ、高画質の画像
記録がなされる光偏向装置が提供されることとなった。
【００３２】また上記の調整に当たっては、回転軸又は
ラジアル軸外筒とポリゴンミラーとの間に僅かの隙間を
設けておいて、調整が完了した時点でその隙間に注入し
た接着剤によって固着することによって、従来では想像
もできないような低工数での組み立てが、しかも精度よ
くなされることとなった。
ラジアル軸外筒とポリゴンミラーとの間に僅かの隙間を
設けておいて、調整が完了した時点でその隙間に注入し
た接着剤によって固着することによって、従来では想像
もできないような低工数での組み立てが、しかも精度よ
くなされることとなった。
【図１】実施形態１の光偏向装置の調整装置の構成図。
【図２】実施形態１のポリゴンミラー部分の平面図。
【図３】実施形態１の倒れ角の調整過程を示す説明図。
【図４】実施形態２の光偏向装置の調整装置の構成図。
【図５】実施形態２のポリゴンミラー部分の平面図。
【図６】実施形態２の倒れ角の調整過程を示す説明図。
【図７】光偏向装置を装着した書き込み光学系の斜視
図。
図。
【図８】動圧軸受を有する光偏向装置の断面構成図。
１０１ ポリゴンミラー １０１Ａ 鏡面 １０１Ｂ マーキング １０２ ラジアル軸外筒 ２００，５００ 制御部 ３００ 倒れ角測定器 ３０１ 発光部 ３０２ 受光部 ４００ 角度調整手段 ４０１ 押しピン ５０１ モータ軸 ５０２ マーキング検知手段 ＭＯ，Ｍ１，Ｍ２ モータ Ｓ１，Ｓ２ 隙間
Claims (5)
- 【請求項１】 回転軸又はラジアル軸外筒へのポリゴン
ミラーの固定に先だって、前記回転軸又はラジアル軸外
筒に対する前記ポリゴンミラーの各鏡面の倒れ角を測定
し、前記倒れ角のバラツキを減少させる方向に前記ポリ
ゴンミラーの傾きの調整を行うことを特徴とする光偏向
装置の調整方法。 - 【請求項２】 調整位置において、前記回転軸又はラジ
アル軸外筒に対する前記ポリゴンミラーの固着は接着剤
を用いて行うことを特徴とする請求項１記載の光偏向装
置の調整方法。 - 【請求項３】 ポリゴンミラーの鏡面を照射する光源
と、前記鏡面からの反射光を受光する受光素子とからな
っていて前記鏡面の倒れ角を測定する倒れ角測定器と、 ポリゴンミラーの軸方向と平行に押す方向に作動する押
し部材から成るポリゴンミラーの傾き角度調整手段と、 前記倒れ角測定器により各鏡面の倒れ角を測定し、鏡面
の倒れ角のバラツキが減少する方向に前記傾き角度調整
手段の調整を行う制御部とを有していて、 軸部又はラジアル軸外筒に外挿したポリゴンミラーの位
置関係の調整を行うことを特徴とする光偏向装置の調整
装置。 - 【請求項４】 前記軸部又はラジアル軸外筒を固定する
軸部固定手段と、前記ポリゴンミラーの回転を行う回転
手段とを有することを特徴とする請求項３に記載の光偏
向装置の調整装置。 - 【請求項５】 前記ポリゴンミラーは前記軸部又はラジ
アル軸外筒とは半固着状態にあって、前記軸部又はラジ
アル軸外筒は回動可能の構成としたことを特徴とする請
求項３記載の光偏向装置の調整装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7484297A JPH10268225A (ja) | 1997-03-27 | 1997-03-27 | 光偏向装置の調整方法及び調整装置 |
| US09/040,844 US5963353A (en) | 1997-03-24 | 1998-03-18 | Optical deflector and adjusting method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7484297A JPH10268225A (ja) | 1997-03-27 | 1997-03-27 | 光偏向装置の調整方法及び調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10268225A true JPH10268225A (ja) | 1998-10-09 |
Family
ID=13558995
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7484297A Pending JPH10268225A (ja) | 1997-03-24 | 1997-03-27 | 光偏向装置の調整方法及び調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10268225A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006079052A (ja) * | 2004-09-07 | 2006-03-23 | Toshiba Corp | 光走査装置及び画像形成装置 |
| CN102538711A (zh) * | 2011-03-17 | 2012-07-04 | 北京国科世纪激光技术有限公司 | 测量pbs偏振膜面偏向角度的装置及方法 |
| CN102538710A (zh) * | 2010-12-31 | 2012-07-04 | 北京国科世纪激光技术有限公司 | 偏振分光棱镜镀膜面角度测量方法和测量装置 |
-
1997
- 1997-03-27 JP JP7484297A patent/JPH10268225A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006079052A (ja) * | 2004-09-07 | 2006-03-23 | Toshiba Corp | 光走査装置及び画像形成装置 |
| CN102538710A (zh) * | 2010-12-31 | 2012-07-04 | 北京国科世纪激光技术有限公司 | 偏振分光棱镜镀膜面角度测量方法和测量装置 |
| CN102538711A (zh) * | 2011-03-17 | 2012-07-04 | 北京国科世纪激光技术有限公司 | 测量pbs偏振膜面偏向角度的装置及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4838632A (en) | Two-dimensional beam scanner | |
| US5701191A (en) | Optical scanner | |
| JP3220061B2 (ja) | レーザスキャニングユニット | |
| JPH0617948B2 (ja) | 光ビ−ム走査装置 | |
| JPS63136017A (ja) | 光ビ−ム走査装置 | |
| JPH08211318A (ja) | 回転多角形式画像形成装置における光線変調制御装置 | |
| US5963353A (en) | Optical deflector and adjusting method thereof | |
| JP3198103B2 (ja) | 光偏向装置の製造方法 | |
| JP3365884B2 (ja) | 走査型光学顕微鏡 | |
| EP0890862A2 (en) | Scanning system with error-correcting deflector | |
| JP2000180748A (ja) | 分割走査装置及び分割走査装置のビーム状態調整方法 | |
| EP0806690A2 (en) | Rotating device and light beam deflecting apparatus | |
| JP2709949B2 (ja) | 走査式描画装置の描画面調整機構 | |
| JP2647091B2 (ja) | レーザビーム走査装置 | |
| JP2006163321A (ja) | 光ビーム偏向器 | |
| JP3772510B2 (ja) | 光走査装置 | |
| JP2003177328A (ja) | 走査型光学顕微鏡 | |
| JP3515641B2 (ja) | レーザビーム走査装置 | |
| KR100228705B1 (ko) | 레이저 스캐닝 유니트 | |
| JP3534791B2 (ja) | ビーム走査装置 | |
| JP2002250882A (ja) | マルチビーム走査装置 | |
| JPS62242910A (ja) | 光走査装置 | |
| JP2004037995A (ja) | 光偏向装置及び光偏向装置の製造方法 | |
| JPH0534620A (ja) | 走査光学装置 | |
| JP2002006249A (ja) | 画像形成装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040622 |